JP2007247762A - Static pressure gas bearing spindle - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は静圧気体軸受スピンドルに関し、特に、回転部と、回転部を支持する固定部とを備え、回転部と固定部との間には、固定部に対して回転部を非接触に軸支する静圧気体軸受が形成された、静圧気体軸受スピンドルに関する。 The present invention relates to a hydrostatic gas bearing spindle, and in particular, includes a rotating part and a fixing part that supports the rotating part, and the rotating part is not contacted with the fixing part between the rotating part and the fixing part. The present invention relates to a static pressure gas bearing spindle in which a supporting static pressure gas bearing is formed.
回転部と、固定部において回転部に対向する部材との間の、微小なすき間に圧縮空気などの気体が供給されることにより、回転部が固定部に対して支持される静圧気体軸受を備えた静圧気体軸受スピンドルにおいては、回転部が固定部に対して非接触の状態で支持される。そのため、軸受における摩擦損失が小さく、回転部が高速で回転した場合の発熱も少ない。また、回転部と、回転部に対向する部材とが直接接触しないため、精度の高い滑らかな回転運動が可能であり、また、正常な運転状態である限り、材料の疲労や摩耗が生じない。このような特徴を生かして、静圧気体軸受スピンドルは高精度スピンドルや高速スピンドルとして広く使用されている。 A hydrostatic gas bearing in which a rotating part is supported with respect to a fixed part by supplying a gas such as compressed air between the rotating part and a member facing the rotating part in the fixed part. In the provided hydrostatic gas bearing spindle, the rotating part is supported in a non-contact state with respect to the fixed part. Therefore, the friction loss in the bearing is small, and the heat generated when the rotating part rotates at high speed is also small. In addition, since the rotating part and the member facing the rotating part are not in direct contact with each other, a highly accurate and smooth rotational movement is possible, and material fatigue and wear do not occur as long as the operating state is normal. Taking advantage of such characteristics, the hydrostatic gas bearing spindle is widely used as a high-precision spindle or a high-speed spindle.
精密加工装置、精密検査装置などに用いられる静圧気体軸受スピンドルにおいては、被加工物、被検査物または工具などの対象物を回転部に固定する、対象物固定手段が備えられる場合がある。対象物固定手段は、たとえば、回転部の端部に開口を有する通気路が形成され、通気路内で気体を流通させ気体圧力を変化させることにより、被加工物などの対象物を回転部に固定する。 In a static pressure gas bearing spindle used for a precision machining apparatus, a precision inspection apparatus, or the like, an object fixing means for fixing an object such as a workpiece, an inspection object, or a tool to a rotating part may be provided. The object fixing means includes, for example, an air passage having an opening at the end of the rotating portion, and by passing a gas through the air passage and changing the gas pressure, the object such as a workpiece is turned into the rotating portion. Fix it.
図6は、対象物固定手段を備えた静圧気体軸受スピンドルの構成を示す概略断面図である。図6において、この静圧気体軸受スピンドル101は、回転部102を備える。回転部102は、円柱形状の軸部103と、軸部103の端面に接合され軸部103よりも直径が大きい円盤形状のスラスト板104と、円柱形状の軸部103の中心線に平行な軸方向においてスラスト板104と間隔を隔てて形成されスラスト板104に対向して配置される他のスラスト板105とを含む。回転部102は、軸受スリーブ106と軸受スリーブ107と通気用スリーブ108とによって、軸部103の外周面が取り囲まれている。軸受スリーブ106と軸受スリーブ107と通気用スリーブ108との、軸方向に垂直な断面における断面形状は円環形状となる。通気用スリーブ108は、軸受スリーブ106と軸受スリーブ107との間に配置されている。さらに、軸受スリーブ106と軸受スリーブ107と通気用スリーブ108と他のスラスト板105とは、ハウジング109によって取り囲まれている。軸受スリーブ106と軸受スリーブ107と通気用スリーブ108とハウジング109とは、固定部を構成する。
FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing a configuration of a static pressure gas bearing spindle provided with an object fixing means. In FIG. 6, the static pressure
円柱形状の軸部103の外周面に対向して、円環形状の軸受スリーブ106および軸受スリーブ107の内径側に、静圧気体ジャーナル軸受110が設けられており、微細なジャーナル軸受すき間を介して、回転部102を半径方向に軸支する。軸受スリーブ106の端面および軸受スリーブ107の端面には、それぞれスラスト板104、他のスラスト板105に対向して、静圧気体スラスト軸受111が設けられ、微細なスラスト軸受すき間を介して、回転部102を軸方向に軸支する。図示しないエアコンプレッサなどの支持用気体供給源から、ハウジング109の外壁に設けられる支持用気体供給口112へ、圧縮空気などの支持用気体が供給される。支持用気体は、支持用気体供給口112が連結する支持用気体供給路113とジャーナル軸受給気絞り114とを介してジャーナル軸受すき間に供給される。また支持用気体は、支持用気体供給路113とスラスト軸受給気絞り115とを介してスラスト軸受すき間に供給される。これにより、回転部102と固定部との間のすき間において、供給された支持用気体の圧力によって、回転部102は固定部に対して非接触の状態で回転自在に軸支されている。
A hydrostatic gas journal bearing 110 is provided on the inner diameter side of the ring-shaped bearing sleeve 106 and the
ジャーナル軸受すき間およびスラスト軸受すき間から流出する気体は、排気通路116と排気通路117とを介して、静圧気体軸受スピンドル101の外部に排出される。
The gas flowing out from the journal bearing gap and the thrust bearing gap is discharged to the outside of the static pressure
ハウジング109は、外壁に設けられる通気口118を含む。通気口118は、通気用スリーブ108とハウジング109とに形成される固定側通気路119と、軸部103とスラスト板104とに形成される回転側通気路120とを介して、スラスト板104の端面に形成される開口121へ連通している。
The
上記の構成から成る静圧気体軸受スピンドルを用いて、従来、真空チャック機構を備えた静圧気体軸受スピンドルが開示されている(たとえば特許文献1参照)。静圧気体軸受スピンドル101において、通気口118を外部に設けた図示しない真空ポンプなどの負圧源に連結し、負圧源を動作させると、通気口118と固定側通気路119と回転側通気路120とを介して開口121は減圧される。このとき、開口121に対象物を接触させることにより、対象物はスラスト板104の表面に吸着、固定される。このようにして、静圧気体軸受スピンドル101の真空チャック機構は機能する。
Conventionally, a static pressure gas bearing spindle having a vacuum chuck mechanism has been disclosed using the static pressure gas bearing spindle having the above-described configuration (see, for example, Patent Document 1). In the static pressure
また、上記の構成から成る静圧気体軸受スピンドルを用いて、従来、流体の圧力を利用した芯出し保持装置が開示されている(たとえば特許文献2参照)。上記の構成から成る静圧気体軸受スピンドル101において、通気口118を外部に設けた図示しないコンプレッサなどの正圧源に連結し、正圧源を動作させると、通気口118と固定側通気路119と回転側通気路120とを介して開口121は加圧される。このとき、開口121に芯出し保持装置を連結することによって、加圧によりピストンが移動し、ピストンに設けたテーパ部を介して複数のクランプピンを半径方向に押し出して、クランプピンを孔あきディスクの内径面に接触させてディスクの芯出しおよび保持を行なう。このようにして、静圧気体軸受スピンドル101の芯出し保持装置は機能する。
静圧気体軸受スピンドルを、回転部を水平にした状態で設置する場合、装置を小型化しようとすると、回転部の軸方向の長さを短縮する必要がある。 When the static pressure gas bearing spindle is installed in a state where the rotating part is leveled, it is necessary to shorten the axial length of the rotating part in order to reduce the size of the apparatus.
従来の静圧気体軸受スピンドルのように、通気用スリーブを複数の軸受スリーブの間に配置する構造では、回転部の軸方向の長さを短縮すると、軸受スリーブの軸方向の長さが短縮されることにより、静圧気体ジャーナル軸受の軸方向の長さが小さくなり剛性が低下する。このため回転部の回転精度が低下する。あるいは、通気用スリーブの軸方向の長さが短縮されることにより、通気用スリーブの内径側表面とそれに対向する軸部外周面との間のシールすき間の軸方向の長さが小さくなる。このためシールすき間からの流体の漏れ流量が増加し、対象物固定手段において十分な負圧または正圧が得られなくなり、対象物を正確な位置に保持するのは困難となる。 In a structure in which a ventilation sleeve is arranged between a plurality of bearing sleeves as in a conventional static pressure gas bearing spindle, when the axial length of the rotating portion is shortened, the axial length of the bearing sleeve is shortened. As a result, the axial length of the hydrostatic gas journal bearing is reduced and the rigidity is lowered. For this reason, the rotation accuracy of the rotating part is lowered. Alternatively, the axial length of the ventilation sleeve is shortened, so that the axial length of the seal gap between the inner diameter side surface of the ventilation sleeve and the outer peripheral surface of the shaft portion opposed thereto is reduced. For this reason, the flow rate of fluid leakage from the seal gap increases, and sufficient negative pressure or positive pressure cannot be obtained in the object fixing means, making it difficult to hold the object in an accurate position.
それゆえに、この発明の主たる目的は、回転部の回転精度と対象物固定手段の性能とのいずれも低下させることなく回転部の軸方向の長さを短縮できる、静圧気体軸受スピンドルを提供することである。 Therefore, a main object of the present invention is to provide a hydrostatic gas bearing spindle capable of shortening the axial length of the rotating part without reducing both the rotational accuracy of the rotating part and the performance of the object fixing means. That is.
この発明に係る静圧気体軸受スピンドルは、気体圧力によって動作する対象物固定手段を備える静圧気体軸受スピンドルであって、回転部と固定部とを備える。回転部は、回転中心軸に平行な円筒形状のジャーナル軸受面と、回転中心軸に垂直な、円環形状のスラスト軸受面とを含む。固定部は、回転部を支持する。そして固定部は、回転部のジャーナル軸受面に対して半径方向に対向し、回転部を少なくとも半径方向に支持する静圧気体ジャーナル軸受を有する。また固定部は、回転部のスラスト軸受面に対して軸方向に対向し、回転部を少なくとも軸方向に支持する静圧気体スラスト軸受を有する。また、回転部におけるスラスト軸受面が含まれる平面上と、固定部におけるスラスト軸受面と対向する表面が含まれる平面上との、少なくともいずれか一方に、回転中心軸と同心円上に円環形状の通気溝を設ける。また固定部は、固定部の外壁に設ける通気口と、通気口と通気溝とを連通する固定側通気路とを有する。また回転部は、通気溝と対象物固定手段とを連通する回転側通気路を有する。そして、固定側通気路と回転側通気路とを介して、通気口から対象物固定手段の間で、対象物固定手段において気体圧力を変化させるための気体を流通させる。 A hydrostatic gas bearing spindle according to the present invention is a hydrostatic gas bearing spindle including an object fixing means that operates by gas pressure, and includes a rotating part and a fixing part. The rotating part includes a cylindrical journal bearing surface parallel to the rotation center axis and an annular thrust bearing surface perpendicular to the rotation center axis. The fixed part supports the rotating part. The fixed portion has a hydrostatic gas journal bearing that faces the journal bearing surface of the rotating portion in the radial direction and supports the rotating portion at least in the radial direction. Further, the fixed portion has a static pressure gas thrust bearing that faces the thrust bearing surface of the rotating portion in the axial direction and supports the rotating portion at least in the axial direction. In addition, at least one of the plane including the thrust bearing surface in the rotating portion and the plane including the surface facing the thrust bearing surface in the fixed portion has an annular shape concentrically with the rotation center axis. Provide a ventilation groove. The fixing part has a vent provided in the outer wall of the fixing part, and a fixed-side air passage that communicates the vent and the ventilation groove. The rotating part has a rotation-side air passage that communicates the air groove and the object fixing means. And the gas for changing a gas pressure in a target object fixing means is distribute | circulated between a target and an object fixing means through a fixed side ventilation path and a rotation side ventilation path.
この場合は、回転部におけるスラスト軸受面が含まれる平面上と、固定部におけるスラスト軸受面と対向する表面が含まれる平面上との、少なくともいずれか一方に、回転中心軸と同心円上に円環形状の通気溝を設ける。そして、固定側通気路と通気溝と回転側通気路とを介して、通気口と対象物固定手段とを連通させる。よって、対象物固定手段において気体圧力を変化させるための気体を流通させるために、従来のような通気用スリーブを設ける必要がない。したがって、軸受スリーブの軸方向の長さ、すなわち静圧気体ジャーナル軸受の軸方向の長さを短縮することなく、従来の静圧気体軸受スピンドルに対し、通気用スリーブの軸方向の長さ分、回転部の軸方向の長さを短縮することができる。 In this case, at least one of the plane including the thrust bearing surface in the rotating portion and the plane including the surface opposed to the thrust bearing surface in the fixed portion has an annular shape concentrically with the rotation center axis. A vent groove with a shape is provided. Then, the vent and the object fixing means are communicated with each other through the fixed side air passage, the air groove, and the rotation side air passage. Therefore, it is not necessary to provide a conventional ventilation sleeve in order to circulate the gas for changing the gas pressure in the object fixing means. Therefore, without reducing the axial length of the bearing sleeve, i.e., the axial length of the hydrostatic gas journal bearing, the axial length of the ventilation sleeve relative to the conventional hydrostatic gas bearing spindle, The axial length of the rotating part can be shortened.
また、固定側通気路と回転側通気路とは、回転中心軸と同心円上に設けられる円環形状の通気溝を介して連通するので、回転部の回転中も固定側通気路と回転側通気路とは常に連通している。したがって、回転部の回転中も常に、対象物固定手段を安定して機能させることができる。また、固定側通気路の端部と回転側通気路の端部とを正確に対向する位置に配置しなくとも、通気溝の幅の範囲内であれば、固定側通気路と回転側通気路とを連通することができる。したがって、固定側通気路と回転側通気路との加工精度が、対象物固定手段の性能に与える影響を小さくすることができる。 In addition, since the fixed-side air passage and the rotation-side air passage communicate with each other via an annular vent groove provided concentrically with the rotation center axis, the fixed-side air passage and the rotation-side air passage are also rotated during rotation of the rotating portion. There is always communication with the road. Therefore, the object fixing means can always function stably while the rotating portion is rotating. Further, even if the end of the fixed-side air passage and the end of the rotating-side air passage are not arranged at exactly opposite positions, the fixed-side air passage and the rotating-side air passage are within the width of the air groove. Can communicate with each other. Therefore, the influence of the processing accuracy of the fixed-side air passage and the rotation-side air passage on the performance of the object fixing means can be reduced.
好ましくは、固定部は、静圧気体スラスト軸受と、静圧気体スラスト軸受と軸方向に間隔を隔てて形成される他の静圧気体スラスト軸受とを有する。また回転部は、静圧気体スラスト軸受と他の静圧気体スラスト軸受とにおいて発生する、互いに逆向きの力によって軸方向に支持される。そして、回転部における他の静圧気体スラスト軸受と対向する回転中心軸に垂直な円環形状の他のスラスト軸受面が含まれる平面上と、固定部における他のスラスト軸受面と対向する表面が含まれる平面上との、少なくともいずれか一方に、回転中心軸と同心円上に、円環形状の他の通気溝を設ける。そして、通気溝と他の通気溝とを連通する、通気溝連通路を有する。 Preferably, the fixed portion includes a static pressure gas thrust bearing and another static pressure gas thrust bearing formed at a distance from the static pressure gas thrust bearing in the axial direction. The rotating portion is supported in the axial direction by forces opposite to each other generated in the hydrostatic gas thrust bearing and other hydrostatic gas thrust bearings. And on the plane including the other thrust bearing surface of the annular shape perpendicular to the rotation center axis facing the other static pressure gas thrust bearing in the rotating portion, and the surface facing the other thrust bearing surface in the fixed portion Another vent groove having an annular shape is provided on a concentric circle with the rotation center axis on at least one of the planes included. And it has a ventilation groove communicating path which connects a ventilation groove and another ventilation groove.
この場合は、対象物固定手段を機能させるために正圧または負圧を供給したときに、回転部が軸方向に変位することを防止することができる。 In this case, it is possible to prevent the rotating part from being displaced in the axial direction when a positive pressure or a negative pressure is supplied to make the object fixing means function.
すなわち、複数の静圧気体スラスト軸受によって支持される回転部においては、軸受反力の釣合によって回転部は軸方向に支持される。このような静圧気体軸受スピンドルの構成において、回転部におけるスラスト軸受面が含まれる平面上または固定部におけるスラスト軸受面と対向する表面が含まれる平面上のみに通気溝を設けると、真空チャック機構を機能させるための負圧または芯出し保持装置を機能させるための正圧を供給して通気溝の圧力が変化するとき、回転部に作用する軸方向の力が発生するため、回転部は軸方向に変位して、新たな釣合位置へ移動する場合がある。ここで、軸受反力とは、外部からスラスト軸受すき間に供給される圧縮空気などの支持用気体が、回転部に含まれるスラスト軸受面を押す力の反作用として、軸方向に発生する力を指す。 That is, in the rotating part supported by a plurality of static pressure gas thrust bearings, the rotating part is supported in the axial direction by the balance of the bearing reaction force. In such a configuration of the hydrostatic gas bearing spindle, if the ventilation groove is provided only on the plane including the thrust bearing surface in the rotating portion or the plane including the surface facing the thrust bearing surface in the fixed portion, the vacuum chuck mechanism When the negative pressure for functioning or the positive pressure for functioning the centering holding device is supplied and the pressure in the ventilation groove changes, axial force acting on the rotating part is generated. There is a case where it is displaced in the direction and moved to a new balance position. Here, the bearing reaction force refers to a force generated in the axial direction as a reaction of a force by which a supporting gas such as compressed air supplied from the outside to the thrust bearing gap pushes the thrust bearing surface included in the rotating portion. .
これに対し、回転部におけるスラスト軸受面が含まれる平面上と、固定部におけるスラスト軸受面と対向する表面が含まれる平面上との、少なくともいずれか一方に、回転中心軸と同心円上に、円環形状の通気溝を設ける。かつ、回転部における他のスラスト軸受面が含まれる平面上と、固定部における他のスラスト軸受面と対向する表面が含まれる平面上との、少なくともいずれか一方に、回転中心軸と同心円上に、円環形状の他の通気溝を設ける。ここで他のスラスト軸受面とは、固定部が有する他の静圧気体スラスト軸受と対向する、回転中心軸に垂直な、円環形状の、回転部表面における平面である。そして、通気溝と他の通気溝とを連通する、通気溝連通路を設ける。このとき、たとえば、通気溝と他の通気溝との、スラスト軸受面が含まれる平面への投影面積を等しくすることができる。これにより、通気口を正圧源または負圧源に連結するとき、通気溝と他の通気溝とには同時に等しい圧力が発生する。したがって、大きさが等しく向きが反対の力が回転部に作用するので、回転部が軸方向に変位することを防止することができる。 On the other hand, at least one of the plane including the thrust bearing surface in the rotating portion and the plane including the surface facing the thrust bearing surface in the fixed portion is concentric with the rotation center axis. An annular vent groove is provided. In addition, at least one of the plane including the other thrust bearing surface in the rotating portion and the plane including the surface facing the other thrust bearing surface in the fixed portion is concentric with the rotation center axis. Provide another annular groove in the shape of a ring. Here, the other thrust bearing surface is a plane on the surface of the rotating portion that is perpendicular to the central axis of rotation and faces the other static pressure gas thrust bearing of the fixed portion. And the ventilation groove communication path which connects a ventilation groove and another ventilation groove is provided. At this time, for example, the projected areas of the ventilation groove and other ventilation grooves on the plane including the thrust bearing surface can be made equal. As a result, when the vent is connected to the positive pressure source or the negative pressure source, equal pressure is simultaneously generated in the vent groove and the other vent grooves. Therefore, a force having the same magnitude and opposite direction acts on the rotating part, so that the rotating part can be prevented from being displaced in the axial direction.
また好ましくは、通気溝連通路は固定部に設けられ、一方の端部が固定側通気路へ連結し、他方の端部が他の通気溝へ連結する。 Preferably, the ventilation groove communication path is provided in the fixed portion, and one end portion is connected to the fixed-side air passage and the other end portion is connected to the other ventilation groove.
この場合は、通気口と通気溝とは固定側通気路を介して連通され、また通気口と他の通気溝とは固定側通気路と通気溝連通路とを介して連通される。よって通気口を正圧源または負圧源に連結するとき、通気溝と他の通気溝とには同時に等しい圧力が発生する。したがって、大きさが等しく向きが反対の力が回転部に作用するので、回転部が軸方向に変位することを防止することができる。 In this case, the vent hole and the vent groove communicate with each other through the fixed-side vent path, and the vent hole and the other vent groove communicate with each other through the fixed-side vent path and the vent groove communicating path. Therefore, when the vent is connected to the positive pressure source or the negative pressure source, equal pressure is simultaneously generated in the vent groove and the other vent grooves. Therefore, a force having the same magnitude and opposite direction acts on the rotating part, so that the rotating part can be prevented from being displaced in the axial direction.
また好ましくは、通気溝連通路は、前記回転部に設けられる。この場合は、通気口と通気溝とは固定側通気路を介して連通され、また通気溝と他の通気溝とは通気溝連通路を介して連通される。よって通気口を正圧源または負圧源に連結するとき、通気溝と他の通気溝とには同時に等しい圧力が発生する。したがって、大きさが等しく向きが反対の力が回転部に作用するので、回転部が軸方向に変位することを防止することができる。 Preferably, the ventilation groove communication path is provided in the rotating part. In this case, the vent hole and the vent groove are communicated with each other through the fixed-side vent path, and the vent groove and the other vent groove are communicated with each other through the vent groove communicating path. Therefore, when the vent is connected to the positive pressure source or the negative pressure source, equal pressure is simultaneously generated in the vent groove and the other vent grooves. Therefore, a force having the same magnitude and opposite direction acts on the rotating part, so that the rotating part can be prevented from being displaced in the axial direction.
また好ましくは、固定部は、静圧気体スラスト軸受と、静圧気体スラスト軸受と軸方向に間隔を隔てて形成される他の静圧気体スラスト軸受とを有する。また回転部は、静圧気体スラスト軸受と他の静圧気体スラスト軸受において発生する、互いに逆向きの力によって軸方向に支持される。そして、回転部におけるスラスト軸受面が含まれる平面上と、固定部におけるスラスト軸受面と対向する表面が含まれる平面上と、回転部における他の静圧気体スラスト軸受と対向する回転中心軸に垂直な円環形状の他のスラスト軸受面が含まれる平面上と、固定部における他のスラスト軸受面と対向する表面が含まれる平面上との、少なくともいずれかに、回転中心軸と同心円上に円環形状の他の通気溝を設ける。また固定部は、固定部の外壁に設ける他の通気口と、他の通気口と他の通気溝とを連通する他の固定側通気路とを有する。また回転部は、他の通気溝と対象物固定手段とを連通する他の回転側通気路を有する。そして、他の固定側通気路と他の回転側通気路とを介して、他の通気口から対象物固定手段の間で、対象物固定手段において気体圧力を変化させるための気体を流通させる。 Preferably, the fixed portion includes a static pressure gas thrust bearing and another static pressure gas thrust bearing formed at a distance from the static pressure gas thrust bearing in the axial direction. The rotating portion is supported in the axial direction by forces opposite to each other generated in the static pressure gas thrust bearing and the other static pressure gas thrust bearing. Then, on the plane including the thrust bearing surface in the rotating portion, on the plane including the surface facing the thrust bearing surface in the fixed portion, and perpendicular to the rotation center axis facing the other hydrostatic gas thrust bearing in the rotating portion. A circle that is concentric with the center axis of rotation at least one of a plane that includes another thrust bearing surface that has an annular shape and a plane that includes a surface that faces the other thrust bearing surface in the fixed portion Another vent groove with a ring shape is provided. In addition, the fixed portion includes another vent provided in the outer wall of the fixed portion and another fixed-side air passage that communicates the other vent and the other vent groove. The rotating unit has another rotation-side ventilation path that communicates the other ventilation groove with the object fixing means. Then, a gas for changing the gas pressure is circulated in the object fixing means between the other vent and the object fixing means via the other fixed side air passage and the other rotation side air passage.
この場合は、複数の通気口から、複数の固定側通気路と複数の通気溝と複数の回転側通気路とを介して、対象物固定手段へ供給される気体圧力を、通気口ごとにそれぞれ任意の圧力に設定することができる。すなわち、通気口から供給される気体圧力と、他の通気口から供給される気体圧力とを、同一の圧力設定とすることができ、また、異なる圧力設定とすることもできる。たとえば、通気口を正圧源に連結し、芯出し装置を機能させ、また他の通気口を負圧源に連結し、真空チャック機構を機能させることができる。このとき、複数の通気溝を、回転部におけるスラスト軸受面または他のスラスト軸受面が含まれる平面上と、固定部におけるスラスト軸受面と対向する表面または他のスラスト軸受面と対向する表面が含まれる平面上との、いずれかに設ける。したがって、芯出し装置と真空チャック機構とをそれぞれ機能させるために2つの通気用スリーブを必要とした従来の静圧気体軸受スピンドルに対し、2つの通気用スリーブの軸方向の長さ分、回転部の軸方向の長さを短縮することができる。 In this case, the gas pressure supplied from the plurality of vents to the object fixing means via the plurality of fixed-side vent passages, the plurality of vent-grooves, and the plurality of rotation-side vent passages for each vent port. Any pressure can be set. That is, the gas pressure supplied from the vent and the gas pressure supplied from the other vent can be set to the same pressure setting, or can be set to different pressure settings. For example, the vent can be connected to a positive pressure source to cause the centering device to function, and the other vent can be connected to a negative pressure source to cause the vacuum chuck mechanism to function. At this time, the plurality of ventilation grooves include a surface that includes the thrust bearing surface or other thrust bearing surface in the rotating portion, and a surface that faces the thrust bearing surface or other surface that faces the thrust bearing surface in the fixed portion. It is provided either on the flat surface. Accordingly, the rotating portion is equivalent to the axial length of the two ventilation sleeves in comparison with the conventional static pressure gas bearing spindle that requires two ventilation sleeves to function the centering device and the vacuum chuck mechanism, respectively. The axial length can be shortened.
以上のように、この発明に係る静圧気体軸受スピンドルでは、回転部におけるスラスト軸受面が含まれる平面上と、固定部におけるスラスト軸受面と対向する表面が含まれる平面上との、少なくともいずれか一方に、回転中心軸と同心円上に円環形状の通気溝を設ける。そして、固定側通気路と通気溝と回転側通気路とを介して、通気口と対象物固定手段とを連通させる。よって、対象物固定手段において気体圧力を変化させるための気体を流通させるために、従来のような通気用スリーブを設ける必要がない。したがって、軸受スリーブの軸方向の長さ、すなわち静圧気体ジャーナル軸受の軸方向の長さを短縮することなく、従来の静圧気体軸受スピンドルに対し、通気用スリーブの軸方向の長さ分、回転部の軸方向の長さを短縮することができる。 As described above, in the static pressure gas bearing spindle according to the present invention, at least one of the plane including the thrust bearing surface in the rotating portion and the plane including the surface opposed to the thrust bearing surface in the fixed portion. On the other hand, an annular ventilation groove is provided concentrically with the rotation center axis. Then, the vent and the object fixing means are communicated with each other through the fixed side air passage, the air groove, and the rotation side air passage. Therefore, it is not necessary to provide a conventional ventilation sleeve in order to circulate the gas for changing the gas pressure in the object fixing means. Therefore, without reducing the axial length of the bearing sleeve, i.e., the axial length of the hydrostatic gas journal bearing, the axial length of the ventilation sleeve relative to the conventional hydrostatic gas bearing spindle, The axial length of the rotating part can be shortened.
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰返さない。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following drawings, the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals, and description thereof will not be repeated.
(実施の形態1)
図1は、本発明の一実施の形態である実施の形態1の静圧気体軸受スピンドルの構成を示す概略断面図である。この静圧気体軸受スピンドル1は、気体圧力によって動作する図示しない対象物固定手段を備える。ここで対象物固定手段とは、負圧を用いて対象物を吸着固定する真空チャック機構、正圧を用いて孔あきディスクの芯出しを行なう芯出し保持装置などを指す。
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a configuration of a static pressure gas bearing spindle according to
図1において、静圧気体軸受スピンドル1は、回転部2と、軸受スリーブ6と軸受スリーブ7とハウジング8とによって構成される固定部とを備える。回転部2は、円柱形状の軸部3と、軸部3の端面に接合され軸部3よりも直径が大きい円盤形状のスラスト板4と、円柱形状の軸部3の中心線に平行な軸方向においてスラスト板4と間隔を隔てて形成されスラスト板4に対向して配置される他のスラスト板5とを含む。軸受スリーブ6と軸受スリーブ7との、軸方向に垂直な断面における断面形状は円環形状となる。軸受スリーブ6と軸受スリーブ7とは、円柱形状の軸部3の外周面を取り囲んで設けられ、ハウジング8は、円環形状の軸受スリーブ6と軸受スリーブ7との外周面を取り囲んで設けられている。軸受スリーブ6と軸受スリーブ7とのハウジング8への固定は、たとえば焼嵌めにより実施することができる。
In FIG. 1, the static pressure
回転部2にはモータロータ9が設置され、モータハウジング11にはモータロータ9の外周面を取り囲んでモータステータ10が設置されている。回転部2は、モータステータ10に電力を供給することによって、回転駆動される。回転を制御するために、回転角度を検出するロータリーエンコーダ12を備える場合もある。軸部3からモータロータ9に向かう方向をモータ側方向14、またモータ側方向14と逆方向をワーク側方向13とする。
A
なお、回転部2の駆動はこれに限定されず、たとえば回転部2にタービン羽根を取付け、そのタービン羽根の周囲に設けたノズルからタービン羽根に流体を噴射して回転部2を回転駆動させてもよい。
The driving of the
円柱形状の軸部3の外周面は、回転中心軸に平行な円筒形状の、軸部のジャーナル軸受面15を含む。スラスト板4のモータ側表面は、回転中心軸に垂直な円環形状の、スラスト板のスラスト軸受面18を含む。また、軸受スリーブ6と軸受スリーブ7との内径側表面は、軸部のジャーナル軸受面15に対して半径方向に対向し、回転中心軸に平行な円筒形状の、軸受スリーブのジャーナル軸受面16を含む。軸受スリーブ6のワーク側表面は、スラスト板のスラスト軸受面18に対して軸方向に対向し、回転中心軸に垂直な円環形状の、軸受スリーブのスラスト軸受面19を含む。ここで、回転中心軸とは、円柱形状の軸部3の中心を通る直線、すなわち円盤形状のスラスト板4と他のスラスト板5との中心線を示す。軸部のジャーナル軸受面15と軸受スリーブのジャーナル軸受面16とは、3μm以上30μm以下程度のジャーナル軸受すき間17を隔てて形成される。スラスト板のスラスト軸受面18と軸受スリーブのスラスト軸受面19とは、3μm以上50μm以下程度のスラスト軸受すき間20を隔てて形成される。
The outer peripheral surface of the
軸受スリーブのジャーナル軸受面16は、回転部2を少なくとも半径方向に支持する、静圧気体ジャーナル軸受として機能する。軸受スリーブのスラスト軸受面19は、回転部2を少なくとも軸方向に支持する、静圧気体スラスト軸受として機能する。すなわち、ハウジング8は、外壁に設けられる支持用気体供給口22を含み、支持用気体供給口22は軸受スリーブ6、軸受スリーブ7およびハウジング8に形成された支持用気体供給路23に連結している。図示しないエアコンプレッサなどの支持用気体供給源から支持用気体供給口22に、圧縮空気などの支持用気体が供給される。支持用気体は、支持用気体供給路23とジャーナル軸受給気絞り24とを介してジャーナル軸受すき間17に供給され、また支持用気体供給路23とスラスト軸受給気絞り25とを介してスラスト軸受すき間20に供給される。これにより、ジャーナル軸受すき間17とスラスト軸受すき間20とに供給された支持用気体の圧力によって、回転部2は固定部に対して非接触の状態で回転自在に軸支されている。
The
ジャーナル軸受すき間17およびスラスト軸受すき間20から流出する気体は、排気通路26と排気通路27と排気通路28とを介して、静圧気体軸受スピンドル1の外部に排出される。
The gas flowing out from the
ハウジング8は、外壁に設けられる通気口29を含む。通気口29は、軸受スリーブ6とハウジング8とに形成される固定側通気路30に連結する。また、軸受スリーブ6のワーク側表面に回転中心軸と同心円上に円環形状の通気溝31を設け、固定側通気路30の他方の端部は、通気溝31に連結する。すなわち固定側通気路30は、通気口29と通気溝31とを連通する。スラスト板4は、回転側通気路32を有する。回転側通気路32は、一方の端部が、スラスト板4のモータ側表面において通気溝31と対向する位置へ連結する。回転側通気路32の他方の端部は、スラスト板4のワーク側表面に設けられる開口33へ連結する。すなわち回転側通気路32は、通気溝31と開口33とを連通する。開口33、または開口33に連結される図示しない気体通路に対象物固定手段を連結することができる。
The
そして、固定側通気路30と通気溝31と回転側通気路32と開口33とを介して、通気口29から対象物固定手段の間で、対象物固定手段において気体圧力を変化させるための気体を流通させる。すなわち、通気口29と対象物固定手段とを、固定側通気路30と回転側通気路32とを介して連通させ、通気口29と対象物固定手段との間で気体を流通させることができる。
Then, gas for changing the gas pressure in the object fixing means between the
次に、実施の形態1の静圧気体軸受スピンドル1の動作について説明する。図1において、図示しない電源からモータステータ10に電力が供給されることにより、モータロータ9を軸回りに回転させる駆動力が発生する。これにより、固定部に対して回転自在に軸支されている回転部2はモータロータ9とともに固定部に対して相対的に回転する。
Next, the operation of the static pressure
さらに、通気口29に連結された図示しない真空ポンプなどの負圧源またはコンプレッサなどの正圧源を動作させると、通気口29を介して、固定側通気路30と回転側通気路32との内部の気体圧力が変化する。
Further, when a negative pressure source such as a vacuum pump (not shown) connected to the
たとえば、通気口29に負圧源を連結する場合、負圧源を動作させることにより固定側通気路30と回転側通気路32との内部が減圧される。そのため、回転側通気路32の端部が連結する開口33が減圧される。このとき、開口33、または開口33に連結される図示しない気体通路に対象物を接触させることにより、対象物は吸着、固定される。このようにして機能する真空チャック機構によって、被加工物、被検査物または工具などの対象物をスラスト板4のワーク側表面に固定することができる。
For example, when a negative pressure source is connected to the
別の例としては、通気口29に正圧源を連結する場合、正圧源を動作させることにより固定側通気路30と回転側通気路32との内部が加圧される。そのため、回転側通気路32の端部が連結する開口33が加圧される。このとき、開口33、または開口33に連結される図示しない気体通路に芯出し保持装置を連結することによって、加圧によりピストンが移動し、ピストンに設けたテーパ部を介して複数のクランプピンを半径方向に押し出して、クランプピンをディスクの内径面に接触させてディスクの芯出しおよび保持を行なう。このようにして機能する芯出し保持装置によって、光ディスクや磁気ディスクなどの孔あきディスクの中心を回転中心軸に一致させることができる。
As another example, when a positive pressure source is connected to the
この場合、一方の端部がスラスト板4のモータ側表面へ連結する回転側通気路32をスラスト板4に設けるので、負圧を用いて対象物を吸着固定する真空チャック機構、正圧を用いてディスクの芯出しを行なう芯出し保持装置などの対象物固定手段において、気体圧力を変化させるための気体を流通させるために、従来のような通気用スリーブを設ける必要がない。したがって、軸受スリーブ6および軸受スリーブ7の軸方向の長さ、すなわち軸受スリーブのジャーナル軸受面16の軸方向長さを短縮することなく、従来の静圧気体軸受スピンドルに対し、通気用スリーブの軸方向の長さ分、軸部3の長さ、すなわち回転部2の軸方向の長さを短縮することができる。
In this case, the
また、固定側通気路30と回転側通気路32とは、回転中心軸と同心円上に設けられる円環形状の通気溝31を介して連通するので、回転部2の回転中に回転部2と固定側通気路30との相対的な位置関係が変化しても、固定側通気路30と回転側通気路32とは常に連通している。したがって、回転部2の回転中も常に、対象物固定手段を安定して機能させる状態を保ちながら、対象物の加工や検査などの作業を行なうことができる。また、固定側通気路30と回転側通気路32とは、それぞれ通気溝31に連通すればよいので、固定側通気路30の端部と回転側通気路32の端部とを正確に対向する位置に配置しなくとも、通気溝31の幅の範囲内であれば、固定側通気路30と回転側通気路32とを連通することができる。したがって、通気溝31の幅の範囲で固定側通気路30と回転側通気路32との加工精度を緩めることができ、加工精度が対象物固定手段の性能に与える影響を小さくすることができる。
In addition, the fixed-
図2は、図1の領域II付近の変形例を、領域を拡大して示した概略部分断面図である。図2において、軸受スリーブ6のワーク側表面に固定側通気路30を投影した位置と、スラスト板4のモータ側表面における回転側通気路32の端部とは対向していない位置に配置されている。しかし、固定側通気路30は通気溝31に連結しており、また回転側通気路32は通気溝31に対向している。したがって、固定側通気路30と通気溝31と回転側通気路32とを介して、通気口29と、対象物固定手段へ連結される開口33とは連通しているので、通気口29から対象物固定手段の間で、対象物固定手段において気体圧力を変化させるための気体を流通させることができる。
FIG. 2 is a schematic partial cross-sectional view showing a modified example in the vicinity of region II in FIG. In FIG. 2, the position where the fixed
なお、固定側通気路30と回転側通気路32との内部の気体圧力を変化させるときに、スラスト軸受すき間20の気体圧力が変化することに伴って軸受反力が変化し回転部2が軸方向に変位することを抑制する必要がある。このため、図1において、軸受スリーブ6のワーク側表面における通気溝31の位置よりも外周側に円周溝34を設ける。円周溝34は、排気通路26の一方の端部に連結し、排気通路26と排気通路27とを介して静圧気体軸受スピンドル1の外部と連通する。これにより、円周溝34は常に大気圧に保たれる。また、軸受スリーブ6のワーク側表面において、通気溝31と円周溝34との間にシール面36を設ける。シール面36とスラスト板4のモータ側表面とは、スラスト軸受すき間20と同等の3μm以上50μm以下程度のシールすき間35を隔てて形成される。
Note that when the gas pressure inside the fixed-
円周溝34とシールすき間35とにより、通気溝31に加圧または負圧が供給されるときにおいても、スラスト軸受すき間20における気体圧力が変化することを防止することができる。すなわち、図1において、スラスト板4の外周部分は静圧気体軸受スピンドル1の外部に位置するので、常に大気圧に保たれる。また円周溝34は上記の通り静圧気体軸受スピンドル1の外部と連通し、通気溝31と円周溝34との間にはスラスト軸受すき間20と同等の微細なシールすき間35が設けられている。そのため、固定側通気路30に正圧または負圧が供給され、通気溝31の内部の気体圧力が変化する場合においても、シールすき間35によって気体の漏れは制限されて、円周溝34の内部は常に大気圧に保たれ、スラスト軸受すき間20の気体圧力に影響を及ぼすことはない。よって、外部からスラスト軸受給気絞り25を介してスラスト軸受すき間20に供給される圧縮空気などの支持用気体の圧力を一定とすることで、スラスト軸受すき間20における気体圧力を安定させることができる。したがって、静圧気体スラスト軸受の軸受反力を一定とし、回転部2が軸方向に変位することを抑制することができる。
The
なお、通気溝31は、図1のように軸受スリーブ6のワーク側表面、すなわち固定部における軸受スリーブのスラスト軸受面19が含まれる平面上に設けてもよく、またスラスト板4のモータ側表面、すなわち回転部におけるスラスト板のスラスト軸受面18が含まれる平面上に設けてもよい。また、軸受スリーブ6のワーク側表面とスラスト板4のモータ側表面との両方に、通気溝31を設けることもできる。
The
また、通気溝31は、円環形状の軸受スリーブ6のワーク側表面またはスラスト板4のモータ側表面において、図1のように内周側端部近傍、すなわち軸部3の近傍(たとえば、軸受スリーブ6の内径側表面から、軸受スリーブのスラスト軸受面19の外径の20%以内の距離離れる位置)に設けてもよい。また外周側端部近傍、すなわちスラスト板4の外周部分近傍(たとえば、軸受スリーブ6の外径側表面から、軸受スリーブのスラスト軸受面19の外径の20%以内の距離離れる位置)に設けてもよい。いずれの場合も、円周溝34を、通気溝31と軸受スリーブのスラスト軸受面19との間(通気溝31をスラスト板4のモータ側表面に設けるときは、軸受スリーブ6のワーク側表面における固定側通気路30の端部と軸受スリーブのスラスト軸受面19との間)に配置することによって、スラスト軸受すき間20における気体圧力を安定させることができる。したがって、安定した軸受性能が得られる。
The
(実施の形態2)
図3は、本発明の一実施の形態である実施の形態2の静圧気体軸受スピンドルの構成を示す概略断面図である。実施の形態2の静圧気体軸受スピンドル1と、上述した実施の形態1の静圧気体軸受スピンドル1とは、基本的に同様の構成を備えている。しかし、実施の形態2では、他のスラスト板5のワーク側表面が対向する軸受スリーブ7のモータ側表面が含む、他の軸受スリーブのスラスト軸受面39付近が図3に示すような構成となっている点で実施の形態1とは異なっている。
(Embodiment 2)
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of the static pressure gas bearing spindle according to the second embodiment which is an embodiment of the present invention. The static pressure
具体的には、図3において、この静圧気体軸受スピンドル1は、回転部2が、軸部3の端面に接合され軸部3よりも直径が大きい円盤形状の他のスラスト板5を含む。他のスラスト板5は、軸方向においてスラスト板4と間隔を隔てて形成されスラスト板4に対向して配置される。他のスラスト板5のワーク側表面が対向する軸受スリーブ7のモータ側表面は、回転中心軸に垂直な円環形状の、他の軸受スリーブのスラスト軸受面39を含む。他の軸受スリーブのスラスト軸受面39は、回転部2を少なくとも軸方向に支持する、他の静圧気体スラスト軸受として機能する。すなわち、固定部は、軸受スリーブ6のワーク側表面に含まれる軸受スリーブのスラスト軸受面19と、軸受スリーブ7のモータ側表面に含まれ軸受スリーブのスラスト軸受面19と軸方向に間隔を隔てて形成される他の軸受スリーブのスラスト軸受面39とを有する。そして、軸受スリーブのスラスト軸受面19は、静圧気体スラスト軸受として機能し、他の軸受スリーブのスラスト軸受面39は、静圧気体スラスト軸受と軸方向に間隔を隔てて形成される他の静圧気体スラスト軸受として機能する。回転部2は、静圧気体スラスト軸受と他の静圧気体スラスト軸受において発生する、互いに逆向きの力によって軸方向に支持される。
Specifically, in FIG. 3, this hydrostatic
そして、軸受スリーブ7のモータ側表面に、回転中心軸と同心円上に、円環形状の他の通気溝40を設ける。軸受スリーブ7およびハウジング8に形成される他の固定側通気路41は、一方の端部が固定側通気路30へ連結し、他方の端部が他の通気溝40へ連結する。これにより、通気口29と他の通気溝40とは、固定側通気路30と他の固定側通気路41とを介して、連通される。かつ、通気溝31と他の通気溝40とは、固定側通気路30と他の固定側通気路41とを介して、連通される。すなわち、固定部は通気溝31と他の通気溝40とを連通する、通気溝連通路を有する。
Then, another
次に、実施の形態2の静圧気体軸受スピンドル1の動作について説明する。実施の形態2の静圧気体軸受スピンドル1と、上述した実施の形態1の静圧気体軸受スピンドル1とは、基本的に同様に動作する。しかし、実施の形態2の静圧気体軸受スピンドル1は上述のように他の通気溝40と他の固定側通気路41とを有しているため、対象物固定手段を機能させるために通気口29に連結された正圧源または負圧源を動作させ、通気口29、固定側通気路30および他の固定側通気路41を介して正圧または負圧を供給したときに、通気溝31と他の通気溝40との圧力は常に等しくなる。したがって、回転部2が軸方向に変位することを防止することができる。
Next, the operation of the static pressure
すなわち、図3において、回転部2は、静圧気体スラスト軸受と他の静圧気体スラスト軸受において発生する、互いに逆向きの軸受反力の釣合によって、軸方向に支持される。このような静圧気体軸受スピンドル1の構成において、軸受スリーブ6のワーク側表面に通気溝31を設けるのみとすると、真空チャック機構を機能させるための負圧または芯出し保持装置を機能させるための正圧を供給して、通気溝31の圧力が変化することに伴い、軸方向の力が発生する。そのため、軸受反力が上記軸方向の力と釣合う位置まで、回転部2が軸方向に変位する場合がある。
That is, in FIG. 3, the rotating
これに対し、軸受スリーブ7のモータ側表面に他の通気溝40を設け、通気口29と通気溝31とを固定側通気路30を介して連通する。また通気口29と他の通気溝40とを、固定側通気路30の一部と他の固定側通気路41とを介して連通する構成とする。このとき、軸受スリーブ6のワーク側表面における通気溝31の面積と、軸受スリーブ7のモータ側表面における他の通気溝40の面積とを、等しくすることができる。たとえば、他の通気溝40を通気溝31と同一寸法とすることができる。これにより、対象物固定手段を機能させるために通気口29に連結される正圧源または負圧源を動作させるとき、通気溝31と他の通気溝40とには同時に等しい圧力が発生する。たとえば正圧源を動作させるとき、通気溝31の加圧によってスラスト板4をワーク側へ押す力が発生し、一方、他の通気溝40の加圧によって他のスラスト板5をモータ側へ押す力が発生する。軸受スリーブ6のワーク側表面における通気溝31の面積と、軸受スリーブ7のモータ側表面における他の通気溝40の面積とは、等しくなるよう設けられるので、大きさが等しく向きが反対の力が回転部2に作用する。したがって、回転部2が軸方向に変位することを防止することができる。
On the other hand, another
なお、通気溝31と同様に、他の通気溝40は、図3のように軸受スリーブ7のモータ側表面、すなわち固定部における他の軸受スリーブのスラスト軸受面39が含まれる平面上に設けてもよく、また他のスラスト板5のワーク側表面、すなわち回転部における他の軸受スリーブのスラスト軸受面39と対向する表面が含まれる平面上に設けてもよい。また、軸受スリーブ7のモータ側表面と他のスラスト板5のワーク側表面との両方に、他の通気溝40を設けることもできる。また、他の通気溝40は、円環形状の軸受スリーブ7のモータ側表面または他のスラスト板5のワーク側表面において、図3のように内周側端部近傍、すなわち軸部3の近傍に設けてもよく、また外周側端部近傍、すなわち他のスラスト板5の外周部分近傍に設けてもよい。
Similar to the
(実施の形態3)
図4は、本発明の一実施の形態である実施の形態3の静圧気体軸受スピンドルの構成を示す概略断面図である。実施の形態3の静圧気体軸受スピンドル1と、上述した実施の形態1の静圧気体軸受スピンドル1とは、基本的に同様の構成を備えている。しかし、実施の形態3では、スラスト板4付近が図4に示すような構成となっている点で実施の形態1とは異なっている。
(Embodiment 3)
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing a configuration of a static pressure gas bearing spindle according to the third embodiment which is an embodiment of the present invention. The static pressure
具体的には、図4において、この静圧気体軸受スピンドル1は、スラスト板4のワーク側表面が対向するスラスト軸受部材43を備える。スラスト軸受部材43のモータ側表面は、回転中心軸に垂直な円環形状の、スラスト軸受部材のスラスト軸受面44を含む。スラスト軸受部材のスラスト軸受面44は、回転部2を少なくとも軸方向に支持する、他の静圧気体スラスト軸受として機能する。すなわち、固定部は、軸受スリーブ6のワーク側表面に含まれる軸受スリーブのスラスト軸受面19と、スラスト軸受部材43のモータ側表面に含まれ軸受スリーブのスラスト軸受面19と軸方向に間隔を隔てて形成されるスラスト軸受部材のスラスト軸受面44とを有する。そして、軸受スリーブのスラスト軸受面19は、静圧気体スラスト軸受として機能し、スラスト軸受部材のスラスト軸受面44は、静圧気体スラスト軸受と軸方向に間隔を隔てて形成される他の静圧気体スラスト軸受として機能する。回転部2は、静圧気体スラスト軸受と他の静圧気体スラスト軸受において発生する、互いに逆向きの力によって軸方向に支持される。
Specifically, in FIG. 4, the static pressure
そして、スラスト軸受部材43のモータ側表面に、回転中心軸と同心円上に、円環形状の他の通気溝45を設ける。スラスト板4に形成される通気溝連通路46は、一方の端部が通気溝31へ連結し、他方の端部が他の通気溝45へ連結する。すなわち、通気口29と通気溝31とは固定側通気路30を介して連通され、通気溝31と他の通気溝45とは通気溝連通路46を介して連通される。
Then, another
次に、実施の形態3の静圧気体軸受スピンドル1の動作について説明する。実施の形態3の静圧気体軸受スピンドル1と、上述した実施の形態1の静圧気体軸受スピンドル1とは、基本的に同様に動作する。しかし、実施の形態3の静圧気体軸受スピンドル1は上述のように、他の通気溝45と、通気溝31と他の通気溝45とを連通する通気溝連通路46とを有しているため、対象物固定手段を機能させるために通気口29に連結された正圧源または負圧源を動作させ、通気口29、固定側通気路30を介して正圧または負圧を供給したときに、通気溝31と他の通気溝45との圧力は常に等しくなる。したがって、回転部2が軸方向に変位することを防止することができる。
Next, the operation of the static pressure
すなわち、図4において、回転部2は、静圧気体スラスト軸受と他の静圧気体スラスト軸受において発生する、互いに逆向きの軸受反力の釣合によって、軸方向に支持される。このような静圧気体軸受スピンドル1の構成において、軸受スリーブ6のワーク側表面に通気溝31を設けるのみとすると、真空チャック機構を機能させるための負圧または芯出し保持装置を機能させるための正圧を供給して、通気溝31の圧力が変化することに伴い、軸方向の力が発生する。そのため、軸受反力が上記軸方向の力と釣合う位置まで、回転部2が軸方向に変位する場合がある。
That is, in FIG. 4, the rotating
これに対し、スラスト軸受部材43のモータ側表面に他の通気溝45を設ける。そして、通気溝31は、通気溝連通路46を介して他の通気溝45へ連通する構成とする。このとき、軸受スリーブ6のワーク側表面における通気溝31の面積と、スラスト軸受部材43のモータ側表面における他の通気溝45の面積とを、等しくすることができる。たとえば、他の通気溝45を通気溝31と同一寸法とすることができる。これにより、対象物固定手段を機能させるために通気口29に連結される正圧源または負圧源を動作させるとき、通気溝31と他の通気溝45とには同時に等しい圧力が発生する。たとえば正圧源を動作させるとき、通気溝31の加圧によってスラスト板4をワーク側へ押す力が発生し、一方、他の通気溝45の加圧によってスラスト板4をモータ側へ押す力が発生する。軸受スリーブ6のワーク側表面における通気溝31の面積と、スラスト軸受部材43のモータ側表面における他の通気溝45の面積とは、等しくなるよう設けられるので、大きさが等しく向きが反対の力が回転部2に作用する。したがって、回転部2が軸方向に変位することを防止することができる。
On the other hand, another
なお、通気溝31と同様に、他の通気溝45は、図4のようにスラスト軸受部材43のモータ側表面、すなわち固定部におけるスラスト軸受部材のスラスト軸受面44が含まれる平面上に設けてもよく、またスラスト板4のワーク側表面、すなわち回転部におけるスラスト軸受部材のスラスト軸受面44と対向する表面が含まれる平面上に設けてもよい。また、スラスト軸受部材43のモータ側表面とスラスト板4のワーク側表面との両方に、他の通気溝45を設けることもできる。
Similar to the
また、他の通気溝45は、円環形状のスラスト軸受部材43のモータ側表面またはスラスト板4のワーク側表面において、図4のように内周側端部近傍、すなわち軸部3の近傍に設けてもよく、また外周側端部近傍、すなわちスラスト板4の外周部分近傍に設けてもよい。図4において、スラスト軸受部材43のモータ側表面の、他の通気溝45とスラスト軸受部材のスラスト軸受面44との間に、他の円周溝47を設ける。また円周溝34と他の円周溝47とを連通する円周溝連通路48をスラスト板4に形成する。これにより、他の円周溝47は、円周溝連通路48と円周溝34と排気通路26と排気通路27とを介して静圧気体軸受スピンドル1の外部と連通するので、他の円周溝47は常に大気圧に保たれる。したがって、他の通気溝45を内周側端部近傍と外周側端部近傍のいずれに設ける場合も、他の円周溝47を、他の通気溝45とスラスト軸受部材のスラスト軸受面44との間(他の通気溝45をスラスト板4のワーク側表面に設けるときは、他の通気溝45をスラスト軸受部材43のモータ側表面に投影した位置とスラスト軸受部材のスラスト軸受面44との間)に配置することによって、スラスト軸受部材のスラスト軸受面44と、スラスト板4のワーク側表面とのすき間における気体圧力を安定させることができる。したがって、安定した軸受性能が得られる。
Further, the
(実施の形態4)
図5は、本発明の一実施の形態である実施の形態4の静圧気体軸受スピンドルの構成を示す概略断面図である。実施の形態4の静圧気体軸受スピンドル1と、上述した実施の形態2の静圧気体軸受スピンドル1とは、基本的に同様の構成を備えている。しかし、実施の形態4では、他のスラスト板5のワーク側表面が対向する軸受スリーブ7のモータ側表面が含む、他の軸受スリーブのスラスト軸受面39付近が図5に示すような構成となっている点で実施の形態2とは異なっている。
(Embodiment 4)
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing a configuration of a static pressure gas bearing spindle according to a fourth embodiment which is an embodiment of the present invention. The static pressure
具体的には、図5において、この静圧気体軸受スピンドル1は、ハウジング8の外壁に設けられる他の通気口50を含む。他の通気口50は、軸受スリーブ7とハウジング8とに形成される他の固定側通気路51に連結する。また、他のスラスト板5のワーク側表面に、回転中心軸と同心円上に、円環形状の他の通気溝52を設け、他の固定側通気路51の他方の端部は、軸受スリーブ7のモータ側表面において他の通気溝52と対向する位置に連結する。すなわち他の固定側通気路51は、他の通気口50と他の通気溝52とを連通する。他のスラスト板5は、他の回転側通気路53を有する。他の回転側通気路53は、一方の端部が、他の通気溝52へ連結する。他の回転側通気路53の他方の端部は、スラスト板4のワーク側表面に設けられる他の開口54へ連結する。すなわち他の回転側通気路53は、他の通気溝52と他の開口54とを連通する。他の開口54、または他の開口54に連結される図示しない気体通路に対象物固定手段を連結することができる。そして、他の固定側通気路51と他の通気溝52と他の回転側通気路53と他の開口54とを介して、他の通気口50から対象物固定手段の間で、対象物固定手段において気体圧力を変化させるための気体を流通させる。すなわち、他の通気口50と対象物固定手段とを、他の固定側通気路51と他の回転側通気路53とを介して連通させ、他の通気口50と対象物固定手段との間で気体を流通させることができる。
Specifically, in FIG. 5, the static pressure
次に、実施の形態4の静圧気体軸受スピンドル1の動作について説明する。実施の形態4の静圧気体軸受スピンドル1と、上述した実施の形態2の静圧気体軸受スピンドル1とは、基本的に同様に動作する。しかし、実施の形態4の静圧気体軸受スピンドル1は上述のように、他の通気口50と、他の通気口50と他の通気溝52とを連通する他の固定側通気路51と、他の通気溝52と他の開口54とを連通する他の回転側通気路53を有している。そのため、通気口29から固定側通気路30と通気溝31と回転側通気路32と開口33とを介して対象物固定手段へ供給される気体圧力と、他の通気口50から他の固定側通気路51と他の通気溝52と他の回転側通気路53と他の開口54とを介して対象物固定手段へ供給する他の気体圧力とを、通気口ごとにそれぞれ任意の圧力に設定することができる。すなわち、通気口29から供給される気体圧力と、他の通気口50から供給される気体圧力とを、同一の圧力設定とすることができ、また、異なる圧力設定とすることもできる。たとえば、通気口29を正圧源に連結し、芯出し装置を機能させて回転部2に対する対象物の位置を精度よく決定した後に、他の通気口50を負圧源に連結し、真空チャック機構を機能させて対象物を固定することができる。
Next, the operation of the static pressure
このとき、一方の端部がスラスト板4のモータ側表面へ連結する回転側通気路32をスラスト板4に設け、一方の端部が他のスラスト板5のワーク側表面へ連結する他の回転側通気路53を他のスラスト板5に設ける。したがって、芯出し装置と真空チャック機構とをそれぞれ機能させるために2つの通気用スリーブを必要とした従来の静圧気体軸受スピンドルに対し、2つの通気用スリーブの軸方向の長さ分、回転部2の軸方向の長さを短縮することができる。
At this time, a rotation-
なお、通気溝31と同様に、他の通気溝52は、図5のように他のスラスト板5のワーク側表面、すなわち回転部2における他の軸受スリーブのスラスト軸受面39と対向する表面が含まれる平面上に設けてもよく、また軸受スリーブ7のモータ側表面、すなわち固定部における他の軸受スリーブのスラスト軸受面39が含まれる平面上に設けてもよい。また、他のスラスト板5のワーク側表面と軸受スリーブ7のモータ側表面との両方に、他の通気溝52を設けることもできる。また、他の通気溝52は、円環形状の軸受スリーブ7のモータ側表面または他のスラスト板5のワーク側表面において、図5のように内周側端部近傍、すなわち軸部3の近傍に設けてもよく、また外周側端部近傍、すなわち他のスラスト板5の外周部分近傍に設けてもよい。
Similar to the
また、複数の気体圧力を対象物固定手段へ供給するためには、通気口と固定側通気路と通気溝と回転側通気路から成る通気系統を、複数設ければよい。したがって、一方の軸受スリーブのスラスト軸受面が含まれる平面上、あるいは、一方のスラスト板のスラスト軸受面が含まれる平面上に、複数の通気溝を半径方向に重ねて配置することもできる。 In order to supply a plurality of gas pressures to the object fixing means, a plurality of ventilation systems including a ventilation hole, a fixed-side ventilation path, a ventilation groove, and a rotation-side ventilation path may be provided. Therefore, a plurality of ventilation grooves can be arranged in a radial direction on a plane including the thrust bearing surface of one bearing sleeve or on a plane including the thrust bearing surface of one thrust plate.
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。 The embodiment disclosed this time should be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.
この発明の静圧気体軸受スピンドルは、真空チャック機構、芯出し保持装置などの、気体圧力を用いて被加工物、被検査物または工具などを回転部に固定する対象物固定手段を備える静圧気体軸受スピンドルに、特に有利に適用され得る。 The static pressure gas bearing spindle of the present invention includes a static pressure provided with an object fixing means for fixing a workpiece, an inspection object, a tool or the like to a rotating part using a gas pressure, such as a vacuum chuck mechanism and a centering holding device. It can be applied particularly advantageously to gas bearing spindles.
1 静圧気体軸受スピンドル、2 回転部、3 軸部、4 スラスト板、5 他のスラスト板、6 軸受スリーブ、7 軸受スリーブ、8 ハウジング、9 モータロータ、10 モータステータ、11 モータハウジング、12 ロータリーエンコーダ、13 ワーク側方向、14 モータ側方向、15 軸部のジャーナル軸受面、16 軸受スリーブのジャーナル軸受面、17 ジャーナル軸受すき間、18 スラスト板のスラスト軸受面、19 軸受スリーブのスラスト軸受面、20 スラスト軸受すき間、22 支持用気体供給口、23 支持用気体供給路、24 ジャーナル軸受給気絞り、25 スラスト軸受給気絞り、26 排気通路、27 排気通路、28 排気通路、29 通気口、30 固定側通気路、31 通気溝、32 回転側通気路、33 開口、34 円周溝、35 シールすき間、36 シール面、39 他の軸受スリーブのスラスト軸受面、40 他の通気溝、41 他の固定側通気路、43 スラスト軸受部材、44 スラスト軸受部材のスラスト軸受面、45 他の通気溝、46 通気溝連通路、47 他の円周溝、48 円周溝連通路、50 他の通気口、51 他の固定側通気路、52 他の通気溝、53 他の回転側通気路、54 他の開口、101 静圧気体軸受スピンドル、102 回転部、103 軸部、104 スラスト板、105 他のスラスト板、106 軸受スリーブ、107 軸受スリーブ、108 通気用スリーブ、109 ハウジング、110 静圧気体ジャーナル軸受、111 静圧気体スラスト軸受、112 支持用気体供給口、113 支持用気体供給路、114 ジャーナル軸受給気絞り、115 スラスト軸受給気絞り、116 排気通路、117 排気通路、118 通気口、119 固定側通気路、120 回転側通気路、121 開口。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Static pressure gas bearing spindle, 2 Rotating part, 3 Shaft part, 4 Thrust board, 5 Other thrust board, 6 Bearing sleeve, 7 Bearing sleeve, 8 Housing, 9 Motor rotor, 10 Motor stator, 11 Motor housing, 12 Rotary encoder , 13 Workpiece side direction, 14 Motor side direction, 15 Shaft journal bearing surface, 16 Bearing sleeve journal bearing surface, 17 Journal bearing clearance, 18 Thrust plate thrust bearing surface, 19 Bearing sleeve thrust bearing surface, 20 Thrust Bearing clearance, 22 Support gas supply port, 23 Support gas supply channel, 24 Journal bearing supply throttle, 25 Thrust bearing supply throttle, 26 Exhaust passage, 27 Exhaust passage, 28 Exhaust passage, 29 Vent, 30 Fixed side Ventilation path, 31 Ventilation groove, 32 Rotating side ventilation path, 3 Opening, 34 Circumferential groove, 35 Seal gap, 36 Seal surface, 39 Thrust bearing surface of other bearing sleeve, 40 Other ventilation groove, 41 Other fixed side air passage, 43 Thrust bearing member, 44 Thrust of thrust bearing member Bearing surface, 45 Other vent groove, 46 Vent groove communication path, 47 Other circumferential groove, 48 Circumferential groove communication path, 50 Other vent, 51 Other fixed side vent path, 52 Other vent groove, 53 Other rotation side air passage, 54 Other opening, 101 Hydrostatic gas bearing spindle, 102 Rotating part, 103 Shaft part, 104 Thrust plate, 105 Other thrust plate, 106 Bearing sleeve, 107 Bearing sleeve, 108 Venting sleeve, 109 Housing, 110 Hydrostatic Gas Journal Bearing, 111 Hydrostatic Gas Thrust Bearing, 112 Supporting Gas Supply Port, 113 Supporting Gas Supply Path 114 journal shaft receiving air aperture, 115 stop thrust receiving air, 116 exhaust passage 117 exhaust passage 118 vents 119 fixed air passage, 120 rotating air passage, 121 openings.
Claims (5)
回転中心軸に平行な円筒形状のジャーナル軸受面と、前記回転中心軸に垂直な円環形状のスラスト軸受面とを含む回転部と、
前記回転部を支持する固定部とを備え、
前記固定部は、前記ジャーナル軸受面に対して半径方向に対向し、前記回転部を少なくとも半径方向に支持する静圧気体ジャーナル軸受と、前記スラスト軸受面に対して軸方向に対向し、前記回転部を少なくとも軸方向に支持する静圧気体スラスト軸受とを有し、
前記回転部における前記スラスト軸受面が含まれる平面上と、前記固定部における前記スラスト軸受面と対向する表面が含まれる平面上との、少なくともいずれか一方に、前記回転中心軸と同心円上に円環形状の通気溝を設け、
前記固定部は、前記固定部の外壁に設ける通気口と、前記通気口と前記通気溝とを連通する固定側通気路とを有し、
前記回転部は、前記通気溝と前記対象物固定手段とを連通する回転側通気路を有し、
前記固定側通気路と前記回転側通気路とを介して、前記通気口から前記対象物固定手段の間で、前記対象物固定手段において前記気体圧力を変化させるための気体を流通させることを特徴とする、静圧気体軸受スピンドル。 In a static pressure gas bearing spindle comprising an object fixing means operating by gas pressure,
A rotating part including a cylindrical journal bearing surface parallel to the rotation center axis and an annular thrust bearing surface perpendicular to the rotation center axis;
A fixing part for supporting the rotating part,
The fixed portion is opposed to the journal bearing surface in the radial direction, and the hydrostatic gas journal bearing that supports the rotating portion at least in the radial direction is opposed to the thrust bearing surface in the axial direction, and the rotation is performed. A hydrostatic gas thrust bearing that supports at least the axial portion,
A circle concentrically with the rotation center axis on at least one of a plane including the thrust bearing surface in the rotating portion and a plane including a surface facing the thrust bearing surface in the fixed portion. An annular vent groove is provided,
The fixed portion has a vent provided in an outer wall of the fixed portion, and a fixed-side air passage communicating the vent and the vent groove,
The rotating part has a rotation-side air passage that communicates the ventilation groove and the object fixing means,
A gas for changing the gas pressure in the object fixing means is circulated between the object fixing means and the object through the fixed side air passage and the rotation side air passage. And a hydrostatic gas bearing spindle.
前記回転部は、前記静圧気体スラスト軸受と前記他の静圧気体スラスト軸受において発生する、互いに逆向きの力によって軸方向に支持されるものであって、
前記回転部における前記他の静圧気体スラスト軸受と対向する前記回転中心軸に垂直な円環形状の他のスラスト軸受面が含まれる平面上と、前記固定部における前記他のスラスト軸受面と対向する表面が含まれる平面上との、少なくともいずれか一方に、前記回転中心軸と同心円上に円環形状の他の通気溝を設け、
前記通気溝と前記他の通気溝とを連通する、通気溝連通路を有することを特徴とする、請求項1に記載の静圧気体軸受スピンドル。 The fixed portion includes the static pressure gas thrust bearing, and another static pressure gas thrust bearing formed at an interval in the axial direction from the static pressure gas thrust bearing,
The rotating portion is supported in the axial direction by forces opposite to each other generated in the hydrostatic gas thrust bearing and the other hydrostatic gas thrust bearing,
On the plane including another thrust bearing surface of the annular shape perpendicular to the rotation center axis facing the other static pressure gas thrust bearing in the rotating portion, and facing the other thrust bearing surface in the fixed portion On the plane including the surface to be provided, at least any one of the annular grooves on the concentric circle with the rotation center axis is provided,
2. The hydrostatic gas bearing spindle according to claim 1, further comprising a ventilation groove communication path that communicates the ventilation groove with the other ventilation groove. 3.
前記回転部は、前記静圧気体スラスト軸受と前記他の静圧気体スラスト軸受において発生する、互いに逆向きの力によって軸方向に支持されるものであって、
前記回転部における前記スラスト軸受面が含まれる平面上と、前記固定部における前記スラスト軸受面と対向する表面が含まれる平面上と、前記回転部における前記他の静圧気体スラスト軸受と対向する前記回転中心軸に垂直な円環形状の他のスラスト軸受面が含まれる平面上と、前記固定部における前記他のスラスト軸受面と対向する表面が含まれる平面上との、少なくともいずれかに、前記回転中心軸と同心円上に円環形状の他の通気溝を設け、
前記固定部は、前記固定部の外壁に設ける他の通気口と、前記他の通気口と前記他の通気溝とを連通する他の固定側通気路とを有し、
前記回転部は、前記他の通気溝と前記対象物固定手段とを連通する他の回転側通気路を有し、
前記他の固定側通気路と前記他の回転側通気路とを介して、前記他の通気口から前記対象物固定手段の間で、前記対象物固定手段において前記気体圧力を変化させるための気体を流通させることを特徴とする、請求項1に記載の静圧気体軸受スピンドル。 The fixed portion includes the static pressure gas thrust bearing, and another static pressure gas thrust bearing formed at an interval in the axial direction from the static pressure gas thrust bearing,
The rotating portion is supported in the axial direction by forces opposite to each other generated in the hydrostatic gas thrust bearing and the other hydrostatic gas thrust bearing,
On the plane including the thrust bearing surface in the rotating portion, on the plane including the surface facing the thrust bearing surface in the fixed portion, and facing the other hydrostatic gas thrust bearing in the rotating portion. At least one of the plane including the other thrust bearing surface in the annular shape perpendicular to the rotation center axis and the plane including the surface facing the other thrust bearing surface in the fixed portion, Provide another annular groove on the concentric circle with the rotation center axis,
The fixed portion has another vent provided in the outer wall of the fixed portion, and another fixed-side vent passage communicating the other vent and the other vent groove,
The rotating part has another rotating side air passage that communicates the other ventilation groove and the object fixing means,
Gas for changing the gas pressure in the object fixing means between the other air vent and the object fixing means via the other fixed side air passage and the other rotation side air passage. The hydrostatic gas bearing spindle according to claim 1, wherein
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006071534A JP2007247762A (en) | 2006-03-15 | 2006-03-15 | Static pressure gas bearing spindle |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007247762A true JP2007247762A (en) | 2007-09-27 |
Family
ID=38592283
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006071534A Withdrawn JP2007247762A (en) | 2006-03-15 | 2006-03-15 | Static pressure gas bearing spindle |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2007247762A (en) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009092195A (en) * | 2007-10-11 | 2009-04-30 | Daiya Seiki Co Ltd | Static pressure fluid bearing |
WO2013038625A1 (en) * | 2011-09-16 | 2013-03-21 | オイレス工業株式会社 | Static-pressure gas bearing and method for manufacturing same |
KR101690420B1 (en) * | 2015-07-17 | 2016-12-27 | 한국기계연구원 | Mixed bearing device and driving method thereof |
CN114251363A (en) * | 2020-09-24 | 2022-03-29 | 武汉科技大学 | Aerostatic motorized spindle suitable for active control under vacuum environment condition |
CN114932421A (en) * | 2022-05-25 | 2022-08-23 | 苏州上金数控科技有限公司 | Rotary air supply device and machine tool |
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Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009092195A (en) * | 2007-10-11 | 2009-04-30 | Daiya Seiki Co Ltd | Static pressure fluid bearing |
WO2013038625A1 (en) * | 2011-09-16 | 2013-03-21 | オイレス工業株式会社 | Static-pressure gas bearing and method for manufacturing same |
JP2013064433A (en) * | 2011-09-16 | 2013-04-11 | Oiles Corp | Static-pressure gas bearing and method for manufacturing the same |
CN103221701A (en) * | 2011-09-16 | 2013-07-24 | 奥依列斯工业株式会社 | Static-pressure gas bearing and method for manufacturing same |
US9046131B2 (en) | 2011-09-16 | 2015-06-02 | Oiles Corporation | Hydrostatic gas bearing and method of manufacturing the same |
CN103221701B (en) * | 2011-09-16 | 2016-08-03 | 奥依列斯工业株式会社 | Hydrostatic gas-lubricated bearing and manufacture method thereof |
KR101690420B1 (en) * | 2015-07-17 | 2016-12-27 | 한국기계연구원 | Mixed bearing device and driving method thereof |
CN114251363A (en) * | 2020-09-24 | 2022-03-29 | 武汉科技大学 | Aerostatic motorized spindle suitable for active control under vacuum environment condition |
CN114251363B (en) * | 2020-09-24 | 2024-05-03 | 武汉科技大学 | Gas static pressure motorized spindle suitable for active control under vacuum environment condition |
CN114932421A (en) * | 2022-05-25 | 2022-08-23 | 苏州上金数控科技有限公司 | Rotary air supply device and machine tool |
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