JP2007253504A - Exposure device and method of manufacturing light emitting device - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To solve the problem that when exposure variation in an exposure device is to be eliminated by a method of calculating an image density distribution formed on a photosensitive material based on a light intensity distribution of each light emitting device and a sensitivity characteristic of the photosensitive material, the image density distribution on the photosensitive material obtained by the calculation has a large error as compared to an image density distribution on the photosensitive material obtained by actual measurement. <P>SOLUTION: In this method for manufacturing the exposure device 25 having a plurality of light emitting devices (organic EL devices) for exposure of an image carrier body (photosensitive body), correction data for correcting a drive condition of each of the light emitting devices (organic EL devices) is formed based on a light intensity distribution of a light spot based on an emission light of each light emitting device (organic EL device) and a relative movement amount between the light spot and image carrier body (photosensitive body). <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、発光素子の発光量のばらつきを補正した露光装置および発光装置の製造方法に関するものである。   The present invention relates to an exposure apparatus that corrects variations in the amount of light emitted from light emitting elements, and a method for manufacturing the light emitting apparatus.

発光素子を主走査方向に複数配列させた露光装置が知られており、発光素子として、無機ＬＥＤや有機エレクトロルミネッセンス素子（以降、有機ＥＬ素子と呼称する）が用いられている。有機ＥＬ素子からなる複数の発光素子を用いた露光装置の駆動方法については、一般的には、発光素子を定電流制御で駆動するか、定電流制御の場合には回路構成が複雑になるという問題を考慮して、定電圧制御で駆動するかどちらかの方式がとられている。   An exposure apparatus in which a plurality of light emitting elements are arranged in the main scanning direction is known, and inorganic LEDs and organic electroluminescence elements (hereinafter referred to as organic EL elements) are used as the light emitting elements. As for the method of driving an exposure apparatus using a plurality of light emitting elements composed of organic EL elements, generally, the light emitting elements are driven by constant current control, or the circuit configuration becomes complicated in the case of constant current control. In consideration of the problem, either system is driven by constant voltage control.

いずれの方式を用いて駆動しても、有機ＥＬ素子からなる複数の発光素子を用いた露光装置においては、累積の駆動時間が増加するにしたがって、有機ＥＬ素子に内在する固有の特性に起因して、各発光素子の抵抗値が変化（増大）して発光光量が低下することが知られており、露光量を一定に保持するためには駆動操作量となる電流値もしくは電圧値もしくは露光時間（１ライン走査期間における発光時間）を増やす必要がある。   Regardless of which method is used, in an exposure apparatus using a plurality of light-emitting elements composed of organic EL elements, as the cumulative driving time increases, it is caused by inherent characteristics inherent in the organic EL elements. It is known that the resistance value of each light emitting element changes (increases) and the amount of emitted light decreases, and in order to keep the exposure amount constant, the current value, voltage value, or exposure time that becomes the drive operation amount It is necessary to increase (light emission time in one line scanning period).

また、有機ＥＬ素子を発光素子として用いた露光装置では、製造上の問題から各発光素子の製造時の光量がばらつき、製造時の初期状態において露光ムラが発生するという問題があり、初期状態の露光ムラを均一にするために、初期状態の各発光素子の駆動走査量となる電流値もしくは電圧値を各発光素子毎に補正する必要がある。   In addition, in an exposure apparatus using an organic EL element as a light emitting element, there is a problem in that the amount of light at the time of manufacturing each light emitting element varies due to manufacturing problems, and uneven exposure occurs in the initial state at the time of manufacturing. In order to make the exposure unevenness uniform, it is necessary to correct the current value or voltage value, which is the drive scanning amount of each light emitting element in the initial state, for each light emitting element.

初期状態の露光ムラを均一にするために、（特許文献１）には、画像データに基づいて感光材料に画像を記録し、感光材料上に形成される画像の濃度を測定し補正量を決定することが提案されている。しかし、感光材料上に形成される画像の濃度分布を計測することを短時間で繰り返し実行することは容易ではなく、すべての発光素子に対して濃度分布を計測し補正量を決定することは現実的ではなく、実現困難であった。   In order to make the exposure unevenness in the initial state uniform, (Patent Document 1) records an image on a photosensitive material based on image data, measures the density of the image formed on the photosensitive material, and determines the correction amount. It has been proposed to do. However, it is not easy to repeatedly measure the density distribution of an image formed on a photosensitive material in a short time, and measuring the density distribution for all light emitting elements to determine the correction amount is a reality. It was difficult to achieve.

また、（特許文献２）には、初期状態の露光ムラを均一にするために、露光装置の各発光素子の出射光に由来する光強度分布を測定し、光強度分布を所定の光強度でスライスした時の光強度幅が各発光素子において略等しくなるように、補正量を決定することが提案されている。このように感光材料上に形成される画像濃度分布を考慮せずに、発光素子の光強度分布のみによって補正量を決定すると、補正量に誤差が生じ露光ムラを精度よく均一にすることができなかった。   In addition, in Patent Document 2, in order to make the exposure unevenness in the initial state uniform, the light intensity distribution derived from the emitted light of each light emitting element of the exposure apparatus is measured, and the light intensity distribution is set at a predetermined light intensity. It has been proposed to determine the correction amount so that the light intensity width when slicing is approximately equal in each light emitting element. Thus, if the correction amount is determined only by the light intensity distribution of the light emitting element without considering the image density distribution formed on the photosensitive material, an error occurs in the correction amount, and the exposure unevenness can be made uniform with high accuracy. There wasn't.

そこで、初期状態の露光ムラを均一にする方法としては、（特許文献３）のような発光素子に基づく光強度分布を測定し、光強度分布と感光材料の感度特性とから計算される感光材料上の画像濃度に基づいて補正量を決定する方法など、感光材料上の画像濃度を算出し、算出結果に基づいて補正量を決定する方法が短時間でかつ精度よく初期状態の露光ムラを補正する方法として知られている。
特開平１０−０００８１１号公報 特開平０８−１４２４０６号公報 特開２００５−１２５５９４号公報 Therefore, as a method for making the exposure unevenness in the initial state uniform, a light-sensitive material such as (Patent Document 3) is measured based on a light-intensity distribution and calculated from the light-intensity distribution and the sensitivity characteristics of the light-sensitive material. The method of calculating the image density on the photosensitive material, such as the method of determining the correction amount based on the above image density, and the method of determining the correction amount based on the calculation result corrects the exposure unevenness in the initial state with high accuracy in a short time. Known as a way to do.
JP-A-10-000811 Japanese Patent Laid-Open No. 08-142406 JP 2005-125594 A

（特許文献２）や（特許文献３）に開示された技術は、露光装置製造時の初期状態において発生する露光ムラを均一にすることについて言及されている。しかし、（特許文献３）のように各発光素子の光強度分布と感光材料の感度特性とから感光材料上に形成される画像濃度分布を計算する方法では計算した感光材料上の画像濃度分布が、実際に測定した感光材料上の画像濃度分布と比較してまだ誤差が生じていた。   The techniques disclosed in (Patent Document 2) and (Patent Document 3) refer to making the exposure unevenness generated in the initial state at the time of manufacturing the exposure apparatus uniform. However, in the method of calculating the image density distribution formed on the photosensitive material from the light intensity distribution of each light emitting element and the sensitivity characteristic of the photosensitive material as in (Patent Document 3), the calculated image density distribution on the photosensitive material is An error still occurred as compared with the actually measured image density distribution on the photosensitive material.

さて従来の露光装置の光源としては、一般に無機ＬＥＤが多用されている。この無機ＬＥＤを駆動するためには通常ドライバチップが用いられるが、このドライバチップの数（ドライバ回路の数量、コスト）を低減するために、いわゆるパッシブマトリクス回路を採用し、無機ＬＥＤを時分割して駆動する構成が知られている。   In general, inorganic LEDs are frequently used as light sources of conventional exposure apparatuses. In order to drive this inorganic LED, a driver chip is usually used. In order to reduce the number of driver chips (number of driver circuits, cost), a so-called passive matrix circuit is adopted, and the inorganic LED is time-shared. The structure which drives is known.

時分割駆動を行なう場合、各発光素子は１ラインの走査期間のうち、分割数で割り振られた期間しか発光することはできない。例えば露光装置における１走査期間を５００μｓ、発光素子の数を５１２０個、分割数を３２（すなわち１走査期間を３２の時間帯に分割して、１つの時間帯では発光素子の１／３２のみを駆動する）とすると、ドライバ回路の数量は５１２０／３２＝１６０個で済むようになるが、１つの無機ＬＥＤが点灯可能なのは５００／３２＝１５．６μｓと非常に短時間になる。一般に無機ＬＥＤの発光輝度は、有機ＥＬ素子と比較して遥かに大きくすることができる（ただしその際の駆動電流も大きい）ため、従来の露光装置ではこの特徴を活かして、上述したパッシブマトリクス回路によって時分割駆動を行い、ドライバチップによって大電流を供給して発光素子を駆動する構成が採られている。   When time-division driving is performed, each light emitting element can emit light only during a period allocated by the number of divisions in one line scanning period. For example, in the exposure apparatus, one scanning period is 500 μs, the number of light emitting elements is 5120, and the number of divisions is 32 (that is, one scanning period is divided into 32 time zones, and only 1/32 of the light emitting elements are obtained in one time zone. Drive), the number of driver circuits is 5120/32 = 160, but one inorganic LED can be lit 500/32 = 15.6 μs for a very short time. In general, the emission brightness of inorganic LEDs can be made much higher than that of organic EL elements (however, the drive current at that time is also large). Therefore, the above-mentioned passive matrix circuit takes advantage of this feature in conventional exposure apparatuses. Thus, a configuration is employed in which time-division driving is performed and a light-emitting element is driven by supplying a large current through a driver chip.

このとき無機ＬＥＤの点灯時間は上述のように極めて短くなるため、１つの無機ＬＥＤが感光材料を塗布した感光体（以降、単に感光体と呼称する）を露光（走査）している間に露光対象である感光体は殆ど移動しない。例えば画像形成におけるプロセス速度を１００ｍｍ／ｓとすると、無機ＬＥＤが発光している１５．６μｓの間に感光体が移動する距離は１００［ｍｍ／ｓ］×１５．６［μｓ］＝１．５６［μｍ］である。プリンタなどに代表される画像形成装置では、その解像度は６００ｄｐｉ（画素ピッチ＝４２．３μｍ）程度であるから、無機ＬＥＤを用いた時分割駆動においては、走査期間中の感光体の移動量については殆ど考慮する必要がない。すなわち無機ＬＥＤの出射光によって形成される感光体上の光スポットは、走査期間中に静止しているとみなしても問題とならないのである。   At this time, since the lighting time of the inorganic LED becomes extremely short as described above, exposure is performed while one inorganic LED is exposing (scanning) a photosensitive member (hereinafter simply referred to as a photosensitive member) coated with a photosensitive material. The target photoconductor hardly moves. For example, when the process speed in image formation is 100 mm / s, the distance that the photosensitive member moves during 15.6 μs when the inorganic LED emits light is 100 [mm / s] × 15.6 [μs] = 1.56. [Μm]. In an image forming apparatus represented by a printer or the like, the resolution is about 600 dpi (pixel pitch = 42.3 μm). Therefore, in the time-division driving using inorganic LEDs, the amount of movement of the photosensitive member during the scanning period is as follows. Almost no need to consider. That is, the light spot on the photosensitive member formed by the light emitted from the inorganic LED does not cause a problem even if it is considered to be stationary during the scanning period.

しかしながら、露光装置の光源として有機ＥＬ素子を用いる場合には事情が全く異なる。有機ＥＬ素子は無機ＬＥＤと比較すると、発光光率そのものは優れているが、大電流を供給して高輝度発光を行なうと寿命が極端に短くなることが知られている。従って露光装置の光源として有機ＥＬ素子を用いる場合には、無機ＬＥＤと比較して低光量で、１ラインの走査期間のほぼ全期間にわたって（より時間をかけて）露光を行なうことが必要となる。ただし駆動電流そのものは小さいため、薄膜トランジスタなどの技術を導入してアクティブマトリクス回路で駆動することが可能となり、分割駆動を行なう必要はなくなる。このとき１ラインの走査期間のほぼ全期間にわたって露光を行なうために、有機ＥＬ素子による光スポットと露光対象である感光体は（上述の条件に従えば）１００［ｍｍ／ｓ］×５００［μｓ］＝５０μｍも移動し、感光体に形成される静電潜像は、この相対的な移動量の影響を大きく受けてしまうこととなる。   However, the situation is completely different when an organic EL element is used as the light source of the exposure apparatus. It is known that the organic EL element has an excellent light emission rate as compared with an inorganic LED, but the lifetime is extremely shortened when high luminance is emitted by supplying a large current. Therefore, when an organic EL element is used as the light source of the exposure apparatus, it is necessary to perform exposure over a substantially entire period of the scanning period of one line (more time) with a lower light amount than that of the inorganic LED. . However, since the drive current itself is small, it is possible to drive with an active matrix circuit by introducing a technique such as a thin film transistor, and there is no need to perform divided drive. At this time, in order to perform the exposure over almost the entire scanning period of one line, the light spot by the organic EL element and the photosensitive member to be exposed are 100 [mm / s] × 500 [μs (according to the above conditions). ] = 50 μm, and the electrostatic latent image formed on the photosensitive member is greatly affected by the relative movement amount.

このように有機ＥＬ素子を露光装置の光源として応用する場合には、（特許文献２）に開示されるような、感光体と有機ＥＬ素子（有機ＥＬ素子に基づく光スポット）の相対移動がないと仮定して得られた光強度分布のみに基づいて、初期状態の露光ムラを補正することは困難なのである。   As described above, when the organic EL element is applied as a light source of an exposure apparatus, there is no relative movement between the photoconductor and the organic EL element (light spot based on the organic EL element) as disclosed in (Patent Document 2). Therefore, it is difficult to correct the exposure unevenness in the initial state based only on the light intensity distribution obtained on the assumption.

本発明は、従来の技術のこのような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、有機ＥＬ素子からなる複数の発光素子を露光装置の露光光源として用いる際に、製造時の初期状態における各発光素子の露光ムラを補償して、画質の品質を向上させた露光装置および発光装置および発光そしの製造方法を提供することである。   The present invention has been made in view of such problems of the prior art, and its purpose is to provide an initial stage of manufacture when using a plurality of light emitting elements composed of organic EL elements as exposure light sources of an exposure apparatus. It is an object to provide an exposure apparatus, a light emitting apparatus, and a method of manufacturing a light emitting device, which can compensate for exposure unevenness of each light emitting element in a state and improve the quality of image quality.

本発明では上述の課題を解決するために、像担持体を露光する複数の発光素子を有する露光装置の製造方法において、発光素子の個々の出射光に基づく光スポットの光強度分布と、光スポットと像担持体の相対移動量とに基づいて、個々の発光素子の駆動条件を補正する補正データを作成する工程を有するものである。   In the present invention, in order to solve the above-described problem, in an exposure apparatus manufacturing method having a plurality of light emitting elements for exposing an image carrier, the light intensity distribution of the light spots based on the individual emitted lights of the light emitting elements, and the light spots And a step of creating correction data for correcting the driving conditions of the individual light emitting elements based on the relative movement amount of the image carrier.

本発明によれば、実際に像担持体に形成される静電潜像の電位分布に基づいて光量補正データを生成するようにしたから、発光素子の初期状態における露光ムラを精度よく補償して、高品質な画質の露光装置を製造することができる。   According to the present invention, since the light amount correction data is generated based on the potential distribution of the electrostatic latent image actually formed on the image carrier, the exposure unevenness in the initial state of the light emitting element is accurately compensated. An exposure apparatus with high quality image quality can be manufactured.

本発明の露光装置の製造方法は、像担持体を露光する複数の発光素子を有する露光装置の製造方法であって、発光素子の個々の出射光に基づく光スポットの光強度分布と、光スポットと像担持体の相対移動量とに基づいて、個々の発光素子の駆動条件を補正する補正データを作成する工程を有するものである。これによって実際に像担持体に形成される静電潜像の電位分布に基づいて光量補正データを生成されるため、発光素子の初期状態における露光ムラを精度よく補償して、高品質な画質の露光装置を製造することが可能となる。   The exposure apparatus manufacturing method of the present invention is a manufacturing method of an exposure apparatus having a plurality of light emitting elements for exposing an image carrier, the light intensity distribution of the light spots based on the individual emitted lights of the light emitting elements, and the light spots. And a step of creating correction data for correcting the driving conditions of the individual light emitting elements based on the relative movement amount of the image carrier. As a result, the light amount correction data is generated based on the potential distribution of the electrostatic latent image actually formed on the image carrier. Therefore, the exposure unevenness in the initial state of the light emitting element is accurately compensated for, and high quality image quality is achieved. An exposure apparatus can be manufactured.

また本発明は、像担持体を露光する複数の発光素子を有する露光装置の製造方法であって、発光素子の個々の出射光に基づく光スポットの光強度分布を測定する第一のステップと、この第一のステップで得られた光強度分布を有する光スポットが、これと相対移動する像担持体へ継続的に照射された場合の累積光強度分布を算出する第二のステップと、この第二のステップにおいて積算した累積光強度分布と像担持体の感光特性とに基づいて、像担持体上に形成される静電潜像の電位分布を算出する第三のステップと、この第三のステップにおいて算出した静電潜像の電位分布に基づいて、発光素子の駆動条件を補正するための補正データを作成する第四のステップとを具えるものである。これによって、発光素子の露光ムラを精度よく補償して、高品質な画質の露光装置を製造することが可能となる。   The present invention is also a method of manufacturing an exposure apparatus having a plurality of light emitting elements for exposing an image carrier, the first step of measuring the light intensity distribution of a light spot based on the individual emitted light of the light emitting elements, A second step of calculating a cumulative light intensity distribution when the light spot having the light intensity distribution obtained in the first step is continuously irradiated onto the image carrier that moves relative to the light spot; A third step of calculating a potential distribution of the electrostatic latent image formed on the image carrier based on the accumulated light intensity distribution integrated in the second step and the photosensitive characteristic of the image carrier; And a fourth step of creating correction data for correcting the driving condition of the light emitting element based on the potential distribution of the electrostatic latent image calculated in the step. Accordingly, it is possible to accurately compensate for the exposure unevenness of the light emitting element and manufacture an exposure apparatus with high quality image quality.

また本発明は、補正データによって、発光素子の駆動電流、駆動電圧、駆動時間のいずれかを制御するようにしたものである。これによってリーズナブルな構成によって発光素子の初期状態における露光ムラを改善することが可能となる。   In the present invention, any one of the drive current, drive voltage, and drive time of the light emitting element is controlled by the correction data. Accordingly, it is possible to improve exposure unevenness in the initial state of the light emitting element with a reasonable configuration.

また本発明は、露光装置は発光素子の出射光を結像するレンズアレイを有し、このレンズアレイによって結像された光スポットに基づいて光強度分布を計測するようにしたものである。これによって実際に露光装置が像担持体を露光するのと同じ条件で、光強度分布が取得できるため、光量補正の精度を向上することが可能となる。   According to the present invention, the exposure apparatus has a lens array that forms an image of light emitted from the light emitting element, and measures the light intensity distribution based on the light spot imaged by the lens array. As a result, the light intensity distribution can be acquired under the same conditions as when the exposure apparatus actually exposes the image carrier, so that the accuracy of light amount correction can be improved.

また本発明は、発光素子に基づく光スポットを、カメラによって順次拡大撮像して、個々の発光素子毎の光強度分布を測定するようにしたものである。これによって簡易な構成で発光素子の光強度分布を測定することが可能となる。   In the present invention, light spots based on light emitting elements are sequentially enlarged and imaged by a camera, and the light intensity distribution for each light emitting element is measured. This makes it possible to measure the light intensity distribution of the light emitting element with a simple configuration.

また本発明は、上述の第四のステップは、これも上述第三のステップにおいて算出した静電潜像の電位分布を所定の閾値電位で切った場合に算出される断面積に基づいて、この断面積が略同じになるように発光素子の発光光量を補正するための補正データを作成するものである。電子写真プロセスにおいては静電潜像の断面積が印字画素のサイズに大きく影響し、印字画素サイズは印字濃度に大きく影響するから、潜像断面積を発光素子毎に略同じにすることで露光ムラを抑制することが可能となる。   Further, according to the present invention, the fourth step described above is based on the cross-sectional area calculated when the potential distribution of the electrostatic latent image calculated in the third step is cut at a predetermined threshold potential. Correction data for correcting the amount of light emitted from the light emitting element so as to have substantially the same cross-sectional area is created. In the electrophotographic process, the cross-sectional area of the electrostatic latent image greatly affects the size of the print pixel, and the print pixel size greatly affects the print density. Therefore, exposure is performed by making the cross-sectional area of the latent image substantially the same for each light emitting element. Unevenness can be suppressed.

また本発明は、発光素子として有機エレクトロルミネッセンス素子を用いたものである。これによって露光装置を簡易な設備で製造することが可能となる。   In the present invention, an organic electroluminescence element is used as a light emitting element. This makes it possible to manufacture the exposure apparatus with simple equipment.

また本発明は、発光素子の出射光に基づく光スポットの光強度分布と、光スポットと被照射体の相対移動量とに基づいて、個々の発光素子の駆動条件を補正する補正データを作成する工程を有するようにしたものである。これによって発光素子の初期状態における露光ムラを精度よく補償して、高品質な画質の露光装置を製造することが可能となる。   The present invention also creates correction data for correcting the driving conditions of each light emitting element based on the light intensity distribution of the light spot based on the light emitted from the light emitting element and the relative movement amount of the light spot and the irradiated object. It has a process. As a result, it is possible to accurately compensate for exposure unevenness in the initial state of the light emitting element, and to manufacture an exposure apparatus with high quality image quality.

（実施例１）
以下、図面を参照しながら本発明の実施例を詳述する。 Example 1
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図１は本発明の実施例１における露光装置の概略構成を示す斜視図である。   FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of an exposure apparatus in Embodiment 1 of the present invention.

図１において１１は例えば高分子発光材料からなる発光層（図示せず）を設け、この発光層を陽極、陰極の２つの電極で挟んだ構造を有する有機ＥＬ素子である。１２は厚みが約０．７ｍｍのホウケイ酸ガラスで構成された基材である。基材１２上には複数の有機ＥＬ素子１１が主走査方向に列状に配列されている。ただし図示した有機ＥＬ素子１１と基材１２のサイズ的な比率は正確なものではない。   In FIG. 1, reference numeral 11 denotes an organic EL element having a structure in which a light emitting layer (not shown) made of, for example, a polymer light emitting material is provided and this light emitting layer is sandwiched between two electrodes, an anode and a cathode. Reference numeral 12 denotes a base material made of borosilicate glass having a thickness of about 0.7 mm. A plurality of organic EL elements 11 are arranged in a row in the main scanning direction on the substrate 12. However, the illustrated size ratio between the organic EL element 11 and the substrate 12 is not accurate.

実施例１では個々の有機ＥＬ素子１１は約３５μｍ×３５μｍの角が取れた略正方形形状をなしており、基材１２の主走査方向には、この有機ＥＬ素子１１が６００ｄｐｉ、すなわち約４２．３μｍのピッチで５１２０個配列されている。従って基材１２上に有機ＥＬ素子１１が占める長さは約２１７ｍｍであり、基材１２の長辺はおよそ２３０ｍｍとしている。   In Example 1, each organic EL element 11 has a substantially square shape with a corner of about 35 μm × 35 μm, and the organic EL element 11 is 600 dpi in the main scanning direction of the substrate 12, that is, about 42. 5120 pieces are arranged at a pitch of 3 μm. Therefore, the length occupied by the organic EL element 11 on the base 12 is about 217 mm, and the long side of the base 12 is about 230 mm.

１３は複数のグレーテッドインデックス型ファイバレンズ（図示せず）をアレイ状に設けたレンズアレイであり、有機ＥＬ素子１１の出射光を像担持体である感光体（図示せず）に正立等倍の像として結像させる（レンズアレイ１３によって有機ＥＬ素子１１の出射光が光スポットとして結像される面を、以降“像面”と呼称する）。   Reference numeral 13 denotes a lens array in which a plurality of graded index fiber lenses (not shown) are provided in an array, and the light emitted from the organic EL element 11 is erect on a photoconductor (not shown) as an image carrier. A doubled image is formed (the surface on which the light emitted from the organic EL element 11 is imaged as a light spot by the lens array 13 is hereinafter referred to as an “image surface”).

なお、基材１２には有機ＥＬ素子１１を駆動するための駆動回路、および駆動回路に点灯／消灯を制御する制御信号を供給するインタフェース部が配置されている（ともに図示せず）。また、この駆動回路は低温ポリシリコンからなる薄膜トランジスタによって構成されており、有機ＥＬ素子１１をいわゆるアクティブマトリクス駆動方式によって駆動するものである。アクティブマトリクス駆動方式を採用することによって、個々の有機ＥＬ素子に対応して設けられたスイッチング素子をＯＮ状態に維持することで、有機ＥＬ素子１１を走査期間のほぼ全期間にわたって点灯させることが可能となるが、この場合は前述したように走査期間中の感光体の移動距離が大きくなる。   The substrate 12 is provided with a drive circuit for driving the organic EL element 11 and an interface unit for supplying a control signal for controlling lighting / extinguishing to the drive circuit (both not shown). The drive circuit is composed of a thin film transistor made of low-temperature polysilicon, and drives the organic EL element 11 by a so-called active matrix drive system. By adopting the active matrix driving method, it is possible to light the organic EL element 11 over almost the entire scanning period by maintaining the switching element provided corresponding to each organic EL element in the ON state. However, in this case, as described above, the moving distance of the photosensitive member during the scanning period increases.

また、少なくとも有機ＥＬ素子１１と図示しない駆動回路が形成された基材１２、レンズアレイ１３、これらを保持する筐体（図示せず）などによって露光装置が構成されている。   Further, an exposure apparatus is constituted by at least the base 12 on which the organic EL element 11 and a drive circuit (not shown) are formed, the lens array 13, and a housing (not shown) for holding them.

図２は初期ばらつき補正を実施するための構成を示すブロック図である。   FIG. 2 is a block diagram showing a configuration for performing initial variation correction.

以降、図２を用いて初期ばらつき補正を実施するための構成について説明する。   Hereinafter, a configuration for performing initial variation correction will be described with reference to FIG.

図２において、２１はパワーメータ、２２はパワーメータ制御部、２３は所定の拡大倍率で有機ＥＬ素子１１（図１参照）の出射光に基づく像面における光スポットを撮像するカメラ、２４はカメラ２３の動作を制御するカメラ制御部、２５は既に説明した露光装置、２６は露光装置を構成する各有機ＥＬ素子１１（図１参照）の点灯／消灯および点灯する場合の発光強度を制御する点灯制御部、２７は露光装置２５が装着され、露光装置２５を図１に示した主走査方向および副走査方向に移動可能に構成されたＸ−Ｙステージ、２８はＸ−Ｙステージ２７の移動方向や移動量を制御するステージ制御部、２９は演算処理部、３０は初期ばらつき補正データ書き込み装置、３１は制御用ＰＣである。制御用ＰＣ３１は、ステージ制御部２８でＸ−Ｙステージ２７を制御し、点灯制御部２６で露光装置２５の点灯状態を制御し、カメラ制御部２４でカメラ２３の撮像状態を制御し、パワーメータ制御部２２でパワーメータ２１の測定状態を制御し、演算処理部２９でステージ制御部２８と点灯制御部２６とカメラ制御部２４とパワーメータ制御部２２を制御してカメラ制御部２４から光強度分布データを、パワーメータ制御部２２からパワー値を受け取り、生成した初期ばらつき補正データを初期ばらつき補正データ書き込み装置３０に送る。初期ばらつき補正データ書き込み装置３０では、図示しない所定の記憶デバイス（例えばＲＯＭ、磁気記録媒体など）に初期ばらつき補正データを書き込む。この書き込まれた初期ばらつき補正データを参照して有機ＥＬ素子１１を駆動することで、有機ＥＬ素子１１の製造時における初期ばらつきを補正される。初期ばらつき補正データが格納された記憶デバイスは露光装置と共に出荷されるが、これをネットワークを介してユーザ（メーカー）にデータとして提供することも可能である。この場合は初期光量ばらつき補正データを受信したユーザ（メーカー）は、初期光量ばらつき補正データを画像形成装置に搭載された記憶デバイス（例えばＥＥＰＲＯＭなどの不揮発性メモリ）に記憶し、補正の用に供することができる。   In FIG. 2, 21 is a power meter, 22 is a power meter control unit, 23 is a camera that images a light spot on the image plane based on the light emitted from the organic EL element 11 (see FIG. 1) at a predetermined magnification, and 24 is a camera. 23 is a camera control unit for controlling the operation of 23, 25 is the exposure apparatus already described, and 26 is lighting for controlling the light emission intensity when turning on / off each organic EL element 11 (see FIG. 1) constituting the exposure apparatus. A control unit 27 is equipped with an exposure apparatus 25 and is configured to be able to move the exposure apparatus 25 in the main scanning direction and the sub-scanning direction shown in FIG. 1, and 28 is a moving direction of the XY stage 27. And a stage control unit for controlling the amount of movement, 29 is an arithmetic processing unit, 30 is an initial variation correction data writing device, and 31 is a control PC. The control PC 31 controls the XY stage 27 by the stage control unit 28, controls the lighting state of the exposure device 25 by the lighting control unit 26, controls the imaging state of the camera 23 by the camera control unit 24, and power meter The control unit 22 controls the measurement state of the power meter 21, and the arithmetic processing unit 29 controls the stage control unit 28, lighting control unit 26, camera control unit 24, and power meter control unit 22, and the light intensity from the camera control unit 24. The distribution data is received from the power meter control unit 22 as a power value, and the generated initial variation correction data is sent to the initial variation correction data writing device 30. The initial variation correction data writing device 30 writes the initial variation correction data to a predetermined storage device (for example, ROM, magnetic recording medium, etc.) not shown. By driving the organic EL element 11 with reference to the written initial variation correction data, the initial variation at the time of manufacturing the organic EL element 11 is corrected. The storage device in which the initial variation correction data is stored is shipped together with the exposure apparatus, but can be provided as data to the user (manufacturer) via the network. In this case, the user (manufacturer) that has received the initial light amount variation correction data stores the initial light amount variation correction data in a storage device (for example, a non-volatile memory such as an EEPROM) mounted on the image forming apparatus for correction. be able to.

なおカメラ２３は有機ＥＬ素子１１（図１参照）からの出射光を、既に説明した“像面”位置に焦点を合わせて撮像するように調整されている（この場合、合焦位置は空中に存在しており、カメラ２３はレンズアレイ１３によって結像された空中像を撮像する）。すなわちカメラ２３によって、露光装置２５が露光する感光体（図示せず）の表面における光スポットの光強度分布を計測することができる。   The camera 23 is adjusted so that the light emitted from the organic EL element 11 (see FIG. 1) is focused on the already described “image plane” position (in this case, the in-focus position is in the air). The camera 23 captures an aerial image formed by the lens array 13). That is, the camera 23 can measure the light intensity distribution of the light spot on the surface of the photoreceptor (not shown) exposed by the exposure device 25.

図３は本発明の実施例１において、１つの有機ＥＬ素子１１に基づく像面における光スポットの光強度分布を示すモデル図である。   FIG. 3 is a model diagram showing the light intensity distribution of the light spot on the image plane based on one organic EL element 11 in Example 1 of the present invention.

以降、図３に図１、図２を併用して実施例１における計測対象である光スポットの光強度分布について説明する。   Hereinafter, the light intensity distribution of the light spot that is the measurement target in the first embodiment will be described with reference to FIGS.

図３に示す線は、像面に形成される光スポットの光強度が等しい点を結んだもので、外側から内側に向かうに従い、光強度は強くなっている。図３では１つの有機ＥＬ素子１１（図１参照）を点灯させた例を示す。カメラ２３（図２参照）で撮像された有機ＥＬ素子１１の像は、カメラ制御部２４（図２参照）に出力され、ここでアナログ−ディジタル変換を受けて数値化され、演算処理部２９（図２参照）へ送られる。光強度分布の測定は、露光装置２５（図２参照）のすべての有機ＥＬ素子１１について順次実施される。   The line shown in FIG. 3 connects points where the light intensities of the light spots formed on the image plane are equal, and the light intensity increases from the outside toward the inside. FIG. 3 shows an example in which one organic EL element 11 (see FIG. 1) is lit. The image of the organic EL element 11 picked up by the camera 23 (see FIG. 2) is output to the camera control unit 24 (see FIG. 2), where it is converted into a numerical value by analog-digital conversion, and the arithmetic processing unit 29 (see FIG. 2). 2). The measurement of the light intensity distribution is sequentially performed on all the organic EL elements 11 of the exposure apparatus 25 (see FIG. 2).

このように実施例１では個々の発光素子（有機ＥＬ素子１１）に基づく光スポットを、カメラ２３によって順次拡大撮像して、個々の発光素子毎の光強度分布を測定しているが、カメラ２３の画角が大きい場合は複数の有機ＥＬ素子１１を同時に発光・撮影して光強度分布を測定することも可能である。ただし、６００ｄｐｉ程度の解像度の場合は、レンズアレイ１３（図１参照）のイメージ伝送特性（例えばＭＴＦ）によって隣接する有機ＥＬ素子１１の発光の影響を受けるため、少なくとも隣接する２つの有機ＥＬ素子１１を同時に計測するのは避けるべきである。   As described above, in Example 1, light spots based on the individual light emitting elements (organic EL elements 11) are sequentially enlarged and imaged by the camera 23, and the light intensity distribution for each individual light emitting element is measured. When the angle of view is large, it is also possible to measure the light intensity distribution by simultaneously emitting and photographing the plurality of organic EL elements 11. However, in the case of a resolution of about 600 dpi, at least two adjacent organic EL elements 11 are affected by the light emission of the adjacent organic EL elements 11 due to the image transmission characteristics (for example, MTF) of the lens array 13 (see FIG. 1). Should not be measured simultaneously.

図４は本発明の実施例１において、１つの有機ＥＬ素子１１に基づく像面における光スポットの光強度分布を示すグラフである。   FIG. 4 is a graph showing the light intensity distribution of the light spot on the image plane based on one organic EL element 11 in Example 1 of the present invention.

以降、図４に図１、図２を併用して光スポットの光強度分布のばらつきについて説明する。   Hereinafter, the variation in the light intensity distribution of the light spot will be described with reference to FIGS.

図４では縦軸に光強度を、横軸に個々の有機ＥＬ素子１１（図１参照）に基づく光スポット内の位置ｘを採って表している。   In FIG. 4, the vertical axis represents the light intensity, and the horizontal axis represents the position x in the light spot based on each organic EL element 11 (see FIG. 1).

カメラ２３（図２参照）で拡大撮像して得た光スポットの画像に対し、図３に示すｘ軸による断面をとると、１つの有機ＥＬ素子１１に基づく光スポットの撮像画像から図４に示す光強度分布のグラフが得られる。有機ＥＬ素子１１の光強度分布のピーク値は図４（ａ）ではＬ₀、図４（ｂ）ではＬ_b、図４（ｃ）ではＬ_cという具合に、その特性にばらつきを持っている。 If the cross section by the x-axis shown in FIG. 3 is taken with respect to the image of the light spot obtained by enlarging the image with the camera 23 (see FIG. 2), the image of the light spot based on one organic EL element 11 is shown in FIG. A graph of the light intensity distribution shown is obtained. Peak value of the light intensity distribution of the organic EL element 11 FIGS. 4 (a) in L _0, FIG. 4 (b) in L _b, so on FIG. 4 (c) the L _c, has variations in its characteristics .

また、有機ＥＬ素子１１の光強度分布の形状も図４（ａ）、図４（ｄ）、図４（ｅ）に示すようにばらつきを持っており、例えば所定の光強度における光強度分布の幅もばらつきを持っている。   The shape of the light intensity distribution of the organic EL element 11 also varies as shown in FIGS. 4 (a), 4 (d), and 4 (e). For example, the light intensity distribution at a predetermined light intensity. The width also varies.

初期ばらつきを補正する際には、図４（ｅ）に示したような光強度分布の幅ｄやピーク値Ｌ₀のばらつきに基づいて、初期ばらつき補正データを生成すると、既に説明したように大きな誤差が生じてしまい、露光装置２５を高画質な状態で製造・出荷することができない。 When correcting the initial variation, if the initial variation correction data is generated based on the variation of the width d of the light intensity distribution and the peak value L ₀ as shown in FIG. An error occurs, and the exposure apparatus 25 cannot be manufactured and shipped with high image quality.

図５は本発明の実施例１における電子写真プロセスの全体構成を示す模式図である。   FIG. 5 is a schematic diagram showing the overall configuration of the electrophotographic process in Example 1 of the present invention.

以降、図５を用いて電子写真プロセスによる作像工程について説明する。   Hereinafter, the image forming process by the electrophotographic process will be described with reference to FIG.

図５において、５３は静電潜像が形成される像担持体としての感光体であり、作像過程においては図示しない駆動源によって方向Ｄ１に所定の周速度ｖで回転している。５２は感光体５３上に残留したトナーを除去するクリーナユニット、５１は感光体５３の表面電位を除去するための除電ユニット、５４は感光体５３の表面を所定の電位に帯電する帯電ユニット、５５は露光装置２５（図２参照）を備え、感光体５３を露光して静電潜像を形成する露光ユニット、５６は感光体５３上に形成された静電潜像を現像してトナー象を顕画化する現像ユニット、５７は記録紙、５８は感光体５３上に形成されたトナー像を記録紙５７に転写する転写ユニット、５９は転写されたトナー像を熱と圧力によって記録紙５７に融着させる定着ユニットである。   In FIG. 5, reference numeral 53 denotes a photoconductor as an image carrier on which an electrostatic latent image is formed, and is rotated at a predetermined peripheral speed v in a direction D1 by a driving source (not shown) in the image forming process. 52 is a cleaner unit for removing the toner remaining on the photoreceptor 53, 51 is a charge eliminating unit for removing the surface potential of the photoreceptor 53, 54 is a charging unit for charging the surface of the photoreceptor 53 to a predetermined potential, 55 Includes an exposure device 25 (see FIG. 2) and exposes the photosensitive member 53 to form an electrostatic latent image, and 56 develops the electrostatic latent image formed on the photosensitive member 53 to generate a toner image. A developing unit 57 for visualizing, a recording paper 57, a transfer unit 58 for transferring a toner image formed on the photoreceptor 53 to the recording paper 57, and a transfer unit 59 for transferring the transferred toner image to the recording paper 57 by heat and pressure. This is a fixing unit to be fused.

以下、実施例１における電子写真プロセスの動作を説明する。   The operation of the electrophotographic process in Example 1 will be described below.

（１）まず、帯電プロセスでは、帯電ユニット５４によって、像担持体である感光体５３の表面に対して、所定の電位を付加する。   (1) First, in the charging process, the charging unit 54 applies a predetermined potential to the surface of the photoconductor 53 that is an image carrier.

（２）次に、露光プロセスでは、露光ユニット５５が備える露光装置２５によって形成される光スポットを、一定の周速度ｖで回転している像担持体である感光体５３上に照射することにより静電潜像を形成する。   (2) Next, in the exposure process, the light spot formed by the exposure device 25 provided in the exposure unit 55 is irradiated onto the photoconductor 53 that is an image carrier rotating at a constant peripheral speed v. An electrostatic latent image is formed.

（３）次に、現像プロセスでは、現像ユニット５６によって、この潜像に対してトナーを付着させてトナー像を形成する。   (3) Next, in the developing process, the developing unit 56 attaches toner to the latent image to form a toner image.

（４）次に、転写プロセスでは、転写ユニット５８によって、記録紙５７に、このトナー像を転写する。   (4) Next, in the transfer process, the toner image is transferred onto the recording paper 57 by the transfer unit 58.

（５）次に、定着ユニット５９によって、圧力や熱を加え、記録紙５７に転写されたトナー像を記録紙５７に融着させる。   (5) Next, pressure and heat are applied by the fixing unit 59 to fuse the toner image transferred to the recording paper 57 to the recording paper 57.

（６）次に、クリーナユニット５２によって、像担持体である感光体５３上に、残ったトナーを除去し、清掃する。   (6) Next, the remaining toner is removed and cleaned on the photosensitive member 53 as an image carrier by the cleaner unit 52.

（７）最後に、除電ユニット５１によって、像担持体である感光体５３の表面電位を除去する。   (7) Finally, the surface potential of the photoconductor 53 that is an image carrier is removed by the charge eliminating unit 51.

以上の（１）〜（７）のプロセスは、サイクリックに行われる。電子写真プロセスにおいては微小な画素をいかに精度よく形成できるかが、印字品質を大きく左右するが、プロセス（２）とプロセス（３）に着目すると印字品質を決定する際に支配的な要素は潜像であることがわかる。したがって、露光装置２５の印字品質を高めるために初期ばらつきを補正する際において、図４に示した光強度分布のみに基づいて初期ばらつき補正データを算出するのではなく、「トナーが付着する時点の潜像の状態」すなわち現像に供する静電潜像の電位分布に基づいて初期ばらつき補正データを算出した方が、精度よく初期ばらつきを補正することができる。   The above processes (1) to (7) are performed cyclically. In the electrophotographic process, how accurately the minute pixels can be formed has a great influence on the print quality. However, focusing on the processes (2) and (3), the dominant factor in determining the print quality is the latent. It turns out to be an image. Therefore, when correcting the initial variation in order to improve the print quality of the exposure device 25, the initial variation correction data is not calculated based only on the light intensity distribution shown in FIG. The initial variation can be corrected more accurately by calculating the initial variation correction data based on the “latent image state”, that is, the potential distribution of the electrostatic latent image used for development.

図６は本発明の実施例１において、１つの有機ＥＬ素子１１に基づく像面における光スポットの光強度分布と、この光スポットに基づく累積光強度分布の関係を示すグラフである。   FIG. 6 is a graph showing the relationship between the light intensity distribution of the light spot on the image plane based on one organic EL element 11 and the cumulative light intensity distribution based on this light spot in Example 1 of the present invention.

以降、図６に図１、図２、図５を併用して累積光強度分布の物理的な意味について説明する。   Hereinafter, the physical meaning of the cumulative light intensity distribution will be described with reference to FIGS. 1, 2, and 5 in FIG. 6.

図６では縦軸に光強度もしくは累積光強度を、横軸に位置ｘを採って表している。   In FIG. 6, the vertical axis represents light intensity or cumulative light intensity, and the horizontal axis represents position x.

図４に示す光スポットの光強度分布は露光装置２５（図２参照）が静止した状態における光強度分布であるが、上述の電子写真プロセス（２）において説明したように感光体５３（図５参照）は一定の周速度ｖで回転しているため、静止した状態で得た光強度分布を感光体５３の周速度に基づいて感光体５３の回転方向６２と逆方向である積算方向６１に積算することで、図６に示す累積光強度分布を得ることができる。感光体５３の周速度をｖ［ｍｍ／ｓ］、有機ＥＬ素子１１のＯＮ時間をｔ［μｓ］とすると、図６に示す積算する距離Ｄ［μｍ］（光スポットと像担持体である感光体５３の相対移動量）は（数１）に示すものとなる。   The light intensity distribution of the light spot shown in FIG. 4 is the light intensity distribution in a state where the exposure device 25 (see FIG. 2) is stationary, but as described in the above-described electrophotographic process (2), the photosensitive member 53 (FIG. 5). Reference) is rotating at a constant peripheral speed v, so that the light intensity distribution obtained in a stationary state is based on the peripheral speed of the photoconductor 53 in an integration direction 61 that is opposite to the rotation direction 62 of the photoconductor 53. By accumulating, the cumulative light intensity distribution shown in FIG. 6 can be obtained. Assuming that the peripheral speed of the photosensitive member 53 is v [mm / s] and the ON time of the organic EL element 11 is t [μs], the integrated distance D [μm] shown in FIG. The relative movement amount of the body 53 is as shown in (Equation 1).

このように本発明は、発光素子（有機ＥＬ素子１１）の出射光に基づく光スポットの光強度分布と、光スポットと被照射体である感光体５３の相対移動量とに基づいて、後に説明するように、発光素子の駆動条件を補正する補正データを作成する工程を有する発光装置（露光装置は当然、発光装置に含まれる）の製造方法である。更に具体化すると、本発明は発光素子（有機ＥＬ素子１１）の個々の出射光に基づく光スポットの光強度分布と、光スポットと像担持体である感光体５３の相対移動量とに基づいて、露光装置が有する個々の発光素子の駆動条件（発光光量）を補正する補正データを作成する工程を有している。   As described above, the present invention will be described later based on the light intensity distribution of the light spot based on the light emitted from the light-emitting element (organic EL element 11) and the relative movement amount of the light spot and the photosensitive member 53 that is the irradiated body. As described above, this is a method for manufacturing a light emitting device (an exposure device is naturally included in the light emitting device) having a step of creating correction data for correcting the driving conditions of the light emitting element. More specifically, the present invention is based on the light intensity distribution of the light spot based on the individual emitted light of the light emitting element (organic EL element 11) and the relative movement amount of the light spot and the photoreceptor 53 which is the image carrier. And a step of creating correction data for correcting the driving condition (light emission amount) of each light emitting element included in the exposure apparatus.

図３に示すように１つの有機ＥＬ素子を発光させ、カメラ２３（図２参照）によって拡大撮像した画像における１［ｐｉｘｅｌ］はカメラ２３の有する光学的な拡大倍率や、カメラ２３を構成する例えばＣＣＤエリアセンサの解像度によって決定される。ここで拡大撮像した画像の１［ｐｉｘｅｌ］のサイズを１［μｍ］と仮定すると、Ｄ画素だけ積算方向６１へ積算することになる。このように積算することで得られる累積光強度をＳ_xとすると、Ｓ_xは図６（ａ）に示す光強度分布の光強度Ｌ_xを使って（数２）のように表すことができる。 As shown in FIG. 3, 1 [pixel] in an image obtained by causing one organic EL element to emit light and enlarging an image by the camera 23 (see FIG. 2) constitutes the optical magnification of the camera 23 or the camera 23, for example. It is determined by the resolution of the CCD area sensor. Here, assuming that the size of 1 [pixel] of the enlarged image is 1 [μm], only D pixels are integrated in the integration direction 61. Assuming that the accumulated light intensity obtained by integrating in this way is S _x , S _x can be expressed as (Equation 2) using the light intensity L _x of the light intensity distribution shown in FIG. .

（数２）を用いることで、位置Ｘ₀から位置Ｘ₁＋Ｄにかけて積算演算を行なって図６に示す累積光強度分布を得ることができる。 By using (Equation 2), the cumulative light intensity distribution shown in FIG. 6 can be obtained by performing the integration calculation from the position X ₀ to the position X ₁ + D.

図７は本発明の実施例１において、１つの有機ＥＬ素子１１に基づく像面における光スポットの光強度分布と、露光される感光体５３の周速度ｖと、露光における有機ＥＬ素子１１のＯＮ時間情報ｔに基づいて算出した累積光強度分布を示すモデル図である。   FIG. 7 shows the light intensity distribution of the light spot on the image plane based on one organic EL element 11, the peripheral speed v of the exposed photoconductor 53, and the ON state of the organic EL element 11 in the exposure in Example 1 of the present invention. It is a model figure which shows the cumulative light intensity distribution calculated based on the time information t.

図７に示す線は、累積光強度が等しい点を結んだもので、外側から内側にいくに従い、累積光強度は強くなっている。図７はカメラ２３（図２参照）で拡大撮像することにより得られる１つの有機ＥＬ素子１１（図１参照）に基づく光強度分布を積算方向６１（図６参照。これは図７における副走査方向を意味する）に積算した時の累積光強度分布を示している。   The line shown in FIG. 7 connects points having the same cumulative light intensity, and the cumulative light intensity increases from the outside toward the inside. FIG. 7 shows a light intensity distribution based on one organic EL element 11 (see FIG. 1) obtained by enlarging an image with the camera 23 (see FIG. 2), and an integration direction 61 (see FIG. 6). It shows the cumulative light intensity distribution when integrated.

図８は本発明の実施例１において、１つの有機ＥＬ素子１１に基づく像面における光スポットの累積光強度分布を示すグラフである。   FIG. 8 is a graph showing the cumulative light intensity distribution of the light spot on the image plane based on one organic EL element 11 in Example 1 of the present invention.

図８では縦軸に累積光強度を、横軸に位置ｘを採って表している。   In FIG. 8, the vertical axis represents the accumulated light intensity, and the horizontal axis represents the position x.

図８に示す累積光強度分布は、図７の累積光強度分布のｘ軸による断面に相当する。このように有機ＥＬ素子１１の個々の光スポットの光強度分布と、光スポットと像担持体である感光体５３（図５参照）の相対移動量に基づいて算出した累積光強度分布を示すグラフとして表示できる。   The cumulative light intensity distribution shown in FIG. 8 corresponds to a cross section along the x-axis of the cumulative light intensity distribution of FIG. Thus, the graph which shows the light intensity distribution of each light spot of the organic EL element 11, and the cumulative light intensity distribution calculated based on the relative movement amount of the light spot and the photosensitive member 53 (see FIG. 5) which is an image carrier. Can be displayed as

図９は本発明の実施例１において、１つの有機ＥＬ素子１１に基づく像面における光スポットのエネルギー分布を示すグラフである。   FIG. 9 is a graph showing the energy distribution of the light spot on the image plane based on one organic EL element 11 in Example 1 of the present invention.

以降、図９に図１、図２、図５を併用して累積光強度分布について更に説明を続ける。   Hereinafter, the cumulative light intensity distribution will be further described with reference to FIGS. 1, 2, and 5 in FIG. 9.

図９は累積光強度分布、パワーメータ測定値、感光体５３の周速度ｖ、および有機ＥＬ素子１１の点灯時間ｔに基づいて算出した、１つの有機ＥＬ素子１１における露光エネルギー値の分布（以降、露光エネルギー分布と呼称する）を示している。カメラ２３（図２参照）を用いて、発光状態の有機ＥＬ素子１１（図１参照）に基づく像面における光スポットを撮像し、図３で示した光強度分布を得た後、パワーメータ２１を使って有機ＥＬ素子１１の発光状態におけるパワー値を測定する。これらの２つの測定値と感光体５３（図５参照）の周速度ｖおよび有機ＥＬ素子１１の点灯時間ｔに基づいて、図８に示す累積光強度分布が得られ、この累積光強度分布を示すグラフの縦軸である累積光強度を露光エネルギー値に置き換えることによって、露光エネルギー分布が得られる。   FIG. 9 shows a distribution of exposure energy values in one organic EL element 11 (hereinafter, calculated based on the cumulative light intensity distribution, the power meter measurement value, the peripheral speed v of the photoreceptor 53, and the lighting time t of the organic EL element 11). , Referred to as exposure energy distribution). Using the camera 23 (see FIG. 2), the light spot on the image plane based on the organic EL element 11 in the light emitting state (see FIG. 1) is imaged to obtain the light intensity distribution shown in FIG. Is used to measure the power value of the organic EL element 11 in the light emitting state. Based on these two measured values, the peripheral speed v of the photoreceptor 53 (see FIG. 5), and the lighting time t of the organic EL element 11, the cumulative light intensity distribution shown in FIG. 8 is obtained. An exposure energy distribution can be obtained by replacing the cumulative light intensity, which is the vertical axis of the graph shown, with the exposure energy value.

図１０は本発明の実施例１における感光体５３（図５参照）の感光特性を表すグラフである。   FIG. 10 is a graph showing the photosensitive characteristics of the photoreceptor 53 (see FIG. 5) in Example 1 of the present invention.

図１０において縦軸は感光体５３の表面電位であり、横軸は図９に示す露光エネルギー値の対数ｌｏｇをとったものである。   10, the vertical axis represents the surface potential of the photoconductor 53, and the horizontal axis represents the logarithm log of the exposure energy value shown in FIG.

一般に高いエネルギーで感光体５３を露光するほど感光体５３の表面電位値の絶対値は小さくなり０Ｖに近づく。また感光体５３は、立ち上がり感度が低く、また所定の露光エネルギーを超えると飽和する外は、表面電位の絶対値は露光エネルギーの対数ｌｏｇに対して略直線的に減少するという感光特性を示す。   Generally, as the photoconductor 53 is exposed with higher energy, the absolute value of the surface potential value of the photoconductor 53 becomes smaller and approaches 0V. The photosensitive member 53 has low rise sensitivity and exhibits a photosensitive characteristic that the absolute value of the surface potential decreases substantially linearly with respect to the logarithm of the exposure energy, except that it is saturated when exceeding a predetermined exposure energy.

図９に示す露光エネルギー値に、図１０に示す感光体５３の感光特性を掛け合わせることで、感光体５３における静電潜像の電位分布を計算によって求めることができる。   By multiplying the exposure energy value shown in FIG. 9 by the photosensitive characteristic of the photoconductor 53 shown in FIG. 10, the potential distribution of the electrostatic latent image on the photoconductor 53 can be obtained by calculation.

図１１は本発明の実施例１において、１つの有機ＥＬ素子１１に基づく露光エネルギー分布と感光体５３の感光特性に基づいて算出した潜像電位分布のモデル図である。   FIG. 11 is a model diagram of the latent image potential distribution calculated based on the exposure energy distribution based on one organic EL element 11 and the photosensitive characteristics of the photoreceptor 53 in Example 1 of the present invention.

図１１に示す線は、感光体５３の表面電位が等しい点を結んだもので、外側から内側に向かうにつれて、表面電位の絶対値は小さくなっている。中心のハッチにて区別された領域は、図１０に示した閾値Ｖ_tより感光体５３の表面電位の絶対値が小さくなる領域を示しており、この閾値Ｖ_tを現像ユニット５６（図５参照）における現像バイアス値とすることで、閾値Ｖ_tよりも表面電位の絶対値が小さい領域（すなわち中心のハッチ部分）にトナーが付着し現像が行なわれることとなる。 The line shown in FIG. 11 connects points where the surface potential of the photoconductor 53 is equal, and the absolute value of the surface potential decreases from the outside toward the inside. Distinct regions at the center of the hatch is a region where the absolute value decreases the surface potential of the photosensitive member 53 than a threshold V _t shown in FIG. 10, it develops the threshold V _t unit 56 (see FIG. 5 by the developing bias value in), so that the toner in the absolute value is small region of the surface potential than the threshold value V _t (i.e. hatched portion of the center) is attached to the development is performed.

図１２は本発明の実施例１において、１つの有機ＥＬ素子１１に基づく露光エネルギー分布と感光体５３の感光特性に基づいて算出した潜像電位分布の断面図である。   FIG. 12 is a cross-sectional view of the latent image potential distribution calculated based on the exposure energy distribution based on one organic EL element 11 and the photosensitive characteristics of the photoreceptor 53 in Example 1 of the present invention.

図１２では縦軸に感光体５３（図５参照）の表面電位値を、横軸に１つの有機ＥＬ素子１１（図１参照）における位置ｘを採って表している。   In FIG. 12, the vertical axis represents the surface potential value of the photoreceptor 53 (see FIG. 5), and the horizontal axis represents the position x in one organic EL element 11 (see FIG. 1).

なお以降の説明においては、静電潜像の電位分布（潜像電位分布１２０）を所定の電位（例えば図１２におけるＶ_t）でスライスした際に形成される等電位面の面積を潜像断面積１２１と呼称する。 In the following description, the area of the equipotential surface formed when the potential distribution of the electrostatic latent image (latent image potential distribution 120) is sliced at a predetermined potential (for example, V _t in FIG. 12) This is referred to as area 121.

また図１２は潜像電位分布の断面図としており、潜像断面積１２１は実際には“線”として描かれるべきものであるが、概念として理解し易いように“面積”を持つものとして表現している。   FIG. 12 is a cross-sectional view of the latent image potential distribution, and the latent image cross-sectional area 121 should actually be drawn as a “line”, but is expressed as having an “area” for easy understanding as a concept. is doing.

さてＶ_tは有機ＥＬ素子１１の初期ばらつきを補正するために指標とする潜像断面積１２１を算出するための閾値電圧である。すべての有機ＥＬ素子１１において、潜像断面積１２１が略等しくなるように初期ばらつき補正データを決定することで、有機ＥＬ素子１１の製造時における初期ばらつきを精度よく補正し、高画質な露光装置を製造することができる。なお、実施例１においては潜像断面積１２１が略等しくなるように初期ばらつき補正データを決定したが、初期ばらつき補正データを決定する指標を潜像断面積１２１に限定するものではない。 Well V _t is the threshold voltage for calculating the latent cross-sectional area 121 as an index to correct for the initial dispersion of the organic EL element 11. By determining the initial variation correction data so that the latent image cross-sectional areas 121 are substantially equal in all the organic EL elements 11, the initial variation during the manufacture of the organic EL elements 11 can be accurately corrected, and a high-quality exposure apparatus. Can be manufactured. In the first embodiment, the initial variation correction data is determined so that the latent image sectional areas 121 are substantially equal. However, the index for determining the initial variation correction data is not limited to the latent image sectional areas 121.

例えば有機ＥＬ素子１１（図１参照）を円形に構成したような場合では、像面における光スポットは円形となり、これに従って潜像断面も円形を呈するため、初期ばらつき補正データを決定する指標は基本的には潜像断面の径（幅）としても構わない。しかし有機ＥＬ素子１１を図１に示すように略正方形形状に形成した場合や三角形形状のように、径（幅）が一定でない形状に形成した場合は、光スポットの径（幅）は方向によって変化するから、初期ばらつき補正データを決定する指標としては潜像断面積１２１を用いるのが最も望ましい。   For example, in the case where the organic EL element 11 (see FIG. 1) is configured in a circular shape, the light spot on the image plane is circular, and the latent image cross section also exhibits a circular shape accordingly. Therefore, the index for determining the initial variation correction data is basic. Specifically, the diameter (width) of the latent image section may be used. However, when the organic EL element 11 is formed in a substantially square shape as shown in FIG. 1 or in a shape where the diameter (width) is not constant, such as a triangular shape, the diameter (width) of the light spot depends on the direction. Therefore, it is most desirable to use the latent image sectional area 121 as an index for determining the initial variation correction data.

図１３は本発明の実施例１における初期ばらつきを補正した露光装置の製造方法を示すフローチャートである。   FIG. 13 is a flowchart showing a method of manufacturing an exposure apparatus that corrects initial variations in the first embodiment of the present invention.

以降、実施例１における有機ＥＬ素子の初期ばらつきを補正する一連の処理について、図１、図２、図５を併用して説明する。   Hereinafter, a series of processes for correcting the initial variation of the organic EL element in Example 1 will be described with reference to FIGS. 1, 2, and 5.

＜光強度分布の測定：第一のステップ＞
まず演算処理部２９（図２参照）は、主走査方向に配列された１つ目の有機ＥＬ素子１１（図１参照）をカメラ２３（図２参照）で撮像できる所定の位置へと動かすために、ステージ制御部２８（図２参照）に指示を出力し、Ｘ−Ｙステージ２７（図２参照）を所定の位置へと移動する（ＳＴ１）。 <Measurement of light intensity distribution: first step>
First, the arithmetic processing unit 29 (see FIG. 2) moves the first organic EL elements 11 (see FIG. 1) arranged in the main scanning direction to a predetermined position that can be imaged by the camera 23 (see FIG. 2). Then, an instruction is output to the stage controller 28 (see FIG. 2), and the XY stage 27 (see FIG. 2) is moved to a predetermined position (ST1).

次に、演算処理部２９は有機ＥＬ素子１１を所定の位置で発光させるために、点灯制御部２６（図２参照）に有機ＥＬ素子１１を発光させるように指示を送り、有機ＥＬ素子１１を発光させる。この際、光強度分布の計測に係る全ての有機ＥＬ素子１１は同一の駆動条件、例えば同一の駆動電流値を設定しておく。ここで有機ＥＬ素子１１の駆動に係る操作量が電圧であれば、全ての有機ＥＬ素子１１を同一の駆動電圧で、また操作量が１走査期間における駆動時間である場合は、全ての有機ＥＬ素子１１が同一の駆動時間で駆動されるように設定しておく（以降このような全ての有機ＥＬ素子１１に一律に設定される駆動条件を“基準駆動量”と呼称する）（ＳＴ２）。   Next, in order to cause the organic EL element 11 to emit light at a predetermined position, the arithmetic processing unit 29 sends an instruction to the lighting control unit 26 (see FIG. 2) to cause the organic EL element 11 to emit light. Make it emit light. At this time, all the organic EL elements 11 related to the measurement of the light intensity distribution are set with the same driving condition, for example, the same driving current value. Here, if the operation amount related to driving of the organic EL element 11 is a voltage, all the organic EL elements 11 are driven at the same drive voltage, and if the operation amount is the drive time in one scanning period, all the organic EL elements are driven. The element 11 is set to be driven with the same driving time (hereinafter, a driving condition that is uniformly set for all the organic EL elements 11 is referred to as “reference driving amount”) (ST2).

次に演算処理部２９は、カメラ制御部２４（図２参照）にカメラ２３が撮像するよう指示する。カメラ２３によって当該有機ＥＬ素子１１に基づく像面における光スポットが撮像され、光強度分布が得られる。   Next, the arithmetic processing unit 29 instructs the camera control unit 24 (see FIG. 2) so that the camera 23 takes an image. A light spot on the image plane based on the organic EL element 11 is imaged by the camera 23 to obtain a light intensity distribution.

この光強度分布は、光強度分布データとしてカメラ制御部２４を介して演算処理部２９に渡される（ＳＴ３）。   This light intensity distribution is passed as light intensity distribution data to the arithmetic processing unit 29 via the camera control unit 24 (ST3).

＜累積光強度分布の測定：第二のステップ＞
続けて演算処理部２９は、パワーメータ制御部２２（図２参照）に対してパワーメータ２１（図２参照）がパワーの測定を行うように指示し、光スポットの光強度分布の基準値としてのパワー値を取得する（ＳＴ４）。 <Measurement of cumulative light intensity distribution: second step>
Subsequently, the arithmetic processing unit 29 instructs the power meter control unit 22 (see FIG. 2) that the power meter 21 (see FIG. 2) measures the power, and uses it as a reference value for the light intensity distribution of the light spot. Is obtained (ST4).

なおパワーメータ２１は光強度分布中の特定の位置における絶対光量を得るためのものであるから、光スポットの狭い領域をピンポイント的に計測できるものとすべきである。実施例１では、パワーメータ２１としてトプコン製のＢＭ−５の光学系を改造したものを用い、約７μｍ×７μｍの領域でパワーの計測を行なっている。   Since the power meter 21 is for obtaining an absolute light quantity at a specific position in the light intensity distribution, it should be able to measure a narrow area of the light spot in a pinpoint manner. In the first embodiment, a power meter 21 having a modified BM-5 optical system manufactured by Topcon is used, and power is measured in an area of about 7 μm × 7 μm.

次に演算処理部２９は、取得した光強度分布と露光装置２５（図２参照）の駆動条件（有機ＥＬ素子１１の点灯時間ｔ、感光体５３（図５参照）の周速度ｖ、これらに基づいて感光体５３が移動する距離Ｄ）に基づいて、累積光強度分布を算出する（ＳＴ５）。   Next, the arithmetic processing unit 29 determines the obtained light intensity distribution, the driving conditions of the exposure device 25 (see FIG. 2) (lighting time t of the organic EL element 11, the peripheral speed v of the photosensitive member 53 (see FIG. 5), and so on. Based on the distance D) to which the photoconductor 53 moves based on this, a cumulative light intensity distribution is calculated (ST5).

＜静電潜像の電位分布の算出：第三のステップ＞
次に演算処理部２９は、ＳＴ５にて算出した累積光強度分布とＳＴ４にて取得したパワー値と上述した露光装置２５の駆動条件に基づいて、累積光強度の絶対値として露光エネルギー値を付与する（ＳＴ６）。 <Calculation of potential distribution of electrostatic latent image: third step>
Next, the arithmetic processing unit 29 gives an exposure energy value as an absolute value of the cumulative light intensity based on the cumulative light intensity distribution calculated in ST5, the power value acquired in ST4, and the driving condition of the exposure apparatus 25 described above. (ST6).

次にＳＴ６にて算出した光スポットにおける各位置に対応する露光エネルギー値と、感光体５３の感光特性（図１０参照）とを掛け合わせることで静電潜像の電位分布を算出する（ＳＴ７）。   Next, the potential distribution of the electrostatic latent image is calculated by multiplying the exposure energy value corresponding to each position in the light spot calculated in ST6 and the photosensitive characteristic of the photoreceptor 53 (see FIG. 10) (ST7). .

次にＳＴ７にて算出した静電潜像の電位分布を所定の閾値電圧Ｖ_tでスライスしたときの潜像断面積１２１（図１２参照）を算出する（ＳＴ８）。 Then calculates the latent image cross-sectional area 121 when the slices potential distribution of an electrostatic latent image calculated in ST7 at a predetermined threshold voltage V _t (see FIG. 12) (ST8).

すべての有機ＥＬ素子１１において潜像断面積１２１を算出していない場合は（ＳＴ９）ＳＴ１へ戻り、Ｘ−Ｙステージ２７を所定の位置へと動かす（ＳＴ１）。この時、隣の有機ＥＬ素子１１に対応する位置へとＸ−Ｙステージ２７を順次移動させることで効率よくＳＴ１〜ＳＴ８までの処理を繰り返すことができる。   If all the organic EL elements 11 have not calculated the latent image cross-sectional area 121 (ST9), the process returns to ST1, and the XY stage 27 is moved to a predetermined position (ST1). At this time, the processes from ST1 to ST8 can be efficiently repeated by sequentially moving the XY stage 27 to a position corresponding to the adjacent organic EL element 11.

＜補正データ作成：第四のステップ＞
潜像断面積１２１を算出後（ＳＴ８）、すべての有機ＥＬ素子１１において潜像断面積１２１を算出したと判定された場合（ＳＴ９）は、予め定めておいた目標とする潜像断面積１２１に対して、算出した全有機ＥＬ素子１１の断面積がすべての有機ＥＬ素子１１において略等しくなるように、全有機ＥＬ素子１１の初期ばらつきを補正する初期ばらつき補正データを決定する（ＳＴ１０）。 <Correction data creation: Fourth step>
After calculating the latent image sectional area 121 (ST8), when it is determined that the latent image sectional area 121 has been calculated in all the organic EL elements 11 (ST9), the target latent image sectional area 121 is set in advance. On the other hand, initial variation correction data for correcting the initial variation of all organic EL elements 11 is determined so that the calculated cross-sectional areas of all organic EL elements 11 are substantially equal in all organic EL elements 11 (ST10).

補正データは、例えば＜光強度分布の測定：第一のステップ＞で設定した“基準駆動量”を用いて次のようにして求めればよい。   The correction data may be obtained as follows using, for example, the “reference driving amount” set in <Measurement of light intensity distribution: first step>.

補正データ＝（目標とする潜像断面積／算出した潜像断面積）×基準駆動量
ただし駆動電流、駆動電圧、駆動時間などの駆動量に対して潜像断面積１２１が線形に変化しないような場合にあっては、予め実験的に求めておいた“駆動量−潜像断面積”の関係を記述したテーブルデータなどを参照して新たな補正データを生成することが望ましい。なお基準駆動量は、既に説明したように、駆動電流、駆動電圧、駆動時間のいずれかであり、露光装置２５が組み込まれるシステムあるいは露光装置２５の仕様に依存するものである。 Correction data = (target latent image sectional area / calculated latent image sectional area) × reference driving amount However, the latent image sectional area 121 does not change linearly with respect to driving amounts such as driving current, driving voltage, and driving time. In such a case, it is desirable to generate new correction data by referring to table data or the like describing the relationship of “driving amount−latent image cross-sectional area” obtained experimentally in advance. As already described, the reference drive amount is one of a drive current, a drive voltage, and a drive time, and depends on the system in which the exposure apparatus 25 is incorporated or the specifications of the exposure apparatus 25.

このように＜補正データ作成：第四のステップ＞では、＜静電潜像の電位分布の算出：第三のステップ＞において算出した静電潜像の電位分布を所定の閾値電位でスライスした場合に算出される断面積（潜像断面積１２１（図１２参照））に基づいて、断面積（潜像断面積１２１）が略同じになるように発光素子（有機ＥＬ素子１１）の発光光量を補正するための補正データを作成する。   As described above, in <correction data creation: fourth step>, the potential distribution of the electrostatic latent image calculated in <calculation of potential distribution of electrostatic latent image: third step> is sliced at a predetermined threshold potential. Based on the calculated cross-sectional area (latent image cross-sectional area 121 (see FIG. 12)), the light emission amount of the light-emitting element (organic EL element 11) is set so that the cross-sectional area (latent image cross-sectional area 121) is substantially the same. Create correction data for correction.

最後に、補正データを図示しない所定の記憶デバイス（例えばＲＯＭ、磁気記録媒体など）に書き込む（ＳＴ１１）。   Finally, the correction data is written in a predetermined storage device (not shown) (for example, ROM, magnetic recording medium, etc.) (ST11).

このように本発明は、発光素子（有機ＥＬ素子１１）の個々の出射光に基づく光スポットの光強度分布を測定する第一のステップと、この第一のステップで得られた光強度分布を有する光スポットが、これと相対移動する像担持体（感光体５３）へ継続的に照射された場合の累積光強度分布を算出する第二のステップと、この第二のステップにおいて積算した累積光強度分布と像担持体（感光体５３）の感光特性とに基づいて、像担持体（感光体５３）上に形成される静電潜像の電位分布を算出する第三のステップと、この第三のステップにおいて算出した静電潜像の電位分布に基づいて、発光素子（有機ＥＬ素子１１）の駆動条件（発光光量）を補正するための補正データを作成する第四のステップとを備えている。   As described above, the present invention provides the first step of measuring the light intensity distribution of the light spot based on the individual emitted light of the light emitting element (organic EL element 11), and the light intensity distribution obtained in the first step. A second step of calculating a cumulative light intensity distribution in the case where the image spot (photosensitive member 53) is continuously irradiated with the light spot having the same, and the cumulative light accumulated in the second step. A third step of calculating a potential distribution of an electrostatic latent image formed on the image carrier (photoreceptor 53) based on the intensity distribution and the photosensitive characteristics of the image carrier (photoreceptor 53); And a fourth step of creating correction data for correcting the driving condition (light emission amount) of the light emitting element (organic EL element 11) based on the potential distribution of the electrostatic latent image calculated in the three steps. Yes.

以上述べてきたように、本発明においては全ての有機ＥＬ素子１１について１つずつカメラ２３で撮像し、撮像結果から得られる光強度分布と、露光装置２５の駆動条件に基づいて算出した累積光強度分布から感光体５３上に形成される静電潜像の分布を算出し、静電潜像の分布に基づいて全有機ＥＬ素子１１の初期ばらつきを補正することによって、精度よく初期ばらつきを補正することができ、高い印字品質を持った状態で露光装置２５を製造・出荷することができる。   As described above, in the present invention, all the organic EL elements 11 are imaged one by one with the camera 23, and the accumulated light calculated based on the light intensity distribution obtained from the imaging result and the driving conditions of the exposure device 25. The distribution of the electrostatic latent image formed on the photoconductor 53 is calculated from the intensity distribution, and the initial variation of all the organic EL elements 11 is corrected based on the distribution of the electrostatic latent image, thereby correcting the initial variation with high accuracy. The exposure apparatus 25 can be manufactured and shipped with high print quality.

以上、本発明の露光装置の製造方法について、有機ＥＬ素子１１を露光光源として使用した場合に基づいて説明した。本発明においては、有機ＥＬ素子１１の製造時における光強度分布の初期ばらつきをカメラ２３（図２参照）を用いて、また光強度分布の絶対値となる露光エネルギーの初期ばらつきをパワーメータ２１（図２参照）を用いて測定し、初期ばらつきを補正する初期ばらつき補正データを生成するものであるが、露光光源として例えば無機ＬＥＤアレイなどを用いるものに対しても、本発明を適用できることは言うまでもない。本発明は、感光体に対して光スポットが相対移動する場合に露光装置の光量補正精度を向上するものであるから、例えば従来の技術として説明した無機ＬＥＤを時分割駆動するようなケースに対しても適用できる。すなわち従来の技術では感光体と光スポットの相対移動量は非常に小さいものであるが、その影響はゼロではない。従って光量補正の精度をより高くするためには、本発明は極めて有効に作用する。   In the above, the manufacturing method of the exposure apparatus of this invention was demonstrated based on the case where the organic EL element 11 was used as an exposure light source. In the present invention, the initial variation of the light intensity distribution at the time of manufacturing the organic EL element 11 is determined using the camera 23 (see FIG. 2), and the initial variation of the exposure energy that is the absolute value of the light intensity distribution is determined by the power meter 21 ( 2), the initial variation correction data for correcting the initial variation is generated. Needless to say, the present invention can be applied to an exposure light source using, for example, an inorganic LED array. Yes. Since the present invention improves the light amount correction accuracy of the exposure apparatus when the light spot moves relative to the photoconductor, for example, in the case where the inorganic LED described as the prior art is driven in a time-sharing manner. Even applicable. That is, in the prior art, the relative movement amount of the photosensitive member and the light spot is very small, but the influence is not zero. Therefore, the present invention works extremely effectively in order to increase the accuracy of light amount correction.

また上述の説明は全て電子写真プロセスに適用される露光装置について行なったが、本発明は印画紙に対してＲＧＢの走査光を露光して、印画紙上に直接的に画像を形成する露光装置についても好適に応用することができる。   Further, the above description has been given for an exposure apparatus that is applied to an electrophotographic process. However, the present invention relates to an exposure apparatus that exposes RGB scanning light to a photographic paper and forms an image directly on the photographic paper. Can also be suitably applied.

更に本発明は、上述してきたような画像形成装置への応用に限定されるものではなく、有機ＥＬ素子、無機ＬＥＤや半導体レーザなどの発光素子の出射光に基づいて光スポットを形成して利用する他のあらゆる発光装置、例えば所定の媒体（被照射体）に変調された光を用いてデータ記録を行なうような情報記録機器（例えば光ディスクなどの記録再生機器）に搭載される発光装置においても、光スポットの光強度分布と、光スポットと被照射体の相対移動量とに基づいて、個々の発光素子の駆動条件を補正する補正データを作成する工程を有するものについて適用が可能である。   Further, the present invention is not limited to the application to the image forming apparatus as described above, and uses a light spot formed based on light emitted from a light emitting element such as an organic EL element, an inorganic LED or a semiconductor laser. Also in any other light emitting device, for example, a light emitting device mounted in an information recording device (for example, a recording / reproducing device such as an optical disk) that records data using light modulated on a predetermined medium (irradiated body) The present invention can be applied to one having a step of creating correction data for correcting the driving conditions of each light emitting element based on the light intensity distribution of the light spot and the relative movement amount of the light spot and the irradiated object.

露光装置の発光素子として有機ＥＬ素子を用いた場合、有機ＥＬ素子の製造時において、各有機ＥＬ素子の特性にばらつきが生じてしまい、初期ばらつきを補正することが必要とされている。製造時における初期ばらつきを補正し、高画質な状態で露光装置を出荷する場合、本露光装置の製造方法は高い信頼性を保ちつつ、例外なく利用することができる。   When an organic EL element is used as a light emitting element of an exposure apparatus, the characteristics of each organic EL element vary during manufacturing of the organic EL element, and it is necessary to correct the initial variation. When correcting the initial variation at the time of manufacture and shipping the exposure apparatus in a state of high image quality, the manufacturing method of the exposure apparatus can be used without exception while maintaining high reliability.

以上のように、本発明に係る露光装置の製造方法は、露光対象である感光体の移動量を考慮した上で、初期ばらつきを補正することが可能であるところから、画像形成装置に搭載される露光装置、この露光装置を搭載したＭＦＰ（Ｍｕｌｔｉ Ｆｕｎｃｔｉｏｎ Ｐｒｉｎｔｅｒ）、プリンタ、複写機など、特に電子写真プロセスを応用した画像形成装置、また印画紙を直接的に露光するプリンタなどへの応用が可能である。更に上述したように、いわゆる光ディスクの記録再生を行なうような情報記録装置に対しても応用できる可能性がある。   As described above, the manufacturing method of the exposure apparatus according to the present invention is mounted on the image forming apparatus because it can correct the initial variation in consideration of the movement amount of the photosensitive member that is an exposure target. Can be applied to image forming apparatuses that apply electrophotographic processes, printers that directly expose photographic paper, etc., such as exposure apparatuses, MFPs (Multi Function Printers) equipped with this exposure apparatus, printers, and copiers. It is. Further, as described above, there is a possibility that the present invention can be applied to an information recording apparatus that performs recording and reproduction of so-called optical disks.

本発明の実施例１における露光装置の概略構成を示す斜視図1 is a perspective view showing a schematic configuration of an exposure apparatus in Embodiment 1 of the present invention. 初期ばらつき補正を実施するための構成を示すブロック図Block diagram showing a configuration for performing initial variation correction 本発明の実施例１において、１つの有機ＥＬ素子に基づく像面における光スポットの光強度分布を示すモデル図In Example 1 of this invention, the model figure which shows the light intensity distribution of the light spot in the image surface based on one organic EL element 本発明の実施例１において、１つの有機ＥＬ素子に基づく像面における光スポットの光強度分布を示すグラフIn Example 1 of this invention, the graph which shows the light intensity distribution of the light spot in the image surface based on one organic EL element 本発明の実施例１における電子写真プロセスの全体構成を示す模式図Schematic diagram showing the overall configuration of the electrophotographic process in Example 1 of the present invention 本発明の実施例１において、１つの有機ＥＬ素子に基づく像面における光スポットの光強度分布と、この光スポットに基づく累積光強度分布の関係を示すグラフIn Example 1 of this invention, the graph which shows the relationship between the light intensity distribution of the light spot in the image surface based on one organic EL element, and the cumulative light intensity distribution based on this light spot 本発明の実施例１において、１つの有機ＥＬ素子に基づく像面における光スポットの光強度分布と、露光される感光体の周速度ｖと、露光における有機ＥＬ素子のＯＮ時間情報ｔに基づいて算出した累積光強度分布を示すモデル図In Example 1 of the present invention, based on the light intensity distribution of the light spot on the image plane based on one organic EL element, the peripheral speed v of the exposed photoconductor, and the ON time information t of the organic EL element in exposure. Model diagram showing the calculated cumulative light intensity distribution 本発明の実施例１において、１つの有機ＥＬ素子に基づく像面における光スポットの累積光強度分布を示すグラフIn Example 1 of this invention, the graph which shows the cumulative light intensity distribution of the light spot in the image surface based on one organic EL element 本発明の実施例１において、１つの有機ＥＬ素子に基づく像面における光スポットのエネルギー分布を示すグラフIn Example 1 of this invention, the graph which shows energy distribution of the light spot in the image surface based on one organic EL element 本発明の実施例１における感光体の感光特性を表すグラフ3 is a graph showing the photosensitive characteristics of the photoconductor in Example 1 of the present invention. 本発明の実施例１において、１つの有機ＥＬ素子に基づく露光エネルギー分布と感光体の感光特性に基づいて算出した潜像電位分布のモデル図In Example 1 of the present invention, a model diagram of a latent image potential distribution calculated based on an exposure energy distribution based on one organic EL element and a photosensitive characteristic of the photoreceptor. 本発明の実施例１において、１つの有機ＥＬ素子に基づく露光エネルギー分布と感光体５３の感光特性に基づいて算出した潜像電位分布の断面図Sectional view of the latent image potential distribution calculated based on the exposure energy distribution based on one organic EL element and the photosensitive characteristics of the photoreceptor 53 in Example 1 of the present invention. 本発明の実施例１における初期ばらつきを補正した露光装置の製造方法を示すフローチャート5 is a flowchart showing a method of manufacturing an exposure apparatus that corrects initial variations in Embodiment 1 of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

１１ 有機ＥＬ素子
１２ 基材
１３ レンズアレイ
２１ パワーメータ
２２ パワーメータ制御部
２３ カメラ
２４ カメラ制御部
２５ 露光装置
２６ 点灯制御部
２７ Ｘ−Ｙステージ
２８ ステージ制御部
２９ 演算処理部
３０ 初期ばらつき補正データ書き込み装置
３１ 制御用ＰＣ
５１ 除電ユニット
５２ クリーナユニット
５３ 感光体
５４ 帯電ユニット
５５ 露光ユニット
５６ 現像ユニット
５７ 記録紙
５８ 転写ユニット
５９ 定着ユニット
６１ 積算方向
６２ 感光体の回転方向
１２０ 潜像電位分布
１２１ 潜像断面積 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Organic EL element 12 Base material 13 Lens array 21 Power meter 22 Power meter control part 23 Camera 24 Camera control part 25 Exposure apparatus 26 Lighting control part 27 XY stage 28 Stage control part 29 Operation processing part 30 Initial variation correction data writing Device 31 Control PC
51 Static elimination unit 52 Cleaner unit 53 Photoconductor 54 Charging unit 55 Exposure unit 56 Development unit 57 Recording paper 58 Transfer unit 59 Fixing unit 61 Integration direction 62 Photoreceptor rotation direction 120 Latent image potential distribution 121 Latent image cross section

Claims (8)

像担持体を露光する複数の発光素子を有する露光装置の製造方法であって、前記発光素子の個々の出射光に基づく光スポットの光強度分布と、前記光スポットと前記像担持体の相対移動量とに基づいて、個々の発光素子の駆動条件を補正する補正データを作成する工程を有することを特徴とする露光装置の製造方法。 A method of manufacturing an exposure apparatus having a plurality of light emitting elements for exposing an image carrier, the light intensity distribution of a light spot based on the individual emitted light of the light emitting element, and the relative movement of the light spot and the image carrier And a method of producing correction data for correcting the driving conditions of the individual light-emitting elements based on the quantity. 像担持体を露光する複数の発光素子を有する露光装置の製造方法であって、前記発光素子の個々の出射光に基づく光スポットの光強度分布を測定する第一のステップと、この第一のステップで得られた光強度分布を有する光スポットが、これと相対移動する前記像担持体へ継続的に照射された場合の累積光強度分布を算出する第二のステップと、この第二のステップにおいて積算した累積光強度分布と前記像担持体の感光特性とに基づいて、前記像担持体上に形成される静電潜像の電位分布を算出する第三のステップと、この第三のステップにおいて算出した静電潜像の電位分布に基づいて、前記発光素子の駆動条件を補正するための補正データを作成する第四のステップとを備えることを特徴とする露光装置の製造方法。 A method of manufacturing an exposure apparatus having a plurality of light emitting elements for exposing an image carrier, the first step of measuring the light intensity distribution of a light spot based on the individual emitted light of the light emitting elements, and the first step A second step of calculating a cumulative light intensity distribution when the light spot having the light intensity distribution obtained in the step is continuously irradiated onto the image carrier that moves relative to the spot; and the second step. A third step of calculating a potential distribution of an electrostatic latent image formed on the image carrier based on the accumulated light intensity distribution accumulated in step S3 and the photosensitive characteristics of the image carrier, and the third step. And a fourth step of generating correction data for correcting the driving condition of the light emitting element based on the potential distribution of the electrostatic latent image calculated in step (4). 前記補正データによって、前記発光素子の駆動電流、駆動電圧、駆動時間のいずれかを制御するようにしたことを特徴とする請求項１または請求項２記載の露光装置の製造方法。 3. The exposure apparatus manufacturing method according to claim 1, wherein any one of a driving current, a driving voltage, and a driving time of the light emitting element is controlled by the correction data. 前記露光装置は前記発光素子の出射光を結像するレンズアレイを有し、このレンズアレイによって結像された光スポットに基づいて前記光強度分布を計測するようにしたことを特徴とする請求項１または請求項２記載の露光装置の製造方法。 The exposure apparatus includes a lens array that forms an image of light emitted from the light emitting element, and measures the light intensity distribution based on a light spot imaged by the lens array. An exposure apparatus manufacturing method according to claim 1 or 2. 個々の発光素子に基づく光スポットを、カメラによって順次拡大撮像して、個々の発光素子毎の光強度分布を測定することを特徴とする請求項１または請求項２記載の露光装置の製造方法。 3. The method of manufacturing an exposure apparatus according to claim 1, wherein a light spot based on each light emitting element is sequentially enlarged and imaged by a camera, and a light intensity distribution for each light emitting element is measured. 前記第四のステップは、前記第三のステップにおいて算出した静電潜像の電位分布を所定の閾値電位で切った場合に算出される断面積に基づいて、前記断面積が略同じになるように前記発光素子の発光光量を補正するための補正データを作成することを特徴とする請求項２記載の露光装置の製造方法。 In the fourth step, the cross-sectional areas are substantially the same based on the cross-sectional area calculated when the potential distribution of the electrostatic latent image calculated in the third step is cut at a predetermined threshold potential. 3. The method of manufacturing an exposure apparatus according to claim 2, wherein correction data for correcting the light emission quantity of the light emitting element is created. 前記発光素子として有機エレクトロルミネッセンス素子を用いたことを特徴とする請求項１または請求項２記載の露光装置の製造方法。 3. The method of manufacturing an exposure apparatus according to claim 1, wherein an organic electroluminescence element is used as the light emitting element. 発光素子の出射光に基づく光スポットの光強度分布と、前記光スポットと被照射体の相対移動量とに基づいて、発光素子の駆動条件を補正する補正データを作成する工程を有することを特徴とする発光装置の製造方法。 And a step of creating correction data for correcting the driving conditions of the light emitting element based on the light intensity distribution of the light spot based on the light emitted from the light emitting element and the relative movement amount of the light spot and the irradiated object. A manufacturing method of a light emitting device

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