JP2007199241A - 液晶装置、液晶装置の製造方法、投射型表示装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の液晶装置は、一対の基板1a,2a間に液晶層50を挟持してなる液晶装置であって、少なくとも一方の基板2aの前記液晶層50側には、所定周期の縞状パターンを有した金属膜24が配設されており、前記金属膜24は、前記縞状パターンを構成する個々の格子25の前記液晶層側表面が、鋸歯状に構成されていることを特徴とする。
【選択図】図3
Description
第1の実施の形態では、薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor;TFT)を画素スイッチング素子として備えたアクティブマトリクス型の液晶装置を例に挙げて説明する。この液晶装置は、例えば投射型表示装置のライトバルブ(光変調装置)として好適に用いることができるものである。
I(x)=I(1)+I(2)+2(I(1)+I(2))1/2cos(2px/P)・・・式(1)(ただし、xは位置座標である。干渉縞のコントラストCは(Imax−Imin)/(Imax+Imin)で定義される)
C=2(I(1)・I(2))1/2/(I(1)+I(2))=2(α)1/2/(1+α)・・・式(2)(ただし、αは干渉にあずかる2本のビーム強度比I(1)/I(2)を表す)
次に、本発明の投射型表示装置の一実施形態としてのプロジェクタについて図面を参照して説明する。図16は、本実施形態のプロジェクタの概略構成を示す図であり、図中符号800はプロジェクタである。本実施形態のプロジェクタ800は、光変調装置として上述した液晶装置100を用いた液晶プロジェクタである。
Claims (11)
- 一対の基板間に液晶層を挟持してなる液晶装置であって、
前記一対の基板のうち少なくとも一方の基板の前記液晶層側には、所定周期の縞状パターンを有した金属膜が配設されており、
前記金属膜は、前記縞状パターンを構成する個々の格子の前記液晶層側表面が、鋸歯状に構成されていることを特徴とする液晶装置。 - 前記金属膜は、可視光の波長の10%〜30%の周期で前記縞状パターンを構成していることを特徴とする請求項1に記載の液晶装置。
- 前記格子の前記液晶層側表面は、その長手方向に沿って周期的に形成された鋸歯状の凸部を有していることを特徴とする請求項1又は2に記載の液晶装置。
- 前記凸部は、それぞれ傾斜角の異なる第1傾斜面と第2傾斜面とを有していることを特徴とする請求項3に記載の液晶装置。
- 前記凸部は、前記格子の縞状パターンが有する周期よりも大きな周期で形成されていることを特徴とする請求項3又は4に記載の液晶装置。
- 前記金属膜は、前記各格子が少なくとも1つの画素内で電気的に接続されていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載の液晶装置。
- 前記金属膜は、前記一対の基板のうちスイッチング素子が配設されていない対向基板側に配設され、当該対向基板面内において前記各格子が電気的に接続されていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載の液晶装置。
- 前記金属膜の前記液晶層側には、前記各格子と、当該各格子間に形成された隙間とを覆う保護膜が形成されており、該保護膜は、前記格子の鋸歯形状に沿って形成されていることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1項に記載の液晶装置。
- 請求項1ないし8のいずれか1項に記載の液晶装置の製造方法であって、
基板上に金属膜をベタ状に形成する工程と、
形成した金属膜上にレジストを形成する工程と、
前記レジストに対して第1の2光束干渉露光を行い、所定周期の縞状の第1露光パターンを付与する工程と、
前記金属膜及び前記レジストを備えた基板を、当該基板の法線を軸にして90度回転させる工程と、
前記回転後、前記レジストに対して第2の2光束干渉露光を行い、前記第1露光パターンと交わる方向に縞状の第2露光パターンを付与する工程と、
前記各露光を施したレジストを現像する工程と、
前記現像したレジストをマスクとしてドライエッチングを行うことにより、前記金属膜に対して前記レジストの形状を当該金属膜に転写させる工程と、を含み、
前記第1及び第2の2光束干渉露光は、同一光源で行うものとしており、さらに前記第1の2光束干渉露光においては、各光束が前記基板の法線に対して同じ角度で当該基板に入射するように露光を行う一方、前記第2の2光束干渉露光においては、各光束が前記基板の法線に対して各々異なる角度で当該基板に入射するように露光を行うことを特徴とする液晶装置の製造方法。 - 前記第2の2光束干渉露光は、前記第1の2光束干渉露光よりも露光量が少ない条件で行うことを特徴とする請求項9に記載の液晶装置の製造方法。
- 請求項1ないし8のいずれか1項に記載の液晶装置を光変調装置として備えたことを特徴とする投射型表示装置。
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