JP2007184524A - 基板収納容器用の乾式洗浄装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板収納容器をローディングするローディング部と、前記基板収納容器をドライアイス粒子により洗浄する洗浄部と、洗浄部で洗浄された前記基板収納容器をアンローディングするアンローディング部とを含み、ドライアイス粒子を用いて基板収納容器を洗浄するので、排出される廃棄物がなく新環境的であり、また、ドライアイスを用いるので、微細洗浄が可能であり、基板収納容器の変形や破損を最小化することにより、その使用寿命を延長させるという効果があり、更に、従来の湿式洗浄装置に比べて洗浄工程が単純に進行されるので、機器のサイズも著しく小型化でき、よって経済的であるという効果がある。
【選択図】図2
Description
長距離若しくは安定性が重要時される場合はロット(lot)単位でキャリヤーやカセットなどの基板収納容器に収められて移動できる。
1ローディング部210(211、212)と、基板収納容器100の蓋102をローディングする第2ローディング部220とを含む。
101 本体
102 蓋
200 ローディング部
210 第1投入移送部
220 第2投入移送部
300 洗浄部
310 第1洗浄移送部
320 第2洗浄移送部
330 乾式噴射手段
333 ドライアイス噴射ノズル
334 エア噴射ノズル
340 エアナイフ
350 ゲート
360 除去手段
400 アンローディング部
410 第1搬出移送部
420 第2搬出移送部
500 逆転手段
Claims (12)
- 基板収納容器をローディングするローディング部と、
前記基板収納容器をドライアイス粒子により洗浄する洗浄部と、
前記洗浄部で洗浄された前記基板収納容器をアンローディングするアンローディング部と、
を含むことを特徴とする基板収納容器用の乾式洗浄装置。 - 前記ローディング部は、前記基板収納容器の本体及び蓋を相異なる経路で前記洗浄部にローディングし、
前記洗浄部は、前記本体及び蓋の全ての内部に対してドライアイス粒子をそれぞれ噴射し、
前記アンローディング部は、洗浄された前記本体及び蓋を相異なる経路でアンローディングすることを特徴とする請求項1記載の基板収納容器用の乾式洗浄装置。 - 前記ローディング部は、前記本体を下方に開口させると同時に最初の投入高さよりも一層高い位置に上昇させて前記洗浄部に移送し、
前記洗浄部は、前記本体の内部へ下から上に進入してドライアイス粒子を噴射し、
前記アンローディング部は、前記洗浄部から搬出される前記本体を上方に開口させると同時に最初の投入高さに下降させて移送することを特徴とする請求項2記載の基板収納容器用の乾式洗浄装置。 - 前記ローディング部及び前記アンローディング部は、
前記ローディング部に投入された前記本体を上下逆転させ、前記洗浄部から前記アンローディング部へ搬出された前記本体を上方に開口されるように上下逆転させる一対の逆転手段を更に含むことを特徴とする請求項3記載の基板収納容器用の乾式洗浄装置。 - 前記各逆転手段は、
前記本体の両側面を押圧支持して回転させる押圧回転部材と、
前記押圧回転部材を乗降させる乗降部材と、を含むことを特徴とする請求項4記載の基板収納容器用の乾式洗浄装置。 - 前記押圧回転部材は、
前記本体の両側に対向設置される押圧パッドと、
前記各押圧パッドを回転させる一対の駆動部と、
前記各駆動部を前記本体の側面へ移送させて前記押圧パッドを前記本体の側面に押圧接触させる一対のシリンダーと、
を含むことをことを特徴とする請求項5記載の基板収納容器用の乾式洗浄装置。 - 前記洗浄部は、前記本体或いは前記蓋の内部における相異なる複数の箇所に放射状にドライアイス粒子を噴射する乾式噴射手段を含むことを特徴とする請求項3記載の基板収納容器用の乾式洗浄装置。
- 前記乾式噴射手段は、駆動軸と結合された回転板に偏心結合されて前記回転板の回転によって放射状にドライアイス粒子を噴射する複数のドライアイス噴射ノズルを含むことを特徴とする請求項7記載の基板収納容器用の乾式洗浄装置。
- 前記乾式噴射手段は、前記本体又は蓋の内部に乾燥空気を噴射するエア噴射ノズルを更に含むことを特徴とする請求項8記載の基板収納容器用の乾式洗浄装置。
- 前記洗浄部は、前記本体又は蓋の外面に乾燥空気を押圧噴射するエアナイフを更に含むことを特徴とする請求項3記載の基板収納容器用の乾式洗浄装置。
- 前記洗浄部は、ハウジング内に設置され、
前記ハウジングは、前記基板収納容器が投入される入口或いは前記基板収納容器が搬出される出口を開閉するゲートを更に含むことを特徴とする請求項10記載の基板収納容器用の乾式洗浄装置。 - 前記洗浄部は、洗浄工程で発生した異物を外部へ排出して取り除く除去手段を更に含むことを特徴とする請求項3記載の基板収納容器用の乾式洗浄装置。
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