JP2007240344A - 動的形状計測方法及び動的形状計測装置 - Google Patents
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Abstract
高速周期動作をしている計測対象(MEMS)の形状を計測するためには干渉縞強度を得るために露光時間を長くとる必要があり、これにより計測時間が非常に多くなる問題がある。
【解決手段】
ストロボ位相シフト干渉装置において、光路差を設定し、設定した光路差に対し3点以上の複数位相で動作中のMEMSの高さを計測し、動作状態のMEMSの高さ軌跡の推定式を算出し動作状態のMEMSの形状を計算により求める。
【選択図】図1
Description
は以下となる。
Matthew R.Hart et al.‘Strobscopic Interferometer System for Dynamic MEMS Chracteraization’、JOURNAL OF MICROELECTRONICAL SYSTEMS、VOL.9、NO4、DECEMBER 2000。
周期運動をしている計測対象の干渉縞の撮像には図10の(2)に示すように、ある1つの位相に対し複数の時刻でストロボ発光し干渉縞を撮像する。この周期運動における「位相」表現と位相シフト法での「位相」表現の区別が付き難いと考えられる。このため、以下では本来周期運動における「位相」と表現すべき部分もストロボ発光時刻に対応する「時刻」と表現することにする。
S1:少なくとも3点以上の軌跡推定点で計測対象の高さを計測する。なお計測対象の高さ計測手順は後述のS11からS16で説明する。
S2、S3:軌跡推定点で計測した高さから計測対象の高さ変化軌跡を推定する軌跡z(x,y,t)を算出する。
S3:軌跡z(x,y,t)より計測対象の動画表示等での表示に必要な時刻での高さを算出する。
S11:ピエゾステージで計測対象の位置を動かし、所定の光路差に変更する。
S12:光源ドライバで所定の光源の発光タイミングに変更し、ハーフミラーを介して計測サンプルと参照ミラーに照射する。
S13:結像レンズで結ばれた干渉縞をCCDカメラで撮影し、PCや信号制御回路内のメモリに干渉縞画像を格納する。
S14:予め設定した全てのストロボ発光タイミングでの撮影を終えたならS15に進み、終えていないならS12に戻り次ぎの発光タイミングでの照射を行う。
S15:位相シフト法で高さを算出するために必要な複数の光路差を設定しておき、設定した全ての光路差での撮影を終えたならS16に進み、終えていないならS11に戻り、次ぎの光路差に変更する。
S16:PCあるいは信号制御回路内の全ての干渉縞画像から計測対象の動的状態の高さを算出する。高さの算出方法は前述の位相シフトで説明した方法で行う。例えば4点で算出場合式4と式5で行う。
(実施例2)
これまでの説明では計測対象の挙動が式6におよそ従うものとしたが、もともと計測対象の動的挙動が式6に従わない場合や、動的挙動は式6に従うが、計測ノイズなどの原因により推定結果が不正確になる場合が考えられる。
S21:図2あるいは図4で述べた複数の軌跡推定点で計測した高さから軌跡z(x,y,t)を推定する。
S22:予め定めた少なくも1点以上の軌跡検証点で計測対象の高さを計測する。
S23:軌跡検証点での高さ計測値と軌跡推定式から算出した高さの差D(x,y)を求める。
S24:高さの差D(x,y)の値より軌跡z(x,y,t)の妥当性を評価する。評価基準として例えば、複数画素のD(x,y)を平均した値である平均誤差<D>があらかじめ指定した閾値Dth以下である場合、軌跡z(x,y,t)は適切と判断する。適切と判断した場合はS25に進み、そうでない場合はS26に進む。
S25:軌跡z(x,y,t)は適切として、必要な全ての時刻における高さ軌跡z(x,y,t)より算出し、モニタ表示などの後処理を行う。
S26、S27:軌跡推定点を追加する。
S28:軌跡推定点の総数が所定数Nthを越えても平均誤差<D>が閾値Dth以下とならない場合には、もともとの動的挙動が式6に従わないものと判断し、動的表示に必要な全ての位相を計測するモードに切り替える。
S29:追加した軌跡推定点で計測対象の高さを測定し、追加した軌跡推定点を併せた高さの高さ計測値から算出した軌跡z(x,y,t)を算出・更新し、S23に戻る。
(付記1)
周期的動作をしている計測対象に対しストロボ光源から前記計測対象と参照ミラーに照射して前記計測対象から反射した光と前記参照ミラーから反射した光の干渉縞より前記計測対象の動的形状を計測する動的形状計測方法であって、
前記計測対象の動作周期に同期させて前記計測対象の軌跡を推定する少なくとも3点以上の複数位相で指定する軌跡推定点において前記計測対象の干渉縞を撮像して高さを計測し、
前記軌跡推定点で計測した高さより前記計測対象の周期動作の高さ軌跡を推定する軌跡推定式を算出し、
前記算出した軌跡推定式より前記計測対象の任意の位相における動的形状を算出することを特徴とする計測対象の動的形状計測方法。
(付記2)
周期的動作をしている計測対象に対しストロボ光源から前記計測対象と参照ミラーに照射して前記計測対象から反射した光と前記参照ミラーから反射した光の干渉縞より前記計測対象の動的形状を計測する動的形状計測方法であって、
前記計測対象を動作させ前記ストロボ光源から照射し前記計測対象と前記参照ミラー間の光路差を干渉法に必要な複数の状態に変更し、
前記各光路差に対し前記計測対象の軌跡を推定する少なくとも3点以上の複数位相で指定する軌跡推定点において干渉縞画像を撮像して高さを計測し、
前記軌跡推定点で計測した高さより前記計測対象の高さ軌跡を推定する軌跡推定式を算出し、
前記算出した軌跡推定式より前記計測対象の任意位相における動的形状を算出することを特徴とする計測対象の動的形状計測方法。
(付記3)
付記2記載の動的形状計測方法であって、
さらに前記軌跡推定式の検証を行う少なくも1点以上の軌跡検証点で前記計測対象の高さを計測し、
前記軌跡推定式からの前記計測対象の高さと前記軌跡検証点で計測した高さとの差を閾値により評価し、
前記閾値による評価が予め定めた評価基準を満たさない場合は前記軌跡推定点を追加して前記計測対象の高さを計測し、
前記軌跡推定式を新たに算出する手順を加えたことを特徴とする
付記2記載の計測対象の動的形状計測方法。
(付記4)
周期的動作をしている計測対象に対しストロボ光源から前記計測対象と参照ミラーに照射して前記計測対象から反射した光と前記参照ミラーから反射した光の干渉縞より前記計測対象の動的形状を計測する動的形状計測装置であって、
前記動的形状計測装置は、前記計測対象と前記参照ミラーの間の光路差を変更する手段と、
前記光路差に対し前記計測対象の軌跡を推定する少なくとも3点以上の複数位相で指定する軌跡推定点において前記計測対象の高さを計測する手段と、
を備えたことを特徴とする計測対象の動的形状計測装置。
(付記5)
付記4記載の周期的動作の計測対象の動的形状計測装置において、
前記軌跡推定点で計測した高さより前記計測対象の周期動作の高さ軌跡を推定する推定式を算出する手段と、
前記軌跡推定式から算出して任意位相における計測対象の形状を予測する手段と、
をさらに備えたことを特徴とする
付記4記載の計測対象の動的形状計測装置。
(付記6)
付記4記載の計測対象の動的形状計測装置において、
前記軌跡推定点で計測した前記計測対象の高さと前記軌跡推定式から算出した前記計測対象の高さを組み合わせて前記計測対象の周期的動作を動的表示する動的表示手段をさらに備えたことを特徴とする付記4記載の動的形状計測装置。
(付記7)
付記3記載の計測対象の動的形状計測方法であって、
前記閾値は予め計測再現性のある平面度の高い計測対象を計測評価した計測値標準偏差に所定の定数を乗じた値を設定すること特徴とする付記3記載の計測対象の動的形状計測方法。
(付記8)
付記3記載の計測対象の動的形状計測方法であって、
前記軌跡推定点を追加した点数があらかじめ定めた所定の定数を越えた場合は予め定めた全ての計測位相で計測する全位相計測モードに移行して前記計測対象の形状を計測すること特徴とする付記3記載の動的形状計測方法。
(付記9)
付記8記載の計測対象の動的形状計測方法であって、
前記全位相モードに移行判断する前記追加する軌跡推定点の数は前記計測対象に係る所定の数を予め設定することを特徴とする付記8記載の動的形状計測方法。
(付記10)
付記1記載の計測対象の動的形状計測方法であって、
前記軌跡推定式は前記計測対象の時間的変位、及び変形が周期的に変化することを前提に軌跡推定式を推定することを特徴とする付記1記載の動的形状計測方法。
2 ハーフミラー
3 計測サンプル(MEMS)
4 参照ミラー
5 ピエゾステージ
6 サンプル位置制御用ステージ
7 結像レンズ
8 CCDカメラ
9 信号制御回路
10 PC
11 モニタ
12 パルス発生器
13 光源ドライバ
14 サンプル駆動ドライバ
Claims (5)
- 周期的動作をしている計測対象に対しストロボ光源から前記計測対象と参照ミラーに照射して前記計測対象から反射した光と前記参照ミラーから反射した光の干渉縞より前記計測対象の動的形状を計測する動的形状計測方法であって、
前記計測対象の動作周期に同期させて前記計測対象の軌跡を推定する少なくとも3点以上の複数位相で指定する軌跡推定点において前記計測対象の干渉縞を撮像して高さを計測し、
前記軌跡推定点で計測した高さより前記計測対象の周期動作の高さ軌跡を推定する軌跡推定式を算出し、
前記算出した軌跡推定式より前記計測対象の任意の位相における動的形状を算出することを特徴とする計測対象の動的形状計測方法。 - 周期的動作をしている計測対象に対しストロボ光源から前記計測対象と参照ミラーに照射して前記計測対象から反射した光と前記参照ミラーから反射した光の干渉縞より前記計測対象の動的形状を計測する動的形状計測方法であって、
前記計測対象を動作させ前記ストロボ光源から照射し前記計測対象と前記参照ミラー間の光路差を干渉法に必要な複数の状態に変更し、
前記各光路差に対し前記計測対象の軌跡を推定する少なくとも3点以上の複数位相で指定する軌跡推定点において干渉縞画像を撮像して高さを計測し、
前記軌跡推定点で計測した高さより前記計測対象の高さ軌跡を推定する軌跡推定式を算出し、
前記算出した軌跡推定式より前記計測対象の任意位相における動的形状を算出することを特徴とする計測対象の動的形状計測方法。 - 請求項2記載の動的形状計測方法であって、
さらに前記軌跡推定式の検証を行う少なくも1点以上の軌跡検証点で前記計測対象の高さを計測し、
前記軌跡推定式からの前記計測対象の高さと前記軌跡検証点で計測した高さとの差を閾値により評価し、
前記閾値による評価が予め定めた評価基準を満たさない場合は前記軌跡推定点を追加して前記計測対象の高さを計測し、
前記軌跡推定式を新たに算出する手順を加えたことを特徴とする請求項2記載の計測対象の動的形状計測方法。 - 周期的動作をしている計測対象に対しストロボ光源から前記計測対象と参照ミラーに照射して前記計測対象から反射した光と前記参照ミラーから反射した光の干渉縞より前記計測対象の動的形状を計測する動的形状計測装置であって、
前記動的形状計測装置は、前記計測対象と前記参照ミラーの間の光路差を変更する手段と、
前記光路差に対し前記計測対象の軌跡を推定する少なくとも3点以上の複数位相で指定する軌跡推定点において前記計測対象の高さを計測する手段と、
を備えたことを特徴とする計測対象の動的形状計測装置。 - 請求項4記載の周期的動作の計測対象の動的形状計測装置において、
前記軌跡推定点で計測した高さより前記計測対象の周期動作の高さ軌跡を推定する推定式を算出する手段と、
前記軌跡推定式から算出して任意位相における計測対象の形状を予測する手段と、
をさらに備えたことを特徴とする請求項4記載の計測対象の動的形状計測装置。
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