JP2007250674A - 基板及びこれを用いた半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】配線パターン111が形成されてなる第1の基板11と、第1の基板11の表面に搭載される半導体素子2と、表面から裏面に貫通する刳り貫き部121を有し、刳り貫き部121に半導体素子2を収容するように第1の基板11の表面に接合されてなる第2の基板12と、第1の基板11と刳り貫き部121とによって囲まれる空間(中空部)14を塞ぐように、第2の基板12の表面に設けられる保護フィルム13と、を有した半導体装置1。第1の基板11の裏面には配線パターンと同じ素材からなる補強パターンが、配線パターンと第1の基板11との間の接触面積を増大させるように配線パターンに連続して形成されている。
【選択図】図1A
Description
図2Aに第1の基板11の平面図を、図2Bに第1の基板11の裏面図をそれぞれ示している。なお、後述するように、第1の基板11の表面及び裏面には、ソルダーレジスト123,124が形成されるが、図2A及び図2Bには、第1の基板11にソルダーレジスト123を形成する前の状態を表している。
次に、以上に説明した半導体装置1の製造方法について詳述する。図4Aは、以下に説明する製造方法で使用する第1の集合基板41の平面図であり、図4Bは、以下に説明する製造方法で使用する第2の集合基板42の平面図である。図4Cは、第1の集合基板41の上に第2の集合基板42を位置決めして重ねた状態を示す平面図である。
半導体装置1が、保護フィルム13を剥がして使用されることが前提である場合には、使用時に保護フィルム13を剥がし易いことが好ましい。ここで保護フィルム13を剥がし易くする方法としては、保護フィルム13として、例えば、リフロー処理等の加熱工程が不要な場合には、熱を加えると剥離する性質を有するもの(熱剥離シート)を選択することが考えられる。また、例えば、図6A又は図6Bに示すように、保護フィルム13に、これを剥がすときの手がかりとなる切り欠き150を形成するようにしてもよい。
11 第1の基板 12 第2の基板
13 保護フィルム 14 中空部
15 ボンディングワイヤー 22 電極パッド
41 第1の集合基板 42 第2の集合基板
43 保護フィルムシート 44 ダイシングシート
50 カッティングテーブル 51 ダイシングブレード
110 基板
111 電極リード 112 電極リード
113 貫通電極 114 補強パターン
115 素子搭載領域 116 ランド
126 端子 117 引き出し線
118 メッシュパターン 119 位置マーク
120 ランド 121 刳り貫き部
122 接続パターン 123 ソルダーレジスト
124 ソルダーレジスト 131 第1のレジスト開口部
132 第2のレジスト開口部 133 第3のレジスト開口部
150 切り欠き 151 孔
Claims (11)
- 配線パターンが形成されてなる基板であって、
前記配線パターンと同じ素材からなる補強パターンが、前記配線パターンと当該基板との間の接触面積を増大させるように前記配線パターンに連続して形成されていること
を特徴とする基板。 - 請求項1に記載の基板であって、
前記配線パターンは線状であり、
前記補強パターンは、前記配線パターンの線幅を増大させるように前記配線パターンの長手方向の所定位置に形成されていること
を特徴とする基板。 - 請求項2に記載の基板であって、
前記補強パターンは、略半円状であること
を特徴とする基板。 - 請求項2に記載の基板であって、
前記補強パターンが、前記配線パターンの長手方向に対して一方の側にのみ形成されていること
を特徴とする基板。 - 請求項2に記載の基板であって、
前記補強パターンが、前記配線パターンの長手方向に対して双方の側に形成されていること
を特徴とする基板。 - 請求項2に記載の基板であって、
前記補強パターンが、前記配線パターンの長手方向に沿って複数の箇所に形成されていること
を特徴とする基板。 - 請求項2に記載の基板であって、
前記補強パターンが、前記配線パターンの長手方向の一端を延長するように形成されていること
を特徴とする基板。 - 請求項7に記載の基板であって、
前記補強パターンは、その一端が電極端子となる配線パターンの周囲から突出するように形成されていること
を特徴とする基板。 - 請求項2に記載の基板であって、
前記配線パターンの長手方向の少なくとも一端が当該基板の縁に達していること
を特徴とする基板。 - 配線パターンが形成されてなる基板と、
前記基板の表面に接合される半導体素子と、
前記基板の表面に、前記半導体素子の周囲を囲むように設けられる壁体と、
を有し、
前記配線パターンと同じ素材からなる補強パターンが、前記配線パターンと前記基板との間の接触面積を増大させるように前記配線パターンに連続して形成されていること
を特徴とする半導体装置。 - 請求項10に記載の半導体装置であって、
前記配線パターンは線状であり、
前記補強パターンは、前記配線パターンの線幅を増大させるように前記配線パターンの長手方向の所定位置に形成されていること
を特徴とする半導体装置。
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JP2006069796A JP2007250674A (ja) | 2006-03-14 | 2006-03-14 | 基板及びこれを用いた半導体装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0715116A (ja) * | 1993-06-28 | 1995-01-17 | Hitachi Ltd | プリント配線基板 |
JP2002164385A (ja) * | 2000-11-24 | 2002-06-07 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体装置を実装する実装基板および実装構造 |
JP2003224229A (ja) * | 2003-02-07 | 2003-08-08 | Hitachi Ltd | ボールグリッドアレイ型半導体装置 |
JP2006222239A (ja) * | 2005-02-10 | 2006-08-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
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2006
- 2006-03-14 JP JP2006069796A patent/JP2007250674A/ja active Pending
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