JP2007270012A - Vacuum suction pad and its manufacturing process - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、真空吸着パッドおよびその製造方法に関し、さらに詳しくは、ワークを吸着保持した後、ワークを確実に脱着することができる真空吸着パッドおよびその製造方法に関する。 The present invention relates to a vacuum suction pad and a method for manufacturing the same, and more particularly to a vacuum suction pad and a method for manufacturing the same that can reliably remove the workpiece after the workpiece is sucked and held.
真空吸着パッドは、真空圧による吸着力によってワークを保持し、必要に応じて所定の位置まで搬送した後、真空圧を解除してワークを脱着するものである。
真空吸着パッドは、通常、天然ゴムや合成ゴムの成形体からなり、ゴム配合剤のブルーミングによるワークの汚染（吸着跡）を防止する観点から、ゴム配合剤の検討（特許文献１参照）、パッドの表面処理の検討（特許文献２参照）などが行われている。
The vacuum suction pad holds the workpiece by the suction force generated by the vacuum pressure, and transports the workpiece to a predetermined position as necessary, and then releases the vacuum pressure to detach the workpiece.
The vacuum suction pad is usually made of a molded body of natural rubber or synthetic rubber. From the viewpoint of preventing contamination (suction mark) of the workpiece due to blooming of the rubber compounding agent, investigation of the rubber compounding agent (see Patent Document 1), pad Study of surface treatment of (see Patent Document 2) and the like have been performed.
然るに、比較的小さな吸着力（例えば１００ｇｆ以下）でワークを保持する真空吸着パッドにおいて、真空吸着パッドの表面（ワークとの接触面）の有する粘着性のために、吸着力を解除してもワークが脱着されないことがあり、これにより、例えば、ワークの搬送装置を含む全体のラインが停止するという問題がある。また、真空吸着パッドの表面が粘着性を有する場合には、当該表面に異物が付着し、これがワークに転移してしまうという問題もある。このため、非粘着性に優れた表面を有する真空吸着パッドの提供が望まれていた。 However, in the vacuum suction pad that holds the workpiece with a relatively small suction force (for example, 100 gf or less), the work piece can be removed even if the suction force is released due to the adhesiveness of the surface of the vacuum suction pad (contact surface with the workpiece). May not be detached, which causes a problem that, for example, the entire line including the workpiece transfer device stops. Moreover, when the surface of the vacuum suction pad has adhesiveness, there is a problem that foreign matter adheres to the surface and is transferred to the workpiece. For this reason, provision of the vacuum suction pad which has the surface excellent in non-adhesiveness was desired.
従来、ゴム製品の表面に非粘着性などの特性を付与するための方法として、シリコーン組成物などからなる処理剤を塗布して表面処理層を形成する方法（例えば、特許文献３〜４参照）などが行われている。
しかし、このような方法により付与される（表面処理層により発現される）非粘着性は未だ不十分であり、また、ゴムの種類によっては、形成された表面処理層がゴム基材から脱離することもある。
However, the non-tackiness imparted by such a method (expressed by the surface treatment layer) is still insufficient, and depending on the type of rubber, the formed surface treatment layer may be detached from the rubber substrate. Sometimes.
本発明は以上のような事情に基づいてなされたものである。本発明の目的は、ワークとの接触面における非粘着性に優れ、比較的小さな吸着力でワークを保持した後であっても、ワークを確実に脱着することができる真空吸着パッドを提供することにある。
本発明の他の目的は、ワークとの接触面における非粘着性に優れた真空吸着パッドの製造方法を提供することにある。
The present invention has been made based on the above situation. An object of the present invention is to provide a vacuum suction pad that is excellent in non-adhesiveness on a contact surface with a workpiece and can reliably detach the workpiece even after the workpiece is held with a relatively small suction force. It is in.
Another object of the present invention is to provide a method of manufacturing a vacuum suction pad that is excellent in non-adhesiveness on a contact surface with a workpiece.
本発明の真空吸着パッドは、ワークを吸着保持するゴム製の真空吸着パッドであって、少なくともワークと接触する表面が、下記式（Ｆ１）で示されるフッ素含有化合物（以下、「特定のフッ素含有化合物」という。）と、式（１）：Ｓｉ（ＯＲ4 ）4 （式中、Ｒ4 は、炭素数１〜４のアルキル基を表す。）で示されるテトラアルコキシシランと、式（２）：Ｔｉ（ＯＲ5 ）4 （式中、Ｒ5 は、炭素数２〜４のアルキル基を表す。）で示されるテトラアルコキシチタンと、式（３）：Ｓｉ（ＯＲ6 ）m Ｒ7 3-m −（ＣＨ2 ）n −Ｒ8 （式中、Ｒ6 はアルキル基またはアルコキシアルキル基を表し、Ｒ7 はアルキル基を表し、ｍは１〜３の整数であり、ｎは０〜５の整数である。また、Ｒ8 は、ゴムのポリマー主鎖との反応性を有する有機官能基を表す。）で示されるシランカップリング剤と、これらを溶解する溶剤とを含有する表面処理剤（以下、「特定の表面処理剤」ともいう。）；により処理されていることを特徴とする。 The vacuum suction pad of the present invention is a rubber vacuum suction pad for sucking and holding a workpiece, and at least the surface in contact with the workpiece has a fluorine-containing compound represented by the following formula (F1) (hereinafter referred to as “specific fluorine-containing”). Compound ”), tetraalkoxysilane represented by formula (1): Si (OR 4 ) 4 (wherein R 4 represents an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms), and formula (2) : Ti (OR 5 ) 4 (wherein R 5 represents an alkyl group having 2 to 4 carbon atoms) and a formula (3): Si (OR 6 ) m R 7 3- m — (CH 2 ) n —R 8 (wherein R 6 represents an alkyl group or an alkoxyalkyl group, R 7 represents an alkyl group, m is an integer of 1 to 3, and n is 0 to 5) is an integer. the, R 8 is an organic functional group having reactivity with the polymer backbone of rubber . A silane coupling agent represented by you), the surface treatment agent containing a solvent capable of dissolving them (hereinafter also referred to as "specific surface treatment agent");., Characterized in that it is processed by the.
（式中、ＲF はフルオロアルキル基を含有する基を表し、Ｒ1 はアルキル基またはアルコキシアルキル基を表し、Ｒ2 およびＲ3 は、同一または異なる、水素原子または１価の有機基を表す。ｘは１〜１００の整数であり、ｙは０〜１００の整数である。） (Wherein R F represents a group containing a fluoroalkyl group, R 1 represents an alkyl group or an alkoxyalkyl group, and R 2 and R 3 represent the same or different hydrogen atoms or monovalent organic groups. X is an integer from 1 to 100, and y is an integer from 0 to 100.)
本発明の真空吸着パッドにおいては、下記の形態が好ましい。
（１）特定のフッ素含有化合物が下記式（Ｆ２）で示される化合物であること。
（２）特定のフッ素含有化合物を示す上記式（Ｆ１）または下記式（Ｆ２）において、ＲF で表されるフルオロアルキル基を含有する基が、−ＣＦ3 、−Ｃ2 Ｆ5 、−Ｃ3 Ｆ7 、−Ｃ6 Ｆ13、−Ｃ7 Ｆ15または−ＣＦ（ＣＦ3 ）［ＯＣＦ2 ＣＦ（ＣＦ3 ）］p ＯＣ3 Ｆ7 （式中、ｐは０，１もしくは２である。）で表されること。
（３）前記テトラアルコキシシランが、テトラメトキシシラン（ＴＭＯＳ）またはテトラエトキシシラン（ＴＥＯＳ）であること。
（４）前記テトラアルコキシチタンが、テトラエトキシチタン、テトライソプロポキシチタンおよびテトラブトキシチタンから選ばれた少なくとも１種であること。
（５）特定の表面処理剤が酸を含有すること。
（６）１００ｇｆ以下の吸着力でワークを保持するものであること。
In the vacuum suction pad of the present invention, the following forms are preferable.
(1) The specific fluorine-containing compound is a compound represented by the following formula (F2).
(2) In the above formula (F1) or the following formula (F2) showing a specific fluorine-containing compound, the group containing a fluoroalkyl group represented by R F is —CF 3 , —C 2 F 5 , —C 3 F 7, -C 6 F 13 , -C 7 F 15 or -CF (CF 3) [OCF 2 CF (CF 3)] p OC 3 F 7 ( wherein, p is 0, 1 or 2. )
(3) The tetraalkoxysilane is tetramethoxysilane (TMOS) or tetraethoxysilane (TEOS).
(4) The tetraalkoxy titanium is at least one selected from tetraethoxy titanium, tetraisopropoxy titanium and tetrabutoxy titanium.
(5) The specific surface treatment agent contains an acid.
(6) The workpiece is held with an adsorption force of 100 gf or less.
（式中、ＲF はフルオロアルキル基を含有する基を表し、Ｒ1 はアルキル基またはアルコキシアルキル基を表し、ｘは１〜１００の整数である。） (In the formula, R F represents a group containing a fluoroalkyl group, R 1 represents an alkyl group or an alkoxyalkyl group, and x is an integer of 1 to 100.)
本発明の製造方法は、ゴムからなる真空吸着パッド基材を成形加工する工程と、得られた真空吸着パッド基材の少なくともワークと接触する表面に特定の表面処理剤を塗布する工程と、この表面処理剤による塗膜を加熱する工程とを含むことを特徴とする。 The production method of the present invention includes a step of molding a vacuum suction pad base material made of rubber, a step of applying a specific surface treatment agent to at least a surface of the obtained vacuum suction pad base material in contact with a workpiece, And a step of heating the coating film with the surface treatment agent.
特定の表面処理剤を構成する特定のフッ素含有化合物は、分子中に複数の加水分解性基（−ＯＲ1 ）を有し、テトラアルコキシシランは、分子中に４個のアルコキシ基（−ＯＲ4 ）を有し、テトラアルコキシチタンも、分子中に４個のアルコキシ基（−ＯＲ5 ）を有する。また、シランカップリング剤は、加水分解性基（−ＯＲ6 ）および反応性の有機官能基（−Ｒ8 ）を分子中に有する。 The specific fluorine-containing compound constituting the specific surface treatment agent has a plurality of hydrolyzable groups (—OR 1 ) in the molecule, and the tetraalkoxysilane has four alkoxy groups (—OR 4 ) in the molecule. And tetraalkoxytitanium also has four alkoxy groups (—OR 5 ) in the molecule. The silane coupling agent has a hydrolyzable group (—OR 6 ) and a reactive organic functional group (—R 8 ) in the molecule.
真空吸着パッド基材（ゴムからなる成形品）の表面において、特定のフッ素含有化合物と、テトラアルコキシシランと、テトラアルコキシチタンと、シランカップリング剤とが反応（加水分解・縮合反応）することにより、ハイブリッド化合物（フッ素原子を含有し、ＳｉＯ2 −ＴｉＯ2 系の架橋構造を有する化合物）からなる表面処理層が形成され、この表面処理層（ハイブリッド化合物）を構成するフッ素原子および架橋構造により、真空吸着パッドの表面には優れた非粘着性が付与される。特に、ＳｉＯ2 −ＴｉＯ2 系の架橋構造を有する表面処理層は、ＳｉＯ2 系の架橋構造を有する表面処理層（フッ素含有架橋ポリシロキサンからなる表面処理層）と比較して、非粘着性の付与効果（粘着力の低減効果）が格段に優れたものとなる。 On the surface of the vacuum suction pad substrate (molded product made of rubber), a specific fluorine-containing compound, tetraalkoxysilane, tetraalkoxytitanium, and a silane coupling agent react (hydrolysis / condensation reaction). , A surface treatment layer composed of a hybrid compound (a compound containing a fluorine atom and having a SiO 2 —TiO 2 -based cross-linking structure) is formed, and the fluorine atom and the cross-linking structure constituting the surface treatment layer (hybrid compound) Excellent non-stickiness is imparted to the surface of the vacuum suction pad. In particular, the surface-treated layer having a SiO 2 —TiO 2 -based crosslinked structure is non-adhesive compared to a surface-treated layer having a SiO 2 -based crosslinked structure (a surface-treated layer made of fluorine-containing crosslinked polysiloxane). The imparting effect (adhesive strength reducing effect) is remarkably excellent.
特定の表面処理剤により形成された表面処理層を構成するハイブリッド化合物（またはその形成過程における構造）中には、シランカップリング剤に由来する反応性の有機官能基（−Ｒ8 ）が導入され、この有機官能基は、真空吸着パッド基材の表面におけるゴムのポリマー主鎖と反応する。これにより、当該表面処理層（ハイブリッド化合物）は、シランカップリング剤を介して、真空吸着パッド基材の表面におけるゴムのポリマー主鎖と化学的に結合する。 A reactive organic functional group (—R 8 ) derived from a silane coupling agent is introduced into the hybrid compound (or the structure in the formation process) constituting the surface treatment layer formed by a specific surface treatment agent. This organic functional group reacts with the polymer backbone of the rubber on the surface of the vacuum adsorption pad substrate. Thus, the surface treatment layer (hybrid compound) is chemically bonded to the polymer main chain of the rubber on the surface of the vacuum suction pad base material via the silane coupling agent.
このように、真空吸着パッド基材の表面におけるゴムのポリマー主鎖と、ハイブリッド化合物からなる表面処理層との間には、シランカップリング剤を介して、化学的な結合が形成されるため、当該表面処理層は、真空吸着パッド基材に対して強固に密着することになる。従って、真空吸着パッドの表面に付与された非粘着性は、長期にわたって安定的に発現される。 Thus, a chemical bond is formed between the polymer main chain of the rubber on the surface of the vacuum suction pad base material and the surface treatment layer made of the hybrid compound via the silane coupling agent. The surface treatment layer is firmly adhered to the vacuum suction pad base material. Therefore, the non-stickiness imparted to the surface of the vacuum suction pad is stably expressed over a long period of time.
本発明の真空吸着パッドは、ワークとの接触面における非粘着性に優れ、比較的小さな吸着力でワークを保持した後であっても、ワークを確実に脱着することができる。
本発明の製造方法によれば、ワークとの接触面における非粘着性に優れた真空吸着パッドを確実に製造することができる。
本発明に係る真空吸着パッドの非粘着性は、長期にわたり安定的に発現される。
The vacuum suction pad of the present invention is excellent in non-adhesiveness on the contact surface with the workpiece, and can reliably remove the workpiece even after holding the workpiece with a relatively small suction force.
According to the manufacturing method of the present invention, a vacuum suction pad excellent in non-adhesiveness on the contact surface with the workpiece can be reliably manufactured.
The non-adhesiveness of the vacuum suction pad according to the present invention is stably expressed over a long period of time.
以下、本発明について詳細に説明する。
図１は、本発明の真空吸着パッドの一例を示す部分破断説明図であり、このような形状のものは薄物のワークを吸着保持するのに好適である。図１に示す真空吸着パッド１は、真空発生源に連結されたチューブに接続するためのスリーブ状の基部２と、これと一体的に形成されたスカート部３とを備えてなる。このスカート部３の内側表面３Ａをワークと接触させるとともに、スカート部３とワークとで区画される空間内の空気を吸引することによりワークが吸着保持され、吸引（吸着力）を解除することによりワークが確実に脱着される。
Hereinafter, the present invention will be described in detail.
FIG. 1 is a partially broken explanatory view showing an example of the vacuum suction pad of the present invention, and such a shape is suitable for sucking and holding a thin workpiece. A
図１に示す真空吸着パッド１において、パッドの外径ｄは、通常２〜１００ｍｍとされ、また、パッドの高さｈは、通常４〜５０ｍｍとされる。また、スカート部３の肉厚は、例えば０．０５〜１．５ｍｍとされる。なお、本発明の真空吸着パッドは、図１に示すような形状に限定されるものではない。
In the
本発明の真空吸着パッドを構成するゴム（原料ゴム）としては、天然ゴム（ＮＲ）、イソプレンゴム（ＩＲ）、ブタジエンゴム（ＢＲ）、クロロプレンゴム（ＣＲ）、ブチルゴム（ＩＩＲ）、スチレンブタジエンゴム（ＳＢＲ）、ニトリルゴム（ＮＢＲ）、エチレンプロピレンゴム（ＥＰＭ，ＥＰＤＭ）、アクリルゴム（ＡＣＭ，ＡＮＭ）、エピクロロヒドリンゴム（ＣＯ，ＥＣＯ）、シリコーンゴム（ＶＭＱ，ＦＶＭＱ）、ウレタンゴム（ＡＵ，ＥＵ）、フッ素ゴム（ＦＫＭ，ＦＥＰＭ）などを例示することができ、これらのうち、ニトリルゴムに対して、特に優れた処理効果を付与することができる。 As the rubber (raw rubber) constituting the vacuum suction pad of the present invention, natural rubber (NR), isoprene rubber (IR), butadiene rubber (BR), chloroprene rubber (CR), butyl rubber (IIR), styrene butadiene rubber ( SBR), nitrile rubber (NBR), ethylene propylene rubber (EPM, EPDM), acrylic rubber (ACM, ANM), epichlorohydrin rubber (CO, ECO), silicone rubber (VMQ, FVMQ), urethane rubber (AU, EU) ), Fluorine rubber (FKM, FEPM) and the like, and among these, particularly excellent treatment effects can be imparted to nitrile rubber.
本発明の真空吸着パッドは、１００ｇｆ以下の吸着力でワークを保持するものであることが好ましい。このような小さい吸着力により保持されるワークは、真空吸着パッドの表面における粘着性の影響を特に受けやすく（吸着力の解除後に脱着されにくく）、そのようなワークに対して、本発明の効果（パッド表面の非粘着性）は特に有効である。ここで、真空吸着パッドの「吸着力」は、真空発生源による吸引圧力に、有効パッド面積（πｄ2 ／４：但し、ｄはパッドの外径である）を乗じた値として求めることができる。 The vacuum suction pad of the present invention preferably holds a workpiece with a suction force of 100 gf or less. The workpiece held by such a small suction force is particularly susceptible to the influence of adhesiveness on the surface of the vacuum suction pad (it is difficult to be detached after the suction force is released). (Non-adhesiveness of the pad surface) is particularly effective. Here, "adsorption force" of the vacuum suction pad, the suction pressure by the vacuum source, the effective pad area (πd 2/4: where, d is the outer diameter of the pads) can be obtained as a value obtained by multiplying the .
本発明の真空吸着パッドにより搬送されるワークの具体例としては、板状部品・製品、球状部品・製品、箱状部品・製品、円筒状部品・製品などを挙げることができる。なお、複数個の真空吸着パッドを使用することにより、１個の真空吸着パッドでは保持できない質量のワークを保持できることは勿論である。 Specific examples of the workpiece conveyed by the vacuum suction pad of the present invention include plate-like parts / products, spherical parts / products, box-like parts / products, cylindrical parts / products. Of course, by using a plurality of vacuum suction pads, a workpiece having a mass that cannot be held by one vacuum suction pad can be held.
本発明の真空吸着パッドは、少なくともワークと接触する表面が、特定の表面処理剤により処理されている点に特徴を有する。この表面処理剤は、特定のフッ素含有化合物と、テトラアルコキシシランと、テトラアルコキシチタンと、シランカップリング剤と、溶剤とを含有してなる。 The vacuum suction pad of the present invention is characterized in that at least the surface that contacts the workpiece is treated with a specific surface treatment agent. This surface treatment agent contains a specific fluorine-containing compound, tetraalkoxysilane, tetraalkoxytitanium, a silane coupling agent, and a solvent.
特定のフッ素含有化合物は、フルオロアルキル基を含有する基（ＲF ）を分子両末端に有するとともに、−Ｓｉ（ＯＲ1 ）3 で示される基（トリアルコキシシリル基もしくはトリアルコキシアルコキシシリル基）が結合されてなる中間鎖を有し、さらに（−ＣＨ2 −ＣＲ2 Ｒ3 −）で示される中間鎖を有していてもよいフッ素系のオリゴマーである。 The specific fluorine-containing compound has a group (R F ) containing a fluoroalkyl group at both molecular ends and a group (trialkoxysilyl group or trialkoxyalkoxysilyl group) represented by —Si (OR 1 ) 3. It is a fluorine-based oligomer having an intermediate chain formed by bonding and further having an intermediate chain represented by (—CH 2 —CR 2 R 3 —).
特定のフッ素含有化合物を構成するフルオロアルキル基を含有する基（ＲF ）の具体例としては、−ＣＦ3 、−Ｃ2 Ｆ5 、−Ｃ3 Ｆ7 、−Ｃ6 Ｆ13および−Ｃ7 Ｆ15など−Ｃq Ｆ2q+1（ｑ＝１〜１０）で表されるフルオロアルキル基；−ＣＦ（ＣＦ3 ）ＯＣ3 Ｆ7 、−ＣＦ（ＣＦ3 ）［ＯＣＦ2 ＣＦ（ＣＦ3 ）］ＯＣ3 Ｆ7 、および−ＣＦ（ＣＦ3 ）［ＯＣＦ2 ＣＦ（ＣＦ3 ）］2 ＯＣ3 Ｆ7 で表される基（オキシフルオロアルキレン基およびフルオロアルキル基を含有する基）を例示することができ、これらのうち、−ＣＦ（ＣＦ3 ）ＯＣ3 Ｆ7 で表される基が特に好ましい。
Specific examples of the group (R F ) containing a fluoroalkyl group constituting the specific fluorine-containing compound include —CF 3 , —C 2 F 5 , —C 3 F 7 , —C 6 F 13 and —C 7. fluoroalkyl group represented by -C like F 15 q F 2q + 1 ( q = 1~10); -CF (CF 3) OC 3 F 7, -CF (CF 3) [
特定のフッ素含有化合物を構成する必須の中間鎖の有する−Ｓｉ（ＯＲ1 ）3 で示される基の具体例としては、トリメトキシシリル基、トリエトキシシリル基などのトリアルコキシシリル基；トリ（メトキシメトキシ）シリル基、トリ（メトキシエトキシ）シリル基、トリ（エトキシメトキシ）シリル基、トリ（エトキシエトキシ）シリル基などのトリアルコキシアルコキシシリル基を挙げることができる。これらのうち、トリアルコキシシリル基が好ましく、トリメトキシシリル基が特に好ましい。 Specific examples of the group represented by —Si (OR 1 ) 3 having an essential intermediate chain constituting a specific fluorine-containing compound include trialkoxysilyl groups such as trimethoxysilyl group and triethoxysilyl group; tri (methoxy Mention may be made of trialkoxyalkoxysilyl groups such as methoxy) silyl group, tri (methoxyethoxy) silyl group, tri (ethoxymethoxy) silyl group and tri (ethoxyethoxy) silyl group. Of these, trialkoxysilyl groups are preferred, and trimethoxysilyl groups are particularly preferred.
特定のフッ素含有化合物における任意の中間鎖（−ＣＨ2 −ＣＲ2 Ｒ3 −）を構成する基（Ｒ2 ，Ｒ3 ）は、同一または異なる基であって、水素原子または１価の有機基である。Ｒ2 またはＲ3 で示される有機基としては、下記の式（ｉ）〜（ｖ）で示される基などを例示することができる。
The groups (R 2 , R 3 ) constituting any intermediate chain (—CH 2 —CR 2 R 3 —) in a specific fluorine-containing compound are the same or different groups, and are hydrogen atoms or monovalent organic groups It is. Examples of the organic group represented by R 2 or R 3 include groups represented by the following formulas (i) to (v).
特定のフッ素含有化合物を示す上記式（Ｆ１）において、必須の中間鎖の数（ｘ）は１〜１００とされ、好ましくは１〜５０、更に好ましくは１〜１０、特に好ましくは２〜５とされる。
また、任意の中間鎖の数（ｙ）は０〜１００とされ、好ましくは０〜５０、更に好ましくは０〜１０とされる。
In the above formula (F1) showing a specific fluorine-containing compound, the number (x) of essential intermediate chains is 1 to 100, preferably 1 to 50, more preferably 1 to 10, particularly preferably 2 to 5. Is done.
Moreover, the number (y) of arbitrary intermediate chains is 0 to 100, preferably 0 to 50, and more preferably 0 to 10.
特定のフッ素含有化合物を構成する好適な化合物としては、下記式（４）乃至（８）で示される化合物を挙げることができる。特に、下記式（４）または式（５）で示される化合物（上記式（Ｆ２）で示される化合物）は、１分子中に占めるフッ素原子（表面特性の向上に寄与する原子）の割合が大きいために、真空吸着パッドの表面に高い効率でフッ素原子を存在させることができる。 Examples of suitable compounds constituting the specific fluorine-containing compound include compounds represented by the following formulas (4) to (8). In particular, the compound represented by the following formula (4) or formula (5) (compound represented by the above formula (F2)) has a large proportion of fluorine atoms (atoms contributing to the improvement of surface characteristics) in one molecule. Therefore, fluorine atoms can be present on the surface of the vacuum adsorption pad with high efficiency.
（式中、ｘ’は２または３である。） (Wherein x 'is 2 or 3)
〔式（５）および式（６）において、ＲF ’は、式：−ＣＦ（ＣＦ3 ）ＯＣＦ2 ＣＦ（ＣＦ3 ）ＯＣ3 Ｆ7 で示される基である。
式（５）中、ｘａは１〜１００の整数である。
式（６）中、ｘｂは１〜１００の整数、ｙｂは１〜５００の整数である。〕
[In Formula (5) and Formula (6), R F ′ is a group represented by the formula: —CF (CF 3 ) OCF 2 CF (CF 3 ) OC 3 F 7 .
In formula (5), xa is an integer of 1-100.
In formula (6), xb is an integer of 1 to 100, and yb is an integer of 1 to 500. ]
〔式（７）中、ｘｃは１〜１０の整数、ｙｃは０〜１００の整数である。式（８）中、ｘｄは１〜１０の整数、ｙｄは０〜１００の整数である。〕 [In Formula (7), xc is an integer of 1-10, yc is an integer of 0-100. In formula (8), xd is an integer of 1 to 10, and yd is an integer of 0 to 100. ]
上記式（Ｆ１）で示される特定のフッ素含有化合物は、下記式（Ｆ１Ａ）で示されるフッ素含有過酸化物の存在下に、下記式（Ｆ１Ｂ）で示される単量体と、下記式（Ｆ１Ｃ）で示される単量体とを重合させることにより得ることができる。
なお、この反応生成物（フッ素含有化合物）中には、フルオロアルキル基を含有する基（ＲF ）が片末端のみに導入されているオリゴマーが任意の割合で含まれていてもよい。
In the presence of a fluorine-containing peroxide represented by the following formula (F1A), the specific fluorine-containing compound represented by the above formula (F1), the monomer represented by the following formula (F1B), and the following formula (F1C ) Can be obtained by polymerizing with a monomer represented by
In this reaction product (fluorine-containing compound), an oligomer in which a group (R F ) containing a fluoroalkyl group is introduced only at one end may be contained in an arbitrary ratio.
（式中、ＲF 、Ｒ1 、Ｒ2 およびＲ3 は、先に定義したとおりである。） (Wherein R F , R 1 , R 2 and R 3 are as defined above.)
特定の表面処理剤における特定のフッ素含有化合物の含有割合としては、０．００１〜２０質量％であることが好ましく、更に好ましくは０．００５〜１０質量％、特に好ましくは０．０１〜５質量％とされる。特定のフッ素含有化合物の含有割合が過小である場合には、真空吸着パッドの表面に十分な処理効果（非粘着性）を付与することが困難となる。他方、２０質量％を超える割合で特定のフッ素含有化合物を含有させても、含有量に見合う処理効果が得られない。 The content ratio of the specific fluorine-containing compound in the specific surface treatment agent is preferably 0.001 to 20% by mass, more preferably 0.005 to 10% by mass, and particularly preferably 0.01 to 5% by mass. %. When the content ratio of the specific fluorine-containing compound is too small, it becomes difficult to impart a sufficient treatment effect (non-adhesiveness) to the surface of the vacuum suction pad. On the other hand, even if a specific fluorine-containing compound is contained in a proportion exceeding 20% by mass, a treatment effect commensurate with the content cannot be obtained.
特定の表面処理剤を構成するテトラアルコキシシランは、式（１）：Ｓｉ（ＯＲ4 ）4 で示される４官能性のアルコキシシランである。
テトラアルコキシシランを示す式（１）において、Ｒ4 は、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基などの炭素数１〜４のアルキル基を表す。ここに、テトラアルコキシシランの好適な具体例としては、テトラメトキシシラン（ＴＭＯＳ）およびテトラエトキシシラン（ＴＥＯＳ）を挙げることができ、ＴＥＯＳが特に好ましい。
The tetraalkoxysilane constituting the specific surface treatment agent is a tetrafunctional alkoxysilane represented by the formula (1): Si (OR 4 ) 4 .
In the formula (1) indicating tetraalkoxysilane, R 4 represents an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms such as a methyl group, an ethyl group, a propyl group, or a butyl group. Specific examples of the tetraalkoxysilane include tetramethoxysilane (TMOS) and tetraethoxysilane (TEOS), and TEOS is particularly preferable.
特定の表面処理剤におけるテトラアルコキシシランの含有量としては、特定のフッ素含有化合物の含有量の０．５〜１０００倍（質量）であることが好ましく、更に好ましくは１〜５００倍、特に好ましくは１〜１００倍とされる。
テトラアルコキシシランの含有割合（特定のフッ素含有化合物に対する相対的な割合）が過小である場合には、架橋構造の形成が不十分となって、真空吸着パッド基材の表面を完全に覆うことが困難となる。一方、この割合が過大である場合には、真空吸着パッドの表面に十分な処理効果（非粘着性）を付与することが困難となる。
The content of the tetraalkoxysilane in the specific surface treatment agent is preferably 0.5 to 1000 times (mass), more preferably 1 to 500 times, particularly preferably the content of the specific fluorine-containing compound. 1 to 100 times.
When the content ratio of tetraalkoxysilane (relative ratio with respect to a specific fluorine-containing compound) is too small, the formation of a crosslinked structure becomes insufficient, and the surface of the vacuum suction pad base material may be completely covered. It becomes difficult. On the other hand, if this ratio is excessive, it is difficult to impart a sufficient treatment effect (non-adhesiveness) to the surface of the vacuum suction pad.
特定の表面処理剤を構成するテトラアルコキシチタンは、式（２）：Ｓｉ（ＯＲ5 ）4 で示される４官能性のアルコキシチタンである。
特定の表面処理剤の必須成分としてテトラアルコキシチタンが含有されることにより、非粘着性の付与効果（粘着力の低減効果）に特に優れた表面処理層（ＳｉＯ2 −ＴｉＯ2 系の架橋構造を有するハイブリッド化合物）を形成することができる。
The tetraalkoxytitanium constituting the specific surface treatment agent is a tetrafunctional alkoxytitanium represented by the formula (2): Si (OR 5 ) 4 .
By containing tetraalkoxytitanium as an essential component of a specific surface treatment agent, a surface treatment layer (SiO 2 —TiO 2 -based crosslinked structure that is particularly excellent in non-adhesiveness imparting effect (adhesion reducing effect) Having a hybrid compound).
テトラアルコキシチタンを示す上記式（２）において、Ｒ5 は、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基などの炭素数２〜４のアルキル基を表す。ここに、テトラアルコキシシランの好適な具体例としては、テトラエトキシチタン、テトライソプロポキシチタンおよびテトラブトキシチタンを挙げることができ、テトラエトキシチタンが特に好ましい。 In the above formula (2) indicating tetraalkoxytitanium, R 5 represents an alkyl group having 2 to 4 carbon atoms such as an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, or a butyl group. Specific examples of the tetraalkoxysilane include tetraethoxytitanium, tetraisopropoxytitanium and tetrabutoxytitanium, and tetraethoxytitanium is particularly preferable.
特定の表面処理剤におけるテトラアルコキシチタンの含有量としては、特定のフッ素含有化合物の含有量の０．００１〜２０倍（質量）であることが好ましく、更に好ましくは０．１〜１０倍、特に好ましくは０．１〜５倍とされる。
また、テトラアルコキシチタンの含有量は、テトラエトキシシランの０．０１〜０．１倍であることが好ましく、更に好ましくは０．０２〜０．１倍とされる。
テトラアルコキシチタンの含有割合（テトラアルコキシシランに対する相対的な割合）が過小である場合には、真空吸着パッドの表面に十分な処理効果（非粘着性）を付与することが困難となる。一方、テトラアルコキシチタンの含有割合（テトラアルコキシシランに対する相対的な割合）が過大である場合には、得られる表面処理剤が短時間で硬化してしまい、塗布性などの作業性が低下する。
The content of tetraalkoxytitanium in the specific surface treatment agent is preferably 0.001 to 20 times (mass), more preferably 0.1 to 10 times, particularly the content of the specific fluorine-containing compound. Preferably it is 0.1 to 5 times.
Further, the content of tetraalkoxytitanium is preferably 0.01 to 0.1 times, more preferably 0.02 to 0.1 times that of tetraethoxysilane.
When the content ratio of tetraalkoxy titanium (relative ratio with respect to tetraalkoxysilane) is too small, it becomes difficult to impart a sufficient treatment effect (non-adhesiveness) to the surface of the vacuum suction pad. On the other hand, when the content ratio of tetraalkoxytitanium (relative ratio with respect to tetraalkoxysilane) is excessive, the obtained surface treatment agent is cured in a short time, and workability such as coating property is deteriorated.
特定の表面処理剤を構成するシランカップリング剤は、式（３）：Ｓｉ（ＯＲ6 ）m Ｒ7 3-m −（ＣＨ2 ）n −Ｒ8 で示される。
シランカップリング剤を示す上記式（３）において、Ｒ6 はアルキル基またはアルコキシアルキル基を表し、Ｒ7 はアルキル基を表し、ｍは１〜３の整数、好ましくは３であり、ｎは０〜５の整数、好ましくは０〜３の整数である。また、Ｒ8 は、ゴムのポリマー主鎖との反応性を有する有機官能基を表す。
上記式（３）において、Ｓｉ（ＯＲ6 ）m Ｒ7 3-m −で表される基は、少なくとも１個、好ましくは３個の加水分解性基（−ＯＲ6 ）を有する。これにより、上記式（３）で示されるシランカップリング剤は、４個のアルコキシ基（−ＯＲ4 ）を有するテトラアルコキシシラン、４個のアルコキシ基（−ＯＲ5 ）を有するテトラアルコキシチタン、および複数の加水分解性基（−ＯＲ1 ）を有する特定のフッ素含有化合物の何れとも反応することができる。
ここに、Ｓｉ（ＯＲ6 ）m Ｒ7 3-m −で表される基としては、トリメトキシシリル基、トリエトキシシリル基などのトリアルコキシシリル基であることが好ましい。
The silane coupling agent constituting the specific surface treatment agent is represented by the formula (3): Si (OR 6 ) m R 7 3-m — (CH 2 ) n —R 8 .
In the above formula (3) showing a silane coupling agent, R 6 represents an alkyl group or an alkoxyalkyl group, R 7 represents an alkyl group, m is an integer of 1 to 3, preferably 3, and n is 0 An integer of -5, preferably an integer of 0-3. R 8 represents an organic functional group having reactivity with the polymer main chain of rubber.
In the above formula (3), the group represented by Si (OR 6 ) m R 7 3-m — has at least one, preferably three hydrolyzable groups (—OR 6 ). Thereby, the silane coupling agent represented by the above formula (3) is tetraalkoxysilane having four alkoxy groups (—OR 4 ), tetraalkoxy titanium having four alkoxy groups (—OR 5 ), and It can react with any of the specific fluorine-containing compounds having a plurality of hydrolyzable groups (—OR 1 ).
Here, the group represented by Si (OR 6 ) m R 7 3-m — is preferably a trialkoxysilyl group such as a trimethoxysilyl group or a triethoxysilyl group.
また、ゴムのポリマー主鎖との反応性を有する有機官能基（−Ｒ8 ）としては、アミノ基、メルカプト基、ビニル基、（メタ）アクリロイルオキシ基、エポキシ基、ウレイド基などを挙げることができる。これらのうち、不飽和結合を有するゴムのポリマー主鎖に対して反応性を有するメルカプト基、不飽和結合を有しないゴムのポリマー主鎖に対して反応性を有するビニル基を好適なものとして挙げることができる。
このように、ゴムの種類（ポリマー主鎖中の不飽和結合の有無など）に応じて、反応性有機官能基（−Ｒ8 ）を選択することによれば、特定のフッ素含有化合物として同一種類の化合物を種々のゴムに対して使用することが可能となる。
Examples of the organic functional group (-R 8 ) having reactivity with the polymer main chain of rubber include an amino group, a mercapto group, a vinyl group, a (meth) acryloyloxy group, an epoxy group, and a ureido group. it can. Among these, preferred are a mercapto group having reactivity with a polymer main chain of a rubber having an unsaturated bond, and a vinyl group having reactivity with a polymer main chain of a rubber having no unsaturated bond. be able to.
Thus, by selecting the reactive organic functional group (—R 8 ) according to the type of rubber (such as the presence or absence of an unsaturated bond in the polymer main chain), the same type as the specific fluorine-containing compound This compound can be used for various rubbers.
真空吸着パッド基材（ゴムからなる成形品）の表面において、特定のフッ素含有化合物と（−ＯＲ1 ）、テトラアルコキシシラン（−ＯＲ4 ）と、テトラアルコキシチタン（−ＯＲ5 ）と、シランカップリング剤（−ＯＲ6 ）とが反応（加水分解・縮合反応）することにより、ハイブリッド化合物（フッ素原子を含有し、ＳｉＯ2 −ＴｉＯ2 系の架橋構造を有する化合物）からなる表面処理層が形成される。 On the surface of the vacuum suction pad base material (molded product made of rubber), a specific fluorine-containing compound, (—OR 1 ), tetraalkoxysilane (—OR 4 ), tetraalkoxy titanium (—OR 5 ), and a silane cup By the reaction (hydrolysis / condensation reaction) with the ring agent (—OR 6 ), a surface treatment layer formed of a hybrid compound (a compound containing a fluorine atom and having a SiO 2 —TiO 2 cross-linked structure) is formed. Is done.
しかして、表面処理層を構成するハイブリッド化合物、または、その形成過程（加水分解・縮合反応過程）における構造中には、シランカップリング剤に由来する反応性の有機官能基（−Ｒ8 ）が導入され、この有機官能基（−Ｒ8 ）は、真空吸着パッド基材の表面におけるゴムのポリマー主鎖と反応する。これにより、当該表面処理層（ハイブリッド化合物）は、シランカップリング剤を介して、真空吸着パッド基材の表面におけるゴムのポリマー主鎖と化学的に結合することになる。 Thus, in the structure of the hybrid compound constituting the surface treatment layer or the formation process (hydrolysis / condensation reaction process), a reactive organic functional group (—R 8 ) derived from the silane coupling agent is present. Once introduced, this organic functional group (—R 8 ) reacts with the polymer backbone of the rubber on the surface of the vacuum suction pad substrate. Thereby, the said surface treatment layer (hybrid compound) will couple | bond chemically with the polymer principal chain of the rubber | gum in the surface of a vacuum suction pad base material through a silane coupling agent.
このように、真空吸着パッド基材の表面におけるゴムのポリマー主鎖と、ハイブリッド化合物からなる表面処理層との間には、シランカップリング剤を介して、化学的な結合が形成されるため、当該表面処理層は、真空吸着パッド基材に対して強固に密着することになる。従って、当該表面処理層が脱離するようなことはなく、真空吸着パッドの表面に付与された非粘着性は安定的に発現される。 Thus, a chemical bond is formed between the polymer main chain of the rubber on the surface of the vacuum suction pad base material and the surface treatment layer made of the hybrid compound via the silane coupling agent. The surface treatment layer is firmly adhered to the vacuum suction pad base material. Therefore, the surface treatment layer is not detached, and the non-adhesiveness imparted to the surface of the vacuum suction pad is stably expressed.
特定の表面処理剤において、シランカップリング剤の含有量としては、特定のフッ素含有化合物の含有量の０．０１〜１０倍（質量）であることが好ましく、更に好ましくは０．０５〜５倍、特に好ましくは０．１〜５倍とされる。
シランカップリング剤の含有割合（特定のフッ素含有化合物に対する相対的な割合）が過小である場合には、得られる表面処理剤によって形成される表面処理層が真空吸着パッド基材に対して十分な密着性を有するものとならない。一方、この割合が過大である場合には、真空吸着パッドの表面に十分な処理効果（非粘着性）を付与することが困難となる。
In the specific surface treatment agent, the content of the silane coupling agent is preferably 0.01 to 10 times (mass), more preferably 0.05 to 5 times the content of the specific fluorine-containing compound. Particularly preferably, it is 0.1 to 5 times.
When the content ratio of the silane coupling agent (relative ratio with respect to a specific fluorine-containing compound) is too small, the surface treatment layer formed by the surface treatment agent obtained is sufficient for the vacuum adsorption pad base material. It does not have adhesion. On the other hand, if this ratio is excessive, it is difficult to impart a sufficient treatment effect (non-adhesiveness) to the surface of the vacuum suction pad.
特定の表面処理剤を構成する溶剤としては、特定のフッ素含有化合物、テトラアルコキシシラン、テトラアルコキシチタンおよびシランカップリング剤の何れも溶解することができるものの中から選択することができ、これらの種類によっても異なるが、ヘキサン、メタノール、エタノール、テトラヒドロフラン、ジクロロメタン、クロロホルム、ベンゼン、酢酸エチル、ジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）、トルエン、アセトンなどの有機溶剤を例示することができ、これらのうち、ヘキサン、メタノール、エタノール、ジクロロメタンおよびアセトンが好ましい。 The solvent constituting the specific surface treatment agent can be selected from those which can dissolve any of the specific fluorine-containing compound, tetraalkoxysilane, tetraalkoxytitanium and silane coupling agent. Examples of the organic solvent include hexane, methanol, ethanol, tetrahydrofuran, dichloromethane, chloroform, benzene, ethyl acetate, dimethyl sulfoxide (DMSO), N, N-dimethylformamide (DMF), toluene, and acetone. Of these, hexane, methanol, ethanol, dichloromethane and acetone are preferred.
特定の表面処理剤には、その効果が損なわれない限度において、上記の必須成分以外に各種の任意成分が含有されていてもよい。
特定のフッ素含有化合物と、テトラアルコキシシランと、テトラアルコキシチタンと、シランカップリング剤との反応（加水分解・縮合反応）を効率的に行わせて、ハイブリッド化合物における架橋構造の形成を促進させる観点から、特定の表面処理剤は、酸性（ｐＨが６以下、特に２〜５）であることが好ましい。
The specific surface treatment agent may contain various optional components in addition to the essential components as long as the effect is not impaired.
A viewpoint that promotes the formation of a crosslinked structure in a hybrid compound by efficiently performing a reaction (hydrolysis / condensation reaction) of a specific fluorine-containing compound, tetraalkoxysilane, tetraalkoxytitanium, and a silane coupling agent. Therefore, the specific surface treatment agent is preferably acidic (pH is 6 or less, particularly 2 to 5).
特定の表面処理剤を酸性とするために含有される酸としては、無機酸であっても有機酸であってもよい。ここに、無機酸としては、塩酸、硝酸、硫酸などを挙げることができ、塩酸が好ましい。また、有機酸としては、蟻酸、酢酸、プロピオン酸、ブタン酸、ペンタン酸などを挙げることができ、酢酸が好ましい。 The acid contained to make the specific surface treatment agent acidic may be an inorganic acid or an organic acid. Here, examples of the inorganic acid include hydrochloric acid, nitric acid, sulfuric acid and the like, and hydrochloric acid is preferable. Examples of the organic acid include formic acid, acetic acid, propionic acid, butanoic acid and pentanoic acid, and acetic acid is preferred.
特定の表面処理剤は、特定のフッ素含有化合物と、テトラアルコキシシランと、テトラアルコキシチタンと、シランカップリング剤と、任意成分とを溶剤に溶解させることにより容易に調製することができる。
なお、得られた表面処理剤を室温下に長時間静置すると、構成成分（特に、テトラアルコキシシランおよびテトラアルコキシチタン）の縮合物が形成されて沈澱物を生じるおそれがある。このため、特定の表面処理剤は、製造後２４時間以内に使用することが好ましく、また、使用前に十分に（例えば１〜６時間）攪拌して表面処理剤の均質化を図ることが肝要である。また、必要に応じて、６０〜７０℃に加温してもよい。
The specific surface treatment agent can be easily prepared by dissolving a specific fluorine-containing compound, tetraalkoxysilane, tetraalkoxytitanium, silane coupling agent, and optional components in a solvent.
In addition, when the obtained surface treating agent is left still for a long time at room temperature, there exists a possibility that the condensate of a structural component (especially tetraalkoxysilane and tetraalkoxytitanium) may be formed and a precipitate may be produced. For this reason, it is preferable to use a specific surface treatment agent within 24 hours after production, and it is important to homogenize the surface treatment agent by sufficiently stirring (for example, 1 to 6 hours) before use. It is. Moreover, you may heat to 60-70 degreeC as needed.
本発明の真空吸着パッドは、真空吸着パッド基材を成形加工する工程（以下「成形工程」という。）と、得られた真空吸着パッド基材の少なくともワークと接触する表面に特定の表面処理剤を塗布する工程（以下「塗布工程」という。）と、この表面処理剤による塗膜を加熱する工程（以下「加熱工程」という。）とを含む製造方法により得られる。 The vacuum suction pad of the present invention includes a step of molding a vacuum suction pad base material (hereinafter referred to as “molding step”) and a surface treatment agent specific to the surface of the obtained vacuum suction pad base material that contacts at least the workpiece. It is obtained by a production method including a step of applying (hereinafter referred to as “application step”) and a step of heating a coating film by this surface treatment agent (hereinafter referred to as “heating step”).
成形工程における成形加工方法としては特に限定されるものでなく、加硫ゴムからなる成形品を得るための従来公知の方法（例えばプレス成形法）を採用することができる。 The molding method in the molding step is not particularly limited, and a conventionally known method (for example, press molding method) for obtaining a molded product made of vulcanized rubber can be employed.
塗布工程において、真空吸着パッド基材表面への特定の表面処理剤の塗布方法としては、当該表面処理剤に真空吸着パッド基材を浸漬する浸漬法、刷毛やローラなどの塗布手段を使用する方法など特に制限されるものではない。
なお、この塗布工程の終了後、真空吸着パッド基材の表面に形成された塗膜から溶剤を除去するために乾燥処理を行うことが好ましい。乾燥条件としては、表面処理剤に含有される溶剤の種類および含有割合などによっても異なるが、例えば室温で１分間〜２４時間とされ、好ましくは３分間〜１時間とされる。
加熱工程において、塗膜の加熱方法としては、オーブンによる加熱、熱プレスによる加熱など、特に制限されるものではない。加熱条件としては、例えば５０〜１５０℃で５分間〜２４時間とされ、好ましくは８０〜１００℃で１０〜１２０分間とされる。
In the coating process, as a method for applying the specific surface treatment agent to the surface of the vacuum suction pad base material, a dipping method in which the vacuum suction pad base material is immersed in the surface treatment agent, or a method using a coating means such as a brush or a roller There is no particular limitation.
In addition, after completion | finish of this application | coating process, it is preferable to perform a drying process in order to remove a solvent from the coating film formed in the surface of a vacuum suction pad base material. The drying condition varies depending on the type and content ratio of the solvent contained in the surface treatment agent, but is, for example, 1 minute to 24 hours at room temperature, and preferably 3 minutes to 1 hour.
In the heating step, the method for heating the coating film is not particularly limited, such as heating with an oven or heating with a hot press. The heating condition is, for example, 50 to 150 ° C. for 5 minutes to 24 hours, and preferably 80 to 100 ° C. for 10 to 120 minutes.
真空吸着パッド基材の表面に形成された特定の表面処理剤による塗膜を加熱することにより、（ｉ）特定のフッ素含有化合物（−ＯＲ1 ）と、テトラアルコキシシラン（−ＯＲ4 ）と、テトラアルコキシチタン（−ＯＲ5 ）と、シランカップリング剤（−ＯＲ6 ）との反応（加水分解・縮合による架橋構造の形成反応）が進行するとともに、（ii）シランカップリング剤の有する反応性有機官能基（−Ｒ8 ）と、真空吸着パッド基材を構成するゴムのポリマー主鎖との反応が進行する。 By heating the coating film with a specific surface treatment agent formed on the surface of the vacuum suction pad base material, (i) a specific fluorine-containing compound (—OR 1 ), tetraalkoxysilane (—OR 4 ), While the reaction of tetraalkoxytitanium (—OR 5 ) and the silane coupling agent (—OR 6 ) (crosslinking structure formation reaction by hydrolysis / condensation) proceeds, (ii) the reactivity of the silane coupling agent The reaction of the organic functional group (—R 8 ) and the polymer main chain of the rubber constituting the vacuum adsorption pad base material proceeds.
これにより、（ｉ）形成される表面処理層（ハイブリッド化合物）とシランカップリング剤との間、および、（ii）シランカップリング剤とゴムのポリマー主鎖との間に化学的な結合が形成され、この結果、真空吸着パッド基材に対する密着性（被膜としての耐久性・強靱性）に優れた表面処理層が形成される。 Thereby, (i) a chemical bond is formed between the surface treatment layer (hybrid compound) to be formed and the silane coupling agent, and (ii) between the silane coupling agent and the polymer main chain of the rubber. As a result, a surface treatment layer excellent in adhesion (durability and toughness as a coating) to the vacuum suction pad substrate is formed.
そして、この表面処理層（ハイブリッド化合物）を構成するフッ素原子および架橋構造により、真空吸着パッドの表面には優れた非粘着性が付与される。特に、テトラアルコキシチタンに由来するＴｉ−Ｏ結合を含む架橋構造（ＳｉＯ2 −ＴｉＯ2 系の架橋構造）を有する表面処理層は、ＳｉＯ2 系の架橋構造を有する表面処理層（フッ素含有架橋ポリシロキサンからなる表面処理層）と比較して、非粘着性の付与効果（粘着力の低減効果）が格段に優れたものとなる。また、当該表面処理層は、真空吸着パッド基材を構成するゴムに対して強固に密着しているので、当該表面処理層が脱離するようなことはなく、真空吸着パッドの表面に付与された非粘着性は安定的に発現される。 And the non-adhesiveness which was excellent in the surface of a vacuum suction pad is provided by the fluorine atom and bridge | crosslinking structure which comprise this surface treatment layer (hybrid compound). In particular, the surface treatment layer having a crosslinked structure (SiO 2 —TiO 2 -based crosslinked structure) containing a Ti—O bond derived from tetraalkoxytitanium is a surface treated layer (fluorine-containing crosslinked polymer) having an SiO 2 -based crosslinked structure. Compared with a surface treatment layer made of siloxane, the effect of imparting non-adhesiveness (reducing effect of adhesive force) is remarkably excellent. Further, since the surface treatment layer is firmly adhered to the rubber constituting the vacuum suction pad base material, the surface treatment layer is not detached and applied to the surface of the vacuum suction pad. Non-adhesiveness is stably expressed.
また、シランカップリング剤を介してゴムのポリマー主鎖に結合された表面処理層（ハイブリッド化合物）は、熱安定性および化学安定性にも優れ、特定のフッ素含有化合物に対して良溶媒である種々の有機溶剤に対して不溶性または難溶性となる。従って、本発明に係る真空吸着パッドは耐溶剤性に優れ、有機溶剤を使用して洗浄しても、優れた非粘着性が実質的に損なわれることはない。 Moreover, the surface treatment layer (hybrid compound) bonded to the rubber polymer main chain via a silane coupling agent is excellent in thermal stability and chemical stability, and is a good solvent for a specific fluorine-containing compound. It becomes insoluble or hardly soluble in various organic solvents. Therefore, the vacuum suction pad according to the present invention is excellent in solvent resistance, and excellent non-adhesiveness is not substantially impaired even if it is cleaned using an organic solvent.
以下、本発明の実施例について説明するが、本発明がこれらに限定されるものではない。 Examples of the present invention will be described below, but the present invention is not limited thereto.
〔作製例Ａ（成形工程）〕
ニトリルゴム「ＪＳＲ Ｎ２４０Ｓ」（ジェイエスアール（株）製）１００質量部と、老化防止剤「ノクラックＣＤ」１．５質量部と、ステアリン酸「アデカ脂肪酸ＳＡ−３００」１．５質量部と、酸化亜鉛５質量部と、カーボンブラック「サーマックスＭＴ」７０質量部と、炭酸カルシウム「白艶華ＣＣ」（白石工業（株）製）１０質量部と、フタル酸ジオクチル（ＤＯＰ）３０質量部と、硫黄０．３質量部と、加硫促進剤「ノクセラーＴＴ」（大内新興化学（株）製）１．５質量部と、加硫促進剤「ノクセラーＣＺ−Ｇ」（大内新興化学（株）製）１．５質量部とを８インチロールによって混練してゴム組成物を調製した。次いで、このゴム組成物を熱プレスを用いて加熱処理（１５０℃×２０分間）することにより、図１に示すような形状（ｄ＝８ｍｍ，ｈ＝８ｍｍ）を有する真空吸着パッド基材（ニトリルゴム成形品）を作製した。
[Production Example A (molding process)]
Nitrile rubber “JSR N240S” (manufactured by JSR Co., Ltd.) 100 parts by mass, anti-aging agent “NOCRACK CD” 1.5 parts by mass, stearic acid “ADEKA FATTY ACID SA-300” 1.5 parts by mass, oxidation 5 parts by weight of zinc, 70 parts by weight of carbon black “Thermax MT”, 10 parts by weight of calcium carbonate “Hakuenka CC” (manufactured by Shiroishi Kogyo Co., Ltd.), 30 parts by weight of dioctyl phthalate (DOP), and 0 sulfur .3 parts by mass, 1.5 parts by mass of vulcanization accelerator “Noxeller TT” (Ouchi Shinsei Chemical Co., Ltd.) and vulcanization accelerator “Noxeller CZ-G” (Ouchi Shinsei Chemical Co., Ltd.) A rubber composition was prepared by kneading 1.5 parts by mass with an 8-inch roll. Next, this rubber composition is heat-treated (150 ° C. × 20 minutes) using a hot press, whereby a vacuum suction pad substrate (nitrile) having a shape (d = 8 mm, h = 8 mm) as shown in FIG. Rubber molded product) was produced.
＜実施例１＞
（１）特定の表面処理剤の調製：
下記表１に示す処方に従って、上記式（４）で示される特定のフッ素含有化合物〔但し、式中「（ｘ’＝２）／（ｘ’＝３）」のモル比率が８６／１４であるもの。以下、同じ。〕０．００４ｇと、テトラエトキシシラン（ＴＥＯＳ）０．４０ｇと、テトラエトキシチタン〔Ｔｉ（ＯＥｔ）4 〕０．００４ｇと、式：Ｓｉ（ＯＣＨ3 ）3 −（ＣＨ2 ）3 −ＳＨで示されるシランカップリング剤「Ａ−１８９」〔日本ユニカー（株）製〕０．０１ｇと、塩酸（０．１Ｎ）０．０５ｇとを、アセトン９．５ｇに添加し、この系を室温下に１時間攪拌することにより、特定の表面処理剤（特定のフッ素含有化合物濃度＝０．０４質量％，ＴＥＯＳ濃度＝４．０質量％，テトラエトキシチタン濃度＝０．０４質量％，シランカップリング剤濃度＝０．１質量％）を調製した。
<Example 1>
(1) Preparation of specific surface treatment agent:
According to the formulation shown in Table 1 below, the specific fluorine-containing compound represented by the above formula (4) [wherein, the molar ratio of “(x ′ = 2) / (x ′ = 3)” is 86/14 thing. same as below. ] 0.004 g, tetraethoxysilane (TEOS) 0.40 g, tetraethoxy titanium [Ti (OEt) 4 ] 0.004 g, and the formula: Si (OCH 3 ) 3 — (CH 2 ) 3 —SH Silane coupling agent “A-189” (manufactured by Nihon Unicar Co., Ltd.) and hydrochloric acid (0.1N) 0.05 g were added to 9.5 g of acetone. By stirring for a certain time, a specific surface treatment agent (specific fluorine-containing compound concentration = 0.04% by mass, TEOS concentration = 4.0% by mass, tetraethoxytitanium concentration = 0.04% by mass, silane coupling agent concentration = 0.1% by mass).
（２）真空吸着パッド基材の表面処理（塗布工程および加熱工程）：
上記（１）により得られた特定の表面処理剤（１時間の攪拌操作の終了直後の処理剤）中に、作製例Ａで得られた真空吸着パッド基材を、室温下に３分間浸漬することにより、真空吸着パッド基材の全表面に表面処理剤を塗布した。次いで、真空吸着パッド基材を室温下に１０分間放置して塗膜を乾燥させた後、１００℃のオーブン内で６０分間加熱処理することにより、特定の表面処理剤による表面処理層（ハイブリッド化合物からなる表面処理層）が形成された真空吸着パッドを製造した。
(2) Surface treatment of vacuum suction pad base material (application process and heating process):
The vacuum suction pad base material obtained in Production Example A is immersed for 3 minutes at room temperature in the specific surface treatment agent obtained by the above (1) (treatment agent immediately after completion of the stirring operation for 1 hour). Thus, the surface treatment agent was applied to the entire surface of the vacuum suction pad base material. Next, after the vacuum suction pad base material is allowed to stand at room temperature for 10 minutes to dry the coating film, the surface treatment layer (hybrid compound) with a specific surface treatment agent is subjected to heat treatment in an oven at 100 ° C. for 60 minutes. A vacuum suction pad on which a surface treatment layer comprising:
＜実施例２＞
下記表１に示す処方に従って、テトラエトキシチタンの使用量を０．００８ｇに変更したこと以外は実施例１（１）と同様にして特定の表面処理剤（テトラエトキシチタン濃度＝０．０８質量％）を調製し、この表面処理剤を用いたこと以外は実施例１（２）と同様にして、特定の表面処理剤による表面処理層が形成された真空吸着パッドを製造した。
<Example 2>
In accordance with the formulation shown in Table 1 below, the specific surface treatment agent (tetraethoxytitanium concentration = 0.08% by mass) was carried out in the same manner as in Example 1 (1) except that the amount of tetraethoxytitanium used was changed to 0.008 g. A vacuum suction pad on which a surface treatment layer with a specific surface treatment agent was formed was produced in the same manner as in Example 1 (2) except that this surface treatment agent was used.
＜実施例３＞
下記表１に示す処方に従って、テトラエトキシチタンの使用量を０．０１２ｇに変更したこと以外は実施例１（１）と同様にして特定の表面処理剤（テトラエトキシチタン濃度＝０．１２質量％）を調製し、この表面処理剤を用いたこと以外は実施例１（２）と同様にして、特定の表面処理剤による表面処理層が形成された真空吸着パッドを製造した。
<Example 3>
In accordance with the formulation shown in Table 1 below, the specific surface treatment agent (tetraethoxytitanium concentration = 0.12% by mass) was obtained in the same manner as in Example 1 (1) except that the amount of tetraethoxytitanium used was changed to 0.012 g. A vacuum suction pad on which a surface treatment layer with a specific surface treatment agent was formed was produced in the same manner as in Example 1 (2) except that this surface treatment agent was used.
＜実施例４＞
下記表１に示す処方に従って、テトラエトキシチタンの使用量を０．０２０ｇに変更したこと以外は実施例１（１）と同様にして特定の表面処理剤（テトラエトキシチタン濃度＝０．２０質量％）を調製し、この表面処理剤を用いたこと以外は実施例１（２）と同様にして、特定の表面処理剤による表面処理層が形成された真空吸着パッドを製造した。
<Example 4>
In accordance with the formulation shown in Table 1 below, a specific surface treatment agent (tetraethoxy titanium concentration = 0.20 mass%) was carried out in the same manner as in Example 1 (1) except that the amount of tetraethoxy titanium used was changed to 0.020 g. A vacuum suction pad on which a surface treatment layer with a specific surface treatment agent was formed was produced in the same manner as in Example 1 (2) except that this surface treatment agent was used.
＜実施例５＞
下記表１に示す処方に従って、テトラエトキシチタンの使用量を０．０２８ｇに変更したこと以外は実施例１（１）と同様にして特定の表面処理剤（テトラエトキシチタン濃度＝０．２８質量％）を調製し、この表面処理剤を用いたこと以外は実施例１（２）と同様にして、特定の表面処理剤による表面処理層が形成された真空吸着パッドを製造した。
<Example 5>
In accordance with the formulation shown in Table 1 below, the specific surface treatment agent (tetraethoxytitanium concentration = 0.28% by mass) was the same as Example 1 (1) except that the amount of tetraethoxytitanium used was changed to 0.028 g. A vacuum suction pad on which a surface treatment layer with a specific surface treatment agent was formed was produced in the same manner as in Example 1 (2) except that this surface treatment agent was used.
＜実施例６＞
下記表１に示す処方に従って、テトラエトキシチタンの使用量を０．０４０ｇに変更したこと以外は実施例１（１）と同様にして特定の表面処理剤（テトラエトキシチタン濃度＝０．４０質量％）を調製し、この表面処理剤を用いたこと以外は実施例１（２）と同様にして、特定の表面処理剤による表面処理層が形成された真空吸着パッドを製造した。
<Example 6>
According to the formulation shown in Table 1 below, a specific surface treatment agent (tetraethoxy titanium concentration = 0.40 mass%) was carried out in the same manner as in Example 1 (1) except that the amount of tetraethoxy titanium used was changed to 0.040 g. A vacuum suction pad on which a surface treatment layer with a specific surface treatment agent was formed was produced in the same manner as in Example 1 (2) except that this surface treatment agent was used.
＜実施例７＞
下記表１に示す処方に従って、テトラエトキシチタンの使用量を０．００８ｇに変更し、シランカップリング剤の使用量を０．０２ｇに変更したこと以外は実施例１（１）と同様にして特定の表面処理剤（テトラエトキシチタン濃度＝０．０８質量％，シランカップリング剤濃度＝０．２質量％）を調製し、この表面処理剤を用いたこと以外は実施例１（２）と同様にして、特定の表面処理剤による表面処理層が形成された真空吸着パッドを製造した。
<Example 7>
In accordance with the prescription shown in Table 1 below, the amount of tetraethoxytitanium used was changed to 0.008 g, and the amount of silane coupling agent used was changed to 0.02 g. A surface treatment agent (tetraethoxytitanium concentration = 0.08 mass%, silane coupling agent concentration = 0.2 mass%) was prepared, and the same treatment as in Example 1 (2) except that this surface treatment agent was used. Thus, a vacuum suction pad on which a surface treatment layer with a specific surface treatment agent was formed was produced.
＜実施例８＞
下記表１に示す処方に従って、上記式（４）で示される特定のフッ素含有化合物に代えて、上記式（６）で示される特定のフッ素含有化合物（但し、ｘｂ＝１〜１０、ｙｂは１〜１０）０．００４ｇを使用し、テトラエトキシチタンの使用量を０．００８ｇに変更したこと以外は実施例１（１）と同様にして特定の表面処理剤（テトラエトキシチタン濃度＝０．０８質量％）を調製し、この表面処理剤を用いたこと以外は実施例１（２）と同様にして、特定の表面処理剤による表面処理層が形成された真空吸着パッドを得た。
<Example 8>
In accordance with the formulation shown in Table 1 below, instead of the specific fluorine-containing compound represented by the above formula (4), the specific fluorine-containing compound represented by the above formula (6) (provided that xb = 1 to 10, yb is 1 -10) A specific surface treatment agent (tetraethoxy titanium concentration = 0.08) in the same manner as in Example 1 (1) except that 0.004 g was used and the amount of tetraethoxy titanium used was changed to 0.008 g. (Mass%) was prepared, and a vacuum suction pad on which a surface treatment layer with a specific surface treatment agent was formed was obtained in the same manner as in Example 1 (2) except that this surface treatment agent was used.
＜比較例１＞
作製例Ａで得られた真空吸着パッド基材をを１００℃のオーブン内で６０分間加熱処理することにより、表面処理層が形成されていない真空吸着パッドを得た。
<Comparative Example 1>
The vacuum suction pad base material obtained in Production Example A was heat-treated in an oven at 100 ° C. for 60 minutes to obtain a vacuum suction pad on which no surface treatment layer was formed.
＜比較例２＞
下記表１に示す処方に従って、テトラエトキシチタンを使用しなかったこと以外は実施例１（１）と同様にして比較用の表面処理剤を調製し、この表面処理剤を用いたこと以外は実施例１（２）と同様にして、比較用の表面処理剤による表面処理層が形成された真空吸着パッドを得た。
<Comparative example 2>
In accordance with the formulation shown in Table 1 below, a comparative surface treatment agent was prepared in the same manner as in Example 1 (1) except that tetraethoxytitanium was not used, and the surface treatment agent was used except that this surface treatment agent was used. In the same manner as in Example 1 (2), a vacuum suction pad on which a surface treatment layer with a comparative surface treatment agent was formed was obtained.
＜比較例３＞
下記表１に示す処方に従って、シランカップリング剤を使用しなかったこと以外は実施例１（１）と同様にして比較用の表面処理剤を調製し、この表面処理剤を用いたこと以外は実施例１（２）と同様にして、比較用の表面処理剤による表面処理層が形成された真空吸着パッドを得た。
<Comparative Example 3>
According to the prescription shown in Table 1 below, a comparative surface treatment agent was prepared in the same manner as in Example 1 (1) except that no silane coupling agent was used, and this surface treatment agent was used except that In the same manner as in Example 1 (2), a vacuum suction pad on which a surface treatment layer with a surface treatment agent for comparison was formed was obtained.
＜真空吸着パッドの評価実験＞
実施例１〜８および比較例１〜３で得られた真空吸着パッドを、各々４個ずつ用意して以下のような実験を行った。
すなわち、４個の真空吸着パッドを、ワークの搬送装置を構成するアームの先端に直列配置し（配置間隔＝５０ｍｍ）、この搬送装置により、シリコーンゴム製のクリーニングブレード（３００ｍｍ×２０ｍｍ×０．１ｍｍ）を搬送する操作を１０００回にわたり連続的に行い、脱着不良が発生した時点で操作を中止して、その時の搬送回数を測定した。ここに、吸引圧力を２００ｇｆ／ｃｍ2 とし、有効パッド面積（πｄ2 ／４）が０．５０ｃｍ2 であるので、吸着力（１個の真空吸着パッド）は１００ｇｆとなる。この実験（脱着不良発生時の搬送回数の測定）は３回（ＲＵＮ１〜３）実施した。結果を併せて表１に示す。
<Vacuum suction pad evaluation experiment>
Four vacuum suction pads obtained in Examples 1 to 8 and Comparative Examples 1 to 3 were prepared, and the following experiment was performed.
That is, four vacuum suction pads are arranged in series at the tip of an arm constituting the workpiece conveying device (arrangement interval = 50 mm), and this conveying device allows a silicone rubber cleaning blade (300 mm × 20 mm × 0.1 mm). ) Was continuously carried out 1000 times, the operation was stopped when a desorption defect occurred, and the number of conveyances at that time was measured. Here, the suction pressure of 200 gf / cm 2, the effective pad area ([pi] d 2/4) is because it is 0.50 cm 2, suction force (one vacuum suction pad) is 100 gf. This experiment (measurement of the number of conveyances when a desorption failure occurs) was performed three times (
本発明に係る真空吸着パッドは、例えば、印刷機への用紙の搬送装置、半導体部品の搬送装置（チップマウンタ）、ロボットアームなどの構成部品として使用することができ、特に、軽量のワークを吸着保持する用途に好適に使用される。 The vacuum suction pad according to the present invention can be used as a component such as a paper transport device to a printing machine, a semiconductor component transport device (chip mounter), a robot arm, and the like. It is preferably used for holding purposes.
１ 真空吸着パッド
２ 基部
３ スカート部
1
Claims (8)
少なくともワークと接触する表面が、
下記式（Ｆ１）で示されるフッ素含有化合物と、
式（１）：Ｓｉ（ＯＲ4 ）4 （式中、Ｒ4 は、炭素数１〜４のアルキル基を表す。）で示されるテトラアルコキシシランと、
式（２）：Ｔｉ（ＯＲ5 ）4 （式中、Ｒ5 は、炭素数２〜４のアルキル基を表す。）で示されるテトラアルコキシチタンと、
式（３）：Ｓｉ（ＯＲ6 ）m Ｒ7 3-m −（ＣＨ2 ）n −Ｒ8 （式中、Ｒ6 はアルキル基またはアルコキシアルキル基を表し、Ｒ7 はアルキル基を表し、ｍは１〜３の整数であり、ｎは０〜５の整数である。また、Ｒ8 は、ゴムのポリマー主鎖との反応性を有する有機官能基を表す。）で示されるシランカップリング剤と、
これらを溶解する溶剤とを含有する表面処理剤；
により処理されている真空吸着パッド。
At least the surface in contact with the workpiece
A fluorine-containing compound represented by the following formula (F1);
A tetraalkoxysilane represented by the formula (1): Si (OR 4 ) 4 (wherein R 4 represents an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms);
Tetraalkoxytitanium represented by formula (2): Ti (OR 5 ) 4 (wherein R 5 represents an alkyl group having 2 to 4 carbon atoms);
Equation (3): Si (OR 6 ) m R 7 3-m - (CH 2) n -R 8 ( wherein, R 6 represents an alkyl group or an alkoxyalkyl group, R 7 represents an alkyl group, m Is an integer of 1 to 3, n is an integer of 0 to 5. R 8 represents an organic functional group having reactivity with the polymer main chain of the rubber. When,
A surface treatment agent containing a solvent for dissolving them;
Vacuum suction pad being processed by.
当該真空吸着パッド基材の少なくともワークと接触する表面に請求項１に記載の表面処理剤を塗布する工程と、
当該表面処理剤による塗膜を加熱する工程とを含む真空吸着パッドの製造方法。
Forming a vacuum suction pad base material made of rubber; and
Applying the surface treatment agent according to claim 1 to at least a surface of the vacuum suction pad substrate that comes into contact with the workpiece;
And a step of heating the coating film with the surface treatment agent.
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| JP2013139386A (en) * | 2013-03-15 | 2013-07-18 | Lixil Corp | Method of producing hybrid titania powder, hybrid titania powder, function-imparting liquid, and product |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004352742A (en) * | 2003-05-27 | 2004-12-16 | Fujikura Rubber Ltd | Surface-treating composition and method for treating surface of rubber |
| JP2006009978A (en) * | 2004-06-28 | 2006-01-12 | Fujikura Rubber Ltd | Relief valve and its manufacturing method |
| JP2006152011A (en) * | 2004-11-25 | 2006-06-15 | Fujikura Rubber Ltd | Surface-treating composition, rubber surface-treating method, and manufacturing method of relief valve |
| JP2007270013A (en) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Fujikura Rubber Ltd | Vacuum suction pad and its manufacturing method |
-
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Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004352742A (en) * | 2003-05-27 | 2004-12-16 | Fujikura Rubber Ltd | Surface-treating composition and method for treating surface of rubber |
| JP2006009978A (en) * | 2004-06-28 | 2006-01-12 | Fujikura Rubber Ltd | Relief valve and its manufacturing method |
| JP2006152011A (en) * | 2004-11-25 | 2006-06-15 | Fujikura Rubber Ltd | Surface-treating composition, rubber surface-treating method, and manufacturing method of relief valve |
| JP2007270013A (en) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Fujikura Rubber Ltd | Vacuum suction pad and its manufacturing method |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007270013A (en) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Fujikura Rubber Ltd | Vacuum suction pad and its manufacturing method |
| JP2013139386A (en) * | 2013-03-15 | 2013-07-18 | Lixil Corp | Method of producing hybrid titania powder, hybrid titania powder, function-imparting liquid, and product |
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