JP2007248229A - 排気浄化機能付き微粒子測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】微粒子測定の信頼性を低下させることなく、且つ排気が環境に悪影響を及ぼすのを抑制できる排気浄化機能付き微粒子測定装置の提供を課題とする。
【解決手段】空気中の微粒子40にアルコールが凝縮されて肥大化され、この肥大化された微粒子40が測定される凝縮核カウンター30と、この凝縮核カウンター30の排気が浄化される排気浄化手段13とを備えている。この排気浄化手段13は、凝縮核カウンター30の排気に含まれるアルコールが光触媒によって分解されて除去される光触媒式フィルター14、上記アルコールが吸着されて除去されるケミカルフィルター15、上記アルコールが溶融されて除去される水式フィルター17、及び上記排気に含まれる微粒子40が濾過されて除去される濾過フィルター16を有する。
【選択図】図1
【解決手段】空気中の微粒子40にアルコールが凝縮されて肥大化され、この肥大化された微粒子40が測定される凝縮核カウンター30と、この凝縮核カウンター30の排気が浄化される排気浄化手段13とを備えている。この排気浄化手段13は、凝縮核カウンター30の排気に含まれるアルコールが光触媒によって分解されて除去される光触媒式フィルター14、上記アルコールが吸着されて除去されるケミカルフィルター15、上記アルコールが溶融されて除去される水式フィルター17、及び上記排気に含まれる微粒子40が濾過されて除去される濾過フィルター16を有する。
【選択図】図1
Description
本発明は、排気浄化機能付き微粒子測定装置に係り、更に詳細には、半導体製造環境中などに浮遊する粒径が0.1μ未満の微粒子を測定するのに好適な排気浄化機能付き微粒子測定装置に関する。
現在、半導体の配線ルールは0.1μを下回り、0.065μをも下回ろうとしている。しかし、半導体工場で使用される微粒子測定器の主流は、0.1μ以上の微粒子を測定するレーザ式パーティクルカウンターであり、上記配線ルールを上回るため、半導体製造環境のモニタとしては、適用困難になっている。
一方、0.01μの微粒子を測定可能な凝縮核カウンター(CNC:Condensation Nucleus Counter)が知られている。
図12は、従来の凝縮核カウンター30を示す。この凝縮核カウンター30は、アルコール貯蔵部31、パーティクル(微粒子)凝縮部32、コンデンサー部(冷却用電子クーラ)33、レーザ光照射部34、真空吸引部35を有している。
上記パーティクル凝縮部32には、アルコール貯蔵部31内を通過する吸引パイプ36が接続されている。この吸引パイプ36の先端は外部の大気中に開口されている。また、吸引パイプ36のアルコール貯蔵部31内を通過する部分には、微粒子40が漏れない程度の適宜な大きさを有する孔が多数設けられている。
上記レーザ光照射部34の両側には、レーザダイオード37、フォトデテクタ38が配置されている。レーザダイオード37から発射されたレーザ光は、レーザ光照射部34を通過する空気中の微粒子40に照射される。
このレーザ光は、微粒子40で反射されてフォトデテクタ38に入射される。これにより、微粒子40が測定される。また、真空吸引部35には、外部に排気するための排気パイプ39が接続されている。
この凝縮核カウンター30では、吸引パイプ36の開口から微粒子40を含む空気が吸引される。吸引された空気が吸引パイプ36内を流れる際に、空気に含まれる微粒子40とアルコール貯蔵部31内のアルコール蒸気とが混合される。
アルコールと混合された微粒子40は、パーティクル凝縮部32で冷却される。これにより、微粒子40にアルコールが凝縮されて肥大化される。この肥大化された微粒子40を含む空気は、レーザ光照射部34に供給される。
レーザ光照射部34では、肥大化された微粒子40にレーザ光が照射される。このレーザ光は、微粒子40で反射されてフォトデテクタ38に入射される。これにより、微粒子40が測定される。
レーザ光照射部34を通過した空気中及びその中に含まれる微粒子40は、真空吸引部35、及び排気パイプ39を通過して外部に排気される。この微粒子40には、アルコールが凝縮されている。
特開2001−33377号公報
特開2004−37398号公報
しかしながら、従来の凝縮核カウンター30は、微粒子40にアルコールが凝縮したまま外部に排気されるので、環境に悪影響を与えるという問題があった。
また、アルコールに代えて水を微粒子に凝縮させて肥大化する凝縮核カウンターが提案されている。しかし、水はアルコールに比べて凝縮性が低い。このため、微粒子の測定の信頼性が低いという問題があった。
本発明は、このような問題に鑑みなされたもので、微粒子の測定の信頼性を低下させることなく、且つ排気が環境に悪影響を及ぼすのを抑制できる排気浄化機能付き微粒子測定装置の提供を課題とする。
本発明は、前記課題を解決するため、以下の手段を採用した。
(1)本発明は、
空気中の微粒子にアルコールが凝縮されて肥大化され、前記肥大化された微粒子にレーザ光が照射され、前記微粒子で反射された前記レーザ光が検出されることにより、前記微粒子が測定される凝縮核カウンターと、
前記凝縮核カウンターの排気が浄化される排気浄化手段とを備え、
前記排気浄化手段は、前記凝縮核カウンターの排気に含まれる前記アルコールが光触媒によって分解されて除去される光触媒式フィルターを有する。
空気中の微粒子にアルコールが凝縮されて肥大化され、前記肥大化された微粒子にレーザ光が照射され、前記微粒子で反射された前記レーザ光が検出されることにより、前記微粒子が測定される凝縮核カウンターと、
前記凝縮核カウンターの排気が浄化される排気浄化手段とを備え、
前記排気浄化手段は、前記凝縮核カウンターの排気に含まれる前記アルコールが光触媒によって分解されて除去される光触媒式フィルターを有する。
本発明では、凝縮核カウンターの排気に含まれるアルコールの凝縮によって肥大化された微粒子が光触媒式フィルターを通過する際に、微粒子に凝縮されたアルコールが光触媒によって二酸化炭素と水に分解される。これにより、上記排気からアルコールが除去されて脱臭される。従って、凝縮核カウンターの排気が環境に悪影響を及ぼすのを抑制できる。
(2)また、本発明は、
空気中の微粒子にアルコールが凝縮されて肥大化され、前記肥大化された微粒子にレーザ光が照射され、前記微粒子で反射された前記レーザ光が検出されることにより、前記微粒子が測定される凝縮核カウンターと、
前記凝縮核カウンターの排気を浄化する排気浄化手段とを備え、
前記排気浄化手段は、前記凝縮カウンターの排気が水に通されることにより、前記排気に含まれるアルコールが水に溶解されて除去される水式フィルターを有する。
空気中の微粒子にアルコールが凝縮されて肥大化され、前記肥大化された微粒子にレーザ光が照射され、前記微粒子で反射された前記レーザ光が検出されることにより、前記微粒子が測定される凝縮核カウンターと、
前記凝縮核カウンターの排気を浄化する排気浄化手段とを備え、
前記排気浄化手段は、前記凝縮カウンターの排気が水に通されることにより、前記排気に含まれるアルコールが水に溶解されて除去される水式フィルターを有する。
本発明では、凝縮核カウンターの排気が水式フィルターに通される。これにより、排気中に含まれるアルコールが水式フィルターで水に溶解されて除去され、脱臭される。従って、凝縮核カウンターの排気が環境に悪影響を及ぼすのを抑制できる。なお、水式フィルターには、水槽内に排気を通す方式と、水のシャワー内に排気を通す方式(水式スクラバーと呼ばれることもある)とがあり、本発明では、両方の方式を含む。
(3)また、本発明は、
空気中の微粒子にアルコールが凝縮されて肥大化され、前記肥大化された微粒子にレーザ光が照射され、前記微粒子で反射された前記レーザ光が検出されることにより、前記微粒子が測定される凝縮核カウンターと、
前記凝縮核カウンターの排気を浄化する排気浄化手段とを備え、
前記排気浄化手段は、前記凝縮核カウンターの排気に含まれる前記アルコールが吸着されて除去されるケミカルフィルターを有する。
空気中の微粒子にアルコールが凝縮されて肥大化され、前記肥大化された微粒子にレーザ光が照射され、前記微粒子で反射された前記レーザ光が検出されることにより、前記微粒子が測定される凝縮核カウンターと、
前記凝縮核カウンターの排気を浄化する排気浄化手段とを備え、
前記排気浄化手段は、前記凝縮核カウンターの排気に含まれる前記アルコールが吸着されて除去されるケミカルフィルターを有する。
本発明では、凝縮核カウンターの排気がケミカルフィルターに通されて、排気中のアルコールが、ケミカルフィルターに吸着されて除去され、脱臭される。従って、凝縮核カウンターの排気が環境に悪影響を及ぼすのを抑制できる。
(4)前記排気浄化手段は、前記凝縮カウンターの排気が水に通されことにより、前記排気に含まれるアルコールが水に溶解されて除去される水式フィルターを有するのが好ましい。
この構成によれば、凝縮核カウンターの排気に含まれるアルコールが、複数種類のフィルターで確実に除去される。
(5)前記排気浄化手段は、前記凝縮核カウンターの排気に含まれる前記アルコールが吸着されて除去されるケミカルフィルターを有するのが好ましい。
この構成によれば、凝縮核カウンターの排気中に含まれるアルコールが、複数種類のフィルターで除去される。
(6)前記排気浄化手段は、前記凝縮核カウンターの排気が水に通されることにより、前記排気に含まれるアルコールが水に溶解されて除去される水式フィルター、及び前記凝縮核カウンターの排気に含まれる前記アルコールが吸着されて除去されるケミカルフィルターを有するのが好ましい。
この構成により、凝縮核カウンターの排気に含まれるアルコールが複数種類のフィルターで除去される。従って、上記排気の浄化機能が向上する。
(7)前記排気浄化手段は、前記凝縮核カウンターの排気に含まれる前記微粒子が濾過されて除去される濾過フィルターを有するのが好ましい。この構成により、凝縮核カウンターの排気中に含まれる微粒子を除去できる。
(8)前記排気浄化手段は、前記凝縮カウンターの排気が水に通されることにより、前記排気に含まれるアルコールが水に溶解されて除去される水式フィルター、前記凝縮核カウンターの排気に含まれる前記アルコールが吸着されて除去されるケミカルフィルター、及び前記凝縮核カウンターの排気に含まれる前記微粒子が濾過されて除去される濾過フィルターを更に有し、
前記光触媒式フィルター、前記ケミカルフィルター、前記濾過フィルター、前記水式フィルターが、この順に前記凝縮カウンターの排気口に直列に接続されている構成にできる。
前記光触媒式フィルター、前記ケミカルフィルター、前記濾過フィルター、前記水式フィルターが、この順に前記凝縮カウンターの排気口に直列に接続されている構成にできる。
この構成により、凝縮核カウンターの排気に含まれるアルコールが複数種類のフィルターで除去される。また、上記排気に含まれる微粒子が濾過フィルターで除去される。従って、上記排気の浄化機能が更に向上する。
(9)前記水式フィルターの水には、石灰を含めることができる。光触媒式フィルターでは、アルコールが二酸化炭素と水に分解される。この光触媒式フィルターの後段に、石灰を含む水を使用する水式フィルターを配置することにより、上記二酸化炭素が石灰によって炭酸カルシウムに変化して除去される。
(10)また、本発明は、
凝縮核カウンターによって、空気中の微粒子にアルコールが凝縮されて肥大化され、前記肥大化された微粒子にレーザ光が照射され、前記微粒子で反射された前記レーザ光が検出されることにより、前記微粒子が測定された後、前記微粒子及び前記アルコールが排気され、
前記凝縮核カウンターの排気に含まれる前記アルコールが、光触媒式フィルター、水式フィルターまたはケミカルフィルターによって除去される。
凝縮核カウンターによって、空気中の微粒子にアルコールが凝縮されて肥大化され、前記肥大化された微粒子にレーザ光が照射され、前記微粒子で反射された前記レーザ光が検出されることにより、前記微粒子が測定された後、前記微粒子及び前記アルコールが排気され、
前記凝縮核カウンターの排気に含まれる前記アルコールが、光触媒式フィルター、水式フィルターまたはケミカルフィルターによって除去される。
本発明によれば、凝縮核カウンターの排気に含まれるアルコールが光触媒式フィルター、ケミカルフィルター、水式フィルターのうち、一種類以上のフィルターで除去されて脱臭される。これにより、凝縮核カウンターの排気が環境に悪影響を及ぼすのを抑制できる。
以下、本発明に係る排気浄化機能付き微粒子測定装置の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
《第1の実施の形態》
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る排気浄化機能付き微粒子測定装置1を示す。この排気浄化機能付き微粒子測定装置1は、空気中の微粒子40にブタンなどのアルコールが凝縮されて肥大化され、この肥大化された微粒子40にレーザ光が照射され、上記微粒子40で反射されたレーザ光が検出されることにより、微粒子40が測定される凝縮核カウンター30と、この凝縮核カウンター30の排気が浄化される排気浄化手段13とを備えている。
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る排気浄化機能付き微粒子測定装置1を示す。この排気浄化機能付き微粒子測定装置1は、空気中の微粒子40にブタンなどのアルコールが凝縮されて肥大化され、この肥大化された微粒子40にレーザ光が照射され、上記微粒子40で反射されたレーザ光が検出されることにより、微粒子40が測定される凝縮核カウンター30と、この凝縮核カウンター30の排気が浄化される排気浄化手段13とを備えている。
また、上記排気浄化手段13は、凝縮核カウンター30の排気中に含まれるアルコールが光触媒によって分解されることにより除去される光触媒式フィルター14、上記排気中に含まれるアルコールが吸着されることにより除去されるケミカルフィルター15、上記排気中に含まれる微粒子40が精密濾過されることにより除去される濾過フィルター16、排気中に含まれるアルコールが水に溶解されて除去される水式フィルター17とを備えている。なお、水式フィルター17には、水槽内の水に排気を通す方式と、水のシャワー内に排気を通す方式(水式スクラバーと呼ばれることもある)とがあり、本発明では両方式を含む。
上記光触媒式フィルター14は、凝縮核カウンター30の排気パイプ39における排気口39aに接続されている。また、上記凝縮核カウンター30、ケミカルフィルター15、濾過フィルター16及び水式フィルター17は、この順に直列に接続されている。
次に、上記各構成要素について説明する。なお、上記凝縮核カウンター30は、上記従来例(図12)で説明したのと同様の構成を有しているので、その詳細な説明を省略する。
上記排気浄化手段13の光触媒式フィルター14には、紫外線ランプ18が併設されている。この光触媒式フィルター14には、二酸化チタン(TiO2)などの光触媒が添着されたフィルターが設けられている。
上記光触媒は、光(紫外線)が当てられることによりOHラジカルが発生される。このOHラジカルは、強力な酸化力を有している。
そして、凝縮核カウンター30の排気が、光触媒式フィルター14に通過される際に、上記OHラジカルによって排気11中の微粒子40に凝縮されたアルコールの電子が奪われて、アルコールが二酸化炭素と水に分解される。
これにより、凝縮核カウンター30の排気中に含まれるアルコールが除去され、脱臭される。なお、上記光触媒式フィルター14は、一般的に使用されている光触媒式フィルターを使用できる。
上記ケミカルフィルター15では、光触媒式フィルター14の排気中に含まれる微粒子40に凝縮されたアルコールが、内部のフィルターに吸着されて除去される。
このケミカルフィルター15としては、粒状活性炭、繊維活性炭などが用いられたフィルターを例示できる。
上記濾過フィルター16では、上記ケミカルフィルター15の排気中に含まれる微粒子40が精密濾過されて除去される。この濾過フィルター16としては、平膜(プリーツ形状を含む)型フィルター、小型精密フィルターなどを例示できる。
上記水式フィルター17は、貯水槽17aを有している。上記濾過フィルター16の排気は、貯水槽17a内の水に通されて、排気口17bから排気される。
濾過フィルター16の排気に含まれているアルコールは、上記水式フィルター17を通過する際に、水に溶融されて除去される。この水式フィルター17は、一般的に使用されているものを使用できる。
このように、本発明の排気浄化機能を有する微粒子測定装置1は、凝縮核カウンター30の排気に含まれるアルコールが、排気浄化手段13の光触媒式フィルター14、ケミカルフィルター15及び水式フィルター17によって除去される。これにより、凝縮核カウンター30の排気が脱臭される。また、上記排気中の微粒子40が、濾過フィルター16によって濾過されて除去される。
従って、凝縮核カウンター30の排気が環境に悪影響を及ぼすのを抑制できる。また、凝縮核カウンター30を使用しているので、微粒子40を正確に測定でき、測定の信頼性を維持できる。この排気浄化機能付き微粒子測定装置1は、クリーンルームなどに好適に使用できる。
なお、本実施形態では、濾過フィルター16の後段に水式フィルター17が設けられた場合について説明したが、上記のように、水式フィルター17には水槽内の水に排気を通す方式と、水のシャワー内に排気を通す方式とがある。本発明では、上記両方式の水式フィルターを使用できる。
また、水式フィルター17の水には、石灰を含めることができる。この石灰を用いた水式フィルター17は、光触媒式フィルター18と併用し、光触媒式フィルター18の後段に配置するのが好ましい。
光触媒式フィルター18では、アルコールが二酸化炭素と水に分解される。ここで生成された二酸化炭素は、水式フィルター17の水に含まれる石灰によって炭酸カルシウムに変化して除去される。従って、排気の浄化効率が高くなる。
《第2の実施の形態》
図2は、本発明に係る第2の実施の形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置2を示す。なお、以下の説明では、上記と同様の部分には同一の符号を付けて、その詳細な説明を省略する。
図2は、本発明に係る第2の実施の形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置2を示す。なお、以下の説明では、上記と同様の部分には同一の符号を付けて、その詳細な説明を省略する。
この排気浄化機能付き微粒子測定装置2は、その排気浄化手段13が、光触媒式フィルター14、濾過フィルター16、水式フィルター17を有している。光触媒式フィルター14、濾過フィルター16、水式フィルター17は、この順に凝縮核カウンター30の排気口39aに直列に接続されている。
この排気浄化機能付き微粒子測定装置2は、凝縮核カウンター30の排気中に含まれる微粒子40に凝縮されたアルコールが、光触媒式フィルター14及び水式フィルター17によって除去される。これにより、凝縮核カウンター30の排気が脱臭される。
また、微粒子40は、濾過フィルター16によって濾過されて除去される。従って、凝縮核カウンター30の排気が環境に悪影響を及ぼすのを抑制できる。
《第3の実施の形態》
図3は、本発明に係る第3の実施の形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置3を示す。
図3は、本発明に係る第3の実施の形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置3を示す。
この排気浄化機能付き微粒子測定装置3は、その排気浄化手段13が、光触媒式フィルター14、ケミカルフィルター15、濾過フィルター16を有している。光触媒式フィルター14,ケミカルフィルター15及び濾過フィルター16は、この順に凝縮核カウンター30の排気口39aに直列に接続されている。
この排気浄化機能付き微粒子測定装置3は、凝縮核カウンター30の排気中に含まれるアルコールが、光触媒式フィルター14及びケミカルフィルター15によって除去される。これにより、凝縮核カウンター30の排気が脱臭される。また、排気中の微粒子40が濾過フィルター16によって濾過されて除去される。
《第4の実施の形態》
図4は、本発明に係る第4の実施の形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置4を示す。
図4は、本発明に係る第4の実施の形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置4を示す。
この排気浄化機能付き微粒子測定装置4は、その排気浄化手段13が、光触媒式フィルター14、ケミカルフィルター15、水式フィルター17を有している。光触媒式フィルター14,ケミカルフィルター15,水式フィルター17は、この順に凝縮核カウンター30の排気口39aに直列に接続されている。
この排気浄化機能付き微粒子測定装置4は、凝縮核カウンター30の排気中に含まれるアルコールが、光触媒式フィルター14、ケミカルフィルター15及び水式フィルター17によって除去される。これにより、凝縮核カウンター30の排気が脱臭される。
《第5の実施の形態》
図5は、本発明に係る第5の実施の形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置5を示す。
図5は、本発明に係る第5の実施の形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置5を示す。
この排気浄化機能付き微粒子測定装置5は、その排気浄化手段13が、光触媒式フィルター14,水式フィルター17を有している。光触媒式フィルター14,水式フィルター
17は、この順に凝縮核カウンター30の排気口39aに直列に接続されている。
17は、この順に凝縮核カウンター30の排気口39aに直列に接続されている。
この排気浄化機能付き微粒子測定装置5は、凝縮核カウンター30の排気中に含まれる微粒子40に凝縮されたアルコールが、光触媒式フィルター14及び水式フィルター17によって除去される。これにより、凝縮核カウンター30の排気が脱臭される。従って、凝縮核カウンター30の排気が環境に悪影響を及ぼすのを抑制できる。
《第6の実施の形態》
図6は、本発明に係る第6の実施形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置6を示す。
図6は、本発明に係る第6の実施形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置6を示す。
この排気浄化機能付き微粒子測定装置6は、その排気浄化手段13が、光触媒式フィルター14,ケミカルフィルター15を有している。光触媒式フィルター14,ケミカルフィルター15は、この順に凝縮核カウンター30の排気口39aに直列に接続されている。
この排気浄化機能付き微粒子測定装置6は、凝縮核カウンター30の排気中に含まれる微粒子40に凝縮されたアルコールが、光触媒式フィルター14及びケミカルフィルター15で除去される。これにより、凝縮核カウンター30の排気が脱臭される。なお、ケミカルフィルター15の後段に濾過フィルター16を配置できる。
《第7の実施の形態》
図7は、本発明に係る第7の実施の形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置7を示す。
図7は、本発明に係る第7の実施の形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置7を示す。
この排気浄化機能付き微粒子測定装置7は、その排気浄化手段13が、光触媒式フィルター14を有している。
この排気浄化機能付き微粒子測定装置7は、凝縮核カウンター30の排気中に含まれる微粒子40に凝縮されたアルコールが、光触媒式フィルター14によって除去される。これにより、凝縮核カウンター30の排気が脱臭される。なお、光触媒フィルター14の後段に濾過フィルター16を配置できる。
《第8の実施の形態》
図8は、本発明に係る第8の実施の形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置8を示す。
図8は、本発明に係る第8の実施の形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置8を示す。
この排気浄化機能付き微粒子測定装置8は、その排気浄化手段13が、ケミカルフィルター15、濾過フィルター16、水式フィルター17を有している。これらのケミカルフィルター15、濾過フィルター16、水式フィルター17は、この順に凝縮核カウンター30の排気口39aに直列に接続されている。
この排気浄化機能付き微粒子測定装置8は、凝縮核カウンター30の排気に含まれるアルコールが、ケミカルフィルター15及び水式フィルター17で除去される。また、凝縮核カウンター30の排気に含まれる微粒子40が、濾過フィルター16で除去される。これにより、凝縮核カウンター30の排気が浄化される。
《第9の実施の形態》
図9は、本発明に係る第9の実施の形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置9を示す。
図9は、本発明に係る第9の実施の形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置9を示す。
この排気浄化機能付き微粒子測定装置9は、その排気浄化手段13が、ケミカルフィルター15、水式フィルター17を有している。これらのケミカルフィルター15、水式フィルター17は、この順に凝縮核カウンター30の排気口39aに直列に接続されている。
この排気浄化機能付き微粒子測定装置9は、凝縮核カウンター30の排気に含まれる微粒子40に凝縮されたアルコールが、ケミカルフィルター15及び水式フィルター17で除去される。これにより、凝縮核カウンター30の排気が脱臭される。
《第10の実施の形態》
図10は、本発明に係る第10の実施の形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置10を示す。
図10は、本発明に係る第10の実施の形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置10を示す。
この排気浄化機能付き微粒子測定装置10は、その排気浄化手段13が、ケミカルフィルター15を有している。このケミカルフィルター15は、凝縮核カウンター30の排気口39aに直接接続されている。
この排気浄化機能付き微粒子測定装置10は、凝縮核カウンター30の排気に含まれる微粒子40に凝縮されたアルコールが、ケミカルフィルター15で除去される。これにより、凝縮核カウンター30の排気が脱臭される。なお、ケミカルフィルター15の後段に濾過フィルター16を配置できる。
《第11の実施の形態》
図11は、本発明に係る第11の実施の形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置11を示す。
図11は、本発明に係る第11の実施の形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置11を示す。
この排気浄化機能付き微粒子測定装置11は、その排気浄化手段13が、水式フィルター17を有している。この水式フィルター17は、凝縮核カウンター30の排気口39aに直接接続されている。
この排気浄化機能付き微粒子測定装置11は、凝縮核カウンター30の排気に含まれる微粒子40に凝縮されたアルコールが、水式フィルター17で除去される。これにより、凝縮核カウンター30の排気が脱臭される。なお、水式フィルター17の前段に濾過フィルター16を配置できる。また、上記第1〜11の実施の形態の各構成要素は、可能な限り自由に組み合わせることができる。
1〜11 排気浄化機能付き微粒子測定装置
13 排気浄化手段
14 光触媒式フィルター
15 ケミカルフィルター
16 濾過フィルター
17 水式フィルター
17a 貯水槽
17b 排気口
18 紫外線ランプ
30 凝縮核カウンター
31 アルコール貯蔵部
32 パーティクル凝縮部
34 レーザ光照射部
35 真空吸引部
36 吸引パイプ
37 レーザーダイオード
38 フォトデテクタ
39 排気パイプ
39a 排気口
40 微粒子
13 排気浄化手段
14 光触媒式フィルター
15 ケミカルフィルター
16 濾過フィルター
17 水式フィルター
17a 貯水槽
17b 排気口
18 紫外線ランプ
30 凝縮核カウンター
31 アルコール貯蔵部
32 パーティクル凝縮部
34 レーザ光照射部
35 真空吸引部
36 吸引パイプ
37 レーザーダイオード
38 フォトデテクタ
39 排気パイプ
39a 排気口
40 微粒子
Claims (10)
- 空気中の微粒子にアルコールが凝縮されて肥大化され、前記肥大化された微粒子にレーザ光が照射され、前記微粒子で反射された前記レーザ光が検出されることにより、前記微粒子が測定される凝縮核カウンターと、
前記凝縮核カウンターの排気が浄化される排気浄化手段とを備え、
前記排気浄化手段は、前記凝縮核カウンターの排気に含まれる前記アルコールが光触媒によって分解されて除去される光触媒式フィルターを有する排気浄化機能付き微粒子測定装置。 - 空気中の微粒子にアルコールが凝縮されて肥大化され、前記肥大化された微粒子にレーザ光が照射され、前記微粒子で反射された前記レーザ光が検出されることにより、前記微粒子が測定される凝縮核カウンターと、
前記凝縮核カウンターから排出された排気を浄化する排気浄化手段とを備え、
前記排気浄化手段は、前記凝縮カウンターの排気が水に通されることにより、前記排気に含まれるアルコールが水に溶解されて除去される水式フィルター有する排気浄化機能付き微粒子測定装置。 - 空気中の微粒子にアルコールが凝縮されて肥大化され、前記肥大化された微粒子にレーザ光が照射され、前記微粒子で反射された前記レーザ光が検出されることにより、前記微粒子が測定される凝縮核カウンターと、
前記凝縮核カウンターの排気を浄化する排気浄化手段とを備え、
前記排気浄化手段は、前記凝縮核カウンターの排気に含まれる前記アルコールが吸着されて除去されるケミカルフィルターを有する排気浄化機能付き微粒子測定装置。 - 前記排気浄化手段は、前記凝縮カウンターの排気が水に通されることにより、前記排気に含まれるアルコールが水に溶解されて除去される水式フィルターを更に有する請求項1または3に記載の排気浄化機能付き微粒子測定装置。
- 前記排気浄化手段は、前記凝縮核カウンターの排気に含まれる前記アルコールが吸着されて除去されるケミカルフィルターを更に有する請求項1に記載の排気浄化機能付き微粒子測定装置。
- 前記排気浄化手段は、前記凝縮カウンターの排気が水に通されることにより、前記排気に含まれるアルコールが水に溶解されて除去される水式フィルター、及び前記凝縮核カウンターの排気に含まれる前記アルコールが吸着されて除去されるケミカルフィルターを更に有する請求項1に記載の排気浄化機能付き微粒子測定装置。
- 前記排気浄化手段は、前記凝縮核カウンターの排気に含まれる前記微粒子が濾過されて除去される濾過フィルターを更に有する請求項1から6の何れかに記載の排気浄化機能付き微粒子測定装置。
- 前記排気浄化手段は、前記凝縮カウンターの排気が水に通されることにより、前記排気に含まれるアルコールが水に溶解されて除去される水式フィルター、前記凝縮核カウンターの排気に含まれる前記アルコールが吸着されて除去されるケミカルフィルター、及び前記凝縮核カウンターの排気に含まれる前記微粒子が濾過されて除去される濾過フィルターを有し、
前記光触媒式フィルター、前記ケミカルフィルター、前記濾過フィルター、前記水式フィルターが、この順に前記凝縮カウンターの排気口に直列に接続されている請求項1に記載の排気浄化機能付き微粒子測定装置。 - 前記水式フィルターの水には、石灰が含まれる請求項4、6または8の何れかに記載の排気浄化機能付き微粒子測定装置。
- 凝縮核カウンターによって、空気中の微粒子にアルコールが凝縮されて肥大化され、前記肥大化された微粒子にレーザ光が照射され、前記微粒子で反射された前記レーザ光が検出されることにより、前記微粒子が測定され、
前記凝縮核カウンターの排気に含まれる前記アルコールが、光触媒式フィルター、水式フィルターまたはケミカルフィルターによって除去される微粒子測定方法。
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