JP2007276987A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

【構成】 スタッカークレーン４の台車６に前後で連通したダクト１６を設け、走行方向前方の空気をダクト１６から走行方向後方へ排出し、床面からの汚染空気の巻き上げを防止する。
【効果】 スタッカークレーンの走行方向後方で、汚染空気が巻き上げられ、ステーションへ侵入するのを防止できる。
【選択図】 図１

Description

この発明はスタッカークレーンや有軌道台車等の搬送装置に関し、特にクリーンルームでの汚染空気の巻き上げの防止に関する。

クリーンルーム内で物品を搬送するスタッカークレーンや有軌道台車の場合、走行風による汚染空気の巻き上げが問題になる。出願人はこのため、スタッカークレーンの前後に風防を設け、スタッカークレーンの外形を流線化することを提案した（特許文献１）。しかしながらスタッカークレーンの機体長には自ずと制約が有り、限られた範囲に風防を設けても流線化は不十分で、スタッカークレーンの走行方向後方で床面付近の汚染空気が巻き上げられることが判明した。

図６に特許文献１のスタッカークレーンを示すと、台車６には駆動輪１０と従動輪１１が設けられて、走行レール２０を走行し、スライドフォーク７を備えた昇降台８はマスト９に沿って昇降する。１２は走行モータ、１４は昇降モータで、４０，４０は前後一対の風防である。ここでスタッカークレーンが図６の右向きに走行すると、周囲の空気は白抜き矢印のように流れ、走行方向後方では走行で生じた気流のため乱流が生じて、床面付近の汚染空気が巻き上げられて、図の破線のような乱流が生じ、ステーション内へ侵入する。風防４０の長さを充分に大きくすると、走行により生じた気流が走行方向後方で床面付近まで層流のまま導かれて、乱流の発生を防止できる。しかしこのようにすると、スタッカークレーンの機体長が著しく長くなり、現実的ではない。
特開２０００−１６５２０号公報

この発明の課題は、床面付近の汚染空気が巻き上がりステーションへ侵入することを防止することにある。
請求項２の発明での追加の課題は、走行方向左右何れの側のステーションに対しても、汚染空気の侵入を防止することにある。
請求項３の発明での追加の課題は、汚染空気の巻き上がりをより確実に防止することにある。

この発明の搬送装置は、搬送方向に沿って前後に延びるダクトを形成すると共に、少なくとも前記ダクトの排気高さを、搬送装置と物品を受け渡しするステーションの移載レベルよりも低くしたものである。搬送装置の種類は例えばスタッカークレーンや有軌道台車とし、例えば搬送台車に移載装置を設置したものである。

好ましくは、前記ダクトを左右両側に設ける。

また好ましくは、少なくとも前記ダクトの排気側に整流手段を設ける。

この発明では、搬送装置の走行に伴い、走行方向前方の空気がダクトから走行方向後方へ排気される。排気された空気は一種のエアカーテンとして作用し、床面付近の空気が巻き上げられるのを防止する。そしてダクトの排気高さをステーションの移載レベルよりも低くすると、床面付近の汚染空気のみならずダクトからの排気も、ステーションへ侵入するのを防止できる。

ステーションは一般に搬送装置の双方向の左右両側に設けられることが多いので、ダクトを搬送装置の左右両側に設けると、左右何れのステーションに対しても、汚染空気の侵入をより確実に防止できる。

ダクトの排気側に整流手段を設けて、ダクトから層流として排気すると、床面からの汚染空気の巻き上げをより確実に防止できる。

以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。

図１〜図５に、実施例のスタッカークレーン４とその変形とを示す。各図において、２は自動倉庫で、クリーンルーム内に設置され、液晶ディスプレイパネルやプラズマディスプレイパネル、半導体カセット、医薬品などを取り扱う。スタッカークレーン４の下部には台車６があり、例えば前後一対のマスト９，９により昇降台８を昇降させて、スライドフォーク７により図示しない物品を、ステーション２２やラック２４との間で移載する。台車６には例えば駆動輪１０と従動輪１１とを設け、走行モータ１２により駆動輪１０を駆動し、昇降モータ１４により図示しない吊持材により昇降台８を昇降させる。

台車６の前後を連通するように左右一対のダクト１６，１６を設け、その空気取り入れ口と排気口とにそれぞれ整流板１８を設ける。実施例のスタッカークレーン４は往復動するので、ダクト１６や整流板１８は前後対称であるが、周回走行する場合、ダクト１６は前後非対称で、整流板１８は走行方向後方のダクトの出口のみに設けても良い。さらに実施例ではダクト１６，１６を左右一対設けるが、一方にのみ設けても良い。またダクト１６，１６の空気取り入れ口や排気口は、台車６の走行方向中央部付近でのダクト１６の幅よりも幅広とするが、同じ幅としても良い。この場合、台車６の前後での左右両端付近の空気を集中的に吸引して、台車６の前後の左右両端付近から集中的に排気する。ここでは整流板１８として板状の部材を用いているが、金網などの他の整流部材でもよい。

スタッカークレーン４の走行方向の左右に、ステーション２２，２２とラック２４，２４を設ける。ラック２４の背面側にはフィルタファンユニット２６を設けて、ラック２４内にクリーンエアを吹き込む。クリーンエアはラック２４からスタッカークレーン４の走行スペース側へ吹き出すので、走行風により汚染空気が巻き上げられても、クリーンエアの流れと衝突して、ラック２４内には侵入しにくい。これに対してステーション２２側にはフィルタファンユニット２６などを設けていないので、走行風により巻き上げられた汚染空気がステーション２２上に侵入しやすい。そしてこの発明の目的は、スタッカークレーン４の走行により巻き上げられた汚染空気が、ステーション２２上へ侵入することを防止することにある。

図２に示すように、ラック２４には支柱２８が設けられ、スタッカークレーン４が図２の右側へ走行すると、図の白抜き矢印で示す走行風が生じる。なお台車６の前後に図６の風防４０を設けても良い。台車６の前面付近の空気は、整流板１８からダクト１６内に入り、走行方向後方の整流板１８で整流されて、層流状に例えば床面に平行に排気される。台車６の前面からダクト１６へ床面付近の空気を吸い込むので、床面付近の汚染された空気を上方や側方へ巻き上げることがなく、ステーション２２へ汚染空気が侵入しない。台車６の後方から排気された空気は一種のエアカーテンとして作用し、床面付近から汚染空気が巻き上げられて、ステーション２２上へ侵入するのを防止する。特に台車６の後方からの排気は整流板１８のために層流として排気され、床面付近から上昇する汚染空気の乱流を防止できる。また走行風のために台車６の後方に気圧の低い部分が生じやすいが、この部分にダクト１６からの排気を注入して気圧の低下を抑制し、床面付近やその他の部分から汚染空気が侵入するのを防止できる。ステーション２２での物品の載置面はステーション２２の上面であり、この高さを移載レベルとし、ダクト１６からステーション２２の上面高さよりも低い高さに空気を排気する。このためダクト１６から排気された空気がステーション２２上へ侵入することもなく、またダクト１６からの排気よりも下側にある床面付近の汚染空気が侵入することもない。

図３に示すように、ダクト１６の空気取り入れ口も排気口も、ステーション２２の上面よりも低い位置にあり、かつスタッカークレーン４の走行方向後方では、左右両側のステーション２２寄りの部分に、ダクト１６からの排気によるエアカーテンが形成される。このためスタッカークレーン４の走行方向後方で、左右方向の中心付近に乱流が生じても、エアカーテンに遮られステーション２２上へは到着し難い。

以上のように実施例では、ダクト１６からスタッカークレーン４の走行方向後方に、層流として空気を排気することにより、乱流の発生を防止する。排気された空気は一種のエアカーテンとして作用し、これよりも低い高さにある床面付近の汚染空気が巻き上げられるのを防止する。さらに台車の後方に生じる気圧の谷を解消ないしは弱め、適宜の場所から汚染空気が台車の後方に侵入するのを防止する。またスタッカークレーン４の走行方向後方で、左右両側にエアカーテンを形成することにより、走行方向後方での左右方向中心部付近から、汚染空気がステーション２２側へ侵入するのを防止できる。そしてダクト１６から排気される空気の高さは、ステーション２２の上面よりも低く、仮にダクト１６からの排気が汚染されていても、ステーション２２を汚染しない。

スタッカークレーン４の走行方向前方では、台車６の前面に衝突する空気をダクト１６へ吸引し、この空気が巻き上げられてステーション２２が汚染されないようにする。なおスタッカークレーン４の付近で最も汚染されているのは床面付近の空気であり、この空気は台車６の底部と床面の間から逃げるため、台車６の前面では汚染空気の巻き上げが少ない。

実施例では整流板１８の向きを水平にしたが、図４のようにダクト１６内から下向きに排気し、ダクト１６内へ上向きに給気しても良い。ただしこのようにすると、ダクト１６の空気抵抗が増し好ましくない。

図５に変形例のスタッカークレーンを示し、図１〜図４と同じ符号は同じものを表す。３５は走行モータで、台車の左右方向中心から一方に寄せて配置してあるので、左右一対のダクト３０，３１の内、走行モータ３５寄りのダクト３１の幅を狭くする。３２，３３は新たな整流板である。他の点では図１〜図４の実施例と同様である。

実施例ではスタッカークレーンの左右方向双方にダクトを設けたが、その一方にのみダクトを設けても、あるいは左右方向中心部にダクトを設けても良い。実施例ではスタッカークレーン４を例にしたが、クリーンルーム内を走行する有軌道台車や無人搬送車でも、同様に実施できる。この場合、有軌道台車や無人搬送車の前後を連通させるダクトを例えば台車の左右双方に設け、ダクトの入口と出口には整流板を設け、かつダクトの出口の高さ（排気高さ）を、処理装置などに設けたステーションの高さよりも低くする。

実施例のスタッカークレーンと周囲のステーションなどの平面図 実施例のスタッカークレーンの側面図 実施例のスタッカークレーンと周囲のステーションなどの正面図 実施例のスタッカークレーンでの走行方向後方の気流を模式的に示す図 変形例のスタッカークレーンと周囲のステーションなどの平面図 従来例のスタッカークレーンの側面図

符号の説明

２ 自動倉庫
４ スタッカークレーン
６ 台車
７ スライドフォーク
８ 昇降台
９ マスト
１０ 駆動輪
１１ 従動輪
１２ 走行モータ
１４ 昇降モータ
１６ ダクト
１８ 整流板
２０ 走行レール
２２ ステーション
２４ ラック
２６ フィルタファンユニット
２８ 支柱
３０，３１ ダクト
３２，３３ 整流板
３５ 走行モータ
４０ 風防

Claims (3)

1. 搬送方向に沿って前後に延びるダクトを形成すると共に、少なくとも前記ダクトの排気高さを、搬送装置と物品を受け渡しするステーションの移載レベルよりも低くした搬送装置。
2. 前記ダクトを左右両側に設けたことを特徴とする、請求項１の搬送装置。
3. 少なくとも前記ダクトの排気側に整流手段を設けたことを特徴とする、請求項１または２の搬送装置。
   

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