JP2007299853A - 電子ビーム露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電子ビーム露光装置100は、電子ビームを偏向させる偏向手段119と、ウエハステージの位置を検出するステージ位置検出手段43と、ステージ位置検出手段によって検出したウエハステージの移動距離及び移動に要した時間からウエハステージの移動速度を算出するステージ位置演算手段44とを有する。ステージ位置演算手段は、移動速度を基にステージ位置検出手段の測長周期より短い補間時間に対するウエハステージの位置変化量を算出し、ステージ位置検出手段によって測長されるステージ位置に位置変化量を補間時間に同期して順次加算したステージ位置移動量を算出し、ステージ位置移動量に対応する電子ビーム偏向量を算出する。
【選択図】図4
Description
図3に、本実施形態に係る電子ビーム露光装置の構成図を示す。
図4(a)に、ステージフィードバック部300の構成図を示す。
以下に、本実施形態で行う予測補間演算について、図5を参照しながら説明する。
以下に、図6のフローチャートを参照して、予測補間演算を採用したステージフィードバック処理について説明する。
(メモリを利用した予測補間演算)
次に、メモリを利用した予測補間演算について説明する。
Claims (6)
- 電子ビームを発生させる電子銃と、
前記電子ビームを偏向させる偏向手段と、
ウエハが載置されるウエハステージと、
ウエハステージの位置を検出するステージ位置検出手段と、
前記ステージ位置検出手段によって検出した前記ウエハステージの移動距離及び該移動に要した時間から前記ウエハステージの移動速度を算出し、該移動速度を基に前記ステージ位置検出手段の測長周期より短い補間時間に対する前記ウエハステージの位置変化量を算出し、前記ステージ位置検出手段によって測長されるステージ位置に前記位置変化量を前記補間時間に同期して順次加算したステージ位置移動量を算出し、該ステージ位置移動量に対応する電子ビーム偏向量を算出するステージ位置演算手段と、
前記電子ビーム偏向量に基づいて前記偏向手段に前記電子ビームを偏向させる偏向制御手段と
を有することを特徴とする電子ビーム露光装置。 - 前記ステージ位置演算手段は、前記位置変化量を、前記ウエハステージの移動速度と前記補間時間とを乗算して算出することを特徴とする請求項1に記載の電子ビーム露光装置。
- 更に、前記ウエハステージの移動速度に応じた前記位置変化量が格納されたメモリを有し、
前記ステージ位置演算手段は、前記ウエハステージの移動速度に対応する値をアドレスとして前記メモリにアクセスし、前記ウエハステージの移動速度に応じた前記位置変化量を前記メモリから抽出することを特徴とする請求項1に記載の電子ビーム露光装置。 - 前記ステージ位置演算手段は、前記位置変化量が所定の値以下になるように前記補間時間を決定することを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の電子ビーム露光装置。
- 前記所定の値は1nmであることを特徴とする請求項4に記載の電子ビーム露光装置。
- 前記ステージ位置演算手段は、前記移動速度が20mm/s以上であると判定したとき、前記位置変化量、ステージ位置移動量、及び電子ビーム偏向量を算出することを特徴とする請求項1に記載の電子ビーム露光装置。
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