JP2007240354A - Micro pipette - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a micro pipette for efficiently delivering liquid such as chemical. <P>SOLUTION: The micro pipette comprises a diaphragm 2 having a first through hole 8 and a holding plate 1 having a second through hole 9. An actuator 10 is disposed on the second surface side of the diaphragm 2, a first extraction electrode 6 and the second extraction electrode 7 are disposed on the fourth surface side of the holding plate 1, the first surface side of the diaphragm 2 is joined to the fourth surface side of the holding plate 1 face to face, and a first electrode 3 and a second electrode 5 are connected to the first extraction electrode 6 and the second extraction electrode 7, respectively. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、薬剤などの液体を効率良く吐出するためのマイクロピペットであり、たとえば一度に多量の薬剤の調合を行うための化学物調合装置として広く用いられる。   The present invention is a micropipette for efficiently discharging a liquid such as a drug, and is widely used as a chemical compounding apparatus for preparing a large amount of drug at a time, for example.

従来、薬剤の精密な調合を行う為に、マイクロピペットが用いられる。このマイクロピペットは通常、圧力制御を行って液体が吐出する量を決めるものであるが、マイクロピペットの先端形状を樹脂などの成型加工物によって形成している。しかしながらこのような樹脂成型物では加工精度からマイクロリットル以下の液体量を制御するには限界があり、超微量の液体制御には不適である。一方、プリンタなどに用いられるインクジェットヘッドに代表される液体吐出デバイスは、近年の微細加工技術によってピコ・リットル程度の液体を制御することができる極めて高精度なものがあるが、通常はプリンタなどの高密度領域、たとえば１００〜６００ドット／インチ、にインクを吹き付けるように設計されているため、薬剤の調合を行う場合に汎用フォーマット、たとえば９ｍｍピッチで薬剤が貯留されるウエルが形成された１２×８フォーマット、４．５ｍｍピッチの２４×１６フォーマット、あるいは２．２５ｍｍピッチの４８×３２フォーマットのような比較的低密度の領域に液体吐出を行う場合には不適である。   Conventionally, a micropipette is used for precise preparation of drugs. This micropipette normally controls the pressure to determine the amount of liquid to be discharged, but the tip of the micropipette is formed by a molded product such as resin. However, such a resin molded product has a limit in controlling the amount of liquid of microliter or less from the processing accuracy, and is unsuitable for controlling a very small amount of liquid. On the other hand, liquid ejection devices typified by ink jet heads used in printers and the like have extremely high precision capable of controlling liquids of about picoliters by recent microfabrication techniques. Designed to spray ink in a high-density area, for example, 100 to 600 dots / inch, a general-purpose format, for example, 12 × in which wells for storing a drug at a pitch of 9 mm are formed when preparing a drug. It is unsuitable when discharging liquid in a relatively low density area such as 8 format, 24 × 16 format with 4.5 mm pitch, or 48 × 32 format with 2.25 mm pitch.

また、高精度で圧力制御を行う基板をシリコンで形成し、圧力制御部を汎用フォーマットに適した配置とする構造について開示されており、汎用フォーマットに適合していながら、高精度に流体の吐出制御を行うことを可能にしている（例えば、非特許文献１参照）。
Ｒｅｉｎｈａｒｄ Ｓｔｅｇｅｒ ｅｔ ａｌ，ＦＩＸＥＤ ＶＯＬＵＭＥ ３８４ ＣＨＡＮＮＥＬ ＮＡＮＯＬＩＴＥＲ ＤＩＳＰＥＮＳＥＲ ＦＯＲ ＨＩＧＨＬＹ ＰＡＲＡＬＬＥＬ ＡＮＤ ＳＩＭＵＬＴＡＮＥＯＵＳ ＬＩＱＵＤＩＤ ＴＲＡＮＳＦＥＲ ＩＮＴＯ ＷＥＬＬ ＰＬＡＴＥＳ，８ｔｈ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ ｏｎ Ｍｉｎｉａｔｕｒｉｚｅｄ Ｓｙｓｔｅｍ ｆｏｒ Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ ａｎｄ Ｌｉｆｅ Ｓｃｉｅｎｃｅｓ Ｓｅｐｒｅｍｂｅｒ ２６−３０，Ｐ５１８〜５２０（２００４） In addition, a structure in which the substrate for pressure control with high accuracy is made of silicon and the pressure control unit is arranged suitable for the general-purpose format is disclosed. (For example, refer nonpatent literature 1).
Reinhard Steger et al, FIXED VOLUME 384 CHANNEL NANOLITER DISPENSER FOR HIGHLY PARALLEL AND SIMULTANEOUS LIQUDID TRANSFER INTO WELL PLATES, 8th International Conference on Miniaturized System for Chemistry and Life Sciences Seprember 26-30, P518~520 (2004)

しかしながら、前記従来の構成では、圧力制御を行う方法として上部に別に圧力を加圧するための機能が必要であり、これらを個別のウエルごとに制御することは容易なことではないという課題を有している。   However, the conventional configuration requires a function to pressurize the pressure separately as a method for performing pressure control, and it is not easy to control these for each individual well. ing.

さらに、同一の基板内に高精度に圧力制御を行う圧力制御部を複数形成する必要があることから、基板を作成するためのコストが多くかかるという課題を有していた。   Furthermore, since it is necessary to form a plurality of pressure control units that perform pressure control with high accuracy in the same substrate, there is a problem that the cost for producing the substrate is high.

本発明は、前記従来の課題を解決するもので、薬剤などの液体を効率よく吐出するためのマイクロピペットを実現するとともに、このマイクロピペットを複数配置することが容易にできることから、多数の薬剤の調合を高速そして高精度に行うことができる。   The present invention solves the above-described conventional problems, and realizes a micropipette for efficiently discharging a liquid such as a drug, and can easily arrange a plurality of micropipettes. Mixing can be performed at high speed and with high accuracy.

上記課題を解決するため、本発明では、第一の貫通孔を有したダイアフラムと、第二の貫通孔を有した保持プレートと、からなるマイクロピペットであって、前記ダイアフラムの片側にアクチュエータが固着されており、前記電極プレートの片側に第一の引き出し電極および第二の引き出し電極が固着されており、前記アクチュエータが第一の引き出し電極、第二の引き出し電極に接続された、マイクロピペットを提供する。このようにアクチュエータを有したダイアフラムを保持プレートに固着させることで、高精度に圧力制御を行う機能を有したアクチュエータが個別に構成されることになり、極めて簡単な構造のマイクロピペットが実現できる。さらにアクチュエータを有したダイアフラムは保持プレート内に自由な配置で構成することが可能なので、マイクロピペットを１２×８列もしくは２４×１６列、もしくは４８×３２列のいずれの配置で複数配置することが簡単にできる。つまり、個別のウエルに対して高精度に圧力制御を行える液体吐出デバイスを、薬剤の調合のために標準で用いられる汎用のフォーマットに配置することが低コストで実現できるのである。   In order to solve the above problems, the present invention is a micropipette comprising a diaphragm having a first through hole and a holding plate having a second through hole, and an actuator is fixed to one side of the diaphragm. And providing a micropipette in which a first extraction electrode and a second extraction electrode are fixed to one side of the electrode plate, and the actuator is connected to the first extraction electrode and the second extraction electrode. To do. Thus, by fixing the diaphragm having the actuator to the holding plate, the actuator having the function of performing pressure control with high accuracy is individually configured, and a micropipette having a very simple structure can be realized. Furthermore, since the diaphragm having the actuator can be configured in the holding plate freely, a plurality of micropipettes can be arranged in any of 12 × 8 rows, 24 × 16 rows, or 48 × 32 rows. Easy to do. That is, it is possible to realize at low cost the arrangement of a liquid ejection device capable of controlling pressure with high accuracy for individual wells in a general-purpose format used as a standard for drug preparation.

本発明のマイクロピペットは、高精度に液体の吐出制御を行うデバイスを低価格で実現できる。さらにこのデバイスは複数配置することが容易にできるので、多数の薬剤の調合を高速そして高精度に行う装置が実現できるのである。   The micropipette of the present invention can realize a device that performs liquid ejection control with high accuracy at a low price. Furthermore, since a plurality of devices can be easily arranged, an apparatus for preparing a large number of drugs at high speed and with high accuracy can be realized.

（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態１におけるマイクロピペットについて図面を用いて説明する。 (Embodiment 1)
Hereinafter, the micropipette according to Embodiment 1 of the present invention will be described with reference to the drawings.

図１は本発明の実施の形態１におけるマイクロピペットの断面図であり、図２および図３は別の例の断面図であり、図４および図５は他の例の断面図である。また図６はマイクロピペットの配置を示す上面図であり、図７は別の例の上面図、図８は他の例の上面図である。さらに、図９はマイクロピペットとマイクロウエルプレートの配置を示す分解斜視図、図１０はその断面図であり、図１１はその使用方法を説明するための断面図である。また図１２は他の例の断面図であり、図１３はその使用方法を説明するための断面図である。   1 is a cross-sectional view of a micropipette according to Embodiment 1 of the present invention, FIGS. 2 and 3 are cross-sectional views of another example, and FIGS. 4 and 5 are cross-sectional views of another example. 6 is a top view showing the arrangement of the micropipette, FIG. 7 is a top view of another example, and FIG. 8 is a top view of another example. Further, FIG. 9 is an exploded perspective view showing the arrangement of the micropipette and the microwell plate, FIG. 10 is a cross-sectional view thereof, and FIG. 11 is a cross-sectional view for explaining the usage method. FIG. 12 is a cross-sectional view of another example, and FIG. 13 is a cross-sectional view for explaining how to use the same.

図１において、１は樹脂よりなる保持プレートであり、２はシリコンよりなるダイアフラムである。このダイアフラム２および保持プレート１には、それぞれ第一の貫通孔８、第二の貫通孔９を設けている。そして、このダイアフラム２の下面側にはアクチュエータ１０を設けており、このアクチュエータ１０はダイアフラム２側から第一の電極３、圧電体４、第二の電極５が順に積層されたものである。   In FIG. 1, 1 is a holding plate made of resin, and 2 is a diaphragm made of silicon. The diaphragm 2 and the holding plate 1 are provided with a first through hole 8 and a second through hole 9, respectively. An actuator 10 is provided on the lower surface side of the diaphragm 2, and the actuator 10 is formed by laminating a first electrode 3, a piezoelectric body 4, and a second electrode 5 in this order from the diaphragm 2 side.

一方、保持プレート１の下面側には第一の引き出し電極６および第二の引き出し電極７を設けるとともに、ダイアフラム２の上面が保持プレート１の下面に面あわせして接合している。   On the other hand, a first extraction electrode 6 and a second extraction electrode 7 are provided on the lower surface side of the holding plate 1, and the upper surface of the diaphragm 2 is joined to the lower surface of the holding plate 1 in a face-to-face relationship.

さらに、この第一の引き出し電極６および第二の引き出し電極７は、それぞれ第一の電極３、第二の電極５へとワイヤーボンディング１８などの手段で接続している。   Further, the first extraction electrode 6 and the second extraction electrode 7 are connected to the first electrode 3 and the second electrode 5 by means such as wire bonding 18, respectively.

前記のような構成によって、本実施の形態１におけるマイクロピペットでは、ダイアフラム２が保持プレート１の第二の貫通孔９の下部に当接されているので、ダイアフラム２の上部には液体を蓄積できる領域が存在する。そして、この領域内に液体を蓄積した状態で、第一の電極３と第二の電極５間に所定の電圧を加えることでダイアフラム２は上下方向に屈曲変位を起こしてダイアフラム２の上下領域間で圧力差を発生させることができることから、ダイアフラム２の上部に蓄積された液体をダイアフラム２の下部へ第一の貫通孔８を通して効率よく吐出することができる。   With the configuration as described above, in the micropipette according to the first embodiment, since the diaphragm 2 is in contact with the lower part of the second through hole 9 of the holding plate 1, liquid can be accumulated on the upper part of the diaphragm 2. An area exists. Then, with the liquid accumulated in this region, a predetermined voltage is applied between the first electrode 3 and the second electrode 5 so that the diaphragm 2 is bent and displaced in the vertical direction, so that the upper and lower regions of the diaphragm 2 Therefore, the liquid accumulated in the upper part of the diaphragm 2 can be efficiently discharged through the first through hole 8 to the lower part of the diaphragm 2.

このような構成は、アクチュエータ１０を形成したダイアフラム２を、樹脂などによる保持プレート１に接合し、電気配線を行うだけで容易に実現できることから、ダイアフラム２の上部に貯留している液体を高精度に容量を制御して効率よく吐出させるマイクロピペットを極めて容易に実現することができる。   Such a configuration can be easily realized simply by joining the diaphragm 2 on which the actuator 10 is formed to the holding plate 1 made of resin and performing electrical wiring, so that the liquid stored in the upper part of the diaphragm 2 can be accurately obtained. In addition, it is possible to realize a micropipette that discharges efficiently while controlling the volume.

そして、少なくとも第一の電極３を白金とし、圧電体４をチタン酸ジルコン酸鉛とすることが好ましい。これによって、アクチュエータ１０の変位量は大きなものとなりダイアフラム２の屈曲変位量を増大させ、上下領域における圧力差も大きくなるので、より幅広い量の液体の吐出制御を実現できる。   It is preferable that at least the first electrode 3 is platinum and the piezoelectric body 4 is lead zirconate titanate. Accordingly, the displacement amount of the actuator 10 becomes large, the bending displacement amount of the diaphragm 2 is increased, and the pressure difference in the upper and lower regions is also increased, so that it is possible to control the discharge of a wider amount of liquid.

また、第一の貫通孔８の下部側には、図２に示すように窪み１１を形成することが好ましい。これにより、第一の貫通孔８内に浸透する第一の液体１５は窪み１１内で図３に示すように安定したメニスカス形状を形成することから、より安定した流体の吐出量を制御することが可能になる。   Moreover, it is preferable to form the hollow 11 in the lower part side of the 1st through-hole 8, as shown in FIG. Thereby, the first liquid 15 penetrating into the first through-hole 8 forms a stable meniscus shape in the recess 11 as shown in FIG. Is possible.

また、図４に示すようにダイアフラム２に設けられた第一の貫通孔８を複数形成することが好ましい。これによって、より広い範囲に均一に液体を吐出することが可能になる。   Moreover, it is preferable to form a plurality of first through holes 8 provided in the diaphragm 2 as shown in FIG. This makes it possible to discharge liquid uniformly over a wider range.

さらに、図５に示すようにダイアフラム２は複数個、保持プレート１に設置しており、これを設置する配置は図６に示すように１２×８列の９６個、あるいは図７に示すように２４×１６列の３８４個、あるいは図８に示すように４８×３２列の１５３６個である。これらの配列は標準的に用いられるマイクロウエルプレート１４と同じであり、図９の斜視図および図１０の断面図は２４×１６列の３８４個のウエルを配置したマイクロウエルプレート１４の例を示しているが、このようにマイクロウエルプレート１４の上部に、前記マイクロウエルプレート１４に対応して配置したダイアフラム２を複数保持したマイクロピペットをセットすれば、各ウエルに対して高精度な液体量の制御を実現することができる。   Further, a plurality of diaphragms 2 are installed on the holding plate 1 as shown in FIG. 5, and the arrangement for installing them is 96 in 12 × 8 rows as shown in FIG. 6, or as shown in FIG. There are 384 24 × 16 rows or 1536 48 × 32 rows as shown in FIG. These arrangements are the same as the standard microwell plate 14, and the perspective view of FIG. 9 and the cross-sectional view of FIG. 10 show examples of the microwell plate 14 in which 384 wells in 24 × 16 rows are arranged. However, if a micropipette holding a plurality of diaphragms 2 arranged corresponding to the microwell plate 14 is set on the microwell plate 14 in this way, a high-accuracy liquid amount can be obtained for each well. Control can be realized.

なお、図１１に示すようにダイアフラム２の上部領域においては同一種類の第一の液体１５を全てのダイアフラム２に行き渡るような共通領域とすることができる。この場合は最外周に外壁１３を設けておいて、同一種類の第一の液体１５を上部から一括で供給し、各ダイアフラム２に設置されたアクチュエータ１０の変位量をそれぞれ電気的に制御することで、各第一の貫通孔８から個別に吐出量を変更することができる。   As shown in FIG. 11, in the upper region of the diaphragm 2, the same type of the first liquid 15 can be made a common region that reaches all the diaphragms 2. In this case, the outer wall 13 is provided on the outermost periphery, the same type of the first liquid 15 is supplied from the top, and the displacement amount of the actuator 10 installed in each diaphragm 2 is electrically controlled. Thus, the discharge amount can be individually changed from each first through hole 8.

また、別の方法として、図１２に示すようにダイアフラム２の上部を樹脂による外壁１３を設置することによってそれぞれの第一の貫通孔８に対応したリザーバー１９を形成している。このリザーバー１９は液体などを貯留しておくためのものである。このように構成することによって、図１３に示すように各ダイアフラム２へ供給される液体の種類を、例えば第一の液体１５、第二の液体１６、第三の液体１７というように異なる種類の液体をそれぞれのリザーバー１９に蓄積しておくことができることから、各ウエルへ違った液体を効率よく供給することができる。   As another method, as shown in FIG. 12, the reservoir 19 corresponding to each first through hole 8 is formed by installing an outer wall 13 made of resin on the upper part of the diaphragm 2. The reservoir 19 is for storing a liquid or the like. With this configuration, as shown in FIG. 13, the types of liquids supplied to the diaphragms 2 are different types such as the first liquid 15, the second liquid 16, and the third liquid 17. Since liquid can be stored in each reservoir 19, different liquids can be efficiently supplied to each well.

（実施の形態２）
次に本発明の実施の形態２におけるマイクロピペットについて図面を用いて説明する。 (Embodiment 2)
Next, the micropipette in Embodiment 2 of this invention is demonstrated using drawing.

図１４は本発明の実施の形態２におけるマイクロピペットの断面図である。本実施の形態２におけるマイクロピペットの構成において、実施の形態１と異なる点は、ダイアフラム２の上面側の外周部に枠体１２を当接していることである。この構成によって、枠体１２を保持プレート１の第二の貫通孔９の内部に挿入することが可能になり、ダイアフラム２を保持プレート１に設置することが容易にできるという製造上の利点を有する。   FIG. 14 is a cross-sectional view of the micropipette according to Embodiment 2 of the present invention. The configuration of the micropipette in the second embodiment is different from the first embodiment in that the frame body 12 is in contact with the outer peripheral portion on the upper surface side of the diaphragm 2. With this configuration, the frame body 12 can be inserted into the second through hole 9 of the holding plate 1, and there is a manufacturing advantage that the diaphragm 2 can be easily installed on the holding plate 1. .

そして、第一の電極３を白金とし、圧電体４をチタン酸ジルコン酸鉛とすることが好ましい。これによって、アクチュエータ１０の変位量は大きなものとなりダイアフラム２の屈曲変位量を増大させ、上下領域における圧力差も大きくなるので、より幅広い量の液体吐出の制御ができる。   The first electrode 3 is preferably platinum and the piezoelectric body 4 is preferably lead zirconate titanate. As a result, the displacement amount of the actuator 10 is increased, the bending displacement amount of the diaphragm 2 is increased, and the pressure difference in the upper and lower regions is also increased, so that a wider amount of liquid discharge can be controlled.

さらに上記構成は実施の形態１の図４で示したのと同様、好ましくは、第一の貫通孔８の下部側には、窪み１１を形成している。これにより、第一の貫通孔８内に浸透する液体は窪み１１内で安定したメニスカス形状を形成するので、より安定した吐出量制御が可能になる。   Further, the configuration is the same as that shown in FIG. 4 of the first embodiment, and preferably a recess 11 is formed on the lower side of the first through hole 8. As a result, the liquid that permeates into the first through-hole 8 forms a stable meniscus shape in the recess 11, thereby enabling more stable discharge amount control.

また好ましくは、実施の形態１の図６に示したのと同様、ダイアフラム２に設けられた第一の貫通孔８は複数である。これによって、より広い範囲に均一に液体を吐出することが可能になる。   Preferably, the first through-holes 8 provided in the diaphragm 2 are plural, as shown in FIG. 6 of the first embodiment. This makes it possible to discharge liquid uniformly over a wider range.

また、実施の形態１の図５に示したのと同様に、ダイアフラム２を複数個、保持プレート１に形成することが好ましい。そして、これを形成する配置は１２×８列の９６個、２４×１６列の３８４個あるいは４８×３２列の１５３６個である。これらの配列は標準的に用いられるマイクロウエルプレートと同じであり、これら標準のマイクロウエルプレートの各ウエルに対して精度良く配置したダイアフラム２を配置することができることから効率よく液体量の制御ができる。なお、前記ダイアフラム２の上部領域においては、実施の形態１の図１１で示したのと同様に、同一種類の液体がすべてのダイアフラム２に行き渡るよう共通領域とすることができる。この場合は同一種類の液体を上部から一括で供給し、各ダイアフラム２に設置されたアクチュエータ１０の変位量をそれぞれ電気的に制御することで、各ウエルに対して吐出量を個別に変更することも可能である。   Further, it is preferable to form a plurality of diaphragms 2 on the holding plate 1 as shown in FIG. 5 of the first embodiment. There are 96 arrangements of 12 × 8 rows, 384 pieces of 24 × 16 rows, or 1536 pieces of 48 × 32 rows. These arrangements are the same as the microwell plates used as standard, and the diaphragm 2 arranged with high precision can be arranged in each well of these standard microwell plates, so that the amount of liquid can be controlled efficiently. . In the upper region of the diaphragm 2, as shown in FIG. 11 of the first embodiment, a common region can be used so that the same type of liquid reaches all the diaphragms 2. In this case, the same type of liquid is supplied from the top and the displacement amount of the actuator 10 installed in each diaphragm 2 is electrically controlled to individually change the discharge amount for each well. Is also possible.

また、別の方法として、図１２に示した構成と同様にしてダイアフラム２の上部を樹脂による外壁１３を設置してリザーバー１９を設けることによって、各ダイアフラム２へ供給される液体の種類を変えて蓄積しておくことができるので、各ウエルへ違った液体を効率よく供給することができる。   As another method, the kind of liquid supplied to each diaphragm 2 can be changed by installing a reservoir 19 by installing an outer wall 13 made of resin on the upper part of the diaphragm 2 in the same manner as the configuration shown in FIG. Since it can be accumulated, a different liquid can be efficiently supplied to each well.

以上のように本発明にかかるマイクロピペットは薬剤の調合を高精度に、また多数の調合を高速に行うための化合物調合装置として用いられ、たとえば薬剤開発を高速で行う薬品スクリーニング工程などで有用である。   As described above, the micropipette according to the present invention is used as a compound preparation device for preparing a drug with high accuracy and a large number of preparations at high speed. For example, it is useful in a drug screening process for developing a drug at high speed. is there.

本発明の実施の形態１におけるマイクロピペットの断面図Sectional drawing of the micropipette in Embodiment 1 of this invention 同別の例の断面図Cross section of another example 同断面図Cross section 同他の例の断面図Cross section of other example 同他の例の断面図Cross section of other example 同マイクロピペットの配置を示す上面図Top view showing the arrangement of the micropipette 同他の例の上面図Top view of another example 同他の例の上面図Top view of another example 同マイクロピペットとマイクロウエルプレートの配置を示す分解斜視図Exploded perspective view showing the arrangement of the micropipette and microwell plate 同断面図Cross section 同使用方法を説明するための断面図Sectional view for explaining the usage 同他の例の断面図Cross section of other example 同使用方法を説明するための断面図Sectional view for explaining the usage 本発明の実施の形態２におけるマイクロピペットの断面図Sectional drawing of the micropipette in Embodiment 2 of this invention

符号の説明Explanation of symbols

１ 保持プレート
２ ダイアフラム
３ 第一の電極
４ 圧電体
５ 第二の電極
６ 第一の引き出し電極
７ 第二の引き出し電極
８ 第一の貫通孔
９ 第二の貫通孔
１０ アクチュエータ
１１ 窪み
１２ 枠体
１３ 外壁
１４ マイクロウエルプレート
１５ 第一の液体
１６ 第二の液体
１７ 第三の液体
１８ ワイヤーボンディング
１９ リザーバー DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Holding plate 2 Diaphragm 3 1st electrode 4 Piezoelectric body 5 2nd electrode 6 1st extraction electrode 7 2nd extraction electrode 8 1st through-hole 9 2nd through-hole 10 Actuator 11 Depression 12 Frame 13 External wall 14 Microwell plate 15 First liquid 16 Second liquid 17 Third liquid 18 Wire bonding 19 Reservoir

Claims (7)

第一面側から第二面側へ貫通する第一の貫通孔を有したダイアフラムと、第三面側から第四面側へ貫通する第二の貫通孔を有した保持プレートとからなるマイクロピペットであって、前記ダイアフラムの第二面側に第一の電極、圧電体および第二の電極からなるアクチュエータを設け、前記保持プレートの第四面側に第一の引き出し電極と第二の引き出し電極を設け、前記ダイアフラムの第一面側が前記保持プレートの第四面側とを面あわせに接合し、前記第一の電極と第二の電極を、それぞれ第一の引き出し電極と第二の引き出し電極に接続したマイクロピペット。 A micropipette comprising a diaphragm having a first through hole penetrating from the first surface side to the second surface side, and a holding plate having a second through hole penetrating from the third surface side to the fourth surface side An actuator comprising a first electrode, a piezoelectric body and a second electrode is provided on the second surface side of the diaphragm, and a first extraction electrode and a second extraction electrode are provided on the fourth surface side of the holding plate. A first surface side of the diaphragm and a fourth surface side of the holding plate are joined to each other, and the first electrode and the second electrode are respectively connected to the first extraction electrode and the second extraction electrode. Micropipette connected to. 第一面側から第二面側へ貫通する第一の貫通孔を有したダイアフラムと、第三面側から第四面側へ貫通する第二の貫通孔を有した保持プレートとからなるマイクロピペットであって、前記ダイアフラムの第一面側の外周部に枠体を設け、前記ダイアフラムの第二面に第一の電極、圧電体および第二の電極からなるアクチュエータを設け、前記保持プレートの第四面側に第一の引き出し電極と第二の引き出し電極を設け、前記枠体を前記保持プレートの第二の貫通孔に挿入して固着し、前記第一の電極と第二の電極を、それぞれ第一の引き出し電極と第二の引き出し電極に接続したマイクロピペット。 A micropipette comprising a diaphragm having a first through hole penetrating from the first surface side to the second surface side, and a holding plate having a second through hole penetrating from the third surface side to the fourth surface side A diaphragm is provided on an outer peripheral portion of the diaphragm on the first surface side, an actuator including a first electrode, a piezoelectric body, and a second electrode is provided on the second surface of the diaphragm; The first lead electrode and the second lead electrode are provided on the four sides, the frame is inserted into the second through hole of the holding plate and fixed, and the first electrode and the second electrode are A micropipette connected to the first extraction electrode and the second extraction electrode, respectively. マイクロピペットを１２×８列、２４×１６列、または４８×３２列のいずれかの配置で複数有した請求項１または請求項２に記載のマイクロピペット。 The micropipette according to claim 1 or 2, wherein the micropipette has a plurality of micropipettes arranged in any of 12 x 8 rows, 24 x 16 rows, or 48 x 32 rows. 保持プレートの第一面側に、ウエルの外径を取り囲む外壁部を設けた請求項１または請求項２に記載のマイクロピペット。 The micropipette according to claim 1 or 2, wherein an outer wall portion surrounding the outer diameter of the well is provided on the first surface side of the holding plate. 第一の貫通孔の第二面側に窪みを形成した請求項１または請求項２に記載のマイクロピペット。 The micropipette according to claim 1 or 2, wherein a depression is formed on the second surface side of the first through hole. ダイアフラムに第一の貫通孔を複数形成した請求項１または請求項２に記載のマイクロピペット。 The micropipette according to claim 1 or 2, wherein a plurality of first through holes are formed in the diaphragm. 第一の電極を白金とし、圧電体をチタン酸ジルコン酸鉛とした請求項１または請求項２に記載のマイクロピペット。 The micropipette according to claim 1 or 2, wherein the first electrode is platinum and the piezoelectric body is lead zirconate titanate.
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