JP2007289807A - 超音波洗浄装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】超音波照射域が一点のみならず、線状(ライン状)にも可能であり、かつ複数の装置を並べて配置することができ、ノズルを揺動する必要もなく、設置スペースの自由度の高い超音波洗浄装置の提供にある。
【解決手段】筐体11と、該筐体の先端部に取り付けられ吐出孔12aの直径が一定の直線状丸孔に形成され、かつ後端部12b面がその外縁から前記吐出孔に向かって所定の傾斜角で下降する円錐状に形成されたノズル12と、該ノズルの後端部に対向して配置された円板状の超音波振動子13と、前記筐体の側面に形成された洗浄液供給口14と、ノズルの吐出孔12aに連設して、該吐出孔から噴出された洗浄液及び超音波を伝達するための超音波伝達管20を配置した。
【選択図】図1
Description
この装置は、先ず洗浄液供給口から供給される洗浄液で内部を満し、内部を満した洗浄液を洗浄液噴出口から噴出させるとともに残余をオーバーフロー排出口より排出するケースを備えている。
また、ケースの洗浄液噴出口に対向する面には洗浄液噴出口に向けてケース内に超音波を送出する超音波振動子を備えているとともに、洗浄液供給口に対向して、洗浄液供給口と超音波振動子間に整流板を配置したものである。
この装置100は、図19に示すように、筐体101の先端部に取り付けられたノズル102と、該ノズル102の後端部に対向して配置された円板状の超音波振動子103と、筐体の側面に形成された洗浄液の供給口104とを有し、該供給口から供給された洗浄液と超音波振動子から放射された超音波とをノズルの先端から噴射してノズルの前方に配置された被洗浄物110を洗浄する超音波シャワー洗浄装置であって、前記ノズル102の吐出孔102aを直径が一定の直線状丸孔に形成するとともに、前記ノズルの後端部面102bをその外縁から前記吐出孔102aに向かって所定の傾斜角で下降する円錐状に構成したものである。
筐体と、該筐体の先端部に取り付けられ吐出孔の直径が一定の直線状丸孔に形成され、かつ後端部面がその外縁から前記吐出孔に向かって所定の傾斜角で下降する円錐状に形成されたノズルと、該ノズルの後端部に対向して配置された円板状の超音波振動子と、前記筐体の側面に形成された伝達液排出口とを備えた第2の超音波洗浄装置と、
を有し、前記第1の超音波洗浄装置のノズルの吐出孔と、前記第2の超音波洗浄装置のノズルの吐出孔との間を、伝達液供給管から供給された伝達液を保持・通過させるとともに超音波振動子からの超音波を被洗浄物に対し伝達・照射するため超音波伝達管によって連通させたものである。
また、超音波伝達管の先端部を閉塞し、側面に洗浄液と超音波振動子から放射された超音波とを被洗浄物に対し噴出・照射するため噴出孔を設けた場合は、従来のスポットシャワー形式ではなく、線状(ライン状)に被洗浄物を洗浄できるので、被洗浄物の幅分だけ噴出孔を設けておけば超音波洗浄装置のノズル部分を揺動させる装置は不要となり、装置全体を簡素化することができる。
また、超音波伝達管の側面の超音波透過・不透過の範囲を自由に形成できるので、被洗浄物の形状に合わせて超音波照射領域を形成することができる。
更に、超音波伝達管の外側のみが洗浄液と接触し、超音波洗浄装置のノズルや内部部品が洗浄液と接触しないので、超音波洗浄装置内部からの汚染を気にする必要がなく、超音波伝達管のみクリーン度を高くしておけば、容易にクリーンな洗浄効果を得ることができる。
更に、超音波伝達管を請求項10記載のような材質にすると、耐久性を向上させることができる。なお、超音波伝達管として高純度石英を用いる場合は、外側をステンレス材等の金属材料にて覆うと、石英管の割れを防止することができる(請求項11)。
図1は、本発明に係る超音波洗浄装置の実施の形態の断面図である。
図に示すように、この実施の形態に係る超音波洗浄装置10は、略円筒状のケース(筐体)11を有しており、該ケース11の先端部にはノズル12が取り付けられている。また、ケース11内には、前記ノズル12の後端部12bに対向して円板状の超音波振動子13が配置されている。この超音波振動子13は一体構成により円板状の振動板13aを有しており、該振動板13aの表面が超音波振動子13の振動面としてノズル12の後端部12bに対向している。また、ケース11の側面には洗浄液を供給するための供給口14が形成されている。なお、符号15は、ボルト孔であって、この超音波洗浄装置10を使用する際に他の機材にボルト止めするためのものである。
また、図12に示すように、2台の超音波洗浄装置10のノズル12間を連通する超音波伝達管20を直線状にして、広い範囲に噴出孔20bを設ければ、大きな面積を有する被洗浄物Mの洗浄も行うことができる。
また、被洗浄物の下面(裏面)を洗浄する場合には、噴出孔20bを上側に向ければ良いことになる。
この超音波洗浄装置10は、請求項4〜6記載の発明に相当するもので、洗浄液S中を通過又は洗浄液中に浸漬された被洗浄物を洗浄するための超音波洗浄装置である。
図14(a)に示すように、筐体11の側面に伝達液供給口17及び排出口18とが設けられている。また、ノズル12の吐出孔12aに連設して、超音波伝達管20が配置されている。この超音波伝達管20は伝達液供給口17から吐出孔12aを経由して供給された伝達液を保持するとともに超音波振動子13からの超音波を伝達液を介して洗浄液S中に置かれた被洗浄物に対し伝達・照射するようにしている。
そして、両方の超音波洗浄装置10から伝達液を介して伝達された超音波は超音波伝達管20の超音波が透過できる部分から洗浄液中に超音波を照射して、洗浄液中に浸漬された被洗浄物を超音波洗浄する。両方から超音波を送るので、洗浄効果を倍増することができる。
また、(b)は超音波伝達管20を並べたもので、下側が超音波を透過する厚さに形成し、上側は超音波を透過しない厚さに形成したものである。なお、この場合も、超音波洗浄装置10を1台として、超音波伝達管20を被洗浄物Mに対向する位置において複数に分岐させたり、或いはトグロを巻かせたり、往復させたりしても良く、また複数台の超音波洗浄装置10を並設したものでも良い。
また、(a)、(b)何れの形式でも、被洗浄物の下面を洗浄する際には、超音波を透過する面を上側に向けることで対応することができる。
11 ケース(筐体)
12 ノズル
12a 吐出孔
12b ノズル後端部
12c 整流機構
12c1 鍔部
12c2 鍔部
13 超音波振動子
13a 振動板
14 洗浄液供給口
15 ボルト孔
17 伝達液供給口
18 伝達液排出口
20 超音波伝達管
20a 先端部
20b 噴出孔
M 被洗浄物
S 洗浄液
Claims (11)
- 筐体と、該筐体の先端部に取り付けられ吐出孔の直径が一定の直線状丸孔に形成され、かつ後端部面がその外縁から前記吐出孔に向かって所定の傾斜角で下降する円錐状に形成されたノズルと、該ノズルの後端部に対向して配置された円板状の超音波振動子と、前記筐体の側面に形成された洗浄液供給口とを備えた超音波洗浄装置において、
前記ノズルの吐出孔に連設して、該吐出孔から噴出された洗浄液及び超音波を伝達するための超音波伝達管を配置したことを特徴とする超音波洗浄装置。 - 前記超音波伝達管の先端部は、洗浄液と超音波振動子から放射された超音波とを被洗浄物に対し噴出・照射するため開放されていることを特徴とする請求項1記載の超音波洗浄装置。
- 前記超音波伝達管の先端部は閉塞され、側面には洗浄液と超音波振動子から放射された超音波とを被洗浄物に対し噴出・照射するため噴出孔が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の超音波洗浄装置。
- 筐体と、該筐体の先端部に取り付けられ吐出孔の直径が一定の直線状丸孔に形成され、かつ後端部面がその外縁から前記吐出孔に向かって所定の傾斜角で下降する円錐状に形成されたノズルと、該ノズルの後端部に対向して配置された円板状の超音波振動子と、前記筐体の側面に形成された伝達液供給口及び排出口とを備えた超音波洗浄装置であって、
前記ノズルの吐出孔に連設して、該吐出孔から供給された伝達液を保持するとともに超音波振動子からの超音波を被洗浄物に対し伝達・照射するため超音波伝達管を配置したことを特徴とする超音波洗浄装置。 - 前記超音波伝達管の側面は超音波が透過しない厚さで形成され、先端面は超音波を透過する厚さに形成されていることを特徴とする請求項4記載の超音波洗浄装置。
- 前記超音波伝達管の先端面は超音波が透過しない厚さで形成され、側面の一部が超音波を透過する厚さに形成されていることを特徴とする請求項4記載の超音波洗浄装置。
- 筐体と、該筐体の先端部に取り付けられ吐出孔の直径が一定の直線状丸孔に形成され、かつ後端部面がその外縁から前記吐出孔に向かって所定の傾斜角で下降する円錐状に形成されたノズルと、該ノズルの後端部に対向して配置された円板状の超音波振動子と、前記筐体の側面に形成された伝達液供給口とを備えた第1の超音波洗浄装置と、
筐体と、該筐体の先端部に取り付けられ吐出孔の直径が一定の直線状丸孔に形成され、かつ後端部面がその外縁から前記吐出孔に向かって所定の傾斜角で下降する円錐状に形成されたノズルと、該ノズルの後端部に対向して配置された円板状の超音波振動子と、前記筐体の側面に形成された伝達液排出口とを備えた第2の超音波洗浄装置と、
を有し、前記第1の超音波洗浄装置のノズルの吐出孔と、前記第2の超音波洗浄装置のノズルの吐出孔との間を、伝達液供給管から供給された伝達液を保持・通過させるとともに超音波振動子からの超音波を被洗浄物に対し伝達・照射するため超音波伝達管によって連通させたことを特徴とする超音波洗浄装置。 - 前記超音波伝達管の中央部の側面の一部が、超音波を透過する厚さに形成されていることを特徴とする請求項7記載の超音波洗浄装置。
- 前記超音波伝達管は、フレキシブルの材質で構成されていることを特徴とする請求項1〜8の何れか1項記載の超音波洗浄装置。
- 前記超音波伝達管は、高純度石英、高純度SiC、高純度Al2O3やステンレス材にて形成されていることを特徴とする請求項1〜8の何れか1項記載の超音波洗浄装置。
- 前記超音波伝達管は、内側が高純度石英管で構成され、外側をステンレス材や他の金属材で覆った構造であることを特徴とする請求項10記載の超音波洗浄装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006117791A JP4705509B2 (ja) | 2006-04-21 | 2006-04-21 | 超音波洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006117791A JP4705509B2 (ja) | 2006-04-21 | 2006-04-21 | 超音波洗浄装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009109472A Division JP4814973B2 (ja) | 2009-04-28 | 2009-04-28 | 超音波洗浄装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007289807A true JP2007289807A (ja) | 2007-11-08 |
JP4705509B2 JP4705509B2 (ja) | 2011-06-22 |
Family
ID=38760950
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006117791A Active JP4705509B2 (ja) | 2006-04-21 | 2006-04-21 | 超音波洗浄装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4705509B2 (ja) |
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---|---|
JP4705509B2 (ja) | 2011-06-22 |
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Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090908 |
|
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A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
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