JP2007233299A - Device and method for correcting color filter defect - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a device for correcting color filter defect and a method of correcting color filter defect for appropriately correcting a defect of a color filter. <P>SOLUTION: The device for correcting color filter defect corrects a defect of a color filter with a plurality of picture elements arranged therein, each of the picture elements having a plurality of pixels. The device for correcting color filter defect includes: an image processing part 3 which detects the defect of a pixel as a defect detection object, based on the comparison result by comparing the brightness of the pixel as the defect detection object with the brightness of a pixel belonging to a picture element different from the picture element to which the pixel as the defect detection object belongs; and a correction processing part 50 which performs at least one of laser beam irradiation and ink coating with respect to a color filter based on the detection result. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、カラーフィルタ欠陥修正装置およびカラーフィルタ欠陥修正方法に関し、特に、カラーフィルタのブラックマトリックス部および着色部の欠陥を修正するカラーフィルタ欠陥修正装置およびカラーフィルタ欠陥修正方法に関する。   The present invention relates to a color filter defect correcting apparatus and a color filter defect correcting method, and more particularly to a color filter defect correcting apparatus and a color filter defect correcting method for correcting defects in a black matrix portion and a colored portion of a color filter.

液晶ディスプレイの構成部品であるカラーフィルタには、ブラックマトリックスと呼ばれる格子状のパターン（クロム、酸化クロムおよび樹脂等の材料）および着色部（以下、カラーフィルタ部またはＣＦ部とも称する）が形成される。ブラックマトリックスを形成する段階での欠陥には、カラーフィルタ部（この段階では色なし）にまでブラックマトリックスがはみ出した黒欠陥と、ブラックマトリックスの一部が欠落した白欠陥とがある。また、着色後にも互いの色が混色した黒欠陥と、色抜けした白欠陥とがある。従来は、作業者がカメラ画像を見ながらレーザ光で黒欠陥を修正したり、インクで白欠陥を埋めたりして修正する方法が採用されている。   A color filter, which is a component part of a liquid crystal display, is formed with a lattice pattern (a material such as chromium, chromium oxide and resin) and a colored portion (hereinafter also referred to as a color filter portion or a CF portion) called a black matrix. . The defects at the stage of forming the black matrix include a black defect in which the black matrix protrudes to the color filter portion (no color at this stage) and a white defect in which a part of the black matrix is missing. Further, even after coloring, there are black defects in which the colors are mixed and white defects in which the colors are missing. Conventionally, a method has been adopted in which an operator corrects a black defect with a laser beam while observing a camera image or fills a white defect with ink.

たとえば、特許文献１には以下のようなカラーフィルタ欠陥修正装置が開示されている。すなわち、画像処理部によってカラーフィルタの欠陥部分を認識し、認識されたカラーフィルタの欠陥部分に、インク塗布部のインク塗布用針でインクを塗布し、インク硬化部により塗布したインクを硬化させ、塗布されたインクのうち不要な部分をレーザ照射部からレーザを照射することによって除去する。   For example, Patent Document 1 discloses the following color filter defect correcting device. That is, a defective part of the color filter is recognized by the image processing unit, ink is applied to the recognized defective part of the color filter with an ink application needle of the ink application unit, and the ink applied by the ink curing unit is cured, Unnecessary portions of the applied ink are removed by irradiating the laser from the laser irradiation unit.

また、特許文献２には以下のようなカラーフィルタ欠陥修正装置が開示されている。すなわち、カラーフィルターを撮像して得られた画像に対応する信号を出力する撮像手段と、撮像手段からの信号に基づいて、カラーフィルターを区分した複数の区域毎の輝度を特定し、複数の区域間の輝度のばらつきに基づいて、複数の区域から透過率の補正が必要な区域を特定する特定手段と、カラーフィルタの透過率を補正する補正手段と、特定手段の特定した区域の透過率を補正するように補正手段の駆動を制御する制御手段とを備える。
特開平９−６１２９６号公報 特開２００４−１１７７３９号公報 特開２００５−１０７３２７号公報 Further, Patent Document 2 discloses a color filter defect correcting device as follows. That is, an imaging unit that outputs a signal corresponding to an image obtained by imaging the color filter, and the luminance for each of the plurality of areas into which the color filter is divided based on the signal from the imaging unit, Based on the variation in brightness between, the specifying means for specifying the area that needs to be corrected for transmittance from a plurality of areas, the correcting means for correcting the transmittance of the color filter, and the transmittance of the specified area of the specifying means Control means for controlling the drive of the correction means so as to correct.
Japanese Patent Laid-Open No. 9-61296 JP 2004-117739 A JP 2005-107327 A

特許文献１記載のカラーフィルタ欠陥修正装置では、正常な絵素と測定した絵素とのパターンマッチングを行なって両者の相関値を算出し、相関値に基づいてカラーフィルタの欠陥箇所を検出する構成であるが、微小な欠陥では相関値の変化量が小さいために欠陥を検出できない場合がある。   In the color filter defect correcting apparatus described in Patent Document 1, a pattern matching between a normal pixel and a measured pixel is performed to calculate a correlation value between the two, and a defect location of the color filter is detected based on the correlation value. However, since the amount of change in the correlation value is small for a small defect, the defect may not be detected.

また、特許文献１記載のカラーフィルタ欠陥修正装置では、ブラックマトリックス部における欠陥およびカラーフィルタ部における欠陥を判別することができない。   In addition, the color filter defect correcting device described in Patent Document 1 cannot discriminate between defects in the black matrix portion and defects in the color filter portion.

また、特許文献１記載のカラーフィルタ欠陥修正装置は、絵素全体にレーザ光を照射して欠陥を一括でカットする構成であるため、たとえばテレビ用基板のように絵素サイズが大きいカラーフィルタに対して低倍率レンズを用いる必要がある。そうすると、レーザ光の出力が不足する場合があり、欠陥を適切に修正することができない。このため、カラーフィルタの種類によっては高出力レーザを備える必要があるため、製造コストが増大してしまう。   In addition, the color filter defect correcting device described in Patent Document 1 is configured to cut the defects all at once by irradiating the entire picture element with laser light, and thus, for example, a color filter having a large picture element size such as a television substrate. On the other hand, it is necessary to use a low magnification lens. If so, the output of the laser beam may be insufficient, and the defect cannot be corrected appropriately. For this reason, since it is necessary to provide a high-power laser depending on the type of color filter, the manufacturing cost increases.

特許文献２記載のカラーフィルタ欠陥修正装置では、欠陥検出および欠陥修正対象である区域がカラーフィルタの画素に対応する場合であって、輝度のばらつきの測定範囲が、複数個の隣接画素等の狭い範囲であるときには、測定範囲におけるある画素に欠陥があると測定範囲における他の画素にも欠陥がある可能性が高いため、欠陥を正確に検出することができない。また、欠陥検出および欠陥修正対象である区域がカラーフィルタの複数個の画素に対応する場合には、欠陥検出および欠陥修正を複数個の画素の単位でしか行なうことができないため、画素単位の欠陥を検出することができず、かつ前述のようにレーザ光の出力が不足する場合があり、欠陥を適切に修正することができない。   In the color filter defect correction apparatus described in Patent Document 2, the area for defect detection and defect correction corresponds to the pixel of the color filter, and the measurement range of luminance variation is narrow such as a plurality of adjacent pixels. When it is within the range, if there is a defect in a certain pixel in the measurement range, there is a high possibility that another pixel in the measurement range also has a defect, so that the defect cannot be detected accurately. In addition, when the area that is the target of defect detection and defect correction corresponds to a plurality of pixels of the color filter, defect detection and defect correction can be performed only in units of a plurality of pixels. Cannot be detected, and the output of the laser beam may be insufficient as described above, and the defect cannot be corrected appropriately.

それゆえに、本発明の目的は、カラーフィルタの欠陥修正を適切に行なうことが可能なカラーフィルタ欠陥修正装置およびカラーフィルタ欠陥修正方法を提供することである。   SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, an object of the present invention is to provide a color filter defect correcting apparatus and a color filter defect correcting method capable of appropriately correcting a color filter defect.

上記課題を解決するために、この発明のある局面に係わるカラーフィルタ欠陥修正装置は、複数個の画素を有するカラーフィルタの欠陥を修正するカラーフィルタ欠陥修正装置であって、欠陥検出対象の画素の明るさと、欠陥検出対象の画素以外の画素の明るさとを比較し、比較結果に基づいて欠陥検出対象の画素の欠陥を検出する画像処理部と、検出結果に基づいてカラーフィルタに対するレーザ光の照射およびインク塗布のうち少なくともいずれか一方を行なう修正処理部とを備える。   In order to solve the above problems, a color filter defect correction apparatus according to an aspect of the present invention is a color filter defect correction apparatus that corrects a defect in a color filter having a plurality of pixels, and includes a defect detection target pixel. An image processing unit that compares the brightness with the brightness of a pixel other than the defect detection target pixel and detects a defect of the defect detection target pixel based on the comparison result, and irradiates the color filter with the laser light based on the detection result And a correction processing unit that performs at least one of ink application.

好ましくは、カラーフィルタ欠陥修正装置は、複数個の画素を有する絵素が複数個配置されるカラーフィルタの欠陥を修正し、画像処理部は、欠陥検出対象の画素の明るさと、欠陥検出対象の画素が属する絵素とは異なる絵素に属する画素の明るさとを比較し、比較結果に基づいて欠陥検出対象の画素の欠陥を検出する。   Preferably, the color filter defect correcting device corrects a defect of a color filter in which a plurality of pixels having a plurality of pixels are arranged, and the image processing unit determines the brightness of the defect detection target pixel and the defect detection target pixel. The brightness of a pixel belonging to a different picture element from the picture element to which the pixel belongs is compared, and the defect of the pixel subject to defect detection is detected based on the comparison result.

好ましくは、カラーフィルタ欠陥修正装置は、さらに、レーザ光の１回当たりの照射範囲を複数種類保存する記憶部を備え、修正処理部は、欠陥箇所の検出結果に基づいて、保存された複数種類の照射範囲から１種類の照射範囲を選択し、選択した照射範囲に基づいてスリットサイズを調整する可変スリット部と、可変スリット部を介してカラーフィルタにレーザ光を照射するレーザ照射部とを含む。   Preferably, the color filter defect correction device further includes a storage unit that stores a plurality of types of irradiation ranges per one laser beam, and the correction processing unit stores the plurality of types stored based on the detection result of the defect portion. A variable slit portion that selects one type of irradiation range from the irradiation range and adjusts the slit size based on the selected irradiation range, and a laser irradiation portion that irradiates the color filter with laser light via the variable slit portion .

またこの発明のさらに別の局面に係わるカラーフィルタ欠陥修正装置は、カラーフィルタの欠陥箇所を検出し、検出結果に基づいて２値化された欠陥抽出画像を生成し、２値化された正常時のマスク画像と２値化された欠陥抽出画像との論理積に基づいてカラーフィルタのブラックマトリックス部における欠陥および着色部における欠陥を判別する画像処理部と、判別したブラックマトリックス部の欠陥箇所および着色部の欠陥箇所に対して所定の順序で、レーザ光の照射およびインク塗布のうち少なくともいずれか一方を行なう。   According to still another aspect of the present invention, there is provided a color filter defect correcting device that detects a defect portion of a color filter, generates a binarized defect extraction image based on a detection result, and binarizes a normal time. An image processing unit for discriminating a defect in the black matrix portion of the color filter and a defect in the colored portion based on a logical product of the mask image and the binarized defect extraction image; At least one of laser light irradiation and ink application is performed in a predetermined order with respect to the defective portion of the part.

またこの発明のさらに別の局面に係わるカラーフィルタ欠陥修正装置は、複数個の画素を有する絵素が複数個配置されるカラーフィルタの欠陥を修正するカラーフィルタ欠陥修正装置であって、カラーフィルタの欠陥箇所を検出する画像処理部と、スリットサイズがカラーフィルタの絵素より小さいスリット部と、スリット部を介してカラーフィルタにレーザ光を照射するレーザ照射部と、欠陥箇所の検出結果に基づいて、カラーフィルタにおけるレーザ光の照射位置を少なくとも１箇所決定する制御部とを備える。   A color filter defect correcting apparatus according to still another aspect of the present invention is a color filter defect correcting apparatus that corrects defects in a color filter in which a plurality of picture elements each having a plurality of pixels are arranged. Based on an image processing unit for detecting a defective part, a slit part having a slit size smaller than a pixel of a color filter, a laser irradiation part for irradiating the color filter with laser light through the slit part, and a detection result of the defective part And a controller that determines at least one irradiation position of the laser light in the color filter.

またこの発明のさらに別の局面に係わるカラーフィルタ欠陥修正装置は、複数個の画素を有する絵素が複数個配置されるカラーフィルタの欠陥を修正するカラーフィルタ欠陥修正装置であって、カラーフィルタの欠陥箇所を検出する画像処理部と、カラーフィルタにインクを塗布し、１回当たりのインク塗布範囲がカラーフィルタの絵素より小さいインク塗布部と、欠陥箇所の検出結果に基づいて、カラーフィルタにおけるインク塗布位置を少なくとも１箇所決定する制御部とを備える。   A color filter defect correcting apparatus according to still another aspect of the present invention is a color filter defect correcting apparatus that corrects defects in a color filter in which a plurality of picture elements each having a plurality of pixels are arranged. In the color filter based on the detection result of the image processing unit for detecting the defective part, the ink application part for applying the ink to the color filter and the ink application range per time being smaller than the pixel of the color filter, and the defective part detection result And a controller that determines at least one ink application position.

上記課題を解決するために、この発明のある局面に係わるカラーフィルタ欠陥修正方法は、複数個の画素を有する絵素が複数個配置されるカラーフィルタの欠陥を修正するカラーフィルタ欠陥修正装置におけるカラーフィルタ欠陥修正方法であって、欠陥検出対象の画素の明るさと、欠陥検出対象の画素以外の画素の明るさとを比較し、比較結果に基づいて欠陥検出対象の画素の欠陥を検出する画像処理ステップと、検出結果に基づいてカラーフィルタに対するレーザ光の照射およびインク塗布のうち少なくともいずれか一方を行なう修正処理ステップとを含む。   In order to solve the above-mentioned problem, a color filter defect correction method according to an aspect of the present invention provides a color filter defect correction apparatus for correcting defects in a color filter in which a plurality of pixels having a plurality of pixels are arranged. An image processing step for comparing a brightness of a defect detection target pixel with a brightness of a pixel other than the defect detection target pixel and detecting a defect of the defect detection target pixel based on the comparison result, the filter defect correcting method And a correction processing step for performing at least one of laser light irradiation and ink application on the color filter based on the detection result.

好ましくは、カラーフィルタ欠陥修正装置は、複数個の画素を有する絵素が複数個配置されるカラーフィルタの欠陥を修正し、画像処理ステップにおいては、欠陥検出対象の画素の明るさと、欠陥検出対象の画素が属する絵素とは異なる絵素に属する画素の明るさとを比較し、比較結果に基づいて欠陥検出対象の画素の欠陥を検出する。   Preferably, the color filter defect correcting device corrects a defect of the color filter in which a plurality of pixels having a plurality of pixels are arranged, and in the image processing step, the brightness of the defect detection target pixel and the defect detection target The brightness of a pixel belonging to a different picture element from the picture element to which the corresponding pixel belongs is compared, and a defect of the defect detection target pixel is detected based on the comparison result.

好ましくは、カラーフィルタ欠陥修正方法は、さらに、レーザ光の１回当たりの照射範囲を複数種類保存するステップを含み、修正処理ステップにおいては、欠陥箇所の検出結果に基づいて、保存された複数種類の照射範囲から１種類の照射範囲を選択し、選択した照射範囲に基づいてスリットサイズを調整するステップと、調整されたスリットを介してカラーフィルタにレーザ光を照射するステップとを含む。   Preferably, the color filter defect correction method further includes a step of storing a plurality of types of irradiation ranges per one laser beam, and the correction processing step stores a plurality of types stored based on the detection result of the defect portion. A step of selecting one type of irradiation range from the irradiation range, adjusting the slit size based on the selected irradiation range, and irradiating the color filter with laser light through the adjusted slit.

またこの発明のさらに別の局面に係わるカラーフィルタ欠陥修正方法は、カラーフィルタの欠陥箇所を検出し、検出結果に基づいて２値化された欠陥抽出画像を生成し、２値化された正常時のマスク画像と２値化された欠陥抽出画像との論理積に基づいてカラーフィルタのブラックマトリックス部における欠陥および着色部における欠陥を判別するステップと、判別したブラックマトリックス部の欠陥箇所および着色部の欠陥箇所に対して所定の順序で、カラーフィルタに対するレーザ光の照射およびインク塗布のうち少なくともいずれか一方を行なうステップとを含む。   According to still another aspect of the present invention, there is provided a color filter defect correcting method that detects a defect portion of a color filter, generates a binarized defect extraction image based on a detection result, and binarizes the normal state. Determining a defect in the black matrix portion of the color filter and a defect in the colored portion based on the logical product of the mask image of the image and the binarized defect extraction image; Performing at least one of laser light irradiation and ink application to the color filter in a predetermined order with respect to the defective portion.

またこの発明のさらに別の局面に係わるカラーフィルタ欠陥修正方法は、複数個の画素を有する絵素が複数個配置されるカラーフィルタの欠陥を修正するカラーフィルタ欠陥修正装置におけるカラーフィルタ欠陥修正方法であって、カラーフィルタの欠陥箇所を検出するステップと、スリットサイズがカラーフィルタの絵素より小さいスリットを介してカラーフィルタにレーザ光を照射するステップと、欠陥箇所の検出結果に基づいて、カラーフィルタにおけるレーザ光の照射位置を少なくとも１箇所決定するステップとを含む。   A color filter defect correcting method according to still another aspect of the present invention is a color filter defect correcting method in a color filter defect correcting apparatus for correcting a defect of a color filter in which a plurality of picture elements having a plurality of pixels are arranged. A step of detecting a defective portion of the color filter, a step of irradiating the color filter with a laser beam through a slit whose slit size is smaller than a pixel of the color filter, and a color filter based on the detection result of the defective portion. And determining at least one irradiation position of the laser beam.

またこの発明のさらに別の局面に係わるカラーフィルタ欠陥修正方法は、複数個の画素を有する絵素が複数個配置されるカラーフィルタの欠陥を修正するカラーフィルタ欠陥修正装置におけるカラーフィルタ欠陥修正方法であって、カラーフィルタの欠陥箇所を検出するステップと、欠陥箇所の検出結果に基づいて、カラーフィルタにおけるインク塗布位置を少なくとも１箇所決定し、１回当たりのインク塗布範囲がカラーフィルタの絵素より小さいステップとを含む。   A color filter defect correcting method according to still another aspect of the present invention is a color filter defect correcting method in a color filter defect correcting apparatus for correcting a defect of a color filter in which a plurality of picture elements having a plurality of pixels are arranged. Then, at least one ink application position in the color filter is determined on the basis of the step of detecting the defective part of the color filter and the detection result of the defective part, and the ink application range per time is determined by the pixel of the color filter. Including small steps.

本発明によれば、カラーフィルタの欠陥修正を適切に行なうことができる。   According to the present invention, defect correction of a color filter can be performed appropriately.

以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。なお、図中同一または相当部分には同一符号を付してその説明は繰り返さない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the drawings, the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals and description thereof will not be repeated.

［構成および基本動作］
図１は、本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置の構成を示す外観図である。 [Configuration and basic operation]
FIG. 1 is an external view showing a configuration of a color filter defect correcting apparatus according to an embodiment of the present invention.

同図を参照して、このカラーフィルタ欠陥修正装置は、ホストコンピュータ１と、制御用コンピュータ（制御部）２と、画像処理部３と、Ｚ軸ステージ４と、ＸＹテーブル５と、チャック台６と、レーザ照射部７と、可変スリット部８と、インク塗布部９と、モニタ１０と、対物レンズ２１とを備える。レーザ照射部７と、可変スリット部８と、インク塗布部９とは、修正処理部５０を構成する。Ｚ軸ステージ４と、ＸＹテーブル５とは、位置決め機構５１を構成する。可変スリット部８は、後述するＸＹスリット機構６１と、θスリット機構６２とを含む。   Referring to FIG. 1, this color filter defect correcting apparatus includes a host computer 1, a control computer (control unit) 2, an image processing unit 3, a Z-axis stage 4, an XY table 5, and a chuck base 6. A laser irradiation unit 7, a variable slit unit 8, an ink application unit 9, a monitor 10, and an objective lens 21. The laser irradiation unit 7, the variable slit unit 8, and the ink application unit 9 constitute a correction processing unit 50. The Z axis stage 4 and the XY table 5 constitute a positioning mechanism 51. The variable slit portion 8 includes an XY slit mechanism 61 and a θ slit mechanism 62 described later.

ホストコンピュータ１は、カラーフィルタ欠陥修正装置全体の制御を行なう。
制御用コンピュータ２は、カラーフィルタ欠陥修正装置に実装されている各ユニットを制御する。 The host computer 1 controls the entire color filter defect correcting device.
The control computer 2 controls each unit mounted on the color filter defect correcting device.

画像処理部３は、図示しないＣＣＤ（Charge Coupled Devices）カメラでカラーフィルタを撮影し、撮影した画像に基づいてカラーフィルタの欠陥箇所を検出する。   The image processing unit 3 captures a color filter with a CCD (Charge Coupled Devices) camera (not shown), and detects a defective portion of the color filter based on the captured image.

また、画像処理部３は、欠陥検出結果に基づいて、２値化された欠陥抽出画像を生成し、２値化された正常時のマスク画像と欠陥抽出画像との論理積に基づいてカラーフィルタのブラックマトリックス部における欠陥およびカラーフィルタ部における欠陥を判別する。   Further, the image processing unit 3 generates a binarized defect extraction image based on the defect detection result, and a color filter based on a logical product of the binarized normal mask image and the defect extraction image. The defect in the black matrix portion and the defect in the color filter portion are discriminated.

位置決め機構５１は、カラーフィルタの位置を変更する。すなわち、Ｚ軸ステージ４は、ＸＹテーブル５に対する修正処理部５０の高さを変更する。ＸＹテーブル５は、カラーフィルタの水平方向および垂直方向の位置を変更する。   The positioning mechanism 51 changes the position of the color filter. That is, the Z-axis stage 4 changes the height of the correction processing unit 50 with respect to the XY table 5. The XY table 5 changes the position of the color filter in the horizontal direction and the vertical direction.

チャック台６は、修正対象であるカラーフィルタ等が載せられて固定される台である。
レーザ照射部７は、可変スリット部８の形成するスリットを介してカラーフィルタにおける１個以上の画素にレーザ光を照射する。 The chuck table 6 is a table on which a color filter or the like to be corrected is placed and fixed.
The laser irradiation unit 7 irradiates one or more pixels in the color filter with laser light through a slit formed by the variable slit unit 8.

ここで、制御用コンピュータ２は、レーザ光の１回当たりの照射範囲を１個以上保存する図示しない記憶部を含む。記憶部は、たとえばカラーフィルタの種類ごとにレーザ光の１回当たりの照射範囲を保存する。   Here, the control computer 2 includes a storage unit (not shown) that stores one or more irradiation ranges per one laser beam. A memory | storage part preserve | saves the irradiation range per time of a laser beam for every kind of color filter, for example.

また、制御用コンピュータ２は、画像処理部３の欠陥検出結果に基づいてＸＹテーブル５およびＺ軸ステージ４を制御して、カラーフィルタに対するレーザ光の照射位置およびインクの塗布位置をそれぞれ少なくとも１箇所決定する。   In addition, the control computer 2 controls the XY table 5 and the Z-axis stage 4 based on the defect detection result of the image processing unit 3, so that at least one laser beam irradiation position and ink application position are respectively applied to the color filter. decide.

可変スリット部８は、画像処理部３の欠陥検出結果に基づいて、記憶部に保存された１個以上の照射範囲から１個の照射範囲を選択し、選択したレーザ光の照射範囲に基づいてスリットの形状および大きさを調整することにより、レーザ照射部７からのレーザ光のカラーフィルタにおける照射範囲を調整する。ここで、可変スリット部８のスリットサイズすなわち記憶部の保存するレーザ光の１回当たりの照射範囲は、カラーフィルタの絵素より小さくすることが可能である。ＸＹスリット機構６１は、スリットの縦横サイズを調整する。θスリット機構６２は、スリットの角度を調整する。   The variable slit unit 8 selects one irradiation range from one or more irradiation ranges stored in the storage unit based on the defect detection result of the image processing unit 3, and based on the selected irradiation range of the laser beam. By adjusting the shape and size of the slit, the irradiation range of the laser light from the laser irradiation unit 7 in the color filter is adjusted. Here, the slit size of the variable slit portion 8, that is, the irradiation range of the laser beam stored in the storage portion, can be made smaller than the picture element of the color filter. The XY slit mechanism 61 adjusts the vertical and horizontal sizes of the slits. The θ slit mechanism 62 adjusts the angle of the slit.

インク塗布部９は、欠陥を修正するためのインクをカラーフィルタにおける１個以上の画素に塗布する。ここで、インク塗布部９の１回当たりのインク塗布範囲は、カラーフィルタの絵素より小さく設定することが可能である。   The ink application unit 9 applies ink for correcting defects to one or more pixels in the color filter. Here, the ink application range per time of the ink application unit 9 can be set smaller than the picture element of the color filter.

モニタ１０は、画像処理部３の撮影したカラーフィルタの画像を表示する。
図２は、ＸＹスリット機構の構成を示す図である。 The monitor 10 displays an image of the color filter captured by the image processing unit 3.
FIG. 2 is a diagram showing the configuration of the XY slit mechanism.

同図を参照して、ＸＹスリット機構６１は、Ｘ方向サイズ調整用モータ３１と、Ｙ方向サイズ調整用モータ３２とを含む。   With reference to the figure, the XY slit mechanism 61 includes an X-direction size adjustment motor 31 and a Y-direction size adjustment motor 32.

図３は、ＸＹスリット機構に含まれるＸ方向の調整機構の構成を示す外観平面図である。   FIG. 3 is an external plan view showing the configuration of the X-direction adjusting mechanism included in the XY slit mechanism.

同図を参照して、Ｘ方向サイズ調整用モータ３１が駆動されて軸３２が回転すると、回転方向に応じて開閉部３３〜３４がそれぞれ矢印の方向に移動する。たとえば、Ｘ方向サイズ調整用モータ３１が一方の方向に回転すると開閉部３３〜３４は互いに離れていき、他方の方向に回転すると開閉部３３〜３４は近づく。   With reference to the figure, when the X-direction size adjusting motor 31 is driven and the shaft 32 rotates, the open / close sections 33 to 34 respectively move in the directions of the arrows according to the rotation direction. For example, when the X-direction size adjusting motor 31 rotates in one direction, the opening / closing parts 33 to 34 move away from each other, and when the X-direction size adjusting motor 31 rotates in the other direction, the opening / closing parts 33 to 34 approach.

図４は、θスリット機構の構成を示す外観平面図である。
同図を参照して、θスリット機構６２は、回転角度調整用モータ３５と、ベルト３６と、回転テーブル３７とを含む。回転角度調整用モータ３５は、ベルト３６を駆動して回転テーブル３７を回転させる。ＸＹスリット機構６１は、θスリット機構６２の回転中心Ｃ２と図２に示すＸＹスリット機構６１の中心Ｃ１とが一致するように回転テーブル３７上に配置され、組みつけられる。 FIG. 4 is an external plan view showing the configuration of the θ slit mechanism.
Referring to FIG. 6, θ slit mechanism 62 includes a rotation angle adjusting motor 35, a belt 36, and a rotary table 37. The rotation angle adjusting motor 35 drives the belt 36 to rotate the rotary table 37. The XY slit mechanism 61 is arranged and assembled on the rotary table 37 so that the rotation center C2 of the θ slit mechanism 62 and the center C1 of the XY slit mechanism 61 shown in FIG.

図５は、本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置のインク塗布部の構成を示す外観図である。   FIG. 5 is an external view showing the configuration of the ink application unit of the color filter defect correcting apparatus according to the embodiment of the present invention.

同図を参照して、インク塗布部９は、インク塗布用位置決めシリンダ１１と、インクタンクテーブル１２と、インクタンク１３と、インク塗布用針１４とを備える。   Referring to the figure, the ink application unit 9 includes an ink application positioning cylinder 11, an ink tank table 12, an ink tank 13, and an ink application needle 14.

インク塗布用位置決めシリンダ１１は、インク塗布用針１４の上下方向の位置決めを行なう。   The ink application positioning cylinder 11 positions the ink application needle 14 in the vertical direction.

インクタンクテーブル１２は、インクタンク１３の周方向の位置決めを行なう。
インク塗布用針１４は、インク塗布用位置決めシリンダ１１の下端部に取り付けられる。インク塗布動作の際にはインク塗布用位置決めシリンダ１１が下降してインク塗布用針１４が塗布面に接触し、インク塗布用針１４の先端に付着したインクがカラーフィルタの欠陥箇所に塗布される。塗布後は、インクをインク塗布用針１４の先端部に付着させるため、インク塗布用針１４がインクタンクテーブル１２に設置されたインクタンク１３に浸される。 The ink tank table 12 positions the ink tank 13 in the circumferential direction.
The ink application needle 14 is attached to the lower end of the ink application positioning cylinder 11. During the ink application operation, the ink application positioning cylinder 11 is lowered, the ink application needle 14 comes into contact with the application surface, and the ink adhering to the tip of the ink application needle 14 is applied to the defective portion of the color filter. . After the application, the ink application needle 14 is immersed in the ink tank 13 installed on the ink tank table 12 in order to adhere the ink to the tip of the ink application needle 14.

なお、インク塗布部１４は、上記のようにシリンダ１１およびインクタンクテーブル１２等を含む構成に限定されるものではなく、たとえば以下のような構成とすることができる。すなわち、インク塗布部は、先端に付着した修正液を欠陥に付着させるための塗布針を含む。また、欠陥を観察する観察光学系の視野外の所定位置に設けられ、修正液を保持する塗布パレットを含む。また、塗布針をカラーフィルタに平行なＸＹ平面内で移動させるとともにカラーフィルタに垂直なＺ方向に移動させ、観察光学系の視野内またはその近傍の塗布待機位置と塗布パレット近傍の準備位置とのうちのいずれかの位置に塗布針を位置させるアクチュエータを含む。   The ink application unit 14 is not limited to the configuration including the cylinder 11 and the ink tank table 12 as described above, and can be configured as follows, for example. That is, the ink application unit includes an application needle for attaching the correction liquid attached to the tip to the defect. Further, it includes a coating pallet that is provided at a predetermined position outside the field of the observation optical system for observing the defect and holds the correction liquid. In addition, the application needle is moved in the XY plane parallel to the color filter and moved in the Z direction perpendicular to the color filter, so that the application standby position in or near the visual field of the observation optical system and the preparation position in the vicinity of the application pallet. An actuator for positioning the application needle at any one of the positions is included.

図６は、カラーフィルタにおけるブラックマトリックス部、カラーフィルタ部および絵素の関係を示す図である。   FIG. 6 is a diagram illustrating the relationship between the black matrix portion, the color filter portion, and the picture element in the color filter.

修正対象であるカラーフィルタは、各々が複数個の画素を有する複数個の絵素を含む。縦横に形成されているブラックマトリックス部の交差位置に、絵素の始まりＤＳおよび絵素の終わりＤＥが存在する。また、絵素の始まりＤＳをカラーフィルタの位置と称する。画像処理部３はこのカラーフィルタの位置を特定する。また、同図において四角で囲まれた絵素の始まりＤＳから絵素の終わりＤＥまでの範囲が１個の絵素Ｐとなる。また、絵素Ｐにおける値１の画素の集合が絵素Ｐのカラーフィルタ部であり、値０（同図のハッチング部分）の画素の集合が絵素Ｐのブラックマトリックス部である。また、各絵素ＰはそれぞれＲＧＢ（Red, Green, Blue）のうちのいずれかの色を有し、絵素Ｐのカラーフィルタ部に含まれる各画素は同一色を有する。   The color filter to be corrected includes a plurality of picture elements each having a plurality of pixels. A pixel element start DS and a pixel element end DE exist at the intersections of the black matrix portions formed vertically and horizontally. Further, the beginning DS of the picture element is referred to as a color filter position. The image processing unit 3 specifies the position of this color filter. In the same figure, the range from the start DS of the picture element surrounded by the square to the end DE of the picture element is one picture element P. A set of pixels having a value of 1 in the picture element P is a color filter portion of the picture element P, and a set of pixels having a value of 0 (hatched portion in the figure) is a black matrix portion of the picture element P. Each picture element P has a color of RGB (Red, Green, Blue), and each pixel included in the color filter portion of the picture element P has the same color.

［動作］
次に、本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置における画像処理部３がカラーフィルタの欠陥箇所を検出する際の動作について説明する。 [Operation]
Next, an operation when the image processing unit 3 in the color filter defect correcting apparatus according to the embodiment of the present invention detects a defective portion of the color filter will be described.

図７は、本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置がカラーフィルタの１つの欠陥を修正する際の動作手順を定めたフローチャートである。   FIG. 7 is a flowchart defining an operation procedure when the color filter defect correcting device according to the embodiment of the present invention corrects one defect of the color filter.

ここでは、カラーフィルタがチャック台６に載せられており、カラーフィルタの傾き等の位置補正が完了していると仮定して説明する。また、検査データ、すなわちカラーフィルタにおける欠陥の座標値、カラーフィルタの面積値、カラーフィルタのサイズ種別（大、中、小など）および欠陥種別等のデータを、カラーフィルタ欠陥修正装置が上位コンピュータから収集していると仮定して説明する。   Here, the description will be made on the assumption that the color filter is mounted on the chuck base 6 and the position correction such as the inclination of the color filter is completed. In addition, the color filter defect correction device receives the inspection data, that is, the coordinate value of the defect in the color filter, the area value of the color filter, the size type of the color filter (large, medium, small, etc.) and the defect type from the host computer. The explanation is based on the assumption that data is collected.

制御用コンピュータ２は、位置決め機構５１を制御して、修正処理部５０がカラーフィルタの欠陥を修正できる位置にカラーフィルタを移動する。また、制御用コンピュータ２は、カラーフィルタの欠陥検出が行なえるように、図示しない照明部の明るさを調整し、対物レンズ２１を所定の倍率に切り替える（Ｓ１）。   The control computer 2 controls the positioning mechanism 51 to move the color filter to a position where the correction processing unit 50 can correct the defect of the color filter. Further, the control computer 2 adjusts the brightness of the illumination unit (not shown) so that the color filter defect can be detected, and switches the objective lens 21 to a predetermined magnification (S1).

画像処理部３は、カラーフィルタに焦点を合わせるために、対物レンズ２１のフォーカス調整を行なう（Ｓ２）。   The image processing unit 3 performs focus adjustment of the objective lens 21 in order to focus on the color filter (S2).

画像処理部３は、検査対象であるカラーフィルタを撮影し、撮影した入力画像を取り込み、入力画像における画素の明るさに基づいてカラーフィルタの欠陥箇所を検出する（Ｓ３およびＳ４）。   The image processing unit 3 captures the color filter to be inspected, captures the captured input image, and detects a defective portion of the color filter based on the brightness of the pixel in the input image (S3 and S4).

画像処理部３は、欠陥検出結果に基づいて欠陥の重心位置を算出する。制御用コンピュータ２は、画像処理部３の算出した欠陥の重心位置に基づいてセンタリングを行なう、すなわち欠陥の重心位置が入力画像の中心に位置するように位置決め機構５１を制御する（Ｓ５）。   The image processing unit 3 calculates the center of gravity position of the defect based on the defect detection result. The control computer 2 performs centering based on the position of the center of gravity of the defect calculated by the image processing unit 3, that is, controls the positioning mechanism 51 so that the position of the center of gravity of the defect is positioned at the center of the input image (S5).

制御用コンピュータ２は、繰り返し回数Ｔｒｙ＝１とする（Ｓ６）。
画像処理部３は、繰り返し回数Ｔｒｙが最大繰り返し回数Ｍａｘ以下である場合には（Ｓ７でＹＥＳ）、精密な欠陥位置を求めるために、対物レンズ２１を高倍率に切り替える（Ｓ８）。 The control computer 2 sets the number of repetitions Try = 1 (S6).
When the number of repetitions Try is equal to or less than the maximum number of repetitions Max (YES in S7), the image processing unit 3 switches the objective lens 21 to a high magnification in order to obtain a precise defect position (S8).

画像処理部３は、カラーフィルタに焦点を合わせるために、対物レンズ２１のフォーカス調整を行なう（Ｓ９）。   The image processing unit 3 performs focus adjustment of the objective lens 21 in order to focus on the color filter (S9).

画像処理部３は、検査対象であるカラーフィルタを撮影し、撮影した入力画像を取り込む（Ｓ１０）。   The image processing unit 3 captures the color filter to be inspected and captures the captured input image (S10).

画像処理部３は、繰り返し回数Ｔｒｙが１である場合には（Ｓ１１でＹＥＳ）、取り込んだ入力画像を修正前の入力画像として保存する（Ｓ１２）。   If the number of repetitions Try is 1 (YES in S11), the image processing unit 3 stores the captured input image as an input image before correction (S12).

画像処理部３は、繰り返し回数Ｔｒｙが２以上である場合には（Ｓ１１でＮＯ）、取り込んだ入力画像を修正後の入力画像として保存する（Ｓ１３）。   If the number of repetitions Try is 2 or more (NO in S11), the image processing unit 3 stores the captured input image as a corrected input image (S13).

画像処理部３は、取り込んだ入力画像における画素の明るさに基づいてカラーフィルタの欠陥箇所を検出する（Ｓ１４）。   The image processing unit 3 detects a defective portion of the color filter based on the brightness of the pixel in the captured input image (S14).

画像処理部３は、取り込んだ入力画像において欠陥を検出した場合（Ｓ１５でＹＥＳ）には、欠陥箇所に対応する絵素の色判定を行なって塗布するインクの色を求め、また、インクの塗布位置を算出する。また、画像処理部３はレーザ光の照射位置を算出する（Ｓ１６）。   When a defect is detected in the input image that has been taken in (YES in S15), the image processing unit 3 determines the color of the pixel corresponding to the defective portion to obtain the color of the ink to be applied, and also applies the ink. Calculate the position. Further, the image processing unit 3 calculates the irradiation position of the laser light (S16).

制御用コンピュータ２は、画像処理部３が含む対物レンズ２１を所定の倍率に切り替える。また、画像処理部３は、カラーフィルタに焦点を合わせるために、対物レンズ２１のフォーカス調整を行なう（Ｓ１７）。   The control computer 2 switches the objective lens 21 included in the image processing unit 3 to a predetermined magnification. Further, the image processing unit 3 adjusts the focus of the objective lens 21 in order to focus on the color filter (S17).

修正処理部５０は、画像処理部３が算出した修正位置等に基づいてカラーフィルタに対するレーザ光の照射およびインク塗布のうち少なくともいずれか一方を行なう（Ｓ１８）。   The correction processing unit 50 performs at least one of laser light irradiation and ink application on the color filter based on the correction position calculated by the image processing unit 3 (S18).

制御用コンピュータ２は、繰り返し回数Ｔｒｙに１を加える（Ｓ１９）。
画像処理部３は、繰り返し回数Ｔｒｙが最大繰り返し回数Ｍａｘ以下である場合には（Ｓ７でＹＥＳ）、修正後の入力画像に対して再び欠陥検出処理を行なう（Ｓ８〜Ｓ１４）。 The control computer 2 adds 1 to the number of repetitions Try (S19).
When the number of repetitions Try is equal to or less than the maximum number of repetitions Max (YES in S7), the image processing unit 3 performs defect detection processing again on the corrected input image (S8 to S14).

そして、画像処理部３は、修正後の入力画像において欠陥を検出した場合（Ｓ１５でＹＥＳ）には、再び欠陥修正処理を行なう（Ｓ１６〜Ｓ１８）。   Then, when the defect is detected in the corrected input image (YES in S15), the image processing unit 3 performs the defect correction process again (S16 to S18).

一方、画像処理部３は、修正後の入力画像において欠陥が検出されない場合（Ｓ１５でＮＯ）であって、繰り返し回数Ｔｒｙが２以上であるとき（Ｓ２１でＮＯ）には、今回の欠陥の修正に成功したと判断し、たとえば再びステップＳ１に戻って別の欠陥の修正を行なう（Ｓ２３）。   On the other hand, when no defect is detected in the corrected input image (NO in S15) and the number of repetitions Try is 2 or more (NO in S21), the image processing unit 3 corrects the current defect. For example, it returns to step S1 again to correct another defect (S23).

また、画像処理部３は、修正後の入力画像において欠陥が検出されない場合（Ｓ１５でＮＯ）であって、繰り返し回数Ｔｒｙが１であるとき（Ｓ２１でＹＥＳ）には、カラーフィルタに欠陥が存在しているかどうかが不明であると判断し、たとえば再びステップＳ１に戻って別の欠陥の修正を行なう（Ｓ２０）。   The image processing unit 3 also has a defect in the color filter when no defect is detected in the corrected input image (NO in S15) and the repeat count Try is 1 (YES in S21). For example, it is determined whether it is unknown, and the process returns to step S1 again to correct another defect (S20).

また、制御用コンピュータ２は、繰り返し回数Ｔｒｙが最大繰り返し回数Ｍａｘを超える場合には（Ｓ７でＮＯ）欠陥修正不可と判断し、たとえば再びステップＳ１に戻って別の欠陥の修正を行なう（Ｓ２０）。   Further, when the number of repetitions Try exceeds the maximum number of repetitions Max (NO in S7), the control computer 2 determines that the defect cannot be corrected, and returns to step S1 again to correct another defect (S20). .

以下、本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置の動作を詳細に説明する。   Hereinafter, the operation of the color filter defect correction apparatus according to the embodiment of the present invention will be described in detail.

［２値化入力画像の生成］
まず、本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置が２値化入力画像を生成する際の動作について説明する。 [Generation of binarized input image]
First, an operation when the color filter defect correcting device according to the embodiment of the present invention generates a binarized input image will be described.

図８は、入力画像および２値化入力画像を示す図である。
画像処理部３は、カラーフィルタを撮影し、撮影した入力画像に基づいて２値化入力画像を生成し、入力画像をブラックマトリックス部ＢＭおよびカラーフィルタ部ＣＦに分離する。入力画像の位置（ｘ，ｙ）における画素の明るさをｆ（ｘ，ｙ）とし、２値化入力画像をｂ（ｘ，ｙ）とし、しきい値をＴとすると、ｆ（ｘ，ｙ）からｂ（ｘ，ｙ）への変換式は以下の式で表わされる。 FIG. 8 is a diagram illustrating an input image and a binarized input image.
The image processing unit 3 captures the color filter, generates a binarized input image based on the captured input image, and separates the input image into the black matrix unit BM and the color filter unit CF. If the brightness of the pixel at the position (x, y) of the input image is f (x, y), the binarized input image is b (x, y), and the threshold is T, f (x, y) ) To b (x, y) is expressed by the following equation.

Figure 2007233299
Figure 2007233299

ｂ（ｘ，ｙ）で表わされる複数個の画素のうち、明るさ１の画素がカラーフィルタ部ＣＦであり、明るさ０の画素がブラックマトリックス部ＢＭである。   Among the plurality of pixels represented by b (x, y), the pixel with brightness 1 is the color filter portion CF, and the pixel with brightness 0 is the black matrix portion BM.

ここで、ブラックマトリックス部ＢＭの明るさの平均値をＩＢＭとし、カラーフィルタ部ＣＦの画素ＲＧＢのうち、最も暗い画素の明るさの平均値をＩＣＦとすると、しきい値Ｔは以下の式で表わされる。   Here, when the average value of the brightness of the black matrix portion BM is IBM and the average value of the brightness of the darkest pixel among the pixels RGB of the color filter portion CF is ICF, the threshold value T is expressed by the following equation. Represented.

Figure 2007233299
Figure 2007233299

［カラーフィルタ部のマスク画像の生成］
次に、画像処理部３が、生成した２値化入力画像に基づいてカラーフィルタ部のマスク画像を生成する動作について説明する。 [Generation of color filter mask image]
Next, an operation in which the image processing unit 3 generates a mask image of the color filter unit based on the generated binarized input image will be described.

図９（ａ）は、登録画像を示す図である。（ｂ）は、２値化入力画像を示す図である。（ｃ）は、カラーフィルタ部のマスク画像を示す図である。   FIG. 9A shows a registered image. (B) is a figure which shows a binarized input image. (C) is a figure which shows the mask image of a color filter part.

画像処理部３は、パターンマッチングにより、画像上のＲＧＢ各絵素の位置を検出する。   The image processing unit 3 detects the position of each RGB pixel on the image by pattern matching.

画像処理部３は、欠陥のない理想的なカラーフィルタを予め撮影し、登録画像ｍ（ｘ，ｙ）として記憶する。   The image processing unit 3 captures an ideal color filter having no defect in advance and stores it as a registered image m (x, y).

画像処理部３は、登録画像ｍ（ｘ，ｙ）から、２値化入力画像ｂ（ｘ，ｙ）と同様に閾値Ｔを用いて、カラーフィルタ部が１（白）であり、それ以外が０（黒）である２値化登録画像を生成する。   The image processing unit 3 uses the threshold T from the registered image m (x, y) as in the binarized input image b (x, y), the color filter unit is 1 (white), and the others A binary registration image that is 0 (black) is generated.

画像処理部３は、２値化登録画像におけるサーチ対象Ｓおよびカラーフィルタ部ＣＦの座標を予め登録している。より詳細には、画像処理部３は、サーチ対象Ｓについては左上端の座標と縦横サイズとを登録し、また、カラーフィルタ部ＣＦについては端点の座標を登録している。   The image processing unit 3 registers in advance the coordinates of the search target S and the color filter unit CF in the binarized registered image. More specifically, the image processing unit 3 registers the coordinates of the upper left corner and the vertical and horizontal sizes for the search target S, and registers the coordinates of the end points for the color filter unit CF.

また、画像処理部３は、サーチ対象Ｓとカラーフィルタ部との位置関係を予め求めている。サーチ対象Ｓの左上端座標を（ｘｓ，ｙｓ）とし、カラーフィルタ部ＣＦの各端点の座標を（ｘｉ，ｙｉ）とすると、サーチ対象Ｓおよびカラーフィルタ部ＣＦの位置関係は、（ｘｉ−ｘｓ，ｙｉ−ｙｓ）となる。   Further, the image processing unit 3 obtains a positional relationship between the search target S and the color filter unit in advance. Assuming that the upper left coordinates of the search target S are (xs, ys) and the coordinates of the end points of the color filter unit CF are (xi, yi), the positional relationship between the search target S and the color filter unit CF is (xi-xs). , Yi-ys).

そして、画像処理部３は、２値化入力画像ｂ（ｘ，ｙ）からサーチ対象Ｓと類似の部位をパターンマッチングによってサーチし、サーチ対象Ｓと類似の部位の左上端座標を求める。また、画像処理部３は、登録時に求めたサーチ対象Ｓおよびカラーフィルタ部ＣＦの位置関係から、サーチ対象Ｓと類似の部位に対応するカラーフィルタ部ＣＦの位置を検出する。   Then, the image processing unit 3 searches the binarized input image b (x, y) for a part similar to the search target S by pattern matching, and obtains the upper left coordinates of the part similar to the search target S. Further, the image processing unit 3 detects the position of the color filter unit CF corresponding to a similar part to the search target S from the positional relationship between the search target S and the color filter unit CF obtained at the time of registration.

同図（ｂ）の点線で示すように、カラーフィルタに欠陥が発生していてサーチ対象Ｓと類似の部位を検出できない場合には、画像処理部３は、欠陥箇所の周囲の検出結果を用いてサーチ対象Ｓと類似の部位の左上端座標を推定する。   As shown by the dotted line in FIG. 5B, when a defect is generated in the color filter and a part similar to the search target S cannot be detected, the image processing unit 3 uses the detection result around the defective part. Thus, the upper left corner coordinates of the part similar to the search target S are estimated.

以上のような処理により、画像処理部３は、カラーフィルタ部ＣＦの各端点の座標を明確にしてカラーフィルタ部を白とし、背景部を黒とするカラーフィルタ部のマスク画像を作成する。このような構成により、マスク画像を単に登録画像から生成する構成と比べて、位置決め誤差等によるマスク画像のずれを最小限にすることができる。   Through the processing as described above, the image processing unit 3 clarifies the coordinates of each end point of the color filter unit CF and creates a mask image of the color filter unit with the color filter unit set to white and the background unit set to black. With such a configuration, the shift of the mask image due to a positioning error or the like can be minimized as compared with a configuration in which a mask image is simply generated from a registered image.

また、ＲＧＢ各画素の明るさは異なるため、サーチ対象Ｓと類似の部位をパターンマッチングによってサーチする際には、通常、色ごとに参照用の登録画像を用意しないと誤認識の可能性が高くなる。しかしながら、本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置では、画像処理部３が、撮影した入力画像に基づいて２値化入力画像を生成し、２値化入力画像に基づいてカラーフィルタ部のマスク画像を生成する構成により、参照用の登録画像を１種類のみ用意すればよく、カラーフィルタ欠陥修正装置の構成および処理の簡易化を図ることができる。   Further, since the brightness of each of the RGB pixels is different, when searching for a part similar to the search target S by pattern matching, there is usually a high possibility of erroneous recognition unless a registered image for reference is prepared for each color. Become. However, in the color filter defect correcting apparatus according to the embodiment of the present invention, the image processing unit 3 generates a binarized input image based on the photographed input image, and the color filter unit based on the binarized input image. With this configuration for generating the mask image, only one type of registered image for reference needs to be prepared, and the configuration and processing of the color filter defect correcting apparatus can be simplified.

［欠陥検出］
次に、画像処理部３が、入力画像を検査して欠陥箇所を検出する際の動作について説明する。 [Defect detection]
Next, an operation when the image processing unit 3 inspects the input image to detect a defective portion will be described.

図１０（ａ）および（ｂ）は、画像処理部が入力画像の水平方向に欠陥検出を行なう際の動作を示す図である。   FIGS. 10A and 10B are diagrams illustrating an operation when the image processing unit performs defect detection in the horizontal direction of the input image.

画像処理部３は、カラーフィルタの画素の明るさに基づいて欠陥箇所を検出する。より詳細には、画像処理部３は、周期的に、すなわち等間隔で配置されている絵素の間隔をＰとすると、入力画像における位置（ｘ，ｙ）の明るさｆ（ｘ，ｙ）に対して、以下のように比較検査を行なう。   The image processing unit 3 detects a defective portion based on the brightness of the color filter pixels. More specifically, the image processing unit 3 periodically sets the brightness f (x, y) at the position (x, y) in the input image, where P is the interval between picture elements arranged at equal intervals. In contrast, a comparative inspection is performed as follows.

Figure 2007233299
Figure 2007233299

上記のように、画像処理部３は、明るさｆ（ｘ，ｙ）と、１周期前の明るさｆ（ｘ−Ｐ，ｙ）および１周期後の明るさｆ（ｘ＋Ｐ，ｙ）とを比較する。   As described above, the image processing unit 3 calculates the brightness f (x, y), the brightness f (x−P, y) before one cycle, and the brightness f (x + P, y) after one cycle. Compare.

ここで、ｓ-p（ｘ，ｙ）はｆ（ｘ，ｙ）とｆ（ｘ−Ｐ，ｙ）との比較結果を、ｓ+p（ｘ，ｙ）はｆ（ｘ，ｙ）とｆ（ｘ＋Ｐ，ｙ）との比較結果を示す。   Here, s-p (x, y) is a comparison result between f (x, y) and f (x-P, y), and s + p (x, y) is f (x, y) and f. The comparison result with (x + P, y) is shown.

画像処理部３は、ｓ-p（ｘ，ｙ）およびｓ+p（ｘ，ｙ）の符号が一致している場合にｓH（ｘ，ｙ）をスライスレベルＴｄと比較する。また、画像処理部３は、ｓ-p（ｘ，ｙ）およびｓ+p（ｘ，ｙ）の符号が一致していない場合には、位置（ｘ−Ｐ，ｙ）または位置（ｘ＋Ｐ，ｙ）における画素に欠陥がある可能性が高く、検査の信頼性が低いため、位置（ｘ，ｙ）を検査対象から除外する。このような構成により、入力画像のノイズによる欠陥検出の誤りを防ぐことができる。   The image processing unit 3 compares sH (x, y) with the slice level Td when the signs of sp (x, y) and s + p (x, y) match. Further, the image processing unit 3 determines that the position (x−P, y) or the position (x + P, y) when the signs of s−p (x, y) and s + p (x, y) do not match. The position (x, y) is excluded from the inspection target because there is a high possibility that the pixel in () is defective and the reliability of the inspection is low. With such a configuration, an error in defect detection due to noise in the input image can be prevented.

そして、画像処理部３は、ｓH（ｘ，ｙ）がＴｄ以上の場合は位置（ｘ，ｙ）における画素を欠陥と判断し、結果をｄH（ｘ，ｙ）に格納する。ｄH（ｘ，ｙ）において、値１の画素は欠陥であることを、値０の画素は正常であることを示す。   Then, when sH (x, y) is equal to or greater than Td, the image processing unit 3 determines that the pixel at the position (x, y) is a defect, and stores the result in dH (x, y). In dH (x, y), a pixel having a value of 1 indicates a defect, and a pixel having a value of 0 indicates normal.

なお、本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置では、画像処理部３は、明るさｆ（ｘ，ｙ）と、１周期前の明るさｆ（ｘ−Ｐ，ｙ）および１周期後の明るさｆ（ｘ＋Ｐ，ｙ）とを比較する構成であるとしたが、これに限定するものではない。画像処理部３が、たとえば明るさｆ（ｘ，ｙ）と、２周期前の明るさｆ（ｘ−２×Ｐ，ｙ）および３周期後の明るさｆ（ｘ＋３×Ｐ，ｙ）とを比較する等、位置（ｘ，ｙ）の画素の明るさと、位置（ｘ，ｙ）の画素が属する絵素とは異なる絵素に属する画素の明るさとを比較する構成であってもよい。   In the color filter defect correcting apparatus according to the embodiment of the present invention, the image processing unit 3 includes the brightness f (x, y), the brightness f (x−P, y) one cycle before, and one cycle. Although it is assumed that the brightness f (x + P, y) is compared later, the present invention is not limited to this. The image processing unit 3 calculates, for example, the brightness f (x, y), the brightness f (x−2 × P, y) before two cycles, and the brightness f (x + 3 × P, y) after three cycles. For example, the brightness of the pixel at the position (x, y) may be compared with the brightness of a pixel belonging to a different pixel from the pixel to which the pixel at the position (x, y) belongs.

また、位置（ｘ，ｙ）の画素の明るさと、位置（ｘ，ｙ）の画素以外の画素の明るさとを比較する、すなわち同じ絵素に属する画素同士の明るさを比較する構成とすることも可能である。ただし、位置（ｘ，ｙ）の画素の明るさと、位置（ｘ，ｙ）の画素が属する絵素とは異なる絵素に属する画素の明るさとを比較する構成では、欠陥検出対象の画素と比較される画素が正常である可能性が高いため、より正確に画素の欠陥を検出することができ、好ましい構成であるといえる。   Further, the brightness of the pixel at the position (x, y) and the brightness of the pixels other than the pixel at the position (x, y) are compared, that is, the brightness of the pixels belonging to the same picture element is compared. Is also possible. However, in the configuration in which the brightness of the pixel at the position (x, y) is compared with the brightness of a pixel belonging to a pixel different from the pixel to which the pixel at the position (x, y) belongs, it is compared with the pixel that is the defect detection target. Since it is highly possible that the pixel to be processed is normal, it is possible to detect the defect of the pixel more accurately, which is a preferable configuration.

図１１（ａ）および（ｂ）は、画像処理部が入力画像の垂直方向に欠陥検出を行なう際の動作を示す図である。   FIGS. 11A and 11B are diagrams illustrating operations when the image processing unit performs defect detection in the vertical direction of the input image.

画像処理部３は、周期的に、すなわち等間隔で配置されている絵素の間隔をＰとすると、入力画像における位置（ｘ，ｙ）の明るさｆ（ｘ，ｙ）に対して、以下のように比較検査を行なう。   The image processing unit 3 performs the following for the brightness f (x, y) at the position (x, y) in the input image, where P is the interval between picture elements arranged periodically, that is, at equal intervals. A comparative inspection is performed as follows.

Figure 2007233299
Figure 2007233299

上記のように、画像処理部３は、明るさｆ（ｘ，ｙ）と、１周期前の明るさｆ（ｘ−Ｐ，ｙ）および１周期後の明るさｆ（ｘ＋Ｐ，ｙ）とを比較する。   As described above, the image processing unit 3 calculates the brightness f (x, y), the brightness f (x−P, y) before one cycle, and the brightness f (x + P, y) after one cycle. Compare.

ここで、ｓ-p（ｘ，ｙ）はｆ（ｘ，ｙ）とｆ（ｘ−Ｐ，ｙ）との比較結果を、ｓ+p（ｘ，ｙ）はｆ（ｘ，ｙ）とｆ（ｘ＋Ｐ，ｙ）との比較結果を示す。   Here, s-p (x, y) is a comparison result between f (x, y) and f (x-P, y), and s + p (x, y) is f (x, y) and f. The comparison result with (x + P, y) is shown.

画像処理部３は、ｓ-p（ｘ，ｙ）およびｓ+p（ｘ，ｙ）の符号が一致している場合にｓV（ｘ，ｙ）をスライスレベルＴｄと比較する。   The image processing unit 3 compares sV (x, y) with the slice level Td when the signs of sp (x, y) and s + p (x, y) match.

そして、画像処理部３は、ｓV（ｘ，ｙ）がＴｄ以上の場合は位置（ｘ，ｙ）における画素を欠陥と判断し、結果をｄV（ｘ，ｙ）に格納する。ｄV（ｘ，ｙ）において、値１の画素は欠陥であることを、値０の画素は正常であることを示す。   Then, when sV (x, y) is equal to or greater than Td, the image processing unit 3 determines that the pixel at the position (x, y) is a defect, and stores the result in dV (x, y). In dV (x, y), a pixel having a value of 1 indicates a defect and a pixel having a value of 0 indicates normal.

次に、画像処理部が入力画像の水平方向および垂直方向の両方に欠陥検出を行なう際の動作について説明する。   Next, an operation when the image processing unit performs defect detection in both the horizontal direction and the vertical direction of the input image will be described.

画像処理部３は、水平方向および垂直方向の明るさｆ（ｘ，ｙ）と、１周期前の明るさｆ（ｘ−Ｐ，ｙ）および１周期後の明るさｆ（ｘ＋Ｐ，ｙ）との比較結果を用いて次のように欠陥検出を行なう。   The image processing unit 3 includes brightness f (x, y) in the horizontal direction and vertical direction, brightness f (x−P, y) before one cycle, and brightness f (x + P, y) after one cycle. Using the comparison result, defect detection is performed as follows.

Figure 2007233299
Figure 2007233299

画像処理部３は、ｓH（ｘ，ｙ）またはｓV（ｘ，ｙ）がＴｄ以上の場合は位置（ｘ，ｙ）における画素を欠陥と判断し、結果をｄHV（ｘ，ｙ）に格納する。ｄHV（ｘ，ｙ）において、値１の画素は欠陥であることを、値０の画素は正常であることを示す。   When sH (x, y) or sV (x, y) is equal to or greater than Td, the image processing unit 3 determines that the pixel at the position (x, y) is a defect and stores the result in dHV (x, y). . In dHV (x, y), a pixel having a value of 1 indicates a defect, and a pixel having a value of 0 indicates normal.

上記各欠陥検出方法の使用例としては、入力画像において複数個の絵素が水平方向に配置されており、かつ垂直方向には１絵素しか配置されていない場合には、入力画像の水平方向に欠陥検出を行なう方法を採用する。また、入力画像において複数個の絵素が垂直方向に配置されており、かつ水平方向には１絵素しか配置されていない場合には、入力画像の垂直方向に欠陥検出を行なう方法を採用する。また、入力画像においてそれぞれ２個以上の絵素が垂直方向および水平方向に配置されている場合には、入力画像の水平方向および垂直方向の両方に欠陥検出を行なう方法を採用する。これら３つの欠陥検出方法は、欠陥検出検査で使用する対物レンズ２１の倍率および絵素のサイズに応じて選択される。   As an example of use of each of the defect detection methods described above, when a plurality of picture elements are arranged in the horizontal direction in the input image and only one picture element is arranged in the vertical direction, the horizontal direction of the input image A method for detecting defects is adopted. Further, when a plurality of picture elements are arranged in the vertical direction in the input image and only one picture element is arranged in the horizontal direction, a method of detecting a defect in the vertical direction of the input image is adopted. . Further, when two or more picture elements are arranged in the vertical direction and the horizontal direction in the input image, a method of detecting a defect in both the horizontal direction and the vertical direction of the input image is adopted. These three defect detection methods are selected according to the magnification of the objective lens 21 used in the defect detection inspection and the size of the picture element.

次に、画像処理部３が黒欠陥のスライスレベルＴｄを決定する際の動作について説明する。   Next, an operation when the image processing unit 3 determines the slice level Td of the black defect will be described.

図１２（ａ）および（ｂ）は、ブラックマトリックス部、ＲＧＢ各画素および黒欠陥のスライスレベルＴｄの関係を示す図である。   FIGS. 12A and 12B are diagrams showing the relationship between the black matrix portion, the RGB pixels, and the slice level Td of the black defect.

ブラックマトリックス部の明るさをＩＢＭとし、ＲＧＢ各画素の明るさをＩＲ、ＩＧ、ＩＢとする。ＩＢＭを基準としたとき、ＩＲ、ＩＧ、ＩＢの各コントラスト値は以下の式で表わされる。   The brightness of the black matrix portion is IBM, and the brightness of each RGB pixel is IR, IG, and IB. When IBM is used as a reference, the contrast values of IR, IG, and IB are expressed by the following equations.

Figure 2007233299
Figure 2007233299

画像処理部３は、ブラックマトリックス部が最も暗いのでｍｉｎ（ＣＲ，ＣＧ，ＣＢ）より小さい値をスライスレベルＴｄとして選択する。   The image processing unit 3 selects a value smaller than min (CR, CG, CB) as the slice level Td because the black matrix portion is the darkest.

Figure 2007233299
Figure 2007233299

ここで、カラーフィルタにおいては、隣接する絵素におけるカラーフィルタ部の明るさは等しくない。観察光学系にもよるが、一般的にCCDカメラは緑の波長に対する感度が最も高い。このため、緑の絵素が入力画像において最も明るく見え、続いて赤、青という順序になる。   Here, in the color filter, the brightness of the color filter portion in adjacent picture elements is not equal. Although it depends on the observation optical system, CCD cameras are generally the most sensitive to green wavelengths. For this reason, green picture elements appear brightest in the input image, followed by red, blue.

前述した入力画像の水平方向、垂直方向ならびに水平方向および垂直方向の両方にそれぞれ欠陥検出を行なう方法では、隣接する絵素のカラーフィルタ部の明るさを比較するため、異なる明るさ同士を比較することになる。しかしながら、本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置は、スライスレベルＴｄをｍｉｎ（ＣＲ，ＣＧ，ＣＢ）より小さい値とする構成であるため、異なる明るさ同士を比較する場合でも、欠陥検出を正確に行なうことができる。   In the above-described method for detecting defects in the horizontal direction, the vertical direction, and both the horizontal direction and the vertical direction of the input image, in order to compare the brightness of the color filter portions of adjacent picture elements, different brightnesses are compared with each other. It will be. However, since the color filter defect correcting device according to the embodiment of the present invention has a configuration in which the slice level Td is set to a value smaller than min (CR, CG, CB), even when comparing different brightnesses, Detection can be performed accurately.

なお、視野が広い場合、すなわち画像処理部３の１回の撮影面積が大きい場合には、同一色に対応する３つおきの絵素におけるカラーフィルタ部の明るさを比較する構成であってもよい。   In the case where the field of view is wide, that is, when the image capturing area of the image processing unit 3 is large, the brightness of the color filter unit in every third picture element corresponding to the same color may be compared. Good.

次に、画像処理部３が白欠陥のスライスレベルＴｄを決定する際の動作について説明する。   Next, an operation when the image processing unit 3 determines the slice level Td of the white defect will be described.

図１３（ａ）および（ｂ）は、ブラックマトリックス部、ＲＧＢ各画素および白欠陥のスライスレベルＴｄの関係を示す図である。   FIGS. 13A and 13B are diagrams showing the relationship between the black matrix portion, the RGB pixels, and the slice level Td of the white defect.

白欠陥部の明るさをＩＷＨとし、ＲＧＢ各画素の明るさをＩＲ、ＩＧ、ＩＢとする。ＩＷＨを基準としたとき、ＩＲ、ＩＧ、ＩＢの各コントラスト値は以下の式で表わされる。   The brightness of the white defect portion is IWH, and the brightness of each RGB pixel is IR, IG, and IB. When IWH is used as a reference, the contrast values of IR, IG, and IB are expressed by the following equations.

Figure 2007233299
Figure 2007233299

画像処理部３は、白欠陥部が最も明るくなるのでｍｉｎ（ＣＲ，ＣＧ，ＣＢ）より小さい値をスライスレベルＴｄとして選択する。   The image processing unit 3 selects a value smaller than min (CR, CG, CB) as the slice level Td because the white defect portion is brightest.

Figure 2007233299
Figure 2007233299

図１４（ａ）は、欠陥の存在するカラーフィルタの入力画像を示す図である。（ｂ）は、画像処理部が生成した黒欠陥抽出画像を示す図である。   FIG. 14A is a diagram illustrating an input image of a color filter having a defect. (B) is a figure which shows the black defect extraction image which the image process part produced | generated.

同図（ａ）を参照して、カラーフィルタには、黒欠陥および白欠陥が混在している。画像処理部３は、黒欠陥のスライスレベルＴｄを用いて黒欠陥を検出し、同図（ｂ）に示すような２値化された黒欠陥抽出画像を生成する。   Referring to FIG. 5A, the color filter has a mixture of black defects and white defects. The image processing unit 3 detects a black defect using the slice level Td of the black defect, and generates a binarized black defect extraction image as shown in FIG.

図１５（ａ）は、欠陥の存在するカラーフィルタの入力画像を示す図である。（ｂ）は、画像処理部が生成した白欠陥抽出画像を示す図である。   FIG. 15A is a diagram illustrating an input image of a color filter having a defect. (B) is a figure which shows the white defect extraction image which the image process part produced | generated.

同図（ａ）を参照して、カラーフィルタには、黒欠陥および白欠陥が混在している。画像処理部３は、白欠陥のスライスレベルＴｄを用いて白欠陥を検出し、同図（ｂ）に示すような２値化された白欠陥抽出画像を生成する。   Referring to FIG. 5A, the color filter has a mixture of black defects and white defects. The image processing unit 3 detects a white defect using the slice level Td of the white defect, and generates a binarized white defect extraction image as shown in FIG.

このように、本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置では、カラーフィルタにおいて黒欠陥および白欠陥が混在している場合にも、黒欠陥および白欠陥を区別して検出することができる。   As described above, in the color filter defect correcting apparatus according to the embodiment of the present invention, it is possible to distinguish and detect the black defect and the white defect even when the black defect and the white defect are mixed in the color filter.

ところで、白欠陥は、ブラックマトリックス部における白欠陥およびカラーフィルタ部における白欠陥の２種類が存在する。たとえばブラックマトリックス部における白欠陥に対しては、インクを塗布して抜けの部分を埋めて修正を行なうが、インクの塗布範囲をブラックマトリックス部の幅に合わせることはできない。これは、インク塗布針のサイズを白欠陥のサイズに合わせて変更することができないからである。また、異なる径を有する複数個の針をカラーフィルタ欠陥修正装置が備える構成とすることは可能であるが、あらゆる白欠陥を網羅することはできない。   By the way, there are two types of white defects: white defects in the black matrix portion and white defects in the color filter portion. For example, for white defects in the black matrix portion, ink is applied to fill in the missing portions and correction is performed, but the ink application range cannot be adjusted to the width of the black matrix portion. This is because the size of the ink application needle cannot be changed in accordance with the size of the white defect. In addition, the color filter defect correcting device may include a plurality of needles having different diameters, but cannot cover all white defects.

このため、ブラックマトリックス部における白欠陥を修正する際にインクを塗布するとはみ出しが発生する。すなわち、ブラックマトリックス部にインクを塗布するとカラーフィルタ部にはみ出すことになり、インクがはみ出した部分はカラーフィルタ部の黒欠陥となる。そうすると、このカラーフィルタ部における黒欠陥を検出し、レーザ光を照射して黒欠陥を除去し、黒欠陥を除去した部分にインクを塗布する必要が生じる。   For this reason, when ink is applied when correcting the white defect in the black matrix portion, the protrusion occurs. That is, when ink is applied to the black matrix portion, the ink protrudes to the color filter portion, and the portion where the ink protrudes becomes a black defect in the color filter portion. Then, it is necessary to detect a black defect in the color filter portion, remove the black defect by irradiating a laser beam, and apply ink to a portion where the black defect is removed.

カラーフィルタ部における白欠陥を修正した後でブラックマトリックス部における白欠陥を修正すると、上記のようにカラーフィルタ部にはみ出したインク、すなわち黒欠陥を除去し、黒欠陥を除去した部分に再度インクを塗布する必要が生じ、欠陥修正時間が増大してしまう。したがって、修正順序としては、ブラックマトリックス部における白欠陥を修正した後でカラーフィルタ部における白欠陥を修正する順序が好ましい。   If the white defect in the black matrix part is corrected after correcting the white defect in the color filter part, the ink that protrudes from the color filter part as described above, that is, the black defect is removed, and the ink is again applied to the part from which the black defect is removed It becomes necessary to apply, and the defect correction time increases. Therefore, the correction order is preferably the order in which the white defects in the color filter portion are corrected after the white defects in the black matrix portion are corrected.

なお、カラーフィルタ部における白欠陥を修正した際にインクがブラックマトリックス部にはみ出す場合があるが、ブラックマトリックス部にはみ出したインクはカラーフィルタを通過すべき光をさえぎらないため、大きな問題にはならない。   In addition, when the white defect in the color filter portion is corrected, the ink may protrude into the black matrix portion. However, since the ink protruding into the black matrix portion does not block the light that should pass through the color filter, it does not cause a big problem. .

そこで、画像処理部３は、ブラックマトリックス部における白欠陥およびカラーフィルタ部における白欠陥を判別し、ブラックマトリックス部における白欠陥を修正した後でカラーフィルタ部における白欠陥を修正する。   Therefore, the image processing unit 3 determines the white defect in the black matrix portion and the white defect in the color filter portion, and corrects the white defect in the color filter portion after correcting the white defect in the black matrix portion.

図１６は、画像処理部がカラーフィルタ部における白欠陥抽出画像を生成する動作を示す図である。図１７は、画像処理部がブラックマトリックス部における白欠陥抽出画像を生成する動作を示す図である。   FIG. 16 is a diagram illustrating an operation in which the image processing unit generates a white defect extraction image in the color filter unit. FIG. 17 is a diagram illustrating an operation in which the image processing unit generates a white defect extraction image in the black matrix unit.

カラーフィルタ部のマスク画像は、カラーフィルタ部が１であり、ブラックマトリックス部を含むカラーフィルタ部以外の部分が０の２値化された画像である。また、白欠陥抽出画像は、欠陥部分が１であり、欠陥部分以外の部分が０の２値化された画像である。したがって、画像処理部３は、カラーフィルタ部のマスク画像と白欠陥抽出画像との論理積を演算することにより、カラーフィルタ部における白欠陥抽出画像を生成する。また、画像処理部３は、カラーフィルタ部のマスク画像の論理レベルを反転した画像と白欠陥抽出画像との論理積を演算することにより、ブラックマトリックス部における白欠陥抽出画像を生成する。   The mask image of the color filter portion is a binarized image in which the color filter portion is 1 and the portions other than the color filter portion including the black matrix portion are 0. The white defect extraction image is a binarized image in which the defect portion is 1 and the portions other than the defect portion are 0. Therefore, the image processing unit 3 generates a white defect extraction image in the color filter unit by calculating a logical product of the mask image of the color filter unit and the white defect extraction image. Further, the image processing unit 3 calculates a logical product of an image obtained by inverting the logical level of the mask image of the color filter unit and a white defect extracted image, thereby generating a white defect extracted image in the black matrix unit.

［センタリング］
次に、本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置における制御用コンピュータ２がセンタリングを行なう際の動作について説明する。 [centering]
Next, the operation when the control computer 2 performs centering in the color filter defect correction apparatus according to the embodiment of the present invention will be described.

図１８は、画像処理部が欠陥マスク画像を生成する動作を示す図である。
同図を参照して、画像処理部３は、前述のように黒欠陥抽出画像および白欠陥抽出画像を生成し、両者の論理和を演算することにより、欠陥マスク画像を生成する。 FIG. 18 is a diagram illustrating an operation in which the image processing unit generates a defect mask image.
Referring to FIG. 3, image processing unit 3 generates a black defect extraction image and a white defect extraction image as described above, and generates a defect mask image by calculating a logical sum of both.

そして、画像処理部３は、欠陥マスク画像において値が１である部分（同図においてハッチングのない部分）の重心位置を計算する。   Then, the image processing unit 3 calculates the position of the center of gravity of the portion having a value of 1 in the defect mask image (the portion without hatching in the figure).

すなわち、画像処理部３は、欠陥マスク画像において、値１の画素の総数をＮとし、値１の画素ｉの座標を（Ｘｉ，Ｙｉ）とすると、欠陥部位の重心座標（ＸＧ，ＹＧ）を次の式に基づいて算出する。   That is, in the defect mask image, if the total number of pixels having the value 1 is N and the coordinates of the pixel i having the value 1 are (Xi, Yi), the image processing unit 3 sets the barycentric coordinates (XG, YG) of the defective part. Calculation is based on the following formula.

Figure 2007233299
Figure 2007233299

そして、制御用コンピュータ２は、画像処理部３の算出結果に基づいて、欠陥部位の重心座標（ＸＧ，ＹＧ）が画面中心に一致するように位置決め機構５１を制御する。   Then, the control computer 2 controls the positioning mechanism 51 based on the calculation result of the image processing unit 3 so that the barycentric coordinates (XG, YG) of the defective part coincide with the center of the screen.

［色判定］
次に、本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置が欠陥を含む絵素の色判定を行なう際の動作について説明する。 [Color judgment]
Next, an operation when the color filter defect correcting apparatus according to the embodiment of the present invention performs color determination of a pixel including a defect will be described.

図１９は、欠陥抽出画像の一例を示す図である。
生成したカラーフィルタ部のマスク画像から各絵素におけるカラーフィルタ部の位置が明らかになっているため、画像処理部３は、各絵素のカラーフィルタ部の位置と欠陥抽出画像とを照合することにより、欠陥ＥＲＲを含む絵素ＰＥＲＲを特定する。より詳細には、画像処理部３は、欠陥の位置情報として欠陥に外接する長方形Ｒの頂点座標を求め、この長方形Ｒを含む絵素（以下、欠陥絵素とも称する）を検出する。 FIG. 19 is a diagram illustrating an example of a defect extraction image.
Since the position of the color filter part in each picture element is clarified from the generated mask image of the color filter part, the image processing part 3 collates the position of the color filter part of each picture element and the defect extraction image. Thus, the pixel element PERR including the defect ERR is specified. More specifically, the image processing unit 3 obtains vertex coordinates of a rectangle R circumscribing the defect as defect position information, and detects a picture element including the rectangle R (hereinafter also referred to as a defective picture element).

次に、画像処理部３は、予め登録されている色情報と欠陥絵素ＰＥＲＲの色情報とを比較し、欠陥絵素の色を特定する。   Next, the image processing unit 3 compares the color information registered in advance with the color information of the defective picture element PERR and identifies the color of the defective picture element.

より詳細には、画像処理部３は、予めＲＧＢ各画素の色相代表値を登録しておく。ＲＧＢそれぞれの色相代表値をＨＲ、ＨＧ、ＨＢとすると、ＨＲ、ＨＧ、ＨＢは以下の式で表わされる。   More specifically, the image processing unit 3 registers the hue representative value of each RGB pixel in advance. If the hue representative values of RGB are HR, HG and HB, HR, HG and HB are expressed by the following equations.

Figure 2007233299
Figure 2007233299

式（Ｄ１）において、Ｈｍ（ｘ，ｙ）は色相値を表し、登録画像ｍ（ｘ，ｙ）におけるＲＧＢ値から後述する変換式により求められる。また、（ｘ1，ｙ1）は測定領域の左上端座標であり、（ｘ2，ｙ2）は測定領域の右下端座標を示す。つまり、ＨＲ、ＨＧ、ＨＢは測定領域内の色相平均値である。   In Expression (D1), Hm (x, y) represents a hue value, and is obtained from the RGB value in the registered image m (x, y) by a conversion expression described later. Further, (x1, y1) is the upper left coordinates of the measurement region, and (x2, y2) is the lower right coordinates of the measurement region. That is, HR, HG, and HB are hue average values in the measurement region.

図２０は、ＲＧＢ各絵素の色相ヒストグラムを示す図である。
同図を参照して、実際にはＲＧＢ各絵素の色相値はそれぞれＨＲ、ＨＧ、ＨＢを中心として分布しているので、画像処理部３は、ＲＧＢ各絵素の色相代表値を（ＨＲ±ｒＲ）、（ＨＧ±ｒＧ）、（ＨＢ±ｒＢ）として保持する。ｒＲ、ｒＧ、ｒＢは、ＨＲ、ＨＧ、ＨＢを中心とする各分布の標準偏差をσとおくとたとえば３×σである。 FIG. 20 is a diagram showing a hue histogram of each RGB picture element.
With reference to the figure, since the hue values of the RGB picture elements are actually distributed around HR, HG, and HB, the image processing unit 3 sets the hue representative values of the RGB picture elements to (HR). Hold as ± rR), (HG ± rG), (HB ± rB). rR, rG, and rB are, for example, 3 × σ, where σ is the standard deviation of each distribution centered on HR, HG, and HB.

図２１は、画像処理部が色相情報計算マスク画像を生成する動作を示す図である。
同図を参照して、画像処理部３は、欠陥抽出画像とカラーフィルタ部マスク画像との排他的論理和を演算することにより、色相情報計算マスク画像を生成する。 FIG. 21 is a diagram illustrating an operation in which the image processing unit generates a hue information calculation mask image.
Referring to the figure, image processing unit 3 generates a hue information calculation mask image by calculating an exclusive OR of the defect extraction image and the color filter unit mask image.

画像処理部３は、色相情報計算マスク画像において値１（同図においてハッチングのない部分）の画素についてのみ色相値を計算する。画像処理部３は、ブラックマトリックス部と同じ値０である欠陥部分は色相値が不明であるため、計算対象外とする。   The image processing unit 3 calculates a hue value only for a pixel having a value of 1 (a portion without hatching in the figure) in the hue information calculation mask image. The image processing unit 3 excludes the defect portion having the same value 0 as that of the black matrix portion from the calculation target because the hue value is unknown.

生成したカラーフィルタ部のマスク画像から各絵素のカラーフィルタ部の位置が明らかになっているため、画像処理部３は、各カラーフィルタ部において色相情報計算マスクの値が１の画素の色相値を累算し、カラーフィルタ部ごとに色相値の平均値を求める。そして、画像処理部３は、求めた平均値とＲＧＢ各絵素の色相代表値とを比較し、求めた平均値が最も近い色相代表値に対応する色をカラーフィルタ部の色と決定する。   Since the position of the color filter portion of each picture element has been clarified from the generated mask image of the color filter portion, the image processing portion 3 uses the hue value of the pixel whose hue information calculation mask value is 1 in each color filter portion. And an average value of hue values is obtained for each color filter portion. Then, the image processing unit 3 compares the obtained average value with the hue representative value of each of the RGB picture elements, and determines the color corresponding to the hue representative value with the closest obtained average value as the color of the color filter unit.

ここで、カラーフィルタ内の色相情報計算マスクがすべて０の場合は、色不定となる。この場合は後述するように予め登録された色並び情報に基づいてカラーフィルタ部の色を特定する。   Here, when the hue information calculation mask in the color filter is all 0, the color is indefinite. In this case, as described later, the color of the color filter unit is specified based on color arrangement information registered in advance.

次に、登録画像ｍ（ｘ，ｙ）におけるＲＧＢ値から色相値を算出する方法を説明する。
カラーＣＣＤカメラで撮影された画像では、色の３原色であるＲＧＢの３つの値を用いて色を表わすが、色合いおよび鮮やかさ等の感覚的な量はＲＧＢの値では分かりにくいので、人間の感覚に近い表色系が考案されている。表色系の１つとしてＨＳＶ表色系がある。ここで、Ｈは色相、Ｓは彩度、Ｖは明るさを示す。ＨＳＶ表色系はＲＧＢ値から容易に計算することができ、コンピュータによる画像処理の分野で用いられている。 Next, a method for calculating the hue value from the RGB value in the registered image m (x, y) will be described.
In an image taken with a color CCD camera, colors are expressed using three values of RGB, which are the three primary colors. However, since sensory quantities such as hue and vividness are difficult to understand with RGB values, A color system close to the senses has been devised. One of the color systems is the HSV color system. Here, H indicates hue, S indicates saturation, and V indicates brightness. The HSV color system can be easily calculated from RGB values and is used in the field of computer image processing.

ＲＧＢ値の内、最小値をｆｍｉｎとし、最大値をｆｍａｘとすると、明るさＶはＶ＝ｆｍａｘで表わされる。   Of the RGB values, if the minimum value is fmin and the maximum value is fmax, the brightness V is expressed by V = fmax.

また、色相Ｈおよび彩度Ｓは以下のように算出される。   The hue H and saturation S are calculated as follows.

Figure 2007233299
Figure 2007233299

［色判定の信頼度］
次に、本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置における色判定の信頼度の算出方法および使用方法について説明する。 [Reliability of color judgment]
Next, a method for calculating and using a color determination reliability in the color filter defect correcting apparatus according to the embodiment of the present invention will be described.

図２２（ａ）および（ｂ）は、本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置において絵素の色判定の信頼度が低い場合において行なわれる色判定の様子を示す図である。   FIGS. 22A and 22B are diagrams showing the state of color determination performed when the color determination reliability of the picture element is low in the color filter defect correcting apparatus according to the embodiment of the present invention.

各カラーフィルタ部において、カラーフィルタ部の総画素数をＮとし、色判定に用いた色相情報マスクの値１の画素数をＮｍとすると、絵素の色判定に対する信頼度ＲはＲ＝Ｎｍ／Ｎで表わされる。   In each color filter unit, when the total number of pixels of the color filter unit is N and the number of pixels of the hue information mask value 1 used for color determination is Nm, the reliability R for the pixel color determination is R = Nm / N.

画像処理部３は、信頼度Ｒが所定値以上の絵素については前述のカラーフィルタ部の色相値の平均値と色相代表値との比較による色判定結果を信頼する。一方、画像処理部３は、信頼度Ｒが所定値未満の絵素については、予め登録されている色並び情報と照合し、色並び情報に対して矛盾がある場合は色判定結果を訂正する。   The image processing unit 3 trusts the color determination result obtained by comparing the average value of the hue value of the color filter unit and the hue representative value for the picture element having the reliability R of the predetermined value or more. On the other hand, the image processing unit 3 compares the color arrangement information registered in advance for the picture elements having the reliability R less than the predetermined value, and corrects the color determination result when there is a contradiction with the color arrangement information. .

ここで、色並び情報は論理的なものであり、たとえばカラーフィルタの入力画像の横方向がＲＧＢという配列になっているのであれば(ＲＧＢ)という並び順を記憶しておく。色並び情報は、たとえばカラーフィルタ欠陥修正装置に設定するレシピに入力しておく。なお、レシピは、たとえば制御用コンピュータ２における記憶部に保存される。   Here, the color arrangement information is logical. For example, if the horizontal direction of the input image of the color filter is an RGB arrangement, the arrangement order (RGB) is stored. For example, the color arrangement information is input to a recipe set in the color filter defect correcting apparatus. The recipe is stored in a storage unit in the control computer 2, for example.

まず、同図（ａ）に示すように、入力画像の横方向においてＲＧＢ各絵素が（ＲＧＢ）の順で配列されている場合について説明する。画像処理部３は、入力画像の左上から右下に向かって絵素を走査していき、信頼度Ｒの低い絵素（同図（ａ）のＤ１）が出現した場合、信頼度Ｒが低い絵素の手前の絵素（同図（ａ）のＤ２）の次の絵素の色を色並び情報から検索する。そして、色並び情報から検索した色と信頼度Ｒが低い絵素の上の絵素（同図（ａ）のＤ３）の色とが同じ場合には色並び情報から検索した色を信頼度Ｒが低い絵素の色であると決定する。また、信頼度Ｒが低い絵素の上の絵素の色が不定である場合には、信頼度Ｒが低い絵素の下の絵素（同図（ａ）のＤ４）の色と色並び情報から検索した色とを照合する。信頼度Ｒが低い絵素の下の絵素の色が不定である場合には、信頼度Ｒが低い絵素の次の絵素（同図（ａ）のＤ５）の手前の絵素の色を色並び情報から検索し、信頼度Ｒが低い絵素の次の絵素（同図（ａ）のＤ５）の上の絵素（同図（ａ）のＤ６）または信頼度Ｒが低い絵素の次の絵素の下の絵素（同図（ａ）のＤ７）の色と色並び情報から検索した色とを照合する。   First, as shown in FIG. 4A, a case where RGB picture elements are arranged in the order of (RGB) in the horizontal direction of the input image will be described. The image processing unit 3 scans the picture elements from the upper left to the lower right of the input image. When a picture element having a low reliability R (D1 in FIG. 5A) appears, the reliability R is low. The color of the picture element next to the picture element in front of the picture element (D2 in FIG. 9A) is searched from the color arrangement information. If the color retrieved from the color arrangement information is the same as the color of the picture element on the picture element having a low reliability R (D3 in FIG. 9A), the color retrieved from the color arrangement information is represented by the reliability R. Is determined to be a low pixel color. Further, when the color of the picture element above the picture element having a low reliability R is indefinite, the color and the color arrangement of the picture element below the picture element having a low reliability R (D4 in FIG. 4A). Check the color retrieved from the information. If the color of the picture element under the picture element with low reliability R is indefinite, the color of the picture element in front of the picture element next to the picture element with low reliability R (D5 in FIG. 5A) Is retrieved from the color arrangement information, and the picture element (D6 in the figure (a)) on the next picture element (D5 in the figure (a)) of the picture element with the low reliability R or the picture with the low reliability R The color of the picture element below the next picture element (D7 in FIG. 5A) is compared with the color retrieved from the color arrangement information.

次に、同図（ｂ）に示すように、入力画像の縦方向においてＲＧＢ各絵素が（ＲＧＢ）の順で配列されている場合について説明する。画像処理部３は、入力画像の左上から右下に向かって絵素を走査していき、信頼度Ｒの低い絵素（同図（ｂ）のＤ１）が出現した場合、信頼度Ｒが低い絵素の手前の絵素（同図（ｂ）のＤ２）の次の絵素の色を色並び情報から検索する。そして、色並び情報から検索した色と信頼度Ｒが低い絵素の左の絵素（同図（ｂ）のＤ３）の色とが同じ場合には色並び情報から検索した色を信頼度Ｒが低い絵素の色であると決定する。また、信頼度Ｒが低い絵素の左の絵素の色が不定である場合には、信頼度Ｒが低い絵素の右の絵素（同図（ｂ）のＤ４）の色と色並び情報から検索した色とを照合する。信頼度Ｒが低い絵素の右の絵素の色が不定である場合には、信頼度Ｒが低い絵素の次の絵素（同図（ｂ）のＤ５）の手前の絵素の色を色並び情報から検索し、信頼度Ｒが低い絵素の次の絵素（同図（ｂ）のＤ５）の左の絵素（同図（ｂ）のＤ６）または信頼度Ｒが低い絵素の次の絵素の右の絵素（同図（ｂ）のＤ７）の色と色並び情報から検索した色とを照合する。   Next, a case will be described in which RGB picture elements are arranged in the order of (RGB) in the vertical direction of the input image as shown in FIG. The image processing unit 3 scans the picture elements from the upper left to the lower right of the input image. When a picture element having a low reliability R (D1 in FIG. 5B) appears, the reliability R is low. The color of the picture element next to the picture element in front of the picture element (D2 in FIG. 5B) is searched from the color arrangement information. If the color searched from the color arrangement information is the same as the color of the left picture element (D3 in FIG. 5B) of the picture element having a low reliability R, the color searched from the color arrangement information is represented by the reliability R. Is determined to be a low pixel color. When the color of the left picture element of the picture element with low reliability R is indefinite, the color and color arrangement of the right picture element (D4 in FIG. 5B) of the picture element with low reliability R Check the color retrieved from the information. If the color of the right picture element of a picture element with low reliability R is indefinite, the color of the picture element in front of the next picture element with low reliability R (D5 in FIG. 5B) From the color arrangement information, and the picture element on the left of the next pixel element (D5 in the figure (b)) of the picture element with the low reliability R (D6 in the figure (b)) or the picture with the low reliability R The color of the picture element on the right of the next picture element (D7 in FIG. 5B) is collated with the color retrieved from the color arrangement information.

次に、本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置がカラーフィルタに対するインク塗布位置およびレーザ光照射位置を決定する際の動作について説明する。なお、インク塗布位置およびレーザ光照射位置に関する値の算出は、画像処理部３の代わりに制御用コンピュータ２が行なう構成であってもよい。   Next, the operation when the color filter defect correcting device according to the embodiment of the present invention determines the ink application position and the laser beam irradiation position for the color filter will be described. It should be noted that the calculation relating to the ink application position and the laser light irradiation position may be performed by the control computer 2 instead of the image processing unit 3.

［インク塗布位置計算］
次に、本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置がカラーフィルタに対するインク塗布位置を決定する際の動作について説明する。 [Ink application position calculation]
Next, the operation when the color filter defect correcting device according to the embodiment of the present invention determines the ink application position for the color filter will be described.

制御用コンピュータ２は、画像処理部３のインク塗布位置の算出結果に基づいてインク塗布部９および位置決め機構５１を制御して、カラーフィルタの欠陥箇所にインクを塗布する。   The control computer 2 controls the ink application unit 9 and the positioning mechanism 51 based on the calculation result of the ink application position of the image processing unit 3 to apply ink to the defective portion of the color filter.

まず、カラーフィルタ部が矩形開口パターンを有する場合、すなわちカラーフィルタ部の形状が矩形である場合の、本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置がカラーフィルタに対するインク塗布位置を決定する際の動作について説明する。   First, when the color filter portion has a rectangular opening pattern, that is, when the shape of the color filter portion is rectangular, the color filter defect correction device according to the embodiment of the present invention determines the ink application position for the color filter. Will be described.

図２３は、カラーフィルタの欠陥の一例を示す図である。
同図を参照して、画像処理部３は、前述の欠陥検出処理により、欠陥箇所に外接する長方形の頂点Ａ〜頂点Ｄの座標を求める。画像処理部３は、頂点Ａ〜頂点Ｄの座標に基づいてインク塗布位置を決定する。 FIG. 23 is a diagram illustrating an example of a color filter defect.
With reference to the figure, the image processing unit 3 obtains the coordinates of the vertexes A to D of the rectangle circumscribing the defect portion by the above-described defect detection process. The image processing unit 3 determines the ink application position based on the coordinates of the vertex A to the vertex D.

図２４は、塗布開始時の塗布円の中心座標および塗布終了時の塗布円の中心座標を示す図である。   FIG. 24 is a diagram illustrating the center coordinates of the application circle at the start of application and the center coordinates of the application circle at the end of application.

同図を参照して、塗布開始時の塗布円の中心座標（ｘst，ｙst）は、塗布円の直径をＤとし、頂点Ａの座標を（ｘA，ｙA）とすると以下の式で表わされる。   Referring to the figure, the center coordinates (xst, yst) of the application circle at the start of application are expressed by the following equations, where D is the diameter of the application circle and (xA, yA) is the coordinate of vertex A.

Figure 2007233299
Figure 2007233299

また、塗布終了時の塗布円の中心座標（ｘed，ｙed）は、頂点Ｃの座標を（ｘC，ｙC）とすると以下の式で表わされる。   Further, the center coordinates (xed, yed) of the application circle at the end of the application are expressed by the following equations, where the coordinates of the vertex C are (xC, yC).

Figure 2007233299
Figure 2007233299

水平方向の塗布円個数ｎｘは、塗布ピッチをｐとすると以下の式で表わされる。   The number of coating circles nx in the horizontal direction is expressed by the following formula where the coating pitch is p.

Figure 2007233299
Figure 2007233299

ここで、ｃｅｉｌｉｎｇ（）は、「指定された数以上のうち、最小の整数を返す」関数である。   Here, ceiling () is a function “returns the smallest integer among the specified number or more”.

垂直方向の塗布ライン数ｎｙは、塗布ピッチすなわちインク塗布の間隔をｐとすると以下の式で表わされる。   The number of coating lines ny in the vertical direction is expressed by the following equation where p is the coating pitch, that is, the ink coating interval.

Figure 2007233299
Figure 2007233299

図２５は、インク塗布動作中の塗布円の中心座標を示す図である。
塗布位置（ｘij，ｙij）は、水平方向および垂直方向の塗布ピッチをそれぞれｐｘおよびｐｙとすると以下の式で表わされる。 FIG. 25 is a diagram showing the center coordinates of the application circle during the ink application operation.
The application position (xij, yij) is expressed by the following expression, where application pitches in the horizontal direction and the vertical direction are px and py, respectively.

Figure 2007233299
Figure 2007233299

ｐｘおよびｐｙは、それぞれ以下の式で表わされる。   px and py are represented by the following equations, respectively.

Figure 2007233299
Figure 2007233299

図２６は、カラーフィルタにおける欠陥箇所の一例およびインク塗布位置を示す図である。   FIG. 26 is a diagram illustrating an example of a defective portion and an ink application position in the color filter.

同図を参照して、画像処理部３は、カラーフィルタにおける塗布円と欠陥箇所との重なり判定を行なう。すなわち、画像処理部３は、ある塗布円内の欠陥箇所の面積が０または所定値以下の場合には、その塗布円にはインク塗布を行なわない。たとえば、同図において点線で示す塗布円内の欠陥箇所の面積は０であるため、画像処理部３は、点線で示す塗布円にはインク塗布を行なわない。   With reference to the figure, the image processing unit 3 determines the overlap between the application circle and the defective portion in the color filter. That is, the image processing unit 3 does not apply ink to the application circle when the area of the defective portion in the application circle is 0 or less than a predetermined value. For example, since the area of the defective portion in the application circle indicated by the dotted line in the figure is 0, the image processing unit 3 does not apply ink to the application circle indicated by the dotted line.

このような構成により、長方形のコーナーに塗布したときにインクの欠けが発生せず、かつインクのはみ出しを防ぐことができる。   With such a configuration, ink missing does not occur when applied to a rectangular corner, and the ink can be prevented from protruding.

次に、カラーフィルタ部がＶ字開口パターンを有する場合、すなわちカラーフィルタ部の形状がＶ字型である場合の、本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置がカラーフィルタに対するインク塗布位置を決定する際の動作について説明する。   Next, when the color filter portion has a V-shaped opening pattern, that is, when the shape of the color filter portion is V-shaped, the color filter defect correcting device according to the embodiment of the present invention applies the ink application position to the color filter. The operation when determining the will be described.

図２７は、Ｖ字開口パターンを有するカラーフィルタ部の欠陥の一例を示す図である。
本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置では、同図に示すＶ字開口パターンの向き（角度）等の情報が予めレシピに登録されている。 FIG. 27 is a diagram illustrating an example of a defect in a color filter portion having a V-shaped opening pattern.
In the color filter defect correcting apparatus according to the embodiment of the present invention, information such as the direction (angle) of the V-shaped opening pattern shown in FIG.

図２８は、画像処理部がＶ字開口パターンを有するカラーフィルタ部の領域を２分割する様子を示す図である。   FIG. 28 is a diagram illustrating a state in which the image processing unit divides the region of the color filter unit having the V-shaped opening pattern into two.

同図を参照して、画像処理部３は、カラーフィルタ部においてＶ字の谷で軸対称に２等分することにより、カラーフィルタ部を２つの平行四辺形に分離する。   With reference to the figure, the image processing unit 3 divides the color filter unit into two parallelograms by dividing the color filter unit into two axially symmetrical halves at the V-shaped valleys.

図２９は、本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置がＶ字開口パターンを有するカラーフィルタ部の欠陥箇所にインクを塗布する様子を示す図である。   FIG. 29 is a diagram illustrating a state in which the color filter defect correcting device according to the embodiment of the present invention applies ink to a defective portion of a color filter portion having a V-shaped opening pattern.

図３０は、本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置が行なう塗布円の配置を示す図である。   FIG. 30 is a diagram showing the arrangement of coating circles performed by the color filter defect correcting device according to the embodiment of the present invention.

図２９および図３０を参照して、平行四辺形の頂点を頂点Ａ〜頂点Ｄとする。制御用コンピュータ２は、画像処理部３の算出結果に基づいて、２分割されたＶ字開口パターンの左側の領域からインクを塗布する。まず、制御用コンピュータ２は、左側の平行四辺形の上辺ＡＤまたは底辺ＢＣに平行な塗布ラインを１個以上設定し、設定した塗布ラインに沿ってインクを塗布する。また、右側の平行四辺形も同様に、右側の平行四辺形の上辺ＡＤまたは底辺ＢＣに平行な塗布ラインを１個以上設定し、設定した塗布ラインに沿ってインクを塗布する。   29 and 30, let the vertices of the parallelogram be vertex A to vertex D. Based on the calculation result of the image processing unit 3, the control computer 2 applies ink from the left region of the V-shaped opening pattern divided into two. First, the control computer 2 sets one or more application lines parallel to the upper side AD or the bottom side BC of the left parallelogram, and applies ink along the set application lines. Similarly, in the right parallelogram, one or more application lines parallel to the upper side AD or the base BC of the right parallelogram are set, and ink is applied along the set application line.

平行四辺形の頂点Ａから頂点Ｂに向かうベクトルと水平軸とのなす角をαとし、頂点Ａから頂点Ｃに向かうベクトルと水平軸とのなす角をβとし、頂点Ａ〜頂点Ｄの座標をそれぞれ（ｘA，ｙA）、（ｘB，ｙB）、（ｘC，ｙC）、（ｘD，ｙD）とし、塗布円の直径をＤとする。同図に示すポイント１〜４の座標（ｘ1，ｙ1）、（ｘ2，ｙ2）、（ｘ3，ｙ3）、（ｘ4，ｙ4）は、それぞれ以下の式で表わされる。   The angle between the horizontal axis and the vector going from vertex A to vertex B of the parallelogram and the horizontal axis is α, the angle between the vector going from vertex A to vertex C and the horizontal axis is β, and the coordinates of vertex A to vertex D are Let (xA, yA), (xB, yB), (xC, yC), (xD, yD) respectively, and let the diameter of the coating circle be D. The coordinates (x1, y1), (x2, y2), (x3, y3), and (x4, y4) of the points 1 to 4 shown in FIG.

Figure 2007233299
Figure 2007233299

Figure 2007233299
Figure 2007233299

Figure 2007233299
Figure 2007233299

Figure 2007233299
Figure 2007233299

Figure 2007233299
Figure 2007233299

画像処理部３は、ポイント１およびポイント４を結ぶ線分を最初の塗布ラインとし、ポイント２およびポイント３を結ぶ線分を最後の塗布ラインとする。   The image processing unit 3 sets the line connecting point 1 and point 4 as the first application line, and sets the line connecting point 2 and point 3 as the last application line.

各塗布ラインの塗布円個数ｎｘは以下の式で表わされる。   The coating circle number nx of each coating line is expressed by the following formula.

Figure 2007233299
Figure 2007233299

塗布ライン数ｎｙは、平行四辺形の高さをｈとし、塗布ピッチをｐとすると、以下の式で表わされる。   The number of coating lines ny is expressed by the following formula, where h is the height of the parallelogram and p is the coating pitch.

Figure 2007233299
Figure 2007233299

平行四辺形の高さｈは以下の式で表わされる。   The height h of the parallelogram is expressed by the following equation.

Figure 2007233299
Figure 2007233299

塗布ラインｌのｉ番目の塗布円の位置（ｘij，ｙij）は、塗布ラインの始点座標を（ｘst，ｙst）とし、終点座標を（ｘed，ｙed）とすると以下の式で表わされる。   The position (xij, yij) of the i-th coating circle of the coating line l is expressed by the following equation, where the starting point coordinate of the coating line is (xst, yst) and the end point coordinate is (xed, yed).

Figure 2007233299
Figure 2007233299

Figure 2007233299
Figure 2007233299

ラインｌの始点座標（ｘst，ｙst）および終点座標（ｘed，ｙed）は以下の式で表わされる。   The start point coordinates (xst, yst) and end point coordinates (xed, yed) of the line l are expressed by the following equations.

Figure 2007233299
Figure 2007233299

Figure 2007233299
Figure 2007233299

Figure 2007233299
Figure 2007233299

次に、本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置が欠陥に外接する平行四辺形を求める際の動作について説明する。   Next, the operation when the color filter defect correcting device according to the embodiment of the present invention obtains a parallelogram circumscribing the defect will be described.

図３１は、本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置が欠陥に外接する平行四辺形を求める際の動作を示す図である。   FIG. 31 is a diagram illustrating an operation when the color filter defect correcting device according to the embodiment of the present invention obtains a parallelogram circumscribing a defect.

画像処理部３は、頂点Ａ〜頂点Ｄで構成される平行四辺形の各辺を矢印の方向に移動し、欠陥に最初に接触する位置を求める。欠陥に最初に接触した時に形成される平行四辺形の４つの頂点を頂点Ａ’〜頂点Ｄ’とする。画像処理部３は、頂点Ａ’〜頂点Ｄ’の座標から塗布円の中心座標および塗布ライン数等を算出し、塗布位置を決定する。   The image processing unit 3 moves each side of the parallelogram formed by the vertices A to D in the direction of the arrow, and obtains a position where the defect first comes into contact. The four vertices of the parallelogram formed when the defect first comes into contact are defined as vertex A ′ to vertex D ′. The image processing unit 3 calculates the center coordinates of the application circle, the number of application lines, and the like from the coordinates of the vertex A ′ to the vertex D ′, and determines the application position.

なお、画像処理部３は、欠陥サイズが小さく、欠陥に外接する長方形全体がＶ字開口パターン内部に収まる場合には、カラーフィルタ部が矩形開口パターンを有する場合と同様の動作でインク塗布位置を決定する構成であってもよい。   When the defect size is small and the entire rectangle circumscribing the defect fits inside the V-shaped opening pattern, the image processing unit 3 sets the ink application position by the same operation as when the color filter section has the rectangular opening pattern. The structure to determine may be sufficient.

カラーフィルタ部が矩形開口パターンを有する場合およびカラーフィルタ部がＶ字開口パターンを有する場合のいずれにおいても、画像処理部３は、塗布円を内側にずらす機能を有する構成とすることができる。具体的には、画像処理部３は、ずらし量をδとすると、前述の各式において塗布円の直径Ｄを（Ｄ＋δ）に置き換えて計算する。このような構成により、欠陥箇所からのインクのはみ出し量を低減することができる。   In both cases where the color filter section has a rectangular opening pattern and the color filter section has a V-shaped opening pattern, the image processing section 3 can be configured to have a function of shifting the coating circle inward. Specifically, when the shift amount is δ, the image processing unit 3 calculates by replacing the diameter D of the application circle with (D + δ) in each of the above-described equations. With such a configuration, it is possible to reduce the amount of ink protruding from the defective portion.

［レーザ光の照射位置（カット位置）計算］
次に、本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置がカラーフィルタにおけるレーザ光の照射位置を決定する際の動作について説明する。 [Laser beam irradiation position (cut position) calculation]
Next, the operation when the color filter defect correcting device according to the embodiment of the present invention determines the irradiation position of the laser beam in the color filter will be described.

制御用コンピュータ２は、画像処理部３のカット位置の算出結果に基づいてレーザ照射部７および位置決め機構５１を制御して、カラーフィルタの欠陥箇所にレーザ光を照射する。   The control computer 2 controls the laser irradiation unit 7 and the positioning mechanism 51 based on the calculation result of the cut position of the image processing unit 3, and irradiates the defective portion of the color filter with laser light.

図３２は、カラーフィルタの欠陥の一例を示す図である。
同図を参照して、画像処理部３は、前述の欠陥検出処理により、欠陥箇所に外接する長方形の頂点Ａ〜頂点Ｄの座標を求める。画像処理部３は、頂点Ａ〜頂点Ｄの座標に基づいてカット位置、すなわちレーザ光の照射位置を決定する。 FIG. 32 is a diagram illustrating an example of defects in the color filter.
With reference to the figure, the image processing unit 3 obtains the coordinates of the vertexes A to D of the rectangle circumscribing the defect portion by the above-described defect detection process. The image processing unit 3 determines a cutting position, that is, an irradiation position of the laser beam based on the coordinates of the vertex A to the vertex D.

図３３は、カット開始時のカット位置の中心座標およびカット終了時のカット位置の中心座標を示す図である。   FIG. 33 is a diagram showing the center coordinates of the cut position at the start of cutting and the center coordinates of the cut position at the end of cutting.

同図を参照して、カット開始時のスリット中心座標（ｘst，ｙst）は、スリットサイズを（Ｓｘ，Ｓｙ）とし、頂点Ａの座標を（ｘA，ｙA）とすると以下の式で表わされる。   Referring to the figure, the slit center coordinates (xst, yst) at the start of cutting are expressed by the following equations where the slit size is (Sx, Sy) and the coordinates of vertex A are (xA, yA).

Figure 2007233299
Figure 2007233299

また、カット終了時のスリット中心座標（ｘed，ｙed）は、頂点Ｃの座標を（ｘC，ｙC）とすると以下の式で表わされる。   Further, the slit center coordinates (xed, yed) at the end of cutting are expressed by the following equations, where the coordinates of the vertex C are (xC, yC).

Figure 2007233299
Figure 2007233299

水平方向のカット位置数ｎｘは、各カット位置の最小重ね量をＲｘとし、水平方向のカットピッチをｐｘとすると以下の式で表わされる。   The number nx of cut positions in the horizontal direction is expressed by the following expression, where Rx is the minimum overlap amount at each cut position and px is the cut pitch in the horizontal direction.

Figure 2007233299
Figure 2007233299

垂直方向のカット位置数ｎｙは、各カット位置の最小重ね量をＲｘとし、垂直方向のカットピッチをｐｙとすると以下の式で表わされる。   The number of cut positions ny in the vertical direction is expressed by the following expression, where Rx is the minimum overlap amount at each cut position and py is the cut pitch in the vertical direction.

Figure 2007233299
Figure 2007233299

図３４は、カット作業中のカット位置を示す図である。
カット位置（ｘij，ｙij）は、水平方向および垂直方向のカットピッチをそれぞれｐｘおよびｐｙとすると以下の式で表わされる。 FIG. 34 is a diagram illustrating a cutting position during a cutting operation.
The cut position (xij, yij) is expressed by the following equation, where the horizontal and vertical cut pitches are px and py, respectively.

Figure 2007233299
Figure 2007233299

ｐｘおよびｐｙは、それぞれ以下の式で表わされる。   px and py are represented by the following equations, respectively.

Figure 2007233299
Figure 2007233299

図３５は、カラーフィルタにおける欠陥箇所の一例およびカット位置を示す図である。
同図を参照して、画像処理部３は、カラーフィルタにおけるスリット位置すなわちカット予定位置と欠陥箇所との重なり判定を行なう。すなわち、画像処理部３は、あるスリット位置内の欠陥箇所の面積が０または所定値以下の場合には、そのスリット位置はカットしない。たとえば、同図において点線で示すスリット位置内の欠陥箇所の面積は０であるため、画像処理部３は、点線で示すスリット位置ではカットを行なわない。 FIG. 35 is a diagram illustrating an example of a defective portion and a cutting position in the color filter.
With reference to the figure, the image processing unit 3 determines the overlap between the slit position in the color filter, that is, the planned cutting position, and the defective portion. That is, the image processing unit 3 does not cut the slit position when the area of the defective portion in a certain slit position is 0 or less than a predetermined value. For example, since the area of the defective portion in the slit position indicated by the dotted line in the figure is 0, the image processing unit 3 does not cut the slit position indicated by the dotted line.

このような構成により、カットされてしまう正常な領域の面積を低減することができる。   With such a configuration, the area of a normal region that is cut can be reduced.

また、画像処理部３は、カット位置を所定量だけずらす機能を有する構成とすることができる。具体的には、画像処理部３は、水平方向および垂直方向のずらし量をそれぞれδｘおよびδｙとすると、カット開始時のスリット中心座標（ｘst，ｙst）およびカット終了時のスリット中心座標（ｘed，ｙed）は以下の式で表わされる。   The image processing unit 3 can be configured to have a function of shifting the cut position by a predetermined amount. Specifically, the image processing unit 3 sets the slit center coordinates (xst, yst) at the start of cutting and the slit center coordinates (xed, yst) at the end of cutting, assuming that the shift amounts in the horizontal direction and the vertical direction are δx and δy, respectively. yed) is expressed by the following equation.

Figure 2007233299
Figure 2007233299

Figure 2007233299
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すなわち、画像処理部３は、欠陥サイズよりも大きめにカットする場合には、δｘ，δｙを０より大きい値とし、欠陥サイズよりも小さめにカットする場合には、δｘ，δｙを０より小さい値とする。   That is, the image processing unit 3 sets δx and δy to values larger than 0 when cutting larger than the defect size, and sets δx and δy smaller than 0 when cutting smaller than the defect size. And

このような構成により、欠陥を確実に除去したい場合、対物レンズの倍率に誤差がある場合、カラーフィルタ部に欠陥があってブラックマトリックス部を傷つけることなくカットしたい場合等に対応することができる。   With such a configuration, it is possible to cope with a case where it is desired to reliably remove defects, a case where there is an error in the magnification of the objective lens, a case where there is a defect in the color filter portion, and the black matrix portion is desired to be cut without being damaged.

次に、カラーフィルタ部がＶ字開口パターンを有する場合、すなわちカラーフィルタ部の形状がＶ字型である場合の、本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置がカラーフィルタに対するカット位置を決定する際の動作について説明する。   Next, when the color filter portion has a V-shaped opening pattern, that is, when the shape of the color filter portion is V-shaped, the color filter defect correcting device according to the embodiment of the present invention sets the cut position with respect to the color filter. The operation at the time of determination will be described.

図３６は、Ｖ字開口パターンを有するカラーフィルタ部の欠陥の一例を示す図である。
本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置では、同図に示すＶ字開口パターンの向き（角度）等の情報が予めレシピに登録されている。 FIG. 36 is a diagram illustrating an example of a defect in a color filter portion having a V-shaped opening pattern.
In the color filter defect correcting apparatus according to the embodiment of the present invention, information such as the direction (angle) of the V-shaped opening pattern shown in FIG.

図３７は、画像処理部がＶ字開口パターンを有するカラーフィルタ部の領域を２分割する様子を示す図である。   FIG. 37 is a diagram illustrating a state in which the image processing unit divides the region of the color filter unit having the V-shaped opening pattern into two.

同図を参照して、画像処理部３は、カラーフィルタ部においてＶ字の谷で軸対称に２等分することにより、カラーフィルタ部を２つの平行四辺形に分離する。   With reference to the figure, the image processing unit 3 divides the color filter unit into two parallelograms by dividing the color filter unit into two axially symmetrical halves at the V-shaped valleys.

図３８は、本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置がＶ字開口パターンを有するカラーフィルタ部の欠陥箇所にレーザ光を照射する様子を示す図である。   FIG. 38 is a diagram illustrating a state in which the color filter defect correcting device according to the embodiment of the present invention irradiates a laser beam to a defective portion of a color filter portion having a V-shaped opening pattern.

図３９は、本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置が行なうスリットの配置を示す図である。

図３８および図３９を参照して、平行四辺形の頂点を頂点Ａ〜頂点Ｄとする。制御用コンピュータ２は、画像処理部３の算出結果に基づいて２分割されたＶ字開口パターンの左側の領域からカットを行なう。まず、制御用コンピュータ２は、左側の平行四辺形の上辺ＡＢまたは底辺ＣＤに平行なスリット位置を１箇所以上設定し、設定したスリット位置にレーザ光を照射する。また、右側の平行四辺形も同様に、右側の平行四辺形の上辺ＡＢまたは底辺ＣＤに平行なスリット位置を１箇所以上設定し、設定したスリット位置にレーザ光を照射する。 FIG. 39 is a diagram showing the arrangement of slits performed by the color filter defect correcting device according to the embodiment of the present invention.

38 and 39, the vertices of the parallelogram are designated as vertex A to vertex D. The control computer 2 performs cutting from the left region of the V-shaped opening pattern divided into two based on the calculation result of the image processing unit 3. First, the control computer 2 sets one or more slit positions parallel to the upper side AB or the bottom side CD of the left parallelogram, and irradiates the set slit positions with laser light. Similarly, in the right parallelogram, one or more slit positions parallel to the upper side AB or the bottom CD of the right parallelogram are set, and the set slit position is irradiated with laser light.

平行四辺形の頂点Ｂから頂点Ｃに向かうベクトルと水平軸とのなす角をαとし、頂点Ｃから頂点Ｄに向かうベクトルと水平軸とのなす角をβとする。   The angle between the horizontal axis and the vector from the vertex B to the vertex C of the parallelogram and the horizontal axis is α, and the angle between the vector from the vertex C to the vertex D and the horizontal axis is β.

画像処理部３は、第１ラインＬ１に対応するスリットの上辺が平行四辺形の上辺ＡＢと重なるようにスリットを配置する。また、画像処理部３は、最終ラインＬｅｎｄに対応するスリットの底辺が平行四辺形の底辺ＣＤと重なるようにスリットを配置する。   The image processing unit 3 arranges the slit so that the upper side of the slit corresponding to the first line L1 overlaps the upper side AB of the parallelogram. Further, the image processing unit 3 arranges the slits so that the base of the slit corresponding to the final line Lend overlaps the base CD of the parallelogram.

頂点Ａ〜頂点Ｄの座標をそれぞれ（ｘA，ｙA）、（ｘB，ｙB）、（ｘC，ｙC）、（ｘD，ｙD）とすると、第１ラインＬ１のスリット左端の座標（ｘA'，ｙA'）および右端の座標（ｘB'，ｙB'）は以下の式で表わされる。   If the coordinates of vertex A to vertex D are (xA, yA), (xB, yB), (xC, yC), (xD, yD), respectively, the coordinates (xA ′, yA ′) of the slit left end of the first line L1 ) And right end coordinates (xB ′, yB ′) are expressed by the following equations.

Figure 2007233299
Figure 2007233299

Figure 2007233299
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また、最終ラインＬｅｎｄのスリット左端の座標（ｘD'，ｙD'）および右端の座標（ｘC'，ｙC'）は以下の式で表わされる。   Further, the coordinates (xD ′, yD ′) at the left end of the slit and the coordinates (xC ′, yC ′) at the right end of the last line Lend are expressed by the following equations.

Figure 2007233299
Figure 2007233299

Figure 2007233299
Figure 2007233299

第１ラインＬ１のスリット始点座標（ｘAC'，ｙAC'）とスリット終点座標（ｘBC'，ｙBC'）は、以下の式で表わされる。   The slit start point coordinates (xAC ′, yAC ′) and the slit end point coordinates (xBC ′, yBC ′) of the first line L1 are expressed by the following equations.

Figure 2007233299
Figure 2007233299

Figure 2007233299
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第１ラインＬ１のレーザ照射位置数ｎｘは、最小重ね量をＲとし、カットピッチをＰｘとし、スリット始点座標（ｘAC'，ｙAC'）およびスリット終点座標（ｘBC'，ｙBC'）間の距離をｄｘとすると、以下の式で表わされる。   The number of laser irradiation positions nx on the first line L1 is set such that the minimum overlap amount is R, the cut pitch is Px, and the distance between the slit start point coordinates (xAC ′, yAC ′) and the slit end point coordinates (xBC ′, yBC ′). If dx, it is expressed by the following equation.

Figure 2007233299
Figure 2007233299

レーザ照射ライン数ｎｙは、第一ラインのスリット始点座標およびスリット終点座標の中点を（ｘABcenter,yABcenter）とし、最終ラインＬｅｎｄのスリット始点座標およびスリット終点座標の中点を（ｘCDcenter,yCDcenter）とすると、以下の式で表わされる。   The number of laser irradiation lines ny is (xABcenter, yABcenter) as the midpoint of the slit start point coordinate and slit end point coordinate of the first line, and (xCDcenter, yCDcenter) as the midpoint of the slit start point coordinate and slit end point coordinate of the final line Lend. Then, it is expressed by the following formula.

Figure 2007233299
Figure 2007233299

また、（ｘABcenter,yABcenter）および（ｘCDcenter,yCDcenter）は以下の式で表わされる。   Further, (xABcenter, yABcenter) and (xCDcenter, yCDcenter) are expressed by the following equations.

Figure 2007233299
Figure 2007233299

ラインｌのｉ番目のスリット位置（ｘil，ｙil）は、ラインの始点座標を（ｘst，ｙst）とし、終点座標を（ｘed，ｙed）とすると以下の式で表わされる。   The i-th slit position (xil, yil) of the line l is expressed by the following equation, where the starting point coordinate of the line is (xst, yst) and the end point coordinate is (xed, yed).

Figure 2007233299
Figure 2007233299

Figure 2007233299
Figure 2007233299

ラインｌの始点座標（ｘst，ｙst）および終点座標（ｘed，ｙed）は以下の式で表わされる。   The start point coordinates (xst, yst) and end point coordinates (xed, yed) of the line l are expressed by the following equations.

Figure 2007233299
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Figure 2007233299
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Figure 2007233299
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次に、本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置が欠陥に外接する平行四辺形を求める際の動作について説明する。   Next, the operation when the color filter defect correcting device according to the embodiment of the present invention obtains a parallelogram circumscribing the defect will be described.

図４０は、本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置が欠陥に外接する平行四辺形を求める際の動作を示す図である。   FIG. 40 is a diagram illustrating an operation when the color filter defect correcting device according to the embodiment of the present invention obtains a parallelogram circumscribing a defect.

画像処理部３は、頂点Ａ〜頂点Ｄで構成される平行四辺形の各辺を矢印の方向に移動し、欠陥に最初に接触する位置を求める。欠陥に最初に接触した時点の辺で形成される平行四辺形の４つの頂点を頂点Ａ’〜頂点Ｄ’とする。画像処理部３は、頂点Ａ’〜頂点Ｄ’の座標からカット位置を決定する。   The image processing unit 3 moves each side of the parallelogram formed by the vertices A to D in the direction of the arrow, and obtains a position where the defect first comes into contact. The four vertices of the parallelogram formed at the side when the defect first comes into contact are defined as vertex A ′ to vertex D ′. The image processing unit 3 determines the cutting position from the coordinates of the vertex A ′ to the vertex D ′.

なお、画像処理部３は、欠陥サイズが小さく、欠陥に外接する長方形全体がＶ字開口パターン内部に収まる場合には、カラーフィルタ部が矩形開口パターンを有する場合と同様の動作でカット位置を決定する。   When the defect size is small and the entire rectangle circumscribing the defect fits inside the V-shaped opening pattern, the image processing unit 3 determines the cutting position by the same operation as when the color filter section has the rectangular opening pattern. To do.

また、制御用コンピュータ２は、カット位置を所定量だけずらす機能を有する構成とすることができる。具体的には、水平方向および垂直方向のずらし量をそれぞれδｘおよびδｙとすると、第１ラインＬ１のスリット左端の座標（ｘA'，ｙA'）および右端の座標（ｘB'，ｙB'）は以下の式で表わされる。   Further, the control computer 2 can be configured to have a function of shifting the cutting position by a predetermined amount. Specifically, assuming that the shift amounts in the horizontal direction and the vertical direction are δx and δy, respectively, the coordinates of the left end of the slit (xA ′, yA ′) and the coordinates of the right end (xB ′, yB ′) of the first line L1 are as follows. It is expressed by the following formula.

Figure 2007233299
Figure 2007233299

Figure 2007233299
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また、最終ラインＬｅｎｄのスリット左端の座標（ｘD'，ｙD'）および右端の座標（ｘC'，ｙC'）は以下の式で表わされる。   Further, the coordinates (xD ′, yD ′) at the left end of the slit and the coordinates (xC ′, yC ′) at the right end of the last line Lend are expressed by the following equations.

Figure 2007233299
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Figure 2007233299
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第１ラインＬ１のスリット始点座標（ｘAC'，ｙAC'）およびスリット終点座標（ｘBC'，ｙBC'）は、以下の式で表わされる。   The slit start point coordinates (xAC ′, yAC ′) and the slit end point coordinates (xBC ′, yBC ′) of the first line L1 are expressed by the following equations.

Figure 2007233299
Figure 2007233299

Figure 2007233299
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図４１（ａ）および（ｂ）は、スリット形状の例を示す図である。
カラーフィルタ部のコーナー部および端部等、カラーフィルタの形状がカラーフィルタの種類に応じて異なる場合は、予めレシピにカットパターン、すなわちスリットの向き（角度）および縦横サイズを登録しておく。 41A and 41B are diagrams showing examples of slit shapes.
When the shape of the color filter such as the corner and end of the color filter portion differs depending on the type of the color filter, a cut pattern, that is, the slit direction (angle) and the vertical and horizontal sizes are registered in advance in the recipe.

ところで、特許文献１記載のカラーフィルタ欠陥修正装置では、相関値に基づいてカラーフィルタの欠陥箇所を検出する構成であるため、微小な欠陥を検出できない場合があるという問題点があった。しかしながら、本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置では、画像処理部３は、カラーフィルタの画素の明るさに基づいて欠陥箇所を検出するため、微小な欠陥に対して正確に欠陥検出を行なうことができる。   By the way, the color filter defect correcting device described in Patent Document 1 has a configuration in which a defective portion of the color filter is detected based on the correlation value, and thus there is a problem that a minute defect may not be detected. However, in the color filter defect correction apparatus according to the embodiment of the present invention, the image processing unit 3 detects a defect location based on the brightness of the pixel of the color filter. Can be performed.

また、特許文献１記載のカラーフィルタ欠陥修正装置では、ブラックマトリックス部における欠陥およびカラーフィルタ部における欠陥を判別することができないという問題点があった。しかしながら、本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置では、画像処理部３は、欠陥検出結果に基づいて２値化された欠陥抽出画像を生成し、２値化された正常時のマスク画像と欠陥抽出画像との論理積を演算する。このような構成により、カラーフィルタのブラックマトリックス部における欠陥およびカラーフィルタ部における欠陥を判別することができる。   In addition, the color filter defect correcting device described in Patent Document 1 has a problem in that it cannot determine a defect in the black matrix portion and a defect in the color filter portion. However, in the color filter defect correction apparatus according to the embodiment of the present invention, the image processing unit 3 generates a binarized defect extraction image based on the defect detection result, and binarizes the normal mask. The logical product of the image and the defect extracted image is calculated. With such a configuration, it is possible to determine a defect in the black matrix portion of the color filter and a defect in the color filter portion.

また、特許文献１記載のカラーフィルタ欠陥修正装置は、絵素全体にレーザ光を照射して欠陥を一括でカットする構成であるため、カラーフィルタの種類によっては低倍率レンズを用いる必要が生じてレーザ光の出力が不足する場合があり、欠陥を適切に修正することができないという問題点があった。しかしながら、本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置では、可変スリット部８のスリットサイズはカラーフィルタの絵素より小さく設定することが可能である。したがって、たとえばテレビ用基板のように絵素サイズが大きいカラーフィルタに対してもレーザ光の出力が不足することがなく、欠陥を適切に修正することができる。   Moreover, since the color filter defect correction apparatus described in Patent Document 1 is configured to cut the defects in a lump by irradiating the entire picture element with laser light, it is necessary to use a low-magnification lens depending on the type of color filter. There is a case where the output of the laser beam is insufficient, and the defect cannot be corrected appropriately. However, in the color filter defect correcting apparatus according to the embodiment of the present invention, the slit size of the variable slit portion 8 can be set smaller than the picture element of the color filter. Therefore, for example, even for a color filter having a large picture element size such as a television substrate, the output of laser light is not insufficient, and defects can be corrected appropriately.

さらに、特許文献１記載のカラーフィルタ欠陥修正装置では、レーザ光の照射範囲を決定するスリットは絵素と相似な形状であるため、カラーフィルタの種類に応じて絵素形状が変わると欠陥を適切に修正することができないという問題点がある。しかしながら、本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置では、制御用コンピュータ２は、カラーフィルタの種類に応じたレーザ光の１回当たりの照射範囲を１個以上保存する図示しない記憶部を含む。そして、可変スリット部８は、画像処理部３の欠陥検出結果に基づいて記憶部からレーザ光の１回当たりの照射範囲を１個取得し、取得したレーザ光の照射範囲に基づいてスリットの形状および大きさを調整することにより、レーザ照射部７からのレーザ光の照射範囲を調整する。このような構成により、カラーフィルタの種類に応じて絵素形状が変わっても欠陥を適切に修正することができる。また、カラーフィルタの種類が異なってもスリットの交換作業が不要となるため、作業コストの増大を防ぐことができる。   Furthermore, in the color filter defect correcting apparatus described in Patent Document 1, the slit for determining the laser light irradiation range has a shape similar to that of the picture element. Therefore, if the picture element shape changes depending on the type of the color filter, the defect is appropriately determined. There is a problem that it cannot be corrected. However, in the color filter defect correcting apparatus according to the embodiment of the present invention, the control computer 2 includes a storage unit (not shown) that stores one or more irradiation ranges of one laser beam according to the type of the color filter. Including. And the variable slit part 8 acquires one irradiation range per time of the laser beam from the storage unit based on the defect detection result of the image processing unit 3, and the shape of the slit based on the acquired irradiation range of the laser beam. And the irradiation range of the laser beam from the laser irradiation unit 7 is adjusted by adjusting the size. With such a configuration, it is possible to appropriately correct the defect even if the picture element shape changes according to the type of the color filter. In addition, even if the types of color filters are different, the slit replacement work is not necessary, so that an increase in work cost can be prevented.

また、特許文献２記載のカラーフィルタ欠陥修正装置では、欠陥検出および欠陥修正対象である区域がカラーフィルタの画素に対応する場合であって、輝度のばらつきの測定範囲が、複数個の隣接画素等の狭い範囲であるときには、測定範囲におけるある画素に欠陥があると測定範囲における他の画素にも欠陥がある可能性が高いため、欠陥を正確に検出することができない。また、欠陥検出および欠陥修正対象である区域がカラーフィルタの複数個の画素に対応する場合には、欠陥検出および欠陥修正を複数個の画素の単位でしか行なうことができないため、画素単位の欠陥を検出することができず、かつレーザ光の出力が不足する場合があり、欠陥を適切に修正することができないという問題点があった。しかしながら、本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置では、画像処理部３は、位置（ｘ，ｙ）の画素の明るさと、正常である可能性の高い、位置（ｘ，ｙ）の画素が属する絵素とは異なる絵素に属する画素の明るさとを比較する。このような構成により、正常である可能性の高い画素と欠陥検出対象の画素とを比較することができるため、より正確に画素の欠陥を検出することができ、かつ画素単位の欠陥検出および欠陥修正を行なうことができる。   Further, in the color filter defect correction apparatus described in Patent Document 2, the area for defect detection and defect correction corresponds to the color filter pixels, and the measurement range of luminance variation is a plurality of adjacent pixels, etc. In a narrow range, if there is a defect in a certain pixel in the measurement range, there is a high possibility that another pixel in the measurement range also has a defect, so that the defect cannot be detected accurately. In addition, when the area that is the target of defect detection and defect correction corresponds to a plurality of pixels of the color filter, defect detection and defect correction can be performed only in units of a plurality of pixels. Cannot be detected, and the output of the laser beam may be insufficient, so that the defect cannot be corrected appropriately. However, in the color filter defect correcting apparatus according to the embodiment of the present invention, the image processing unit 3 is configured to detect the brightness of the pixel at the position (x, y) and the position (x, y) that is likely to be normal. The brightness of a pixel belonging to a different picture element from the picture element to which the pixel belongs is compared. With such a configuration, it is possible to compare a pixel that is highly likely to be normal and a pixel that is a defect detection target, so it is possible to detect a pixel defect more accurately, and to detect and detect a defect in pixel units. Modifications can be made.

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。   The embodiment disclosed this time should be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.

本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置の構成を示す外観図である。It is an external view which shows the structure of the color filter defect correction apparatus which concerns on embodiment of this invention. ＸＹスリット機構の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of an XY slit mechanism. ＸＹスリット機構に含まれるＸ方向の調整機構の構成を示す外観平面図である。It is an external appearance top view which shows the structure of the adjustment mechanism of the X direction contained in an XY slit mechanism. θスリット機構の構成を示す外観平面図である。It is an external appearance top view which shows the structure of (theta) slit mechanism. 本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置のインク塗布部の構成を示す外観図である。It is an external view which shows the structure of the ink application part of the color filter defect correction apparatus which concerns on embodiment of this invention. カラーフィルタにおけるブラックマトリックス部、カラーフィルタ部および絵素の関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the black matrix part in a color filter, a color filter part, and a pixel. 本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置がカラーフィルタの１つの欠陥を修正する際の動作手順を定めたフローチャートである。It is the flowchart which defined the operation | movement procedure at the time of the color filter defect correction apparatus which concerns on embodiment of this invention correcting one defect of a color filter. 入力画像および２値化入力画像を示す図である。It is a figure which shows an input image and a binarization input image. （ａ）は、登録画像を示す図である。（ｂ）は、２値化入力画像を示す図である。（ｃ）は、カラーフィルタ部のマスク画像を示す図である。(A) is a figure showing a registered image. (B) is a figure which shows a binarized input image. (C) is a figure which shows the mask image of a color filter part. （ａ）および（ｂ）は、画像処理部が入力画像の水平方向に欠陥検出を行なう際の動作を示す図である。(A) And (b) is a figure which shows the operation | movement at the time of an image processing part detecting a defect in the horizontal direction of an input image. （ａ）および（ｂ）は、画像処理部が入力画像の垂直方向に欠陥検出を行なう際の動作を示す図である。(A) And (b) is a figure which shows the operation | movement when an image process part performs a defect detection in the orthogonal | vertical direction of an input image. （ａ）および（ｂ）は、ブラックマトリックス部、ＲＧＢ各画素および黒欠陥のスライスレベルＴｄの関係を示す図である。(A) And (b) is a figure which shows the relationship between the black matrix part, each RGB pixel, and the slice level Td of a black defect. （ａ）および（ｂ）は、ブラックマトリックス部、ＲＧＢ各画素および白欠陥のスライスレベルＴｄの関係を示す図である。(A) And (b) is a figure which shows the relationship between the black matrix part, each RGB pixel, and the slice level Td of a white defect. （ａ）は、欠陥の存在するカラーフィルタの入力画像を示す図である。（ｂ）は、画像処理部が生成した黒欠陥抽出画像を示す図である。(A) is a figure which shows the input image of the color filter in which a defect exists. (B) is a figure which shows the black defect extraction image which the image process part produced | generated. （ａ）は、欠陥の存在するカラーフィルタの入力画像を示す図である。（ｂ）は、画像処理部が生成した白欠陥抽出画像を示す図である。(A) is a figure which shows the input image of the color filter in which a defect exists. (B) is a figure which shows the white defect extraction image which the image process part produced | generated. 画像処理部がカラーフィルタ部における白欠陥抽出画像を生成する動作を示す図である。It is a figure which shows the operation | movement which an image process part produces | generates the white defect extraction image in a color filter part. 画像処理部がブラックマトリックス部における白欠陥抽出画像を生成する動作を示す図である。。It is a figure which shows the operation | movement which an image processing part produces | generates the white defect extraction image in a black matrix part. . 画像処理部が欠陥マスク画像を生成する動作を示す図である。It is a figure which shows the operation | movement which an image process part produces | generates a defect mask image. 欠陥抽出画像の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of a defect extraction image. ＲＧＢ各絵素の色相ヒストグラムを示す図である。It is a figure which shows the hue histogram of each RGB picture element. 画像処理部が色相情報計算マスク画像を生成する動作を示す図である。It is a figure which shows the operation | movement which an image process part produces | generates a hue information calculation mask image. （ａ）および（ｂ）は、本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置において絵素の色判定の信頼度が低い場合において行なわれる色判定の様子を示す図である。(A) And (b) is a figure which shows the mode of the color determination performed when the reliability of the color determination of a pixel is low in the color filter defect correction apparatus which concerns on embodiment of this invention. カラーフィルタの欠陥の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the defect of a color filter. 塗布開始時の塗布円の中心座標および塗布終了時の塗布円の中心座標を示す図である。It is a figure which shows the center coordinate of the coating circle at the time of an application | coating start, and the center coordinate of the application | coating circle at the time of completion | finish of application | coating. インク塗布動作中の塗布円の中心座標を示す図である。It is a figure which shows the center coordinate of the application | coating circle during ink application | coating operation | movement. カラーフィルタにおける欠陥箇所の一例およびインク塗布位置を示す図である。It is a figure which shows an example of the defect location in a color filter, and an ink application position. Ｖ字開口パターンを有するカラーフィルタ部の欠陥の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the defect of the color filter part which has a V-shaped opening pattern. 画像処理部がＶ字開口パターンを有するカラーフィルタ部の領域を２分割する様子を示す図である。It is a figure which shows a mode that the area | region of the color filter part in which an image process part has a V-shaped opening pattern is divided into two. 本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置がＶ字開口パターンを有するカラーフィルタ部の欠陥箇所にインクを塗布する様子を示す図である。It is a figure which shows a mode that the color filter defect correction apparatus which concerns on embodiment of this invention apply | coats ink to the defect location of the color filter part which has a V-shaped opening pattern. 本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置が行なう塗布円の配置を示す図である。It is a figure which shows arrangement | positioning of the application | coating circle which the color filter defect correction apparatus which concerns on embodiment of this invention performs. 本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置が欠陥に外接する平行四辺形を求める際の動作を示す図である。It is a figure which shows the operation | movement when the color filter defect correction apparatus which concerns on embodiment of this invention calculates | requires the parallelogram circumscribing a defect. カラーフィルタの欠陥の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the defect of a color filter. カット開始時のカット位置の中心座標およびカット終了時のカット位置の中心座標を示す図である。It is a figure which shows the center coordinate of the cut position at the time of a cut start, and the center coordinate of the cut position at the time of a cut end. カット作業中のカット位置を示す図である。It is a figure which shows the cutting position in cutting work. カラーフィルタにおける欠陥箇所の一例およびカット位置を示す図である。It is a figure which shows an example of the defect location in a color filter, and a cut position. Ｖ字開口パターンを有するカラーフィルタ部の欠陥の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the defect of the color filter part which has a V-shaped opening pattern. 画像処理部がＶ字開口パターンを有するカラーフィルタ部の領域を２分割する様子を示す図である。It is a figure which shows a mode that the area | region of the color filter part in which an image process part has a V-shaped opening pattern is divided into two. 本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置がＶ字開口パターンを有するカラーフィルタ部の欠陥箇所にレーザ光を照射する様子を示す図である。It is a figure which shows a mode that the color filter defect correction apparatus which concerns on embodiment of this invention irradiates a laser beam to the defective location of the color filter part which has a V-shaped opening pattern. 本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置が行なうスリットの配置を示す図である。It is a figure which shows arrangement | positioning of the slit which the color filter defect correction apparatus which concerns on embodiment of this invention performs. 本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ欠陥修正装置が欠陥に外接する平行四辺形を求める際の動作を示す図である。It is a figure which shows the operation | movement when the color filter defect correction apparatus which concerns on embodiment of this invention calculates | requires the parallelogram circumscribing a defect. （ａ）および（ｂ）は、スリット形状の例を示す図である。(A) And (b) is a figure which shows the example of a slit shape.

符号の説明Explanation of symbols

１ ホストコンピュータ、２ 制御用コンピュータ（制御部）、３ 画像処理部、４ Ｚ軸ステージ、５ ＸＹテーブル、６ チャック台、７ レーザ照射部、８ 可変スリット部、９ インク塗布部、１０ モニタ、１１ インク塗布用位置決めシリンダ、１２ インクタンクテーブル、１３ インクタンク、１４ インク塗布用針、２１ 対物レンズ、３１ Ｘ方向サイズ調整用モータ、３２ Ｙ方向サイズ調整用モータ、３３〜３４ 開閉部、３５ 回転角度調整用モータ、３６ ベルト、３７ 回転テーブル、５０ 修正処理部、５１ 位置決め機構、６１ ＸＹスリット機構、６２ θスリット機構。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Host computer, 2 Control computer (control part), 3 Image processing part, 4 Z-axis stage, 5 XY table, 6 Chuck stand, 7 Laser irradiation part, 8 Variable slit part, 9 Ink application part, 10 monitor, 11 Ink application positioning cylinder, 12 Ink tank table, 13 Ink tank, 14 Ink application needle, 21 Objective lens, 31 X direction size adjustment motor, 32 Y direction size adjustment motor, 33-34 Opening / closing section, 35 Rotation angle Adjustment motor, 36 belt, 37 rotary table, 50 correction processing unit, 51 positioning mechanism, 61 XY slit mechanism, 62 θ slit mechanism.

Claims (11)

複数個の画素を有する絵素が複数個配置されるカラーフィルタの欠陥を修正するカラーフィルタ欠陥修正装置であって、
欠陥検出対象の画素の明るさと、前記欠陥検出対象の画素が属する絵素とは異なる絵素に属する画素の明るさとを比較し、前記比較結果に基づいて前記欠陥検出対象の画素の欠陥を検出する画像処理部と、
前記検出結果に基づいて前記カラーフィルタに対するレーザ光の照射およびインク塗布のうち少なくともいずれか一方を行なう修正処理部とを備えるカラーフィルタ欠陥修正装置。 A color filter defect correcting device for correcting a defect of a color filter in which a plurality of picture elements having a plurality of pixels are arranged,
Compare the brightness of the defect detection target pixel with the brightness of a pixel belonging to a different pixel from the pixel to which the defect detection target pixel belongs, and detect the defect of the defect detection target pixel based on the comparison result An image processing unit to
A color filter defect correction apparatus comprising: a correction processing unit that performs at least one of laser light irradiation and ink application to the color filter based on the detection result. 前記カラーフィルタ欠陥修正装置は、さらに、
前記レーザ光の１回当たりの照射範囲を複数種類保存する記憶部を備え、
前記修正処理部は、
前記欠陥箇所の検出結果に基づいて、前記保存された複数種類の照射範囲から１種類の照射範囲を選択し、前記選択した照射範囲に基づいてスリットサイズを調整する可変スリット部と、
前記可変スリット部を介して前記カラーフィルタにレーザ光を照射するレーザ照射部とを含む請求項１記載のカラーフィルタ欠陥修正装置。 The color filter defect correcting device further includes:
A storage unit for storing a plurality of types of irradiation ranges per one time of the laser beam;
The correction processing unit
Based on the detection result of the defective portion, a variable slit portion that selects one type of irradiation range from the plurality of types of stored irradiation ranges, and adjusts the slit size based on the selected irradiation range;
The color filter defect correction apparatus according to claim 1, further comprising: a laser irradiation unit configured to irradiate the color filter with laser light through the variable slit unit. カラーフィルタの欠陥箇所を検出し、前記検出結果に基づいて２値化された欠陥抽出画像を生成し、２値化された正常時のマスク画像と前記２値化された欠陥抽出画像との論理積に基づいて前記カラーフィルタのブラックマトリックス部における欠陥および着色部における欠陥を判別する画像処理部と、
前記判別したブラックマトリックス部の欠陥箇所および着色部の欠陥箇所に対して所定の順序で、レーザ光の照射およびインク塗布のうち少なくともいずれか一方を行なうカラーフィルタ欠陥修正装置。 A defect portion of the color filter is detected, a binarized defect extraction image is generated based on the detection result, and a logic between the binarized normal mask image and the binarized defect extraction image is generated. An image processing unit for determining a defect in a black matrix portion and a defect in a coloring portion of the color filter based on a product;
A color filter defect correcting device that performs at least one of laser light irradiation and ink application in a predetermined order with respect to the determined defective portion of the black matrix portion and the defective portion of the colored portion. 複数個の画素を有する絵素が複数個配置されるカラーフィルタの欠陥を修正するカラーフィルタ欠陥修正装置であって、
前記カラーフィルタの欠陥箇所を検出する画像処理部と、
スリットサイズが前記カラーフィルタの絵素より小さいスリット部と、
前記スリット部を介して前記カラーフィルタにレーザ光を照射するレーザ照射部と、
前記欠陥箇所の検出結果に基づいて、前記カラーフィルタにおける前記レーザ光の照射位置を少なくとも１箇所決定する制御部とを備えるカラーフィルタ欠陥修正装置。 A color filter defect correcting device for correcting a defect of a color filter in which a plurality of picture elements having a plurality of pixels are arranged,
An image processing unit for detecting a defective portion of the color filter;
A slit portion having a slit size smaller than the picture element of the color filter;
A laser irradiation unit that irradiates the color filter with laser light through the slit unit;
A color filter defect correction apparatus comprising: a control unit that determines at least one irradiation position of the laser light in the color filter based on a detection result of the defect part. 複数個の画素を有する絵素が複数個配置されるカラーフィルタの欠陥を修正するカラーフィルタ欠陥修正装置であって、
前記カラーフィルタの欠陥箇所を検出する画像処理部と、
前記カラーフィルタにインクを塗布し、１回当たりのインク塗布範囲が前記カラーフィルタの絵素より小さいインク塗布部と、
前記欠陥箇所の検出結果に基づいて、前記カラーフィルタにおけるインク塗布位置を少なくとも１箇所決定する制御部とを備えるカラーフィルタ欠陥修正装置。 A color filter defect correcting device for correcting a defect of a color filter in which a plurality of picture elements having a plurality of pixels are arranged,
An image processing unit for detecting a defective portion of the color filter;
Ink is applied to the color filter, and the ink application range per time is smaller than the picture element of the color filter;
A color filter defect correction apparatus comprising: a control unit that determines at least one ink application position in the color filter based on a detection result of the defect part. 複数個の画素を有する絵素が複数個配置されるカラーフィルタの欠陥を修正するカラーフィルタ欠陥修正装置におけるカラーフィルタ欠陥修正方法であって、
欠陥検出対象の画素の明るさと、前記欠陥検出対象の画素以外の画素の明るさとを比較し、前記比較結果に基づいて前記欠陥検出対象の画素の欠陥を検出する画像処理ステップと、
前記検出結果に基づいて前記カラーフィルタに対するレーザ光の照射およびインク塗布のうち少なくともいずれか一方を行なう修正処理ステップとを含むカラーフィルタ欠陥修正方法。 A color filter defect correcting method in a color filter defect correcting device for correcting defects in a color filter in which a plurality of picture elements having a plurality of pixels are arranged,
An image processing step of comparing the brightness of the defect detection target pixel with the brightness of a pixel other than the defect detection target pixel and detecting a defect of the defect detection target pixel based on the comparison result;
And a correction processing step of performing at least one of laser light irradiation and ink application to the color filter based on the detection result. 前記カラーフィルタ欠陥修正装置は、複数個の画素を有する絵素が複数個配置されるカラーフィルタの欠陥を修正し、
前記画像処理ステップにおいては、欠陥検出対象の画素の明るさと、前記欠陥検出対象の画素が属する絵素とは異なる絵素に属する画素の明るさとを比較し、前記比較結果に基づいて前記欠陥検出対象の画素の欠陥を検出する請求項６記載のカラーフィルタ欠陥修正方法。 The color filter defect correcting device corrects a defect in a color filter in which a plurality of pixels having a plurality of pixels are arranged,
In the image processing step, the brightness of the defect detection target pixel is compared with the brightness of a pixel belonging to a picture element different from the pixel to which the defect detection target pixel belongs, and the defect detection is performed based on the comparison result. The color filter defect correcting method according to claim 6, wherein a defect of a target pixel is detected. 前記カラーフィルタ欠陥修正方法は、さらに、
前記レーザ光の１回当たりの照射範囲を複数種類保存するステップを含み、
前記修正処理ステップにおいては、
前記欠陥箇所の検出結果に基づいて、前記保存された複数種類の照射範囲から１種類の照射範囲を選択し、前記選択した照射範囲に基づいてスリットサイズを調整するステップと、
前記調整されたスリットを介して前記カラーフィルタにレーザ光を照射するステップとを含む請求項６記載のカラーフィルタ欠陥修正方法。 The color filter defect correction method further includes:
Storing a plurality of types of irradiation ranges per one time of the laser beam,
In the correction processing step,
Selecting one type of irradiation range from the plurality of types of stored irradiation ranges based on the detection result of the defect location, and adjusting the slit size based on the selected irradiation range;
7. A color filter defect correcting method according to claim 6, further comprising the step of irradiating the color filter with laser light through the adjusted slit. カラーフィルタの欠陥箇所を検出し、前記検出結果に基づいて２値化された欠陥抽出画像を生成し、２値化された正常時のマスク画像と前記２値化された欠陥抽出画像との論理積に基づいて前記カラーフィルタのブラックマトリックス部における欠陥および着色部における欠陥を判別するステップと、
前記判別したブラックマトリックス部の欠陥箇所および着色部の欠陥箇所に対して所定の順序で、前記カラーフィルタに対するレーザ光の照射およびインク塗布のうち少なくともいずれか一方を行なうステップとを含むカラーフィルタ欠陥修正方法。 A defect portion of the color filter is detected, a binarized defect extraction image is generated based on the detection result, and a logic between the binarized normal mask image and the binarized defect extraction image is generated. Determining a defect in a black matrix portion and a defect in a colored portion of the color filter based on a product; and
Performing a color filter defect correction including a step of performing at least one of laser light irradiation and ink application to the color filter in a predetermined order with respect to the determined defective portion of the black matrix portion and the defective portion of the colored portion. Method. 複数個の画素を有する絵素が複数個配置されるカラーフィルタの欠陥を修正するカラーフィルタ欠陥修正装置におけるカラーフィルタ欠陥修正方法であって、
前記カラーフィルタの欠陥箇所を検出するステップと、
スリットサイズが前記カラーフィルタの絵素より小さいスリットを介して前記カラーフィルタにレーザ光を照射するステップと、
前記欠陥箇所の検出結果に基づいて、前記カラーフィルタにおける前記レーザ光の照射位置を少なくとも１箇所決定するステップとを含むカラーフィルタ欠陥修正方法。 A color filter defect correcting method in a color filter defect correcting device for correcting defects in a color filter in which a plurality of picture elements having a plurality of pixels are arranged,
Detecting a defective portion of the color filter;
Irradiating the color filter with laser light through a slit having a slit size smaller than the picture element of the color filter;
Determining at least one irradiation position of the laser light in the color filter based on the detection result of the defective portion. 複数個の画素を有する絵素が複数個配置されるカラーフィルタの欠陥を修正するカラーフィルタ欠陥修正装置におけるカラーフィルタ欠陥修正方法であって、
前記カラーフィルタの欠陥箇所を検出するステップと、
前記欠陥箇所の検出結果に基づいて、前記カラーフィルタにおけるインク塗布位置を少なくとも１箇所決定し、１回当たりのインク塗布範囲が前記カラーフィルタの絵素より小さいステップとを含むカラーフィルタ欠陥修正方法。 A color filter defect correcting method in a color filter defect correcting device for correcting defects in a color filter in which a plurality of picture elements having a plurality of pixels are arranged,
Detecting a defective portion of the color filter;
And a step of determining at least one ink application position in the color filter based on a detection result of the defect part, and a step of determining an ink application range per time smaller than a pixel of the color filter.
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