JP2007255985A - ガスセンサ素子 - Google Patents
ガスセンサ素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007255985A JP2007255985A JP2006078576A JP2006078576A JP2007255985A JP 2007255985 A JP2007255985 A JP 2007255985A JP 2006078576 A JP2006078576 A JP 2006078576A JP 2006078576 A JP2006078576 A JP 2006078576A JP 2007255985 A JP2007255985 A JP 2007255985A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor element
- reference gas
- solid electrolyte
- gas sensor
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
- G01N27/4071—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases using sensor elements of laminated structure
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
Abstract
【課題】早期活性化を図ることができるガスセンサ素子を提供すること。
【解決手段】酸素イオン伝導性の固体電解質体と、該固体電解質体の一方の面と他方の面とにそれぞれ設けた被測定ガス側電極及び基準ガス側電極と、固体電解質体を加熱するための発熱部141を有するヒータ部14と、固体電解質体とヒータ部14との間において基準ガス側電極に面すると共に外部から基準ガスを導入するよう構成された空隙部3とを有するガスセンサ素子1。該ガスセンサ素子1の軸方向において発熱部141が配設される発熱領域21における軸方向に直交する方向の空隙部3の最大断面積は、発熱領域21よりも基端側の非発熱領域22における軸方向に直交する方向の空隙部3の最大断面積よりも小さい。
【選択図】図1
【解決手段】酸素イオン伝導性の固体電解質体と、該固体電解質体の一方の面と他方の面とにそれぞれ設けた被測定ガス側電極及び基準ガス側電極と、固体電解質体を加熱するための発熱部141を有するヒータ部14と、固体電解質体とヒータ部14との間において基準ガス側電極に面すると共に外部から基準ガスを導入するよう構成された空隙部3とを有するガスセンサ素子1。該ガスセンサ素子1の軸方向において発熱部141が配設される発熱領域21における軸方向に直交する方向の空隙部3の最大断面積は、発熱領域21よりも基端側の非発熱領域22における軸方向に直交する方向の空隙部3の最大断面積よりも小さい。
【選択図】図1
Description
本発明は、車両用エンジン等の内燃機関の燃焼制御等に用いることができるガスセンサ素子に関する。
従来より、被測定ガス中の特定ガス濃度を検出するためのガスセンサ素子9が提案されている(例えば、特許文献1〜3参照)。
該ガスセンサ素子9は、図34、図35に示すごとく、酸素イオン伝導性の固体電解質体911と該固体電解質体911の一方の面と他方の面とにそれぞれ設けた被測定ガス側電極912及び基準ガス側電極913とからなるセンシング部910と、該基準ガス側電極913に面する基準ガス空間93とを有する。
該ガスセンサ素子9は、図34、図35に示すごとく、酸素イオン伝導性の固体電解質体911と該固体電解質体911の一方の面と他方の面とにそれぞれ設けた被測定ガス側電極912及び基準ガス側電極913とからなるセンシング部910と、該基準ガス側電極913に面する基準ガス空間93とを有する。
近年、ガスセンサ素子9は、自動車エンジンの始動時から速やかに特定ガス濃度を検知して燃焼制御機構を働かせることができるよう、より早い時間で活性温度に到達(早期活性)することが求められるようになってきている。
そこで、上記ガスセンサ素子9においては、固体電解質体911を加熱するために配されたヒータ部940に通電することにより発熱部914を発熱させてガスセンサ素子9を昇温している。これにより、上記ガスセンサ素子9の早期活性を実現することができる。
そこで、上記ガスセンサ素子9においては、固体電解質体911を加熱するために配されたヒータ部940に通電することにより発熱部914を発熱させてガスセンサ素子9を昇温している。これにより、上記ガスセンサ素子9の早期活性を実現することができる。
しかしながら、ガスセンサ素子9においては、上記のごとく、固体電解質体911に設けられた基準ガス側電極913に面するように基準ガス空間93が形成されている。そして、該基準ガス空間93を形成するために、基準ガス空間形成層915が固体電解質体911とヒータ部940との間に介在している。それ故、ヒータ部940の発熱部914の熱は、基準ガス空間形成層915を伝って固体電解質体911へ伝わる。ここで、基準ガス空間93が大きいと、基準ガス空間形成層915から固体電解質体911へ伝導する熱量が不充分となるおそれがある。
一方、基準ガス空間93は、ガスセンサ素子9の基端側まで延設されて、基端部において大気を導入している。それ故、基準ガス空間93が小さいと、発熱部914よりも基端側の基準ガス空間形成層915の体積が大きくなるため、基準ガス空間形成層915を伝って基端側へ熱が逃げ、センシング部910における固体電解質体911の温度が上昇し難くなるおそれがある。
そして、そのため、ガスセンサ素子9の早期活性化を図ることが困難となるおそれがある。
また、基準ガス空間93が小さすぎると、基端側からの大気の導入量が少なくなり、正確なセンサ出力を得ることが困難となるおそれがある。
そして、そのため、ガスセンサ素子9の早期活性化を図ることが困難となるおそれがある。
また、基準ガス空間93が小さすぎると、基端側からの大気の導入量が少なくなり、正確なセンサ出力を得ることが困難となるおそれがある。
また、基準ガス空間を有していないガスセンサ素子が提案されている。このガスセンサ素子は発熱部から固体電解質体へと伝熱し易い一方で、ガスセンサ素子の基端側にも伝熱され易くなってしまい、結果的にガスセンサ素子を早期活性させることが困難となるおそれがある。
本発明は、かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので、早期活性化を図ることができるガスセンサ素子を提供しようとするものである。
第1の発明は、酸素イオン伝導性の固体電解質体と、該固体電解質体の一方の面と他方の面とにそれぞれ設けた被測定ガス側電極及び基準ガス側電極と、上記固体電解質体を加熱するための発熱部を有するヒータ部と、上記固体電解質体と上記ヒータ部との間において上記基準ガス側電極に面すると共に外部から基準ガスを導入するよう構成された空隙部とを有するガスセンサ素子であって、
該ガスセンサ素子の軸方向において上記発熱部が配設される発熱領域における上記軸方向に直交する方向の上記空隙部の最大断面積は、上記発熱領域よりも基端側の非発熱領域における上記軸方向に直交する方向の上記空隙部の最大断面積よりも小さいことを特徴とするガスセンサ素子にある(請求項1)。
該ガスセンサ素子の軸方向において上記発熱部が配設される発熱領域における上記軸方向に直交する方向の上記空隙部の最大断面積は、上記発熱領域よりも基端側の非発熱領域における上記軸方向に直交する方向の上記空隙部の最大断面積よりも小さいことを特徴とするガスセンサ素子にある(請求項1)。
次に、本発明の作用効果につき説明する。
上記発熱領域における上記軸方向に直交する方向の上記空隙部の最大断面積は、上記非発熱領域における上記軸方向に直交する方向の上記空隙部の最大断面積よりも小さい。これにより、上記発熱領域において上記発熱部から上記固体電解質体への熱伝導性を向上させることができるため、上記発熱部により上記固体電解質体を早期に活性温度まで加熱することができる。また、上記発熱領域よりも基端側の上記非発熱領域における伝熱量を抑制することができるため、上記発熱領域から基端側への熱引けを抑制することができる。
そして、そのため、上記発熱部により上記固体電解質体を効率良く加熱することができ、上記ガスセンサ素子の早期活性を実現することができる。
上記発熱領域における上記軸方向に直交する方向の上記空隙部の最大断面積は、上記非発熱領域における上記軸方向に直交する方向の上記空隙部の最大断面積よりも小さい。これにより、上記発熱領域において上記発熱部から上記固体電解質体への熱伝導性を向上させることができるため、上記発熱部により上記固体電解質体を早期に活性温度まで加熱することができる。また、上記発熱領域よりも基端側の上記非発熱領域における伝熱量を抑制することができるため、上記発熱領域から基端側への熱引けを抑制することができる。
そして、そのため、上記発熱部により上記固体電解質体を効率良く加熱することができ、上記ガスセンサ素子の早期活性を実現することができる。
以上のごとく、本発明によれば、早期活性化を図ることができるガスセンサ素子を提供することができる。
第2の発明は、酸素イオン伝導性の固体電解質体と、該固体電解質体の一方の面と他方の面とにそれぞれ設けた被測定ガス側電極及び基準ガス側電極と、上記固体電解質体を加熱するための発熱部を有するヒータ部とを有するガスセンサ素子であって、
上記固体電解質体と上記ヒータ部との間には、空隙部が形成されており、
該空隙部は、ガスセンサ素子の軸方向において上記発熱部が配設される発熱領域よりも基端側の非発熱領域に形成されていることを特徴とするガスセンサ素子にある(請求項4)。
上記固体電解質体と上記ヒータ部との間には、空隙部が形成されており、
該空隙部は、ガスセンサ素子の軸方向において上記発熱部が配設される発熱領域よりも基端側の非発熱領域に形成されていることを特徴とするガスセンサ素子にある(請求項4)。
次に、本発明の作用効果につき説明する。
上記空隙部は、上記軸方向において上記発熱領域よりも基端側の上記非発熱領域に形成されている。これにより、上記発熱領域における熱伝導性を向上させることができると共に、上記発熱領域から基端側への熱引けを抑制することができる。その結果、上記第1の発明(請求項1)と同様に、上記発熱部により上記固体電解質体を効率良く加熱して、上記ガスセンサ素子の早期活性を実現することができる。
上記空隙部は、上記軸方向において上記発熱領域よりも基端側の上記非発熱領域に形成されている。これにより、上記発熱領域における熱伝導性を向上させることができると共に、上記発熱領域から基端側への熱引けを抑制することができる。その結果、上記第1の発明(請求項1)と同様に、上記発熱部により上記固体電解質体を効率良く加熱して、上記ガスセンサ素子の早期活性を実現することができる。
以上のごとく、本発明によれば、早期活性化を図ることができるガスセンサ素子を提供することができる。
上記第1の発明(請求項1)及び上記第2の発明(請求項4)のガスセンサ素子として、例えば、O2センサ素子、A/Fセンサ素子、NOxセンサ素子及びHCセンサ素子等がある。
尚、本明細書において、被測定ガス側雰囲気に曝される側を先端側、その反対側を基端側として説明する。
尚、本明細書において、被測定ガス側雰囲気に曝される側を先端側、その反対側を基端側として説明する。
また、上記第1の発明(請求項1)において、上記発熱領域における上記軸方向に直交する方向の上記空隙部の断面積の平均値である平均断面積は、上記非発熱領域における上記軸方向に直交する方向の上記空隙部の断面積の平均値である平均断面積よりも小さいことが好ましい(請求項2)。
この場合には、本発明の作用効果を充分に発揮することができる。即ち、上記発熱領域における熱伝導性を充分に向上させることができると共に、上記発熱領域から基端側への熱引けを充分に抑制することができる。
この場合には、本発明の作用効果を充分に発揮することができる。即ち、上記発熱領域における熱伝導性を充分に向上させることができると共に、上記発熱領域から基端側への熱引けを充分に抑制することができる。
また、上記空隙部は、上記基準ガス側電極に面すると共に外部から基準ガスを導入するよう構成された基準ガス空間としても良い(請求項3)。
この場合には、上記基準ガス空間から導入される大気を、上記基準ガス側電極へと充分な量導くことが容易となるため、所望のセンサ出力を容易に得ることができる。
この場合には、上記基準ガス空間から導入される大気を、上記基準ガス側電極へと充分な量導くことが容易となるため、所望のセンサ出力を容易に得ることができる。
また、上記第2の発明(請求項4)において、上記ガスセンサ素子は、上記固体電解質体を通じて上記基準ガス側電極に基準ガスを供給するポンピングリファレンス機能を有するものとすることができる(請求項5)。
即ち、上記のようなポンピングリファレンス機能を有するガスセンサ素子においては、基準ガス側電極に面する空隙部を設ける必要がない。そして、空隙部のないガスセンサ素子であっても、上記第2の発明を適用することにより、本発明の作用効果を充分に発揮することができる。
即ち、上記のようなポンピングリファレンス機能を有するガスセンサ素子においては、基準ガス側電極に面する空隙部を設ける必要がない。そして、空隙部のないガスセンサ素子であっても、上記第2の発明を適用することにより、本発明の作用効果を充分に発揮することができる。
(実施例1)
本発明の実施例にかかるガスセンサ素子につき、図1〜図6を用いて説明する。
本例のガスセンサ素子1は、図2、図3、図5に示すごとく、酸素イオン伝導性の固体電解質体11と、該固体電解質体11の一方の面と他方の面とにそれぞれ設けた被測定ガス側電極12及び基準ガス側電極13と、固体電解質体11を加熱するための発熱部141を有するヒータ部14とを有する。
本発明の実施例にかかるガスセンサ素子につき、図1〜図6を用いて説明する。
本例のガスセンサ素子1は、図2、図3、図5に示すごとく、酸素イオン伝導性の固体電解質体11と、該固体電解質体11の一方の面と他方の面とにそれぞれ設けた被測定ガス側電極12及び基準ガス側電極13と、固体電解質体11を加熱するための発熱部141を有するヒータ部14とを有する。
また、ガスセンサ素子1は、図1〜図3、図5に示すごとく、固体電解質体11とヒータ部14との間において空隙部3を有する。
また、同図に示すごとく、ガスセンサ素子1の軸方向において発熱部141が配設される発熱領域21における軸方向に直交する方向の空隙部3の最大断面積は、発熱領域21よりも基端側の非発熱領域22における軸方向に直交する方向の空隙部3の最大断面積よりも小さい。
また、同図に示すごとく、ガスセンサ素子1の軸方向において発熱部141が配設される発熱領域21における軸方向に直交する方向の空隙部3の最大断面積は、発熱領域21よりも基端側の非発熱領域22における軸方向に直交する方向の空隙部3の最大断面積よりも小さい。
本例の上記空隙部3は、図1に示すごとく、基準ガス側電極13に面すると共に外部から基準ガスを導入するよう構成された基準ガス空間31である。以下においては、該基準ガス空間31のうち、発熱領域21に形成されている部分を第1基準ガス空間311、非発熱領域22に形成されている部分を第2基準ガス空間312として適宜説明する。
本例のガスセンサ素子1につき、以下に詳細に説明する。
ガスセンサ素子1として、例えば、O2センサ素子、A/Fセンサ素子、NOxセンサ素子及びHCセンサ素子等がある。
ガスセンサ素子1として、例えば、O2センサ素子、A/Fセンサ素子、NOxセンサ素子及びHCセンサ素子等がある。
ガスセンサ素子1には、図2、図3、図5に示すごとく、ジルコニアよりなる酸素イオン伝導性の固体電解質体11の表面に白金よりなる被測定ガス側電極12が設けてある。そして、図5、図6(a)に示すごとく、被測定ガス側電極12は基端部においてリード部122に接続され、該リード部122は更に端子123に接続されて、そこからセンサ出力が導出される。
また、図2、図3、図5に示すごとく、被測定ガス側電極12が配置された側とは反対側の固体電解質体11の面に、白金よりなる基準ガス側電極13が設けられている。そして、図5、図6(a)に示すごとく、基準ガス側電極13は基端部においてリード部132に接続され、該リード部132は更に端子133に接続されて、そこからセンサ出力が導出される。
上記固体電解質体11には、図2、図3、図5に示すごとく、電気的絶縁性を有すると共に緻密でガスを透過させないアルミナセラミックスよりなる空隙部形成層15が積層されている。
また、図1〜図5に示すごとく、該空隙部形成層15には、ガスセンサ素子1の積層後において空隙部3(基準ガス空間31)を形成するための溝部150が設けてある。
また、図1〜図5に示すごとく、該空隙部形成層15には、ガスセンサ素子1の積層後において空隙部3(基準ガス空間31)を形成するための溝部150が設けてある。
本例では、図2、図3に示すごとく、発熱領域21における第1基準ガス空間311と、非発熱領域22における第2基準ガス空間312とは、積層方向の高さが同一かつ一定(h)である。
また、図1〜図4に示すごとく、第1基準ガス空間311の幅w1及び第2基準ガス空間312の幅w2は、それぞれ軸方向において一定となるように構成してある。ここで、幅w1、w2は、それぞれ第1基準ガス空間311、第2基準ガス空間312の軸方向に直交する方向の断面形状である台形の斜辺における中間点同士の間の距離とする(以下の実施例においても同様とする)。
また、図1〜図4に示すごとく、第1基準ガス空間311の幅w1及び第2基準ガス空間312の幅w2は、それぞれ軸方向において一定となるように構成してある。ここで、幅w1、w2は、それぞれ第1基準ガス空間311、第2基準ガス空間312の軸方向に直交する方向の断面形状である台形の斜辺における中間点同士の間の距離とする(以下の実施例においても同様とする)。
本例では、第1基準ガス空間311の断面積及び第2基準ガス空間312の断面積は、それぞれ一定であるため、上記断面積(h×w1)、(h×w2)がそれぞれ第1基準ガス空間311及び第2基準ガス空間312の最大断面積となり、平均断面積ともなる。
即ち、図1〜図5に示すごとく、w1<w2であるため、第1基準ガス空間311の最大断面積及び平均断面積(h×w1)は、第2基準ガス空間312の最大断面積及び平均断面積(h×w2)よりも小さい。
即ち、図1〜図5に示すごとく、w1<w2であるため、第1基準ガス空間311の最大断面積及び平均断面積(h×w1)は、第2基準ガス空間312の最大断面積及び平均断面積(h×w2)よりも小さい。
上記空隙部3は、図4、図5に示すごとく、基端側に設けられた開口部151において大気に開放されており、直接大気を導入することができるよう構成されている。そして、大気は、開口部151から第2基準ガス空間312を介して第1基準ガス空間311に導入されて、基準ガス側電極13へと達する。
また、図2、図3、図5に示すごとく、被測定ガス側電極12が設けられた側の固体電解質体11の面には、アルミナよりなる緻密でガスを透過しない遮蔽層18が積層されている。そして、該遮蔽層18と固体電解質体11との間には、アルミナからなる多孔質拡散抵抗層17が配設されている。
そして、被測定ガスは、多孔質拡散抵抗層17の外側面170から導入されて、被測定ガス側電極12へと達する。
そして、被測定ガスは、多孔質拡散抵抗層17の外側面170から導入されて、被測定ガス側電極12へと達する。
上記空隙部形成層15には、図2、図3、図5に示すごとく、ヒータ基材140が積層されている。そして、該ヒータ基材140には、通電により発熱する発熱部141とこれに電気的に接続されたリード部142とが空隙部形成層15と対向するよう設けてある。このように、ガスセンサ素子1には、ヒータ基材140と発熱部141とリード部142とからなるヒータ部14が構成されている。
また、リード部142と接続された端子143を介して発熱部141に外部から通電がなされる。
また、リード部142と接続された端子143を介して発熱部141に外部から通電がなされる。
そして、リード部142を介して発熱部141に通電されると、ヒータ基材140に積層された空隙部形成層15が加熱される。これにより、更に空隙部形成層15から固体電解質体11へと伝熱して固体電解質体11が活性温度に達する。そして、被測定ガス側電極12と基準ガス側電極13との間においてその酸素濃度の差に応じた電流が発生する。この電流値を読み取ることにより、被測定ガス中の酸素濃度を検出することができるようになっている。
尚、本例のガスセンサ素子1は、例えば、図6(a)に示す軸方向長さL1を46mm、幅Wを4.5mm、図6(b)に示す発熱部141の軸方向長さL2を6.0mm、図6(c)に示すガスセンサ素子1の先端部の厚みd1を2.0mm、基端部の厚みd2を1.6mmとすることができる。この場合、第1基準ガス空間311の幅w1を、例えば、0.3〜1.0mm、第2基準ガス空間312の幅w2を1.0〜3.0mmとすることができる。
次に、本例の作用効果につき説明する。
発熱領域21における軸方向に直交する方向の空隙部3(第1基準ガス空間311)の最大断面積(h×w1)は、図1〜図5に示すごとく、非発熱領域22における軸方向に直交する方向の空隙部3(第2基準ガス空間312)の最大断面積(h×w2)よりも小さい。これにより、発熱領域21において発熱部141から固体電解質体11への熱伝導性を向上させることができるため、発熱部141により固体電解質体11を早期に活性温度まで加熱することができる。また、発熱領域21よりも基端側の非発熱領域22における伝熱量を抑制することができるため、発熱領域21から基端側への熱引けを抑制することができる。
そして、そのため、発熱部141により固体電解質体11を効率良く加熱することができ、ガスセンサ素子1の早期活性を実現することができる。
発熱領域21における軸方向に直交する方向の空隙部3(第1基準ガス空間311)の最大断面積(h×w1)は、図1〜図5に示すごとく、非発熱領域22における軸方向に直交する方向の空隙部3(第2基準ガス空間312)の最大断面積(h×w2)よりも小さい。これにより、発熱領域21において発熱部141から固体電解質体11への熱伝導性を向上させることができるため、発熱部141により固体電解質体11を早期に活性温度まで加熱することができる。また、発熱領域21よりも基端側の非発熱領域22における伝熱量を抑制することができるため、発熱領域21から基端側への熱引けを抑制することができる。
そして、そのため、発熱部141により固体電解質体11を効率良く加熱することができ、ガスセンサ素子1の早期活性を実現することができる。
また、空隙部3は、図1に示すごとく、外部から基準ガスを導入するよう構成された基準ガス空間31(第1基準ガス空間311及び第2基準ガス空間312)である。これにより、基準ガス空間31の基端側から導入される大気を、基準ガス側電極13へと充分な量導くことが容易となるため、所望のセンサ出力を容易に得ることができる。
また、図1〜図5に示すごとく、発熱領域21における上記平均断面積(h×w1)は、非発熱領域22における上記平均断面積(h×w2)よりも小さいため、本発明の作用効果を充分に発揮することができる。即ち、発熱領域21における熱伝導性を充分に向上させることができると共に、発熱領域21から基端側への熱引けを充分に抑制することができる。
以上のごとく、本例によれば、早期活性化を図ることができるガスセンサ素子を得ることができる。
尚、ガスセンサ素子1において、被測定ガス側電極12を覆うように被測定ガス空間(例えば、図25における符号19参照)が形成されていても良い。
また、上記空隙部3の基端側に開口部151を設ける代わりに、固体電解質体11にスルーホールを設けて、該スルーホールから基準ガス(大気)を導入することができるよう構成しても良い。
その他、上記第1の発明(請求項1)の構成は、本例の構成に限られるものではない。
また、上記空隙部3の基端側に開口部151を設ける代わりに、固体電解質体11にスルーホールを設けて、該スルーホールから基準ガス(大気)を導入することができるよう構成しても良い。
その他、上記第1の発明(請求項1)の構成は、本例の構成に限られるものではない。
(実施例2)
本例は、図7〜図9に示すごとく、第1基準ガス空間311(発熱領域21における空隙部3)の高さh1が、第2基準ガス空間312(非発熱領域22における空隙部3)の高さh2よりも小さいガスセンサ素子1の例である。そして、第1基準ガス空間311の高さは、軸方向において一定(h1)であり、又、第2基準ガス空間312の高さは、軸方向において一定(h2)である。
また、第1基準ガス空間311及び第2基準ガス空間312の幅は、軸方向において変わることなく一定(w)である。
その他は、実施例1と同様の構成及び作用効果を有する。
本例は、図7〜図9に示すごとく、第1基準ガス空間311(発熱領域21における空隙部3)の高さh1が、第2基準ガス空間312(非発熱領域22における空隙部3)の高さh2よりも小さいガスセンサ素子1の例である。そして、第1基準ガス空間311の高さは、軸方向において一定(h1)であり、又、第2基準ガス空間312の高さは、軸方向において一定(h2)である。
また、第1基準ガス空間311及び第2基準ガス空間312の幅は、軸方向において変わることなく一定(w)である。
その他は、実施例1と同様の構成及び作用効果を有する。
(実施例3)
本例は、図10〜図12に示すごとく、第1基準ガス空間311と第2基準ガス空間312とを有する空隙部3の幅が先端側から基端側に向かうに従ってテーパ状に大きくなっていくような形状を有するガスセンサ素子1の例である。
尚、空隙部3の高さは、発熱領域21に設けられた第1基準ガス空間311と非発熱領域22に設けられた第2基準ガス空間312とで同一かつ一定(h)である。
その他は、実施例1と同様の構成及び作用効果を有する。
本例は、図10〜図12に示すごとく、第1基準ガス空間311と第2基準ガス空間312とを有する空隙部3の幅が先端側から基端側に向かうに従ってテーパ状に大きくなっていくような形状を有するガスセンサ素子1の例である。
尚、空隙部3の高さは、発熱領域21に設けられた第1基準ガス空間311と非発熱領域22に設けられた第2基準ガス空間312とで同一かつ一定(h)である。
その他は、実施例1と同様の構成及び作用効果を有する。
(実施例4)
本例は、図13〜図15に示すごとく、第2基準ガス空間312(非発熱領域22における空隙部3)が、発熱領域21に隣接する一部の領域において、幅w1より大きい幅w2を有するガスセンサ素子1の例である。
上記領域より基端側の部分においては、上記幅w1と同一幅であるw3を有する第2基準ガス空間312が形成されている。
尚、空隙部3の高さは、軸方向において同一かつ一定(h)としてある。
その他は、実施例1と同様の構成及び作用効果を有する。
本例は、図13〜図15に示すごとく、第2基準ガス空間312(非発熱領域22における空隙部3)が、発熱領域21に隣接する一部の領域において、幅w1より大きい幅w2を有するガスセンサ素子1の例である。
上記領域より基端側の部分においては、上記幅w1と同一幅であるw3を有する第2基準ガス空間312が形成されている。
尚、空隙部3の高さは、軸方向において同一かつ一定(h)としてある。
その他は、実施例1と同様の構成及び作用効果を有する。
(実施例5)
本例は、図16〜図18に示すごとく、第2基準ガス空間312(非発熱領域22における空隙部3)が、基端側の一部の領域において第1基準ガス空間311(発熱領域21における空隙部3)の幅w1よりも大きい幅w2を有するガスセンサ素子1の例である。
そして、幅w2の上記第2基準ガス空間312よりも先端側においては、第1基準ガス空間311の幅と同一の幅(w1)で第2基準ガス空間312が形成されている。
その他は、実施例1と同様の構成及び作用効果を有する。
本例は、図16〜図18に示すごとく、第2基準ガス空間312(非発熱領域22における空隙部3)が、基端側の一部の領域において第1基準ガス空間311(発熱領域21における空隙部3)の幅w1よりも大きい幅w2を有するガスセンサ素子1の例である。
そして、幅w2の上記第2基準ガス空間312よりも先端側においては、第1基準ガス空間311の幅と同一の幅(w1)で第2基準ガス空間312が形成されている。
その他は、実施例1と同様の構成及び作用効果を有する。
(実施例6)
本例は、図19〜図21に示すごとく、2本の第2基準ガス空間312(非発熱領域22における空隙部3)を有するガスセンサ素子1の例である。
即ち、上記2本の第2基準ガス空間312は、図19、図21に示すごとく、固体電解質体11に接した状態で、ガスセンサ素子1の軸方向に沿って互いに基端側から平行に、同一幅w2で形成されている。そして、発熱領域21と非発熱領域22との境界近辺で2本の第2基準ガス空間312が合流して、更にその先端側に形成された第1基準ガス空間311に連結されている。
尚、空隙部3の高さは、軸方向において同一かつ一定(h)である。
本例は、図19〜図21に示すごとく、2本の第2基準ガス空間312(非発熱領域22における空隙部3)を有するガスセンサ素子1の例である。
即ち、上記2本の第2基準ガス空間312は、図19、図21に示すごとく、固体電解質体11に接した状態で、ガスセンサ素子1の軸方向に沿って互いに基端側から平行に、同一幅w2で形成されている。そして、発熱領域21と非発熱領域22との境界近辺で2本の第2基準ガス空間312が合流して、更にその先端側に形成された第1基準ガス空間311に連結されている。
尚、空隙部3の高さは、軸方向において同一かつ一定(h)である。
本例においては、図20、図21に示すごとく、2本の第2基準ガス空間312の軸方向に直交する方向の断面積の合計(2×h×w2)は、第1基準ガス空間311の断面積(h×w1)よりも大きい。一方、第2基準ガス空間312のそれぞれの断面積(h×w2)は、同図に示すごとく、第1基準ガス空間311の断面積(h×w1)よりも小さい。
その他は、実施例1と同様の構成及び作用効果を有する。
その他は、実施例1と同様の構成及び作用効果を有する。
(実施例7)
本例は、図22〜図24に示すごとく、第1基準ガス空間311(発熱領域21における空隙部3)の高さが、基端側に向かうに従ってテーパ状に大きくなるガスセンサ素子1の例である。
尚、第1基準ガス空間311及び第2基準ガス空間312(非発熱領域22における空隙部3)は共に同一の幅(w)で形成されており、第2基準ガス空間312の高さは軸方向において一定(h)である。
その他は、実施例1と同様の構成及び作用効果を有する。
本例は、図22〜図24に示すごとく、第1基準ガス空間311(発熱領域21における空隙部3)の高さが、基端側に向かうに従ってテーパ状に大きくなるガスセンサ素子1の例である。
尚、第1基準ガス空間311及び第2基準ガス空間312(非発熱領域22における空隙部3)は共に同一の幅(w)で形成されており、第2基準ガス空間312の高さは軸方向において一定(h)である。
その他は、実施例1と同様の構成及び作用効果を有する。
(実施例8)
本例は、図25〜図27に示すごとく、被測定ガス中の酸素濃度を検知するセンサセル10と、被測定ガス空間19に酸素を出し入れするポンプセル50とを有する2セル型のガスセンサ素子1の例である。
該ガスセンサ素子1は、図26に示すごとく、発熱領域21よりも基端側の非発熱領域22において空隙部3を有する。
本例は、図25〜図27に示すごとく、被測定ガス中の酸素濃度を検知するセンサセル10と、被測定ガス空間19に酸素を出し入れするポンプセル50とを有する2セル型のガスセンサ素子1の例である。
該ガスセンサ素子1は、図26に示すごとく、発熱領域21よりも基端側の非発熱領域22において空隙部3を有する。
上記センサセル10は、図25に示すごとく、固体電解質体11とその一方の面と他方の面とに配された被測定ガス側電極12と基準ガス側電極13とからなる。被測定ガス側電極12は被測定ガス空間19に面している。
また、被測定ガス側電極12は、図26に示すごとく、基端部においてリード部122に接続され、そこからセンサ出力が導出されている。
また、被測定ガス側電極12は、図26に示すごとく、基端部においてリード部122に接続され、そこからセンサ出力が導出されている。
上記ポンプセル50は、図25に示すごとく、固体電解質体51と、その一方の面と他方の面とに配されたポンプ電極52、53とからなる。そして、ポンプ電極52は、被測定ガス空間19に面している。
また、ポンプ電極52、53は、図26に示すごとく、基端部においてリード部522、532に接続され、そこからセンサ出力が導出されている。
また、ポンプ電極52、53は、図26に示すごとく、基端部においてリード部522、532に接続され、そこからセンサ出力が導出されている。
また、ガスセンサ素子1は、図25、図27に示すごとく、被測定ガス空間19をガスセンサ素子1の外部における被測定ガス側雰囲気と連結する導通孔6を有する。該導通孔6は、固体電解質体51と多孔質拡散抵抗層17とに形成されている。
そして、被測定ガスは、導通孔6より導入されて多孔質拡散抵抗層17の内側面171から被測定ガス空間19へと供給される。
また、センサセル10の基準ガス側電極13へは、センサセル10の酸素ポンピング機能によって被測定ガス空間19から酸素を供給している。
そして、被測定ガスは、導通孔6より導入されて多孔質拡散抵抗層17の内側面171から被測定ガス空間19へと供給される。
また、センサセル10の基準ガス側電極13へは、センサセル10の酸素ポンピング機能によって被測定ガス空間19から酸素を供給している。
そして、センサセル10は、図25に示すごとく、基準ガス側電極13の表面と被測定ガス空間19との間の酸素濃度差に基づく起電力を、被測定ガス側電極12と基準ガス側電極13との間に生じるよう構成してある。そして、この起電力が所定の値からずれたとき、ポンプセル50のポンプ電極52、53間に所定の電圧をかけることにより、ポンプセル50によって被測定ガス空間19に酸素の出し入れを行い、被測定ガス空間19を所定の酸素濃度となるようにする。このときに流れる電流から被測定ガス中の酸素濃度を検出する。
その他は、実施例2と同様の構成及び作用効果を有する。
その他は、実施例2と同様の構成及び作用効果を有する。
(実施例9)
本例は、図28に示すごとく、ポンプセル50とセンサセル10とを有する2セル型のガスセンサ素子1であって、ポンプセル50側にヒータ部14を積層すると共に、被測定ガス空間19の外側に多孔質拡散抵抗層17を設けたガスセンサ素子1の例である。
また、該ガスセンサ素子1は、固体電解質体11の被測定ガス空間19を設けた面と反対側の面に空隙部3を有している。
その他は、実施例8と同様の構成及び作用効果を有する。
また、ガスセンサ素子1は、2セル型としつつ空隙部形成層15の基端側に開口部を設けて、該開口部から大気を導入することができるよう構成することもできる。
本例は、図28に示すごとく、ポンプセル50とセンサセル10とを有する2セル型のガスセンサ素子1であって、ポンプセル50側にヒータ部14を積層すると共に、被測定ガス空間19の外側に多孔質拡散抵抗層17を設けたガスセンサ素子1の例である。
また、該ガスセンサ素子1は、固体電解質体11の被測定ガス空間19を設けた面と反対側の面に空隙部3を有している。
その他は、実施例8と同様の構成及び作用効果を有する。
また、ガスセンサ素子1は、2セル型としつつ空隙部形成層15の基端側に開口部を設けて、該開口部から大気を導入することができるよう構成することもできる。
(実施例10)
本例は、図29、図30に示すごとく、切削によって空隙部形成層15を形成するガスセンサ素子1の製造方法の例である。
本例の製造方法によってガスセンサ素子1を作製するに当たって、図29に示すごとく、空隙部形成層15を形成するためのグリーンシート100を、ドクターブレード法や押出成形法等で作製する。その後、図29、図30に示すごとく、所望の形状を有する切削刃物70を装着した切削機7を用いて、焼成前のグリーンシート100に、複数の溝部150を形成していく。
本例は、図29、図30に示すごとく、切削によって空隙部形成層15を形成するガスセンサ素子1の製造方法の例である。
本例の製造方法によってガスセンサ素子1を作製するに当たって、図29に示すごとく、空隙部形成層15を形成するためのグリーンシート100を、ドクターブレード法や押出成形法等で作製する。その後、図29、図30に示すごとく、所望の形状を有する切削刃物70を装着した切削機7を用いて、焼成前のグリーンシート100に、複数の溝部150を形成していく。
即ち、例えば、図30に示すごとく、切削刃物70を矢印Zの方向に回転させつつ、切削機7を矢印Yの方向に進行させることにより切削を行う。
尚、適宜切削刃物70の刃の形状を変えることにより、発熱領域21と非発熱領域22とにおける溝部150の形状を容易に変更することもできる。
そして、グリーンシート100を他の層と積層した後、短冊状に切断し、焼成することにより複数のガスセンサ素子1を得る。
以上のごとく、本例の製造方法を用いれば、上記溝部150の形状が複雑な場合にも、所望の形状に容易に加工することができる。
尚、適宜切削刃物70の刃の形状を変えることにより、発熱領域21と非発熱領域22とにおける溝部150の形状を容易に変更することもできる。
そして、グリーンシート100を他の層と積層した後、短冊状に切断し、焼成することにより複数のガスセンサ素子1を得る。
以上のごとく、本例の製造方法を用いれば、上記溝部150の形状が複雑な場合にも、所望の形状に容易に加工することができる。
(実施例11)
本例は、図31に示すごとく、プレスによって空隙部形成層15を形成するガスセンサ素子1の製造方法の例である。
本例では、下型82にテフロン(登録商標)シート83を介して焼成前のグリーンシート100を載置する。そして、該グリーンシート100の周りを囲うようにゴムパッキン84を配置した後、上型81によってグリーンシート100をプレスする。これにより、グリーンシート100に所望の形状を有する複数の溝部150を形成することができる。
その後の工程は上記実施例10と同様である。
本例の場合にも、溝部150を所望の形状に形成することができる。
本例は、図31に示すごとく、プレスによって空隙部形成層15を形成するガスセンサ素子1の製造方法の例である。
本例では、下型82にテフロン(登録商標)シート83を介して焼成前のグリーンシート100を載置する。そして、該グリーンシート100の周りを囲うようにゴムパッキン84を配置した後、上型81によってグリーンシート100をプレスする。これにより、グリーンシート100に所望の形状を有する複数の溝部150を形成することができる。
その後の工程は上記実施例10と同様である。
本例の場合にも、溝部150を所望の形状に形成することができる。
(実施例12)
本例は、表1、図32に示すごとく、ガスセンサ素子の軸方向に直交する方向の空隙部3の断面積を種々変更して試料を作製し、該試料を加熱して素子温度が650℃(活性温度)に達するまでに要する時間(以下、活性時間という)を調べた例である。
本例では、空隙部3は、発熱領域21と非発熱領域22とにおいて、それぞれ第1基準ガス空間311と第2基準ガス空間312とを有しており、これらの軸方向に直交する方向の断面積を種々変更して活性時間を測定した。
本例は、表1、図32に示すごとく、ガスセンサ素子の軸方向に直交する方向の空隙部3の断面積を種々変更して試料を作製し、該試料を加熱して素子温度が650℃(活性温度)に達するまでに要する時間(以下、活性時間という)を調べた例である。
本例では、空隙部3は、発熱領域21と非発熱領域22とにおいて、それぞれ第1基準ガス空間311と第2基準ガス空間312とを有しており、これらの軸方向に直交する方向の断面積を種々変更して活性時間を測定した。
まず、図32(a)に示す従来のガスセンサ素子を試料1として作製した。また、図32(b)に示すごとく、第1基準ガス空間311の断面積が第2基準ガス空間312の断面積よりも小さい本発明品のガスセンサ素子を試料2〜試料4として作製した。また、図32(c)に示すごとく、本発明品とは逆に、第1基準ガス空間311の断面積が第2基準ガス空間312の断面積よりも大きいガスセンサ素子を試料5〜試料7として作製した。
各試料における第1基準ガス空間311、第2基準ガス空間312のそれぞれの断面積は、表1に示す通りである。
各試料における第1基準ガス空間311、第2基準ガス空間312のそれぞれの断面積は、表1に示す通りである。
そして、上記試料を加熱して得られた結果を元に、試料1より活性時間が短いものを○、長いものを×とする良否判定を行った。
測定結果を表1に示す。
測定結果を表1に示す。
表1からわかるように、本発明品である試料2〜試料4については、基準となる試料1よりも早期活性を達成している。また、第1基準ガス空間311の断面積が第2基準ガス空間312の断面積よりも大きい試料5〜試料7については、試料1よりも早期活性を達成しているとはいえない。
また、本発明品の中でも、第1基準ガス空間311の断面積が小さく、第2基準ガス空間312の断面積が大きいものほど活性時間を短くすることができることがわかる。
また、本発明品の中でも、第1基準ガス空間311の断面積が小さく、第2基準ガス空間312の断面積が大きいものほど活性時間を短くすることができることがわかる。
(実施例13)
本例は、表2、図33に示すごとく、非発熱領域22に空隙部が形成されていないガスセンサ素子と、形成されているガスセンサ素子とについて、上記実施例12と同様に活性時間を調べた例である。
本例は、表2、図33に示すごとく、非発熱領域22に空隙部が形成されていないガスセンサ素子と、形成されているガスセンサ素子とについて、上記実施例12と同様に活性時間を調べた例である。
まず、図33(a)に示す従来のガスセンサ素子を試料1として作製した。また、図33(b)に示すごとく、非発熱領域22に空隙部3が形成されている本発明品のガスセンサ素子を試料2、試料3として作製した。
上記試料1〜試料3における空隙部3の有無及びその断面積は、表2に示す通りである。
その他は、実施例12と同様である。
測定結果を表2に示す。
上記試料1〜試料3における空隙部3の有無及びその断面積は、表2に示す通りである。
その他は、実施例12と同様である。
測定結果を表2に示す。
表2からわかるように、従来のガスセンサ素子である試料1に比べて、本発明品の試料2及び試料3は、充分に早期活性を達成している。
また、空隙部3の断面積が大きい方が活性時間をより短くすることができることがわかる。
また、空隙部3の断面積が大きい方が活性時間をより短くすることができることがわかる。
1 ガスセンサ素子
11 固体電解質体
12 被測定ガス側電極
13 基準ガス側電極
14 ヒータ部
140 発熱部
21 発熱領域
22 非発熱領域
3 空隙部
11 固体電解質体
12 被測定ガス側電極
13 基準ガス側電極
14 ヒータ部
140 発熱部
21 発熱領域
22 非発熱領域
3 空隙部
Claims (5)
- 酸素イオン伝導性の固体電解質体と、該固体電解質体の一方の面と他方の面とにそれぞれ設けた被測定ガス側電極及び基準ガス側電極と、上記固体電解質体を加熱するための発熱部を有するヒータ部と、上記固体電解質体と上記ヒータ部との間において上記基準ガス側電極に面すると共に外部から基準ガスを導入するよう構成された空隙部とを有するガスセンサ素子であって、
該ガスセンサ素子の軸方向において上記発熱部が配設される発熱領域における上記軸方向に直交する方向の上記空隙部の最大断面積は、上記発熱領域よりも基端側の非発熱領域における上記軸方向に直交する方向の上記空隙部の最大断面積よりも小さいことを特徴とするガスセンサ素子。 - 請求項1において、上記発熱領域における上記軸方向に直交する方向の上記空隙部の断面積の平均値である平均断面積は、上記非発熱領域における上記軸方向に直交する方向の上記空隙部の断面積の平均値である平均断面積よりも小さいことを特徴とするガスセンサ素子。
- 請求項1又は2において、上記空隙部は、上記基準ガス側電極に面すると共に外部から基準ガスを導入するよう構成された基準ガス空間であることを特徴とするガスセンサ素子。
- 酸素イオン伝導性の固体電解質体と、該固体電解質体の一方の面と他方の面とにそれぞれ設けた被測定ガス側電極及び基準ガス側電極と、上記固体電解質体を加熱するための発熱部を有するヒータ部とを有するガスセンサ素子であって、
上記固体電解質体と上記ヒータ部との間には、空隙部が形成されており、
該空隙部は、ガスセンサ素子の軸方向において上記発熱部が配設される発熱領域よりも基端側の非発熱領域に形成されていることを特徴とするガスセンサ素子。 - 請求項4において、上記固体電解質体を通じて上記基準ガス側電極に基準ガスを供給するポンピングリファレンス機能を有することを特徴とするガスセンサ素子。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006078576A JP2007255985A (ja) | 2006-03-22 | 2006-03-22 | ガスセンサ素子 |
DE102007000132A DE102007000132A1 (de) | 2006-03-22 | 2007-03-07 | Schnell aktivierbare Struktur eines Gassensorelementes |
US11/717,085 US20070221499A1 (en) | 2006-03-22 | 2007-03-13 | Quickly activatable structure of gas sensor element |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006078576A JP2007255985A (ja) | 2006-03-22 | 2006-03-22 | ガスセンサ素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007255985A true JP2007255985A (ja) | 2007-10-04 |
Family
ID=38514745
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006078576A Withdrawn JP2007255985A (ja) | 2006-03-22 | 2006-03-22 | ガスセンサ素子 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20070221499A1 (ja) |
JP (1) | JP2007255985A (ja) |
DE (1) | DE102007000132A1 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010249795A (ja) * | 2009-03-26 | 2010-11-04 | Nippon Soken Inc | 水素ガス濃度検出システム、及びこれを有するガスセンサ素子 |
JP2015034782A (ja) * | 2013-08-09 | 2015-02-19 | 日本特殊陶業株式会社 | センサ素子およびセンサ |
JP2019211436A (ja) * | 2018-06-08 | 2019-12-12 | 株式会社Soken | ガスセンサ |
JP2021156611A (ja) * | 2020-03-25 | 2021-10-07 | 日本碍子株式会社 | センサ素子 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5962413B2 (ja) * | 2012-10-09 | 2016-08-03 | トヨタ自動車株式会社 | ガスセンサ |
JP6640665B2 (ja) * | 2016-06-29 | 2020-02-05 | 株式会社Soken | ガスセンサ |
CN110346431A (zh) * | 2019-07-25 | 2019-10-18 | 莱鼎电子材料科技有限公司 | 一种宽域氧传感器电极 |
CN113203784B (zh) * | 2021-05-20 | 2022-10-18 | 安徽中科国瓷新型元器件有限公司 | 变频氧传感器 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5556526A (en) * | 1994-03-24 | 1996-09-17 | Nippondenso Co., Ltd. | Gas sensor having enhanced external connectivity characteristics |
DE19803562B4 (de) * | 1998-01-30 | 2011-06-01 | Robert Bosch Gmbh | Sensorelement |
-
2006
- 2006-03-22 JP JP2006078576A patent/JP2007255985A/ja not_active Withdrawn
-
2007
- 2007-03-07 DE DE102007000132A patent/DE102007000132A1/de not_active Withdrawn
- 2007-03-13 US US11/717,085 patent/US20070221499A1/en not_active Abandoned
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010249795A (ja) * | 2009-03-26 | 2010-11-04 | Nippon Soken Inc | 水素ガス濃度検出システム、及びこれを有するガスセンサ素子 |
JP2015034782A (ja) * | 2013-08-09 | 2015-02-19 | 日本特殊陶業株式会社 | センサ素子およびセンサ |
JP2019211436A (ja) * | 2018-06-08 | 2019-12-12 | 株式会社Soken | ガスセンサ |
JP7089949B2 (ja) | 2018-06-08 | 2022-06-23 | 株式会社Soken | ガスセンサ |
JP2021156611A (ja) * | 2020-03-25 | 2021-10-07 | 日本碍子株式会社 | センサ素子 |
JP7380975B2 (ja) | 2020-03-25 | 2023-11-15 | 日本碍子株式会社 | センサ素子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102007000132A1 (de) | 2007-10-18 |
US20070221499A1 (en) | 2007-09-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2007255985A (ja) | ガスセンサ素子 | |
US10788444B2 (en) | Gas sensor | |
JP4911910B2 (ja) | NOx測定電極部構造及びその形成方法並びにNOxセンサ素子 | |
JP3183348B2 (ja) | ガス混合物のラムダ値の測定のための平坦なポラログラフィーゾンデ | |
US9816958B2 (en) | Gas sensor, NOx sensor and method of manufacturing gas sensor | |
JP6346524B2 (ja) | ガスセンサおよびガスセンサにおけるガス導入口の形成方法 | |
US7501604B2 (en) | Sensor element for determining gas components in gas mixtures, and method for manufacturing it | |
WO2018030369A1 (ja) | ガスセンサ | |
JP6805033B2 (ja) | センサ素子、その製法及びガスセンサ | |
EP2237028A1 (en) | Method of manufacturing a solid electrolyte gas sensor, and gas sensor | |
JP4109555B2 (ja) | 酸素濃度検出装置 | |
US10330636B2 (en) | Gas sensor element, gas sensor, and method of manufacturing gas sensor element | |
JP6934511B2 (ja) | センサ素子及びガスセンサ | |
JP4093784B2 (ja) | 積層型ガスセンサ素子及びその製造方法並びにガスセンサ | |
JP7339896B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP7138055B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP6684650B2 (ja) | ガスセンサ素子およびガスセンサ | |
JP6586368B2 (ja) | センサ素子の製造方法、センサ素子及びガスセンサ | |
JP6781258B2 (ja) | センサ素子の製造方法 | |
JP6964532B2 (ja) | ガスセンサ素子、及びそれを備えたガスセンサ | |
US20060159315A1 (en) | Method for manufacturing a sensor element for a gas sensor | |
JP2020126051A (ja) | ガスセンサ | |
JP3798412B2 (ja) | NOxセンサ | |
JP2003521709A (ja) | 電気化学的な測定プローブおよび、該電気化学的な測定プローブを製造するための方法 | |
JP5644653B2 (ja) | ガスセンサ素子およびガスセンサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080704 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20090701 |