JP2007225432A - 検査方法及び検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、パターンが形成された試料に二方向から照明光を照明する照射手段と、前記試料からの散乱光を前記照明光ごとに検出する光検出手段と、この光検出手段に検出された信号より欠陥の有無を判定する判定手段とを有する検査装置において、前記照明光がs偏光とp偏光の組合せであることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
Claims (12)
- パターンが形成された試料に複数の方向から照明光を照明し、該試料からの散乱光を該照明光ごとに検出し、欠陥の有無を判定する検査方法において、該照明光の偏光が互いに異なることを特徴とする検査方法。
- パターンが形成された試料に二方向から照明光を照明し、該試料からの散乱光を該照明光ごとに検出し、欠陥の有無を判定する検査方法において、該照明光がs偏光とp偏光の組合せであることを特徴とする検査方法。
- 請求項2記載の検査方法において、該照明光の方向が該試料の法線方向に関して対称であることを特徴とする検査方法。
- 請求項1から請求項3記載のいずれかの検査方法において、検査領域の暗視野画像と、該検査領域と隣接する領域の暗視野画像とを比較して、欠陥の有無を判定することを特徴とする検査方法。
- パターンが形成された試料に複数の方向から照明光を照明し、該試料からの散乱光を該照明光ごとに検出し、欠陥の有無を判定する検査装置において、該照明光の偏光が互いに異なることを特徴とする検査装置。
- パターンが形成された試料に二方向から照明光を照明し、該試料からの散乱光を該照明光ごとに検出し、欠陥の有無を判定する検査装置において、該照明光がs偏光とp偏光の組合せであることを特徴とする検査装置。
- 請求項6記載の検査装置において、該照明光の方向が該試料の法線方向に関して対称であることを特徴とする検査装置。
- 請求項5から請求項7記載のいずれかの検査装置において、検査領域の暗視野画像と、該検査領域と隣接する領域の暗視野画像とを比較して、欠陥の有無を判定することを特徴とする検査装置。
- パターンが形成された試料に複数の方向から照明光を照明する照射手段と、前記試料からの散乱光を前記照明光ごとに検出する光検出手段と、この光検出手段に検出された信号より欠陥の有無を判定する光判定手段とを有する検査装置において、
前記照明光の偏光が互いに異なることを特徴とする検査装置。 - パターンが形成された試料に二方向から照明光を照明する照射手段と、前記試料からの散乱光を前記照明光ごとに検出する光検出手段と、この光検出手段に検出された信号より欠陥の有無を判定する判定手段とを有する検査装置において、
前記照明光がs偏光とp偏光の組合せであることを特徴とする検査装置。 - 請求項10記載の検査装置において、
前記s偏光と前記p偏光の方向が前記試料の法線方向に対して対称であることを特徴とする検査装置。 - 請求項9から請求項11記載のいずれかの検査装置において、
検査領域の暗視野画像と、前記検査領域と隣接する領域の暗視野画像とを比較して、欠陥の有無を判定することを特徴とする検査装置。
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