JP2007306479A - 固体撮像素子及びその駆動方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電荷転送部35が、電荷の読み出し転送と信号電荷の転送とを行う第1転送電極と、第1転送電極同士の間に設けられ電荷転送部35に沿った信号電荷の転送を行う第2転送電極とを有し、タイミング信号供給部43が、電荷転送路35に沿った信号電荷の転送時に、第1、第2転送電極に駆動用パルス信号を供給し、電荷転送部35に沿った信号電荷の転送停止時には、第1転送電極が光電変換素子31に対して暗電流を生じさせないレベルのバリア電位となるパルス信号を供給する。
【選択図】図1
Description
固体撮像素子の受光領域には垂直配置される光電変換素子(フォトダイオード)PD1〜PD8(図示例では簡便に8つで説明する)が2次元行列状に配列される。フォトダイオードPD1〜PD8の個々又は全てを、以下フォトダイオードPDと呼称する。フォトダイオードPDは、受光した光を信号電荷に変換し、蓄積する。各フォトダイオードPD列の近傍脇部(図中右側)には、垂直方向に垂直電荷転送路1が延設される。フォトダイオードPDに蓄積された信号電荷は、トランスファゲート3を介してその脇部の垂直電荷転送路1に読み出される。
ドライバ5は、垂直電荷転送路1上の4層転送電極V1〜V4に4相駆動パルスφV1〜φV4をそれぞれ供給する。これにより、垂直電荷転送路1は、駆動パルスφV1〜φV4に応じて、信号電荷を下から上方向(垂直方向)に4相駆動で転送する。
図13、図14の横軸は時間を示す。電極V1〜V4において、図14に示すようにハッチ付きで表した電極は、Loレベルの電圧が印加され、その電極に対応する垂直電荷転送路上のポテンシャルは浅くなっている。一方、ハッチ無しの電極はハイレベルの電圧が印加され、その電極に対応する垂直電荷転送路上のポテンシャルが深くなっている。すなわち、ハッチ無しの電極の垂直電荷転送路にパケットが形成され、電荷が蓄積・転送される。
次に、上記4相駆動を8相駆動にした場合の垂直電荷転送路について説明する。図15は従来の固体撮像素子の構成を概略的に表した模式図、図16は従来の固体撮像素子における垂直電荷転送路に供給する8相駆動パルスのタイミングチャート、図17は従来の固体撮像素子による8相駆動の垂直電荷転送路の制御方法を示すタイムチャートである。
フォトダイオードPDの側方には、垂直電荷転送路が設けられ、その上方には8相電極V1〜V8が設けられる。他の構成は、図12に示した4相駆動の固体撮像素子と同様である。図16,図17において、横軸は時間を示す。電極V1〜V8において、ハッチ付きで表した電極とハッチ無しの電極の意味は上記同様である。垂直電荷転送路の電極V1〜V8には8相駆動パルスが供給され、垂直電荷転送路は8相駆動で信号電荷を転送する。
図18は図12のI−I断面を(a)、(a)における電位分布を(b)に表した模式図である。
固体撮像素子では、図18(a)に示すように、n型のシリコン基板の表面にp型の不純物ウェル層11が形成され、さらにその上にSiN/SiO2/SiN膜(ONO膜)からなる絶縁層(図示せず)が形成されている。また、不純物層11の表面から高濃度のp型不純物層13と、さらにその下部にn型不純物層15が形成され、これにより光に感応して電荷を発生する光電変換素子(フォトダイオード)17が構成されている。
本発明は上記状況に鑑みてなされたもので、フォトダイオードの読み出しゲートに空乏化された領域が発生せず、暗電流がフォトダイオード内に蓄積されない固体撮像素子及びその駆動方法を提供し、もって、画像データに含まれる白キズの低減を図ることを目的とする。
(1) 光に感応して電荷を発生する光電変換素子を複数行、複数列に亘って行列状に配置した画素部と、前記光電変換素子に隣接して帯状に設けられ該光電変換素子が発生した信号電荷を転送する複数の電荷転送部とが半導体基板表面層に形成され、タイミング信号供給部から前記電荷転送部の電荷転送を行う駆動パルスを供給する固体撮像素子であって、
前記電荷転送部が、
前記光電変換素子から電荷の読み出し転送と前記電荷転送部に沿った信号電荷の転送とを行うための第1転送電極と、
前記第1転送電極同士の間に設けられ前記電荷転送部に沿った信号電荷の転送を行うための第2転送電極と、を有し、
前記タイミング信号供給部が、前記電荷転送路に沿った信号電荷の転送時には、前記第1、第2転送電極に駆動用パルス信号を供給し、
前記電荷転送部に沿った信号電荷の転送停止時に、前記第1転送電極が前記光電変換素子に対して暗電流を生じさせないレベルのバリア電位となるパルス信号を供給する固体撮像素子。
前記転送する信号電荷は電子であり、前記バリア電位となるパルス信号が、ローレベルの信号である固体撮像素子。
前記電荷転送路に沿った信号電荷の転送時には、前記光電変換素子から電荷の読み出し転送と前記電荷転送部に沿った信号電荷の転送とを行うための第1転送電極と、前記第1転送電極同士の間に設けられ前記電荷転送部に沿った信号電荷の転送を行うための第2転送電極に対して、駆動用パルス信号を供給し、
前記電荷転送部に沿った信号電荷の転送停止時に、前記第1転送電極が前記光電変換素子に対して暗電流を生じさせないレベルのバリア電位となるパルス信号を供給する固体撮像素子の駆動方法。
前記駆動用パルス信号が、4相駆動用のパルス信号である固体撮像素子の駆動方法。
前記駆動用パルス信号が、8相駆動用のパルス信号である固体撮像素子の駆動方法。
図1は本発明に係る固体撮像素子の構成を概略的に表した模式図である。
本実施の形態によるCCD等の固体撮像素子100は、光に感応して電荷を発生する光電変換素子(フォトダイオード)31を複数行、複数列に亘って行列状に配置した画素部33と、これら画素部33に隣接して設けられ光電変換素子31が発生した信号電荷を列方向に転送する複数の垂直シフトレジスタ35と、各垂直シフトレジスタ35の列方向一端側に配置され垂直シフトレジスタ35から転送される信号電荷を行方向に転送する水平転送部(水平シフトレジスタ)37と、この水平シフトレジスタ37の電荷転送方向下流側に接続され転送されてくる信号を電圧値に変換して出力する出力アンプ39と、各フォトダイオード31に隣接するオーバーフロードレインと、を基板41の表面層に形成している。なお、本実施の形態では、基板41がオーバーフロードレインとなる。
図2に示すように、固体撮像素子100では、垂直方向Yの各奇数列(又は偶数列)に配列されたフォトダイオード31(PD Xn)に対して、各偶数列(又は奇数列)のフォトダイオード31(PD Xn+1)が位相差である半ピッチ分の位置ずれを持って形成されている。
図4は図2に示した垂直電荷転送路に供給する4相駆動パルスのタイミングチャート、図5は本発明に係る固体撮像素子による4相駆動の垂直電荷転送路の制御方法を示すタイムチャートである。
本実施の形態による固体撮像素子の駆動方法では、駆動用パルス信号が、4相駆動用のパルス信号であるので、4相電極のうち、異なる時刻で2電極がローレベルになる一方、1電極がローレベルになり、これを交互に繰り返す。これにより、パケット内の電荷が移動される。
図6は8相駆動における垂直転送路の配置を表す平面図、図7は8相駆動における電極の配置を表す模式図、図8は図6に示した垂直電荷転送路に供給する8相駆動パルスのタイミングチャート、図9は本発明に係る固体撮像素子による8相駆動の垂直電荷転送路の制御方法を示すタイムチャートである。なお、図1〜図5に示した部位と同等の部位には同一の符号を付し重複する説明は省略する。
本実施の形態による固体撮像素子は、駆動用パルス信号が、8相駆動用のパルス信号となる。転送電極53は、8相転送電極V1〜V8が繰り返し設けられることで形成されている。この転送電極V1〜V8のうち、トランスファゲート55を介してフォトダイオード31に接続されたものが第1転送電極53a(V2,V4,V6,V8)となり、フォトダイオード31に接続されていないものが第2転送電極53b(V1,V3,V5,V7)となる。
図10は正方格子構造の4相駆動における垂直転送路の配置を表す平面図、図11は正方格子構造の4相駆動における電極の配置を表す模式図である。
上記図を前述のハニカム構造における固体撮像装置の駆動方法と照らし合わせてみると、同様の駆動により撮像処理が行えることが分かる。
このように、本発明に係る固体撮像素子及びその駆動方法は、直線状の垂直電荷転送路51Aに沿って、フォトダイオード31が行列状に配置される正方格子構造の固体撮像素子にも適用でき、上記と同様の効果を奏するものである。
33 画素部
41 半導体基板
43 タイミング信号供給部
51 垂直電荷転送路(電荷転送部)
53a 第1転送電極
53b 第2転送電極
100 固体撮像素子
Claims (5)
- 光に感応して電荷を発生する光電変換素子を複数行、複数列に亘って行列状に配置した画素部と、前記光電変換素子に隣接して帯状に設けられ該光電変換素子が発生した信号電荷を転送する複数の電荷転送部とが半導体基板表面層に形成され、タイミング信号供給部から前記電荷転送部の電荷転送を行う駆動パルスを供給する固体撮像素子であって、
前記電荷転送部が、
前記光電変換素子から電荷の読み出し転送と前記電荷転送部に沿った信号電荷の転送とを行うための第1転送電極と、
前記第1転送電極同士の間に設けられ前記電荷転送部に沿った信号電荷の転送を行うための第2転送電極と、を有し、
前記タイミング信号供給部が、前記電荷転送路に沿った信号電荷の転送時には、前記第1、第2転送電極に駆動用パルス信号を供給し、
前記電荷転送部に沿った信号電荷の転送停止時に、前記第1転送電極が前記光電変換素子に対して暗電流を生じさせないレベルのバリア電位となるパルス信号を供給する固体撮像素子。 - 請求項1記載の固体撮像素子であって、
前記転送する信号電荷は電子であり、前記バリア電位となるパルス信号が、ローレベルの信号である固体撮像素子。 - 光に感応して電荷を発生する光電変換素子を複数行、複数列に亘って行列状に配置した画素部と、前記光電変換素子に隣接して帯状に設けられ該光電変換素子が発生した信号電荷を転送する複数の電荷転送部とが半導体基板表面層に形成され、前記電荷転送部の電荷転送を行う駆動パルスを供給するタイミング信号供給部を備えた固体撮像素子の駆動方法であって、
前記電荷転送路に沿った信号電荷の転送時には、前記光電変換素子から電荷の読み出し転送と前記電荷転送部に沿った信号電荷の転送とを行うための第1転送電極と、前記第1転送電極同士の間に設けられ前記電荷転送部に沿った信号電荷の転送を行うための第2転送電極に対して、駆動用パルス信号を供給し、
前記電荷転送部に沿った信号電荷の転送停止時に、前記第1転送電極が前記光電変換素子に対して暗電流を生じさせないレベルのバリア電位となるパルス信号を供給する固体撮像素子の駆動方法。 - 請求項3記載の固体撮像素子の駆動方法であって、
前記駆動用パルス信号が、4相駆動用のパルス信号である固体撮像素子の駆動方法。 - 請求項3記載の固体撮像素子の駆動方法であって、
前記駆動用パルス信号が、8相駆動用のパルス信号である固体撮像素子の駆動方法。
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