JP2007225294A - 変位検出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 コアの挿入量が変化した際の応答性を低下させることなく、小型化が可能な変位検出装置を提供する。
【解決手段】 検査対象物に接触させるコンタクト部２２を有する可動部２１及びこの可動部２１を挿抜可能に保持するホルダー部２５からなり、ホルダー部２１に設けられる１次コイル５３及び２次コイル５４と、可動部２１に設けられ、１次コイル５３及び２次コイル５４の共通の磁心となるコア５１と、１次コイル５３に交流電流を供給する駆動回路４１と、１次コイル５３及び２次コイル５４の各出力を差動増幅し、ホルダー部２５に対する可動部２１の変位量を示す検出信号を生成する差動増幅回路４２とを備え、１次コイル５３及び２次コイル５４が、同軸上で径方向に重複させて形成されるように構成される。
【選択図】 図３

Description

本発明は、変位検出装置に係り、さらに詳しくは、検査対象物に接触させて表面形状を検出する測長センサーなどの変位検出装置の改良に関する。

検査対象物に接触させてその表面における凹凸などの形状変化を検出する検出装置として、測長センサーが知られている。この測長センサーは、可動部に設けられた接触子を検査対象物に接触させて可動部の変位量を検出する変位検出装置であり、変位量の検出には、例えば、可動部の変位量に応じてコイルのインダクタンス（磁気誘導係数）が変化する現象が利用される。具体的には、可動部と、この可動部を挿抜可能に保持するホルダー部から検出装置を構成し、可動部には、コイルの磁心となるコアが設けられる。ホルダー部に対する可動部の変位量に応じてコアを出し入れさせると、コイルのインダクタンスが上記変位量に応じて変化する。このインダクタンスの微小な変化を検出することによって可動部の変位量、すなわち、検査対象物表面の形状変化を検知することができる。

図６（ａ）及び（ｂ）は、従来の変位検出装置１００の要部における構成例を示した断面図であり、ボビン１０１及びコア１０３が示されている。図６（ａ）には、可動部を挿抜方向に最大限引き出した際のコア１０３の位置が示され、図６（ｂ）には、可動部を挿抜方向に最大限押し込んだ際のコア１０３の位置が示されている。ボビン１０１は、ホルダー部内に設けられる巻き線の保持手段であり、コイル１０２が形成されている。ボビン１０１には、コア１０３を挿抜可能に係合させるための係合孔１０４が形成されている。コア１０３は、棒状に加工された磁性体からなり、可動部の一端に設けられる。

コイル１０２に交流電流を供給すると、インダクタンスに応じた誘導起電力がコイル１０２に生じる。コイル１０２のインダクタンスがコア１０３の挿入量Ｄに応じて変化することから、コイル１０２に生じる誘導起電力をモニターすれば、コア１０３の挿入量Ｄ、すなわち、可動部の変位量を検出することができる。一般に、コア１０３の挿入量Ｄが変化すると、コイル１０２のインダクタンスが変化するので、コイル１０２に生じる誘導起電力及びコイル１０２のインピーダンスも変化することとなる。さらに、コイル１０２に生じる誘導起電力及びコイル１０２のインピーダンスが変化すると、コイル１０２を流れる電流の平均値が変化するので、コイル１０２の抵抗成分による発熱量が変化してコイル１０２の温度も変化することとなる。コイル１０２のインピーダンスにおける抵抗成分は、温度に応じて変化することから、コア１０３の挿入量Ｄに変化が生じてからコイル１０２の出力が安定するまでにタイムラグが生じることとなる。

従って、この変位検出装置１００では、コア１０３の挿入量Ｄが変化した際、抵抗成分の変動によってコイル１０２のインピーダンスが安定するまでに要する時間が長く、応答性が良くなかった。そこで、同軸上に形成された２つのコイルの差動信号を用いて、コアの挿入量を検出する変位検出装置が提案されている。

図７は、従来の変位検出装置２００の要部における他の構成例を示した断面図であり、１次コイル２０２及び２次コイル２０３が同軸上に形成されたボビン２０１及びコア２０４が示されている。この変位検出装置２００は、いわゆる差動トランス型の検出装置であり、１次コイル２０２に交流電流を供給した際の１次コイル２０２及び２次コイル２０３の各出力が差動増幅される。１次コイル２０２及び２次コイル２０３は、軸方向（コア２０４の挿抜方向に一致している）に配置され、ボビン２０１の１次コイル２０２側からコア２０４が係合孔２０５に挿入される。

コアの挿入量は、２つのコイルの差動信号、すなわち、各コイルにおいて生じる誘導起電力の差分を示す信号に基づいて検知される。この様な変位検出装置では、コアの挿入量が変化した際の各コイルにおける抵抗成分の変動が打ち消されるので、応答性を向上させることができる。しかしながら、２つのコイルを軸方向に配置しなければならないので、上述した変位検出装置１００に比べて、コアの挿抜方向、すなわち、可動部の挿抜方向に長さが長くなってしまうという問題があった。

上述した通り、従来の変位検出装置では、コアの挿入量が変化した際の抵抗成分の変動によってコイルのインピーダンスが安定するまでに要する時間が長く、応答性が良くないという問題があった。また、応答性を良くしようとすると、２つのコイルを軸方向に配置しなければならないので、可動部の挿抜方向に長さが長くなってしまうという問題があった。

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、コアの挿入量が変化した際の応答性を低下させることなく、小型化が可能な変位検出装置を提供することを目的とする。特に、可動部の挿抜方向に関して長さを短縮させた変位検出装置を提供することを目的とする。

第１の本発明による変位検出装置は、検査対象物に接触させるコンタクト部を有する可動部及びこの可動部を挿抜可能に保持するホルダー部からなる変位検出装置であって、上記ホルダー部に設けられる１次コイル及び２次コイルと、上記可動部に設けられ、上記１次コイル及び２次コイルの共通の磁心となるコアと、上記１次コイルに交流電流を供給する駆動回路と、上記１次コイル及び２次コイルの各出力を差動増幅し、上記ホルダー部に対する上記可動部の変位量を示す検出信号を生成する差動増幅回路とを備え、上記１次コイル及び２次コイルが、同軸上で径方向に重複させて形成されるように構成される。

この変位検出装置では、１次コイルに交流電流が供給され、１次コイルを流れる交流電流によって１次コイル及び２次コイルに誘導起電力が生じる。そして、１次コイル及び２次コイルに生じた誘導起電力が各コイルの出力として差動増幅され、ホルダー部に対する可動部の変位量を示す検出信号が生成される。この様な構成により、各コイルが同軸上で径方向に重複させて形成されるので、コアの挿入量が変化した際の応答性を低下させることなく、可動部の挿抜方向に関して長さを短縮させることができる。

第２の本発明による変位検出装置は、上記構成に加え、上記１次コイル及び２次コイルの重複領域が、上記コアよりも短く、上記可動部が、上記コアの一端が上記重複領域内に入らないように、上記ホルダー部に対して可動範囲が制限されるように構成される。この様な構成によれば、１次コイル及び２次コイルの共通の磁心となるコアの一端が重複領域内に入らないように可動部の可動範囲が制限されるので、上記重複領域に対するコアの挿入量を検出信号に基づいて一意に決定することができる。その際、各コイルの重複領域がコアよりも短いので、挿抜方向の長さをより効果的に短縮させることができる。

第３の本発明による変位検出装置は、上記構成に加え、上記差動増幅回路が、上記１次コイル及び２次コイルの各出力を差動増幅する際、２次コイルの出力については１次コイルとは逆相の出力が入力されるように構成される。

第４の本発明による変位検出装置は、上記構成に加え、上記２次コイルが、上記１次コイルよりも内側に形成されるように構成される。

第５の本発明による変位検出装置は、上記構成に加え、上記１次コイル及び２次コイルが、同じ巻き数のコイルであるように構成される。

第６の本発明による変位検出装置は、交流電流が供給される１次コイル及びこの１次コイルに電磁結合させる２次コイルが形成されたボビンと、上記ボビンに挿抜可能に係合され、一端に上記１次コイル及び２次コイルの共通の磁心となるコアが形成されたロッド部と、上記１次コイル及び２次コイルの各出力を差動増幅し、上記ボビン及び上記ロッド部間の相対的な変位量を示す検出信号を生成する差動増幅回路とを備え、上記１次コイル及び２次コイルが、同軸上で径方向に重複させて形成されるように構成される。

本発明による変位検出装置によれば、１次コイル及び２次コイルが同軸上で径方向に重複させて形成されるので、挿抜方向に関する長さを短縮させることができる。従って、コアの挿入量が変化した際の応答性を低下させることなく、小型化が可能な変位検出装置を実現することができる。また、各コイルの重複領域がコアよりも短いので、挿抜方向の長さをより効果的に短縮させることができる。

実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１による変位検出装置の概略構成の一例を示した図であり、変位検出装置の一例として測長センサー１０が示されている。この測長センサー１０は、ヘッドユニット２０、接続ケーブル３０及び制御ユニット４０からなり、ヘッドユニット２０の可動部２１を検査対象物に接触させて表面形状の検出を行っている。

ヘッドユニット２０は、検査対象物に接触させるコンタクト部が先端に設けられた棒状の可動部２１と、この可動部２１を挿抜可能に保持するホルダー部からなり、コイルのインダクタンスの変化を利用してホルダー部に対する可動部２１の変位量に応じた検出信号を生成する計測ユニットである。ここでは、ヘッドユニット２０が製造ライン上に配置され、ベルトコンベアＡ２により搬送されるワークＡ１を検査対象物として表面形状の検出が行われるものとする。

制御ユニット４０は、駆動回路４１及び演算回路４２からなり、接続ケーブル３０を介してヘッドユニット２０に接続される。駆動回路４１は、ヘッドユニット２０のホルダー部筐体内に設けられる１次コイルに交流電流を供給する電力供給手段である。具体的には、所定の周波数（例えば、２０ｋＨｚ）の正弦波信号が１次コイルの駆動用信号として供給される。

演算回路４２は、ヘッドユニット２０から接続ケーブル３０を介して入力された検出信号に基づいて可動部２１の変位量を求め、所定の閾値と比較する処理を行っている。ここでは、ＰＬＣ（Programmable Logic Controller：プラグラマブルロジックコントローラ）などの外部機器から入力される制御信号に基づいて測定が行われ、可動部２１の変位量と閾値との比較結果が出力されるものとする。

図２は、図１の測長センサー１０の要部における構成例を示した外観図であり、可動部２１及びホルダー部２５からなるヘッドユニット２０の詳細が示されている。可動部２１は、一端にコアが形成され、他端にコンタクト部２２を有するロッド部２３と、一端がホルダー部２５に取り付けられ、他端がロッド部２３に取り付けられたダストブーツ２４からなる。ダストブーツ２４は、塵埃などがホルダー部２５筐体内に入るのを防ぐためのカバーであり、軸方向に伸縮可能な蛇腹状の樹脂部材からなる。

ホルダー部２５は、直方体形状の筐体からなり、回路基板２６を内蔵している。ホルダー部２５筐体の長手方向の一方の端面に可動部２１が配置され、他方の端面に接続ケーブル３０が配置されている。ここでは、可動部２１が、軸方向をホルダー部２５に対する挿抜方向とし、さらに、軸方向をホルダー部２５筐体の長手方向に一致させて配置されているものとする。

回路基板２６は、可動部２１の変位量を検出するための回路が設けられたプリント基板であり、コイルの制御回路、増幅回路、個体バラツキに関するデータを記憶する不揮発性の半導体メモリ、動作状態を示すインジケータの制御回路などが形成されている。個体バラツキに関するデータとは、演算回路４２が検出信号に基づいて可動部２１の変位量を求める際に、ヘッドユニット２０の個体バラツキによって生じる誤差をデジタル処理にて補正させるためのデータである。

図３は、図２のヘッドユニット２０内部の構成例を示した断面図であり、Ｂ−Ｂ線による切断面の様子が示されている。このヘッドユニット２０のコンタクト部２２は、交換可能な接触子となっており、例えば、金属球２２ａと、金属球２２ａの保持部２２ｂからなる。保持部２２ｂは、ロッド部２３の端面に設けられた係合孔に係止され、金属球２２ａを検査対象物に押し付けた状態で変位量の検出が行われる。

ホルダー部２５筐体内には、円筒状のボールケージ２７ａ、スプリング２８、１次コイル５３及び２次コイル５４が形成されたボビン５２、円筒状の金属シールド５５が配置されている。また、ホルダー部２５筐体の可動部２１とは反対側の端面には、封止部材２９が設けられている。

ボールケージ２７ａは、多数の金属ボール２７ｂが周面に配置された軸受けであり、ロッド部２３のブレを防止するとともに、ロッド部２３が軸方向に移動する際のロッド部２３及びホルダー部２５間の摩擦抵抗を低減させている。

スプリング２８は、ロッド部２３を軸方向に付勢するためのコイル状のバネであり、ここでは、可動部２１がホルダー部２５から引き出される向き、すなわち、ロッド部２３をホルダー部２５筐体内から押し出す向きに付勢している。

このスプリング２８は、付勢方向をロッド部２３の軸方向に一致させて配置されており、ロッド部２３端部に取り付けられているスプリング受け２３ａに一端が当接している。スプリング受け２３ａがホルダー部２５筐体に形成されているストッパー部２５ａに当接することにより、ロッド部２３の抜け落ちを防止している。

コア５１は、１次コイル５３及び２次コイル５４の共通の磁心であり、細長いパイプ状に加工された磁性体からなる。このコア５１は、中心軸をロッド部２３の中心軸に一致させて配置されている。

ボビン５２は、コイルを構成する線材を巻き付ける巻き線の保持手段であり、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）などの樹脂部材からなる。１次コイル５３と、この１次コイル５３と電磁結合させる２次コイル５４とは、ボビン５２の巻き線形成領域内に重ねて形成されている。すなわち、１次コイル５３及び２次コイル５４は、同軸上で径方向に重複させて形成されている。ここでは、軸方向に関し、各コイル５３及び５４の重複領域が上記巻き線形成領域に一致しているものとする。

各コイル５３及び５４の軸方向の長さは、いずれも上記巻き線形成領域の長さと一致しており、一方のコイルの巻き線層の外側に他方のコイルの巻き線層が形成されている。ここでは、１次コイル５３を流れる電流の変化によって誘導起電力が生じる２次コイル５４が、１次コイル５３よりも内側に形成されるものとする。

また、各コイル５３及び５４が、同一の線材を用いて構成され、同じ巻き数のコイルであるものとする。具体的には、軸方向に関して１往復分、線材をボビン５２に隙間なく巻き付けて２次コイル５４が形成され、２次コイル５４の上に、１往復分線材を隙間なく巻き付けて１次コイル５３が形成される。

ボビン５２には、コア５１を挿抜可能に係合させるための係合孔（ここでは、貫通孔となっている）が形成されており、一端側からコア５１が挿入される。

金属シールド５５は、磁気を遮断するためのコイルカバーであり、ボビン５２の巻き線形成領域を取り囲むように配置される。例えば、ＳＵＳ（Stainless Used Steel：ステンレス鋼）が金属シールド５５を構成する部材として用いられる。この金属シールド５５により、各コイル５３及び５４を流れる電流によって生じる磁界の漏出を抑制することができるとともに、金属シールド５５外の金属部材による上記磁界への影響を抑制することができる。

ボビン５２は、ホルダー部２５筐体内に固定されており、可動部２１がホルダー部２５に押し込まれた際、スプリング受け２３ａがボビン５２の端面に当接することにより、ホルダー部２５に対するロッド部２３の移動が止められる。

図４は、図２のヘッドユニット２０内の構成例を示した回路図であり、回路基板２６上に形成される減衰回路１、差動増幅回路２及びバッファ回路３を含む回路全体が示されている。この回路では、減衰回路１及びコンデンサーＣを介して制御ユニット４０の駆動回路４１から１次コイル５３に交流電流が供給される。

一方、１次コイル５３及び２次コイル５４の各出力は、それぞれコンデンサーＣ１及びＣ２を介して差動増幅回路２に入力される。また、差動増幅回路２により生成される検出信号は、バッファ回路３を介して演算回路４２へ出力される。１次コイル５３に交流電流を供給すると、１次コイル５３には、そのインダクタンスＬ１に応じた誘導起電力が生じ、２次コイル５４には、そのインダクタンスＬ２に応じた誘導起電力が生じる。インダクタンスＬ１及びＬ２は、いずれもボビン５２に対するコア５１の挿入量に応じて変化する物理量である。

減衰回路１は、外部に漏れる磁界を減らし、複数のヘッドユニット２０を互いに密着させた状態で取り付けた場合の磁界の相互干渉を防止するとともに、１次コイル５３に供給される交流電流が他の回路に及ぼす影響を低減させるために、駆動回路４１から入力された正弦波信号の振幅を小さくして出力する回路であり、オペレーションアンプ、定電圧電源、抵抗ｒ_１１及びｒ_１２からなる。定電圧電源の出力は、オペレーションアンプのプラス（＋）側に入力され、正弦波信号は抵抗ｒ_１１を介してオペレーションアンプのマイナス（−）側に入力されている。また、抵抗ｒ_１２は、オペレーションアンプのマイナス側及び出力側間に並列に接続されている。

差動増幅回路２は、１次コイル５３及び２次コイル５４から入力される電圧信号の差分を示す信号を検出信号として出力する回路であり、オペレーションアンプ、定電圧電源、抵抗ｒ_２１、ｒ_２２、ｒ_３１及びｒ_３２からなる。

ここでは、１次コイル５３及び抵抗Ｒ１間に印加された電圧を１次コイル５３のインピーダンス及び抵抗Ｒ１で分圧した電圧信号が、コンデンサーＣ１及び抵抗ｒ_２１を介してオペレーションアンプのマイナス側に入力されるものとする。また、２次コイル５４及び抵抗Ｒ２間に生じた電圧を２次コイル５４のインピーダンス及び抵抗Ｒ２で分圧した電圧信号が、コンデンサーＣ２及び抵抗ｒ_３１を介してオペレーションアンプのプラス側に入力されるものとする。

定電圧電源の出力は、抵抗ｒ_３２を介してオペレーションアンプのプラス（＋）側に入力され、抵抗ｒ_２２は、オペレーションアンプのマイナス側及び出力側間に並列に接続されている。

バッファ回路３は、差動増幅回路２から入力された検出信号を低インピーダンス化して演算回路４２へ出力する回路であり、オペレーションアンプからなる。

本実施の形態では、２次コイル５４の出力については、１次コイル５３とは逆相の出力が差動増幅回路２に入力される。すなわち、１次コイル５３の出力（電圧信号）とは正負の極性が異なる２次コイル５４の出力（電圧信号）が差動増幅回路２に入力される。従って、位相が互いに１８０°異なる２つの電圧信号が差動増幅回路２に入力され、差動増幅されることとなる。

ここでは、１次コイル５３及び２次コイル５４について、電流を流した際にコイル内に生じる磁界の向きが同一となる電流の向きを基準として各コイルの極性が定められるものとする。

１次コイル５３及び２次コイル５４の巻き数が同じであって、インダクタンスＬ１及びＬ２や抵抗Ｒ１及びＲ２も同じである場合、コイル間の電力損失を無視すれば、各コイルから出力される電圧信号の振幅がほぼ同一となるので、差動増幅回路２から検出信号として出力される正弦波信号の振幅は、上記電圧信号の振幅の２倍となる。

図５（ａ）及び（ｂ）は、図２のヘッドユニット２０内の要部における動作例を示した断面図であり、コア５１及びボビン５２が示されている。図５（ａ）には、可動部２１が挿抜方向に最大限引き出された際のコア５１の位置が示され、図５（ｂ）には、可動部２１が挿抜方向に最大限押し込まれた際のコア５１の位置が示されている。

１次コイル５３及び２次コイル５４はボビン５２の巻き線形成領域６１に形成され、コア５１はボビン５２の一端側から貫通孔６２に挿入される。

ここで、１次コイル５３及び２次コイル５４の重複領域は、コア５１よりも短く、可動部２１は、コア５１の一端が上記重複領域内に入らないように、ホルダー部２５に対して可動範囲が制限されている。従って、可動部２１が挿抜方向に最大限引き出された状態であっても、コア５１の一部分はコイル内に挿入された状態となっている。一方、可動部２１が挿抜方向に最大限押し込まれた状態であっても、コア５１の一部分は上記重複領域外に露出した状態となっている。

挿抜方向に関してホルダー部２５に対する可動部２１の位置が変化すると、その変位量に応じてボビン５２に対するコア５１の挿入量Ｄ１が変化する。検出信号の振幅は、コア５１の挿入量Ｄ１に応じて変化することから、ヘッドユニット２０から出力される検出信号に基づいて可動部２１の変位量、すなわち、挿抜方向に関する可動部２１の位置を求めることができる。その際、１次コイル５３及び２次コイル５４の共通の磁心となるコア５１の一端が重複領域内に入らないように可動部２１の可動範囲が制限されるので、重複領域に対するコア５１の挿入量を検出信号に基づいて一意的に決定することができる。

本実施の形態によれば、各コイル５３及び５４が同軸上で径方向に重複させて形成され、各コイルの出力が差動増幅されるので、コア５１の挿入量Ｄ１が変化した際の応答性を低下させることなく、可動部２１の挿抜方向に関して測長センサー１０の長さを短縮させることができる。また、重複領域がコア５１よりも短いので、挿抜方向の長さをより効果的に短縮させることができる。

また、２次コイル５４については、１次コイル５３とは逆相の出力を差動増幅させるので、コア５１の挿入量Ｄ１の変化に応じた電圧信号の振幅変化を適切に検出することができる。従って、可動部２１の変位量が小さく、電圧信号の振幅におけるコイル間の差が微小である場合の検出精度を向上させることができる。

発明者らの実験によれば、２次コイル５４を１次コイル５３よりも内側に形成した方が、１次コイル５３の外側に形成した場合に比べて、コア５１の挿入量Ｄ１が変化した際の応答性が良いことが判明した。本実施の形態では、２次コイル５４を１次コイル５３よりも内側に形成させたので、２次コイル５４を１次コイル５３よりも外側に形成させる場合に比べて、応答性を向上させることができた。但し、ケースによっては、１次コイル５３を２次コイル５４よりも内側に設けても良いことは、言うまでもない。

また、各コイル５３及び５４を同じ巻き数のコイルとしたので、検出精度を低下させることなく、１次コイル５３に対して軸方向に関する２次コイル５４の長さを最大限短縮することができた。

なお、本実施の形態では、コンタクト部２２を有するロッド部２３が可動部２１としてホルダー部２５に保持される場合の例について説明したが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、ボビン側を可動部とし、ボビン及びコアを有するロッド部間の相対的な変位量を検出させるようなものであっても良い。

本発明の実施の形態１による変位検出装置の概略構成の一例を示した図であり、変位検出装置の一例として測長センサー１０が示されている。 図１の測長センサー１０の要部における構成例を示した外観図であり、可動部２１及びホルダー部２５からなるヘッドユニット２０の詳細が示されている。 図２のヘッドユニット２０内部の構成例を示した断面図であり、Ｂ−Ｂ線による切断面の様子が示されている。 図２のヘッドユニット２０内の構成例を示した回路図である。 図２のヘッドユニット２０内の要部における動作例を示した断面図であり、コア５１及びボビン５２が示されている。 従来の変位検出装置１００の要部における構成例を示した断面図であり、ボビン１０１及びコア１０３が示されている。 従来の変位検出装置２００の要部における他の構成例を示した断面図である。

符号の説明

１ 減衰回路
２ 差動増幅回路
３ バッファ回路
１０ 測長センサー
２０ ヘッドユニット
２１ 可動部
２２ コンタクト部
２２ａ 金属球
２２ｂ 保持部
２３ ロッド部
２４ ダストブーツ
２５ ホルダー部
２５ａ ストッパー部
２６ 回路基板
２７ａ ボールケージ
２７ｂ 金属ボール
２８ スプリング
２９ 封止部材
３０ 接続ケーブル
４０ 制御ユニット
４１ 駆動回路
４２ 演算回路
５１ コア
５２ ボビン
５３ １次コイル
５４ ２次コイル
５５ 金属シールド
６１ 巻き線形成領域
６２ 貫通孔
Ａ１ ワーク

Claims (6)

1. 検査対象物に接触させるコンタクト部を有する可動部及びこの可動部を挿抜可能に保持するホルダー部からなる変位検出装置において、
   上記ホルダー部に設けられる１次コイル及び２次コイルと、
   上記可動部に設けられ、上記１次コイル及び２次コイルの共通の磁心となるコアと、
   上記１次コイルに交流電流を供給する駆動回路と、
   上記１次コイル及び２次コイルの各出力を差動増幅し、上記ホルダー部に対する上記可動部の変位量を示す検出信号を生成する差動増幅回路とを備え、
   上記１次コイル及び２次コイルが、同軸上で径方向に重複させて形成されることを特徴とする変位検出装置。
2. 上記１次コイル及び２次コイルの重複領域は、上記コアよりも短く、上記可動部は、上記コアの一端が上記重複領域内に入らないように、上記ホルダー部に対して可動範囲が制限されることを特徴とする請求項１に記載の変位検出装置。
3. 上記差動増幅回路は、上記１次コイル及び２次コイルの各出力を差動増幅する際、２次コイルの出力については１次コイルとは逆相の出力が入力されることを特徴とする請求項１又は２に記載の変位検出装置。
4. 上記２次コイルが、上記１次コイルよりも内側に形成されることを特徴とする請求項１又は２に記載の変位検出装置。
5. 上記１次コイル及び２次コイルが、同じ巻き数のコイルであることを特徴とする請求項１又は２に記載の変位検出装置。
6. 交流電流が供給される１次コイル及びこの１次コイルに電磁結合させる２次コイルが形成されたボビンと、
   上記ボビンに挿抜可能に係合され、一端に上記１次コイル及び２次コイルの共通の磁心となるコアが形成されたロッド部と、
   上記１次コイル及び２次コイルの各出力を差動増幅し、上記ボビン及び上記ロッド部間の相対的な変位量を示す検出信号を生成する差動増幅回路とを備え、
   上記１次コイル及び２次コイルが、同軸上で径方向に重複させて形成されることを特徴とする変位検出装置。
   
   
   

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