JP2007305308A - 大気圧プラズマ発生装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】アンテナと、アンテナの近傍に配置され、一端にガスGが供給される放電管8と、アンテナにVHF周波数帯の高周波電力を供給する高周波電源と、アンテナと高周波電源の間に設けられた整合回路や位相回路を備えた大気圧プラズマ発生装置1において、アンテナを第1の基板2上に配置するとともに、第1の基板2上に第2、第3の基板3、4を積層して積層基板5を構成し、アンテナを第1と第2の基板2、3の間に挟み、整合回路や位相回路を構成する平面状のリアクタンス素子を第2と第3の基板3、4の間に挟んで配置した。
【選択図】図1
Description
まず、本発明の大気圧プラズマ発生装置の第1の実施形態について、図1〜図4を参照して説明する。
次に、本発明の第2の実施形態について、図5、図6を参照して説明する。なお、以下の実施形態の説明においては、先行する実施形態と共通の構成要素については同一の参照符号を付して説明を省略し、主として相違点についてのみ説明する。
次に、本発明の第3の実施形態について、図7〜図10を参照して説明する。
2 第1の基板
3 第2の基板
4 第3の基板
5 積層基板
6 アンテナ
8 放電管
9 同軸ケーブル
11 コネクタ
12 配線
13 可変コンデンサ(立体形状のリアクタンス素子)
14 可変コンデンサ(立体形状のリアクタンス素子)
15 インダクタンス素子(平板状のリアクタンス素子)
16 固定コンデンサ(立体形状のリアクタンス素子)
18a、18b 接続部
19a、19b 接続部
36 整合回路
41 位相回路
G ガス
P プラズマ
Claims (11)
- アンテナと、アンテナの近傍に配置され、一端にガスが供給される放電管と、アンテナに高周波電力を供給する高周波電源と、アンテナと高周波電源の間に設けられ、アンテナからの反射波を調整する整合回路とを備えた大気圧プラズマ発生装置において、アンテナを基板上に配置するとともに、前記基板上に1又は複数の基板を積層して積層基板を構成し、整合回路を構成する平面状のリアクタンス素子を、積層基板上に配設又は、積層基板における基板の間に挟んで配置したことを特徴とする大気圧プラズマ発生装置。
- アンテナと、アンテナの近傍に配置され、一端にガスが供給される放電管と、アンテナに高周波電力を供給する高周波電源と、アンテナと高周波電源の間に設けられ、アンテナからの反射波を調整する整合回路と、アンテナと整合回路との間に設けられ、アンテナ近傍の位相を調整する位相回路とを備えた大気圧プラズマ発生装置において、アンテナを基板上に配置するとともに、前記基板上に1又は複数の基板を積層して積層基板を構成し、整合回路又は位相回路を構成する平面状のリアクタンス素子を、積層基板上に配設又は、積層基板における基板の間に挟んで配置したことを特徴とする大気圧プラズマ発生装置。
- 平面状のアンテナを積層基板における基板の間に挟んで配置し、アンテナを挟む基板上に平面状のリアクタンス素子を配置したことを特徴とする請求項1又は2記載の大気圧プラズマ発生装置。
- 放電管とその回りに複数巻かれたアンテナとを積層基板における基板の間に挟んで配置し、放電管とアンテナを挟む基板上に平面状のリアクタンス素子を配置したことを特徴とする請求項1又は2記載の大気圧プラズマ発生装置。
- リアクタンス素子は、基板上に導体を渦巻き状に配置したインダクタンス素子であることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の大気圧プラズマ発生装置。
- 基板上に設けた配線を積層基板における基板の間に挟んで配置したことを特徴とする請求項1〜5の何れかに記載の大気圧プラズマ発生装置。
- アンテナを配置した基板上に整合回路を構成し又は整合回路と位相回路を構成する立体形状のリアクタンス素子を配置し、この立体形状のリアクタンス素子を基板にて接触状態で覆って積層基板に内蔵させたことを特徴とする請求項1〜6の何れかに記載の大気圧プラズマ発生装置。
- 積層基板における基板に形成した互いに接続すべき配線の接続部を互いに重なるように配設し、基板を相互に圧接状態で結合して接続部を接続したことを特徴とする請求項1〜7の何れかに記載の大気圧プラズマ発生装置。
- 積層基板内に、アンテナと、放電管と、整合回路と位相回路の両者又は整合回路のみと、それらを接続する配線、及び電力供給用同軸ケーブルを接続する同軸コネクタとを内蔵させたことを特徴とする請求項1〜8の何れかに記載の大気圧プラズマ発生装置。
- 基板は、アルミナ、サファイヤ、アルミナイトライド、シリコンナイトライド、窒化ホウ素、及び炭化ケイ素からなる群から選ばれた材料から成ることを特徴とする請求項1〜9の何れかに記載の大気圧プラズマ発生装置。
- 請求項1〜10の何れかに記載の大気圧プラズマ発生装置を、ロボット装置のX、Y、Z方向に移動可能な可動ヘッドに搭載したことを特徴とする大気圧プラズマ処理装置。
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