JP2007239464A - ロータ軸と回転体との固定構造及び該固定構造を有するターボ分子ポンプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】締結部253の上面において、貫通軸部255が形成された部分から、当接面257の内周までの部分には、当接面257よりも上面が凹んだ座グリ部259が形成されている。また、この座グリ部259の上面も軸方向に対し垂直に加工されている。更に、ボルト穴161と貫通軸部255の間であって、かつ貫通軸部255から長さL3程離れた位置には径方向の長さがL4の環状凸部261が座グリ部259の深さD1だけ突設されている。この環状凸部261は、貫通軸部255と同心状に配設されている。
【選択図】図1
Description
これらの半導体は、極めて純度の高い半導体基板に不純物をドープして電気的性質を与えたり、半導体基板上に微細な回路パターンを形成し、これを積層する等して製造される。
図10において、ターボ分子ポンプ本体100は、円筒状の外筒127の上端に吸気口101が形成されている。また、外筒127の内方には、ガスを吸引排気するためのタービンブレードによる複数の回転翼102a、102b、102c・・・を周部に放射状かつ多段に配設した回転体103が設けられている。この回転体103は、有天の略円筒状の部材となっており、その内側から回転体103の中心にロータ軸113が貫通固定されている。このロータ軸113と回転体103との固定部分の構造に関しては、後に詳述する。
このように、磁気軸受は、ロータ軸113に及ぼす磁力を適当に調節することで、ロータ軸113を磁気浮上させ、非接触で保持するようになっている。
なお、上記では、ネジ付きスペーサ131は回転翼102dの外周に配設し、ネジ付きスペーサ131の内周面にネジ溝131aが刻設されているとして説明した。しかしながら、これとは逆に回転翼102dの外周面にネジ溝が刻設され、その周囲に円筒状の内周面を有するスペーサが配置される場合もある。
なお、上述のように、ロータ軸113の当接面157と、この当接面157に接触する回転体103側の当接面187とが共に平面にて加工され、ボルトで締結される点は例えば特許文献1及び特許文献2にも記載されている。
なお、保持部材は、座グリ部から突設されるのではなく、板状の独立した部材として座グリ部と回転体側当接面間に介設されても良い。また、回転体側より突設されても良い。
本発明の実施形態であるロータ軸と回転体との固定部分の拡大構成図を図1に、ロータ軸の部分構成図を図2に示す。なお、図2(a)はロータ軸の縦断面図であり、図2(b)はその平面図である。また、図10〜図13と同一要素のものについては同一符号を付して説明は省略する。
そして、この締結部253の上面の外周部には、回転体103の当接面187と接触するロータ軸213側の当接面257が同心状に形成されている。具体的には、当接面257は、締結部253の上面において従来のボルト穴161が開口された場所よりも更に外周側から、上面の最外周縁までの部分に形成されており、締結部253の上面の径方向長さL1が例えば5mm程度形成されている。また、この当接面257は軸方向に対し垂直にかつ平面状に加工されている。
更に、ボルト穴161と貫通軸部255の間であって、かつ貫通軸部255から長さL3(例えば0.5mm)程離れた位置には径方向の長さがL4(例えば1mm)の環状凸部261が座グリ部259の深さD1だけ突設されている。この環状凸部261は、貫通軸部255と同心状に配設されている。
上述したように、座グリ部259を有するだけでもメッキの盛り上がりに対し有効であり、ロータ軸213及び回転体103の接触状態は安定する。
しかしながら、隙間265の存在により、ボルト通し穴185及びボルト穴161に対しボルト191が通され締結される際に、過度の締結をすると回転体103の貫通軸部255よりの部分がたわむおそれがあった。
また、この環状凸部261は、必ずしも環状に連続して配設される必要はなく、図5に示すように、複数の突設部材267として配設されても良い。この突設部材267は、ボルト191締結の際のたわみ防止の観点からは、ボルト穴161と貫通軸部255の間にそれぞれ一つずつ配設されれば十分である。また、環状凸部261は座グリ部259より突設として説明したが、回転体103側より突設されても良い。なお、この環状凸部261、突設部材267は、保持部材に相当する。
図6に示すように、座グリ部271が貫通軸部255回りに座グリの断面形状が角形に形成されている。この座グリ部271により、貫通軸部255に最も近い部分の角部B1に生じたメッキの盛り上がり部分を吸収することができる。
そして、ボルト穴161の頭部外周部275には、メッキの盛り上がり部分を避けるため、従来例と比較し大きな寸法の面取り(面取り寸法1.5以上)が施されている。
このことにより、メッキの自然乾燥中にメッキ液が当接面187に流れ易くなり、メッキの盛り上がり部分は無くなる。
なお、面取り部279の全体に対し傾斜角度αを施す必要はなく、当接面187との境界部分のみに施されても良い。
以上により、メッキの盛り上がりが無くなるので、当接面257と当接面187との密着に影響を与えることはない。従って、ロータ軸213及び回転体103の接触状態は安定する。
このロータ軸と回転体との固定部分の拡大構成図を図9に示す。
一方、ロータ軸613の締結部653の上面で、当接面257の内周側には、図1のロータ軸213と同様に、座グリ部659が形成されている。そして、ボルト穴161の開口の内側に環状凸部261が設けられている。この環状凸部261の頭部が回転体503の当接面187に接することで当接面187は保持され、ボルト191の締結の際にも回転体503がたわむことは無くなる。
また、回転体503の当接面187には、回転体503の内側から上方に向けて凹部581が形成されている。
従って、ロータ軸613及び回転体503の接触状態を安定させることができる。このことにより、設計容易なロータ軸613と回転体503との固定構造を適宜選択可能となる。なお、この環状凸部261に代えて中央に隙間665を有さない円柱状凸部とされてもよい。
102 回転翼
103、503 回転体
104 上側径方向電磁石
105 下側径方向電磁石
106A、106B 軸方向電磁石
107 上側径方向センサ
108 下側径方向センサ
109 軸方向センサ
113、213、613 ロータ軸
121 モータ
123 固定翼
125 固定翼スペーサ
127 外筒
129 ベース部
151 主軸部
153、253、653 締結部
155、255 貫通軸部
157、187、257 当接面
161 ボルト穴
183 中心穴
185 ボルト通し穴
191 ボルト
200 制御装置
259、659、271 座グリ部
261 環状凸部
263 メネジ
265、665 隙間
267 突設部材
275、277 頭部外周部
279、281 面取り部
283、285 曲面加工
Claims (9)
- 回転体と、
該回転体に固定されるロータ軸と、
該ロータ軸と前記回転体との締結を行うためのボルト穴と、
該ボルト穴を用いて前記ロータ軸と前記回転体との締結を行う締結手段と、
前記回転体の側で軸方向に対し垂直に形成された回転体側当接面と、
前記ロータ軸の側で前記回転体側当接面と当接されたロータ軸側当接面と、
該ロータ軸側当接面より凹んだ座グリ部と、
該座グリ部と前記回転体側当接面間を保持する保持部材とを備え、
前記締結により、前記回転体側当接面と前記座グリ部との間には隙間が形成され、該隙間に向けて前記ボルト穴が開口されることを特徴とするロータ軸と回転体との固定構造。 - 回転体と、
該回転体に固定されるロータ軸と、
該ロータ軸に配設されたボルト穴と、
該ボルト穴に対し位置を合わせるように前記回転体側に配設されたボルト通し穴と、
該ボルト通し穴及び前記ボルト穴を貫通し前記ロータ軸と前記回転体との締結を行う締結手段と、
前記回転体の側で軸方向に対し垂直に形成された回転体側当接面と、
前記ロータ軸の側で前記回転体側当接面と当接されたロータ軸側当接面と、
該ロータ軸側当接面における前記ボルト穴の端部周囲は、前記ボルト通し穴の開口端縁部に形成されるメッキの垂れ下がり部を避けるように該ボルト通し穴の開口端縁部と対する位置より所定長分外方にまで面取りされたことを特徴とするロータ軸と回転体との固定構造。 - 前記面取りの寸法が1.5以上5以下であることを特徴とする請求項2記載のロータ軸と回転体との固定構造。
- 回転体と、
該回転体に固定されるロータ軸と、
該ロータ軸に配設されたボルト穴と、
該ボルト穴に対し位置を合わせるように前記回転体側に配設されたボルト通し穴と、
該ボルト通し穴及び前記ボルト穴を貫通し前記ロータ軸と前記回転体との締結を行う締結手段と、
前記回転体の側で軸方向に対し垂直に形成された回転体側当接面と、
該回転体側当接面におけるボルト通し穴の端部周囲は、該回転体側当接面に対し45度より小さい傾斜角度にて面取り形成され、
自然乾燥中のメッキが該回転体側当接面に向けて流れることにより液垂れに伴うメッキの垂れ下がり部が形成されないことを特徴とするロータ軸と回転体との固定構造。 - 中央に中心穴を有する回転体と、
該回転体の中心穴に対し貫通軸部が貫通固定されるロータ軸と、
該ロータ軸に配設されたボルト穴と、
該ボルト穴に対し位置を合わせるように前記回転体側に配設されたボルト通し穴と、
該ボルト通し穴及び前記ボルト穴を貫通し前記ロータ軸と前記回転体との締結を行う締結手段と、
前記回転体の側で軸方向に対し垂直に形成された回転体側当接面と、
該回転体側当接面における貫通軸部回り端部は、該回転体側当接面に対し45度より小さい傾斜角度にて面取り形成され、
自然乾燥中のメッキが該回転体側当接面に向けて流れることにより液垂れに伴うメッキの垂れ下がり部が形成されないことを特徴とするロータ軸と回転体との固定構造。 - 前記傾斜角度が0度より大きく40度以下であることを特徴とする請求項4又は5記載のロータ軸と回転体との固定構造。
- 回転体と、
該回転体に固定されるロータ軸と、
該ロータ軸に配設されたボルト穴と、
該ボルト穴に対し位置を合わせるように前記回転体側に配設されたボルト通し穴と、
該ボルト通し穴及び前記ボルト穴を貫通し前記ロータ軸と前記回転体との締結を行う締結手段と、
前記回転体の側で軸方向に対し垂直に形成された回転体側当接面と、
該回転体側当接面におけるボルト通し穴の端部周囲は、所定の曲率を有する曲面にて形成され、
自然乾燥中のメッキが該回転体側当接面に向けて流れることにより液垂れに伴うメッキの垂れ下がり部が形成されないことを特徴とするロータ軸と回転体との固定構造。 - 中央に中心穴を有する回転体と、
該回転体の中心穴に対し貫通軸部が貫通固定されるロータ軸と、
該ロータ軸に配設されたボルト穴と、
該ボルト穴に対し位置を合わせるように前記回転体側に配設されたボルト通し穴と、
該ボルト通し穴及び前記ボルト穴を貫通し前記ロータ軸と前記回転体との締結を行う締結手段と、
前記回転体の側で軸方向に対し垂直に形成された回転体側当接面と、
該回転体側当接面における貫通軸部回り端部は、所定の曲率を有する曲面にて形成され、
自然乾燥中のメッキが該回転体側当接面に向けて流れることにより液垂れに伴うメッキの垂れ下がり部が形成されないことを特徴とするロータ軸と回転体との固定構造。 - 請求項1〜8のいずれか一項に記載の固定構造を有するターボ分子ポンプであって、
前記ロータ軸を磁気浮上させ、径方向及び/又は軸方向に位置調整する磁気軸受を有し、
前記回転体には回転翼が形成され、
前記ターボ分子ポンプは、
被対象設備に設置され、該被対象設備から所定のガスを吸引することを特徴とするターボ分子ポンプ。
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