JP2007225294A - 変位検出装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 コアの挿入量が変化した際の応答性を低下させることなく、小型化が可能な変位検出装置を提供する。
【解決手段】 検査対象物に接触させるコンタクト部22を有する可動部21及びこの可動部21を挿抜可能に保持するホルダー部25からなり、ホルダー部21に設けられる1次コイル53及び2次コイル54と、可動部21に設けられ、1次コイル53及び2次コイル54の共通の磁心となるコア51と、1次コイル53に交流電流を供給する駆動回路41と、1次コイル53及び2次コイル54の各出力を差動増幅し、ホルダー部25に対する可動部21の変位量を示す検出信号を生成する差動増幅回路42とを備え、1次コイル53及び2次コイル54が、同軸上で径方向に重複させて形成されるように構成される。
【選択図】 図3
【解決手段】 検査対象物に接触させるコンタクト部22を有する可動部21及びこの可動部21を挿抜可能に保持するホルダー部25からなり、ホルダー部21に設けられる1次コイル53及び2次コイル54と、可動部21に設けられ、1次コイル53及び2次コイル54の共通の磁心となるコア51と、1次コイル53に交流電流を供給する駆動回路41と、1次コイル53及び2次コイル54の各出力を差動増幅し、ホルダー部25に対する可動部21の変位量を示す検出信号を生成する差動増幅回路42とを備え、1次コイル53及び2次コイル54が、同軸上で径方向に重複させて形成されるように構成される。
【選択図】 図3
Description
本発明は、変位検出装置に係り、さらに詳しくは、検査対象物に接触させて表面形状を検出する測長センサーなどの変位検出装置の改良に関する。
検査対象物に接触させてその表面における凹凸などの形状変化を検出する検出装置として、測長センサーが知られている。この測長センサーは、可動部に設けられた接触子を検査対象物に接触させて可動部の変位量を検出する変位検出装置であり、変位量の検出には、例えば、可動部の変位量に応じてコイルのインダクタンス(磁気誘導係数)が変化する現象が利用される。具体的には、可動部と、この可動部を挿抜可能に保持するホルダー部から検出装置を構成し、可動部には、コイルの磁心となるコアが設けられる。ホルダー部に対する可動部の変位量に応じてコアを出し入れさせると、コイルのインダクタンスが上記変位量に応じて変化する。このインダクタンスの微小な変化を検出することによって可動部の変位量、すなわち、検査対象物表面の形状変化を検知することができる。
図6(a)及び(b)は、従来の変位検出装置100の要部における構成例を示した断面図であり、ボビン101及びコア103が示されている。図6(a)には、可動部を挿抜方向に最大限引き出した際のコア103の位置が示され、図6(b)には、可動部を挿抜方向に最大限押し込んだ際のコア103の位置が示されている。ボビン101は、ホルダー部内に設けられる巻き線の保持手段であり、コイル102が形成されている。ボビン101には、コア103を挿抜可能に係合させるための係合孔104が形成されている。コア103は、棒状に加工された磁性体からなり、可動部の一端に設けられる。
コイル102に交流電流を供給すると、インダクタンスに応じた誘導起電力がコイル102に生じる。コイル102のインダクタンスがコア103の挿入量Dに応じて変化することから、コイル102に生じる誘導起電力をモニターすれば、コア103の挿入量D、すなわち、可動部の変位量を検出することができる。一般に、コア103の挿入量Dが変化すると、コイル102のインダクタンスが変化するので、コイル102に生じる誘導起電力及びコイル102のインピーダンスも変化することとなる。さらに、コイル102に生じる誘導起電力及びコイル102のインピーダンスが変化すると、コイル102を流れる電流の平均値が変化するので、コイル102の抵抗成分による発熱量が変化してコイル102の温度も変化することとなる。コイル102のインピーダンスにおける抵抗成分は、温度に応じて変化することから、コア103の挿入量Dに変化が生じてからコイル102の出力が安定するまでにタイムラグが生じることとなる。
従って、この変位検出装置100では、コア103の挿入量Dが変化した際、抵抗成分の変動によってコイル102のインピーダンスが安定するまでに要する時間が長く、応答性が良くなかった。そこで、同軸上に形成された2つのコイルの差動信号を用いて、コアの挿入量を検出する変位検出装置が提案されている。
図7は、従来の変位検出装置200の要部における他の構成例を示した断面図であり、1次コイル202及び2次コイル203が同軸上に形成されたボビン201及びコア204が示されている。この変位検出装置200は、いわゆる差動トランス型の検出装置であり、1次コイル202に交流電流を供給した際の1次コイル202及び2次コイル203の各出力が差動増幅される。1次コイル202及び2次コイル203は、軸方向(コア204の挿抜方向に一致している)に配置され、ボビン201の1次コイル202側からコア204が係合孔205に挿入される。
コアの挿入量は、2つのコイルの差動信号、すなわち、各コイルにおいて生じる誘導起電力の差分を示す信号に基づいて検知される。この様な変位検出装置では、コアの挿入量が変化した際の各コイルにおける抵抗成分の変動が打ち消されるので、応答性を向上させることができる。しかしながら、2つのコイルを軸方向に配置しなければならないので、上述した変位検出装置100に比べて、コアの挿抜方向、すなわち、可動部の挿抜方向に長さが長くなってしまうという問題があった。
上述した通り、従来の変位検出装置では、コアの挿入量が変化した際の抵抗成分の変動によってコイルのインピーダンスが安定するまでに要する時間が長く、応答性が良くないという問題があった。また、応答性を良くしようとすると、2つのコイルを軸方向に配置しなければならないので、可動部の挿抜方向に長さが長くなってしまうという問題があった。
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、コアの挿入量が変化した際の応答性を低下させることなく、小型化が可能な変位検出装置を提供することを目的とする。特に、可動部の挿抜方向に関して長さを短縮させた変位検出装置を提供することを目的とする。
第1の本発明による変位検出装置は、検査対象物に接触させるコンタクト部を有する可動部及びこの可動部を挿抜可能に保持するホルダー部からなる変位検出装置であって、上記ホルダー部に設けられる1次コイル及び2次コイルと、上記可動部に設けられ、上記1次コイル及び2次コイルの共通の磁心となるコアと、上記1次コイルに交流電流を供給する駆動回路と、上記1次コイル及び2次コイルの各出力を差動増幅し、上記ホルダー部に対する上記可動部の変位量を示す検出信号を生成する差動増幅回路とを備え、上記1次コイル及び2次コイルが、同軸上で径方向に重複させて形成されるように構成される。
この変位検出装置では、1次コイルに交流電流が供給され、1次コイルを流れる交流電流によって1次コイル及び2次コイルに誘導起電力が生じる。そして、1次コイル及び2次コイルに生じた誘導起電力が各コイルの出力として差動増幅され、ホルダー部に対する可動部の変位量を示す検出信号が生成される。この様な構成により、各コイルが同軸上で径方向に重複させて形成されるので、コアの挿入量が変化した際の応答性を低下させることなく、可動部の挿抜方向に関して長さを短縮させることができる。
第2の本発明による変位検出装置は、上記構成に加え、上記1次コイル及び2次コイルの重複領域が、上記コアよりも短く、上記可動部が、上記コアの一端が上記重複領域内に入らないように、上記ホルダー部に対して可動範囲が制限されるように構成される。この様な構成によれば、1次コイル及び2次コイルの共通の磁心となるコアの一端が重複領域内に入らないように可動部の可動範囲が制限されるので、上記重複領域に対するコアの挿入量を検出信号に基づいて一意に決定することができる。その際、各コイルの重複領域がコアよりも短いので、挿抜方向の長さをより効果的に短縮させることができる。
第3の本発明による変位検出装置は、上記構成に加え、上記差動増幅回路が、上記1次コイル及び2次コイルの各出力を差動増幅する際、2次コイルの出力については1次コイルとは逆相の出力が入力されるように構成される。
第4の本発明による変位検出装置は、上記構成に加え、上記2次コイルが、上記1次コイルよりも内側に形成されるように構成される。
第5の本発明による変位検出装置は、上記構成に加え、上記1次コイル及び2次コイルが、同じ巻き数のコイルであるように構成される。
第6の本発明による変位検出装置は、交流電流が供給される1次コイル及びこの1次コイルに電磁結合させる2次コイルが形成されたボビンと、上記ボビンに挿抜可能に係合され、一端に上記1次コイル及び2次コイルの共通の磁心となるコアが形成されたロッド部と、上記1次コイル及び2次コイルの各出力を差動増幅し、上記ボビン及び上記ロッド部間の相対的な変位量を示す検出信号を生成する差動増幅回路とを備え、上記1次コイル及び2次コイルが、同軸上で径方向に重複させて形成されるように構成される。
本発明による変位検出装置によれば、1次コイル及び2次コイルが同軸上で径方向に重複させて形成されるので、挿抜方向に関する長さを短縮させることができる。従って、コアの挿入量が変化した際の応答性を低下させることなく、小型化が可能な変位検出装置を実現することができる。また、各コイルの重複領域がコアよりも短いので、挿抜方向の長さをより効果的に短縮させることができる。
実施の形態1.
図1は、本発明の実施の形態1による変位検出装置の概略構成の一例を示した図であり、変位検出装置の一例として測長センサー10が示されている。この測長センサー10は、ヘッドユニット20、接続ケーブル30及び制御ユニット40からなり、ヘッドユニット20の可動部21を検査対象物に接触させて表面形状の検出を行っている。
図1は、本発明の実施の形態1による変位検出装置の概略構成の一例を示した図であり、変位検出装置の一例として測長センサー10が示されている。この測長センサー10は、ヘッドユニット20、接続ケーブル30及び制御ユニット40からなり、ヘッドユニット20の可動部21を検査対象物に接触させて表面形状の検出を行っている。
ヘッドユニット20は、検査対象物に接触させるコンタクト部が先端に設けられた棒状の可動部21と、この可動部21を挿抜可能に保持するホルダー部からなり、コイルのインダクタンスの変化を利用してホルダー部に対する可動部21の変位量に応じた検出信号を生成する計測ユニットである。ここでは、ヘッドユニット20が製造ライン上に配置され、ベルトコンベアA2により搬送されるワークA1を検査対象物として表面形状の検出が行われるものとする。
制御ユニット40は、駆動回路41及び演算回路42からなり、接続ケーブル30を介してヘッドユニット20に接続される。駆動回路41は、ヘッドユニット20のホルダー部筐体内に設けられる1次コイルに交流電流を供給する電力供給手段である。具体的には、所定の周波数(例えば、20kHz)の正弦波信号が1次コイルの駆動用信号として供給される。
演算回路42は、ヘッドユニット20から接続ケーブル30を介して入力された検出信号に基づいて可動部21の変位量を求め、所定の閾値と比較する処理を行っている。ここでは、PLC(Programmable Logic Controller:プラグラマブルロジックコントローラ)などの外部機器から入力される制御信号に基づいて測定が行われ、可動部21の変位量と閾値との比較結果が出力されるものとする。
図2は、図1の測長センサー10の要部における構成例を示した外観図であり、可動部21及びホルダー部25からなるヘッドユニット20の詳細が示されている。可動部21は、一端にコアが形成され、他端にコンタクト部22を有するロッド部23と、一端がホルダー部25に取り付けられ、他端がロッド部23に取り付けられたダストブーツ24からなる。ダストブーツ24は、塵埃などがホルダー部25筐体内に入るのを防ぐためのカバーであり、軸方向に伸縮可能な蛇腹状の樹脂部材からなる。
ホルダー部25は、直方体形状の筐体からなり、回路基板26を内蔵している。ホルダー部25筐体の長手方向の一方の端面に可動部21が配置され、他方の端面に接続ケーブル30が配置されている。ここでは、可動部21が、軸方向をホルダー部25に対する挿抜方向とし、さらに、軸方向をホルダー部25筐体の長手方向に一致させて配置されているものとする。
回路基板26は、可動部21の変位量を検出するための回路が設けられたプリント基板であり、コイルの制御回路、増幅回路、個体バラツキに関するデータを記憶する不揮発性の半導体メモリ、動作状態を示すインジケータの制御回路などが形成されている。個体バラツキに関するデータとは、演算回路42が検出信号に基づいて可動部21の変位量を求める際に、ヘッドユニット20の個体バラツキによって生じる誤差をデジタル処理にて補正させるためのデータである。
図3は、図2のヘッドユニット20内部の構成例を示した断面図であり、B−B線による切断面の様子が示されている。このヘッドユニット20のコンタクト部22は、交換可能な接触子となっており、例えば、金属球22aと、金属球22aの保持部22bからなる。保持部22bは、ロッド部23の端面に設けられた係合孔に係止され、金属球22aを検査対象物に押し付けた状態で変位量の検出が行われる。
ホルダー部25筐体内には、円筒状のボールケージ27a、スプリング28、1次コイル53及び2次コイル54が形成されたボビン52、円筒状の金属シールド55が配置されている。また、ホルダー部25筐体の可動部21とは反対側の端面には、封止部材29が設けられている。
ボールケージ27aは、多数の金属ボール27bが周面に配置された軸受けであり、ロッド部23のブレを防止するとともに、ロッド部23が軸方向に移動する際のロッド部23及びホルダー部25間の摩擦抵抗を低減させている。
スプリング28は、ロッド部23を軸方向に付勢するためのコイル状のバネであり、ここでは、可動部21がホルダー部25から引き出される向き、すなわち、ロッド部23をホルダー部25筐体内から押し出す向きに付勢している。
このスプリング28は、付勢方向をロッド部23の軸方向に一致させて配置されており、ロッド部23端部に取り付けられているスプリング受け23aに一端が当接している。スプリング受け23aがホルダー部25筐体に形成されているストッパー部25aに当接することにより、ロッド部23の抜け落ちを防止している。
コア51は、1次コイル53及び2次コイル54の共通の磁心であり、細長いパイプ状に加工された磁性体からなる。このコア51は、中心軸をロッド部23の中心軸に一致させて配置されている。
ボビン52は、コイルを構成する線材を巻き付ける巻き線の保持手段であり、PPS(ポリフェニレンサルファイド)などの樹脂部材からなる。1次コイル53と、この1次コイル53と電磁結合させる2次コイル54とは、ボビン52の巻き線形成領域内に重ねて形成されている。すなわち、1次コイル53及び2次コイル54は、同軸上で径方向に重複させて形成されている。ここでは、軸方向に関し、各コイル53及び54の重複領域が上記巻き線形成領域に一致しているものとする。
各コイル53及び54の軸方向の長さは、いずれも上記巻き線形成領域の長さと一致しており、一方のコイルの巻き線層の外側に他方のコイルの巻き線層が形成されている。ここでは、1次コイル53を流れる電流の変化によって誘導起電力が生じる2次コイル54が、1次コイル53よりも内側に形成されるものとする。
また、各コイル53及び54が、同一の線材を用いて構成され、同じ巻き数のコイルであるものとする。具体的には、軸方向に関して1往復分、線材をボビン52に隙間なく巻き付けて2次コイル54が形成され、2次コイル54の上に、1往復分線材を隙間なく巻き付けて1次コイル53が形成される。
ボビン52には、コア51を挿抜可能に係合させるための係合孔(ここでは、貫通孔となっている)が形成されており、一端側からコア51が挿入される。
金属シールド55は、磁気を遮断するためのコイルカバーであり、ボビン52の巻き線形成領域を取り囲むように配置される。例えば、SUS(Stainless Used Steel:ステンレス鋼)が金属シールド55を構成する部材として用いられる。この金属シールド55により、各コイル53及び54を流れる電流によって生じる磁界の漏出を抑制することができるとともに、金属シールド55外の金属部材による上記磁界への影響を抑制することができる。
ボビン52は、ホルダー部25筐体内に固定されており、可動部21がホルダー部25に押し込まれた際、スプリング受け23aがボビン52の端面に当接することにより、ホルダー部25に対するロッド部23の移動が止められる。
図4は、図2のヘッドユニット20内の構成例を示した回路図であり、回路基板26上に形成される減衰回路1、差動増幅回路2及びバッファ回路3を含む回路全体が示されている。この回路では、減衰回路1及びコンデンサーCを介して制御ユニット40の駆動回路41から1次コイル53に交流電流が供給される。
一方、1次コイル53及び2次コイル54の各出力は、それぞれコンデンサーC1及びC2を介して差動増幅回路2に入力される。また、差動増幅回路2により生成される検出信号は、バッファ回路3を介して演算回路42へ出力される。1次コイル53に交流電流を供給すると、1次コイル53には、そのインダクタンスL1に応じた誘導起電力が生じ、2次コイル54には、そのインダクタンスL2に応じた誘導起電力が生じる。インダクタンスL1及びL2は、いずれもボビン52に対するコア51の挿入量に応じて変化する物理量である。
減衰回路1は、外部に漏れる磁界を減らし、複数のヘッドユニット20を互いに密着させた状態で取り付けた場合の磁界の相互干渉を防止するとともに、1次コイル53に供給される交流電流が他の回路に及ぼす影響を低減させるために、駆動回路41から入力された正弦波信号の振幅を小さくして出力する回路であり、オペレーションアンプ、定電圧電源、抵抗r11及びr12からなる。定電圧電源の出力は、オペレーションアンプのプラス(+)側に入力され、正弦波信号は抵抗r11を介してオペレーションアンプのマイナス(−)側に入力されている。また、抵抗r12は、オペレーションアンプのマイナス側及び出力側間に並列に接続されている。
差動増幅回路2は、1次コイル53及び2次コイル54から入力される電圧信号の差分を示す信号を検出信号として出力する回路であり、オペレーションアンプ、定電圧電源、抵抗r21、r22、r31及びr32からなる。
ここでは、1次コイル53及び抵抗R1間に印加された電圧を1次コイル53のインピーダンス及び抵抗R1で分圧した電圧信号が、コンデンサーC1及び抵抗r21を介してオペレーションアンプのマイナス側に入力されるものとする。また、2次コイル54及び抵抗R2間に生じた電圧を2次コイル54のインピーダンス及び抵抗R2で分圧した電圧信号が、コンデンサーC2及び抵抗r31を介してオペレーションアンプのプラス側に入力されるものとする。
定電圧電源の出力は、抵抗r32を介してオペレーションアンプのプラス(+)側に入力され、抵抗r22は、オペレーションアンプのマイナス側及び出力側間に並列に接続されている。
バッファ回路3は、差動増幅回路2から入力された検出信号を低インピーダンス化して演算回路42へ出力する回路であり、オペレーションアンプからなる。
本実施の形態では、2次コイル54の出力については、1次コイル53とは逆相の出力が差動増幅回路2に入力される。すなわち、1次コイル53の出力(電圧信号)とは正負の極性が異なる2次コイル54の出力(電圧信号)が差動増幅回路2に入力される。従って、位相が互いに180°異なる2つの電圧信号が差動増幅回路2に入力され、差動増幅されることとなる。
ここでは、1次コイル53及び2次コイル54について、電流を流した際にコイル内に生じる磁界の向きが同一となる電流の向きを基準として各コイルの極性が定められるものとする。
1次コイル53及び2次コイル54の巻き数が同じであって、インダクタンスL1及びL2や抵抗R1及びR2も同じである場合、コイル間の電力損失を無視すれば、各コイルから出力される電圧信号の振幅がほぼ同一となるので、差動増幅回路2から検出信号として出力される正弦波信号の振幅は、上記電圧信号の振幅の2倍となる。
図5(a)及び(b)は、図2のヘッドユニット20内の要部における動作例を示した断面図であり、コア51及びボビン52が示されている。図5(a)には、可動部21が挿抜方向に最大限引き出された際のコア51の位置が示され、図5(b)には、可動部21が挿抜方向に最大限押し込まれた際のコア51の位置が示されている。
1次コイル53及び2次コイル54はボビン52の巻き線形成領域61に形成され、コア51はボビン52の一端側から貫通孔62に挿入される。
ここで、1次コイル53及び2次コイル54の重複領域は、コア51よりも短く、可動部21は、コア51の一端が上記重複領域内に入らないように、ホルダー部25に対して可動範囲が制限されている。従って、可動部21が挿抜方向に最大限引き出された状態であっても、コア51の一部分はコイル内に挿入された状態となっている。一方、可動部21が挿抜方向に最大限押し込まれた状態であっても、コア51の一部分は上記重複領域外に露出した状態となっている。
挿抜方向に関してホルダー部25に対する可動部21の位置が変化すると、その変位量に応じてボビン52に対するコア51の挿入量D1が変化する。検出信号の振幅は、コア51の挿入量D1に応じて変化することから、ヘッドユニット20から出力される検出信号に基づいて可動部21の変位量、すなわち、挿抜方向に関する可動部21の位置を求めることができる。その際、1次コイル53及び2次コイル54の共通の磁心となるコア51の一端が重複領域内に入らないように可動部21の可動範囲が制限されるので、重複領域に対するコア51の挿入量を検出信号に基づいて一意的に決定することができる。
本実施の形態によれば、各コイル53及び54が同軸上で径方向に重複させて形成され、各コイルの出力が差動増幅されるので、コア51の挿入量D1が変化した際の応答性を低下させることなく、可動部21の挿抜方向に関して測長センサー10の長さを短縮させることができる。また、重複領域がコア51よりも短いので、挿抜方向の長さをより効果的に短縮させることができる。
また、2次コイル54については、1次コイル53とは逆相の出力を差動増幅させるので、コア51の挿入量D1の変化に応じた電圧信号の振幅変化を適切に検出することができる。従って、可動部21の変位量が小さく、電圧信号の振幅におけるコイル間の差が微小である場合の検出精度を向上させることができる。
発明者らの実験によれば、2次コイル54を1次コイル53よりも内側に形成した方が、1次コイル53の外側に形成した場合に比べて、コア51の挿入量D1が変化した際の応答性が良いことが判明した。本実施の形態では、2次コイル54を1次コイル53よりも内側に形成させたので、2次コイル54を1次コイル53よりも外側に形成させる場合に比べて、応答性を向上させることができた。但し、ケースによっては、1次コイル53を2次コイル54よりも内側に設けても良いことは、言うまでもない。
また、各コイル53及び54を同じ巻き数のコイルとしたので、検出精度を低下させることなく、1次コイル53に対して軸方向に関する2次コイル54の長さを最大限短縮することができた。
なお、本実施の形態では、コンタクト部22を有するロッド部23が可動部21としてホルダー部25に保持される場合の例について説明したが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、ボビン側を可動部とし、ボビン及びコアを有するロッド部間の相対的な変位量を検出させるようなものであっても良い。
1 減衰回路
2 差動増幅回路
3 バッファ回路
10 測長センサー
20 ヘッドユニット
21 可動部
22 コンタクト部
22a 金属球
22b 保持部
23 ロッド部
24 ダストブーツ
25 ホルダー部
25a ストッパー部
26 回路基板
27a ボールケージ
27b 金属ボール
28 スプリング
29 封止部材
30 接続ケーブル
40 制御ユニット
41 駆動回路
42 演算回路
51 コア
52 ボビン
53 1次コイル
54 2次コイル
55 金属シールド
61 巻き線形成領域
62 貫通孔
A1 ワーク
2 差動増幅回路
3 バッファ回路
10 測長センサー
20 ヘッドユニット
21 可動部
22 コンタクト部
22a 金属球
22b 保持部
23 ロッド部
24 ダストブーツ
25 ホルダー部
25a ストッパー部
26 回路基板
27a ボールケージ
27b 金属ボール
28 スプリング
29 封止部材
30 接続ケーブル
40 制御ユニット
41 駆動回路
42 演算回路
51 コア
52 ボビン
53 1次コイル
54 2次コイル
55 金属シールド
61 巻き線形成領域
62 貫通孔
A1 ワーク
Claims (6)
- 検査対象物に接触させるコンタクト部を有する可動部及びこの可動部を挿抜可能に保持するホルダー部からなる変位検出装置において、
上記ホルダー部に設けられる1次コイル及び2次コイルと、
上記可動部に設けられ、上記1次コイル及び2次コイルの共通の磁心となるコアと、
上記1次コイルに交流電流を供給する駆動回路と、
上記1次コイル及び2次コイルの各出力を差動増幅し、上記ホルダー部に対する上記可動部の変位量を示す検出信号を生成する差動増幅回路とを備え、
上記1次コイル及び2次コイルが、同軸上で径方向に重複させて形成されることを特徴とする変位検出装置。 - 上記1次コイル及び2次コイルの重複領域は、上記コアよりも短く、上記可動部は、上記コアの一端が上記重複領域内に入らないように、上記ホルダー部に対して可動範囲が制限されることを特徴とする請求項1に記載の変位検出装置。
- 上記差動増幅回路は、上記1次コイル及び2次コイルの各出力を差動増幅する際、2次コイルの出力については1次コイルとは逆相の出力が入力されることを特徴とする請求項1又は2に記載の変位検出装置。
- 上記2次コイルが、上記1次コイルよりも内側に形成されることを特徴とする請求項1又は2に記載の変位検出装置。
- 上記1次コイル及び2次コイルが、同じ巻き数のコイルであることを特徴とする請求項1又は2に記載の変位検出装置。
- 交流電流が供給される1次コイル及びこの1次コイルに電磁結合させる2次コイルが形成されたボビンと、
上記ボビンに挿抜可能に係合され、一端に上記1次コイル及び2次コイルの共通の磁心となるコアが形成されたロッド部と、
上記1次コイル及び2次コイルの各出力を差動増幅し、上記ボビン及び上記ロッド部間の相対的な変位量を示す検出信号を生成する差動増幅回路とを備え、
上記1次コイル及び2次コイルが、同軸上で径方向に重複させて形成されることを特徴とする変位検出装置。
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JPS49112119A (ja) * | 1973-02-27 | 1974-10-25 | ||
JPH0678804U (ja) * | 1993-04-12 | 1994-11-04 | 住友電気工業株式会社 | 変位検出器 |
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