JP2007229825A - 微小電気機械構造、その製造方法および微小電気機械素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 微小電気機械構造1は、その一部または全部が外郭3によって中空内部2が形成された形状の筒状構造により構成される、いわば「擬似厚膜構造」である。筒状構造の外郭3は半導体電子回路製造の可能な製造装置を用いてなされる薄膜製造過程により効果的に形成することができ、軸方向が単一方向上にある方形の微小電気機械構造1が得られる。これとベース9、おもり8によりMEMS加速度センサを構成できる。
【選択図】 図1
Description
(2) 半導体電子回路製造の可能な製造装置を用いて製造される薄膜からなる筒状構造により、擬似厚膜構造が形成されていることを特徴とする、(1)に記載の微小電気機械構造。
(3) 軸方向が単一方向上にある一または複数の前記筒状構造を備えてなることを特徴とする、(1)または(2)に記載の微小電気機械構造。
(4) 軸方向が異なる二以上の前記筒状構造が二次元的に配置されてハニカム状に形成されていることを特徴とする、(1)または(2)記載の微小電気機械構造。
(5) (3)に記載の微小電気機械構造からなる、はりバネ。
(6) (4)に記載の微小電気機械構造からなる、メンブレンダイアフラム構造のバネ。
(8) (5)に記載のはりバネまたは(6)に記載のメンブレンダイアフラム構造のバネをベース上に固設し、該はりバネまたはバネにおもりを取り付けてなることを特徴とする、MEMS加速度センサ。
(9) 中空部分に相当する構造体を犠牲層として形成し、これを被覆するように該犠牲層よりも膜厚の小さい薄膜を形成し、最後に該犠牲層を除去して、該薄膜からなる外郭により内部に中空構造が形成された筒状構造を得ることを特徴とする、微小電気機械構造の製造方法。
(10) 前記犠牲層として高分子材料を用い、電子サイクロトロン共鳴プラズマ成膜技術を用いることにより、内部が中空である筒状構造を形成することを特徴とする、(9)に記載の微小電気機械構造の製造方法。
図1は、本発明の微小電気機械構造の実施例およびそれを用いた微小電気機械素子の構成を示す斜視図である。また、
図1−2は、図1の微小電気機械素子を構成するはり構造のバネ、すなわちはりバネの断面図である。これらに例示するように本微小電気機械構造1は、加速度センサ等の微小電気機械素子を構成するための構造であって、該構造1は、その一部または全部が外郭3によって中空内部2が形成された形状の筒状構造によりなることを、主たる構成とする。
Is = bs(hs)3/12
Im = {bm(hm)3−(bm−2tm)(hm−2tm)3}/12
2…中空内部
3…外郭
8…重り
9…ベース
71…微小電気機械構造(中実構造はりバネ)
78…重り
79…ベース
Claims (10)
- 微小電気機械素子を構成するための微小電気機械構造であって、該構造はその一部または全部が、内部が中空である筒状構造により形成されていることを特徴とする、微小電気機械構造。
- 半導体電子回路製造の可能な製造装置を用いて製造される薄膜からなる筒状構造により、擬似厚膜構造が形成されていることを特徴とする、請求項1に記載の微小電気機械構造。
- 軸方向が単一方向上にある一または複数の前記筒状構造を備えてなることを特徴とする、請求項1または2に記載の微小電気機械構造。
- 軸方向が異なる二以上の前記筒状構造が二次元的に配置されてハニカム状に形成されていることを特徴とする、請求項1または2に記載の微小電気機械構造。
- 請求項3に記載の微小電気機械構造からなる、はりバネ。
- 請求項4に記載の微小電気機械構造からなる、メンブレンダイアフラム構造のバネ。
- 請求項1ないし4のいずれかに記載の微小電気機械構造を用いてなる、微小電気機械素子。
- 請求項5に記載のはりバネまたは請求項6に記載のメンブレンダイアフラム構造のバネをベース上に固設し、該はりバネまたはバネにおもりを取り付けてなることを特徴とする、MEMS加速度センサ。
- 中空部分に相当する構造体を犠牲層として形成し、これを被覆するように該犠牲層よりも膜厚の小さい薄膜を形成し、最後に該犠牲層を除去して、該薄膜からなる外郭により内部に中空構造が形成された筒状構造を得ることを特徴とする、微小電気機械構造の製造方法。
- 前記犠牲層として高分子材料を用い、電子サイクロトロン共鳴プラズマ成膜技術を用いることにより、内部が中空である筒状構造を形成することを特徴とする、請求項9に記載の微小電気機械構造の製造方法。
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