JP2007187623A - 三次元形状測定装置及び三次元形状測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】白色光を、対物レンズ4を介してビームスプリッター5へ入射させて、反射鏡6側の参照光路と被測定物側の測定光路に分岐して入射させ、光路長可変手段8により測定光路の光路長を変更し、カメラ10が干渉光を撮像し、その撮像データを基に干渉の生ずる光路長を求めることにより被測定物の形状測定を行う三次元形状測定装置であって、ミラー25により投光用光源12からの測定光を白色光の光路と同じ光路に導入し、対物レンズ4を介して被測定物から戻ってくる測定光をカメラ10で撮像し、Z軸制御手段20が、カメラ10の出力を基に対物レンズ4と前記被測定物との距離を対物レンズ4の焦点距離に位置するようにヘッド11を移動させる。
【選択図】図1
Description
前記形状を測定する初期に前記被測定物へ位置検出用の光を照射し、被測定物からの反射光を基に、前記ヘッドと被測定物との距離を検出する位置検出部(16)と、
該位置検出部から出力される前記ヘッドと被測定物との距離を基に、前記光路長を前記所定範囲に亘って変化させたとき前記干渉縞が得られるように、前記参照光路又は前記測定光路の初期の光路長を調整する手段(20,22)と、を備えた。
前記前記測定光路の初期の光路長を調整する手段は、該位置検出部から出力される前記ヘッドと前記被測定物との距離と前記目標距離との距離差を求める位置情報抽出手段(22)と、
該位置情報抽出手段が求めた前記距離差がなくなるように、前記ヘッドと被測定物間の距離を相対的に変更するZ軸制御手段(20)と、を備えた。
前記位置情報検出手段は、該XY移動手段による移動中における位置検出部からの出力を基に、該移動中における前記ヘッドと被測定物との間の距離の変動を検出し、
前記光路長可変手段は、光路長を変化させる範囲を前記距離の変動分を含む範囲に変更して光路長を変更する構成とした。
前記広帯域光による前記形状を測定する前に、
位置検出部により、前記被測定物へ位置検出用の光を直接に又は間接に照射し、被測定物から反射された反射光を受けて、前記ヘッドと被測定物との間の距離を検出する位置検出段階と、
該位置検出段階で検出された前記ヘッドと被測定物との間の距離と、予め設定されている目標距離との距離差を求める位置情報抽出段階と、
該位置情報抽出段階で求める距離差がゼロになるように前記対物レンズと前記被測定物との相対的距離を変更する光軸方向移動段階と、
前記相対的距離が設定された後に、前記参照光路又は前記測定光路のいずれか一方の光路長を変化させる光路長可変段階と、
該光路長の変化に応じて前記光路形成部の出力を前記測定範囲に亘って撮像する撮像段階と、
前記撮像手段の出力から得られる、前記測定範囲の各点おける干渉縞が現れる光路長を検出する段階と、
前記測定範囲の各点に対応して検出された光路長を基に、前記被測定物の形状の測定を行う測定段階とを備えた。
以下、図1を基に、干渉縞を生成して三次元形状のデータを取得する場合と、測定初期の被測定物7のZ軸方向(光路長変更方向)の位置調整を行う場合とに、場合分けして説明する。以下の説明においては、図1の紙面に直交する方向の平面をXY平面とし、横方向をX軸方向とし、図1の紙面の上下方向をZ軸方向とする。そのとき、Z軸方向は、測定光路方向であり、光路長変更方向でもある。測定光路の光路長の変更が時間とともに行われ、干渉縞を得るので、Z軸方向は、干渉縞が現れる時間軸方向でもある。以下、これらの用語を説明内容に応じて使い分けることがある。
図1を基に、光学系の構成を説明する。干渉縞を生成するときは、被測定物7の位置調整に用いられる投光用レーザー12は、使用されないので、そのレーザー光(測定光)がミラー25に入らないように遮断しておく。以下、この状態で説明する。
被測定物7のZ軸方向(光路長変更方向)の初期位置の調整は、干渉縞の測定の前段階として行うので、以下の説明は、光源1からの白色光が、ビームスプリッター3へ入射されても良いが、ここでは白色光の入射を無視して説明する。
図4を用いて、第1の実施形態の動作フローを説明する。なお、後記する他の実施形態でも動作フローは、ほぼ同じである。
ステップS2、3:投光用レーザー12からのレーザー光が、ミラー25、対物レンズ4及びビームスプリッター5を介して被測定物7へ入射される。そして、その戻りレーザー光をカメラ10で撮像されて、メモリ17にその撮像位置(例えば、bk)が記憶される。位置情報抽出手段22は、対物レンズ4と被測定物7との距離と、目標距離(焦点距離)とのズレ量bk―b0又はb0−bkを求めて、Z軸制御手段20が、そのズレ量がゼロになるようにヘッド11を負帰還制御する。つまり、対物レンズ4と被測定物7との距離が、目標距離に一致するように制御する(S2)。Z軸制御手段20は、そのズレ量が所定範囲内(例えば、ズレ量がノイズレベルになったとき)にあるかどうか判断し(S2)、範囲内でなければ、範囲に入るまで、ヘッド11を移動させて、目標距離に合わす(S3)。ズレ量が所定範囲以下になったとき(S2―YES)、ヘッド11を制御していた制御量を保持する。そして、白色光による干渉縞の測定を終えるまで保持する。その測定を終えるまでの間、投光用レーザー12からのレーザー光がミラー25に入らないように遮断される。
ステップS5: 信号処理手段19は、各測定範囲における各撮像データをメモリ17から読み出して、その干渉縞のピークが現れる点の特定光路長を求める。所望測定範囲の全ての位置での特定光路長を求めることにより被測定物7の三次元形状を求めることができる。信号処理手段19は、例えば、基準測定位置(Xs、Ys)の特定光路長と、他の測定位置Xm、Yp)の特定光路長Zm,pとの差を求めることにより相対的な形状を求めることができる。この形状を表示装置に表示させることができる。
ステップ9:次の被測定物7を測定するときの光路長制御手段1が光路長を変更できる範囲を、XYステージ21を移動中に測定した距離の変動分を加えた新たな変更範囲にする。そして、実際に、次の被測定物7の測定がステップS1から行われたとき、ステップS4で、前回より上記距離の変動分を含む広い新たな変更範囲で測定する。したがって、変動分を変更範囲に吸収できるので、ダイナミックレンジが確保される。
第2の実施形態は、干渉縞を生成して三次元形状のデータを取得する場合の構成動作は第1実施形態と同じで、測定初期の被測定物7のZ軸方向の位置調整を行うことにおいて、第1の実施形態と構成を相違する。以下、その違いについて説明する。
第3の実施形態は、干渉縞を生成して三次元形状のデータを取得する場合の構成動作は第1実施形態と同じで、測定初期の被測定物7のZ軸方向の位置調整を行うことにおいて、第1及び第2の実施形態と構成を相違する。以下、その違いについて説明する。
2 コリメータレンズ
3 ビームスプリッター
4 対物レンズ
5 ビームスプリッター
6 参照鏡
7 被測定物
8 ピエゾ
9 結像レンズ
10 カメラ
11 ヘッド
12 投光用レーザー
13 投光用コリメータレンズ
15 受光用結像レンズ
16 位置検出部
17 メモリ
18 光路長制御手段
19 信号処理手段
20 Z軸制御手段
21 XYステージ
22 位置情報抽出手段
23 測定制御手段
24 ユーザインターフェース
25 ミラー
26 ミラー
Claims (8)
- 広帯域スペクトラムを有する広帯域光を出力する広帯域光源(1)と、該広帯域光を、参照鏡に照射させる参照光路と被測定物の所望の測定範囲に照射させる測定光路とに分岐させ、該参照鏡及び該被測定物からの反射光を合波して出力する光路形成部(5)と、前記広帯域光源と該光路形成部との間に又は前記測定光路に設けられ、前記広帯域光を前記被測定物の表面の測定範囲に照射する対物レンズ(4)と、を搭載したヘッド(11)と、
前記参照光路又は前記測定光路のいずれか一方の光路長を所定範囲に亘って変化させる光路長可変手段(8)と、該光路長の変更に応じて前記測定範囲に対応した前記光路形成部の出力を撮像する撮像手段(10)と、を備え、前記撮像手段の出力から得られる干渉縞を基に形状の測定を行う三次元形状測定装置において、
前記形状を測定する初期に前記被測定物へ位置検出用の光を照射し、被測定物からの反射光を基に、前記ヘッドと被測定物との距離を検出する位置検出部(16)と、
該位置検出部から出力される前記ヘッドと被測定物との距離を基に、前記光路長を前記所定範囲に亘って変化させたとき前記干渉縞が得られるように、前記参照光路又は前記測定光路のいずれか一方の初期の光路長を調整する手段(20,22)と、を備えたことを特徴とする三次元形状測定装置。 - 前記参照光路の光路長が固定長にされ、予め前記所定範囲に亘って光路長を可変したときに測定光路の光路長が前記固定長を超えて変化できる前記ヘッドと被測定物との距離を予め目標距離として設定されており、
前記測定光路の初期の光路長を調整する手段は、該位置検出部から出力される前記ヘッドと前記被測定物との距離と前記目標距離との距離差を求める位置情報抽出手段(22)と、
該位置情報抽出手段が求めた前記距離差がなくなるように、前記ヘッドと被測定物間の距離を相対的に変更するZ軸制御手段(20)と、を備えたことを特徴とする請求項1に記載の三次元形状測定装置。 - 前記ヘッドと前記被測定物との距離は、前記対物レンズと被測定物との距離であり、前記目標距離は、前記対物レンズの焦点距離であることを特徴とする請求項2に記載の三次元形状測定装置。
- 前記位置検出部は、前記ヘッドに搭載され、前記位置検出用の光を照射する投光用光源(12)と、該位置検出用の光を前記広帯域光と同じ光路に導入する光路導入手段(25)と、該光路導入手段により前記対物レンズ及び前記光路形成部を介して前記被測定物へ入射された位置検出用の光が、更に該被測定物から所定角度で反射されて前記光路形成部及び前記対物レンズを介して戻ってくるのを撮像する前記撮像手段(10)とを含んで構成され、前記ヘッドと被測定物との距離を検出することを特徴とする請求項1、2又は3に記載の三次元形状測定装置。
- 前記位置検出部は、前記位置検出用の光を照射する投光用光源(12)と、該位置検出用の光を前記広帯域光源と同じ光路に導入する光路導入手段(25)と、該光路導入手段により前記対物レンズ及び前記光路形成部を介して前記被測定物へ入射され、戻ってくる位置検出用の光を前記広帯域光源と別な光路へ取り出す光路分離手段(26)と、該光路分離手段により分離された位置検出用の光を検出する受光手段(14)とを備え、前記ヘッドと被測定物との距離を検出することを特徴とする請求項1、2又は3に記載の三次元形状測定装置。
- 前記位置検出部は、前記ヘッドに搭載され、前記広帯域光源の光路とは別個の光路で、被測定物に直接に位置検出用の光を照射し、前記所定角度で被測定物から反射された位置検出用の光を直接に受けて、前記被測定物の位置を検出する構成にされたことを特徴とする請求項1、2又は3に記載の三次元形状測定装置。
- 前記対物レンズの光軸方向に直交する方向における、被測定物を移動させるXY移動手段(21)を備え、
前記位置情報検出手段は、該XY移動手段による移動中における位置検出部からの出力を基に、該移動中における前記ヘッドと被測定物との間の距離の変動を検出し、
前記光路長可変手段は、光路長を変化させる範囲を前記距離の変動分を含む範囲に変更して光路長を変更することを特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載の三次元形状測定装置。 - 広帯域光源(1)からの広帯域光を受けて、参照鏡に照射させる参照光路と被測定物の所望の測定範囲に照射させる測定光路とに分岐させ、該参照鏡及び該被測定物からの反射光を合波して出力する光路形成部(5)と、前記広帯域光源と該光路形成部との間又は前記測定光路に前記被測定物へ向けて広帯域光を集光する前記対物レンズ(4)と、搭載したヘッドを備え、該光路形成部の出力を基に形状を測定する三次元形状測定装置による三次元形状測定方法において、
前記広帯域光による前記形状を測定する前に、
位置検出部により、前記被測定物へ位置検出用の光を直接に又は間接に照射し、被測定物から反射された反射光を受けて、前記ヘッドと被測定物との間の距離を検出する位置検出段階と、
該位置検出段階で検出された前記ヘッドと被測定物との間の距離と、予め設定されている目標距離との距離差を求める位置情報抽出段階と、
該位置情報抽出段階で求める距離差がゼロになるように前記対物レンズと前記被測定物との相対的距離を変更する光軸方向移動段階と、
前記相対的距離が設定された後に、前記参照光路又は前記測定光路のいずれか一方の光路長を変更させる光路長可変段階と、
該光路長の変化に応じて前記光路形成部の出力を前記測定範囲に亘って撮像する撮像段階と、
前記撮像手段の出力から得られる、前記測定範囲の各点おける干渉縞が現れる光路長を検出する段階と、
前記測定範囲の各点に対応して検出された光路長を基に、前記被測定物の形状の測定を行う測定段階とを備えたことを特徴とする形状測定方法。
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