JP2007288101A - プローバにおけるウエハ保持方法、プローバ及び高熱伝導性シート - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエハW上に形成された複数の半導体装置をテスタで検査をするために、テスタ21,22の各端子を半導体装置の電極に接続するプローバにおいて、ウエハWをプローバのウエハチャック11に保持するウエハ保持方法であって、ウエハチャック11上に、高熱伝導性シート60を載置し、高熱伝導性シート60上にウエハを載置して保持する。ウエハチャック11は、ウエハWを保持する時には先端が載置面31より下側に位置し、ウエハを上方に移動させる時には先端が載置面より上側に移動するリフトピン51を備え、高熱伝導性シート60は、リフトピン51が通過するピン穴61を備える。
【選択図】図3
Description
31 載置面
41 溝
43 真空吸着経路
51 リフトピン
52 穴
60 高熱伝導性シート(カーボンシート)
61 ピン穴
62 吸着穴列
62A 吸着穴
W ウエハ
Claims (8)
- ウエハ上に形成された複数の半導体装置をテスタで検査をするために、前記テスタの各端子を前記半導体装置の電極に接続するプローバにおいて、前記ウエハを前記プローバのウエハチャックに保持するウエハ保持方法であって、
前記ウエハチャック上に、高熱伝導性シートを載置し、
前記高熱伝導性シート上に前記ウエハを載置して保持することを特徴とするウエハ保持方法。 - 前記ウエハチャックは、前記ウエハを保持する時には先端が載置面より下側に位置し、前記ウエハを上方に移動させる時には前記先端が前記載置面より上側に移動するリフトピンを備え、
前記高熱伝導性シートは、前記リフトピンが通過するピン穴を備える請求項1に記載のウエハ保持方法。 - 前記高熱伝導性シートは、前記リフトピンの先端が前記載置面より上側に移動した状態で、前記高熱伝導性シートの前記ピン穴が前記リフトピンを通過するようにして位置決めして載置される請求項2に記載のウエハ保持方法。
- 前記ウエハチャックは、一部が前記ウエハチャックの載置面に露出した前記ウエハを吸着して保持するためのウエハ真空吸着経路を備え、
前記高熱伝導性シートは、前記ウエハチャックの載置面の前記ウエハ真空吸着経路の露出部分に対応した吸着穴を備える請求項1から3のいずれか1項に記載のウエハ保持方法。 - 前記ウエハチャックは、一部が前記ウエハチャックの載置面に露出した前記高熱伝導性シートを吸着して保持するためのシート真空吸着経路を備える請求項4に記載のウエハ保持方法。
- ウエハ上に形成された複数の半導体装置をテスタで検査をするために、前記テスタの各端子を前記半導体装置の電極に接続するプローバであって、
前記ウエハを保持するウエハチャックと、
一部が前記ウエハチャックの載置面に露出した前記ウエハを吸着して保持するための第1真空吸着経路と、
一部が前記ウエハチャックの載置面に露出した前記第1真空吸着経路とは異なる第2真空吸着経路と、を備えるプローバ。 - ウエハ上に形成された複数の半導体装置をテスタで検査をするために、前記テスタの各端子を前記半導体装置の電極に接続するプローバにおいて、前記プローバのウエハチャック上に前記ウエハを保持する時に、前記ウエハチャックと前記ウエハの間に配置される高熱伝導性シートであって、
前記ウエハチャックに設けられ、前記ウエハを保持する時には先端が載置面より下側に位置し、前記ウエハを上方に移動させる時には前記先端が前記載置面より上側に移動するリフトピンが通過するピン穴を備える高熱伝導性シート。 - 前記ウエハチャックに設けられ、前記ウエハを吸着して保持するためのウエハ真空吸着経路の前記ウエハチャックの載置面に露出した部分に対応した吸着穴を更に備える請求項7に記載の高熱伝導性シート。
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