JP2007182027A - インクジェット記録ヘッドの製造方法、インクジェット記録ヘッド及びインクジェット装置 - Google Patents

Abstract

【課題】接着剤を紫外線照射で短時間硬化した場合でも接着力が強く、接着剤の剥れによる混色が生じず、信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】接着剤を支持部材（第１のプレートH1200）の接合面に塗布する工程と、記録素子基板H1100と支持部材の接合面を当接押圧して接着剤を接合面からはみ出させる工程と、記録素子基板H1100の位置決めしてはみ出した接着剤に紫外線を照射して硬化仮止めする工程と、記録素子基板H1100の吐出口面から紫外線を照射してインク供給口内にはみだした接着剤を硬化する工程とを有し、接着剤がエポキシ樹脂、光カチオン重合開始剤、熱カチオン重合開始剤及びシランカップリング剤のアルコキシシラン基が反応促進剤により加水分解しシラノール基に変換したシランカップリング剤を含むインクジェット記録ヘッドの製造方法；インクジェット記録ヘッド；及びインクジェット記録装置。
【選択図】図１１

Description

本発明は、記録液を記録媒体へ吐出して記録を行うインクジェット記録ヘッドの製造方法、その方法により製造されるインクジェット記録ヘッド、及び、そのインクジェット記録ヘッドを備えたインクジェット記録装置に関する。

インクジェット記録装置は、インク滴を飛翔させ、直接紙等の吸収性のあるメディアに付着させて記録を行う記録方式によるものである。この装置は、高速記録かつ様々な記録メディアに対して記録することが可能でかつ小型で低価格のため、家庭やオフィスで使用するパーソナルコンピュータの出力機器として広く普及している。インクジェット記録装置の代表的なインク吐出方式として、電気熱変換素子を吐出エネルギー発生素子として用いた方式がある。この方式は、電気熱変換素子を加圧室内に設け、これに記録信号となる電気パルスを印加する事により記録液に熱エネルギーを与え、その時の記録液の相変化により生じる記録液の発泡時（沸騰時）の気泡圧力を記録液滴の吐出に利用したものである。

この電気熱変換方式を用いたインクジェット記録ヘッドには、電気熱変換素子が配列されたシリコン基板に対して平行に記録液を吐出させる方式（エッジシュータ）のものがある。また、電気熱変換素子が配列された基板に対して垂直に記録液を吐出させる方式（サイドシュータ）のものもある。

図１５は、記録素子基板を支持部材上に搭載した状態の一例を示す断面図である。図１５に示すように、第１の記録素子基板１０３の表面側に設けられている吐出口プレート１０４には、記録液を吐出するための複数の吐出口１０４ａが開口されている。この吐出口１０４ａは、記録素子である吐出エネルギー発生素子（例えば、電気熱変換素子）１０５に対向する位置に２列にわたって開口されている。そして、２列で１組を成す吐出口列が構成されている。一方、支持部材１０１には、隔壁１０１ｂにより隔てられた記録液供給流路１０１ａが形成されており、この支持部材１０１は第１の記録素子基板１０３に接合されている。また、支持部材１０１の記録液供給流路１０１ａの流路幅は、第１の記録素子基板１０３の記録液供給口１０６の入口部の開口幅よりも広くしてある。そのため、隔壁１０１ｂの幅は、互いに隣接する記録液供給口１０６の入口部同士の間隔よりも薄くなっている。

このような記録素子基板およびそれを有するインクジェット記録ヘッドの製造に用いられる組立方法等が、いくつか知られている。

例えば特許文献１には、インクジェット記録ヘッドの製造方法に関して、記録素子基板の位置決め組立方法が開示されている。この組立方法では、真空吸着フィンガーで記録素子基板を精度良く位置決めして、記録素子基板を固定している。記録素子基板の固定方法としては、紫外線・熱硬化併用型の接着剤で接着する方法が開示されている。また、特許文献２には、インクジェット記録ヘッド本体にオリフィスプレート（吐出口プレート）を紫外線・熱硬化併用型の接着剤で接着する方法が開示されている。また、特許文献３には、複数のインク室を有する液体吐出ヘッド本体にノズル部材を紫外線・熱硬化併用型の接着剤で接着する方法が開示されている。
特開平９−１８７９５２号公報 特開平１１−１７９９２３号公報 特開平１１−１８８８７３号公報

しかしながら、特許文献１においては、インクジェット記録ヘッドの製造方法の開示は有るものの、接着剤の具体的処方の開示は無い。また、その製造方法に起因する接着剤塗布後数分以内にＵＶ（紫外線）硬化を行うために生じる接着剤とシリコン基板との接合不足には言及していない。この点は特許文献２、特許文献３も同様である。

また、無機材料と接着剤の接着性を高める手法として、シランカップリング剤の希釈液をあらかじめ接着面に塗布する前処理がある。しかし、このような前処理を行なうと、記録素子基板の裏面に設けたインク供給口からシランカップリング剤水溶液が進入し、インク流路、吐出口、フェイス面に付着し、インク詰まりや印字物のよれを生じるので好ましくない。

本発明の目的は、記録素子基板と支持部材を接着剤により接合する際に、紫外線照射により短時間で接着剤を硬化した場合であっても接着力が強く、連続印字等厳しい使用環境においても接着剤の剥れによる混色が生じることのない、信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを製造できる方法、そのような方法により得られる信頼性の高いインクジェット記録ヘッド、及び、そのようなヘッドを備えたインクジェット記録装置を提供することにある。

本発明は、少なくとも記録液を吐出するための複数の記録素子、吐出口及びインク流路が形成されており、該吐出口面とは反対側の面にインク供給口が配置されている記録素子基板と、該記録素子基板を保持固定する支持部材とを有し、該記録素子基板と該支持部材が接着剤により接合されているインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
紫外線の照射により硬化する性質を有すると共に加熱により硬化する性質を有する接着剤を、前記支持部材の接合面に塗布する工程と、
前記記録素子基板の接合面と前記支持部材の接着剤が塗布された接合面とを当接させて押圧して、前記接着剤を接合面からはみ出させる工程と、
前記接合面からはみ出した接着剤に紫外線を照射して該接着剤を硬化させることにより仮止めを行う工程と、
前記仮止めを行った後に、前記記録素子基板の吐出口面から紫外線を照射して、インク供給口内にはみだした接着剤を硬化させる工程とを有し、
前記接着剤が、少なくともエポキシ樹脂、光カチオン重合開始剤、熱カチオン重合開始剤、及び、シランカップリング剤のアルコキシシラン基が反応促進剤によりあらかじめ加水分解しシラノール基に変換しているシランカップリング剤を含んでなることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法である。

さらに本発明は、上記方法により製造されたことを特徴とするインクジェット記録ヘッドである。

さらに本発明は、上記インクジェット記録ヘッドを備えたことを特徴とするインクジェット記録装置である。

本発明においては、アルコキシシラン基が反応促進剤（水や酸等）によりあらかじめ加水分解しシラノール基に変換しているシランカップリング剤を含む接着剤を用いる。これにより、記録素子基板と支持部材を接着剤により接合する際に、紫外線照射により短時間で接着剤を硬化した場合であっても接着力が強く、連続印字等厳しい使用環境においても接着剤の剥れによる混色が生じることのない、信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを得ることができる。

本発明の効果が得られる理由は、以下のような点にある。

まず、本発明者らは、接着剤の接合力不足の原因を調査した。その結果、紫外線照射により仮止めしたり、インク供給口に這い上がった接着剤を硬化させるために吐出口面から紫外線照射を行った際に、紫外線の回り込みにより接着面の多くが硬化している事が判明した。さらに紫外線照射により硬化を行った場合、接着剤中のシランカップリング剤が本来の機能を果たさないことに気付いた。

シランカップリング剤は、分子内に有機物と結合する反応性の官能基（エポキシ基やアクリロイル基など）と、アルコキシシラン基を有する。アルコキシシラン基は加水分解によりシラノール基となり、このシラノール基がシリコン基板等の無機化合物と水素結合する。さらに加熱処理を行うと水素結合部が脱水縮合し、より強固な共有結合となり、シランカップリング剤とシリコン基板が強固に結ばれる。また、この加熱処理では、シランカップリング剤のエポキシ基等の官能基も接着剤の主材と反応する。従って、シリコン基板がシランカップリング剤を介して強固に接合されるのである。

ところが、紫外線照射による硬化を行うと、エポキシ基やアクリロイル基は紫外線に反応するがアルコキシシラン基は紫外線に反応しないので、シリコン基板との結合が生じにくく、強固な接合がなされない。

そこで本発明者らは、紫外線照射による硬化を行う場合は、加水分解反応の触媒である反応促進剤（水や酸等）を接着剤中にあらかじめ添加することにした。この反応促進剤により、シランカップリング剤中のアルコキシシラン基があらかじめ加水分解し、シラノール基化する。したがって、塗布後ただちに無機化合物と水素結合し、良好な接着力が得られるのである。この加水分解の反応性は、反応により発生したＭｅＯＨ量をヘッドスペースＧＣ／ＭＳ法により定量することで確認できる。

図１から図６は、本発明が実施もしくは適用される好適なヘッドカートリッジ、記録ヘッド、インクタンクのそれぞれ及びそれぞれの関係を説明するための説明図である。以下、これらの図面を参照して各構成要素の説明を行う。

本発明の記録ヘッドＨ１００１は、図１及び図２からわかるように、記録ヘッドカートリッジＨ１０００を構成する一構成要素である。記録ヘッドカートリッジＨ１０００は、記録ヘッドＨ１００１と記録ヘッドＨ１００１に着脱自在に設けられたインクタンクＨ１９００（Ｈ１９０１，Ｈ１９０２，Ｈ１９０３，Ｈ１９０４）とで構成されている。この記録ヘッドカートリッジＨ１０００は、インクジェット記録装置本体に載置されているキャリッジ（不図示）の位置決め手段及び電気的接点によって固定支持されるとともに、該キャリッジに対して着脱可能となっている。インクタンクＨ１９０１はブラックのインク用、インクタンクＨ１９０２はシアンのインク用、インクタンクＨ１９０３はマゼンタのインク用、インクタンクＨ１９０４はイエローのインク用のものである。このように、インクタンクＨ１９０１，Ｈ１９０２，Ｈ１９０３，Ｈ１９０４のそれぞれが記録ヘッドＨ１００１に対して着脱自在となり、それぞれのインクタンクが交換可能となっている。これにより、インクジェット記録装置による画像記録のランニングコストが低減される。

次に、記録ヘッドＨ１００１に関してさらに詳しく、記録ヘッドを構成しているそれぞれの構成要素毎に順を追って説明する。

＜１＞記録ヘッド
記録ヘッドＨ１００１は、電気信号に応じて膜沸騰をインクに対して生じせしめるための熱エネルギーを生成する電気熱変換体を用いて記録を行うバブルジェット（登録商標）方式のサイドシュータ型とされる記録ヘッドである。

記録ヘッドＨ１００１は、図３の分解斜視図に示すように、記録素子ユニットＨ１００２と、インク供給ユニットＨ１００３と、タンクホルダーＨ２０００とから構成される。

さらに、図４の分解斜視図に示すように、記録素子ユニットＨ１００２は、第１の記録素子基板Ｈ１１００、第２の記録素子基板Ｈ１１０１、第１のプレートＨ１２００、電気配線テープＨ１３００、電気コンタクト基板Ｈ２２００、第２のプレートＨ１４００で構成されている。また、インク供給ユニットＨ１００３は、インク供給部材Ｈ１５００、流路形成部材Ｈ１６００、ジョイントゴムＨ２３００、フィルターＨ１７００、シールゴムＨ１８００から構成されている。

＜１−１＞記録素子ユニット
図５は、第１の記録素子基板Ｈ１１００の構成を一部分解した状態で示す斜視図である。

第１の記録素子基板Ｈ１１００は、例えば、厚さ０.５ｍｍ以上、１ｍｍ以下のＳｉ基板Ｈ１１１０にインク流路として長溝状の貫通口からなるインク供給口Ｈ１１０２がＳｉの結晶方位を利用した異方性エッチングやサンドブラストなどの方法で形成されている。インク供給口Ｈ１１０２を挟んだ両側に記録素子である電気熱変換素子Ｈ１１０３はそれぞれ１列ずつ千鳥状に配列され、前記電気熱変換素子Ｈ１１０３と、電気熱変換素子Ｈ１１０３に電力を供給するＡｌ等の電気配線は成膜技術により形成されている。さらに、前記電気配線に電力を供給するための電極Ｈ１１０４が電気熱変換素子Ｈ１１０３の両外側に配列されており、電極Ｈ１１０４にはＡｕ等のバンプＨ１１０５が形成されている。そして、前記Ｓｉ基板上には、電気熱変換素子Ｈ１１０３に対応したインク流路を形成するためのインク流路壁Ｈ１１０６と吐出口Ｈ１１０７が樹脂材料でフォトリソ技術によりに形成され、吐出口列Ｈ１１０８を形成している。したがって、前記電気熱変換素子Ｈ１１０３に対向して前記吐出口が設けられているため、インク流路Ｈ１１０２から供給されたインクは電気熱変換素子Ｈ１１０３により発生した気泡により吐出される。

また、図６は、第２の記録素子基板Ｈ１１０１を一部分解した状態で示す斜視図である。

第２の記録素子基板Ｈ１１０１は３色のインクを吐出させるための記録素子基板であり、３個のインク供給口Ｈ１１０２が並列して形成されており、それぞれのインク供給口を挟んだ両側に電気熱変換素子とインク吐出口が形成されている。もちろん第１の記録素子基板Ｈ１１００と同じようにＳｉ基板にインク供給口や電気熱変換素子、電気配線、電極部などが形成されておりその上に樹脂材料でフォトリソ技術によりインク流路やインク吐出口が形成されている。

そして、第一の記録素子基板と同様に電気配線に電力を供給するための電極Ｈ１１０４にはＡｕ等のバンプＨ１１０５が形成されている。

ここで再び図４を参照する。第１のプレートＨ１２００は、例えば、厚さ０.５ｍｍ以上、１０ｍｍ以下のアルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）材料で形成されている。なお、第１のプレートの素材は、アルミナに限られない。例えば、記録素子基板Ｈ１１００の材料の線膨張率と同等の線膨張率を有し、かつ、記録素子基板Ｈ１１００材料の熱伝導率と同等もしくは同等以上の熱伝導率を有する材料で作られてもよい。第１のプレートＨ１２００の素材は、例えば、シリコン（Ｓｉ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、ジルコニア、窒化珪素（Ｓｉ₃Ｎ₄）、炭化珪素（ＳｉＣ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）のうちいずれであってもよい。第１のプレートＨ１２００には、第１の記録素子基板Ｈ１１００にブラックのインクを供給するためのインク供給口Ｈ１２０１と第２の記録素子基板Ｈ１１０１にシアン、マゼンタ、イエローのインクを供給するためのインク供給口Ｈ１２０１が形成されている。記録素子基板のインク供給口１１０２が第１のプレートＨ１２００のインク供給口Ｈ１２０１にそれぞれ対応する。また、第１の記録素子基板Ｈ１１００と第２の記録素子基板Ｈ１１０１はそれぞれ第１のプレートＨ１２００に対して位置精度良く接着固定される。接着に用いられる接着剤Ｈ１２０２（図１０乃至図１２）は、低粘度で硬化温度が低く、短時間で硬化し、硬化後比較的高い硬度を有し、かつ、耐インク性のあるものが望ましい。その接着剤Ｈ１２０２として、本発明の接着剤を好適に用いることができる。接着層の厚みは５０μｍ以下が望ましい。

電気配線テープＨ１３００は、第１の記録素子基板Ｈ１１００と第２の記録素子基板Ｈ１１０１に対してインクを吐出するための電気信号を印加するものである。この電気配線テープＨ１３００は、それぞれの記録素子基板を組み込むための複数の開口部位と、それぞれの記録素子基板の電極部Ｈ１１０４に対応する電極端子Ｈ１３０２とを有している。また、この配線テープ端部に位置し本体装置からの電気信号を受け取るための外部信号入力端子Ｈ１３０１を有した電気コンタクト基板Ｈ２２００と電気的接続を行なうための電極端子部Ｈ１３０３を有している。電極端子Ｈ１３０２と電極端子部１３０３は、連続した銅箔の配線パターンでつながっている。なお、図４中、Ｈ１３１０は端子結合穴を示す。

電気配線テープＨ１３００と第１の記録素子基板１１００と第２の記録素子基板Ｈ１１０１は、それぞれ電気的に接続されている。例えば、記録素子基板の電極１１０４と電気配線テープＨ１３００の電極端子Ｈ１３０２が、熱超音波圧着法により電気接合されている。

第２のプレートＨ１４００は、例えば、厚さ０.５ｍｍ以上、１ｍｍ以下の一枚の板状部材である。これは、例えば、アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）等のセラミックや、Ａｌ、ＳＵＳなどの金属材料で形成されている。そして、第１のプレートＨ１２００に接着固定された第１の記録素子基板Ｈ１１００と第２の記録素子基板Ｈ１１０１の外形寸法よりも大きな開口部をそれぞれ有する形状となっている。また、第１の記録素子基板Ｈ１１００及び第２の記録素子基板Ｈ１１０１と電気配線テープＨ１３００を平面的に電気接続できるようにする。そのために、第１のプレートＨ１２００に第２の接着剤により接着されており、電気配線テープＨ１３００の裏面が第３の接着剤により接着固定される。

第１の記録素子基板Ｈ１１００及び第２の記録素子基板Ｈ１１０１と電気配線テープＨ１３００の電気接続部分は、第１の封止剤Ｈ１３０７（図３等）及び第２の封止剤Ｈ１３０８（図３等）により封止されている。これにより、電気接続部分をインクによる腐食や外的衝撃から保護している。第１の封止剤は、主に電気配線テープの電極端子Ｈ１３０２と記録素子基板の電極Ｈ１１０４との接続部の裏面側と記録素子基板の外周部分を封止している。第２の封止剤Ｈ１３０８は、前記接続部の表側を封止している。

さらに、電気配線テープの端部に本体装置からの電気信号を受け取るための外部信号入力端子Ｈ１３０１を有した電気コンタクト基板Ｈ２２００を異方性導電フィルム等を用いて熱圧着して電気的に接続する。そして、電気配線テープＨ１３００は、第１のプレートＨ１２００の一側面で折り曲げられ、第１のプレートＨ１２００の側面に第３の接着剤で接着される。第３の接着剤は、例えばエポキシ樹脂を主成分とした熱硬化接着剤が好ましい。

＜１−２＞インク供給ユニット
インク供給部材Ｈ１５００は、例えば、樹脂成形により形成されている。該樹脂材料には、形状的剛性を向上させるためにガラスフィラーを５％以上、４０％以下混入した樹脂材料を使用することが望ましい。

図７に示すように、インク供給部材Ｈ１５００は、インクタンクＨ１９００から記録素子ユニットＨ１００２にインクを導くためのインク供給ユニットＨ１００３の一構成部品である。ここでは、流路形成部材Ｈ１６００を超音波溶着することにより、インク流路Ｈ１５０１を形成している。また、インクタンクＨ１９００と係合するジョイント部Ｈ１５２０には、外部からのゴミの進入を防ぐためのフィルターＨ１７００が溶着により接合されている。さらに、ジョイント部Ｈ１５２０からのインクの蒸発を防止するために、シールゴムＨ１８００が装着されている。なお、図７中、符号Ｈ１５０２はタンク位置決め穴、Ｈ１５０４は第２の穴、Ｈ１９０８はタンク位置決めピン、Ｈ１９０９は第１の爪、１９１１は第３の爪、Ｈ１９１２は可動レバーを示す。

また、インク供給部材Ｈ１５００は、着脱自在のインクタンクＨ１９００を保持する機能も一部有しており、インクタンクＨ１９００の第２の爪Ｈ１９１０を係合する第１の穴Ｈ１５０３を有している。

また、図４に示すように、記録ヘッドカートリッジＨ１０００をインクジェット記録装置本体のキャリッジに装着位置に案内するための装着ガイドＨ１６０１を備えている。さらに、記録ヘッドカートリッジをヘッドセットレバーによりキャリッジに装着固定するための係合部も備えている。さらに、キャリッジの所定の装着位置に位置決めするためのＸ方向（キャリッジスキャン方向）の突き当て部Ｈ１５０９、Ｙ方向（記録メディア搬送方向）の突き当て部Ｈ１５１０、Ｚ方向（インク吐出方向）の突き当て部Ｈ１５１１も備えている。また、記録素子ユニットＨ１００２の電気コンタクト基板Ｈ２２００を位置決め固定する端子固定部Ｈ１５１２を有している。端子固定部Ｈ１５１２及びその周囲には、複数のリブが設けられ、端子固定部Ｈ１５１２を有する面の剛性を高めている。なお、図４中、符号Ｈ１６０２はインク供給口を示す。

＜１−３＞記録ヘッドユニットとインク供給ユニットの結合
図３に示した通り、記録ヘッドＨ１００１は、記録素子ユニットＨ１００２をインク供給ユニットＨ１００３に結合しさらにタンクホルダーＨ２０００と結合することにより完成する。結合は以下のように行われる。記録素子ユニットＨ１００２のインク供給口（第１のプレートＨ１２００のインク供給口Ｈ１２０１）とインク供給ユニットＨ１００３のインク供給口（流路形成部材Ｈ１６００のインク供給口）をインクがリークしないように連通させる。このため、ジョイントゴムＨ２３００を介してそれぞれの部材を圧着するようビスＨ２４００で固定する。この際同時に、記録素子ユニットＨ１００２はインク供給ユニットのＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向の基準位置に対して正確に位置決めがされ固定される。

そして記録素子ユニットＨ１００２の電気コンタクト基板Ｈ２２００はインク供給部材Ｈ１５００の一側面に、端子位置決めピンＨ１５１５（２ヶ所）と端子位置決め穴Ｈ１３０９（２ヶ所）により位置決めされ、固定される。なお、図４中、符号Ｈ１５１６は端子結合ピンを示す。固定方法は、例えば、インク供給部材Ｈ１５００に設けられた端子結合ピンＨ１５１５をかしめることにより固定されるが、その他の固定手段を用いて固定しても良い。完成図を図８に示す。

さらにインク供給部材Ｈ１５００のタンクホルダーとの結合穴及び結合部をタンクホルダーＨ２０００に勘合させ結合することにより記録ヘッドＨ１００１が完成する。その完成図を図９に示す。

＜２＞記録ヘッドカートリッジ
図１及び図２は、記録ヘッドカートリッジＨ１０００を構成する記録ヘッドＨ１００１とインクタンクＨ１９０１、Ｈ１９０２、Ｈ１９０３、Ｈ１９０４の装着を説明する図である。インクタンクＨ１９０１、Ｈ１９０２、Ｈ１９０３、Ｈ１９０４の内部には、対応する色のインクが収納されている。また、図７に示すようにそれぞれのインクタンクには、インクタンク内のインクを記録ヘッドＨ１００１に供給するためのインク供給口Ｈ１９０７が形成されている。例えばインクタンク１９０１Ｈが記録ヘッドＨ１００１に装着されると、インクタンクＨ１９０１のインク供給口Ｈ１９０７が記録ヘッドＨ１００１のジョイント部Ｈ１５２０に設けられたフィルターＨ１７００と圧接される。そして、インクタンクＨ１９０１内のブラックインクがインク供給口Ｈ１９０７から記録ヘッドＨ１００１のインク流路Ｈ１５０１を介して第１のプレートＨ１２００を通り第１の記録素子基板に供給される。

そして、電気熱変換素子Ｈ１１０３と吐出口Ｈ１１０７のある発泡室にインクが供給され、電気熱変換素子Ｈ１１０３に与えられる熱エネルギーによって被記録媒体である記録用紙に向けて吐出される。

次に、上記構成の記録ヘッドの製造工程のうち、第１のプレートＨ１２００（支持部材）へ第１の記録素子基板Ｈ１１００を接着剤を用いて接合する工程について説明する。

図１０（ａ）乃至（ｃ）、図１１（ｄ）及び（ｅ）、図１２（ｆ）及び（ｇ）は、本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法の実施形態を説明するための断面図である。なお、図１０乃至図１２は、第１の記録素子基板Ｈ１１００をその吐出口列の長手方向に沿って切断した断面を示している。

図１０乃至図１２において、符号Ｈ１０１は接着剤Ｈ１２０２を塗布する転写ピン、符号Ｈ１０６は記録素子基板を吸着し位置決めを行なう真空吸着フィンガーを示している。
また、符号Ｈ１１０及びＨ１１１は記録素子基板の位置を認識するためのＣＣＤカメラ、符号Ｈ１１２及びＨ１１３は紫外線照射ノズルをそれぞれ示している。

第１のアルミナよりなるプレートＨ１２００へ第１の素子基板であるシリコン基板を用いて作られた記録素子基板Ｈ１１００を取り付ける工程においては、まず、図１０（ａ）に示すように、転写ピンＨ１０１の転写面に接着剤Ｈ１２０２を塗布する。続いて、同図（ａ）に示すように、転写ピンＨ１０１の転写面を第１のプレートＨ１２００に当接させる。そして、同図（ｃ）に示すように、転写ピンＨ１０１を第１のプレートＨ１２００から離すと、第１のプレートＨ１２００の接合面に接着剤Ｈ１２０２が塗布される。

このときの第１のプレートＨ１２００上の接着剤Ｈ１２０２は、第１の記録素子基板Ｈ１１００の当接する位置よりも外側にシフトした位置に転写されるようにしている。この接着剤は、紫外線を照射しても熱を加えても硬化する紫外線・熱硬化併用型のもので、インクに対して耐性があり転写性の優れたものを用いている。

次に、図１１（ｄ）に示すように、真空吸着フィンガーＨ１０６により第１の記録素子基板Ｈ１１００の吐出口Ｈ１１０７を形成するインク流路壁Ｈ１１０６の面を吸着把持する。そして、ＣＣＤカメラＨ１１０及びＨ１１１により第１の記録素子基板Ｈ１１００の不図示のアライメントマークを光学的に認識して、第１のプレートＨ１２００との位置合わせを行う。続いて、図１１（ｅ）に示すように、位置決めされた真空吸着フィンガーＨ１０６を下降させ、第１の記録素子基板Ｈ１１００を第１のプレートＨ１２００に当接させかつ押圧する。これにより、接着剤Ｈ１２０２が同図に示すように第１の記録素子基板Ｈ１１００の長手方向の端部にはみ出してくる。図においてはインク流路外側にのみ接着剤Ｈ１２０２がはみ出しているように見えるが、実際は後述するようにインク流路内（特にインク供給口内）にもわずかに接着剤がはみ出ている。

そして、図１２（ｆ）に示すように、第１のプレートＨ１２００に第１の記録素子基板Ｈ１１００を押圧した状態を保持しながら、紫外線照射ノズルＨ１１２及びＨ１１３によって紫外線照射を行う。これにより、端部からはみ出た接着剤Ｈ１２０２を硬化させ、第１のプレートＨ１２００上に第１の記録素子基板Ｈ１１００の位置を固定（仮止め）する。さらに、同図（ｇ）に示すように、真空吸着フィンガーＨ１０６の真空を解除し移動させた後に、紫外線照射ノズルＨ１１２及びＨ１１３により吐出口Ｈ１１０７の面から紫外線を再度照射する。これにより、インク流路内（特にインク供給口内）にわずかにはみ出た接着剤Ｈ１２０２を硬化させ、インク流路や吐出口に接着剤が流れ出して詰まるのを防いでいる。またその後、加熱により接着剤をさらに硬化させることにより、さらに十分な接合力を得ることができる。

図１３は、組立工程中の図１１（ｅ）に示した第１の記録素子基板Ｈ１１００を示す斜視図である。この図に示すように、接着剤Ｈ１２０２は第１の記録素子基板Ｈ１１００の長手方向端部からはみ出している。

図１４は、組立工程中の図１１（ｅ）の状態にある第２の記録素子基板Ｈ１１０１を示す斜視図である。このように、第２の記録素子基板Ｈ１１０１もまた、上記に説明した工程と同様の工程で第１のプレートＨ１２００上に位置決め固定される。接着剤Ｈ１２０２は、第２の記録素子基板Ｈ１１０１の長手方向端部からはみ出している。

硬化後の接着剤の厚みが４μｍ未満の場合には接着不良を起こす場合があり、また接着剤の厚みが１０μｍを越えると記録素子基板から第１のプレートへの放熱が妨げられ、正常なインク吐出がなされなくなる場合がある。そのため、記録素子基板Ｈ１１００、Ｈ１１０１と第１のプレートＨ１２００との間の接着剤Ｈ１２０２の厚みは、約４μｍ以上、１０μｍ以下程度になるようにすることが望ましい。

以上の各実施形態において、記録方式として熱エネルギーを生成する電気熱変換体を用いたバブルジェット方式の特にサイドシュータ型について説明を行ってきたが、本発明はそれに限定されるものではない。例えば、電気機械変換体を用いたいわゆるピエゾ吐出方式、エッジシュータ型ヘッドといったタイプのインクジェットヘッドについても適用可能である。

次に、本発明に用いる接着剤について説明する。

本発明に用いる接着剤は、少なくともエポキシ樹脂、光カチオン重合開始剤、熱カチオン重合開始剤、及び、シランカップリング剤のアルコキシシラン基が反応促進剤によりあらかじめ加水分解しシラノール基に変換しているシランカップリング剤を含んでなる。

シランカップリング剤（加水分解前）としては、例えば、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（β−メトキシエトキシ）シラン、γ−（メタクリロイルオキシプロピル）トリメトキシシラン、γ−（メタクリロイルオキシプロピル）トリエトキシシラン、β−（３,４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン、γ−イソシアネートプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリエトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ−クロロプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−β−（アミノエチル）−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−β−（アミノエチル）−γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、スイッチング機能を有するケチミン基とアルコキシシリル基を持った３−トリエトキシシリル−Ｎ−（１,３−ジメチルブチリデン）等が挙げられる。ただし、シランカップリング剤はこれらに限定されるものではなく、同一分子内で有機材料と無機材料の橋かけ機能を有するものであれば使用可能である。

シランカップリング剤の好ましい添加量は、シランカップリング剤の種類、無機材料からなる接着対象の表面構造、接着剤の種類などによっても異なる。一般的には、接着剤中のエポキシ樹脂１００質量部に対して０.１質量部以上、３０質量部以下が好ましい。さらに、０.１質量部以上、１０質量部以下が特に好ましい。上記各範囲の下限値は、無機材料と有機材料の橋架け結合を十分に生じさせる点等において意義がある。また、上限値は、接着対象の表面にシランカップリング剤の単分子膜を形成し易くすることにより十分な橋架け結合を維持する点等において意義がある。

一般に、シランカップリング剤またはその溶液を添加した接着剤は、例えば、添加混合後１週間程度保存すると、シランカップリング剤中のアルコキシシラン基のシラノール基化がある程度進行する。しかしながら、温度、湿度、容器内の空気の割合等の保存条件に影響を受けるため、脱アルコール反応の反応率を管理し、接着条件を一定にして使用することは困難になる。そこで、本発明者らは、シランカップリング剤の加水分解反応に着目し、シランカップリング剤の加水分解反応を促進する物質（反応促進剤）を接着剤に添加した。これにより、シランカップリング剤のアルコキシシラン基が加水分解し、あらかじめシラノール基化される。そして、接着剤を記録素子基板に塗布後短時間にシランカップリング剤とシリコン等からなる基板が水素結合することで、接着性が改善される。さらに、その後の熱硬化プロセスにより、脱水縮合反応し、シランカップリング剤と基板はより強固な共有結合となるため、接着力が向上する。

反応促進剤としては、酸及び水のうち一方又は両方を好適に用いることができる。

反応促進剤として水を用いる場合、その水の添加量は、加水分解反応を促進する観点からは多いほど良い。ただし、水を多量に添加し過ぎると、接着剤の硬化物の物性が軟化したり、耐インク性が悪化したり、シランカップリング剤中に生成したシラノール基が重合して粘度上昇する場合がある。このような点から、水の添加量はシランカップリング剤１００質量部に対して、１０質量部以上、５００質量部以下が好ましい。水の添加量が１０質量部以上であれば、加水分解反応を促進する効果が高まる。また、５００質量部以下であれば、上記のような問題が生じ難くなる。なお、接着剤を構成する樹脂等にも少量ではあるが水分が混入している場合がある。したがって、カールフィッシャー試験機などを用いてその樹脂中の水分量をあらかじめ測定し、その水分量も考慮して反応促進剤としての水の添加量を決定することが好ましい。

反応促進剤として水を用いた場合は、加水分解反応の進行速度が比較的遅い。したがって、例えば水をシランカップリング剤に添加してから１日程度放置したものを、接着剤に添加することが好ましい。

反応促進剤として酸を用いる場合、有機酸を用いることが好ましい。有機酸の具体例としては、ギ酸、酢酸、プロピオン酸等のモノカルボン酸、シュウ酸、マロン酸、コハク酸等のジカルボン酸が挙げられる。特に毒性や揮発性を考慮すると、酢酸、シュウ酸がより好ましい。中でも酢酸は、シランカップリング剤のメトキシ基をより反応の早いアセトキシ基に置換すると考えられるので、シランカップリング剤の促進剤としての効果が最も大きい。なお、塩酸、硝酸等の無機酸も使用可能ではあるが、塩素イオン等のイオンのマイグレーションが生じて絶縁性を損なったり、腐食を招く場合があるので、特に電子材料の接着においては注意を要する。

酸が加水分解を促進させる理由は、シラノール基が弱酸性で安定なので、ｐＨを酸性にすることで化学平衡がアルコキシシラン基からシラノール基にシフトするためと考えられる。したがって、シランカップリング剤に事前に酸を添加してそれを接着剤に添加しても良いが、変換したシラノール基を維持するために接着剤のｐＨを酸性にすることが好ましい。

反応促進剤として酸を用いる場合、水に比べて酸の添加量は少量で良い。酸は加水分解反応において上述の様な触媒的機能を果たす成分だからである。酸の添加量はシランカップリング剤１００質量部に対して、０.０５質量部以上、５質量部以下が好ましい。酸の添加量が０.０５質量部以上であれば、接着剤のｐＨ低下による化学平衡の移行を十分図ることができる。また、５質量部以下であれば、酸の揮発による部材の腐食や接着剤中のエポキシ樹脂の重合等が生じ難くなる。

エポキシ樹脂は、一般に光カチオン反応性が良好であり、またラジカル重合性のアクリル系樹脂等と比較して耐アルカリインク性に優れるため流路を構成する接着剤として好ましい。中でも、脂環式エポキシ樹脂は光カチオン重合性が良好なため、本発明に最も適している。光反応性が良好であれば、紫外線照射後瞬時に硬化し、仮止め工程での位置精度が向上する。また、耐アルカリインク性が良好であれば、接着剤が流路を形成しても問題が生じない。

脂環式エポキシ樹脂の具体例としては、少なくとも１個の脂環式環を有する多価アルコールのポリグリシジルエーテル；シクロヘキセン環含有化合物またはシクロペンテン環含有化合物を酸化剤でエポキシ化することによって得られるシクロヘキセンオキサイド構造含有化合物またはシクロペンテンオキサイド構造含有化合物；ビニルシクロヘキサン構造を有する化合物を酸化剤でエポキシ化することによって得られるビニルシクロヘキサンオキサイド構造含有化合物；が挙げられる。例えば、水素添加ビスフェノールＡジグリシジルエーテル、３,４−エポキシシクロヘキシルメチル−３,４−エポキシシクロヘキシルカルボキシレート、３,４−エポキシ−１−メチルシクロヘキシル−３,４−エポキシ−１−メチルシクロヘキサンカルボキシレート、６−メチル−３,４−エポキシシクロヘキシルメチル−６−メチル−３,４−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、３,４−エポキシ−３−メチルシクロヘキシルメチル−３,４−エポキシ−３−メチルシクロヘキサンカルボキシレート、３,４−エポキシ−５−メチルシクロヘキシルメチル−３,４−エポキシ−５−メチルシクロヘキサンカルボキシレート、２−（３,４−エポキシシクロヘキシル−５,５−スピロ−３,４−エポキシ）シクロヘキサン−メタジオキサン、ビス（３,４−エポキシシクロヘキシルメチル）アジペート、ビニルシクロヘキセンジオキサイド、４−ビニルエポキシシクロヘキサン、ビス（３,４−エポキシ−６−メチルシクロヘキシルメチル）アジペート、３,４−エポキシ−６−メチルシクロヘキシルカルボキシレート、メチレンビス（３,４−エポキシシクロヘキサン）、ジシクロペンタジエンジエポキサイド、エチレングリコールジ（３,４−エポキシシクロヘキシルメチル）エーテル、エチレンビス（３,４−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート）、エポキシヘキサヒドロフタル酸ジオクチル、エポキシヘキサヒドロフタル酸ジ−２−エチルヘキシル等が挙げられる。

さらに硬化物の物性調整のために、脂環式エポキシ樹脂に、例えば芳香族エポキシ樹脂、脂肪族エポキシ樹脂、エポキシ変性ブタジエン樹脂、多価アルコール、酸無水物などを添加することも可能である。

芳香族エポキシ樹脂としては、例えば、少なくとも１個の芳香族環を有する多価フェノール、またはそのアルキレンオキサイド付加物のポリグリシジルエーテルを使用できる。その具体例としては、ビスフェノールＡ、ビスフェノールＦまたはこれらに更にアルキレンオキサイドを付加させた化合物のグリシジルエーテル、エポキシノボラック樹脂、ビスフェノールＡノボラックジグリシジルエーテル、ビスフェノールＦノボラックジグリシジルエーテル等が挙げられる。

脂肪族エポキシ樹脂の具体例としては、脂肪族多価アルコールまたはそのアルキレンオキサイド付加物のポリグリシジルエーテル、脂肪族長鎖多塩基酸のポリグリシジルエステル、脂肪族長鎖不飽和炭化水素を酸化剤で酸化することによって得られるエポキシ含有化合物、グリシジルアクリレートまたはグリシジルメタクリレートのホモポリマー、グリシジルアクリレートまたはグリシジルメタクリレートのコポリマー等が挙げられる。代表的な化合物として、１,４−ブタンジオールジグリシジルエーテル、１,６−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、グリセリンのトリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパンのトリグリシジルエーテル、ソルビトールのテトラグリシジルエーテル、ジペンタエルスリトールのヘキサグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールのジグリシジルエーテル、ポリプロピレングリコールのジグリシジルエーテル等の多価アルコールのグリシジルエーテル；プロピレングリコール、グリセリン等の脂肪族多価アルコールに１種または２種以上のアルキレンオキサイドを付加することによって得られるポリエーテルポリオールのポリグリシジルエーテル；脂肪族長鎖二塩基酸のジグリシジルエステル；が挙げられる。さらに、脂肪族高級アルコールのモノグリシジルエーテルやフェノール、クレゾール、ブチルフェノール、またこれらにアルキレンオキサイドを付加することによって得られるポリエーテルアルコールのモノグリシジルエーテル、高級脂肪酸のグリシジルエステル、エポキシ化大豆油、エポキシステアリン酸オクチル、エポキシステアリン酸ブチル、エポキシ化アマニ油も挙げられる。

エポキシ変性ブタジエン樹脂としては、例えば、旭電化工業(株)製のＢＦ―１０００、日本曹達(株)製のＥＰＢ−１３、ＥＰＢ−１０５４、日本石油化学(株)製のＥ−７００−３.５、Ｅ−７００−６.５、Ｅ−１０００−３.５、Ｅ−１０００−６.５、Ｅ−１０００―８、Ｅ−１８００−６.５（以上、全て商品名）等が挙げられる。

接着剤に用いる光カチオン重合開始剤としては、例えば、芳香族オニウム塩（J.POLYMER SCI:Symposium No.56, 383-395 (1976) 参照）、チバガイギー社製のイルガキュアー（登録商標）２６１、旭電化工業(株)製のＳＰ−１５０（商品名）、ＳＰ−１７０（商品名）等が挙げられる。

接着剤に用いる熱カチオン重合開始剤としては、例えば、三新化学工業(株)製のサンエイド（登録商標）ＳＩ−６０Ｌ、同ＳＩ−８０Ｌ、同ＳＩ−１００Ｌ、旭電化工業(株)製のＣＰ−６６（商品名）、ＣＰ−７７（商品名）、あるいは芳香族オニウム塩と還元剤との併用（特開昭５４−１０２３９４号公報、J.POLYMER SCI:Polymer Chemical Edition Vol.121, 97-109 (1983) 参照）等が挙げられる。

以下、実施例により本発明を更に詳細に説明する。以下において「部」は「質量部」を意味する。

＜実施例１＞
まず、以下の組成の接着剤（シランカップリング剤添加前）を用意した。

表１中の商品名は以下の製品を示す。
セロキサイド2021： （ダイセルUCB社製、脂環式エポキシ樹脂）。
EponSU 8： （SHELLケミカル社製、ビスフェノール型エポキシ樹脂）。
アデカオプトマーSP-170： （旭電化社製、光カチオン重合開始剤）。
アデカオプトロンCP-66： （旭電化社製、熱カチオン重合開始剤）。

この接着剤を構成する２種の樹脂及び２種の重合開始剤中に含まれる水分量は、０.２１％であった。

この接着剤に、シランカップリング剤（γグリシドキシプロピルトリメトキシシラン 東レダウコーニング社製、商品名SH6040）３部を混合し、攪拌しながら、さらに反応促進剤として酢酸０.２部をゆっくりと滴下し、１時間攪拌を行い、接着剤を得た。

＜実施例２＞
酢酸の添加量を０.０５部に変更したこと以外は、実施例１と同様にして接着剤を調製した。

＜実施例３＞
酢酸の添加量を５部に変更したこと以外は、実施例１と同様にして接着剤を調製した。

＜実施例４＞
まず、瓶内に実施例１と同様のシランカップリング剤１００部を入れ、攪拌しながら、反応促進剤として水１０部をゆっくりと滴下した。その後１時間攪拌し、瓶内を窒素パージし、室温で１日放置した。このようにして得たシランカップリング剤溶液３部を、実施例１と同じ接着剤（シランカップリング剤添加前）に添加したこと以外は、実施例１と同様にして接着剤を調製した。

＜実施例５＞
反応促進剤として水５０部を用いたこと以外は、実施例４と同様にしてシランカップリング剤溶液を調整し、調整したシランカップリング剤溶液１０部を添加し、実施例１と同様に接着剤を調製した。

＜実施例６＞
シランカップリング剤の量を３０部に変更し、反応促進剤として酢酸１部と水５部を併用したこと以外は、実施例１と同様にして接着剤を調製した。

＜実施例７＞
シランカップリング剤の量を３０部に変更し、反応促進剤としてシュウ酸０.５部を使用したこと以外は、実施例１と同様にして接着剤を調製した。

＜比較例１＞
反応促進剤（酢酸）を添加しなかったこと以外は、実施例１と同様にして接着剤を調製した。

＜インクジェット記録ヘッドＨ１００１、インク供給ユニットＨ１００３の作製＞
実施例１乃至７及び比較例１で調製した各接着剤を用いて、先に説明した工程に従い、記録素子基板と支持部材の接着を行った。

すなわち、まず実施例１乃至７及び比較例１で調製した接着剤を、記録素子基板（第１の記録素子基板Ｈ１１００）の接合面に塗布した。次いで、記録素子基板と支持部材（第１のプレートＨ１２００）とを互いに押圧させて、両者の接合面から接着剤Ｈ１２０２をはみ出させた。その際の押圧は約１０ｇ／ｍｍ²とした。さらに、支持部材に対する記録素子基板の位置決め固定を行い、その後、接合面からはみ出した接着剤に紫外線を照射して接着剤を瞬時に硬化させて仮止めを行った。仮止め時の紫外線照射条件は５００ｍＷ、１０Ｊとした（３６５ｎｍのアタッチメントでの値）。次いで、記録素子基板の吐出口面より紫外線を照射して、インク供給口にはみ出した接着剤を硬化させた。この時の紫外線照射条件は、５００ｍＷ、７.５Ｊとした（３６５ｎｍのアタッチメントでの値）。なお、照度は、照度計の受光器３６５ｎｍにおける値である。その後、さらに加熱硬化を行った。加熱条件は、１５０℃、３時間とした。

さらに、先に説明した記録素子ユニットの製造方法に従い、所定の電気配線の工程、封止工程を行った。作製した記録素子ユニットを前記方法で接合し、インク供給ユニットを得た。

＜評価＞
（１）連続印字性：
実施例１乃至７及び比較例１の接着剤を用いて作製したインク供給ユニットを、インクジェットプリンター（キヤノン(株)製、商品名ＢＪＦ８５０）を用いて連続にて１×１０⁸パルス印字を行い、その後ノズルチェックパターンを印字し、混色の有無を確認した。

（２）接着剤の接着性：
実施例１乃至７及び比較例１で調製した各接着剤の接着性を評価する為に、それら接着剤をシリコンベアウエハーにスケーラーで塗工し（厚さ約５０μｍ）、１５０℃、１８０分の条件で加熱硬化させて、ベタ膜を得た。このベタ膜をインクジェット用のマゼンタインクに浸漬させ、次いで１２１℃、２気圧の水蒸気雰囲気に１０時間曝した。この塗膜の残膜率を求め、以下の基準で接着性を評価し、結果を表２に示した。
「ＡＡ」：残膜率が８０％を超える。
「Ａ」 ：残膜率が６０以上、８０％以下。
「Ｃ」 ：残膜率が６０％未満。

（３）接着剤の保存性：
作製した接着剤１００ｍｌを１００ｍｌ用の遮光性のある容器に入れ、１ヶ月間２５℃、湿度６０％の状態に放置した。放置後の接着剤の状態を評価した。
「ＡＡ」：変化無し。
「Ａ」 ：１０％以内の粘度上昇がある。
「Ｃ」 ：１０％を超える粘度上昇がある。

本発明の記録ヘッドカートリッジの一実施形態を、記録ヘッドとインクタンクとが組み合わされた状態を示す斜視図である。 本発明の記録ヘッドカートリッジの一実施形態を、記録ヘッドとインクタンクとが分離された状態を示す斜視図である。 図１等に示した記録ヘッドカートリッジの分解斜視図である。 図３に示したインク供給ユニット及び記録素子ユニットの分解斜視図である。 図４に示した第１の記録素子基板を一部を破断して示した斜視図である。 図４に示した第２の記録素子基板を一部を破断して示した斜視図である 図１等に示した記録ヘッドカートリッジの断面図である。 図１等に示した記録ヘッドカートリッジにおける記録素子ユニットとインク供給ユニットとの結合体を示す斜視図である。 図１等に示した記録ヘッドカートリッジの底面を示す斜視図である。 本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法の一実施形態を説明する為の断面図である。 本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法の一実施形態を説明する為の断面図である。 本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法の一実施形態を説明する為の断面図である。 組立工程中の図１１（ｅ）に示した第１の記録素子基板を示す斜視図である。 組立工程中の図１１（ｅ）に示した第２の記録素子基板を示す斜視図である。 記録素子基板を支持部材上に搭載した状態の一例を示す断面図である。

符号の説明

Ｈ１０１ 転写ピン
Ｈ１０６ 真空吸着フィンガー
Ｈ１１０、Ｈ１１１ ＣＣＤカメラ
Ｈ１１２、Ｈ１１３ 紫外線照射ノズル
Ｈ１０００ 記録ヘッドカートリッジ
Ｈ１００１ 記録ヘッド
Ｈ１００２ 記録素子ユニット
Ｈ１００３ インク供給ユニット
Ｈ１１００、Ｈ１１００’ 第１の素子基板
Ｈ１１０１ 第２の素子基板
Ｈ１１０２ インク供給口
Ｈ１１０３ 電気熱変換素子
Ｈ１１０４ 電極
Ｈ１１０５ バンプ
Ｈ１１０６ インク流路壁
Ｈ１１０７ 吐出口
Ｈ１１０８ 吐出口列
Ｈ１１１０ Ｓｉ基板
Ｈ１２００ 第１のプレート
Ｈ１２０１ インク供給口
Ｈ１２０２ 接着剤
Ｈ１３００ 電気配線テープ
Ｈ１３０１ 外部信号入力端子
Ｈ１３０２ 電極端子
Ｈ１３０３ 電極端子部
Ｈ１３０７ 第１の封止剤
Ｈ１３０８ 第２の封止剤
Ｈ１３０９ 端子位置決め穴
Ｈ１３１０ 端子結合穴
Ｈ１４００ 第２のプレート
Ｈ１５００ インク供給部材
Ｈ１５０１ インク流路
Ｈ１５０２ タンク位置決め穴
Ｈ１５０３ 第１の穴
Ｈ１５０４ 第２の穴
Ｈ１５０９ Ｘ突き当て部
Ｈ１５１０ Ｙ突き当て部
Ｈ１５１１ Ｚ突き当て部
Ｈ１５１２ 端子固定部
Ｈ１５１５ 端子位置決めピン
Ｈ１５１６ 端子結合ピン
Ｈ１５２０ ジョイント部
Ｈ１６００ 流路形成部材
Ｈ１６０１ 装着ガイド
Ｈ１６０２ インク供給口
Ｈ１７００ フィルター
Ｈ１８００ シールゴム
Ｈ１９００ インクタンク
Ｈ１９０１ ブラックインクタンク
Ｈ１９０２ シアンインクタンク
Ｈ１９０３ マゼンタインクタンク
Ｈ１９０４ イエローインクタンク
Ｈ１９０７ インク供給口
Ｈ１９０８ タンク位置決めピン
Ｈ１９０９ 第１の爪
Ｈ１９１０ 第２の爪
Ｈ１９１１ 第３の爪
Ｈ１９１２ 可動レバー
Ｈ２０００ タンクホルダー
Ｈ２２００ 電気コンタクト基板
Ｈ２３００ ジョイントゴム
Ｈ２４００ ビス
１０１ 支持部材
１０１ａ 記録液供給流路
１０１ｂ 隔壁
１０３ 第１の記録素子基板
１０４ 吐出口プレート
１０４ａ 吐出口
１０５ 吐出エネルギー発生素子
１０６ 記録液供給口

Claims (8)

1. 少なくとも記録液を吐出するための複数の記録素子、吐出口及びインク流路が形成されており、該吐出口面とは反対側の面にインク供給口が配置されている記録素子基板と、該記録素子基板を保持固定する支持部材とを有し、該記録素子基板と該支持部材が接着剤により接合されているインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
   紫外線の照射により硬化する性質を有すると共に加熱により硬化する性質を有する接着剤を、前記支持部材の接合面に塗布する工程と、
   前記記録素子基板の接合面と前記支持部材の接着剤が塗布された接合面とを当接させて押圧して、前記接着剤を接合面からはみ出させる工程と、
   前記接合面からはみ出した接着剤に紫外線を照射して該接着剤を硬化させることにより仮止めを行う工程と、
   前記仮止めを行った後に、前記記録素子基板の吐出口面から紫外線を照射して、インク供給口内にはみだした接着剤を硬化させる工程とを有し、
   前記接着剤が、少なくともエポキシ樹脂、光カチオン重合開始剤、熱カチオン重合開始剤、及び、シランカップリング剤のアルコキシシラン基が反応促進剤によりあらかじめ加水分解しシラノール基に変換しているシランカップリング剤を含んでなることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
2. 反応促進剤が酸である請求項１記載のインジェット記録ヘッドの製造方法。
3. 反応促進剤が酢酸である請求項２記載のインジェット記録ヘッドの製造方法。
4. 反応促進剤が水である請求項１記載のインジェット記録ヘッドの製造方法。
5. 反応促進剤が酢酸及び水である請求項１記載のインジェット記録ヘッドの製造方法。
6. 記録素子基板がシリコン基板である請求項１乃至５の何れか一項記載のインジェット記録ヘッドの製造方法。
7. 請求項１乃至６の何れか一項記載の方法により製造されたことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
8. 請求項７記載のインクジェット記録ヘッドを備えたことを特徴とするインクジェット記録装置。

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