JP2007204299A - Graphite film and method for manufacturing graphite film - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、放熱フィルムとして使用されるグラファイトフィルムおよびグラファイトフィルムの製造方法に関する。 The present invention relates to a graphite film used as a heat dissipation film and a method for producing the graphite film.
熱伝導性に優れたグラファイトフィルムを得る方法として、ポリベンゾチアゾール、ポリベンゾビスチアゾール、ポリベンゾオキサゾール、ポリベンゾビスオキサゾール、のうちから選ばれた少なくとも１種類の高分子フィルムを１８００℃以上で加熱し、グラファイトに転化する事を特徴とするグラファイトの製造方法が（特許文献１）が知られている。 As a method for obtaining a graphite film having excellent thermal conductivity, at least one polymer film selected from polybenzothiazole, polybenzobisthiazole, polybenzoxazole, and polybenzobisoxazole is heated at 1800 ° C. or higher. However, there is known a method for producing graphite (Patent Document 1) characterized by conversion to graphite.
（特許文献１）の方法で得られるグラファイトは、非常に高い熱伝導性を有するため、電子機器の放熱部材として使用されている。具体的な使用例としては、
１．ＣＰＵと冷却ファンやヒートシンクの間に挟む放熱スペーサや
２．ＤＶＤ光ピックアップ部分や筐体部分に貼り熱を拡散させる放熱スプレッダ
等が挙げられる。
1. 1. a heat dissipation spacer sandwiched between the CPU and the cooling fan or heat sink; Examples include a heat spreader that diffuses heat applied to the DVD optical pickup portion and the housing portion.
しかし、従来（特許文献１）の方法で作製されるグラファイトフィルムは、面方向に優れた熱拡散性を有するものの、発熱部品の発熱密度が急速に増加している現在においては、十分に熱を面方向に拡散することができず、グラファイトの裏面に温度の高いホットスポットが発生している。そのため、グラファイトフィルムにおいて、厚み方向の熱伝導性上昇を抑えた面方向の熱伝導性の改善、面方向の熱伝導性低減を抑えた厚み方向の熱伝導性の低減が必要となっている。また、面方向の熱拡散率と厚み方向の熱拡散率の異方性を高めることも必要となっている。 However, although the graphite film produced by the conventional method (Patent Document 1) has excellent thermal diffusivity in the surface direction, the heat generation density of the heat-generating component is rapidly increasing at present, and the heat is sufficiently generated. It cannot diffuse in the surface direction, and a hot spot having a high temperature is generated on the back surface of the graphite. Therefore, in the graphite film, it is necessary to improve the thermal conductivity in the surface direction while suppressing the increase in the thermal conductivity in the thickness direction, and to reduce the thermal conductivity in the thickness direction while suppressing the decrease in the thermal conductivity in the surface direction. It is also necessary to increase the anisotropy between the thermal diffusivity in the plane direction and the thermal diffusivity in the thickness direction.
また、従来（特許文献１）、発熱部品にグラファイトを取り付ける際、粘着剤や接着剤で取り付ける必要があるが、従来の方法で得られるグラファイトはグラフェン平面が積み重なった構造のため、薄片上に剥がれやすく、その結果、粘着剤や接着剤との密着性、発熱部材との密着性が悪化して、取り付けが困難になったり、密着力が悪いために十分な放熱能力を発揮することが出来なくなったり、使用中に剥がれやすくなったりした。 Conventionally (Patent Document 1), when attaching graphite to a heat-generating component, it is necessary to attach with a pressure-sensitive adhesive or adhesive. However, graphite obtained by the conventional method is peeled off on a flake because of the structure in which graphene planes are stacked. As a result, the adhesiveness with adhesives and adhesives, and the adhesiveness with heat-generating members deteriorates, making it difficult to mount and insufficient heat dissipation due to poor adhesion. Or became easy to peel off during use.
また、グラファイトを電子機器に取り付ける場合、従来（特許文献１）の方法で得られるグラファイトは表面の硬度が低く。その結果、取り付け時や取り扱い時に表面に傷が入り、傷の入った部分から、黒鉛がはがれ、機器内部を汚染したり、十分な放熱能力を発揮することが出来なくなったりした。また、従来のグラファイトは、平面構造の間に隙間があり、層が部分的に乱れた状態となっているため、厚み方向の強度が弱く、厚み方向に力が加わった場合、変形しやすくなった。 Moreover, when attaching graphite to an electronic device, the surface hardness of the graphite obtained by the conventional method (Patent Document 1) is low. As a result, the surface was scratched during mounting and handling, and the graphite was peeled off from the scratched part, contaminating the inside of the device and not being able to exhibit sufficient heat dissipation capability. In addition, conventional graphite has gaps between planar structures, and the layer is partially disturbed, so the strength in the thickness direction is weak, and it tends to deform when force is applied in the thickness direction. It was.
また、従来（特許文献１）の方法は、熱処理中に発生する分解ガスが抜けにくかった。特に原料フィルムの厚みが厚くなるほど、分解ガスは抜けにくくなり、フィルムが破損したり、黒鉛剥がれを起こしやすくなり、グラファイト化の進行が不均一になりやすかった。また、従来の方法では厚みの薄いフィルムしか得られず、全体の熱輸送量が十分ではなかった。 Further, in the conventional method (Patent Document 1), the decomposition gas generated during the heat treatment is difficult to escape. In particular, the greater the thickness of the raw material film, the more difficult it is for the cracked gas to escape, and the film tends to break or the graphite peels off easily, and the progress of graphitization tends to be uneven. In addition, only a thin film can be obtained by the conventional method, and the total heat transport amount is not sufficient.
本発明は、以上のような従来の改善必要点に鑑み、
＜１＞発熱部品からの熱を速やかに移動させることができる十分な熱伝導性と、
＜２＞グラファイトの取り付け時や取り扱い時に表面に傷が入らない程度に十分な表面硬度と、
＜３＞表面からの黒鉛はがれにより電子機器内を汚染しないほどに十分な外観と、
＜４＞全体の熱輸送量が増加し、放熱特性を改善できる十分な厚さと、
＜５＞グラファイトと発熱部材の密着性を高めるために十分の表面の平滑性と、
を有するグラファイトフィルムを
＜６＞多数枚
提供することを課題・目的としている。
The present invention is based on the conventional improvements as described above.
<1> Sufficient thermal conductivity capable of quickly moving the heat from the heat generating component;
<2> Sufficient surface hardness to prevent scratches on the surface when attaching or handling graphite,
<3> Appearance sufficient to prevent contamination of the electronic equipment due to graphite peeling from the surface;
<4> With sufficient thickness to increase the overall heat transport amount and improve heat dissipation characteristics,
<5> sufficient surface smoothness to increase the adhesion between the graphite and the heating member;
It is an object / object to provide <6> a large number of graphite films having the above.
（１）本発明の第１は、
「高分子フィルムおよび／または炭化フィルムからなる原料フィルムを２０００℃以上の温度で熱処理し、該熱処理中に金属原子を含む物質と接触させる工程を含むグラファイトフィルムの製造方法であって、
前記工程中において前記原料フィルムの少なくとも片面が、圧縮率５％以上６０％以下の物性を示す炭素質シートと接触していることを特徴とする、グラファイトフィルムの製造方法」、
である。
(1) The first of the present invention is
“A method for producing a graphite film comprising a step of heat-treating a raw material film made of a polymer film and / or a carbonized film at a temperature of 2000 ° C. or higher and contacting a material containing a metal atom during the heat treatment,
In the process, at least one side of the raw material film is in contact with a carbonaceous sheet having physical properties of a compression rate of 5% or more and 60% or less, and a method for producing a graphite film ”,
It is.
（２）本発明の第２は、
「前記炭素質シートの
ＪＩＳ Ｂ０６５２に記載の光波干渉式表面粗さ測定法で得られる表面粗さＲａが０．８μｍ以下であることを特徴とする、（１）に記載のグラファイトフィルムの製造方法」、
である。
(2) The second aspect of the present invention is
“The method for producing a graphite film according to (1), wherein the surface roughness Ra obtained by the light wave interference type surface roughness measurement method according to JIS B0652 of the carbonaceous sheet is 0.8 μm or less”. "
It is.
（３）本発明の第３は、
「前記炭素質シートの厚みが３００μｍ以下であることを特徴とする、（１）〜（２）のいずれかに記載のグラファイトフィルムの製造方法」、
である。
(3) The third aspect of the present invention is
“The method for producing a graphite film according to any one of (1) to (2), wherein the carbonaceous sheet has a thickness of 300 μm or less”,
It is.
（４）本発明の第４は、
前記炭素質シートの厚みが２４０μｍ以下であることを特徴とする、（１）〜（３）のいずれかに記載のグラファイトフィルムの製造方法」、
である。
(4) The fourth aspect of the present invention is
The thickness of the carbonaceous sheet is 240 μm or less, the method for producing a graphite film according to any one of (1) to (3),
It is.
（５）本発明の第５は、
「前記炭素質シートの引張強度が５ＭＰａ以上であることを特徴とする、（１）〜（４）のいずれかに記載のグラファイトフィルムの製造方法」、
である。
(5) The fifth aspect of the present invention is
“The method for producing a graphite film according to any one of (1) to (4), wherein a tensile strength of the carbonaceous sheet is 5 MPa or more”,
It is.
（６）本発明の第６は、
「前記炭素質シートの灰分が０．５％以下であることを特徴とする、（１）〜（５）のいずれかに記載のグラファイトフィルムの製造方法」、
である。
(6) The sixth aspect of the present invention is
"The method for producing a graphite film according to any one of (1) to (5), wherein the ash content of the carbonaceous sheet is 0.5% or less",
It is.
（７）本発明の第７は、
「前記炭素質シートが、１０００℃以上で熱処理されてえられうる炭素質シートであることを特徴とする、（１）〜（６）のいずれかに記載のグラファイトフィルムの製造方法」、
である。
(7) The seventh of the present invention is
“The method for producing a graphite film according to any one of (1) to (6), wherein the carbonaceous sheet is a carbonaceous sheet that can be obtained by heat treatment at 1000 ° C. or higher”,
It is.
（８）本発明の第８は、
「前記熱処理工程中においてさらに、
引張強度７ＭＰａ以上、厚み３ｍｍ以下の２枚以上の黒鉛板で、
前記の少なくとも片面が前記の炭素質シートと接触している原料フィルムを複数枚挟んでいる状態
を含むことを特徴とする製造方法であって、
該原料フィルム５枚以上が、２枚の黒鉛板に挟まれている状態
を含むことを特徴とする、（１）〜（７）のいずれかに記載のグラファイトフィルムの製造方法」、
である。
(8) The eighth aspect of the present invention is
“During the heat treatment step,
Two or more graphite plates with a tensile strength of 7 MPa or more and a thickness of 3 mm or less,
A manufacturing method characterized by including a state in which a plurality of raw material films in contact with the carbonaceous sheet is sandwiched at least on one side,
The method for producing a graphite film according to any one of (1) to (7), including a state in which the five or more raw material films are sandwiched between two graphite plates ”,
It is.
（９）本発明の第９は、
「前記高分子フィルムが、ポリイミド、ポリアミド、ポリオキサジアゾール、ポリベンゾオキサゾール、ポリベンゾビスオキサゾール、ポリチアゾール、ポリベンゾチアゾール、ポリベンゾビスチアゾール、ポリパラフェニレンビニレン、ポリベンゾイミダゾール、およびポリベンゾビスイミダゾールからなる群から選ばれる少なくとも一種類以上の高分子からなることを特徴とする、（１）〜（８）のいずれかに記載のグラファイトフィルムの製造方法」、
である。
(9) The ninth of the present invention is
“The polymer film comprises polyimide, polyamide, polyoxadiazole, polybenzoxazole, polybenzobisoxazole, polythiazole, polybenzothiazole, polybenzobisthiazole, polyparaphenylene vinylene, polybenzimidazole, and polybenzobis. The method for producing a graphite film according to any one of (1) to (8), comprising at least one polymer selected from the group consisting of imidazoles,
It is.
（１０）本発明の第１０は、
「前記ポリイミドの複屈折率が０．０８以上であることを特徴とする、（９）に記載のグラファイトフィルムの製造方法」、
である。
(10) The tenth aspect of the present invention is
“The method for producing a graphite film according to (9), wherein the birefringence of the polyimide is 0.08 or more”,
It is.
（１１）本発明の第１１は、
「前記ポリイミドの複屈折率が０．１２以上であることを特徴とする、（９）に記載のグラファイトフィルムの製造方法」、
である。
(11) The eleventh aspect of the present invention is
"The method for producing a graphite film according to (9), wherein the birefringence of the polyimide is 0.12 or more",
It is.
（１２）本発明の第１２は、
「前記ポリイミドが、前駆体であるポリアミド酸を脱水剤とイミド化促進剤とを用いてイミド化して作製されうるポリイミドフィルムであることを特徴とする、（９）〜（１１）のいずれかに記載のグラファイトフィルムの製造方法」、
である。
(12) The twelfth aspect of the present invention is
“The polyimide is a polyimide film that can be prepared by imidizing a precursor polyamic acid with a dehydrating agent and an imidization accelerator,” according to any one of (9) to (11) A process for producing the described graphite film ",
It is.
（１３）本発明の第１３は、
「前記のポリイミドフィルムは、ジアミンと酸二無水物を用いて前記酸二無水物を両末端に有するプレポリマを合成し、前記プレポリマに前記と異なるジアミンを反応させて前記ポリアミド酸を合成し、前記ポリアミド酸をイミド化して作製されうることを特徴とする、（９）〜（１２）のいずれかに記載のグラファイトフィルムの製造方法」、
である。
(13) The thirteenth aspect of the present invention is
“The polyimide film is prepared by using a diamine and an acid dianhydride to synthesize a prepolymer having the acid dianhydride at both ends, and reacting the prepolymer with a diamine different from the above to synthesize the polyamic acid, The method for producing a graphite film according to any one of (9) to (12), characterized in that it can be produced by imidizing polyamic acid ",
It is.
（１４）本発明の第１４は、
「前記の金属を含む物質が、チタン、バナジウム、クロム、マンガン、鉄、コバルト、ニッケル、銅、ジルコニウム、ニオブ、モリブデン、テクネチウム、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、銀、ハフニウム、タンタル、タングステン、レニウム、オスミウム、イリジウム、白金、金、リチウム、ベリリウム、マグネシウム、カリウム、カルシウム、バリウム、アルミニウム、ホウ素、シリコン、およびゲルマニウムからなる群から選ばれる１以上の金属原子を含む物質であることを特徴とする、（１）〜（１３）のいずれかに記載のグラファイトフィルムの製造方法」、
である。
(14) The fourteenth aspect of the present invention is
"The substance containing the above metals is titanium, vanadium, chromium, manganese, iron, cobalt, nickel, copper, zirconium, niobium, molybdenum, technetium, ruthenium, rhodium, palladium, silver, hafnium, tantalum, tungsten, rhenium, osmium. A substance containing one or more metal atoms selected from the group consisting of iridium, platinum, gold, lithium, beryllium, magnesium, potassium, calcium, barium, aluminum, boron, silicon, and germanium, 1) to a method for producing a graphite film according to any one of (13) ",
It is.
（１５）本発明の第１５は、
「前記の金属を含む物質が、チタン、バナジウム、鉄、コバルト、およびニッケルからなる群から選ばれる１以上の金属原子を含む物質であることを特徴とする、（１）〜（１３）のいずれかに記載のグラファイトフィルムの製造方法」、
である。
(15) The fifteenth aspect of the present invention is
“The substance containing a metal is a substance containing one or more metal atoms selected from the group consisting of titanium, vanadium, iron, cobalt, and nickel. Any of (1) to (13) The method for producing a graphite film according to
It is.
（１６）本発明の第１６は、
「通電可能な容器内に、該原料フィルムを保持し、該容器に電圧を印加し通電しながらグラファイト化する工程を含むことを特徴とする、（１）〜（１５）のいずれかに記載のグラファイトフィルムの製造方法」、
である。
(16) The sixteenth aspect of the present invention is
“The material film is held in a container that can be energized, and includes a step of applying a voltage to the container and graphitizing while energizing,” (1) to (15) Method for producing graphite film ",
It is.
（１７）本発明の第１７は、
「ＪＩＳ Ｚ８７４１に記載の光沢測定法で得られる光沢度Ｇｓ（６０°）が３２％以上であることを特徴とする、グラファイトフィルム」、
である。
(17) The seventeenth aspect of the present invention is
“Graphite film characterized in that gloss Gs (60 °) obtained by the gloss measurement method described in JIS Z8741 is 32% or more”,
It is.
（１８）本発明の第１８は、
「ＪＩＳ Ｚ８７４１に記載の光沢測定法で得られる光沢度Ｇｓ（６０°）が４５％以上であることを特徴とする、グラファイトフィルム。」、
である。
(18) The eighteenth aspect of the present invention is
“A graphite film having a gloss Gs (60 °) of 45% or more obtained by the gloss measurement method described in JIS Z8741”.
It is.
（１９）本発明の第１９は、
「ＪＩＳ Ｚ８７４１に記載の光沢測定法で得られる光沢度Ｇｓ（６０°）が５０％以上であることを特徴とする、グラファイトフィルム」、
である。
(19) The nineteenth aspect of the present invention is
“Graphite film characterized in that gloss Gs (60 °) obtained by the gloss measurement method described in JIS Z8741 is 50% or more”,
It is.
（２０）本発明の第２０は、
「ＪＩＳ Ｂ０６５２に記載の光波干渉式表面粗さ測定法で得られる表面粗さＲａが０．８μｍ以下であり、
光交流法による熱拡散率が７×１０-4ｍ2／ｓ以上であり、
表面硬度の指標として、ＪＩＳ Ｋ５４００に基づいて測定される鉛筆硬度が２Ｂ以上であることを特徴とする、グラファイトフィルム」、
である。
（２１）本発明の第２１は、
「ＪＩＳ Ｂ０６５２に記載の光波干渉式表面粗さ測定法で得られる表面粗さＲａが０．８μｍ以下であり、
光交流法による熱拡散率が７×１０-4ｍ2／ｓ以上であり、
表面硬度の指標として、ＪＩＳ Ｋ５４００に基づいて測定される鉛筆硬度が２Ｂ以上であることを特徴とする、請求項１７〜１９のいずれかに記載のグラファイトフィルム」、
である。
(20) According to the twentieth aspect of the present invention,
“The surface roughness Ra obtained by the light wave interference type surface roughness measurement method described in JIS B0652 is 0.8 μm or less,
The thermal diffusivity by the optical alternating current method is 7 × 10 −4 m 2 / s or more,
As a surface hardness index, a graphite film having a pencil hardness measured based on JIS K5400 of 2B or more, a graphite film ",
It is.
(21) According to the twenty-first aspect of the present invention,
“The surface roughness Ra obtained by the light wave interference type surface roughness measurement method described in JIS B0652 is 0.8 μm or less,
The thermal diffusivity by the optical alternating current method is 7 × 10 −4 m 2 / s or more,
The graphite film according to any one of claims 17 to 19, wherein the pencil hardness measured according to JIS K5400 is 2B or more as an index of surface hardness ",
It is.
（２２）本発明の第２２は、
「請求項１〜１６のいずれかに記載の製造方法で製造されうることを特徴とする、
請求項２１に記載のグラファイトフィルム」、
である。
(22) The twenty-second aspect of the present invention provides
“It can be produced by the production method according to claim 1,
A graphite film according to claim 21 ",
It is.
従来技術では、熱伝導性、表面硬度、外観、表面の平滑性に優れたグラファイトフィルムを得ることは困難な課題であり、特にこれらを兼ね備えた厚みの厚いグラファイトフィルムを多数枚得ることは非常に困難な課題であった。 In the prior art, obtaining a graphite film excellent in thermal conductivity, surface hardness, appearance, and surface smoothness is a difficult task, and in particular, it is very difficult to obtain many thick graphite films that combine these. It was a difficult task.
本発明による、高分子フィルムおよび／または炭化フィルムからなる原料フィルムを２０００℃以上の温度で熱処理するグラファイトフィルムの製造方法であって、
（１）熱処理中に金属を含む物質と接触させる
（２）原料フィルムの少なくとも片面が、圧縮率５％以上６０％以下の物性を示す炭素質シートと接触している
ことにより、
＜１＞発熱部品からの熱を速やかに移動させることができる十分な熱伝導性と、
＜２＞グラファイトの取り付け時や取り扱い時に表面に傷が入らない程度に十分な表面硬度と、
＜３＞表面からの黒鉛はがれにより電子機器内を汚染しないほどに十分な外観と、
＜４＞全体の熱輸送量が増加し、放熱特性を改善できる十分な厚さと、
＜５＞グラファイトと発熱部材の密着性を高めるために十分な表面の平滑性と、
を有するグラファイトフィルムを
＜６＞多数枚
得ることができる。
According to the present invention, there is provided a method for producing a graphite film comprising heat-treating a raw material film comprising a polymer film and / or a carbonized film at a temperature of 2000 ° C. or higher,
(1) Contact with a substance containing a metal during heat treatment (2) At least one side of the raw material film is in contact with a carbonaceous sheet having physical properties of a compression rate of 5% or more and 60% or less,
<1> Sufficient thermal conductivity capable of quickly moving the heat from the heat generating component;
<2> Sufficient surface hardness to prevent scratches on the surface when attaching or handling graphite,
<3> Appearance sufficient to prevent contamination of the electronic equipment due to graphite peeling from the surface;
<4> With sufficient thickness to increase the overall heat transport amount and improve heat dissipation characteristics,
<5> sufficient surface smoothness to increase the adhesion between the graphite and the heating member;
<6> a large number of graphite films having the above can be obtained.
具体的には、下記のとおりである。 Specifically, it is as follows.
＜１＞グラファイトフィルムの、熱伝導性は、光交流法による熱拡散率が７×１０-4ｍ2／ｓ以上、好ましくは８×１０-4ｍ2／ｓ、さらに好ましくは８．５×１０-4ｍ2／ｓ以上である。熱拡散率が７×１０-4ｍ2／ｓ以上であると、発熱部品からの熱を十分拡散できる。 <1> The thermal conductivity of the graphite film has a thermal diffusivity of 7 × 10 −4 m 2 / s or more, preferably 8 × 10 −4 m 2 / s, more preferably 8.5 ×, as measured by the optical alternating current method. 10 −4 m 2 / s or more. When the thermal diffusivity is 7 × 10 −4 m 2 / s or more, the heat from the heat-generating component can be sufficiently diffused.
＜２＞グラファイトフィルムの、表面硬度の具体的レベルは、ＪＩＳ Ｋ５４００に基づいて測定される鉛筆硬度の値が２Ｂ以上、好ましくはＢ以上、さらに好ましくはＨＢ以上である。鉛筆硬度が２Ｂ以上では、グラファイトの取り付け時や取り扱い時に傷が入らない程度に十分な表面硬度となる。 The specific level of the surface hardness of the <2> graphite film is such that the pencil hardness value measured based on JIS K5400 is 2B or more, preferably B or more, and more preferably HB or more. When the pencil hardness is 2B or more, the surface hardness is sufficient to prevent scratches when attaching or handling graphite.
＜３＞グラファイトフィルムの、表面の外観は、ＪＩＳ Ｋ５４００に基づいて測定されるＸカットテープ法に基づいて測定される評価が６以上、好ましくは８以上である。外観が６以上では、グラファイトと発熱部品を接着剤や粘着剤を用いて取り付けた場合に、剥がれることなく、また、取り付け時の接触や装置に組み込んだ後にファンの風によって表面から黒鉛が剥がれ落ちることがなくなり、電子機器内を汚染しなくなる。 The surface appearance of the <3> graphite film is 6 or more, preferably 8 or more, as measured based on the X-cut tape method measured based on JIS K5400. When the appearance is 6 or more, graphite and exothermic parts will not peel off when attached using adhesive or adhesive, and the graphite will peel off from the surface due to the wind of the fan after contact with the equipment or after being installed in the device Will not contaminate the electronic equipment.
＜４＞グラファイトフィルムの厚みは、５０μｍ以上、好ましくは７０μｍ以上、さらに好ましくは９０μｍ以上である。また用いる原料高分子フィルムの厚みは、７０μｍ以上、好ましくは１２０μｍ以上、さらに好ましくは１５０μｍ以上である。グラファイトフィルムの厚みが５０μｍ以上、原料フィルムの厚みが７０μｍ以上であれば、熱輸送量が向上し、従来よりも優れた放熱性を発現することが可能となる。 <4> The thickness of the graphite film is 50 μm or more, preferably 70 μm or more, and more preferably 90 μm or more. The thickness of the raw material polymer film to be used is 70 μm or more, preferably 120 μm or more, and more preferably 150 μm or more. When the thickness of the graphite film is 50 μm or more and the thickness of the raw material film is 70 μm or more, the heat transport amount is improved, and it is possible to express heat dissipation superior to the conventional one.
＜５＞グラファイトフィルムの、表面の平滑性は、ＪＩＳ Ｂ０６５２に記載の光波干渉式表面粗さ測定法で得られる表面粗さＲａが０．８以下、好ましくは０．７以下、さらに好ましくは０．６以下である。表面粗さが０．８以下では、グラファイトと発熱部品を接着剤や粘着剤を用いて取り付けた場合に、グラファイト、発熱部品、接着剤または粘着剤との密着性がよく、グラファイトが本来有する放熱特性を発揮することが出来る。 <5> The surface smoothness of the graphite film is such that the surface roughness Ra obtained by the light wave interference type surface roughness measurement method described in JIS B0652 is 0.8 or less, preferably 0.7 or less, more preferably 0. .6 or less. When the surface roughness is 0.8 or less, when graphite and heat-generating parts are attached using an adhesive or pressure-sensitive adhesive, the adhesion with graphite, heat-generating parts, adhesive or pressure-sensitive adhesive is good, and the heat dissipation inherent in graphite The characteristics can be demonstrated.
＜６＞黒鉛化には非常に大きな電力が必要とされるため、コストの問題を考えた場合、一度に多くの原料フィルムを処理することが望まれる。そのため、容器に対する原料フィルムの充填率をできるだけ、増加させる必要がある。原料高分子フィルムの容器に対する充填率が、１０％以上、好ましくは２０％以上、さらに好ましくは３０％以上であることが望まれる。なお、充填率は以下の式で定義する。
高分子フィルムの厚み／容器の有効容積の深さ×１００
容器の有効容積の深さは、図４の２３に示す。
<6> Since very large electric power is required for graphitization, when considering the problem of cost, it is desired to process many raw material films at once. Therefore, it is necessary to increase the filling rate of the raw material film into the container as much as possible. It is desired that the filling rate of the raw material polymer film into the container is 10% or more, preferably 20% or more, and more preferably 30% or more. The filling rate is defined by the following formula.
Polymer film thickness / container effective volume depth × 100
The effective volume depth of the container is shown at 23 in FIG.
原料に面配向の高い高分子フィルム／または炭化フィルムからなる原料フィルムを用い、この原料フィルムの熱処理前および／または熱処理過程で、金属を含む物質と接触させることを特徴とすることをおこなえば、従来の技術では改善の余地のあった表面からの黒鉛剥がれという問題を改善するだけにとどまらず、熱伝導性にも優れ、表面硬度、密度に優れたグラファイトを得ることが可能となる。また、原料フィルム少なくとも片面が、圧縮率５％以上６０％以下の物性を示す炭素質シートと接触していることを特徴とすることを組み合わせることで、平滑性に優れたグラファイトシートを多数枚、得ることが可能となる。従来の技術では予見できない効果が得られた。 If a raw material film made of a polymer film / or carbonized film having a high surface orientation is used as a raw material, the raw material film is brought into contact with a substance containing a metal before and / or during the heat treatment. The conventional technology not only improves the problem of exfoliation of graphite from the surface that has room for improvement, but also makes it possible to obtain graphite having excellent thermal conductivity and excellent surface hardness and density. In addition, by combining a feature that the raw material film is in contact with a carbonaceous sheet exhibiting physical properties of a compression rate of 5% or more and 60% or less, at least one side of the film, a large number of graphite sheets excellent in smoothness, Can be obtained. An effect that could not be predicted with the conventional technology was obtained.
本発明の第１のグラファイトフィルムの製造方法は、高分子フィルムおよび／または炭化フィルムからなる原料フィルムを２０００℃以上の温度で熱処理し、該熱処理中に金属を含む物質と接触させる工程を含むグラファイトフィルムの製造方法であって、前記工程中において原料フィルムの少なくとも片面が、圧縮率５％以上６０％以下の物性を示す炭素質シートと接触していることを特徴とする、グラファイトフィルムの製造方法、である。 The first method for producing a graphite film of the present invention includes a step of heat-treating a raw material film made of a polymer film and / or a carbonized film at a temperature of 2000 ° C. or higher and contacting with a metal-containing substance during the heat treatment. A method for producing a graphite film, wherein at least one side of the raw material film is in contact with a carbonaceous sheet exhibiting physical properties of a compression rate of 5% or more and 60% or less during the step. .
＜グラファイトフィルム＞
本発明の製造方法で作製されるグラファイトフィルムは、熱伝導性が高いために、例えば、サーバー、サーバー用コンピュータ、デスクトップパソコン、ＤＶＤ、プラズマテレビ、液晶プロジェクタ、インクジェットプリンタ、電子写真装置等の電子機器や、ノートパソコン、電子辞書、ＰＤＡ、携帯電話、ポータブル音楽プレイヤー等の携帯電子機器や、半導体製造装置、液晶製造装置等の産業機器の放熱材料として好適である。
<Graphite film>
Since the graphite film produced by the production method of the present invention has high thermal conductivity, for example, electronic devices such as servers, server computers, desktop personal computers, DVDs, plasma televisions, liquid crystal projectors, ink jet printers, and electrophotographic apparatuses. It is also suitable as a heat dissipation material for portable electronic devices such as notebook computers, electronic dictionaries, PDAs, mobile phones, portable music players, and industrial equipment such as semiconductor manufacturing devices and liquid crystal manufacturing devices.
＜高分子フィルム＞
本発明で用いることができる高分子フィルムは、特に限定はされないが、ポリイミド（ＰＩ）、ポリアミド（ＰＡ）、ポリオキサジアゾール（ＰＯＤ）、ポリベンゾオキサゾール（ＰＢＯ）、ポリベンゾビスオキサザール（ＰＢＢＯ）、ポリチアゾール（ＰＴ）、ポリベンゾチアゾール（ＰＢＴ）、ポリベンゾビスチアゾール（ＰＢＢＴ）、ポリパラフェニレンビニレン（ＰＰＶ）、ポリベンゾイミダゾール（ＰＢＩ）、ポリベンゾビスイミダゾール（ＰＢＢＩ）が挙げられ、これらのうちから選ばれる少なくとも１種を含む耐熱芳香族性高分子フィルムであることが、最終的に得られるグラファイトの熱伝導性が大きくなることから好ましい。これらのフィルムは、公知の製造方法で製造すればよい。この中でもポリイミドは、原料モノマーを種々選択することによって様々な構造および特性を有するものを得ることができるために好ましい。また、ポリイミドフィルムは、他の有機材料を原料とする高分子フィルムよりもフィルムの炭化、黒鉛化が進行しやすいため、結晶性、熱伝導性に優れたグラファイトとなりやすい。
<Polymer film>
The polymer film that can be used in the present invention is not particularly limited, but polyimide (PI), polyamide (PA), polyoxadiazole (POD), polybenzoxazole (PBO), polybenzobisoxazal (PBBO) ), Polythiazole (PT), polybenzothiazole (PBT), polybenzobisthiazole (PBBT), polyparaphenylene vinylene (PPV), polybenzimidazole (PBI), and polybenzobisimidazole (PBBI). Of these, a heat-resistant aromatic polymer film containing at least one selected from the above is preferable because the thermal conductivity of the finally obtained graphite is increased. What is necessary is just to manufacture these films with a well-known manufacturing method. Among these, polyimide is preferable because various materials and structures can be obtained by selecting various raw material monomers. In addition, the polyimide film is more likely to be graphite having excellent crystallinity and thermal conductivity because carbonization and graphitization of the film is more likely to proceed than polymer films made from other organic materials.
本発明の高分子フィルムにおける分子の面内配向性に関連する複屈折Δｎが、フィルム面内のどの方向に関しても０．０８以上、好ましくは０．１０以上、さらに好ましくは０．１２以上、最も好ましくは０．１４である。複屈折０．０８以上であると、熱伝導性の高いグラファイトフィルムとなる。またさらに、黒鉛化温度が低温でも十分高い熱伝導性のグラファイトフィルムとなり、厚みが厚くても、高い熱伝導性を有するグラファイトフィルムとなる。さらに、金属と接触させて熱処理した場合には、従来技術では改善の余地があった表面硬度、密度、表面の密着性が改善される。 The birefringence Δn related to the in-plane orientation of molecules in the polymer film of the present invention is 0.08 or more, preferably 0.10 or more, more preferably 0.12 or more, most in any direction in the film plane. Preferably it is 0.14. When the birefringence is 0.08 or more, a graphite film with high thermal conductivity is obtained. Furthermore, the graphite film has a sufficiently high thermal conductivity even when the graphitization temperature is low, and the graphite film has a high thermal conductivity even if the thickness is large. Further, when heat treatment is performed in contact with metal, the surface hardness, density, and surface adhesion, which have room for improvement in the prior art, are improved.
＜高分子フィルムと複屈折＞
複屈折が高くなるほど、フィルムの炭化（炭素化）、黒鉛化が進行しやすくなる。その結果、グラファイトの結晶配向性がよくなり、熱伝導性が顕著に改善される。特に、高分子フィルムの面配向性が高いと、金属との接触によることにより、高い熱伝導性を保持しながら、表面の黒鉛剥がれを抑制できた表面硬度、密度、表面の密着性に優れたグラファイトが得られる。また、炭化が進行しやすいため、炭化中の昇温速度を速く、熱処理時間を短くしても、品質の優れたグラファイトとなる。また、黒鉛化が進行しやすいため、最高温度を下げて熱処理時間を短くしても品質の優れたグラファイトとなる。
<Polymer film and birefringence>
The higher the birefringence, the easier the film is carbonized (carbonized) and graphitized. As a result, the crystal orientation of graphite is improved and the thermal conductivity is remarkably improved. In particular, when the surface orientation of the polymer film is high, the surface hardness, density, and surface adhesion were excellent because it was possible to suppress surface graphite peeling while maintaining high thermal conductivity due to contact with the metal. Graphite is obtained. In addition, since carbonization is likely to proceed, even if the heating rate during carbonization is high and the heat treatment time is shortened, the graphite is excellent in quality. Further, since graphitization is likely to proceed, even if the maximum temperature is lowered and the heat treatment time is shortened, the graphite becomes excellent in quality.
また低温で炭化（炭素化）及び黒鉛化が進行するために、低温の熱処理中からフィルムの熱伝導性が高くなり、表面及び内部へ充分に熱が伝わり、均一な黒鉛化が進行しやすくなる。 In addition, since carbonization (carbonization) and graphitization proceed at low temperatures, the thermal conductivity of the film increases during the low-temperature heat treatment, and heat is sufficiently transferred to the surface and inside, facilitating uniform graphitization. .
また、原料の厚みが厚くなったとしても、表面と内部で均一に黒鉛化が進行するため、熱伝導性の優れたグラファイトが得られる。 Further, even when the thickness of the raw material is increased, graphitization is uniformly progressed on the surface and inside, so that graphite having excellent thermal conductivity can be obtained.
複屈折が高くなると黒鉛化しやすくなる理由は明らかではないが、グラファイト化のためには分子が再配列する必要があり、複屈折の高い分子配向性に優れたポリイミドフィルムでは分子の再配列が最小で済むことから、ポリイミドフィルムの中でも、より配向性に優れたポリイミドフィルムの方が、比較的低温の最高処理温度で、厚みが厚くても、結晶性の高いグラファイトフィルムになると推測される。 The reason why graphitization is likely to occur when birefringence is high is not clear, but it is necessary to rearrange the molecules for graphitization, and polyimide films with high birefringence and excellent molecular orientation have minimal molecular rearrangement. Therefore, it is presumed that among polyimide films, a polyimide film having better orientation is a graphite film having high crystallinity even at a relatively high maximum processing temperature and a large thickness.
＜複屈折＞
ここでいう複屈折とは、フィルム面内の任意方向の屈折率と厚み方向の屈折率との差を意味し、フィルム面内の任意方向Ｘの複屈折Δｎｘは次式（数式１）で与えられる。
<Birefringence>
Birefringence here means the difference between the refractive index in an arbitrary direction in the film plane and the refractive index in the thickness direction, and the birefringence Δnx in the arbitrary direction X in the film plane is given by the following formula (Formula 1). It is done.
なお、前述の「フィルム面内の任意方向Ｘ」とは、例えばフィルム形成時における材料流れの方向を基準として、Ｘ方向が面内の０゜方向、４５゜方向、９０゜方向、１３５゜方向のどの方向においても、の意味である。サンプル測定個所・測定回数は、好ましくは、下記の通りである。例えば、ロール状の原料フィルム（幅５１４ｍｍ、）からサンプルを切り出す際には、幅方向で１０ｃｍ間隔に６カ所サンプリングして、各部位で複屈折を測定する。その平均を複屈折とする。 The above-mentioned “arbitrary direction X in the film plane” means, for example, the X direction is the 0 ° direction, 45 ° direction, 90 ° direction, 135 ° direction in the plane with reference to the direction of material flow during film formation. In any direction. The sample measurement location and the number of measurements are preferably as follows. For example, when a sample is cut out from a roll-shaped raw material film (width: 514 mm), six locations are sampled at intervals of 10 cm in the width direction, and birefringence is measured at each portion. The average is defined as birefringence.
＜ポリイミドフィルムの熱的性質、機械的性質、物理的性質、化学的性質＞
また、本発明に用いられるグラファイトの原料となるポリイミドフィルムは、１００〜２００℃の範囲において２．５×１０-5／℃未満の平均線膨張係数を有しているとよい。線膨張係数が２．５×１０-5／℃未満であれば、熱処理中の伸びが小さく、スムースに黒鉛化が進行し、脆くなく、種々の特性に優れたグラファイトを得ることができる。 このようなポリイミドフィルムを原料に用いることで、グラファイトへの転化が２４００℃から始まり、２７００℃で十分結晶性の高いグラファイトに転化が生じ得る。なお、その線膨張係数は、２．０×１０-5／℃以下であることがより好ましい。
<Thermal properties, mechanical properties, physical properties, and chemical properties of polyimide films>
Moreover, the polyimide film used as the raw material for graphite used in the present invention preferably has an average linear expansion coefficient of less than 2.5 × 10 −5 / ° C. in the range of 100 to 200 ° C. If the linear expansion coefficient is less than 2.5 × 10 −5 / ° C., the elongation during the heat treatment is small, the graphitization proceeds smoothly, and the graphite is not brittle and has excellent various properties. By using such a polyimide film as a raw material, the conversion to graphite starts at 2400 ° C., and the conversion can occur in graphite having sufficiently high crystallinity at 2700 ° C. The linear expansion coefficient is more preferably 2.0 × 10 −5 / ° C. or less.
なお、高分子フィルムの線膨張係数は、ＴＭＡ（熱機械分析装置）を用いて、まず試料を１０℃／分の昇温速度で３５０℃まで昇温させた後に一旦室温まで空冷し、再度１０℃／分の昇温速度で３５０℃まで昇温させ、２回目の昇温時の１００℃〜２００℃における平均線膨張係数を測定することによって得られる。具体的には、熱機械分析装置（ＴＭＡ：セイコー電子製ＳＳＣ／５２００Ｈ；ＴＭＡ１２０Ｃ）を用いて、３ｍｍ幅×２０ｍｍ長のサイズのフィルム試料を所定の治具にセットし、引張モードで３ｇの荷重をかけて窒素雰囲気下で測定が行われる。 The linear expansion coefficient of the polymer film was determined by using a TMA (thermomechanical analyzer) to first raise the sample to 350 ° C. at a temperature rising rate of 10 ° C./min, then air-cooled to room temperature, and then 10 again. The temperature is increased to 350 ° C. at a temperature increase rate of ° C./min, and the average linear expansion coefficient at 100 ° C. to 200 ° C. at the second temperature increase is measured. Specifically, using a thermomechanical analyzer (TMA: Seiko Electronics SSC / 5200H; TMA120C), a 3 mm wide × 20 mm long film sample is set in a predetermined jig, and a load of 3 g is applied in a tensile mode. Is measured in a nitrogen atmosphere.
また、本発明に用いられるポリイミドフィルムは、その弾性率が３．４ＧＰａ以上であれば、グラファイト化をより容易に行い得るということから好ましい。すなわち、弾性率が３．４ＧＰａ以上であれば、熱処理中のフィルムの収縮によるフィルムの破損を防止することができ、種々の特性に優れたグラファイトを得ることができる。 Moreover, if the elasticity modulus of the polyimide film used for this invention is 3.4 GPa or more, it is preferable from graphitizing more easily. That is, if the elastic modulus is 3.4 GPa or more, film breakage due to shrinkage of the film during heat treatment can be prevented, and graphite excellent in various properties can be obtained.
なお、フィルムの弾性率は、ＡＳＴＭ−Ｄ−８８２に準拠して測定することができる。ポリイミドフィルムのより好ましい弾性率は３．９ＧＰａ以上であり、さらに好ましくは４．９ＧＰａ以上である。フィルムの弾性率が３．４ＧＰａより小さければ、熱処理中のフィルムの収縮で破損および変形しやすくなり、得られるグラファイトの結晶性は劣り、熱伝導性が劣る傾向にある。 In addition, the elasticity modulus of a film can be measured based on ASTM-D-882. A more preferable elastic modulus of the polyimide film is 3.9 GPa or more, and more preferably 4.9 GPa or more. If the elastic modulus of the film is smaller than 3.4 GPa, the film is easily damaged and deformed by the shrinkage of the film during the heat treatment, and the resulting graphite tends to have poor crystallinity and poor thermal conductivity.
フィルムの吸水率は、下記のごとく測定した。フィルムを絶乾するために、１００℃で３０分乾燥して、２５μｍ厚み１０ｃｍ角のサンプルを作製した。この重量を測定してＡ１とする。２５μｍ厚み１０ｃｍ角のサンプルを蒸留水に２３℃で２４時間浸漬し、表面の水を拭いて除去し直ちに重量を測定した。この重量をＡ２とする。下記式より吸水率を求めた。 The water absorption rate of the film was measured as follows. In order to dry the film completely, it was dried at 100 ° C. for 30 minutes to prepare a sample having a 25 μm thickness and a 10 cm square. This weight is measured and designated as A1. A 25 μm-thick 10 cm square sample was immersed in distilled water at 23 ° C. for 24 hours, and the surface water was wiped away and the weight was immediately measured. This weight is A2. The water absorption was determined from the following formula.
吸水率（％）＝（Ａ２−Ａ１）÷Ａ１×１００
＜ポリイミドフィルムの作製方法＞
本発明で用いられるポリイミドフィルムは、ポリイミド前駆体であるポリアミド酸の有機溶液をイミド化促進剤と混合した後、エンドレスベルトまたはステンレスドラムなどの支持体上に流延し、それを乾燥および焼成してイミド化させることにより製造され得る。
Water absorption rate (%) = (A2−A1) ÷ A1 × 100
<Preparation method of polyimide film>
The polyimide film used in the present invention is prepared by mixing an organic solution of polyamic acid, which is a polyimide precursor, with an imidization accelerator, and then casting it on a support such as an endless belt or a stainless drum, followed by drying and baking. Can be produced by imidization.
本発明に用いられるポリアミド酸の製造方法としては公知の方法を用いることができ、通常は、芳香族酸二無水物の少なくとも１種とジアミンの少なくとも１種が実質的に等モル量で有機溶媒中に溶解させられる。そして、得られた有機溶液は酸二無水物とジアミンの重合が完了するまで制御された温度条件下で攪拌され、これによってポリアミド酸が製造され得る。このようなポリアミド酸溶液は、通常は５〜３５ｗｔ％、好ましくは１０〜３０ｗｔ％の濃度で得られる。この範囲の濃度である場合に、適当な分子量と溶液粘度を得ることができる。 As a method for producing the polyamic acid used in the present invention, a known method can be used. Usually, at least one kind of aromatic dianhydride and at least one kind of diamine are substantially equimolar amounts in an organic solvent. Dissolved in. The obtained organic solution is stirred under controlled temperature conditions until the polymerization of the acid dianhydride and the diamine is completed, whereby a polyamic acid can be produced. Such a polyamic acid solution is usually obtained at a concentration of 5 to 35 wt%, preferably 10 to 30 wt%. When the concentration is in this range, an appropriate molecular weight and solution viscosity can be obtained.
重合方法としてはあらゆる公知の方法を用いることができるが、例えば次のような重合方法（１）−（５）が好ましい。 Any known method can be used as the polymerization method. For example, the following polymerization methods (1) to (5) are preferable.
（１） 芳香族ジアミンを有機極性溶媒中に溶解し、これと実質的に等モルの芳香族テトラカルボン酸二無水物を反応させて重合する方法。 (1) A method in which an aromatic diamine is dissolved in an organic polar solvent, and this is reacted with a substantially equimolar aromatic tetracarboxylic dianhydride for polymerization.
（２） 芳香族テトラカルボン酸二無水物とこれに対して過小モル量の芳香族ジアミン化合物とを有機極性溶媒中で反応させ、両末端に酸無水物基を有するプレポリマを得る。続いて、芳香族テトラカルボン酸二無水物に対して実質的に等モルになるように芳香族ジアミン化合物を用いて重合させる方法。 (2) An aromatic tetracarboxylic dianhydride is reacted with a small molar amount of an aromatic diamine compound in an organic polar solvent to obtain a prepolymer having acid anhydride groups at both ends. Then, the method of superposing | polymerizing using an aromatic diamine compound so that it may become substantially equimolar with respect to aromatic tetracarboxylic dianhydride.
この好ましい１つの態様は、ジアミンと酸二無水物を用いて前記酸二無水物を両末端に有するプレポリマを合成し、前記プレポリマに前記とは異なるジアミンを反応させてポリアミド酸を合成する方法である。 One preferred embodiment is a method in which a prepolymer having the acid dianhydride at both ends is synthesized using a diamine and an acid dianhydride, and a polyamine is synthesized by reacting the prepolymer with a diamine different from the above. is there.
（３） 芳香族テトラカルボン酸二無水物とこれに対し過剰モル量の芳香族ジアミン化合物とを有機極性溶媒中で反応させ、両末端にアミノ基を有するプレポリマを得る。続いて、このプレポリマに芳香族ジアミン化合物を追加添加後に、芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミン化合物が実質的に等モルとなるように芳香族テトラカルボン酸二無水物を用いて重合する方法。 (3) An aromatic tetracarboxylic dianhydride and an excess molar amount of the aromatic diamine compound are reacted in an organic polar solvent to obtain a prepolymer having amino groups at both ends. Subsequently, after adding an aromatic diamine compound to the prepolymer, polymerization was performed using the aromatic tetracarboxylic dianhydride so that the aromatic tetracarboxylic dianhydride and the aromatic diamine compound are substantially equimolar. how to.
（４） 芳香族テトラカルボン酸二無水物を有機極性溶媒中に溶解および／または分散させた後に、その酸二無水物に対して実質的に等モルになるように芳香族ジアミン化合物を用いて重合させる方法。 (4) After dissolving and / or dispersing aromatic tetracarboxylic dianhydride in an organic polar solvent, an aromatic diamine compound is used so as to be substantially equimolar with respect to the acid dianhydride. Polymerization method.
（５） 実質的に等モルの芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミンの混合物を有機極性溶媒中で反応させて重合する方法。 (5) A method of polymerizing by reacting a substantially equimolar mixture of aromatic tetracarboxylic dianhydride and aromatic diamine in an organic polar solvent.
これらの中でも（２）、（３）に示すプレポリマを経由するシーケンシャル制御（シーケンスコントロール）（ブロックポリマー同士の組み合わせ・ブロックポリマー分子同士の繋がりの制御）をして重合する方法が好ましい。というのは、この方法を用いることで、複屈折が大きく、線膨張係数が小さいポリイミドフィルムが得られやすく、このポリイミドフィルムを熱処理することにより、結晶性が高く、密度および熱伝導性が優れたグラファイトを得やすくなるからである。また、規則正しく、制御されることで、芳香環の重なりが多くなり、低温の熱処理でもグラファイト化が進行しやすくなると推定される。また複屈折を高めるために、イミド基含有量を増やすと、樹脂中の炭素比率が減り、黒鉛処理後の炭素化収率が減るが、シーケンシャル制御をして合成されるポリイミドフィルムは、樹脂中の炭素比率を落とすことなく、複屈折を高めることが出来るために好ましい。炭素比率が高まるために、分解ガスの発生を抑えることができ、外観上優れたグラファイトフィルムが得られやすくなる。また芳香環の再配列を抑えることができ、熱伝導性に優れたグラファイトフィルムを得ることができる。 Among these, a method of performing polymerization by performing sequential control (sequence control) (combination of block polymers / control of connection between block polymer molecules) via the prepolymer shown in (2) and (3) is preferable. By using this method, it is easy to obtain a polyimide film having a large birefringence and a small linear expansion coefficient. By heat-treating this polyimide film, the crystallinity is high, and the density and thermal conductivity are excellent. This is because it becomes easier to obtain graphite. Further, it is presumed that, when controlled regularly, the aromatic rings overlap, and graphitization is likely to proceed even at low temperature heat treatment. Also, increasing the imide group content to increase birefringence decreases the carbon ratio in the resin and decreases the carbonization yield after graphite treatment, but the polyimide film synthesized with sequential control is This is preferable because the birefringence can be increased without reducing the carbon ratio. Since the carbon ratio increases, generation of cracked gas can be suppressed, and a graphite film excellent in appearance can be easily obtained. Moreover, rearrangement of the aromatic ring can be suppressed, and a graphite film excellent in thermal conductivity can be obtained.
本発明においてポリイミドの合成に用いられ得る酸二無水物は、ピロメリット酸二無水物、２，３，６，７−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、１，２，５，６−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、２，２’，３，３’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、２，２−ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）プロパン二無水物、３，４，９，１０−ペリレンテトラカルボン酸二無水物、ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）プロパン二無水物、１，１−ビス（２，３−ジカルボキシフェニル）エタン二無水物、１，１−ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）エタン二無水物、ビス（２，３−ジカルボキシフェニル）メタン二無水物、ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）エタン二無水物、オキシジフタル酸二無水物、ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）スルホン二無水物、ｐ−フェニレンビス（トリメリット酸モノエステル酸無水物）、エチレンビス（トリメリット酸モノエステル酸無水物）、ビスフェノールＡビス（トリメリット酸モノエステル酸無水物）、およびそれらの類似物を含み、それらを単独でまたは任意の割合の混合物で用いることができる。 Acid dianhydrides that can be used for the synthesis of polyimide in the present invention are pyromellitic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyl. Tetracarboxylic dianhydride, 1,2,5,6-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 2,2 ′, 3,3′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4 ′ -Benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 3,4,9,10-perylenetetracarboxylic dianhydride, bis (3,4- Dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 1,1-bis (2,3-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, 1,1-bis (3,4-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, bis (2 , 3-Zical Xylphenyl) methane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, oxydiphthalic dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride, p-phenylenebis (trimerit Acid monoester acid anhydride), ethylene bis (trimellitic acid monoester acid anhydride), bisphenol A bis (trimellitic acid monoester acid anhydride), and the like, which may be used alone or in any It can be used in a mixture of proportions.
本発明においてポリイミドの合成に用いられ得るジアミンとしては、４，４’−オキシジアニリン、ｐ−フェニレンジアミン、４，４’−ジアミノジフェニルプロパン、４，４’−ジアミノジフェニルメタン、ベンジジン、３，３’−ジクロロベンジジン、４，４’−ジアミノジフェニルスルフィド、３，３’−ジアミノジフェニルスルホン、４，４’−ジアミノジフェニルスルホン、４，４’−ジアミノジフェニルエーテル（４，４’−オキシジアニリン）、３，３’−ジアミノジフェニルエーテル（３，３’−オキシジアニリン）、３，４’−ジアミノジフェニルエーテル（３，４’−オキシジアニリン）、１，５−ジアミノナフタレン、４，４’−ジアミノジフェニルジエチルシラン、４，４’−ジアミノジフェニルシラン、４，４’−ジアミノジフェニルエチルホスフィンオキシド、４，４’−ジアミノジフェニルＮ−メチルアミン、４，４’−ジアミノジフェニル Ｎ−フェニルアミン、１，４−ジアミノベンゼン（ｐ−フェニレンジアミン）、１，３−ジアミノベンゼン、１，２−ジアミノベンゼンおよびそれらの類似物を含み、それらを単独でまたは任意の割合の混合物で用いることができる。 Examples of diamines that can be used for the synthesis of polyimide in the present invention include 4,4′-oxydianiline, p-phenylenediamine, 4,4′-diaminodiphenylpropane, 4,4′-diaminodiphenylmethane, benzidine, 3,3. '-Dichlorobenzidine, 4,4'-diaminodiphenyl sulfide, 3,3'-diaminodiphenyl sulfone, 4,4'-diaminodiphenyl sulfone, 4,4'-diaminodiphenyl ether (4,4'-oxydianiline), 3,3'-diaminodiphenyl ether (3,3'-oxydianiline), 3,4'-diaminodiphenyl ether (3,4'-oxydianiline), 1,5-diaminonaphthalene, 4,4'-diaminodiphenyl Diethylsilane, 4,4'-diaminodiphenylsilane, 4,4 ' Diaminodiphenylethylphosphine oxide, 4,4′-diaminodiphenyl N-methylamine, 4,4′-diaminodiphenyl N-phenylamine, 1,4-diaminobenzene (p-phenylenediamine), 1,3-diaminobenzene, Including 1,2-diaminobenzene and the like, which can be used alone or in any proportion of the mixture.
特に、線膨張係数を小さくして弾性率を高くかつ複屈折を大きくし得るという観点から、本発明におけるポリイミドフィルムの製造では、下記式（１）で表される酸二無水物を原料に用いることが好ましい。 In particular, from the viewpoint of increasing the elastic modulus and increasing the birefringence by decreasing the linear expansion coefficient, the acid dianhydride represented by the following formula (1) is used as a raw material in the production of the polyimide film in the present invention. It is preferable.
上述の酸二無水物を用いることによって比較的低吸水率のポリイミドフィルムが得られ、このことはグラファイト化過程において水分による発泡を防止し得るという観点からも好ましい。 By using the above-mentioned acid dianhydride, a polyimide film having a relatively low water absorption can be obtained, which is also preferable from the viewpoint that foaming due to moisture can be prevented in the graphitization process.
特に、酸二無水物におけるＲ1として式（２）〜式（１４）に示されているようなベンゼン核を含む有機基を使用すれば、得られるポリイミドフィルムの分子配向性が高くなり、線膨張係数が小さく、弾性率が大きく、複屈折が高く、さらには吸水率が低くなるという観点から好ましい。 In particular, when an organic group containing a benzene nucleus as shown in the formulas (2) to (14) is used as R 1 in the acid dianhydride, the molecular orientation of the resulting polyimide film increases, This is preferable from the viewpoints of low expansion coefficient, high elastic modulus, high birefringence, and low water absorption.
さらに線膨張係数を小さく、弾性率を高く、複屈折を大きく、吸水率を小さくするためには、本発明におけるポリイミドの合成に下記式（１５）で表される酸二無水物を原料に用いればよい。 In order to further reduce the linear expansion coefficient, increase the elastic modulus, increase the birefringence, and decrease the water absorption, an acid dianhydride represented by the following formula (15) is used as a raw material for the synthesis of the polyimide in the present invention. That's fine.
さらに線膨張係数を小さく、弾性率を高く、複屈折を大きくするためには、本発明におけるポリイミドは、ｐ−フェニレンジアミンを原料に用いて合成されることが好ましい。 In order to further reduce the linear expansion coefficient, increase the elastic modulus, and increase the birefringence, the polyimide in the present invention is preferably synthesized using p-phenylenediamine as a raw material.
また、本発明においてポリイミドの合成に用いられる最も適当なジアミンは４，４’−オキシジアニリンとｐ−フェニレンジアミンであり、これらの単独または２者の合計モルが全ジアミンに対して４０モル％以上、さらには５０モル％以上、さらには７０モル％以上、またさらには８０モル％以上であることが好ましい。さらに、ｐ−フェニレンジアミンが１０モル％以上、さらには２０モル％以上、さらには３０モル％以上、またさらには４０モル％以上を含むことが好ましい。これらのジアミンの含有量がこれらのモル％範囲の下限値未満になれば、得られるポリイミドフィルムの線膨張係数が大きく、弾性率が小さく、複屈折が小さくなる傾向になる。但し、ジアミンの全量をｐ−フェニレンジアミンにすると、発泡の少ない厚みの厚いポリイミドフィルムを得るのが難しくなるため、４，４’−オキシジアニリンを使用するのが良い。また炭素比率が減り、分解ガスの発生量を減らすことができ、芳香環の再配列の必要が減り、外観、熱伝導性に優れたグラファイトを得ることができる。 In the present invention, the most suitable diamines used for the synthesis of polyimide are 4,4′-oxydianiline and p-phenylenediamine, and the total moles of these alone or the two are 40% by mole based on the total diamines. More preferably, it is 50 mol% or more, more preferably 70 mol% or more, and even more preferably 80 mol% or more. Furthermore, it is preferable that p-phenylenediamine contains 10 mol% or more, further 20 mol% or more, further 30 mol% or more, and further 40 mol% or more. If the content of these diamines is less than the lower limit of these mol% ranges, the resulting polyimide film tends to have a high linear expansion coefficient, a low elastic modulus, and a low birefringence. However, if the total amount of diamine is p-phenylenediamine, it is difficult to obtain a thick polyimide film with less foaming, so 4,4'-oxydianiline is preferably used. In addition, the carbon ratio can be reduced, the amount of cracked gas generated can be reduced, the need for rearrangement of aromatic rings is reduced, and graphite having excellent appearance and thermal conductivity can be obtained.
本発明においてポリイミドフィルムの合成に用いられる最も適当な酸二無水物はピロメリット酸二無水物および／または式（１５）で表されるｐ−フェニレンビス（トリメリット酸モノエステル酸二無水物）であり、これらの単独または２者の合計モルが全酸二無水物に対して４０モル％以上、さらには５０モル％以上、さらには７０モル％以上、またさらには８０モル％以上であることが好ましい。これら酸二無水物の使用量が４０モル％未満であれば、得られるポリイミドフィルムの線膨張係数が大きく、弾性率が小さく、複屈折が小さくなる傾向になる。 In the present invention, the most suitable acid dianhydride used for the synthesis of the polyimide film is pyromellitic dianhydride and / or p-phenylenebis represented by the formula (15) (trimellitic acid monoester dianhydride). And the total mole of these alone or the two is 40 mole% or more, further 50 mole% or more, further 70 mole% or more, or even 80 mole% or more based on the total acid dianhydride. Is preferred. If the amount of these acid dianhydrides used is less than 40 mol%, the resulting polyimide film tends to have a large linear expansion coefficient, a small elastic modulus, and a small birefringence.
また、ポリイミドフィルム、ポリアミド酸、ポリイミド樹脂に対して、カーボンブラック、グラファイト等の添加剤を添加しても良い。 Moreover, you may add additives, such as carbon black and a graphite, with respect to a polyimide film, a polyamic acid, and a polyimide resin.
ポリアミド酸を合成するための好ましい溶媒は、アミド系溶媒であるＮ，Ｎ−ジメチルフォルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチル−２−ピロリドンなどであり、Ｎ，Ｎ−ジメチルフォルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミドが特に好ましく用いられ得る。 Preferred solvents for synthesizing the polyamic acid are amide solvents N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone and the like, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide can be used particularly preferably.
次に、ポリイミドの製造方法には、前駆体であるポリアミド酸を加熱でイミド転化する熱キュア法、またはポリアミド酸に無水酢酸等の酸無水物に代表される脱水剤やピコリン、キノリン、イソキノリン、ピリジン等の第３級アミン類をイミド化促進剤として用いてイミド転化するケミカルキュア法のいずれを用いてもよい。中でも、イソキノリンのように沸点の高いものほど好ましい。というのは、フィルム作製中の初期段階では蒸発せず、乾燥の最後の過程まで、触媒効果が発揮されやすいため好ましい。特に、得られるフィルムの線膨張係数が小さく、弾性率が高く、複屈折が大きくなりやすく、また比較的低温で迅速なグラファイト化が可能で、品質のよいグラファイトを得ることができるという観点からケミカルキュアの方が好ましい。特に、脱水剤とイミド化促進剤を併用することは、得られるフィルムの線膨張係数が小さく、弾性率が大きく、複屈折が大きくなり得るので好ましい。また、ケミカルキュア法は、イミド化反応がより速く進行するので加熱処理においてイミド化反応を短時間で完結させることができ、生産性に優れた工業的に有利な方法である。 Next, the polyimide production method includes a heat curing method in which the precursor polyamic acid is converted to imide by heating, or a polyhydric acid such as acetic anhydride and other dehydrating agents, picoline, quinoline, isoquinoline, Any of the chemical curing methods in which imide conversion is performed using a tertiary amine such as pyridine as an imidization accelerator may be used. Among them, a higher boiling point such as isoquinoline is preferable. This is preferable because it does not evaporate in the initial stage of film production, and the catalytic effect is easily exhibited until the last step of drying. In particular, the resulting film has a low coefficient of linear expansion, high modulus of elasticity, high birefringence, and can be rapidly graphitized at a relatively low temperature to obtain high-quality graphite. Cure is preferred. In particular, the combined use of a dehydrating agent and an imidization accelerator is preferable because the resulting film has a small linear expansion coefficient, a large elastic modulus, and a large birefringence. In addition, the chemical cure method is an industrially advantageous method that is excellent in productivity because the imidization reaction proceeds faster and the imidization reaction can be completed in a short time in the heat treatment.
具体的なケミカルキュアによるフィルムの製造においては、まずポリアミド酸溶液に化学量論以上の脱水剤と触媒からなるイミド化促進剤を加えて、支持板、ＰＥＴ等の有機フィルム、ドラム、またはエンドレスベルト等の支持体上に流延または塗布して膜状にし、有機溶媒を蒸発させることによって自己支持性を有する膜を得る。次いで、この自己支持性膜をさらに加熱して乾燥させつつイミド化させてポリイミド膜を得る。この加熱の際の温度は、１５０℃から５５０℃の範囲内にあることが好ましい。加熱の際の昇温速度には特に制限はないが、連続的もしくは段階的に、徐々に加熱して最高温度がその所定温度範囲内になるようにするのが好ましい。加熱時間はフィルム厚みや最高温度によって異なるが、一般的には最高温度に達してから１０秒から１０分の範囲が好ましい。さらに、ポリイミドフィルムの製造工程中に、収縮を防止するためにフィルムを容器に接触させたり固定・保持したり延伸したりする工程を含めば、得られるフィルムの線膨張係数が小さく、弾性率が高く、複屈折が大きくなりやすい傾向にあるので好ましい。 In the production of a film by a specific chemical cure, first, an imidization accelerator comprising a dehydrating agent and a catalyst of a stoichiometric amount or more is added to a polyamic acid solution, an organic film such as a support plate, PET, a drum, or an endless belt. A film having self-supporting properties is obtained by casting or coating on a support such as a film to evaporate the organic solvent. Next, the self-supporting film is further heated and dried to be imidized to obtain a polyimide film. The temperature during the heating is preferably in the range of 150 ° C to 550 ° C. There is no particular limitation on the rate of temperature increase at the time of heating, but it is preferable to gradually heat in a continuous or stepwise manner so that the maximum temperature falls within the predetermined temperature range. Although the heating time varies depending on the film thickness and the maximum temperature, it is generally preferably in the range of 10 seconds to 10 minutes after reaching the maximum temperature. Furthermore, if the process of making the polyimide film includes a step of bringing the film into contact with the container, fixing, holding or stretching in order to prevent shrinkage, the resulting film has a low coefficient of linear expansion and an elastic modulus. It is preferable because it tends to be high and the birefringence tends to increase.
＜グラファイト化の方法＞
本発明の高分子フィルムのグラファイト化は、２０００℃以上の温度で熱処理し、熱処理中に金属を含む物質と接触させて行う。
<Method of graphitization>
The graphitization of the polymer film of the present invention is performed by heat treatment at a temperature of 2000 ° C. or higher and contacting with a substance containing a metal during the heat treatment.
熱処理は、高分子フィルムを炭素化させる工程と黒鉛化させる工程の二つの工程からなる。炭素化と黒鉛化は、別々に行っても良いし、連続的に行っても良い。 The heat treatment consists of two steps, a step of carbonizing the polymer film and a step of graphitizing. Carbonization and graphitization may be performed separately or continuously.
炭素化は、出発物質である高分子フィルムを減圧下もしくは窒素ガス中で予備加熱処理して炭素化を行う。この予備加熱は通常８００〜１５００℃の温度で行われる。また、炭化の最高温度に達した時点で３０分から１時間程度、最高温度のまま温度の保持を行っても良い。例えば１０℃／分の速度で昇温した場合には１０００℃の温度領域で３０分程度の温度の保持を行っても良い。昇温の段階では、出発高分子フィルムの分子配向性が失われないように、フィルムの破損が起きない程度に膜面に垂直方向に圧力を加えてもよい。 Carbonization is performed by preheating a polymer film as a starting material under reduced pressure or in nitrogen gas. This preheating is usually performed at a temperature of 800 to 1500 ° C. Alternatively, the temperature may be maintained at the maximum temperature for about 30 minutes to 1 hour when the maximum temperature for carbonization is reached. For example, when the temperature is increased at a rate of 10 ° C./min, the temperature may be maintained for about 30 minutes in the temperature range of 1000 ° C. In the temperature raising stage, pressure may be applied in a direction perpendicular to the film surface to such an extent that the film is not damaged so that the molecular orientation of the starting polymer film is not lost.
次に、黒鉛化は、炭素化した高分子フィルムを一度取り出した後、黒鉛化用の炉に移し変えてからおこなっても良いし、炭素化から黒鉛化を連続的におこなっても良い。黒鉛化は、減圧下もしくは不活性ガス中でおこなわれるが、不活性ガスとしてはアルゴン、ヘリウムが適当である。熱処理温度としては最低でも２０００℃以上が必要で、最終的には２４００℃以上、より好ましくは、２６００℃以上さらに好ましくは２８００℃以上で熱処理することが、熱伝導性、表面硬度、密度、表面の接着性、外観に優れたグラファイトを得るためにはよい。 Next, the graphitization may be performed after the carbonized polymer film is taken out and then transferred to a graphitization furnace, or may be continuously performed from the carbonization. Graphitization is performed under reduced pressure or in an inert gas, and argon and helium are suitable as the inert gas. The heat treatment temperature needs to be 2000 ° C. or higher at a minimum, and finally heat treatment is performed at 2400 ° C. or higher, more preferably 2600 ° C. or higher, more preferably 2800 ° C. or higher. Thermal conductivity, surface hardness, density, surface It is good for obtaining graphite having excellent adhesion and appearance.
熱処理温度が高いほど良質のグラファイトへの転化が可能であるが、経済性の観点からはできるだけ低温で良質のグラファイトに転化できることが好ましい。２５００℃以上の超高温を得るには、通常はグラファイトヒータに直接電流を流して、そのジュ−ル熱を利用した加熱が行なわれる。グラファイトヒータの消耗は２７００℃以上で進行し、２８００℃ではその消耗速度が約１０倍になり、２９００℃ではさらにその約１０倍になる。したがって、原材料の高分子フィルムの改善によって、良質のグラファイトへの転化が可能な温度を例えば２８００℃から２７００℃に下げることは大きな経済的効果を生じる。なお、一般に入手可能な工業的炉において、熱処理可能な最高温度は３０００℃が限界である。高分子フィルムを一旦炭素化して取り出した後、これを黒鉛化しても、炭素化と黒鉛化を連続的におこなっても良い。 The higher the heat treatment temperature is, the higher the quality can be converted to graphite, but from the viewpoint of economy, it is preferable that the conversion to high quality graphite is possible at the lowest possible temperature. In order to obtain an ultra-high temperature of 2500 ° C. or higher, usually, a current is directly supplied to the graphite heater, and heating using the juule heat is performed. The consumption of the graphite heater proceeds at 2700 ° C. or more, and the consumption rate becomes about 10 times at 2800 ° C., and further about 10 times at 2900 ° C. Therefore, by improving the raw material polymer film, lowering the temperature at which conversion to high-quality graphite can be performed, for example, from 2800 ° C. to 2700 ° C. has a great economic effect. In a generally available industrial furnace, the maximum heat-treatable temperature is 3000 ° C. Once the polymer film is carbonized and taken out, it may be graphitized or carbonized and graphitized continuously.
＜高分子フィルムの固定方法・保持方法＞
本発明の熱処理では、容器に高分子フィルムを固定して行われてもよい。本発明のような２０００℃の温度領域まで加熱されるような用途では、取り扱いの容易さや、工業的な入手の容易さ等を勘案すると、黒鉛製の容器が、特に好ましい。ここでいう黒鉛とは、上記の温度領域まで加熱することができる限りにおいて、黒鉛を主に含むような材料までを含む広い概念であるが、例えば、等方性黒鉛、押出製黒鉛、が挙げられ、電気伝導性、熱伝導性に優れ、均質性にも優れる等方性黒鉛が、繰り返し用いる場合には好ましい。容器の形状は、特に制約を受けず、単純な平板などの形状でよい。また容器は円筒状で、高分子フィルムを容器に巻きつける方法でも良い。容器の形状は、高分子フィルムを接触させることができる限りにおいて、特に制約を受けない。
<Polymer film fixing / holding method>
The heat treatment of the present invention may be performed with a polymer film fixed to a container. In applications where heating is performed to a temperature range of 2000 ° C. as in the present invention, a graphite container is particularly preferable in view of ease of handling, industrial availability, and the like. The term “graphite” as used herein is a broad concept including materials that mainly contain graphite as long as it can be heated to the above temperature range, and examples thereof include isotropic graphite and extruded graphite. Isotropic graphite having excellent electrical and thermal conductivity and excellent homogeneity is preferable when it is repeatedly used. The shape of the container is not particularly limited and may be a shape such as a simple flat plate. The container may be cylindrical, and a method of winding a polymer film around the container may be used. The shape of the container is not particularly limited as long as the polymer film can be contacted.
なお、黒鉛製容器内に、高分子フィルムを接触させる方法（例えば、保持する方法・固定する方法を含む）とは、例えば、高分子フィルムをグラファイト板で挟んだ上で、グラファイト板の自重以外には特には加圧しない状態で容器壁や容器底に接するように接触させる方法（保持させたり、固定させたりしてもよい）や円筒の黒鉛容器に巻きつける方法が有るが、必ずしもこれらの方法だけに制約を受けるものではない。 The method of bringing the polymer film into contact with the graphite container (including the method of holding and fixing) is, for example, other than the weight of the graphite plate after the polymer film is sandwiched between the graphite plates. In particular, there are a method of contacting the container wall and the bottom of the container without applying pressure (which may be held or fixed) and a method of winding around a cylindrical graphite container. It is not limited only by the method.
＜金属を含む物質と接触させる方法＞
熱処理中に金属を含む物質と接触させる方法としては、熱処理中に（Ｉ）固体状、（Ｉｉ）液体状、（ＩＩＩ）気体状の金属を含む物質と接触させることが挙げられる。
<Method of contacting with a substance containing metal>
Examples of the method of contacting with a substance containing a metal during the heat treatment include contacting with a substance containing (I) solid, (Ii) liquid, or (III) gaseous metal during the heat treatment.
具体的な方法としては、例えば、次のような方法（１）−（４）が好ましい。 As a specific method, for example, the following methods (1) to (4) are preferable.
（１）熱処理する前に、高分子フィルムの表面に金属を含む物質を形成する方法。 (1) A method of forming a metal-containing substance on the surface of the polymer film before heat treatment.
表面に金属を含む物質を形成する方法としては、金属を含む物質を塗布したり、蒸着したりする方法が挙げられる。この方法では、熱処理を開始する前は、高分子フィルムと金属を含む物質が直接接している。熱処理中に、金属を含む物質が、直接高分子フィルムと相互作用する。熱処理温度が高くなるに従い、金属を含む物質が液体状態及び／又は気体状態となり、さらにより活発かつ均一にフィルムと相互作用すると推定する。 Examples of a method for forming a substance containing a metal on the surface include a method of applying or depositing a substance containing a metal. In this method, the polymer film and the substance containing metal are in direct contact with each other before the heat treatment is started. During the heat treatment, the metal-containing material interacts directly with the polymer film. It is presumed that as the heat treatment temperature increases, the metal-containing substance becomes a liquid state and / or a gas state, and interacts with the film more actively and uniformly.
（２）黒鉛化する前に、炭素化した高分子フィルムの表面に金属を含む物質を形成する方法。 (2) A method of forming a metal-containing substance on the surface of a carbonized polymer film before graphitization.
この方法では、操作としては（１）の方法と同じである。但し、金属を含む物質が接触するのは、高分子フィルムではなく、既に炭素化したフィルムとである。熱処理中に、金属を含む物質が、直接炭素化したフィルムと相互作用する。熱処理温度が高くなるに従い、金属を含む物質が液体状態及び／又は気体状態となり、フィルムと相互作用すると推定する。（２）の方法は、（１）の方法よりも好ましいと考えられる。（１）の方法では、炭素化中に高分子フィルムと直接接するため、炭素化過程で金属を含む物質が高分子フィルムと相互作用することとなり、炭素化と同時に副反応を起こす場合が考えられる。一方（２）の方法では、原料が既に炭素化しているため、熱処理中に副反応を起すことがなくなり、より品質の高いグラファイトが得られると推定される。
（３）高分子フィルムまたは炭素化した高分子フィルムを、金属を含む容器に入れる方法。
In this method, the operation is the same as the method (1). However, it is not a polymer film but a carbonized film that comes into contact with a metal-containing substance. During the heat treatment, the metal-containing material interacts directly with the carbonized film. As the heat treatment temperature increases, it is presumed that the metal-containing substance becomes liquid and / or gas and interacts with the film. The method (2) is considered preferable to the method (1). In the method (1), since the carbon film is in direct contact with the polymer film during carbonization, a substance containing a metal interacts with the polymer film during the carbonization process, and a side reaction may occur simultaneously with the carbonization. . On the other hand, in the method (2), since the raw material is already carbonized, no side reaction occurs during the heat treatment, and it is presumed that graphite with higher quality can be obtained.
(3) A method of putting a polymer film or a carbonized polymer film in a container containing a metal.
金属を含む容器は、予め容器に金属が含有している容器、金属を含む物質や粉末を入れておいた容器等を挙げられる。この方法では、高分子フィルムまたは炭素化した高分子フィルムは、一部金属を含む物質と接触しているが、（１）（２）の方法よりもその接触の程度は低いものとも考えられる。（３）の方法では、熱処理中に金属を含む物質が、容器内で拡散し、順次原料フィルムと接触することになると考えられる。また、金属を含む物質の種類によっては、気体となり、気体状で原料フィルムに接触することになる。（３）の方法は、（１）の方法よりも好ましいと考えられる。（３）の方法では、低温では接触が少ないが、熱処理温度が高くなってはじめて、金属を含む物質と原料フィルムの十分な接触が起こる。その結果、原料に高分子フィルムを用いた場合には、熱処理温度が高くなる炭素化過程で金属を含む物質と相互作用しにくくなり、炭素化中に副反応を起しにくくなると推定される。またさらに、（３）の方法では、熱処理温度が高くなり、金属を含む物質の拡散が高くなってはじめて、原料フィルムと金属を含む物質との接触が起こり、金属を含む物質の拡散の度合いが高いために、フィルムに表面全体に非常に均一に相互作用する。特に気体状態ではその相互作用の均一性がより高まる。その結果、非常に品質の高いグラファイトが得られる。 Examples of the container containing metal include a container containing metal in the container, a container containing a metal-containing substance and powder, and the like. In this method, the polymer film or carbonized polymer film is partly in contact with a substance containing metal, but it is considered that the degree of contact is lower than the methods (1) and (2). In the method (3), it is considered that a substance containing a metal diffuses in the container during the heat treatment and sequentially comes into contact with the raw material film. Moreover, depending on the kind of substance containing a metal, it will become gas and will contact a raw material film in gaseous state. The method (3) is considered preferable to the method (1). In the method (3), the contact is small at a low temperature, but sufficient contact between the material containing the metal and the raw material film occurs only when the heat treatment temperature becomes high. As a result, when a polymer film is used as a raw material, it is estimated that it becomes difficult to interact with a substance containing a metal in the carbonization process in which the heat treatment temperature is high, and a side reaction is difficult to occur during carbonization. Furthermore, in the method (3), only when the heat treatment temperature becomes high and the diffusion of the substance containing metal increases, the contact between the raw material film and the substance containing metal occurs, and the degree of diffusion of the substance containing metal increases. Due to the high, the film interacts very evenly across the surface. Especially in the gaseous state, the uniformity of the interaction is further increased. As a result, very high quality graphite is obtained.
（４）高分子フィルムに金属を含む物質を添加する方法。 (4) A method of adding a metal-containing substance to the polymer film.
具体的な方法としては、粉末状の微粒子を添加する方法が挙げられる。但し、ポリイミドを作製する前のポリアミド酸溶液の状態に、金属を含む物質を溶かした溶液を添加する方法は好ましくない。というのは、原料フィルム全体に分子状に金属が分散すると、ポリイミドを作製する過程で、副反応が起こり、均一なポリイミドフィルムを得ることが困難となる。さらに、ポリイミドフィルムに均一に分散していると、炭素化過程の副反応がひどくなり、品質の高いグラファイトを得るのが困難となる。この方法は（１）の方法よりも好ましくない。 A specific method includes a method of adding powdery fine particles. However, it is not preferable to add a solution containing a metal-containing substance to the polyamic acid solution before the polyimide is produced. This is because when the metal is dispersed in a molecular form throughout the raw material film, a side reaction occurs in the process of producing the polyimide, making it difficult to obtain a uniform polyimide film. Furthermore, if it is uniformly dispersed in the polyimide film, the side reaction during the carbonization process becomes severe, making it difficult to obtain high quality graphite. This method is less preferred than the method (1).
＜金属を含む物質＞
金属を含む物質としては、金属単体、の化合物（酸化物、窒化物、ハロゲン化物、フッ化物、塩化物、臭化物、ヨウ化物等が挙げられるが、これに限定されるものではない）、金属塩等が挙げられる。原料フィルムに直接接触させる場合には、金属を含む物質が溶媒に溶けるとよい。というのは、塗布という簡単な方法で、原料フィルムの表面に均一に金属を含む物質を接触させることが出来るからである。金属の種類としては、ＩＵＰＡＣ（国際純正・応用化学連合）無機化学命名法改訂版（１９８９年）による族番号４族、５族、６族、７族、８族、９族、１０族、１１族、１２族、１３族、リチウム、ベリリウム、ナトリウム、マグネシウム、カリウム、カルシウム、バリウム、アルミニウム、ホウ素、シリコン、ゲルマニウム、セレン、錫、鉛、ビスマス、が挙げられる。中でも、チタン、バナジウム、クロム、マンガン、鉄、コバルト、ニッケル、銅、亜鉛、ジルコニウム、ニオブ、モリブデン、テクネチウム、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、銀、カドミウム、ハフニウム、タンタル、タングステン、レニウム、オスミウム、イリジウム、白金、金、水銀、リチウム、ベリリウム、マグネシウム、カリウム、カルシウム、バリウム、アルミニウム、ホウ素、シリコン、ゲルマニウムが良く、さらに好ましくは、チタン、バナジウム、鉄、コバルト、ニッケルである。特に好ましくは、鉄、コバルトである。これらは、熱拡散率、表面硬度、表面の接着性、外観に優れるために好ましい。
<Substances containing metals>
Substances containing metals include compounds of simple metals (including, but not limited to, oxides, nitrides, halides, fluorides, chlorides, bromides, iodides, etc.), metal salts Etc. In the case of direct contact with the raw material film, a substance containing a metal is preferably dissolved in a solvent. This is because a substance containing a metal can be uniformly brought into contact with the surface of the raw material film by a simple method of coating. As the types of metals, IUPAC (International Pure and Applied Chemistry Union) inorganic chemical nomenclature revised edition (1989), group numbers 4, 5, 6, 7, 8, 9, 9, 10, 11 Group, group 12, group 13, lithium, beryllium, sodium, magnesium, potassium, calcium, barium, aluminum, boron, silicon, germanium, selenium, tin, lead, bismuth. Among them, titanium, vanadium, chromium, manganese, iron, cobalt, nickel, copper, zinc, zirconium, niobium, molybdenum, technetium, ruthenium, rhodium, palladium, silver, cadmium, hafnium, tantalum, tungsten, rhenium, osmium, iridium, Platinum, gold, mercury, lithium, beryllium, magnesium, potassium, calcium, barium, aluminum, boron, silicon, and germanium are preferable, and titanium, vanadium, iron, cobalt, and nickel are more preferable. Particularly preferred are iron and cobalt. These are preferable because they are excellent in thermal diffusivity, surface hardness, surface adhesion, and appearance.
＜高分子フィルムのグラファイト化＞
高分子フィルムのグラファイト化機構について説明する。
<Graphitization of polymer film>
The graphitization mechanism of the polymer film will be described.
高分子フィルムのグラファイト化は、炭素化と黒鉛化の２段階を経由して起こる。まず、一般に炭素化とは、高分子フィルムを１０００℃まで熱処理して、炭素分が主成分となる物質に変化させる過程のことを意味する。具体的には、高分子フィルムを分解温度で熱処理すると結合の開裂が起こり、分解成分は二酸化炭素、一酸化炭素、窒素、水素等のガスとなって離脱し、１０００℃まで熱処理されると、炭素が主成分の材料となる。次に黒鉛化とは、炭素質材料を２８００℃以上の温度で熱処理し、芳香環が平面状に繋がったグラファイト層が多数積層した構造に変換させる過程のことを意味する。 Graphitization of a polymer film occurs through two stages, carbonization and graphitization. First, carbonization generally means a process in which a polymer film is heat-treated up to 1000 ° C. to change it into a substance whose main component is carbon. Specifically, when the polymer film is heat-treated at the decomposition temperature, bond cleavage occurs, the decomposition component is released as a gas such as carbon dioxide, carbon monoxide, nitrogen, hydrogen, and when heat-treated to 1000 ° C., Carbon is the main ingredient. Next, graphitization means a process in which a carbonaceous material is heat-treated at a temperature of 2800 ° C. or more to convert it into a structure in which a large number of graphite layers in which aromatic rings are connected in a planar shape.
しかし、高分子を熱処理して得られた炭素質材料が全て黒鉛になるわけではなく、エポキシやフェノール樹脂を熱処理して作製した炭素質材料は、２８００℃以上の温度で熱処理しても黒鉛になることはなくガラス状炭素のままであり、ポリイミド、ポリオキサジアゾール等の芳香環を有する高分子で芳香環が面内にある程度配向し、耐熱性が高い限られた高分子材料を熱処理して得られる炭素質材料でのみが黒鉛となる。 However, not all carbonaceous materials obtained by heat-treating polymers become graphite. Carbonaceous materials produced by heat-treating epoxies and phenolic resins can be converted into graphite even when heat-treated at a temperature of 2800 ° C or higher. It is still glassy carbon, and a polymer material with aromatic rings such as polyimide and polyoxadiazole is oriented to some extent in the surface and heat treatment is applied to a limited polymer material with high heat resistance. Only the carbonaceous material obtained in this way becomes graphite.
＜ポリイミドフィルムを含む、高分子フィルムのグラファイト化＞
高分子フィルムのグラファイト化は上述の通り、炭素化と黒鉛化の２段階を経由しておこり、熱処理により炭素化した後、さらに高温で熱処理することでグラファイト構造に転化させられる。この過程では炭素−炭素結合の開裂と再結合が起きなければならない。グラファイト化をできる限り起こしやすくするためには、その開裂と再結合が最小のエネルギーで起こるようにする必要がある。出発高分子フィルム（例えば、上記に列記した高分子フィルム、特にポリイミドフィルム）の分子配向は炭素化フィルム中の炭素原子の配列に影響を与え、その分子配向はグラファイト化の際に結合の開裂と再結合化のエネルギーを少なくする効果を生じ得る。したがって、高度な分子配向が生じやすくなるように分子設計を行うことによって、グラファイト化の促進が可能になる。この分子配向の効果は、フィルム面に平行な二次元的分子配向とすることによって一層顕著になる。但し、出発原料である高分子フィルムに金属を含む物質を接触させると、熱処理中に相互作用を起し、従来の炭素−炭素結合の開裂と再結合や炭素化中の炭素原子の配列に悪影響を与える場合もある。従って、炭化したフィルムを出発原料とすることが好ましい。
<Graphitization of polymer film including polyimide film>
As described above, graphitization of a polymer film occurs through two stages of carbonization and graphitization, and after carbonization by heat treatment, it is converted to a graphite structure by further heat treatment at a high temperature. In this process, carbon-carbon bond cleavage and recombination must occur. In order to make graphitization as easy as possible, its cleavage and recombination must occur with minimal energy. The molecular orientation of the starting polymer film (for example, the polymer films listed above, particularly polyimide films) affects the arrangement of carbon atoms in the carbonized film, and the molecular orientation is determined by bond breakage during graphitization. The effect of reducing the energy of recombination can be produced. Therefore, the graphitization can be promoted by designing the molecules so that a high degree of molecular orientation is likely to occur. The effect of this molecular orientation becomes more prominent by adopting a two-dimensional molecular orientation parallel to the film surface. However, if a metal-containing substance is brought into contact with the polymer film that is the starting material, an interaction occurs during the heat treatment, adversely affecting the conventional carbon-carbon bond cleavage and recombination and the arrangement of carbon atoms during carbonization. May give. Therefore, it is preferable to use a carbonized film as a starting material.
グラファイト化反応における第二の特徴は、高分子フィルムが厚ければグラファイト化が進行しにくいということである。したがって、厚い高分子フィルムをグラファイト化する場合には、表面層ではグラファイト構造が形成されているのに内部ではまだグラファイト構造になっていないという状況が生じ得る。高分子フィルムの分子配向性はフィルム内部でのグラファイト化を促進し、結果的により低温で良質のグラファイトへの転化を可能にする。 The second feature of the graphitization reaction is that graphitization is difficult to proceed if the polymer film is thick. Therefore, when graphitizing a thick polymer film, a situation may occur in which a graphite structure is formed in the surface layer but not yet formed into a graphite structure. The molecular orientation of the polymer film promotes graphitization inside the film and consequently allows conversion to good quality graphite at lower temperatures.
高分子フィルムの面配向性を高めることにより、高分子フィルムの表面層と内部とでほぼ同時にグラファイト化が進行するということは、内部から発生するガスのために表面層に形成されたグラファイト構造が破壊されるという事態を避けることにも役立ち、より厚いフィルムのグラファイト化を可能にする。本発明において使用される高分子フィルム（例えば、上記に列記した高分子フィルム、特にポリイミドフィルム）は、まさにこのような効果を生じるのに最適な分子配向を有していると考えられる。但し、金属と接触させない場合では、面配向を高くすぎると、黒鉛化が進行しすぎ、表面から黒鉛がはがれることがあり、原料フィルムの面配向と均一にきれいなグラファイトを得ることを両立させることは非常に難しいことであった。一方、原料に面配向の高い高分子フィルムを用い、この原料を金属と接触させて熱処理をおこなえば、従来の技術では改善の余地のあった表面からの黒鉛剥がれという問題を改善するだけにとどまらず、熱伝導性にも優れ、表面硬度、密度、表面の密着性に優れたグラファイトを得ることが可能となる。面配向の高い高分子フィルムと、金属と接触させて熱処理することとを組み合わせることで、従来の技術では予見できない効果が得られた。 By increasing the plane orientation of the polymer film, graphitization proceeds almost simultaneously in the surface layer and inside of the polymer film. This means that the graphite structure formed in the surface layer due to the gas generated from the inside It also helps to avoid being destroyed, allowing thicker films to be graphitized. The polymer films used in the present invention (for example, the polymer films listed above, particularly polyimide films) are considered to have an optimal molecular orientation for producing such an effect. However, in the case where it is not in contact with a metal, if the plane orientation is too high, graphitization proceeds too much, and the graphite may peel off from the surface, and it is possible to achieve both the plane orientation of the raw material film and obtaining uniformly clean graphite. It was very difficult. On the other hand, if a polymer film with high surface orientation is used as a raw material and this raw material is brought into contact with a metal and subjected to heat treatment, the conventional technology only improves the problem of graphite peeling from the surface where there is room for improvement. In addition, it is possible to obtain graphite having excellent thermal conductivity and excellent surface hardness, density, and surface adhesion. By combining a polymer film having a high plane orientation with a heat treatment in contact with a metal, an effect that could not be foreseen by conventional techniques was obtained.
＜従来の原料フィルムの熱処理によるグラファイト化＞
従来の原料フィルムの熱処理によるグラファイト化では、熱処理により熱伝導性に優れたグラファイトを得ることは可能であるものの、表面硬度、表面の接着性、外観においてはまだ改善の余地が有る、グラファイトフィルムになる。特に原料フィルムの厚みが厚くなるほど、この傾向は顕著になると考えられる。この理由について説明する。
<Graphitization of conventional raw film by heat treatment>
In conventional graphitization by heat treatment of raw film, it is possible to obtain graphite with excellent thermal conductivity by heat treatment, but there is still room for improvement in surface hardness, surface adhesion, and appearance. Become. In particular, it is considered that this tendency becomes more prominent as the thickness of the raw material film increases. The reason for this will be described.
従来のグラファイト化では、炭素化及び黒鉛化は、原料フィルムの内部よりも表面から優先的に起こると考えられる。その結果、表面の緻密な層が内部に残留した未炭化成分由来の分解ガスを閉じ込め、高温に加熱された時に、内部に残留したガスが表面層を破って抜け出し、表面がはがれ、外観においてまだ改善の余地が有る結果となる場合が有った。さらに、黒鉛化過程のグラフェン層の再配列で、配列しきれない余分なグラフェン層が分解ガスとして発生し、表面層を破って抜け出し、表面がはがれ、外観においてまだ改善の余地が有る結果となる場合が有った。またさらに、表面部分のみ黒鉛化が進行し、内部歪みを受け、表面の黒鉛層が脱落したり、全体に黒鉛化が進行しすぎた結果、面間の剥離を起こしやすくなり、黒鉛層が脱落しやすいという点で、まだ改善の余地が有る結果となる場合が有った。 In conventional graphitization, carbonization and graphitization are considered to occur preferentially from the surface rather than inside the raw film. As a result, a dense layer of the surface traps the cracked gas derived from the uncarbonized component that remains inside, and when heated to a high temperature, the gas remaining inside breaks through the surface layer and peels off, and the surface is peeled off and still remains in appearance. In some cases, there was room for improvement. Furthermore, rearrangement of graphene layers during the graphitization process generates excess graphene layers that cannot be aligned as decomposition gas, breaks through the surface layer, peels off the surface, and there is still room for improvement in appearance. There was a case. In addition, graphitization progresses only on the surface part, receives internal strain, and the graphite layer on the surface falls off. As a result of excessive graphitization on the whole, peeling between the surfaces tends to occur, and the graphite layer falls off. In some cases, there was still room for improvement in terms of ease of work.
その結果、表面の破損や表面の剥がれによって、表面に脆弱層ができ、その結果として、表面硬度、表面の接着性、外観にまだ改善の余地が有る結果となる場合が有った。このことから、表面硬度、表面の接着性、外観を兼ね備えた熱伝導性の高いグラファイトを得ることは依然として非常に困難な課題である。さらに、原料厚みが厚くなると、厚みの薄いものに比べて、熱処理における表面と内部の炭素化と黒鉛化の進行度により大きな差がでる傾向が有るため、各特性はまだ改善の余地が有る結果となる場合が多かった。 As a result, a fragile layer was formed on the surface due to surface breakage or surface peeling, and as a result, there was a case where there was still room for improvement in surface hardness, surface adhesion, and appearance. For this reason, it is still a very difficult task to obtain highly heat conductive graphite having surface hardness, surface adhesion, and appearance. Furthermore, as the thickness of the raw material increases, there is a tendency for large differences in the degree of progress of carbonization and graphitization of the surface and the interior during heat treatment compared to thin materials, so there is still room for improvement in each characteristic. It was often the case.
＜本発明の金属を含む物質と接触させる場合のグラファイト化＞
しかし、本発明では、金属を含む物質と接触させてグラファイト化する場合では、従来困難であった表面硬度、表面の密着性、外観を兼ね備えた熱伝導性の高いグラファイトを得ることができた。次に、金属を含む物質と接触させてグラファイト化させる場合の、金属の影響について説明する。
<Graphitization in the case of contacting with a metal-containing substance of the present invention>
However, in the present invention, graphite having high thermal conductivity having both surface hardness, surface adhesion, and appearance, which has been difficult in the prior art, can be obtained when it is graphitized by contacting with a substance containing a metal. Next, the influence of the metal when it is graphitized by contacting with a substance containing a metal will be described.
従来の金属を含む物質と接触させない場合には、分解ガスや余分なグラフェン成分の気化による表層の破壊や表層の部分的な黒鉛化や黒鉛化の進行しすぎによる黒鉛脱離が生じた。 In the absence of contact with a conventional metal-containing substance, destruction of the surface layer due to vaporization of the decomposition gas and excess graphene components, and partial graphitization of the surface layer and graphite detachment due to excessive progress of graphitization occurred.
一方、金属を含む物質をフィルムに接触させて熱処理する場合には、表面部分のグラファイト化の進行を抑えることなり、黒鉛化が進行しすぎることを防ぎ、フィルム全体が均一に黒鉛化することとなると推定される。 On the other hand, when a metal-containing substance is brought into contact with the film for heat treatment, the progress of graphitization of the surface portion is suppressed, the graphitization is prevented from proceeding excessively, and the entire film is graphitized uniformly. It is estimated that
また、表面の黒鉛化が進行しすぎることにより、表面部分が一部はがれかけたとしても、はがれ端部は反応性が高いため、金属を含む物質が接触することにより、端部と端部が金属を介してゆるい結合状態をもち、剥がれることを抑制するものと推定する。但し、このような金属によって表面の黒鉛層が保持・維持された状態では、金属が不純物となり、熱伝導性を悪化させることも考えられる。しかし、内部のガス発生が終了、表面と内部の黒鉛化の均一化がはかられる後では、熱力学的に安定な、金属を含まない黒鉛の状態となるために、端部と端部をつなぎとめていた金属がはずれ、端部の再結合が起こり、金属は炭素の結合から外れることになると推定する。さらに、２０００℃以上という黒鉛化温度は、金属を含む化合物の沸点を超えるものであり、黒鉛化過程で、金属を含む物質が気化し、最終的には不純物を含まない炭素のみからなる物質となり、熱伝導性の優れたグラファイトとなると考えられる。 In addition, even if the surface portion is partially peeled off due to excessive progress of graphitization of the surface, the peeling edge portion is highly reactive. It is assumed that it has a loose bonding state through the metal and suppresses peeling. However, in the state where the surface graphite layer is held and maintained by such a metal, the metal becomes an impurity, and the thermal conductivity may be deteriorated. However, after the generation of internal gas is completed and the graphitization of the surface and the interior is made uniform, in order to obtain a thermodynamically stable, metal-free graphite state, It is presumed that the metal that was tethered will come off, recombination of the edge will occur, and the metal will decouple from the carbon bond. Furthermore, the graphitization temperature of 2000 ° C. or higher exceeds the boiling point of the compound containing metal, and during the graphitization process, the metal-containing substance is vaporized, and finally becomes a substance consisting of only carbon containing no impurities. It is considered that the graphite has excellent thermal conductivity.
以上のように、金属を含む物質と接触させてグラファイト化させることにより、表面及び内部が均一にグラファイト化が進行し、熱伝導性に優れたグラファイトとなる。また、表面の端部がなくなり、表面の黒鉛が十分結合して形成されているため、表面硬度が高く、接着剤や粘着剤に対する表面の接着性に優れ、表面の緻密な剥がれのない外観に優れたグラファイトを得ることが出来る。 As described above, when graphitized by contacting with a metal-containing substance, the graphitization of the surface and the interior proceeds uniformly, and the graphite is excellent in thermal conductivity. In addition, the end of the surface disappears, and the surface graphite is formed by sufficiently bonding, so the surface hardness is high, the surface has excellent adhesion to adhesives and adhesives, and the surface does not have a fine peeling Excellent graphite can be obtained.
本発明によるグラファイトフィルムの製造方法が従来製造方法よりも優れている理由や機構、本発明によるグラファイトフィルムが従来製造方法によるグラファイトフィルムよりも優れた特性を発現する理由や機構については、学術的詳細研究がさらに必要ではあるが、上記のとおりと、推定できる。 The reason and mechanism why the graphite film production method according to the present invention is superior to the conventional production method, and the reason and mechanism where the graphite film according to the present invention exhibits superior properties than the graphite film according to the conventional production method are described in academic details. Although further research is needed, it can be estimated as described above.
＜原料フィルムの少なくとも片面が、圧縮率５％以上６０％以下の物性を示す炭素質シートと接触していることを特徴とする、グラファイトフィルムの製造方法＞
圧縮率が５％未満であると、原料フィルムと炭素質シートを重ねた場合、原料フィルムと炭素質シートとの密着性・追随性が悪く、熱処理中の原料フィルムの変形で表面に皺が入りやすくなるのに対し、圧縮率が５％以上であると、原料フィルムと炭素質シートとの密着性・追随性がよくなり、平滑性に優れたグラファイトフィルムが得られる。圧縮率が６０％以上であると、原料フィルムと炭素質シートを重ねてセットした場合、熱処理過程で炭素質シートの変形やうねりが大きくなるために、原料フィルムにも悪影響を及ぼし、皺の入った平滑性に劣るグラファイトフィルムが得られる。特に、フィルムを多数枚積層して熱処理する場合、圧縮率が高すぎると、熱処理中に原料フィルムの変形がより大きくなる。一方、圧縮率が６０％以下であると、原料フィルムと炭素質シートを重ねてセットした場合、炭素質シートの変形量が少ないため、炭素質シートの熱処理過程での変形やうねりを抑えることができ、平滑性に優れたグラファイトフィルムが得られる。また、フィルムを多数枚積層して熱処理する場合、その改善効果は顕著である。
<At least one surface of the raw material film is in contact with a carbonaceous sheet having physical properties of a compression rate of 5% to 60%>
When the compression ratio is less than 5%, when the raw material film and the carbonaceous sheet are stacked, the adhesion and followability between the raw material film and the carbonaceous sheet are poor, and the surface is wrinkled by deformation of the raw material film during heat treatment. On the other hand, when the compression ratio is 5% or more, the adhesion and followability between the raw material film and the carbonaceous sheet are improved, and a graphite film excellent in smoothness can be obtained. If the compression ratio is 60% or more, when the raw material film and the carbonaceous sheet are set to overlap, the deformation and undulation of the carbonaceous sheet will increase during the heat treatment process. A graphite film with poor smoothness can be obtained. In particular, when heat treatment is performed by laminating a large number of films, if the compression rate is too high, the deformation of the raw material film becomes larger during the heat treatment. On the other hand, when the compression rate is 60% or less, when the raw material film and the carbonaceous sheet are set in an overlapping manner, the deformation amount of the carbonaceous sheet is suppressed during the heat treatment process because the deformation amount of the carbonaceous sheet is small. And a graphite film excellent in smoothness can be obtained. In addition, when a large number of films are laminated and heat-treated, the improvement effect is remarkable.
＜炭素質シート＞
炭素質シートとは、炭素を主成分とするシートである。例を挙げると、膨張黒鉛シート、グラファイトシートなどの可とう性を有するもの、等方性黒鉛シート、押出成形黒鉛シート、Ｃ／Ｃコンポジットシートなど剛直なものがある。中でも、膨張黒鉛シートは可とう性を有し、シート面に垂直な方向への圧縮率、復元率も大きいため、緩和材として使用されている。緩和材の用途の一例としては、例えば、ガスケット等の用途が、その一態様である。
<Carbonaceous sheet>
The carbonaceous sheet is a sheet mainly composed of carbon. Examples include flexible sheets such as expanded graphite sheets and graphite sheets, and rigid sheets such as isotropic graphite sheets, extruded graphite sheets, and C / C composite sheets. Among them, the expanded graphite sheet has flexibility and is used as a relaxation material because it has a high compression rate and restoration rate in a direction perpendicular to the sheet surface. As an example of the application of the relaxation material, for example, an application such as a gasket is one mode.
＜圧縮率＞
緩和材として使用されることを考慮すると、圧縮率５％以上６０％以下の物性を示す炭素質シートとは、圧縮率５％以上６０％以下の物性を示す炭素質シート、すなわち５％以上６０％以下「圧縮が可能な」炭素質シートのことを意味する。
<Compression rate>
In consideration of being used as a relaxation material, a carbonaceous sheet exhibiting physical properties of a compression ratio of 5% or more and 60% or less is a carbonaceous sheet exhibiting physical properties of a compression ratio of 5% or more and 60% or less, that is, 5% or more and 60%. % Or less means a “compressible” carbonaceous sheet.
＜炭素質シートの圧縮率＞・＜圧縮率５％以上６０％以下の物性を示す炭素質シート＞
圧縮率とは、前記炭素質シートを加圧圧縮してその圧縮率を測定すれば評価できる物性である。圧縮率とは、短時間の圧縮によって生じた変形量のもとの厚さに対する割合である。ここでは、炭素質シートの厚み方向に１７ＭＰａの荷重を加え、変形量のもとの厚さに対する割合で定義した。
<Compression rate of carbonaceous sheet>-<Carbonaceous sheet exhibiting physical properties of 5% to 60% compression rate>
The compression rate is a physical property that can be evaluated by compressing and compressing the carbonaceous sheet and measuring the compression rate. The compression rate is the ratio of the amount of deformation caused by short-time compression to the original thickness. Here, a 17 MPa load was applied in the thickness direction of the carbonaceous sheet, and the deformation amount was defined as a ratio to the original thickness.
圧縮率５％以上６０％以下の物性を示す炭素質シートとは、シート面に垂直な方向への圧縮率が５％以上６０％以下の物性を示す炭素質シートのことである。 The carbonaceous sheet exhibiting physical properties of a compression rate of 5% or more and 60% or less is a carbonaceous sheet exhibiting physical properties of a compression rate in a direction perpendicular to the sheet surface of 5% or more and 60% or less.
その すなわち、本発明の目的に好ましい圧縮率５％以上６０％以下の物性を示す炭素質シートとは、以下のような炭素質シートである。 That is, the carbonaceous sheet exhibiting physical properties of a compression ratio of 5% or more and 60% or less that is preferable for the purpose of the present invention is the following carbonaceous sheet.
加圧圧縮する前の厚さを１とした時、１７ＭＰａの圧力で１分間加圧後の厚さを０．９５であるとすると圧縮率は５％である、と定義する。 When the thickness before pressurizing and compressing is 1, and the thickness after pressurizing for 1 minute at a pressure of 17 MPa is 0.95, the compression rate is defined as 5%.
加圧圧縮する前の厚さを１とした時、１７ＭＰａの圧力で１分間加圧後の厚さを０．４であるとすると圧縮率は６０％である、と定義する。 When the thickness before pressurizing and compressing is 1, and the thickness after pressurizing for 1 minute at a pressure of 17 MPa is 0.4, the compression rate is defined as 60%.
従い、本発明 圧縮率５％以上６０％以下の物性を示す炭素質シートとは、シート面に垂直な方向への圧縮率が５％以上６０％以下の物性を示す炭素質シートのことである。 Therefore, the carbonaceous sheet exhibiting physical properties of the compression ratio of 5% or more and 60% or less of the present invention is a carbonaceous sheet exhibiting physical properties of a compression ratio in the direction perpendicular to the sheet surface of 5% or more and 60% or less. .
本発明では圧縮率が５％以上である事は好ましく、３０％以上である（すなわち厚さが０．７以下）であることはより好ましい。 In the present invention, the compression rate is preferably 5% or more, and more preferably 30% or more (that is, the thickness is 0.7 or less).
一方、復元率とは、短時間の圧縮によって生じた加圧下での厚さの圧力開放時の厚さに対する変形量の割合である。ここでは、例えば上記圧力を加えた状態での厚さを１とした時に、圧力を開放した状態で測定した厚さが１．２であるとすると復元率は２０％となる。 On the other hand, the restoration rate is the ratio of the deformation amount to the thickness at the time of pressure release of the thickness under pressure generated by the compression in a short time. Here, for example, assuming that the thickness when the pressure is applied is 1, and the thickness measured with the pressure released is 1.2, the restoration rate is 20%.
＜膨張黒鉛シート＞
黒鉛の結晶は、炭素原子が共有結合で固く結ばれた六角網平面層が形成され、この平面層が積み重なって比較的弱いファン・デル・ワールス力で結合した構造を有している。そしてその構造上、平面層は非常に安定しているが、平面層間は原子や分子、イオン等の侵入を容易に許して層間化合物が形成される。膨張黒鉛の製造にはこの性質が利用されており、一般的には、黒鉛の層間に硫酸、硝酸等を酸化剤（過酸化水素、過塩素酸等）の存在下或いは電解処理下にて挿入し、形成された層間化合物を９００〜１２００℃程度の高温で急激に加熱することで分解ガス化し、このときのガス圧によって黒鉛の層間を拡げて黒鉛を膨張させるという方法により行われている。以上のようにして得られた膨張黒鉛を圧縮予備成形し、その後ロールで圧延する事によりシート状の成形品が得られる。主な用途として、電極材、耐食材、型材、原子炉用材料などに用いられている。また、圧縮還元性にすぐれているため、シール材などに使用されている。
<Expanded graphite sheet>
The graphite crystal has a structure in which a hexagonal network plane layer in which carbon atoms are firmly bonded by a covalent bond is formed, and the plane layers are stacked and bonded by a relatively weak van der Waals force. Although the planar layer is very stable due to its structure, an intercalation compound is formed between the planar layers by easily allowing intrusion of atoms, molecules, ions and the like. This property is used in the production of expanded graphite. Generally, sulfuric acid, nitric acid, etc. are inserted between graphite layers in the presence of oxidizing agents (hydrogen peroxide, perchloric acid, etc.) or under electrolytic treatment. Then, the formed intercalation compound is decomposed and gasified by rapidly heating at a high temperature of about 900 to 1200 ° C., and the graphite is expanded by expanding the interlayer of the graphite by the gas pressure at this time. The expanded graphite obtained as described above is compression-preformed, and then rolled with a roll to obtain a sheet-like molded product. Main applications include electrode materials, corrosion-resistant materials, mold materials, and reactor materials. Moreover, since it is excellent in compression reduction property, it is used for sealing materials.
＜ＪＩＳ Ｂ０６５２に記載の光波干渉式表面粗さ測定法で得られる表面粗さＲａ０．８μｍ以下の炭素質シート＞
本発明で用いられる炭素質シートの表面の平滑性は、ＪＩＳ Ｂ０６５２に記載の光波干渉式表面粗さ測定法で得られる表面粗さＲａが０．８以下、好ましくは０．７以下、さらに好ましくは０．６以下である。炭素質シートの表面粗さＲａ０．８μｍ以下であると、該熱処理中において、原料フィルムと炭素質シートとの密着性が優れ、表面平滑性に優れるグラファイトフィルムが得られる。
<Carbonaceous sheet having a surface roughness Ra of 0.8 μm or less obtained by the light wave interference type surface roughness measuring method described in JIS B0652>
The smoothness of the surface of the carbonaceous sheet used in the present invention is such that the surface roughness Ra obtained by the light wave interference type surface roughness measuring method described in JIS B0652 is 0.8 or less, preferably 0.7 or less, more preferably. Is 0.6 or less. When the surface roughness Ra of the carbonaceous sheet is 0.8 μm or less, a graphite film having excellent adhesion between the raw material film and the carbonaceous sheet and excellent surface smoothness can be obtained during the heat treatment.
ＪＩＳ Ｂ０６５２に記載の光波干渉式表面粗さ測定法を行う場合、ザイゴ株式会社製の型番（ＺＹＧＯ ＮＥＷ ＶＩＥＷ ５０３０ システム）で測定可能である。 When performing the light wave interference type surface roughness measuring method described in JIS B0652, measurement is possible with a model number (ZYGO NEW VIEW 5030 system) manufactured by Zygo Corporation.
＜炭素質シートの厚み＞
炭素質シートの厚みが厚いと、黒鉛化処理中に、炭素質シートの変形が大きく、グラファイトフィルムにシワが転写され易いため、３００μｍ以下の炭素質シートの使用が望まれる。また、炭素質シートの厚みが３００μｍ以下であると、高分子フィルムおよび／または炭化フィルムの容器に対する充填率を増加することが出来る（多数枚同時の熱処理が可能となり、大量のグラファイトフィルムが得られる）。２４０μｍ以下であると、さらに多数枚同時の熱処理が可能となる。
<Thickness of carbonaceous sheet>
If the carbonaceous sheet is thick, deformation of the carbonaceous sheet is large during the graphitization treatment, and wrinkles are easily transferred to the graphite film. Therefore, it is desired to use a carbonaceous sheet having a thickness of 300 μm or less. Further, when the thickness of the carbonaceous sheet is 300 μm or less, the filling rate of the polymer film and / or the carbonized film into the container can be increased (multiple sheets can be heat-treated simultaneously, and a large amount of graphite film can be obtained. ). When the thickness is 240 μm or less, it is possible to perform heat treatment on a larger number of sheets simultaneously.
＜引張強度５ＭＰａ以上の炭素質シート＞
炭素質シートの引張強度が５ＭＰａ以上であると、熱処理中の原料フィルムの変形を抑えることが出来、平滑性に優れるグラファイトフィルムが得られる。特に、炭素質シートの厚みが薄い場合には、炭素質シートのコシが弱くなり、熱処理中の原料フィルムの変形を抑えることが難しくなるため、引張強度が高いことが好ましい。
<Carbon sheet with a tensile strength of 5 MPa or more>
When the tensile strength of the carbonaceous sheet is 5 MPa or more, deformation of the raw material film during heat treatment can be suppressed, and a graphite film excellent in smoothness can be obtained. In particular, when the thickness of the carbonaceous sheet is thin, the stiffness of the carbonaceous sheet becomes weak and it becomes difficult to suppress the deformation of the raw material film during the heat treatment.
＜灰分０．５％以下の炭素質シート＞
炭素質シートの灰分が０．５％以下であると、炭素質分が多く、熱処理中に不純な分解ガスが発生せず、熱処理中の原料フィルムの変形を抑えることが出来、平滑性に優れたグラファイトフィルムを得ることができる。また不純物が少なく、純度に優れるため、熱伝導性にも優れ、熱処理中の温度が均一に原料フィルムに伝わり、熱伝導性に優れたグラファイトフィルムが得られるために好ましい。特に、炭素質シートの厚みが薄い場合には、炭素質シートのコシが弱くなり、熱処理中の原料フィルム、炭素質シートの変形を抑えることが難しくなるため、灰分が少ないことが好ましい。また灰分の少ない炭素質シートは熱伝導性に優れている。そのため、熱処理中、熱が均一に原料フィルムに伝わり、熱伝導性に優れたグラファイトフィルムが得られやすい。
<Carbonaceous sheet with an ash content of 0.5% or less>
When the ash content of the carbonaceous sheet is 0.5% or less, the carbonaceous content is high, no impure decomposition gas is generated during the heat treatment, deformation of the raw material film during the heat treatment can be suppressed, and excellent smoothness is achieved. Graphite film can be obtained. Moreover, since there are few impurities and it is excellent in purity, it is excellent also in heat conductivity, the temperature during heat processing is uniformly transmitted to a raw material film, and a graphite film excellent in heat conductivity is obtained. In particular, when the thickness of the carbonaceous sheet is thin, the stiffness of the carbonaceous sheet is weakened, and it is difficult to suppress deformation of the raw material film and the carbonaceous sheet during the heat treatment, so it is preferable that the ash content is small. In addition, a carbonaceous sheet having a low ash content is excellent in thermal conductivity. Therefore, during the heat treatment, heat is uniformly transmitted to the raw material film, and a graphite film excellent in thermal conductivity is easily obtained.
＜１０００℃以上で熱処理された炭素質シートの使用＞
１０００℃以上で熱処理された炭素質シートは、炭素質シートの強度が高く、灰分も小さく、熱伝導性にも優れている。熱処理工程において、前記熱処理炭素質シートを使用することで、各特性に優れたグラファイトフィルムが得られやすくなる。特に、炭素質シートの厚みが薄い場合には、効果が顕著である。
<Use of carbonaceous sheet heat-treated at 1000 ° C. or higher>
The carbonaceous sheet heat-treated at 1000 ° C. or higher has high carbonaceous sheet strength, small ash content, and excellent thermal conductivity. By using the heat-treated carbonaceous sheet in the heat treatment step, a graphite film having excellent characteristics can be easily obtained. In particular, when the thickness of the carbonaceous sheet is thin, the effect is remarkable.
＜その他の膨張黒鉛シートの熱的性質、機械的性質、物理的性質、化学的性質＞
シール性に優れており、気体、液体ともに優れたシール性を示めす。 耐薬品性に優れており、ほとんどの酸、アルカリ、有機溶剤に対して安定である。 また、耐熱性に優れており、空気中では３００℃、非酸化雰囲気では３０００℃まで安定しているため、黒鉛化処理温度に対しても耐えうる。また、熱伝導性に優れており、熱を素早く拡散するため、均一な温度上昇が可能となる。さらに、層面間が滑り自己潤滑性が高いため、グラファイト化に伴う、高分子フィルムおよび／または炭化フィルムの膨張を阻害し、シワを発生させる要因となる摩擦力を低減できる。
<Thermal properties, mechanical properties, physical properties, and chemical properties of other expanded graphite sheets>
Excellent sealing performance and excellent sealing performance for both gas and liquid. It has excellent chemical resistance and is stable to most acids, alkalis and organic solvents. Moreover, since it is excellent in heat resistance and is stable up to 300 ° C. in air and 3000 ° C. in a non-oxidizing atmosphere, it can withstand the graphitization temperature. Moreover, since it is excellent in thermal conductivity and diffuses heat quickly, a uniform temperature rise is possible. Further, since the slippage between the layers is high and the self-lubricating property is high, the expansion of the polymer film and / or the carbonized film accompanying the graphitization is inhibited, and the frictional force that causes wrinkles can be reduced.
＜引張強度７ＭＰａ以上、厚み３ｍｍ以下の２枚以上の黒鉛板で、少なくとも片面が炭素質シートと接触している原料フィルムを複数枚挟んでいる状態を特徴とする、グラファイトフィルムの製造＞
原料フィルムと炭素質シートを各２０枚以上用いて、熱処理する場合においては、引張強度７ＭＰａ以上・厚み３ｍｍ以下の黒鉛板２枚で、原料フィルム５枚以上をはさむ事により、炭素質シートの熱処理過程での変形やうねりを抑えることができ、平滑性に優れたグラファイトフィルムが得られる。
<Manufacturing a graphite film characterized by a state in which a plurality of raw material films having at least one surface in contact with a carbonaceous sheet are sandwiched between two or more graphite plates having a tensile strength of 7 MPa or more and a thickness of 3 mm or less>
When heat treatment is performed using 20 or more raw material films and carbonaceous sheets, heat treatment of the carbonaceous sheet is performed by sandwiching 5 or more raw material films with 2 graphite plates having a tensile strength of 7 MPa or more and a thickness of 3 mm or less. In the process, deformation and undulation can be suppressed, and a graphite film excellent in smoothness can be obtained.
＜グラファイトフィルムの特性＞
本発明の一態様であるグラファイトフィルムの光交流法による熱拡散率あるいは、
本発明の方法で製造されうるグラファイトフィルムの光交流法による熱拡散率は、
７．０×１０-4ｍ2／ｓ以上、好ましくは８．０×１０-4ｍ2／ｓ以上、さらに好ましくは８．５×１０-4ｍ2／ｓ以上であると良い。７．０×１０-4ｍ2／ｓ以上になると、熱伝導性が高いために、発熱機器から熱を逃がしやすくなり、発熱機器の温度上昇を抑えることが可能となる。一方、７．０×１０-4ｍ2／ｓ未満になると、熱伝導性が悪いために、発熱機器から熱を逃がすことができなくなり、発熱機器の温度上昇を抑えることができなくなる。
<Characteristics of graphite film>
The thermal diffusivity of the graphite film which is one embodiment of the present invention by the optical alternating current method, or
The thermal diffusivity of the graphite film that can be produced by the method of the present invention by the optical alternating current method is
It is 7.0 × 10 −4 m 2 / s or more, preferably 8.0 × 10 −4 m 2 / s or more, and more preferably 8.5 × 10 −4 m 2 / s or more. If it is 7.0 × 10 −4 m 2 / s or more, the heat conductivity is high, so that heat is easily released from the heat generating device, and the temperature rise of the heat generating device can be suppressed. On the other hand, if it is less than 7.0 × 10 −4 m 2 / s, the heat conductivity is poor, so heat cannot be released from the heat generating device, and the temperature rise of the heat generating device cannot be suppressed.
本発明の一態様であるグラファイトフィルムの表面硬度の指標として、ＪＩＳ Ｋ５４００に基づいて測定される鉛筆硬度あるいは、
本発明の製造方法で作製されうるグラファイトフィルムの表面硬度の指標として、ＪＩＳ Ｋ５４００に基づいて測定される鉛筆硬度の値で２Ｂ以上、好ましくはＢ以上、さらに好ましくはＨＢ以上である。鉛筆硬度が２Ｂ以上では、グラファイトの取り付け時や取り扱い時に傷が入らない程度に十分な表面硬度となる。
As an index of the surface hardness of the graphite film which is one embodiment of the present invention, pencil hardness measured based on JIS K5400, or
As an index of the surface hardness of the graphite film that can be produced by the production method of the present invention, the pencil hardness value measured based on JIS K5400 is 2B or more, preferably B or more, more preferably HB or more. When the pencil hardness is 2B or more, the surface hardness is sufficient to prevent scratches when attaching or handling graphite.
本発明の一態様であるグラファイトフィルムの、表面の外観の具体的レベル、
あるいは、
本発明の製造方法で作製されるグラファイトフィルムの、表面の外観の具体的レベル
は、ＪＩＳ Ｋ５４００に基づいて測定されるＸカットテープ法に基づいて測定される評価が６以上、好ましくは８以上である。外観が６以上では、グラファイトと発熱部品を接着剤や粘着剤を用いて取り付けた場合に、剥がれることなく、また、取り付け時の接触や装置に組み込んだ後にファンの風によって表面から黒鉛が剥がれ落ちることがなくなり、電子機器内を汚染しなくなる。
The specific level of the appearance of the surface of the graphite film which is one embodiment of the present invention,
Or
As for the specific level of the appearance of the surface of the graphite film produced by the production method of the present invention, the evaluation measured based on the X-cut tape method measured based on JIS K5400 is 6 or more, preferably 8 or more. is there. When the appearance is 6 or more, graphite and exothermic parts will not peel off when attached using adhesive or adhesive, and the graphite will peel off from the surface due to the wind of the fan after contact with the equipment or after being installed in the device Will not contaminate the electronic equipment.
本発明の一態様であるグラファイトフィルムの厚みの具体的レベル、
あるいは、
本発明の製造方法で作製されるグラファイトフィルムの厚みの具体的レベル
は、５０μｍ以上、好ましくは７０μｍ以上、さらに好ましくは９０μｍ以上である。また用いる原料高分子フィルムの厚みは、７０μｍ以上、好ましくは１２０μｍ以上、さらに好ましくは１５０μｍ以上である。グラファイトフィルムの厚みが５０μｍ以上、原料フィルムの厚みが７０μｍ以上であれば、熱輸送量が向上し、従来よりも優れた放熱性を発現することが可能となる。
A specific level of the thickness of the graphite film which is an aspect of the present invention;
Or
The specific level of the thickness of the graphite film produced by the production method of the present invention is 50 μm or more, preferably 70 μm or more, more preferably 90 μm or more. The thickness of the raw material polymer film to be used is 70 μm or more, preferably 120 μm or more, and more preferably 150 μm or more. When the thickness of the graphite film is 50 μm or more and the thickness of the raw material film is 70 μm or more, the heat transport amount is improved, and it is possible to express heat dissipation superior to the conventional one.
本発明の一態様であるグラファイトフィルムの表面平滑性の具体的レベル、
あるいは、
本発明の製造方法で作製されうるグラファイトフィルムの表面平滑性の具体的レベル
は、ＪＩＳ Ｂ０６５２に基づいて測定される光波干渉式表面粗さ測定法に基づいて測定される表面粗さＲａが０．８以下、好ましくは０．７以下、さらに好ましくは０．６以下である。表面粗さＲａが０．８以下では、グラファイトと発熱部品を接着剤や粘着剤を用いて取り付けた場合に、グラファイト、発熱部品、接着剤または粘着剤との密着性がよく、グラファイトが本来有する放熱特性を発揮することが出来る。
A specific level of surface smoothness of the graphite film which is one embodiment of the present invention;
Or
The specific level of the surface smoothness of the graphite film that can be produced by the production method of the present invention is such that the surface roughness Ra measured based on the light wave interference type surface roughness measurement method measured based on JIS B0652 is 0. It is 8 or less, preferably 0.7 or less, more preferably 0.6 or less. When the surface roughness Ra is 0.8 or less, when the graphite and the heat generating component are attached using an adhesive or a pressure sensitive adhesive, the adhesion with the graphite, the heat generating component, the adhesive or the pressure sensitive adhesive is good. Heat dissipation characteristics can be demonstrated.
以上のように、本発明において高分子フィルムおよび／または炭化フィルムからなる原料フィルムを２０００℃以上の温度で熱処理し、該熱処理中に金属を含む物質と接触させる工程を含むグラファイトフィルムの製造方法であって、前記工程中において原料フィルムの少なくとも片面が、圧縮率５％以上６０％以下の物性を示す炭素質シートと接触していることを特徴とする、グラファイトフィルムの製造方法とすることで、従来よりも熱伝導性、表面硬度、外観、表面の平滑性に優れたグラファイトフィルムを多数枚、製造することが可能となる。さらに、各特性に優れた厚みの厚いグラファイトフィルムを製造することが可能となる。 As described above, in the present invention, a raw material film made of a polymer film and / or a carbonized film is heat-treated at a temperature of 2000 ° C. or higher, and the method for producing a graphite film includes a step of contacting with a metal-containing substance during the heat treatment. In the process, at least one side of the raw material film is in contact with a carbonaceous sheet exhibiting physical properties of a compression rate of 5% or more and 60% or less. A large number of graphite films having superior thermal conductivity, surface hardness, appearance, and surface smoothness than before can be produced. Furthermore, it becomes possible to produce a thick graphite film excellent in each characteristic.
また、本発明の一態様であるグラファイトフィルムは、従来よりも熱伝導性、表面硬度、外観、表面の平滑性に優れたグラファイトフィルムである。さらに、前記グラファイトフィルムは、各特性に優れた厚みの厚いグラファイトフィルムの提供を可能とする。 In addition, the graphite film which is one embodiment of the present invention is a graphite film that is more excellent in thermal conductivity, surface hardness, appearance, and surface smoothness than before. Furthermore, the graphite film can provide a thick graphite film having excellent properties.
＜ＪＩＳ Ｂ０６５２に記載の光波干渉式表面粗さ測定法で得られる表面粗さＲａ０．８μｍ以下のグラファイトフィルム＞
本発明の一態様であるグラファイトフィルムの、表面の平滑性は、ＪＩＳ Ｂ０６５２に記載の光波干渉式表面粗さ測定法で得られる表面粗さＲａが０．８以下、好ましくは０．７以下、さらに好ましくは０．６以下である。表面粗さが０．８以下では、グラファイトと発熱部品を接着剤や粘着剤を用いて取り付けた場合に、グラファイト、発熱部品、接着剤または粘着剤との密着性がよく、グラファイトが本来有する放熱特性を発揮することが出来る。
<Graphite film with a surface roughness Ra of 0.8 μm or less obtained by the light wave interference type surface roughness measurement method described in JIS B0652>
As for the smoothness of the surface of the graphite film which is one embodiment of the present invention, the surface roughness Ra obtained by the light wave interference type surface roughness measuring method described in JIS B0652 is 0.8 or less, preferably 0.7 or less. More preferably, it is 0.6 or less. When the surface roughness is 0.8 or less, when graphite and heat-generating parts are attached using an adhesive or pressure-sensitive adhesive, the adhesion with graphite, heat-generating parts, adhesive or pressure-sensitive adhesive is good, and the heat dissipation inherent in graphite The characteristics can be demonstrated.
＜ＪＩＳ Ｚ８７４１に記載の光沢測定法で得られる光沢度Ｇｓ（６０°）＞
本発明のグラファイトフィルムの光沢度は、ＪＩＳ Ｚ８７４１に記載の光沢測定法で得られる光沢度Ｇｓ（６０°）で表される。
<Glossiness Gs (60 °) obtained by the gloss measurement method described in JIS Z8741>
The glossiness of the graphite film of the present invention is represented by the glossiness Gs (60 °) obtained by the gloss measurement method described in JIS Z8741.
このＪＩＳ Ｚ８７４１に記載の光沢測定法による光沢度Ｇｓ（６０°）とは、
Ａｓ／Ａｏｓ×Ｇｏｓ（６０°）で表される指標である。
Ｇｏｓ（６０°）：使用した標準面の光沢度
Ａｓ：規定された入射角θに対する試料面からの鏡面反射光束
Ａｏｓ：規定された入射角θに対する標準面からの鏡面反射光束
屈折率が可視波長範囲全域にわたって、一定値１．５６７であるガラス表面において規定された入射角θでの鏡面光沢度を基準とし、この値を１００％として表す。
The glossiness Gs (60 °) by the gloss measurement method described in JIS Z8741 is
It is an index represented by As / Aos × Gos (60 °).
Gos (60 °): Glossiness of standard surface used As: Specular reflection light beam from sample surface with respect to specified incident angle θ Aos: Specular reflection light beam refractive index from standard surface with respect to specified incident angle θ is visible wavelength The specular gloss at the incident angle θ defined on the glass surface having a constant value of 1.567 over the entire range is used as a reference, and this value is expressed as 100%.
従来技術で問題となっていた、課題を下記に列記する。
従来技術では、
＜１＞発熱部品からの熱を速やかに移動させることができる十分な熱伝導性と、
＜２＞グラファイトの取り付け時や取り扱い時に表面に傷が入らない程度に十分な表面硬度と、
＜３＞表面からの黒鉛はがれにより電子機器内を汚染しないほどに十分な外観と、
＜４＞全体の熱輸送量が増加し、放熱特性を改善できる十分な厚さと、
＜５＞グラファイトと発熱部材の密着性を高めるために十分の表面の平滑性と、
を有するグラファイトフィルムを
＜６＞多数枚
提供することに関する課題が有った。
その内、光沢度Ｇｓ（６０°）の違いによって、解決できる課題が異なっているようである。
The problems that have been problems in the prior art are listed below.
In the prior art,
<1> Sufficient thermal conductivity capable of quickly moving the heat from the heat generating component;
<2> Sufficient surface hardness to prevent scratches on the surface when attaching or handling graphite,
<3> Appearance sufficient to prevent contamination of the electronic equipment due to graphite peeling from the surface;
<4> With sufficient thickness to increase the overall heat transport amount and improve heat dissipation characteristics,
<5> sufficient surface smoothness to increase the adhesion between the graphite and the heating member;
There was a problem related to providing a large number of <6> graphite films having the above.
Among them, the problem that can be solved seems to be different depending on the difference in glossiness Gs (60 °).
本発明の一態様は、前記の測定方法で得られる光沢度Ｇｓ（６０°）が３２％以上であることが好ましい。この範囲であると、従来技術（松下電器産業（株）社製）のグラファイトフィルムの範囲外である。光沢度が３２％以上であると、上記課題＜５＞が解決されるため、好ましい。 In one embodiment of the present invention, the glossiness Gs (60 °) obtained by the measurement method is preferably 32% or more. Within this range, it is out of the range of the graphite film of the prior art (manufactured by Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.). A glossiness of 32% or more is preferable because the above problem <5> is solved.
本発明の一態様は、前記の測定方法で得られる光沢度Ｇｓ（６０°）が４５％以上あることが好ましい。さらに好ましくは、前記の測定方法で得られる光沢度Ｇｓ（６０°）が５０％以上であることが好ましい。
この範囲であると、従来技術の課題＜５＞が解決されるだけでなく、本発明のグラファイトフィルムは、また、表１に記載のとおり、従来の技術＜１＞、＜２＞、＜３＞、＜４＞、＜６＞をも解決されるため、好ましい。
In one embodiment of the present invention, the gloss Gs (60 °) obtained by the measurement method is preferably 45% or more. More preferably, the glossiness Gs (60 °) obtained by the measurement method is preferably 50% or more.
Within this range, not only the problem <5> of the prior art is solved, but also the graphite film of the present invention is a conventional technique <1>, <2>, <3 as shown in Table 1. >, <4>, and <6> are also solved, which is preferable.
以下において、本発明の種々の実施例がいくつかの比較例と共に説明される。 In the following, various embodiments of the present invention will be described along with some comparative examples.
＜用途など＞
本発明の製造方法で作製されるグラファイトフィルムは、熱伝導性、電気伝導性が高いために、例えば、サーバー、サーバー用パソコン、デスクトップパソコン等の電子機器、ノートパソコン、電子辞書、ＰＤＡ、携帯電話、ポータブル音楽プレイヤー等の携帯電子機器、液晶ディスプレイ（特にバックライト付近）、プラズマディスプレイ、ＬＥＤ、有機ＥＬ、無機ＥＬ、液晶プロジェクタ、時計等の表示機器、インクジェットプリンタ（インクヘッド）、電子写真装置（現像装置、定着装置、ヒートローラ、ヒートベルト）等の画像形成装置、半導体素子、半導体パッケージ、半導体封止ケース、半導体ダイボンディング、ＣＰＵ、メモリ、パワートランジスタ、パワートランジスタケース等の半導体関連部品、リジッド配線板、フレキシブル配線板、セラミック配線板、ビルドアップ配線板、多層基板等の配線基板（以上左記の配線板とは、プリント配線板なども含む）、真空処理装置、半導体製造装置、表示機器製造装置等の製造装置、断熱材、真空断熱材、輻射断熱材等の断熱装置、ＤＶＤ（光ピックアップ、レーザー発生装置、レーザー受光装置）、ハードディスクドライブ等のデータ記録機器、カメラ、ビデオカメラ、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、顕微鏡、ＣＣＤ等の画像記録装置、充電装置、リチウムイオン電池、燃料電池等のバッテリー機器等の放熱材料、放熱部品、冷却部品、温度調節部品、電磁シールド部品として好適である。
<Applications>
Since the graphite film produced by the production method of the present invention has high thermal conductivity and electrical conductivity, for example, electronic devices such as servers, server personal computers, desktop personal computers, notebook personal computers, electronic dictionaries, PDAs, mobile phones , Portable electronic devices such as portable music players, liquid crystal displays (especially in the vicinity of the backlight), plasma displays, LEDs, organic EL, inorganic EL, liquid crystal projectors, clocks and other display devices, ink jet printers (ink heads), electrophotographic devices ( Image forming apparatus such as developing device, fixing device, heat roller, heat belt), semiconductor element, semiconductor package, semiconductor sealing case, semiconductor die bonding, CPU, memory, power transistor, power transistor case and other semiconductor related parts, rigid Wiring board, flexible Circuit boards such as bull wiring boards, ceramic wiring boards, build-up wiring boards, and multilayer boards (the above-mentioned wiring boards include printed wiring boards), vacuum processing equipment, semiconductor manufacturing equipment, display equipment manufacturing equipment, etc. Manufacturing equipment, heat insulation materials such as heat insulation materials, vacuum heat insulation materials, radiation heat insulation materials, data recording equipment such as DVDs (optical pickups, laser generators, laser receivers), hard disk drives, cameras, video cameras, digital cameras, digital videos It is suitable as a heat radiating material, a heat radiating component, a cooling component, a temperature adjusting component, and an electromagnetic shielding component for an image recording device such as a camera, a microscope and a CCD, a charging device, a battery device such as a lithium ion battery and a fuel cell.
＜使用形態など＞
また、使用において、発熱体、ヒートシンク、ヒートパイプ、水冷冷却装置、ペルチェ素子、筐体、ヒンジとの固定、熱拡散性、放熱性、取り扱い性を改善するために、片面および／または両面に樹脂層、セラミック層、金属層、絶縁層、導電層を形成しても良い。
<Usage etc.>
Also, in use, resin on one side and / or both sides to improve heating element, heat sink, heat pipe, water cooling system, Peltier element, housing, hinge fixing, thermal diffusibility, heat dissipation, and handling A layer, a ceramic layer, a metal layer, an insulating layer, or a conductive layer may be formed.
（炭素化フィルムＡの作製）
４，４’−オキシジアニリンの１当量を溶解したＤＭＦ（ジメチルフォルムアミド）溶液に、ビロメリット酸二無水物の１当量を溶解してポリアミド酸溶液（１８．５ｗｔ％）を得た。
(Production of carbonized film A)
In a DMF (dimethylformamide) solution in which 1 equivalent of 4,4′-oxydianiline was dissolved, 1 equivalent of pyromellitic dianhydride was dissolved to obtain a polyamic acid solution (18.5 wt%).
この溶液を冷却しながら、ポリアミド酸に含まれるカルボン酸基に対して、１当量の無水酢酸、１当量のイソキノリン、およびＤＭＦを含むイミド化触媒を添加し脱泡した。次にこの混合溶液が、乾燥後に所定の厚さになるようにアルミ箔上に塗布された。アルミ箔上の混合溶液層は、熱風オーブン、遠赤外線ヒーターを用いて乾燥された。 While this solution was cooled, an imidation catalyst containing 1 equivalent of acetic anhydride, 1 equivalent of isoquinoline, and DMF was added to the carboxylic acid group contained in the polyamic acid to degas. Next, this mixed solution was applied onto an aluminum foil so as to have a predetermined thickness after drying. The mixed solution layer on the aluminum foil was dried using a hot air oven and a far infrared heater.
出来上がり厚みが７５μｍの場合におけるフィルム作製用の乾燥条件を示す。アルミ箔上の混合溶液層は、熱風オーブンで１２０℃において２４０秒乾燥されて、自己支持性を有するゲルフィルムにされた。そのゲルフィルムはアルミ箔から引き剥がされ、フレームに接触させられ、固定・保持された。さらに、ゲルフィルムは、熱風オーブンにて１２０℃で３０秒、２７５℃で４０秒、４００℃で４３秒、４５０℃で５０秒、および遠赤外線ヒーターにて４６０℃で２３秒段階的に加熱されて乾燥された。 The drying conditions for film production when the finished thickness is 75 μm are shown. The mixed solution layer on the aluminum foil was dried in a hot air oven at 120 ° C. for 240 seconds to form a self-supporting gel film. The gel film was peeled off from the aluminum foil, brought into contact with the frame, and fixed and held. Furthermore, the gel film is heated stepwise in a hot air oven at 120 ° C. for 30 seconds, 275 ° C. for 40 seconds, 400 ° C. for 43 seconds, 450 ° C. for 50 seconds, and a far infrared heater at 460 ° C. for 23 seconds. And dried.
以上のようにして、厚さ７５μｍのポリイミドフィルム（ポリイミドフィルムＡ：弾性率３．１ＧＰａ、吸水率２．５％、複屈折０．１０、線膨張係数３．０×１０-5／℃）が製造された。なお、その他厚みのフィルムを作製する場合には、厚みに比例して焼成時間が調整された。例えば厚さ１２５μｍ、２２５μｍのフィルムの場合には、７５μｍの場合よりも焼成時間を５／３倍、３倍に設定した。また、厚みか厚い場合には、ポリイミドフィルムの溶媒やイミド化触媒蒸発による発泡を防ぐために低温での焼成時間を十分とる必要がある。 As described above, a polyimide film having a thickness of 75 μm (polyimide film A: elastic modulus 3.1 GPa, water absorption 2.5%, birefringence 0.10, linear expansion coefficient 3.0 × 10 −5 / ° C.) manufactured. In addition, when producing films with other thicknesses, the firing time was adjusted in proportion to the thickness. For example, in the case of a film having a thickness of 125 μm and 225 μm, the baking time was set to 5/3 times and 3 times that in the case of 75 μm. Further, when the thickness is thick, it is necessary to take a sufficient baking time at a low temperature in order to prevent foaming due to evaporation of the solvent or imidization catalyst of the polyimide film.
上記方法と同様にして作製された（株）カネカ製・アピカルＡＨの厚さ７５、１２５、１７５、２２５μｍのポリイミドフィルムＡを、図３に示す直接通電可能な角型黒鉛容器（容器（Ａ））内に、黒鉛板と交互に積層させ、１０００℃で熱処理することで炭素化フィルムＡを得た（昇温速度２．５℃／ｍｉｎ）。 A rectangular graphite container (container (A)) that can be directly energized as shown in FIG. 3 with polyimide film A having a thickness of 75, 125, 175, and 225 μm manufactured by Kaneka Corporation and manufactured by Apical AH manufactured in the same manner as described above. The carbonized film A was obtained by alternately laminating with graphite plates and heat treating at 1000 ° C. (heating rate 2.5 ° C./min).
（炭素化フィルムＢの作製方法）
ポリアミド酸に４，４’−オキシジアニリンの３当量を溶解したＤＭＦ溶液にピロメリット酸二無水物の４当量を溶解して、両末端に酸無水物を有するプレポリマが合成された後、そのプレポリマを含む溶液にｐ−フェニレンジアミンの１当量を溶解することによって得られたポリアミド酸を用いた以外は実施例１と同様にして厚さ７５μｍ、１２５μｍ、１７５μｍ、２２５μｍのポリイミドフィルム（ポリイミドフィルムＢ：弾性率４．１ＧＰａ、吸水率２．１％、複屈折０．１４、線膨張係数１．６×１０-5／℃）が製造された。
(Method for producing carbonized film B)
After 4 equivalents of pyromellitic dianhydride was dissolved in a DMF solution in which 3 equivalents of 4,4′-oxydianiline was dissolved in polyamic acid, a prepolymer having acid anhydrides at both ends was synthesized. A polyimide film having a thickness of 75 μm, 125 μm, 175 μm, and 225 μm (polyimide film B) in the same manner as in Example 1 except that polyamic acid obtained by dissolving 1 equivalent of p-phenylenediamine in a solution containing a prepolymer was used. : Elastic modulus 4.1 GPa, water absorption 2.1%, birefringence 0.14, linear expansion coefficient 1.6 × 10 −5 / ° C.).
上記方法と同様にして作製された（株）カネカ製・アピカルＮＰＩの厚さ７５、１２５、１７５、２２５μｍのポリイミドフィルムＢを、容器（Ａ）に黒鉛板と交互に積層させ、１０００℃で熱処理することで炭素化フィルムＢを得た（昇温速度２．５℃／ｍｉｎ）。 The polyimide films B of Apical NPI manufactured by Kaneka Co., Ltd. and having a thickness of 75, 125, 175, and 225 μm, prepared in the same manner as described above, are alternately laminated with a graphite plate on the container (A), and heat-treated at 1000 ° C. Thus, a carbonized film B was obtained (temperature increase rate 2.5 ° C./min).
（炭素質シートＡの作製方法）
酸化剤（過酸化水素、過塩素酸等）の存在下、天然鱗状黒鉛の層間に硫酸、硝酸等を挿入し、形成された層間化合物を９００〜１２００℃程度の高温で急激に加熱することで分解ガス化し、このときのガス圧によって黒鉛の層間を拡げて黒鉛を膨張させた。以上のようにして得られた膨張黒鉛を圧縮予備成形し、その後ロールで圧延する事により、厚み２４０μｍ、４０％の圧縮率（緩和材として使用可能な、４０％の圧縮可能率）を示す炭素質シートを得た。
(Production method of carbonaceous sheet A)
In the presence of an oxidizing agent (hydrogen peroxide, perchloric acid, etc.), sulfuric acid, nitric acid, etc. are inserted between natural scaly graphite layers, and the formed intercalation compound is rapidly heated at a high temperature of about 900 to 1200 ° C. It was decomposed and gasified, and the graphite was expanded by expanding the graphite layer by the gas pressure at this time. The expanded graphite obtained as described above is subjected to compression pre-molding, and then rolled with a roll, whereby carbon having a thickness of 240 μm and a compression rate of 40% (40% compressible rate usable as a relaxation material) is shown. A quality sheet was obtained.
（炭素質シートＢの作製方法）
上記炭素質シートＡと同様にして、厚み２２０μｍ、４０％の圧縮率（緩和材として使用可能な、４０％の圧縮可能率）を示す炭素質シートＢを得た。
(Production method of carbonaceous sheet B)
In the same manner as the carbonaceous sheet A, a carbonaceous sheet B having a thickness of 220 μm and a compressibility of 40% (40% compressible ratio that can be used as a relaxation material) was obtained.
（炭素質シートＣの作製方法）
上記炭素質シートＢを、容器（Ａ）に積層させ、１０００℃まで熱処理（昇温速度：２．５℃／ｍｉｎ）することにより、１０％の圧縮率（緩和材として使用可能な、１０％の圧縮可能率）を示す炭素質シートＣを得た。
(Production method of carbonaceous sheet C)
By laminating the carbonaceous sheet B on the container (A) and heat-treating up to 1000 ° C. (temperature increase rate: 2.5 ° C./min), 10% compression ratio (10% usable as a relaxation material) The carbonaceous sheet C which shows a compressibility ratio of No. 1 was obtained.
（実施例１）
原料フィルムに厚み７５、１２５、１７５、２２５μｍのポリイミドフィルムＡから得られた炭素化フィルムＡに硝酸鉄の１０ｗｔ％メタノール溶液を塗布した後、図４に示すように、炭素質シートＡで１枚ずつ交互に挟み、炭素質シートＡと接触している炭素化フィルム３枚を引張強度７ＭＰａ以上厚み３ｍｍの黒鉛押出板２枚で挟み、容器（Ａ）内に、接触して保持した。該容器（Ａ）がいっぱいになるまで繰り返しセットした。該容器（Ａ）は、図５に模式的に示すように原料フィルムの面方向が直接通電可能な円筒容器（Ｂ）（さらに詳細に説明すると具体的には、図５に模式的に示すような、直接通電可能な、蓋付きの円筒容器（Ｂ））の円筒の高さ方向と平行になるように保持し、該容器（Ａ）の外部周辺を、コークス粉末で覆い（容器（Ａ）と容器（Ｂ）の間にコークス粉末を充填し）、また図７に示すように該容器（Ａ）を該容器（Ｂ）と接触しないように、保持した。図７に示すように該容器（Ｂ）の外部周辺を、コークス粉末で覆った状態で、電圧を該容器（Ｂ）の円筒の直径方向（原料フィルムの面方向と平行）に印加し、通電することで、３０００℃まで加熱し、グラファイトフィルムが作製された。原料フィルムへの通電方向を示す直線と、原料フィルムの面方向に対する法線との、成す角度は、９０度である。
Example 1
After applying a 10 wt% methanol solution of iron nitrate to carbonized film A obtained from polyimide film A having a thickness of 75, 125, 175, and 225 μm on the raw material film, one sheet of carbonaceous sheet A is used as shown in FIG. The three carbonized films in contact with the carbonaceous sheet A were alternately sandwiched between two extruded graphite plates having a tensile strength of 7 MPa or more and a thickness of 3 mm, and were held in contact with each other in the container (A). The container (A) was set repeatedly until it was full. As shown schematically in FIG. 5, the container (A) is a cylindrical container (B) in which the surface direction of the raw film can be directly energized (more specifically, as shown schematically in FIG. In addition, it is held so as to be parallel to the height direction of the cylinder of the cylindrical container (B) with a lid that can be directly energized, and the outer periphery of the container (A) is covered with coke powder (container (A) And the container (B) were filled with coke powder), and the container (A) was held so as not to contact the container (B) as shown in FIG. As shown in FIG. 7, with the outer periphery of the container (B) covered with coke powder, a voltage was applied in the diameter direction of the cylinder of the container (B) (parallel to the surface direction of the raw film) to energize By heating to 3000 ° C., a graphite film was produced. The angle formed by the straight line indicating the energization direction to the raw film and the normal to the surface direction of the raw film is 90 degrees.
なお前述した図６は、容器（Ｂ）に蓋をする前の模式図である。なお、本実施例では、容器（Ｂ）と蓋にはネジが切ってあり、蓋をすることが可能である。 Note that FIG. 6 described above is a schematic diagram before the container (B) is covered. In this embodiment, the container (B) and the lid are threaded and can be covered.
なお、以下の実施例では同様に容器（Ｂ）の蓋を使用した。但し、以下の実施例では簡単のために、容器（Ｂ）の蓋を図示しないこととする。 In the following examples, the lid of the container (B) was used in the same manner. However, in the following embodiments, for the sake of simplicity, the lid of the container (B) is not shown.
（実施例２）
原料フィルムに厚み７５、１２５、１７５、２２５μｍのポリイミドフィルムＢから得られた炭素化フィルムＢを用いた以外は、実施例１と同様にしてグラファイトフィルムが作製された。
(Example 2)
A graphite film was produced in the same manner as in Example 1 except that the carbonized film B obtained from the polyimide film B having a thickness of 75, 125, 175, and 225 μm was used as the raw material film.
（実施例３）
原料フィルムに厚み１７５μｍのポリイミドフィルムＡから得られた炭素化フィルムＡを用い、炭素質シートＢを用いた以外は、実施例１と同様にしてグラファイトフィルムが作製された。
(Example 3)
A graphite film was produced in the same manner as in Example 1 except that the carbonized film A obtained from the polyimide film A having a thickness of 175 μm was used as the raw material film and the carbonaceous sheet B was used.
（実施例４）
原料フィルムに厚み１７５μｍのポリイミドフィルムＡから得られた炭素化フィルムＡを、炭素質シートＣで１枚ずつ交互に挟み、炭素質シートＡと接触している炭素化フィルム１０枚を引張強度７．４ＭＰａ厚み３ｍｍの黒鉛押出板２枚で挟む以外は、実施例１と同様にしてグラファイトフィルムが作製された。
Example 4
A carbonized film A obtained from a polyimide film A having a thickness of 175 μm is alternately sandwiched between carbonaceous sheets C one by one on a raw material film, and 10 carbonized films in contact with the carbonaceous sheet A are tensile strength 7. A graphite film was produced in the same manner as in Example 1 except that it was sandwiched between two extruded graphite plates having a thickness of 4 MPa and 3 mm.
（実施例５）
原料フィルムに厚み１７５μｍのポリイミドフィルムＡから得られた炭素化フィルムＡ２枚につき、炭素質シートＣ１枚を交互に積層し、炭素質シートＡと接触している炭素化フィルム２０枚を引張強度７．４ＭＰａ厚み３ｍｍの黒鉛押出板２枚で挟む以外は、実施例１と同様にしてグラファイトフィルムが作製された。
(Example 5)
For two carbonized films A obtained from a polyimide film A having a thickness of 175 μm on the raw material film, one carbonaceous sheet C is alternately laminated, and 20 carbonized films in contact with the carbonaceous sheet A have a tensile strength of 7. A graphite film was produced in the same manner as in Example 1 except that it was sandwiched between two extruded graphite plates having a thickness of 4 MPa and 3 mm.
（比較例１〜２）
厚み７５μｍ、１２５μｍ、１７５μｍ、２２５μｍのポリイミドフィルムから得られた炭素化フィルムＡ、Ｂを黒鉛板に挟み、容器（Ａ）内に、接触して保持した。黒鉛化炉を用いて２１００℃以下では減圧下、２１００℃以上ではアルゴン雰囲気下で３０００℃まで昇温された後、３０００℃で１時間熱処理して黒鉛化処理がおこなわれ、グラファイトフィルムが作製された。
比較例１〜２に記載のグラファイトフィルムの製造方法と、
実施例に記載のグラファイトフィルムの製造方法と
の主な相違点は、比較例では
圧縮率５％以上６０％以下の物性を示す炭素質シートと接触していないことである。
(Comparative Examples 1-2)
Carbonized films A and B obtained from polyimide films having thicknesses of 75 μm, 125 μm, 175 μm, and 225 μm were sandwiched between graphite plates and held in contact with the container (A). Using a graphitization furnace, the temperature was increased to 3000 ° C. under reduced pressure at 2100 ° C. or lower and under an argon atmosphere at 2100 ° C. or higher, and then heat-treated at 3000 ° C. for 1 hour to perform graphitization to produce a graphite film. It was.
A method for producing the graphite film described in Comparative Examples 1 and 2,
The main difference from the method for producing a graphite film described in the examples is that in the comparative example, it is not in contact with a carbonaceous sheet having physical properties of a compression rate of 5% or more and 60% or less.
（比較例３）
松下電器産業（株）製のグラファイトフィルム（ＰＧＳ ＥＹＧＳ１８２３１０）を使用して、諸特性を評価した結果を、表に示す。なお、松下電器産業（株）のグラファイトフィルム（ＰＧＳ）の、ＪＩＳ Ｚ８７４１に記載の光沢測定法で得られる光沢度Ｇｓ（６０°）の値２９．８％は、４サンプルの測定を行い、平均をとった値（４サンプルのそれぞれの具体的な測定値は２９．０％、２８．８％、３１．０％、３０．３％であった。この平均値が、２９．８％）である。）である。
(Comparative Example 3)
The results of evaluating various properties using a graphite film (PGS EYGS1822310) manufactured by Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. are shown in the table. The value of 29.8% of the glossiness Gs (60 °) obtained by the gloss measurement method described in JIS Z8741 of the graphite film (PGS) of Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (Specific measurement values of 4 samples were 29.0%, 28.8%, 31.0%, 30.3%. This average value is 29.8%) is there. ).
実施例１〜５、比較例１〜２、で得られたグラファイトフィルムおよび松下電器産業（株）製のグラファイトフィルム（比較例３）の熱拡散率、鉛筆硬度（表面硬度を示す値）、密度、密度、ピール強度（表面の接着性を示す値）、外観（表面剥がれ、目視、表面あらさ）が表１（実施例）、表２（比較例１，２、比較例３）に示されている。原料厚みとは、炭素化する前の高分子フィルムの厚みである。 Thermal diffusivity, pencil hardness (value indicating surface hardness), density of graphite films obtained in Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 and 2, and graphite films manufactured by Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (Comparative Example 3) , Density, peel strength (value indicating surface adhesion), appearance (surface peeling, visual observation, surface roughness) are shown in Table 1 (Example) and Table 2 (Comparative Examples 1, 2 and Comparative Example 3). Yes. The raw material thickness is the thickness of the polymer film before carbonization.
「枚／押出１枚（炭素化フィルムの充填率）原料厚み１７５μｍ使用の場合」の項目は、炭素化フィルムを炭素質シートで挟み、炭素質シートと接触している炭素化フィルム何枚を、黒鉛押出板２枚で挟むかを示す。また、そのときの炭素化フィルムの充填率は、以下の式で定義する。 The item of “sheet / extrusion 1 (filling rate of carbonized film) raw material thickness of 175 μm” is the number of carbonized films in contact with the carbonaceous sheet, with the carbonized film sandwiched between carbonaceous sheets, Indicates whether to be sandwiched between two graphite extruded plates. Moreover, the filling rate of the carbonized film at that time is defined by the following formula.
「枚／押出１枚（炭素化フィルムの充填率）原料厚み１７５μｍ使用の場合」＝「容器に投入可能な炭素化フィルムの厚み（１７５μｍとする）の合計／容器の有効容積の深さ×１００」
この値が大きいほど、多数枚の原料フィルムを処理でき、多数枚のグラファイトフィルムが得られる。
“When 1 sheet / extruded sheet (filling ratio of carbonized film) raw material thickness is 175 μm” = “total thickness of carbonized film that can be charged into container (175 μm) / depth of effective volume of container × 100 "
As this value is larger, a larger number of raw material films can be processed, and a larger number of graphite films can be obtained.
グラファイトフィルムの熱拡散率は、４ｍｍ×４０ｍｍのグラファイトフィルムを光交流法による熱拡散率測定装置（アルバック理工（株）社から入手可能な「ＬａｓｅｒＰｉｔ」）を用いて、２０℃の雰囲気下、１０Ｈｚにおいて測定された。グラファイト化の進行状況は、フィルム面方向の熱拡散率を測定することによって判定され、熱拡散率が大きいほど、グラファイト化が顕著であることを意味している。 The thermal diffusivity of the graphite film is 10 Hz in an atmosphere of 20 ° C. using a thermal diffusivity measuring apparatus (“LaserPit” available from ULVAC Riko Co., Ltd.) using a 4 mm × 40 mm graphite film by an optical alternating current method. Measured in The progress of graphitization is determined by measuring the thermal diffusivity in the film surface direction, and the larger the thermal diffusivity, the more remarkable the graphitization.
グラファイトフィルムの鉛筆硬度は、ＪＩＳ Ｋ５４００（１９９０年）（ＪＩＳ Ｋ ５６００（１９９９年））「塗料一般試験方法」の８．４．１ 試験機法に準じて、評価された。評価値は６Ｂ、５Ｂ、４Ｂ、３Ｂ、２Ｂ、Ｂ、ＨＢ、Ｈといった鉛筆硬度で示され、この順で、表面硬度が高くなり、グラファイトの表面硬度が高いことを意味している。例えば、５Ｂでは、柔らかすぎて、取り付け時に表面に傷が入るなど、扱いにくいという傾向が有る。 The pencil hardness of the graphite film was evaluated in accordance with the test method 8.4.1 of “General paint test method” in JIS K5400 (1990) (JIS K5600 (1999)). The evaluation value is indicated by pencil hardness such as 6B, 5B, 4B, 3B, 2B, B, HB, and H. In this order, the surface hardness increases, which means that the surface hardness of graphite is high. For example, 5B tends to be too soft and difficult to handle, such as scratching the surface during installation.
グラファイトフィルムの密度は、グラファイトフィルムの重量（ｇ）をグラファイトフィルムの縦、横、厚みの積で算出した体積（ｃｍ3）の割り算により算出された。なお、グラファイトフィルムの厚みは、任意の１０点で測定した平均値を使用した。密度が高いほど、グラファイト化が顕著であることを意味している。 The density of the graphite film was calculated by dividing the weight (g) of the graphite film by the volume (cm 3 ) calculated by the product of the vertical, horizontal and thickness of the graphite film. In addition, the average value measured by arbitrary 10 points | pieces was used for the thickness of a graphite film. The higher the density, the more remarkable the graphitization.
グラファイトフィルムのピール強度は、ＪＩＳ Ｚ０２３７（１９８０年）「粘着テープ・粘着シート試験方法」に準じて、評価した。値が大きいほど、表面の接着剤や粘着剤に対する接着性が高いことを意味している。 The peel strength of the graphite film was evaluated according to JIS Z0237 (1980) “Testing method for adhesive tape / adhesive sheet”. The larger the value, the higher the adhesion to the surface adhesive or pressure-sensitive adhesive.
グラファイトフィルムの外観（表面はがれ）は、ＪＩＳ Ｋ５４００（１９９０年）（ＪＩＳ Ｋ５６００（１９９９年））「塗料一般試験方法」の８．５．３ Ｘカットテープ法に準じて、評価した。値は０〜１０の範囲で示され、値が大きいほど、表面の剥がれが少なく、外観の綺麗なグラファイトであることを意味している。 The appearance (surface peeling) of the graphite film was evaluated in accordance with the 8.5.3 X-cut tape method of “JIS K5400 (1990) (JIS K5600 (1999))“ Paint General Test Method ”. The value is shown in the range of 0 to 10, and the larger the value, the smaller the surface peeling and the clearer the appearance.
グラファイトフィルムの外観（目視）は、目視にて平滑性、シワ、表面はがれを確認した。 The appearance (visually) of the graphite film was visually confirmed to be smooth, wrinkled, and surface peeled.
グラファイトフィルムの外観（表面あらさ）は、ＪＩＳ Ｂ０６５２に基づいて測定される光波干渉式表面粗さ測定法に基づいて評価した。本手法は標準反射面と被測定面とのよって生ずる光波干渉しまを顕微鏡によって拡大し、表面あらさを測定する方法である。表面粗さＲａが小さい値ほど、表面は平滑性に優れ外観の綺麗なグラファイトであることを意味している。ＪＩＳ Ｂ０６５２に記載の光波干渉式表面粗さ測定法を行う場合、ザイゴ株式会社製の型番（ＺＹＧＯ ＮＥＷ ＶＩＥＷ ５０３０ システム）で測定した。 The appearance (surface roughness) of the graphite film was evaluated based on a light wave interference type surface roughness measurement method measured based on JIS B0652. This method is a method of measuring the surface roughness by magnifying the light wave interference fringe generated by the standard reflecting surface and the surface to be measured by a microscope. A smaller surface roughness Ra means that the surface is more excellent in smoothness and beautiful in appearance. When performing the light wave interference type surface roughness measuring method described in JIS B0652, it was measured with a model number (ZYGO NEW VIEW 5030 system) manufactured by Zygo Corporation.
実施例１〜５で得られたグラファイトフィルムはいずれの水準も、熱拡散率１０．０×１０-4ｍ2／ｓ以上、鉛事硬度はＨＢ以上、密度２．００ｇ／ｃｍ3以上、ビール強度５Ｎ／ｃｍ以上、外観（表面はがれ）８以上で、熱伝導性、表面硬度、表面の接着性、外観（表面はがれ）に優れたものであった。 The graphite films obtained in Examples 1 to 5 have a thermal diffusivity of 10.0 × 10 −4 m 2 / s or more, lead hardness of HB or more, density of 2.00 g / cm 3 or more, and beer. The strength was 5 N / cm or more, the appearance (surface peeling) was 8 or more, and the thermal conductivity, surface hardness, surface adhesion, and appearance (surface peeling) were excellent.
一方、比較例１〜２で得られたグラファイトフィルムは、熟拡散率が高い水準のものもあるものの、鉛筆硬度は５Ｂ以下、密度２．００ｇ／ｃｍ3未満、ビール強度１Ｎ／ｃｍ未満、外観（表面はがれ）２以下であったため、熱伝導性、表面硬度、表面の接着性、外観（表面はがれ）の全てにおいて優れたものは無かった。 On the other hand, the graphite films obtained in Comparative Examples 1 and 2 have a high level of matured diffusivity, but the pencil hardness is 5B or less, the density is less than 2.00 g / cm 3 , the beer strength is less than 1 N / cm, the appearance Since (surface peeling) was 2 or less, none of them were excellent in all of thermal conductivity, surface hardness, surface adhesion, and appearance (surface peeling).
実施例１〜５と比較例１〜２を比較すると、各特性で実施例１〜５の方が優れていた。この理由として、第一に、実施例では、原料フィルムへ金属化合物を塗布したことが挙げられる。金属化合物を塗布したフィルムの熱処理後のＳＥＭ断面観察では、フィルム内部に不均一層・不均一相が確認される。一例として図８に、金属化合物を塗布し、実施例１の条件で１６００℃まで熱処理したフィルムの断面ＳＥＭ写真を示す。フィルム内部に、当初の原料フィルムには観察されなかった最短径０．１〜５０μｍの不定形形状の模様（不均一層・不均一相）が形成されている。不均一層・不均一相が形成されたのは、熱処理中に分解ガスや余分なグラフェン成分の気化による表層や内部の破壊した部分に、金属を含む物質が浸透拡散し、部分的にフィルムと反応することが考えられる。また、フィルムの内部まで不均一層・不均一相が形成される理由としては、熱処理が高温でおこわれるために、フィルム内部に浸透拡散し、反応がおこったと考えられる。また原料フィルムに含まれるリン酸水素カルシウム、リン酸カルシウムとったフィラーと反応することやフィラーの抜け落ちた部分に金属を含む物質が浸透拡散し、不均一層・不均一相が形成されることが推定される。このような不均一層が形成されることにより、グラファイト化過程で発生する分解ガスが不均一層・不均一相から抜け出すことにより、熱処理中にフィルムが破損することを防止したと考える。また従来のグラファイト過程では、グラフェン層が面に発達し、グラフェン層が層状に剥離するが、内部に不均一層・不均一相が形成されることにより、剥離を部分的に固定し、剥離を防止することが可能となる。またさらに、不均一層・不均一相が形成されることにより、熱処理中にたまる歪を緩和することができると考える。 When Examples 1-5 were compared with Comparative Examples 1-2, Examples 1-5 were superior in each characteristic. As a reason for this, first, in the examples, the metal compound was applied to the raw material film. In SEM cross-sectional observation after heat treatment of the film coated with the metal compound, a heterogeneous layer and a heterogeneous phase are confirmed inside the film. As an example, FIG. 8 shows a cross-sectional SEM photograph of a film coated with a metal compound and heat-treated up to 1600 ° C. under the conditions of Example 1. An irregularly shaped pattern (non-uniform layer / non-uniform phase) having a shortest diameter of 0.1 to 50 μm, which was not observed in the original raw material film, is formed inside the film. The heterogeneous layer and heterogeneous phase were formed because the metal-containing substance penetrated and diffused into the surface layer and the internal destroyed part due to the vaporization of the decomposition gas and excess graphene component during heat treatment, and partly with the film It is possible to react. In addition, the reason why the heterogeneous layer and heterogeneous phase are formed up to the inside of the film is considered to be that the heat treatment occurred at a high temperature, so that it diffused and diffused into the film, and the reaction occurred. In addition, it is estimated that calcium hydrogen phosphate and calcium phosphate contained in the raw material film react with fillers such as calcium phosphate, and that metal-containing substances permeate and diffuse into the parts where the filler has fallen off, forming a heterogeneous layer and heterogeneous phase. The By forming such a heterogeneous layer, it is considered that the cracked gas generated during the graphitization process escapes from the heterogeneous layer and the heterogeneous phase, thereby preventing the film from being damaged during the heat treatment. Also, in the conventional graphite process, the graphene layer develops on the surface and the graphene layer peels off in layers, but by forming a heterogeneous layer / non-homogeneous phase inside, the peeling is partially fixed and the peeling is performed. It becomes possible to prevent. Furthermore, it is considered that the strain accumulated during the heat treatment can be relaxed by forming the heterogeneous layer and the heterogeneous phase.
一方、鉄化合物を原料フィルムに塗布していない比較例１〜２では、表面剥がれが発生した。比較例１の条件で１６００℃まで熱処理した炭素化フィルム内部には、図８のような不定形形状の模様（不均一層・不均一相）は形成されておらず、部分的にフィルム内部に亀裂および／または亀裂のきっかけが発生していた。２０００℃熱処理後には、フィルム内部に空隙が生じ、さらに２４００℃熱処理後には、フィルムの表層および内層の全面にわたり、亀裂が生じ破損した。この原因としては、熱処理過程で発生するガスがうまく抜けることが出来ず、発泡したことが考えられる。特に、厚いフィルムにおいては、表層にグラファイト層が発達し、ガスが抜けにくくなったものと推定される。また、フィルム内部の相互作用が弱いために、厚みが厚くなると、内部応力でフィルムが裂けたとも推定される。 On the other hand, in Comparative Examples 1 and 2 in which the iron compound was not applied to the raw material film, surface peeling occurred. The carbonized film heat-treated to 1600 ° C. under the conditions of Comparative Example 1 does not have an irregularly shaped pattern (non-uniform layer / non-uniform phase) as shown in FIG. Cracks and / or cracks occurred. After the heat treatment at 2000 ° C., voids were generated inside the film, and after the heat treatment at 2400 ° C., cracks occurred on the entire surface layer and inner layer of the film. This may be because the gas generated in the heat treatment process could not escape well and foamed. In particular, in the case of a thick film, it is presumed that a graphite layer has developed on the surface layer, making it difficult for gas to escape. Moreover, since the interaction inside the film is weak, it is estimated that when the thickness is increased, the film is torn due to internal stress.
第二の理由として、原料フィルムを圧縮率４０％の炭素質シートで挟み、黒鉛化をおこなったことが挙げられる。圧縮率（圧縮可能率と同義）が４０％であるため、炭素化フィルムと炭素質シートとの密着性・追随性がよくなり、平滑性に優れたグラファイトフィルムが得られた。それに対し比較例１〜２のように、圧縮率の小さな黒鉛押出板では、炭素化フィルムと黒鉛押出板との密着性・追随性が悪く、熱処理中の原料フィルムの変形で表面に皺が入りやすくなるのである。また、炭素質シートの表面は、黒鉛押出板に比べ平滑（表面あらさＲａ＝０．５５）であることも、炭素化フィルムと炭素質シートとの密着性が高まった要因である。 The second reason is that the raw material film was sandwiched between carbonaceous sheets having a compression rate of 40% and graphitized. Since the compressibility (synonymous with compressibility) was 40%, the adhesion and followability between the carbonized film and the carbonaceous sheet were improved, and a graphite film excellent in smoothness was obtained. On the other hand, as in Comparative Examples 1 and 2, the graphite extruded plate with a small compression rate has poor adhesion and followability between the carbonized film and the graphite extruded plate, and the surface is wrinkled by deformation of the raw material film during heat treatment. It becomes easier. Further, the surface of the carbonaceous sheet is smoother (surface roughness Ra = 0.55) than that of the extruded graphite plate, which is a factor that increases the adhesion between the carbonized film and the carbonaceous sheet.
このように、出発原料に金属化合物を塗布し、フィルム内部に不均一層・不均一相を形成したため、また、圧縮率４０％の炭素質シートを使用したため、比較例１〜２より実施例１〜５では、各特性に優れたグラファイトフィルムが得られたと考える。 Thus, since the metal compound was apply | coated to the starting material, the heterogeneous layer and the heterogeneous phase were formed in the inside of a film, and since the carbonaceous sheet with a compression rate of 40% was used, it is Example 1 from Comparative Examples 1-2. In -5, it is thought that the graphite film excellent in each characteristic was obtained.
なお、硝酸鉄の１０ｗｔ％メタノール溶液を塗布した炭素化フィルムを、黒鉛板で１枚ずつ交互に挟み、黒鉛化したグラファイトフィルムは、外観（表面はがれ、表面粗さＲａ）については実施例１と比較してほとんど変わらないものの、目視で観察できるような小さなシワが多数発生しており、実施例１〜５と比較して表面平滑性が劣っていた。 In addition, the carbonized film which apply | coated the 10 wt% methanol solution of iron nitrate was alternately pinched | interposed one by one with a graphite plate, and the graphite film which graphitized is about Example 1 about an external appearance (surface peeling and surface roughness Ra). Although there was almost no comparison, many small wrinkles that could be visually observed were generated, and the surface smoothness was inferior to Examples 1-5.
また、実施例１〜５では、物性および外観に優れているだけではなく、多数枚のグラファイトフィルムを得ている。これは、比較例では炭素質シートとして厚みの厚い黒鉛押出板のみを使用しているため、容器を占める炭素質シートの割合が必然的に大きくなったのに対し、実施例では、厚みの薄い炭素質シートを併用しているため、炭素化フィルムを多数枚容器に投入することができたのである。このことも、厚みの薄い可とう性の炭素質シートを使用した結果得られた、重要な効果である。 Moreover, in Examples 1-5, it is not only excellent in a physical property and an external appearance but many graphite films are obtained. This is because the comparative example uses only a thick graphite extruded plate as the carbonaceous sheet, so the proportion of the carbonaceous sheet occupying the container inevitably increased, whereas in the example, the thickness is thin. Since a carbonaceous sheet is used in combination, a large number of carbonized films could be put into a container. This is also an important effect obtained as a result of using a thin flexible carbonaceous sheet.
実施例１と実施例３を比較すると、実施例３が実施例１よりも、外観（目視、表面あらさ）において劣っていた。その理由は、実施例３では、厚みの薄い（２２０μｍ）炭素質シートを使用していたため、実施例１の炭素質シートより引張強度が弱く、熱処理中の原料フィルムの変形を抑えることが出来なかったのである。 When Example 1 and Example 3 were compared, Example 3 was inferior in appearance (visual observation, surface roughness) to Example 1. The reason is that in Example 3, since a thin (220 μm) carbonaceous sheet was used, the tensile strength was weaker than the carbonaceous sheet of Example 1, and deformation of the raw film during heat treatment could not be suppressed. It was.
一方、実施例３と実施例４を比較すると、実施例４は実施例３よりも、外観（目視、表面あらさ）において優れていた。実施例４では目視にてシワが確認されず、表面粗さＲａの値も実施例３と比較して小さかった。その理由として、実施例４では炭素質シートＢを１０００℃で熱処理した炭素質シートＣを使用していたからである。炭素質シートを１０００℃以上で熱処理すると、炭素質シートの引張強度が増加し、熱処理中の原料フィルムの変形を抑えることが出来るようになる。また、炭素質シートを１０００℃以上で熱処理することで、シート中の灰分が減少したことも、シワのないグラファイトシートが得られた要因として挙げられる。炭素質シートの灰分が小さいと、炭素質分が多く、熱処理中に不純な分解ガスが発生せず、熱処理中の原料フィルムの変形を抑えることが出来、平滑性に優れるグラファイトフィルムが得られる。また不純物が少なく、純度に優れるため、熱伝導性にも優れ、熱処理中の温度が均一に原料フィルムに伝わり、熱伝導性に優れたグラファイトフィルムが得られるのである。また熱処理炭素質シートＣを使用した実施例４では炭素化フィルム１０枚につき一枚の黒鉛押出板を挟んでいるため、容器に対する炭素化フィルムの充填率が２４．１％と優れているにもかかわらず、シワの発生が抑えられた。 On the other hand, when Example 3 and Example 4 were compared, Example 4 was superior to Example 3 in appearance (visual observation, surface roughness). In Example 4, wrinkles were not visually confirmed, and the value of the surface roughness Ra was smaller than that of Example 3. The reason is that in Example 4, the carbonaceous sheet C obtained by heat-treating the carbonaceous sheet B at 1000 ° C. was used. When the carbonaceous sheet is heat-treated at 1000 ° C. or higher, the tensile strength of the carbonaceous sheet increases, and deformation of the raw material film during the heat treatment can be suppressed. Moreover, the fact that the ash content in the sheet is reduced by heat-treating the carbonaceous sheet at 1000 ° C. or higher is also a factor for obtaining a wrinkled graphite sheet. When the ash content of the carbonaceous sheet is small, the carbonaceous content is high, impure decomposition gas is not generated during the heat treatment, deformation of the raw material film during the heat treatment can be suppressed, and a graphite film excellent in smoothness can be obtained. Moreover, since there are few impurities and it is excellent in purity, it is excellent also in heat conductivity, the temperature during heat processing is uniformly transmitted to a raw material film, and the graphite film excellent in heat conductivity is obtained. Moreover, in Example 4 using the heat-treated carbonaceous sheet C, since one graphite extrusion plate is sandwiched between 10 carbonized films, the filling rate of the carbonized film into the container is excellent at 24.1%. Regardless, the occurrence of wrinkles was suppressed.
さらに、実施例５では、炭素化フィルム２枚を熱処理炭素質シートＣで挟んでいるため、充填率は３８．９％まで高めることができた。 Furthermore, in Example 5, since two carbonized films were sandwiched between the heat-treated carbonaceous sheets C, the filling rate could be increased to 38.9%.
実施例１、実施例２を比較すると、実施例２が実施例１よりも優れていた。その理由は、実施例２が実施例１よりも複屈折、弾性率の高いまた線膨張係数の小さい原料を用いており、黒鉛化中の分子の再配列を容易にしたものと考える。比較例１、比較例２を比較しても比較例２のほうが優れていたが、これも同様の理由である。 When Example 1 and Example 2 were compared, Example 2 was superior to Example 1. The reason is that Example 2 uses a raw material having higher birefringence, higher elastic modulus and smaller linear expansion coefficient than Example 1, and facilitates rearrangement of molecules during graphitization. Even if the comparative example 1 and the comparative example 2 were compared, the comparative example 2 was superior, but this is also the same reason.
実施例では、原料高分子フィルムに厚み２２５μｍのポリイミドフィルムを用いたものであるが、厚みが厚くなっても十分特性に優れたものが得られている。また、比較例では、フィルムが破損してしまう。このことから、厚くなる場合において、特に金属の効果の差が顕著であることが分かる。 In the examples, a polyimide film having a thickness of 225 μm was used as the raw material polymer film, but a film excellent in characteristics was obtained even when the thickness was increased. Moreover, in a comparative example, a film will be damaged. From this, it can be seen that when the thickness is increased, the difference in the effect of the metal is particularly significant.
実施例１〜５で得られたグラファイトフィルムの厚み方向の熱拡散率は、０．０５×１０-4ｍ2／ｓ以下であり、比較例１〜２で得られたグラファイトフィルムの厚み方向の熱拡散率は、０．０５×１０-4ｍ2／ｓより高く、実施例１〜９で得られたグラファイトは、面方向のグラフェン層が非常に発達していることがわかる。厚み方向の熱伝導性上昇を抑えて、面方向の熱伝導性が改善され、面方向の熱伝導性低減を抑えて、厚み方向の熱伝導性が低減され、面方向の熱拡散率と厚み方向の熱拡散率の異方性の高いグラファイトフィルムであり、本発明で作製されるグラファイトフィルムは、放熱材料として用いた場合、グラファイトの裏面に温度の高いホットスポットを無くすことができる。 The thermal diffusivity in the thickness direction of the graphite films obtained in Examples 1 to 5 is 0.05 × 10 −4 m 2 / s or less, and the thickness in the thickness direction of the graphite films obtained in Comparative Examples 1 and 2 is less than 0.05 × 10 −4 m 2 / s. The thermal diffusivity is higher than 0.05 × 10 −4 m 2 / s, and it is understood that the graphene layers in the plane direction are very developed in the graphites obtained in Examples 1 to 9. The increase in thermal conductivity in the thickness direction is suppressed, the thermal conductivity in the plane direction is improved, the decrease in thermal conductivity in the plane direction is suppressed, the thermal conductivity in the thickness direction is reduced, and the thermal diffusivity and thickness in the plane direction are reduced. When the graphite film produced in the present invention is used as a heat dissipation material, a hot spot having a high temperature can be eliminated on the back surface of the graphite.
１ ポリイミドフィルム
２ くさび形シート
３ くさび形シートの塙
４ ナトリウム光
５ 干渉縞
１１ 容器（Ａ）
１２ 原料フィルムを接触して保持するための、平滑な通電可能な平板
２１ 炭素質シート
２２ 炭素化フィルム
２３ 容器の有効容積の深さ
３１ 円筒の容器（Ｂ）
４１ 円筒の容器（Ｂ）の蓋
５１ 容器（Ａ）と容器（Ｂ）の間に充填された、カーボン粉末
５２ 容器（Ｂ）の外部周辺に充填された、カーボン粉末
６１ 不定形形状の模様
1 Polyimide film 2 Wedge-shaped sheet 3 Wedge of wedge-shaped sheet 4 Sodium light 5 Interference fringe 11 Container (A)
12 Flat plate 21 which can be smoothly energized to hold the raw material film in contact with it Carbonaceous sheet 22 Carbonized film 23 Depth of effective volume of container 31 Cylindrical container (B)
41 Cylindrical container (B) lid 51 Carbon powder 52 filled between containers (A) and (B) Carbon powder 61 filled around the outside of container (B) 61 Pattern of irregular shape
Claims (22)
前記工程中において前記原料フィルムの少なくとも片面が、圧縮率５％以上６０％以下の物性を示す炭素質シートと接触していることを特徴とする、グラファイトフィルムの製造方法。 A method for producing a graphite film comprising a step of heat-treating a raw material film comprising a polymer film and / or a carbonized film at a temperature of 2000 ° C. or higher, and contacting with a substance containing a metal atom during the heat treatment,
A method for producing a graphite film, wherein at least one side of the raw material film is in contact with a carbonaceous sheet having physical properties of a compression ratio of 5% or more and 60% or less during the step.
ＪＩＳ Ｂ０６５２に記載の光波干渉式表面粗さ測定法で得られる表面粗さＲａが０．８μｍ以下であることを特徴とする、請求項１に記載のグラファイトフィルムの製造方法。 2. The method for producing a graphite film according to claim 1, wherein the carbonaceous sheet has a surface roughness Ra of 0.8 μm or less obtained by a light wave interference type surface roughness measuring method described in JIS B0652.
引張強度７ＭＰａ以上、厚み３ｍｍ以下の２枚以上の黒鉛板で、
前記の少なくとも片面が前記の炭素質シートと接触している原料フィルムを複数枚挟んでいる状態
を含むことを特徴とする製造方法であって、
該原料フィルム５枚以上が、２枚の黒鉛板に挟まれている状態
を含むことを特徴とする、請求項１〜７のいずれかに記載のグラファイトフィルムの製造方法。 Further during the heat treatment step,
Two or more graphite plates with a tensile strength of 7 MPa or more and a thickness of 3 mm or less,
A manufacturing method characterized by including a state in which a plurality of raw material films in contact with the carbonaceous sheet is sandwiched at least on one side,
The method for producing a graphite film according to any one of claims 1 to 7, including a state in which five or more of the raw material films are sandwiched between two graphite plates.
請求項２１に記載のグラファイトフィルム。 It can be manufactured by the manufacturing method according to any one of claims 1 to 16,
The graphite film according to claim 21.
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