JP2007265827A - Plasma generator and workpiece processing device using it - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、基板等の被処理ワークなどに対してプラズマを照射することで、前記ワークの表面の清浄化や改質などを図ることが可能なプラズマ発生装置およびそれを用いるワーク処理装置に関する。 The present invention relates to a plasma generator capable of purifying or modifying the surface of a workpiece by irradiating plasma on a workpiece to be processed such as a substrate, and a workpiece processing apparatus using the plasma generator.
たとえば半導体基板等の被処理ワークに対してプラズマを照射し、その表面の有機汚染物の除去、表面改質、エッチング、薄膜形成または薄膜除去等を行うワーク処理装置が知られている。たとえば特許文献1には、同心状の内側導電体と外側導電体とを有するプラズマ発生ノズルを用い、両導電体間に高周波のパルス電界を印加することで、アーク放電ではなく、グロー放電を生じさせてプラズマを発生させ、ガス供給源からの処理ガスを両導電体間で旋回させながら基端側から遊端側へ向かわせることで高密度なプラズマを生成し、前記遊端に取付けられたノズルから被処理ワークに放射することで、常圧下で高密度なプラズマを得ることができるプラズマ処理装置が開示されている。
しかしながら、上述の従来技術では、単体のプラズマ発生ノズルが示されているだけで、大面積のワークや複数の被処理ワークを纏めて処理するにあたって、複数のプラズマ発生ノズルで、種々の形状のワークに、どのようにすれば均一なプラズマ処理を実現できるか、或いは所望の強弱を与えたプラズマ処理を実現できるかを想到し得ない。 However, in the above-described prior art, only a single plasma generating nozzle is shown. When processing a large-area workpiece or a plurality of workpieces to be processed, a plurality of plasma generating nozzles can be used to process workpieces of various shapes. In addition, it is impossible to conceive how to achieve a uniform plasma process or a plasma process with a desired strength.
本発明の目的は、複数の被処理ワークや大面積の被処理ワークに対して、所望のプラズマ処理を行うことができるプラズマ発生装置およびそれを用いるワーク処理装置を提供することである。 An object of the present invention is to provide a plasma generator capable of performing a desired plasma process on a plurality of workpieces to be processed and a workpiece to be processed having a large area, and a workpiece processing apparatus using the plasma generator.
本発明のプラズマ発生装置は、マイクロ波を発生するマイクロ波発生手段と、前記マイクロ波を伝搬する導波管と、前記導波管に取付けられ、前記マイクロ波を受信しそのマイクロ波のエネルギーに基づきプラズマ化したガスを生成して放出するプラズマ発生ノズルとを備えて構成されるプラズマ発生装置において、前記導波管は、マイクロ波の伝搬方向とは交差する断面形状が矩形に形成され、前記プラズマ発生ノズルは、複数個が前記マイクロ波の伝搬方向に相互に間隔を開けて配列され、かつ少なくともその一部が、マイクロ波の伝搬方向とは交差する方向にオフセット配列されていることを特徴とする。 The plasma generator according to the present invention includes a microwave generating means for generating a microwave, a waveguide for propagating the microwave, and the waveguide attached to the waveguide, receiving the microwave, and converting the microwave energy into the microwave energy. A plasma generating device configured to generate and discharge a plasma gas based on the waveguide, the waveguide has a rectangular cross-sectional shape that intersects the propagation direction of the microwave, A plurality of plasma generating nozzles are arranged at intervals in the microwave propagation direction, and at least a part thereof is offset arranged in a direction crossing the microwave propagation direction. And
上記の構成によれば、基板の改質等、ワークの処理などに使用することができるプラズマ発生装置において、導波管にプラズマ発生ノズルが複数個マイクロ波の伝搬方向に相互に間隔を開けて取付けられ、複数の被処理ワークや大面積の被処理ワークの処理などに対応するにあたって、前記導波管のマイクロ波の伝搬方向とは交差する断面形状が矩形に形成されると、マイクロ波エネルギーは、前記断面の中央部付近で高くなり、端部側になるにつれて小さくなる。そこで、少なくともその一部のプラズマ発生ノズルを、受信すべきマイクロ波エネルギーなどに対応して、マイクロ波の伝搬方向とは交差する方向にオフセット配列する。 According to the above configuration, in the plasma generator that can be used for workpiece processing such as substrate modification, a plurality of plasma generating nozzles are spaced apart from each other in the propagation direction of the microwave in the waveguide. When the cross-sectional shape intersecting the microwave propagation direction of the waveguide is formed in a rectangular shape in order to handle a plurality of workpieces to be processed or a large-area workpiece to be processed, the microwave energy Becomes higher near the center of the cross section and becomes smaller toward the end side. Therefore, at least some of the plasma generating nozzles are offset in a direction intersecting with the propagation direction of the microwave corresponding to the microwave energy to be received.
したがって、各プラズマ発生ノズルが、マイクロ波発生手段からの距離などに拘わらず均等なエネルギーでプラズマ照射を行うことができ、或いは被処理ワークの凹凸に対応してプラズマ照射エネルギーを調整するなど、各プラズマ発生ノズルに所望とするエネルギーでプラズマ照射を行わせることができる。 Therefore, each plasma generating nozzle can perform plasma irradiation with equal energy regardless of the distance from the microwave generating means, etc., or adjust the plasma irradiation energy according to the unevenness of the workpiece to be processed, etc. The plasma generation nozzle can be irradiated with plasma with desired energy.
また、本発明のプラズマ発生装置では、前記プラズマ発生ノズルは、前記マイクロ波の伝搬方向の上流側が前記断面の端部側に配列され、前記マイクロ波の伝搬方向の下流側になるにつれて、連続的にまたは段階的に、前記断面の中央部側に配列されることを特徴とする。 In the plasma generating apparatus of the present invention, the plasma generating nozzle is arranged such that the upstream side in the microwave propagation direction is arranged on the end side of the cross section and becomes the downstream side in the microwave propagation direction. It is arranged in the central part side of the cross section in or stepwise.
上記の構成によれば、各プラズマ発生ノズルが、マイクロ波発生手段からの距離などに拘わらず均等なエネルギーでプラズマ照射を行うことができ、ユニフォーミティを得ることができる。 According to said structure, each plasma generation nozzle can perform plasma irradiation with equal energy irrespective of the distance from a microwave generation means, etc., and a uniformity can be obtained.
さらにまた、本発明のプラズマ発生装置では、前記導波管のプラズマ発生ノズルが配列される壁面には、前記マイクロ波の伝搬方向とは交差する方向に延びて、前記プラズマ発生ノズルにおいてマイクロ波を受信する受信アンテナ部が突出する長孔が形成され、前記プラズマ発生ノズルは、前記壁面と平行に摺動変位し、前記長孔を遮蔽することができるスライド部材に取付けられることを特徴とする。 Furthermore, in the plasma generating apparatus of the present invention, the wall of the waveguide where the plasma generating nozzles are arranged extends in a direction crossing the propagation direction of the microwaves. A long hole through which a receiving antenna section for receiving is formed is formed, and the plasma generating nozzle is attached to a slide member that is slidably displaced in parallel with the wall surface and shields the long hole.
上記の構成によれば、プラズマ発生ノズルが取付けられたスライド部材を摺動させることで、長孔の範囲で、プラズマ発生ノズルの受信アンテナ部を任意の位置に突出させることができる。 According to said structure, the receiving antenna part of a plasma generation nozzle can be protruded in arbitrary positions in the range of a long hole by sliding the slide member to which the plasma generation nozzle was attached.
したがって、各プラズマ発生ノズルの受信アンテナ部で受信されるエネルギーを任意に変化することができるとともに、またそのエネルギーを微調整することができる。 Therefore, the energy received by the receiving antenna portion of each plasma generating nozzle can be arbitrarily changed, and the energy can be finely adjusted.
また、本発明のワーク処理装置は、前記のプラズマ発生装置に、そのプラズマ照射方向とは交差する面上で前記ワークとプラズマ発生ノズルとを相対的に移動させる移動手段を備え、相対的な移動を行いつつ、前記ワークにプラズマを照射して所定の処理を施与することを特徴とする。 The workpiece processing apparatus of the present invention further comprises a moving means for moving the workpiece and the plasma generating nozzle relative to each other on a plane intersecting the plasma irradiation direction in the plasma generating apparatus. And performing a predetermined treatment by irradiating the workpiece with plasma.
したがって、複数のプラズマ発生ノズルのそれぞれからワークに照射されるプラズマのエネルギーを略一定として、複数の被処理ワークや大面積の被処理ワークに対しても、均一にプラズマ処理を行うことができるワーク処理装置を実現することができる。 Accordingly, the plasma energy irradiated to the workpiece from each of the plurality of plasma generation nozzles is made substantially constant, and the workpiece can be uniformly subjected to plasma processing even on a plurality of workpieces to be processed or a large area workpiece. A processing device can be realized.
本発明のプラズマ発生装置は、以上のように、基板の改質等、ワークの処理などに使用することができるプラズマ発生装置において、矩形の導波管にプラズマ発生ノズルが複数個配列して取付けられ、複数の被処理ワークや大面積の被処理ワークの処理などに対応するにあたって、前記プラズマ発生ノズルをマイクロ波の伝搬方向に相互に間隔を開けて配列し、かつ少なくともその一部を、マイクロ波の伝搬方向とは交差する方向にオフセットして配列する。 As described above, the plasma generating apparatus of the present invention is a plasma generating apparatus that can be used for processing of a workpiece such as substrate modification, and a plurality of plasma generating nozzles are arranged in a rectangular waveguide. In order to deal with a plurality of workpieces and workpieces with a large area, the plasma generating nozzles are arranged at intervals in the microwave propagation direction, and at least a part of them is They are arranged offset in the direction intersecting with the wave propagation direction.
それゆえ、各プラズマ発生ノズルが、マイクロ波発生手段からの距離などに拘わらず均等なエネルギーでプラズマ照射を行うことができ、或いは被処理ワークの凹凸に対応してプラズマ照射エネルギーを調整するなど、各プラズマ発生ノズルに所望とするエネルギーでプラズマ照射を行わせることができる。 Therefore, each plasma generating nozzle can perform plasma irradiation with equal energy regardless of the distance from the microwave generating means, etc., or adjust the plasma irradiation energy corresponding to the unevenness of the workpiece to be processed, etc. Each plasma generating nozzle can be irradiated with plasma with desired energy.
また、本発明のワーク処理装置は、以上のように、前記のプラズマ発生装置に、そのプラズマ照射方向とは交差する面上で前記ワークとプラズマ発生ノズルとを相対的に移動させる移動手段を備え、相対的な移動を行いつつ、前記ワークにプラズマを照射して所定の処理を施与する。 In addition, as described above, the workpiece processing apparatus of the present invention includes a moving unit that moves the workpiece and the plasma generating nozzle relative to each other on a plane that intersects the plasma irradiation direction. While performing the relative movement, the workpiece is irradiated with plasma to give a predetermined treatment.
それゆえ、複数のプラズマ発生ノズルのそれぞれからワークに照射されるプラズマのエネルギーを略一定として、複数の被処理ワークや大面積の被処理ワークに対しても、均一にプラズマ処理を行うことができるワーク処理装置を実現することができる。 Therefore, the plasma energy applied to the workpiece from each of the plurality of plasma generating nozzles can be made substantially constant, and even a plurality of workpieces to be processed and a workpiece having a large area can be uniformly processed. A work processing apparatus can be realized.
[実施の形態1]
図1は、本発明の実施の一形態に係るワーク処理装置Sの全体構成を示す斜視図である。このワーク処理装置Sは、プラズマを発生し被処理物となるワークWに前記プラズマを照射するプラズマ発生ユニットPU(プラズマ発生装置)と、ワークWを前記プラズマの照射領域を経由する所定のルートで搬送する搬送手段Cとから構成されている。図2は、図1とは視線方向を異ならせたプラズマ発生ユニットPUの斜視図、図3は一部透視側面図である。なお、図1〜図3において、X−X方向を前後方向、Y−Y方向を左右方向、Z−Z方向を上下方向というものとし、−X方向を前方向、+X方向を後方向、−Yを左方向、+Y方向を右方向、−Z方向を下方向、+Z方向を上方向として説明する。
[Embodiment 1]
FIG. 1 is a perspective view showing an overall configuration of a work processing apparatus S according to an embodiment of the present invention. The workpiece processing apparatus S includes a plasma generation unit PU (plasma generation apparatus) that generates plasma and irradiates the workpiece W, which is an object to be processed, with the plasma, and a predetermined route that passes the workpiece W through the plasma irradiation region. It is comprised from the conveyance means C which conveys. 2 is a perspective view of the plasma generation unit PU in which the line-of-sight direction is different from that in FIG. 1, and FIG. 3 is a partially transparent side view. 1 to 3, the XX direction is the front-rear direction, the Y-Y direction is the left-right direction, the ZZ direction is the up-down direction, the -X direction is the front direction, the + X direction is the rear direction,- Y will be described as a left direction, + Y direction as a right direction, -Z direction as a downward direction, and + Z direction as an upward direction.
プラズマ発生ユニットPUは、マイクロ波を利用し、常温常圧でのプラズマ発生が可能なユニットであって、大略的に、マイクロ波を伝搬させる導波管10、この導波管10の一端側(左側)に配置され所定波長のマイクロ波を発生するマイクロ波発生装置20、導波管10に設けられたプラズマ発生部30、導波管10の他端側(右側)に配置されマイクロ波を反射させるスライディングショート40、導波管10に放出されたマイクロ波のうち反射マイクロ波がマイクロ波発生装置20に戻らないよう分離するサーキュレータ50、サーキュレータ50で分離された反射マイクロ波を吸収するダミーロード60および導波管10とプラズマ発生ノズル31とのインピーダンス整合を図るスタブチューナ70を備えて構成されている。また搬送手段Cは、図略の駆動手段により回転駆動される搬送ローラ80を含んで構成されている。本実施形態では、平板状のワークWが搬送手段Cにより搬送される例を示している。
The plasma generation unit PU is a unit capable of generating plasma at normal temperature and pressure using microwaves. In general, the
導波管10は、アルミニウム等の非磁性金属から成り、断面矩形の長尺管状を呈し、マイクロ波発生装置20により発生されたマイクロ波をプラズマ発生部30へ向けて、その長手方向に伝搬させるものである。導波管10は、分割された複数の導波管ピースが互いのフランジ部同士で連結された連結体で構成されており、一端側から順に、マイクロ波発生装置20が搭載される第1導波管ピース11、スタブチューナ70が組付けられる第2導波管ピース12およびプラズマ発生部30が設けられている第3導波管ピース13が連結されて成る。なお、第1導波管ピース11と第2導波管ピース12との間にはサーキュレータ50が介在され、第3導波管ピース13の他端側にはスライディングショート40が連結されている。
The
また、第1導波管ピース11、第2導波管ピース12および第3導波管ピース13は、それぞれ金属平板からなる上面板、下面板および2枚の側面板を用いて、角筒状に組立てられ、その両端にフランジ板が取付けられて構成されている。なお、このような平板の組み立てによらず、押出し成形や板状部材の折り曲げ加工等により形成された矩形導波管ピースもしくは非分割型の導波管を用いるようにしてもよい。また、非磁性金属に限らず、導波作用を有する各種の部材で導波管を構成することができる。
The
マイクロ波発生装置20は、たとえば2.45GHzのマイクロ波を発生するマグネトロン等のマイクロ波発生源を具備する装置本体部21と、装置本体部21で発生されたマイクロ波を導波管10の内部へ放出するマイクロ波送信アンテナ22とを備えて構成されている。本実施形態に係るプラズマ発生ユニットPUでは、たとえば1W〜3kWのマイクロ波エネルギーを出力できる連続可変型のマイクロ波発生装置20が好適に用いられる。
The
図3に示すように、マイクロ波発生装置20は、装置本体部21からマイクロ波送信アンテナ22が突設された形態のものであり、第1導波管ピース11に載置される態様で固定されている。詳しくは、装置本体部21が第1導波管ピース11の上面板11Uに載置され、マイクロ波送信アンテナ22が上面板11Uに穿設された貫通孔111を通して第1導波管ピース11内部の導波空間110に突出する態様で固定されている。このように構成されることで、マイクロ波送信アンテナ22から放出された、たとえば2.45GHzのマイクロ波は、導波管10により、その一端側(左側)から他端側(右側)に向けて伝搬される。
As shown in FIG. 3, the
プラズマ発生部30は、第3導波管ピース13の下面板13B(処理対象ワークとの対向面)に、マイクロ波の伝搬方向(左右方向)に相互に間隔を開けて配列された8個のプラズマ発生ノズル31−1〜31−8(総称するときは、以下参照符号31で示す)を具備して構成されている。このプラズマ発生部30の幅員、つまり8個のプラズマ発生ノズル31の左右方向の配列幅は、平板状ワークWの搬送方向と直交する幅方向のサイズtと略合致する幅員とされている。これにより、ワークWを搬送ローラ80で搬送しながら、ワークWの全表面(下面板13Bと対向する面)に対してプラズマ処理が行えるようになっている。なお、8個のプラズマ発生ノズル31の配列間隔P1は、導波管10内を伝搬させるマイクロ波の波長λGに応じて定めることが望ましい。たとえば、波長λGの1/2ピッチ、1/4ピッチでプラズマ発生ノズル31を配列することが望ましく、2.45GHzのマイクロ波を用いる場合は、λG=230mmであるので、115mm(λG/2)ピッチ、或いは57.5mm(λG/4)ピッチでプラズマ発生ノズル31を配列すればよい。
The
注目すべきは、本実施の形態では、図11(a)で示すように、導波管10の軸線α1に対して、プラズマ発生ノズル31の配列方向α2が傾斜しており、後述する受信アンテナ部320(図4および図5参照)が、受信すべきマイクロ波エネルギーに対応して、前記軸線α1からオフセット配列されていることである。図11(a)の例では、マイクロ波の伝搬方向Fの最も上流(マイクロ波発生装置20)側のプラズマ発生ノズル31−1が前記導波管10の矩形断面の最も端部側(オフセット量=最大オフセットP2)にて配列され、順次前記マイクロ波の伝搬方向Fの下流(スライディングショート40)側のプラズマ発生ノズル31−2〜31−7になるにつれて、連続的に前記断面の中央部側に配列されてゆき、最も下流のプラズマ発生ノズル31−8は、前記軸線α1上(オフセット量=0)に配列されている。
It should be noted that in the present embodiment, as shown in FIG. 11A, the arrangement direction α2 of the
これは、導波管10の断面が上述のように矩形であると、伝搬されているマイクロ波のエネルギーは、図11(b)で示すように、前記矩形断面の中央部で最も高く、端部側になるにつれて低くなってゆくためである。また、受信アンテナ部320は、下流側のものが上流側のものの陰になり、受信効率が低くなるためである。
This is because when the cross section of the
図4は、2つのプラズマ発生ノズル31を拡大して示す側面図(一方のプラズマ発生ノズル31は分解図として描いている)、図5は、図4のA−A線側断面図である。プラズマ発生ノズル31は、中心導電体32(内部導電体)、ノズル本体33(外部導電体)、ノズルホルダ34、シール部材35および保護管36を含んで構成されている。
4 is an enlarged side view showing two plasma generation nozzles 31 (one
中心導電体32は、銅、アルミ、真鍮などの良導電性の金属から構成され、φ1〜5mm程度の棒状部材から成り、その上端部321の側が第3導波管ピース13の下面板13Bを貫通して導波空間130に所定長さだけ突出(この突出部分を前記受信アンテナ部320という)する一方で、下端部322がノズル本体33の下端縁331と略面一になるように、上下方向に配置されている。この中心導電体32には、受信アンテナ部320が導波管10内を伝搬するマイクロ波を受信することで、マイクロ波エネルギー(マイクロ波電力)が与えられるようになっている。当該中心導電体32は、長さ方向略中間部において、シール部材35により保持されている。
The
ノズル本体33は、良導電性の金属から構成され、中心導電体32を収納する筒状空間332を有する筒状体である。また、ノズルホルダ34も良導電性の金属から構成され、ノズル本体33を保持する比較的大径の下部保持空間341と、シール部材35を保持する比較的小径の上部保持空間342とを有する筒状体である。一方、シール部材35は、テフロン(登録商標)等の耐熱性樹脂材料やセラミック等の絶縁性部材から成り、前記中心導電体32を固定的に保持する保持孔351をその中心軸上に備える筒状体から成る。
The
ノズル本体33は、上方から順に、ノズルホルダ34の下部保持空間341に嵌合される上側胴部33Uと、後述するガスシールリング37を保持するための環状凹部33Sと、環状に突設されたフランジ部33Fと、ノズルホルダ34から突出する下側胴部33Bとを具備している。また、上側胴部33Uには、所定の処理ガスを前記筒状空間332へ供給させるための連通孔333が穿孔されている。
The
このノズル本体33は、中心導電体32の周囲に配置された外部導電体として機能するもので、中心導電体32は所定の環状空間H(絶縁間隔)が周囲に確保された状態で筒状空間332の中心軸上に挿通されている。ノズル本体33は、上側胴部33Uの外周部がノズルホルダ34の下部保持空間341の内周壁と接触し、またフランジ部33Fの上端面がノズルホルダ34の下端縁343と接触するようにノズルホルダ34に嵌合されている。なお、ノズル本体33は、たとえばプランジャやセットビス等を用いて、ノズルホルダ34に対して着脱自在な固定構造で装着されることが望ましい。
The
ノズルホルダ34は、第3導波管ピース13の下面板13Bに穿孔された貫通孔131に密嵌合される上側胴部34U(上部保持空間342の位置に略対応する)と、下面板13Bから下方向に延出する下側胴部34B(下部保持空間341の位置に略対応する)とを備えている。下側胴部34Bの外周には、処理ガスを前記環状空間Hに供給するためのガス供給孔344が穿孔されている。図示は省略しているが、このガス供給孔344には、所定の処理ガスを供給するガス供給管の終端部が接続するための管継手等が取り付けられる。かかるガス供給孔344と、ノズル本体33の連通孔333とは、ノズル本体33がノズルホルダ34への定位置嵌合された場合に互いに連通状態となるように、各々位置設定されている。なお、ガス供給孔344と連通孔333との突き合わせ部からのガス漏洩を抑止するために、ノズル本体33とノズルホルダ34との間にはガスシールリング37が介在されている。
The
これらガス供給孔344および連通孔333は、周方向に等間隔に複数穿孔されていてもよく、また中心へ向けて半径方向に穿孔されるのではなく、前述の特許文献1のように、処理ガスを旋回させるように、前記筒状空間332の外周面の接線方向に穿孔されてもよい。また、ガス供給孔344および連通孔333は、中心導電体32に対して垂直ではなく、処理ガスの流れを良くするために、上端部321側から下端部322側へ斜めに穿設されてもよい。
A plurality of the gas supply holes 344 and the communication holes 333 may be perforated at equal intervals in the circumferential direction, and are not perforated in the radial direction toward the center. The gas may be perforated in the tangential direction of the outer peripheral surface of the
シール部材35は、その下端縁352がノズル本体33の上端縁334と当接し、その上端縁353がノズルホルダ34の上端係止部345と当接する態様で、ノズルホルダ34の上部保持空間342に保持されている。すなわち、上部保持空間342に中心導電体32を支持した状態のシール部材35が嵌合され、ノズル本体33の上端縁334でその下端縁352が押圧されるようにして組付けられているものである。
The
保護管36(図5では図示省略している)は、所定長さの石英ガラスパイプ等から成り、ノズル本体33の筒状空間332の内径に略等しい外径を有する。この保護管36は、ノズル本体33の下端縁331での異常放電(アーキング)を防止して、後述するプルームPを正常に放射させる機能を有しており、その一部がノズル本体33の下端縁331から突出するように、前記筒状空間332に内挿されている。なお、保護管36は、その先端部が下端縁331と一致するように、或いは下端縁331よりも内側へ入り込むように、その全体が筒状空間332に収納されていてもよい。
The protective tube 36 (not shown in FIG. 5) is made of a quartz glass pipe or the like having a predetermined length, and has an outer diameter substantially equal to the inner diameter of the
プラズマ発生ノズル31は上記のように構成されている結果、ノズル本体33、ノズルホルダ34および第3導波管ピース13(導波管10)は導通状態(同電位)とされている一方で、中心導電体32は絶縁性のシール部材35で支持されていることから、これらの部材とは電気的に絶縁されている。したがって、図6に示すように、導波管10がアース電位とされた状態で、中心導電体32の受信アンテナ部320でマイクロ波が受信され中心導電体32にマイクロ波電力が給電されると、その下端部322およびノズル本体33の下端縁331の近傍に電界集中部が形成されるようになる。
As a result of the
かかる状態で、ガス供給孔344から、たとえば酸素ガスや空気のような酸素系の処理ガスが環状空間Hへ供給されると、前記マイクロ波電力により処理ガスが励起されて中心導電体32の下端部322付近においてプラズマ(電離気体)が発生する。このプラズマは、電子温度が数万度であるものの、ガス温度は外界温度に近い反応性プラズマ(中性分子が示すガス温度に比較して、電子が示す電子温度が極めて高い状態のプラズマ)であって、常圧下で発生するプラズマである。
In this state, when an oxygen-based processing gas such as oxygen gas or air is supplied from the
このようにしてプラズマ化された処理ガスは、ガス供給孔344から与えられるガス流によりプルームPとしてノズル本体33の下端縁331から放射される。このプルームPにはラジカルが含まれ、たとえば処理ガスとして酸素系ガスを使用すると酸素ラジカルが生成されることとなり、有機物の分解・除去作用、レジスト除去作用等を有するプルームPとすることができる。本実施形態に係るプラズマ発生ユニットPUでは、プラズマ発生ノズル31が複数個配列されていることから、左右方向に延びるライン状のプルームPを発生させることが可能となる。
The processing gas thus converted into plasma is radiated from the
因みに、処理ガスとしてアルゴンガスのような不活性ガスや窒素ガスを用いれば、各種基板の表面クリーニングや表面改質を行うことができる。また、フッ素を含有する化合物ガスを用いれば基板表面を撥水性表面に改質することができ、親水基を含む化合物ガスを用いることで基板表面を親水性表面に改質することができる。さらに、金属元素を含む化合物ガスを用いれば、基板上に金属薄膜層を形成することができる。 Incidentally, when an inert gas such as argon gas or nitrogen gas is used as the processing gas, the surface cleaning and surface modification of various substrates can be performed. Further, if a compound gas containing fluorine is used, the substrate surface can be modified to a water-repellent surface, and using a compound gas containing a hydrophilic group can modify the substrate surface to a hydrophilic surface. Furthermore, if a compound gas containing a metal element is used, a metal thin film layer can be formed on the substrate.
スライディングショート40は、各々のプラズマ発生ノズル31に備えられている中心導電体32と、導波管10の内部を伝搬されるマイクロ波との結合状態を最適化するために備えられているもので、マイクロ波の反射位置を変化させて定在波パターンを調整可能とするべく第3導波管ピース13の右側端部に連結されている。したがって、定在波を利用しない場合は、当該スライディングショート40に代えて、電波吸収作用を有するダミーロードが取付けられる。
The sliding short 40 is provided for optimizing the coupling state between the
図7は、スライディングショート40の内部構造を示す透視斜視図である。図7に示すように、スライディングショート40は、導波管10と同様な断面矩形の筐体構造を備えており、導波管10と同じ材料で構成された中空空間410を有する筐体部41と、前記中空空間410内に収納された円柱状の反射ブロック42と、反射ブロック42の基端部に一体的に取り付けられ前記中空空間410内を左右方向に摺動する矩形ブロック43と、この矩形ブロック43に組付けられた移動機構44と、反射ブロック42にシャフト45を介して直結されている調整ノブ46とを備えている。
FIG. 7 is a perspective view showing the internal structure of the sliding short 40. As shown in FIG. 7, the sliding short 40 includes a housing structure having a rectangular cross section similar to that of the
反射ブロック42は、マイクロ波の反射面となる先端面421が第3導波管ピース13の導波空間130に対向するよう左右方向に延在する円柱体である。この反射ブロック42は、矩形ブロック43と同様な角柱状を呈していてもよい。前記移動機構44は、調整ノブ46の回転操作により、矩形ブロック43およびこれと一体化された反射ブロック42を左右方向に推進若しくは後退させる機構であって、調整ノブ46を回転させることで反射ブロック42が中空空間410内において矩形ブロック43にてガイドされつつ左右方向に移動可能とされている。かかる反射ブロック42の移動による先端面421の位置調整によって、定在波パターンが最適化される。なお、調整ノブ46の回転操作を、ステッピングモータ等を用いて自動化することが望ましい。
The
サーキュレータ50は、たとえばフェライト柱を内蔵する導波管型の3ポートサーキュレータからなり、一旦はプラズマ発生部30へ向けて伝搬されたマイクロ波のうち、プラズマ発生部30で電力消費されずに戻って来る反射マイクロ波を、マイクロ波発生装置20に戻さずダミーロード60へ向かわせるものである。このようなサーキュレータ50を配置することで、マイクロ波発生装置20が反射マイクロ波によって過熱状態となることが防止される。
The
図8は、サーキュレータ50の作用を説明するためのプラズマ発生ユニットPUの上面図である。図示するように、サーキュレータ50の第1ポート51には第1導波管ピース11が、第2ポート52には第2導波管ピース12が、さらに第3ポート53にはダミーロード60がそれぞれ接続されている。そして、マイクロ波発生装置20のマイクロ波送信アンテナ22から発生されたマイクロ波は、矢印aで示すように第1ポート51から第2ポート52を経由して第2導波管ピース12へ向かう。これに対して、第2導波管ピース12側から入射する反射マイクロ波は、矢印bで示すように、第2ポート52から第3ポート53へ向かうよう偏向され、ダミーロード60へ入射される。
FIG. 8 is a top view of the plasma generation unit PU for explaining the operation of the
ダミーロード60は、上述の反射マイクロ波を吸収して熱に変換する水冷型(空冷型でも良い)の電波吸収体である。このダミーロード60には、冷却水を内部に流通させるための冷却水流通口61が設けられており、反射マイクロ波を熱変換することにより発生した熱が前記冷却水に熱交換されるようになっている。
The
スタブチューナ70は、導波管10とプラズマ発生ノズル31とのインピーダンス整合を図るためのもので、第2導波管ピース12の上面板12Uに所定間隔を置いて直列配置された3つのスタブチューナユニット70A〜70Cを備えている。図9は、スタブチューナ70の設置状況を示す透視側面図である。図示するように、3つのスタブチューナユニット70A〜70Cは同一構造を備えており、第2導波管ピース12の導波空間120に突出するスタブ71と、該スタブ71に直結された操作棒72と、スタブ71を上下方向に出没動作させるための移動機構73と、これら機構を保持する外套74とから構成されている。
The
スタブチューナユニット70A〜70Cに各々備えられているスタブ71は、その導波空間120への突出長が各操作棒72により独立して調整可能とされている。これらスタブ71の突出長は、たとえばマイクロ波電力パワーをモニタしつつ、中心導電体32による消費電力が最大となるポイント(反射マイクロ波が最小になるポイント)を探索することで決定される。なお、このようなインピーダンス整合は、必要に応じてスライディングショート40と連動させて実行される。このスタブチューナ70の操作も、ステッピングモータ等を用いて自動化することが望ましい。
In the
搬送手段Cは、所定の搬送路に沿って配置された複数の搬送ローラ80を備え、図略の駆動手段により搬送ローラ80が駆動されることで、処理対象となるワークWを、前記プラズマ発生部30を経由して搬送させるものである。ここで、処理対象となるワークWとしては、プラズマディスプレイパネルや半導体基板のような平型基板、電子部品が実装された回路基板等を例示することができる。また、平型形状でないパーツや組部品等も処理対象とすることができ、この場合は搬送ローラに代えてベルトコンベア等を採用すればよい。
The conveyance means C includes a plurality of
次に、本実施形態に係るワーク処理装置Sの電気的構成について説明する。図10は、ワーク処理装置Sの制御系を示すブロック図である。この制御系は、CPU(中央演算処理装置)901およびその周辺回路等から成る全体制御部90と、出力インタフェイスや駆動回路等から成るマイクロ波出力制御部91、ガス流量制御部92および搬送制御部93と、表示手段や操作パネル等から成り、前記全体制御部90に対して所定の操作信号を与える操作部95と、入力インタフェイスやアナログ/デジタル変換器等から成るセンサ入力部96,97と、センサ961,971ならびに駆動モータ931および流量制御弁923とを備えて構成される。
Next, an electrical configuration of the work processing apparatus S according to the present embodiment will be described. FIG. 10 is a block diagram showing a control system of the work processing apparatus S. This control system includes a CPU (central processing unit) 901 and an
マイクロ波出力制御部91は、マイクロ波発生装置20から出力されるマイクロ波のON−OFF制御、出力強度制御を行うもので、前記2.45GHzのパルス信号を生成してマイクロ波発生装置20の装置本体部21によるマイクロ波発生の動作制御を行う。
The microwave
ガス流量制御部92は、プラズマ発生部30の各プラズマ発生ノズル31へ供給する処理ガスの流量制御を行うものである。具体的には、ガスボンベ等の処理ガス供給源921と各プラズマ発生ノズル31との間を接続するガス供給管922に設けられた前記流量制御弁923の開度調整をそれぞれ行う。
The gas flow
搬送制御部93は、搬送ローラ80を回転駆動させる駆動モータ931の動作制御を行うもので、ワークWの搬送開始/停止、および搬送速度の制御等を行うものである。
The
全体制御部90は、当該ワーク処理装置Sの全体的な動作制御を司るもので、操作部95から与えられる操作信号に応じて、センサ入力部96から入力される流量センサ961の測定結果、センサ入力部97から入力される速度センサ971によるワークWの搬送速度の測定結果等をモニタし、上記マイクロ波出力制御部91、ガス流量制御部92および搬送制御部93を、所定のシーケンスに基づいて動作制御する。
The
具体的には、前記CPU901は、メモリ902に予め格納されている制御プログラムに基づいて、ワークWの搬送を開始させてワークWをプラズマ発生部30へ導き、所定流量の処理ガスを各プラズマ発生ノズル31へ供給させつつマイクロ波電力を与えてプラズマ(プルームP)を発生させ、ワークWを搬送しながらその表面にプルームPを放射させるものである。これにより、複数のワークWを連続的に処理する。
Specifically, the
このとき、前記CPU901は、複数のプラズマ発生ノズル31のそれぞれに対して設けられる流量センサ961の測定結果をモニタしており、記憶手段であるメモリ903において、メーカ側で予め測定されて格納されている流量に対応したプルームの大きさや形状、プラズマの温度などのプラズマ出力特性を読出し、所望の特性となるように、前記メモリ902格納されている制御プログラムに基づいて、前記流量制御弁923の開度調整をそれぞれ行う。たとえば、プルームPを大きくする場合には流量を上げ、プラズマ温度を上げる場合には流量を下げるなどである。また、ワークWに電子部品が実装されているなどして高さが異なる場合など、各プラズマ発生ノズル31からのプルームPの高さを変化させることなども可能である。
At this time, the
以上説明したワーク処理装置Sによれば、ワーク搬送手段CでワークWを搬送しつつ、導波管10に複数個配列して取付けられたプラズマ発生ノズル31からプラズマ化されたガスをワークWに対して放射することが可能であるので、複数の被処理ワークに対して連続的にプラズマ処理を行うことができ、また大面積のワークに対しても効率良くプラズマ処理を行うことができる。したがって、バッチ処理タイプのワーク処理装置に比較して、各種の被処理ワークに対するプラズマ処理作業性に優れるワーク処理装置S若しくはプラズマ発生装置PUを提供することができる。しかも、外界の温度および圧力でプラズマを発生させることができるので、真空チャンバー等を必要とせず、設備構成を簡素化することができる。
According to the workpiece processing apparatus S described above, the workpiece W is transported by the workpiece transport means C, and the plasmaized gas from the
また、マイクロ波発生装置20から発生されたマイクロ波を、各々のプラズマ発生ノズル31が備える受信アンテナ部320で受信させ、そのマイクロ波のエネルギーに基づきそれぞれのプラズマ発生ノズル31からプラズマ化されたガスを放出させることができるので、マイクロ波が保有するエネルギーの各プラズマ発生ノズル31への伝達系を簡素化することができる。したがって、装置構成のシンプル化、コストダウン等を図ることができる。
In addition, the microwave generated from the
さらに、複数のプラズマ発生ノズル31が一列に整列配置されて成るプラズマ発生部30が、平板状のワークWの搬送方向と直交する幅方向のサイズtに略合致した幅員を有しているので、当該ワークWを、搬送手段Cにより一度だけプラズマ発生部30を通過させるだけで、その全面の処理を完了させることができ、平板状のワークに対するプラズマ処理効率を格段に向上させることができる。また、搬送されて来るワークWに対して同じタイミングでプラズマ化されたガスを放射できるようになり、均質的な表面処理等を行うことができる。
Further, since the
さらにまた、マイクロ波の伝搬方向Fに対する直交断面が矩形に形成される導波管10では、マイクロ波エネルギーは、前記断面の中央部付近で高くなり、端部側になるにつれて小さくなるので、複数のプラズマ発生ノズル31を前記マイクロ波の伝搬方向Fに相互に間隔P1を開けて配列し、かつ少なくともその一部を、受信すべきマイクロ波エネルギーに対応して、前記マイクロ波の伝搬方向Fとは交差する方向にオフセット配列する。これによって、各プラズマ発生ノズル31が、マイクロ波発生装置20からの距離などに拘わらず均等なエネルギーでプラズマ照射を行うことができ、或いは被処理ワークWの凹凸に対応してプラズマ照射エネルギーを調整するなど、各プラズマ発生ノズル31に所望とするエネルギーでプラズマ照射を行わせることができる。
Furthermore, in the
たとえば、同じ受信アンテナ部320を用いるとき、図11(a)で示すように、マイクロ波の伝搬方向Fの上流(31−1)側が前記断面の端部側に配列され、前記マイクロ波の伝搬方向Fの下流(31−8)側になるにつれて、連続的に前記断面の中央部側に配列されることで、各プラズマ発生ノズル31−1〜31−8が、マイクロ波発生装置20からの距離などに拘わらず均等なエネルギーでプラズマ照射を行うことができ、ユニフォーミティを得ることができる。
For example, when the same
このプラズマ発生ノズル31のオフセット量は、前述の図11(a)のように連続的に変化されるのではなく、図12(a)で示すように段階的に変化されてもよく、また図12(b)で示すように導波管10の断面の両端部が使用されてもよい。さらにまた、前記受信アンテナ部320の長さおよび太さの変化による受信マイクロ波エネルギーの変化も併用され(長くなる程、また太くなる程、受信マイクロ波エネルギーが大きくなる)、図12(c)で示すように、一部だけオフセットされていてもよい。たとえば、図12(c)では、プラズマ発生ノズル31−1〜31−6までは同じオフセット量の位置に配置され、受信アンテナ部320の長さおよび太さの変化によって受信マイクロ波エネルギーが調整され、プラズマ発生ノズル31−7〜31−8は、オフセット量で受信マイクロ波エネルギーが調整されている。
The offset amount of the
[実施の形態2]
図13は、本発明の実施の他の形態に係るプラズマ発生ノズル31’の構造を示す分解斜視図である。このプラズマ発生ノズル31’は、前述のプラズマ発生ノズル31と構造自体は同一であり、類似し、対応する部分には同一の参照符号を付して示し、その説明を省略する。注目すべきは、このプラズマ発生ノズル31’では、該プラズマ発生ノズル31’の導波管10’への取付けが異なり、導波管10’においてプラズマ発生ノズル31’が配列される下面板13B’には、前記マイクロ波の伝搬方向Fの直交方向に延びる長孔13Hが形成され、この長孔13Hを遮蔽することができるスライド部材38に該プラズマ発生ノズル31’が取付けられることである。
[Embodiment 2]
FIG. 13 is an exploded perspective view showing the structure of a
前記長孔13Hには、前記受信アンテナ部320からノズルホルダ34の上側胴部34Uが遊挿し、前記受信アンテナ部320が導波空間130に突出するようになっている。前記導波管10’の下面板13B’において、長孔13Hの一端側には一対の案内部材39が設けられており、この案内部材39によって前記スライド部材38がマイクロ波の伝搬方向Fの直交方向に摺動自在となっている。一方、前記スライド部材38の一端側には、前記案内部材39をかわす切欠き381が形成されており、この切欠き381の部分で前記案内部材39を回避しつつ、前記受信アンテナ部320からノズルホルダ34の上側胴部34Uが突出して取付けられたスライド部材38が嵌め込まれ、前記一端側に摺動変位されることで、該スライド部材38の他端側の幅広部382が前記案内部材39と底面13B’との間に挟み込まれ、脱落が防止され、かつ前述のように摺動変位自在となる。
The
したがって、本実施の形態では、前記長孔13Hは、導波管10’のマイクロ波の伝搬方向Fとは直交断面の中央部から一端部側に形成されていればよいところ、前記受信アンテナ部320からノズルホルダ34の上側胴部34Uを挿入するために、他端部側まで延設されている。プラズマ発生ノズル31’が取付けられていない状態のスライド部材38のみが案内部材39間に嵌め込まれた後、プラズマ発生ノズル31’がスライド部材38に取付けられるのであれば、前記切欠き381は形成されておらず、また長孔13Hも他端部側まで延設されなくてもよい。同様に、プラズマ発生ノズル31’が取付けられたスライド部材38が下面板13B’に組付けられた後、案内部材39が下面板13B’に取付けられるのであれば、前記切欠き381は形成されておらず、また長孔13Hも他端部側まで延設されなくてもよい。
Therefore, in the present embodiment, the long hole 13H has only to be formed on the one end side from the center of the cross section orthogonal to the microwave propagation direction F of the
このようにプラズマ発生ノズル31’が取付けられたスライド部材38を摺動させることで、長孔13Hの範囲で、プラズマ発生ノズル32’の受信アンテナ部320を任意の位置に突出させることができ、各プラズマ発生ノズル31’の受信アンテナ部320で受信されるエネルギーを任意に変化することができるとともに、またそのエネルギーを微調整することができる。
By sliding the
以上、本発明の一実施形態に係るワーク処理装置Sについて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、たとえば下記の実施形態を取ることができる。
(1)上記実施形態では、移動手段としてワークWを搬送する搬送手段Cが用いられ、その搬送手段Cとしては搬送ローラ80の上面にワークWを載置して搬送する形態を例示したが、この他に、たとえば上下の搬送ローラ間にワークWをニップさせて搬送させる形態、搬送ローラを用いず所定のバスケット等にワークを収納し前記バスケット等をラインコンベア等で搬送させる形態、或いはロボットハンド等でワークWを把持してプラズマ発生部30へ搬送させる形態であってもよい。或いは、移動手段としてはプラズマ発生ノズル31,31’側を移動させる構成であってもよい。すなわち、ワークWとプラズマ発生ノズル31,31’とは、プラズマ照射方向(Z方向)とは交差する面(X,Y面)上で相対的に移動すればよい。
(2)上記実施形態では、マイクロ波発生源として2.45GHzのマイクロ波を発生するマグネトロンを例示したが、マグネトロン以外の各種高周波電源も使用可能であり、また2.45GHzとは異なる波長のマイクロ波を用いるようにしてもよい。
(3)導波管10内におけるマイクロ波電力を測定するために、パワーメータを導波管10の適所に設置することが望ましい。たとえば、マイクロ波発生装置20のマイクロ波送信アンテナ22から放出されたマイクロ波電力に対する反射マイクロ波電力の比を知見するために、サーキュレータ50と第2導波管ピース12との間に、パワーメータを内蔵する導波管を介在させるようにすることができる。
The work processing apparatus S according to the embodiment of the present invention has been described above, but the present invention is not limited to this, and for example, the following embodiment can be taken.
(1) In the above-described embodiment, the transport unit C that transports the workpiece W is used as the moving unit. As the transport unit C, a mode in which the workpiece W is mounted on the upper surface of the
(2) In the above embodiment, a magnetron that generates a microwave of 2.45 GHz is illustrated as a microwave generation source. However, various high-frequency power sources other than the magnetron can be used, and a microwave having a wavelength different from 2.45 GHz. A wave may be used.
(3) In order to measure the microwave power in the
本発明に係るワーク処理装置およびプラズマ発生装置は、半導体ウェハ等の半導体基板に対するエッチング処理装置や成膜装置、プラズマディスプレイパネル等のガラス基板やプリント基板の清浄化処理装置、医療機器等に対する滅菌処理装置、タンパク質の分解装置等に好適に適用することができる。 A workpiece processing apparatus and a plasma generation apparatus according to the present invention include an etching processing apparatus and a film forming apparatus for a semiconductor substrate such as a semiconductor wafer, a glass substrate such as a plasma display panel and a cleaning processing apparatus for a printed board, and a sterilization process for medical equipment The present invention can be suitably applied to an apparatus, a protein decomposition apparatus, and the like.
10,10’ 導波管
13B,13B’ 下面板
13H 長孔
20 マイクロ波発生装置(マイクロ波発生手段)
30 プラズマ発生部
31,31’ プラズマ発生ノズル
32 中心導電体(内部導電体)
320 受信アンテナ部
33 ノズル本体(外部導電体)
34 ノズルホルダ
344 ガス供給孔(ガス供給部)
38 スライド部材
381 切欠き
39 案内部材
40 スライディングショート
50 サーキュレータ
60 ダミーロード
70 スタブチューナ
80 搬送ローラ
90 全体制御部
901 CPU
902,903 メモリ
91 マイクロ波出力制御部
92 ガス流量制御部
921 処理ガス供給源
922 ガス供給管
923 流量制御弁
93 搬送制御部
931 駆動モータ
95 操作部
96,97 センサ入力部
S ワーク処理装置
PU プラズマ発生ユニット(プラズマ発生装置)
C 搬送手段
W ワーク
10, 10 '
30
320 receiving
34
38
902, 903
C Conveying means W Workpiece
Claims (4)
前記導波管は、マイクロ波の伝搬方向とは交差する断面形状が矩形に形成され、
前記プラズマ発生ノズルは、複数個が前記マイクロ波の伝搬方向に相互に間隔を開けて配列され、かつ少なくともその一部が、マイクロ波の伝搬方向とは交差する方向にオフセット配列されていることを特徴とするプラズマ発生装置。 Microwave generating means for generating microwaves, a waveguide for propagating the microwaves, and attached to the waveguides, receiving the microwaves and generating plasmad gas based on the energy of the microwaves In the plasma generator configured to include a plasma generating nozzle that emits
The waveguide has a rectangular cross-section that intersects the microwave propagation direction,
A plurality of the plasma generating nozzles are arranged at intervals in the microwave propagation direction, and at least a part of the nozzles is offset arranged in a direction crossing the microwave propagation direction. A plasma generating apparatus.
前記プラズマ発生ノズルは、前記壁面と平行に摺動変位し、前記長孔を遮蔽することができるスライド部材に取付けられることを特徴とする請求項1または2記載のプラズマ発生装置。 The wall surface of the waveguide where the plasma generating nozzles are arranged has a long hole extending in a direction crossing the propagation direction of the microwaves and projecting a receiving antenna unit for receiving the microwaves in the plasma generating nozzles. Formed,
3. The plasma generating apparatus according to claim 1, wherein the plasma generating nozzle is attached to a slide member that is slidably displaced in parallel with the wall surface and can shield the long hole.
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