JP2007158219A - Displacement prevention device of container for housing substrate on shelf in stocker - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To maintain a positioning function and to carry in a FOUP to a shelf and to carry out the FOUP from the shelf by a robot hand even though the positioning means is shocked by the factor of an earthquake or the like to the extent so that its function is damaged, when the container such as the FOUP or the like for housing the substarte such as a wafer or the like freely inserting in and out is mounted to the predetermined position of the shelf in the stocker by a positioning means of a kinematic fitting mechanigm or the like. <P>SOLUTION: When the FOUP 8 is carried out from the shelf 2ax by the robot hand 7b, a linkage between a control lever comprising a first lever 22 and a second lever 23, and a locking lever 24 releases a catching engagement between the lever 24 and the FOUP 8 before the FOUP mounting surface of the robot hand 7b reaches the bottom face of the FOUP 8. When the FOUP 8 is carried in the shelf 2ax by the robot hand 7b, the linkage between the control lever and the lever 24 is released and a latching part 24c is automatically latched. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

懸垂式昇降搬送台車（以下ＯＨＴ台車という）、ローラコンベアほかこれに準ずる搬送手段によって移送されるＦＯＵＰ等の基板収納用容器（以下、一部例外を除き説明の便宜上ＦＯＵＰという）を保管し、ＦＯＵＰが移送される所定の経路の適所に配置され、各ＦＯＵＰが一個ずつ所定位置に位置決め作用を伴って載置される複数個の棚を備え、各ＦＯＵＰの棚への搬入及びその棚からの搬出をロボットハンドによって担うストッカーにおいて、
特に、ＦＯＵＰの棚への搬入又はＦＯＵＰの棚からの搬出を許容し、棚に載置されているＦＯＵＰが地震ほかによる大きな衝撃を受けても、棚に載置されたＦＯＵＰを施錠し、その位置変動を防止するＦＯＵＰの防振機構に関する。 Stores a substrate storage container (hereinafter referred to as FOUP for convenience of explanation, except for some exceptions) such as a suspension type lifting / lowering carriage (hereinafter referred to as OHT carriage), a roller conveyor, and other similar conveying means. The FOUP is arranged at a proper position on a predetermined route, and each FOUP is provided with a plurality of shelves with a positioning action at a predetermined position one by one, and each FOUP is carried into and out of the shelf. In the stocker that carries
In particular, the FOUP can be carried into or out of the shelf, and even if the FOUP placed on the shelf is subjected to a large impact by an earthquake or the like, the FOUP placed on the shelf is locked, The present invention relates to a vibration isolation mechanism for a FOUP that prevents position fluctuations.

近年、クリーンルーム内の工程内乃至工程間環状軌道に沿って配置され、ウエハの各種処理（薄膜形成、フォトリソグラフィー、洗浄、エッチング、検査等）を行う一連の処理ステーションで必要な処理を行うため、ステーション間の搬送にＯＨＴ台車が多用されている。
基板の処理工程は基板が収納されるＦＯＵＰに取り付けられたタグで管理され、タグの内容も基板処理工程の進行に従い逐次更新される。基板処理の工程はＦＯＵＰに付されたタグの情報により特定され、以降の必要な処理はこのタグ情報に基づきコンピュータによって管理される。 In recent years, in order to perform necessary processing in a series of processing stations that are arranged in a clean room in a process or along an annular orbit between processes and perform various processes (thin film formation, photolithography, cleaning, etching, inspection, etc.) of the wafer. OHT carts are frequently used for transportation between stations.
The substrate processing process is managed by a tag attached to the FOUP in which the substrate is accommodated, and the contents of the tag are sequentially updated as the substrate processing process proceeds. Substrate processing steps are specified by tag information attached to the FOUP, and subsequent necessary processing is managed by a computer based on the tag information.

このように複数の処理ステーションにて異なる種類の処理を順次１枚ずつ受ける基板の移送には、移送中は気密状態が保持され、処理ステーションにて所定の処理を受けるために前面の扉が開放され、一枚ずつ基板がロボットによって挿脱できるように構成したＦＯＵＰが用いられている。
このＦＯＵＰは、その内部に挿脱自在に多数枚保有されるウエハ等の基板に順次必要な処理を行う処理ステーションにＯＨＴ台車ほかの搬送手段によって搬送される。 In this way, when transferring substrates that sequentially receive different types of processing one by one at a plurality of processing stations, the airtight state is maintained during the transfer, and the front door is opened to receive predetermined processing at the processing stations. In addition, a FOUP configured so that substrates can be inserted and removed by a robot one by one is used.
The FOUP is transported by a transport means such as an OHT carriage to a processing station that sequentially performs necessary processing on a substrate such as a wafer held in a detachable manner.

ところで、ＦＯＵＰに収納される基板は各処理ステーションにおける処理の種類によって処理時間が異なるため、所定の処理を受ける前の基板を収納したＦＯＵＰは、工程待ちのため一旦、ストッカーに待機状態に置かれる場合が多い。
この際、ストッカー内に縦横に設けられた複数の棚の空き棚に移載ロボットを位置決めのうえ、前記ＦＯＵＰを搬入載置する。 By the way, since the processing time of the substrate stored in the FOUP varies depending on the type of processing in each processing station, the FOUP storing the substrate before receiving the predetermined processing is temporarily placed in a standby state in the stocker for waiting for a process. There are many cases.
At this time, the transfer robot is positioned on a plurality of empty shelves provided vertically and horizontally in the stocker, and the FOUP is loaded and placed.

さて、前記棚へのＦＯＵＰの搬入及び前記棚からのＦＯＵＰの搬出用としてスタッカクレーンに搭載されたロボットハンドが目的とする棚にＦＯＵＰを正常に搬入、搬出できるようＦＯＵＰと、当該ＦＯＵＰが載置される棚とには、キネマティック嵌合機構等ＦＯＵＰの上下動によって挿脱自在に相対位置を規制できる構成が採用されている。
なお、前記キネマティック嵌合手段は、ストッカー内の棚に通常規模の地震で受ける振動、衝撃が与えられたとしても、棚のＦＯＵＰ載置面とＦＯＵＰとの相対位置のずれを防止できる機能も備えるよう構成されている。 Now, the FOUP and the FOUP are placed so that the robot hand mounted on the stacker crane can normally carry in and out the FOUP to and from the shelf for carrying the FOUP into and out of the shelf. For the shelf to be used, a configuration is adopted in which the relative position can be removably regulated by vertical movement of the FOUP such as a kinematic fitting mechanism.
The kinematic fitting means also has a function of preventing a relative position shift between the FOUP mounting surface of the shelf and the FOUP even if the shelf in the stocker is subjected to vibrations or shocks received by a normal-scale earthquake. It is configured to provide.

以上述べた技術背景において、本発明は、棚のＦＯＵＰ用載置面（以下、棚板という）と、ＦＯＵＰとの相対位置を規制するキネマティック嵌合機構の防振作用維持を不可能とする通常規模を越えた強い地震等の対策に関するものである。
かかる本発明に対応する先行技術は特になく、本願発明との関係は希薄といえるが耐震に関する技術として下記特許文献１、２がある。 In the technical background described above, the present invention makes it impossible to maintain the anti-vibration effect of the kinematic fitting mechanism that regulates the relative position between the FOUP mounting surface of the shelf (hereinafter referred to as the shelf board) and the FOUP. It relates to countermeasures against strong earthquakes exceeding the normal scale.
There is no prior art corresponding to the present invention, and the relationship with the present invention is rare.

先ず、特許文献１に開示の技術は、当該特許文献１における従来技術として開示している図１３の構成の問題点を改善することを要旨としている。
即ち、この図１３の構成においては、ＯＨＴ台車１５の案内用レール２に対し、地震発生に伴う震動が、増幅傾向にて伝達され、ＯＨＴ台車１５の搬送システムが破壊される恐れがある。
これを改善するための構成として、例えば、図１〜図４に示されるように、第１支持平板３と第２支持平板４とを互いの対向面同士が周方向及び上下方向に揺動自在に接触させている。 First, the gist of the technique disclosed in Patent Document 1 is to improve the problem of the configuration of FIG. 13 disclosed as the prior art in Patent Document 1.
That is, in the configuration of FIG. 13, the vibration associated with the occurrence of the earthquake is transmitted to the guide rail 2 of the OHT carriage 15 with an amplification tendency, and the transport system of the OHT carriage 15 may be destroyed.
As a configuration for improving this, for example, as shown in FIGS. 1 to 4, the first support flat plate 3 and the second support flat plate 4 can be swung in the circumferential direction and the vertical direction with respect to each other. Is in contact with

そして、第１支持平板３の第２支持平板４に対向しない背面は第１懸吊部材５を介して天井１６に支持され、第２支持平板４の第１支持平板３に対向しない背面は第２懸吊部材１０を介してレール２を支持している。
前記特許文献１に開示の構成においては、地震発生時に天井１６が震動しても、この震動エネルギーは、第１支持平板３及び第２支持平板４の対向面相互間の揺動支持機能によって解消され、前記レール２を含む搬送システムの破壊を防止できる。 The back surface of the first support plate 3 not facing the second support plate 4 is supported by the ceiling 16 via the first suspension member 5, and the back surface of the second support plate 4 not facing the first support plate 3 is the first. The rail 2 is supported via the two suspension members 10.
In the configuration disclosed in Patent Document 1, even if the ceiling 16 vibrates when an earthquake occurs, this vibration energy is eliminated by the swing support function between the opposing surfaces of the first support flat plate 3 and the second support flat plate 4. Thus, it is possible to prevent the conveyance system including the rail 2 from being broken.

次に、特許文献２に開示の技術は、地震発生時において、その規模が家具の転倒の可能性を生じるまでに至った場合、自動車のエアバックシステムの原理にて家具の保護及びその転倒による人身事故を未然に防止する内容である。
即ち、図１（Ａ）（Ｂ）及び図２に示されるように、地震の規模に応じて、振動感応機構１３が作動し、ボンベ１２からガスが噴出し、気密容器１１を膨張させ、ボール紙製の収納箱を破壊して気密容器１１が家具Ｃと天井Ｓとの間に弾性的に圧接され、家具Ｃは的確に転倒防止作用を受けることができる。
特開２００５−１１２５６３ 特開２０００−１４４７３ Next, the technology disclosed in Patent Document 2 is based on the protection of furniture and the fall by the principle of the airbag system of an automobile when the scale reaches the possibility of the furniture falling when an earthquake occurs. This is a content to prevent personal injury.
That is, as shown in FIGS. 1A, 1B, and 2, the vibration sensing mechanism 13 operates according to the magnitude of the earthquake, gas is ejected from the cylinder 12, the airtight container 11 is expanded, and the ball By destroying the paper storage box, the airtight container 11 is elastically pressed between the furniture C and the ceiling S, and the furniture C can be accurately prevented from falling.
JP-A-2005-112563 JP 2000-14473 A

前述のように、ロボットアームによるＦＯＵＰの棚板への搬入及び棚板からの搬出を自動的にかつ安全に行うために、ストッカー内の棚板に載置されるＦＯＵＰは、棚板のＦＯＵＰ載置面においてキネマティック嵌合機構等の位置決め手段によって所定位置に載置される。
このキネマティック嵌合機構等の位置決め手段は、前記棚板が通常規模の地震による震動を受けても、嵌合強度によって定まる限度において位置決め作用を損なうことはない。 As described above, in order to automatically and safely carry the FOUP into and out of the shelf by the robot arm, the FOUP placed on the shelf in the stocker is mounted on the shelf FOUP. It is placed at a predetermined position on the placement surface by positioning means such as a kinematic fitting mechanism.
The positioning means such as the kinematic fitting mechanism does not impair the positioning action as long as the shelf board is subjected to vibration caused by a normal-scale earthquake, as long as it is determined by the fitting strength.

しかし、前記キネマティック嵌合手段の位置決め強度は、キネマティック嵌合手段が嵌合、分離自在の機構上の側面から判断して通常規模を越える強い震度の衝撃に対しては対応できない。
従って、キネマティック嵌合機構に伴う位置決めのうえ、ストッカー内の所定の棚板に載置されたＦＯＵＰは、通常規模を越える強い地震発生時には、キネマティック嵌合機構の機能を維持することができなくなり、ＦＯＵＰは棚板上を移動する。 However, the positioning strength of the kinematic fitting means cannot cope with an impact with a strong seismic intensity exceeding the normal scale as judged from the side of the mechanism that can be freely fitted and separated by the kinematic fitting means.
Therefore, the FOUP placed on a predetermined shelf in the stocker after positioning according to the kinematic fitting mechanism can maintain the function of the kinematic fitting mechanism when a strong earthquake exceeding the normal scale occurs. The FOUP moves on the shelf.

このように棚板上において移動する状態に至ったＦＯＵＰは、更なる震動を受ける場合には棚板から落下し、ＦＯＵＰ内に収納されている基板は、ＦＯＵＰ内壁から極めて大きな衝撃を受け、再生不能状態になり、不良化する。
ところで、製造途中にあるＦＯＵＰ内に収納される基板枚数は略２５枚である。
そして、この基板は、半導体応用製品の需要の増加に伴い、大型化（最大１２インチ）の傾向にあり、１個のＦＯＵＰに収納される基板価値は数千万円に及び、不良化による損害は極めて大きく、通常規模を越える強い地震ほか、キネマティック嵌合機構の機能を損なう程度の衝撃がＦＯＵＰ載置用棚板に与えられた場合においても、棚板に載置されているＦＯＵＰの落下を防止できる方策の発明が必要となる。 The FOUP that has reached the state of moving on the shelf board falls from the shelf board when subjected to further vibrations, and the substrate stored in the FOUP is subjected to an extremely large impact from the inner wall of the FOUP and regenerated. It becomes impossible and becomes defective.
By the way, the number of substrates stored in the FOUP in the middle of manufacture is approximately 25.
And this board tends to increase in size (up to 12 inches) with increasing demand for semiconductor application products, and the value of the board stored in one FOUP reaches tens of millions of yen. The FOUP placed on the shelf is dropped even when the FOUP placement shelf is subjected to an impact that impairs the function of the kinematic fitting mechanism, as well as a strong earthquake exceeding the normal scale. It is necessary to invent a measure that can prevent this.

いま、このような通常規模を越える強い地震ほかの衝撃を受けたＦＯＵＰの棚板からの落下と、これに伴う当該ＦＯＵＰ内の基板の損傷と、を防止する手段として前記特許文献１、２の技術を応用できるか否かを検討すると次の通りである。
特許文献１について：
特許文献１に開示の技術は、前記の通り、天井から懸吊状態にあるＯＨＴ台車等の案内用レールに対して、地震発生時に震動伝達を解消し、半導体製造システムの損傷を防止するものである。
従って、この特許文献１と本願発明とは、半導体製造システムに係る耐震手段とうい点に共通性を有するとしても、所定の棚板に載置されるＦＯＵＰの耐震手段を要旨とする技術への応用は困難と云える。 Now, as means for preventing such a FOUP from receiving a strong earthquake exceeding the normal scale and other impacts from being dropped from the shelf board and accompanying damage to the substrate in the FOUP, the above-mentioned Patent Documents 1 and 2 are used. It is as follows when the technology can be applied or not.
About Patent Document 1:
As described above, the technology disclosed in Patent Document 1 eliminates vibration transmission when an earthquake occurs and prevents damage to a semiconductor manufacturing system with respect to a guide rail such as an OHT carriage suspended from a ceiling. is there.
Therefore, even if this patent document 1 and the present invention have a common point with the seismic means related to the semiconductor manufacturing system, the technology is based on the FOUP seismic means placed on a predetermined shelf board. Application is difficult.

特許文献２について：
特許文献２に開示の技術は、地震による家具の転倒防止を目的とし、自動車のエアバック機能を応用したものである。
従って、特許文献２の箪笥と、当該箪笥を載置した床面を夫々半導体製造システムにおけるＦＯＵＰ及びストッカー内の棚板とに対応させれば、想定外の規模を有する地震の耐震手段として応用可能と考える。
しかし、一旦、耐震手段が作動した後は、前記エアバック機能同様、再利用不能で、その都度新たな耐震手段を設ける必要があり、とりわけ、半導体製造システムにおけるストッカー内の棚のように数量が多くなると、応用は困難と予測される。 Regarding Patent Document 2:
The technique disclosed in Patent Document 2 applies an air bag function of an automobile for the purpose of preventing furniture from falling down due to an earthquake.
Therefore, if the fence of Patent Document 2 and the floor on which the fence is placed correspond to the FOUP in the semiconductor manufacturing system and the shelf in the stocker, respectively, it can be applied as an earthquake-proof means for earthquakes with unexpected scales. I think.
However, once the seismic means are activated, it is not possible to reuse them as in the case of the air bag function, and it is necessary to provide new seismic means each time. If it increases, application is expected to be difficult.

そこで、本発明の目的は、半導体製造システム等のＦＯＵＰ用ストッカー内において、縦横に整列された多数の棚板の夫々における所定の位置に載置されたＦＯＵＰを、当該ＦＯＵＰの位置決め機構（キネマティック嵌合機構等）の機能を喪失する程度の衝撃（通常規模を越える強い地震に基づく）を受けても前記位置決め機構の機能を喪失させず、且つ、ロボットハンドによるＦＯＵＰの棚板からの搬出を許容するＦＯＵＰの変位防止装置を提供することにある。 Accordingly, an object of the present invention is to place a FOUP placed at a predetermined position on each of a large number of shelves arranged vertically and horizontally in a FOUP stocker such as a semiconductor manufacturing system, and a positioning mechanism (kinematic) of the FOUP. The function of the positioning mechanism is not lost even when an impact (based on a strong earthquake exceeding the normal scale) is received to the extent that the function of the fitting mechanism or the like is lost, and the robot hand can carry out the FOUP from the shelf board. It is an object of the present invention to provide an FOUP displacement prevention device that allows it.

課題を解決するための手段及び効果Means and effects for solving the problems

前記課題を解決するため、請求項１に記載のストッカー内の棚における基板収納用容器の変位防止装置は、縦横に整列された多数の棚と、当該各棚に対する基板収納用容器の所定位置への規制手段と、当該各棚に対する基板収納用容器の前記所定位置への搬入及び前記所定位置からの搬出を担うロボットと、を含むストッカーにおいて、前記各棚に対し、基板収納用容器が少なくとも左右１対の施錠機構を備え、
当該施錠機構が
（イ）
前記棚の所定位置に載置されている基板収納用容器の前記ロボットによる搬出動
作に先だって開錠されること
（ロ）基板収納用容器が、前記ロボットによって基板収納用容器が載置されていない棚の所定位置への搬入動作に先だって前記施錠機構が開錠され、基板収納用容器の前記所定位置への載置により前記施錠機構が施錠されること
（ハ）前記ロボットの作用を受けることなく棚の所定位置に載置されている基板収納用容器を、ストッカーが通常規模を越える強い地震などで受ける衝撃を受け、この衝撃が前記規制手段のみによってはその位置決め機能を損なう程度に及ぶ場合でも、前記規制手段によって定まる所定位置に維持すること In order to solve the above-described problem, the apparatus for preventing displacement of a substrate storage container in a shelf in a stocker according to claim 1 has a number of shelves arranged vertically and horizontally and a predetermined position of the substrate storage container with respect to each shelf. And a robot responsible for loading and unloading the substrate storage container to and from the predetermined position with respect to each shelf. With a pair of locking mechanisms,
The locking mechanism is (I)
The substrate storage container placed at a predetermined position on the shelf is unlocked prior to the unloading operation by the robot. (B) The substrate storage container is not placed on the substrate storage container by the robot. Prior to the loading operation of the shelf to the predetermined position, the locking mechanism is unlocked, and the locking mechanism is locked by placing the substrate storage container at the predetermined position. (C) Without being affected by the robot Even when the storage container placed at a predetermined position on the shelf receives an impact that the stocker receives due to a strong earthquake exceeding the normal scale, etc., even if this impact only affects the positioning function depending on the regulating means alone And maintaining a predetermined position determined by the restricting means.

この請求項１に係る発明によれば、半導体、液晶等の製造システムにおいて、少なくとも1箇所の処理ステーションにて処理を終えた基板或いは未処理の基板を収納した多くの基板収納用容器が個々に所定の棚の正規に位置決めされ載置されている状態において、前記位置決めの手段（キネマティック嵌合機構等）の機能を喪失する程度の衝撃を通常規模を越える強い地震等により受けた際において、基板収納用容器はストッカー内の棚における所定位置のずれを生じる恐れがない。
従って、通常規模を越える強い地震等による衝撃を受けても基板収納用容器の棚からの落下を未然に防止でき、想定外の巨大地震によるストッカ−自身の倒壊が生じない限り基板収納用容器内の基板の不良化を的確に抑制乃至防止することができる。
しかも、棚へ基板収納用容器の搬入及び棚からの基板収納用容器の搬出はロボットハンドの作用を伴って自在に行える利点を維持する効果を奏する。 According to the first aspect of the present invention, in a manufacturing system for semiconductors, liquid crystals, etc., many substrate storage containers each storing a substrate that has been processed or unprocessed at at least one processing station are individually provided. In a state in which the predetermined shelf is properly positioned and placed, when an impact such as a loss of function of the positioning means (kinematic fitting mechanism, etc.) is received due to a strong earthquake exceeding a normal scale, There is no fear that the substrate storage container is displaced in a predetermined position on the shelf in the stocker.
Therefore, it is possible to prevent the substrate storage container from falling off the shelf even if it is subjected to an impact such as a strong earthquake exceeding the normal scale, and the inside of the substrate storage container is not damaged unless the stocker collapses due to an unexpected large earthquake. It is possible to accurately suppress or prevent the substrate from becoming defective.
In addition, there is an effect of maintaining the advantage that the loading of the substrate storage container to the shelf and the removal of the substrate storage container from the shelf can be performed freely with the action of the robot hand.

請求項２に記載のストッカー内の棚における基板収納用容器の変位防止装置は、請求項１に記載のストッカー内の棚における基板収納用容器の変位防止装置において、前記基板がウエハであり、容器が前記ウエハを挿脱自在に収納するＦＯＵＰであることを特徴とする。
この請求項２に係る発明によれば、引用先の請求項１に係る発明の効果は元より、特に高価なウエハの不良化を未然に防止できる。 The apparatus for preventing displacement of a substrate storage container in a shelf in a stocker according to claim 2 is the displacement prevention apparatus for a substrate storage container in a shelf in a stocker according to claim 1, wherein the substrate is a wafer, Is a FOUP that removably accommodates the wafer.
According to the second aspect of the present invention, the effect of the invention according to the first aspect of the cited reference can be prevented, and in particular, the deterioration of a particularly expensive wafer can be prevented.

請求項３に記載のストッカー内の棚における基板収納用容器の変位防止装置は、請求項１又は２に記載のストッカー内の棚における基板収納用容器の変位防止装置において、請求項１に記載の施錠機構が
（イ）一端がロボットハンドの側方に支持された所定長さのバー部材の他端部に、当該ロボットハンドの進退方向を軸心とし、回転自在に支持される第１のローラ
（ロ）一方端部同士が第１の回転軸にて互いに回動可能に連結される第１及び第２のレバーを有する操作レバーであって、前記第１のローラが下方向の動作にて係合した時、前記第１の回転軸を中心に第１のレバーを回動させ、前記第１のローラが上方向の動作にて係合した時、前記第１のレバーが第２のレバーと一体となり、当該第２のレバーを回動可能に支持する第２の回転軸を中心に回転させる前記第１のローラと前記第２のローラとを係合する係合部材を備え、第２のレバーにおける端部のうち前記第１の回転軸と反対側の端部に前記ロボットハンドの進退方向に軸心を有し、回転自在に支持される第２のローラを備えた操作レバー
（ハ）前記操作レバーに設けられた前記第２のローラに係合して作動する施錠レバーであって、第３の回転軸により略中央部において棚板に回動可能に支持され、一方の端部が基板収納用容器壁面の施錠部に当接して基板収納用容器を棚板に固定し、基板収納用容器の棚板への載置を許容する傾斜面を形成している施錠手段を有し、他方の端部が前記第２のローラに係合し、前記操作レバーに連動して前記第３の回転軸を中心に回動し、前記施錠手段による施錠と開錠を行う施錠レバー
を備えていることを特徴とする。 The displacement prevention device for a substrate storage container in a shelf in a stocker according to claim 3 is the displacement prevention device for a substrate storage container in a shelf in a stocker according to claim 1 or 2, The locking mechanism is (a) a first roller that is rotatably supported at the other end of a bar member having a predetermined length, one end of which is supported on the side of the robot hand, with the advancing / retreating direction of the robot hand as an axis. (B) An operating lever having first and second levers whose one ends are connected to each other by a first rotating shaft so that the first roller is moved downward. When engaged, the first lever is pivoted about the first rotation axis, and when the first roller is engaged by an upward movement, the first lever is the second lever. And a second turn that rotatably supports the second lever. An engagement member that engages the first roller and the second roller that rotate about a shaft; and an end portion of the second lever opposite to the first rotation shaft. An operation lever having a second roller that has an axial center in the advancing / retreating direction of the robot hand and is rotatably supported (c) engages with the second roller provided on the operation lever and operates. A locking lever, which is rotatably supported by a shelf at a substantially central portion by a third rotating shaft, and has one end abutting against the locking portion of the wall surface of the substrate storage container so that the substrate storage container is Locking means that forms an inclined surface that allows the substrate storage container to be placed on the shelf plate, the other end engages with the second roller, and the operation lever In conjunction with this, it is rotated around the third rotation shaft and locked and unlocked by the locking means. Characterized in that it comprises a lever.

この請求項３に係る発明によれば、引用先の請求項１又は２に係る発明の効果は元より、
操作レバー及び施錠レバーの相互作用に伴って、ロボットハンドには、ＦＯＵＰの棚への搬入とＦＯＵＰの棚からの搬出何れの場合においても、前記操作レバーの駆動部材に対して複雑な機構をなす伸縮機構を設けることなく施錠機構を的確に作動させることができる。 According to the invention according to claim 3, the effect of the invention according to claim 1 or 2 to be cited is
In accordance with the interaction between the operation lever and the locking lever, the robot hand forms a complicated mechanism with respect to the drive member of the operation lever regardless of whether the FOUP is loaded into the FOUP shelf or unloaded from the FOUP shelf. The locking mechanism can be accurately actuated without providing an expansion / contraction mechanism.

請求項４に記載のストッカー内の棚における基板収納用容器の変位防止装置は、請求項１又は２に記載のストッカー内の棚における基板収納用容器の変位防止装置において、請求項１に記載の施錠機構が
（イ）
ロボットハンドの側方に伸縮制御を受け、ロボットハンドが棚に載置されている基板収納用容器の搬出時に上昇する際にのみ伸長し、それ以外には縮退するロッドの先端部に位置し、前記ロボット用ハンドの進退方向の軸心を有し、回転自在に支持される第１のローラ
（ロ）前記第１のローラとの係合がない状態においては、第１の回転軸からの向きを規制するばねを有し、前記第１のローラと係合し、この係合個所が上向きに回動するに際しては、前記ばねの復帰力に抗して、前記第１の回転軸を中心に回動し、第１のローラを有しない側の端部には前記ロボットハンドの進退方向に軸心を有し、回転自在に支持される第２のローラを備えた操作レバー
（ハ）前記操作レバーに設けられた前記第２のローラに係合して作動する施錠レバーであって、第２の回転軸により略中央部において回動可能に支持され、一方の端部が基板収納用容器壁面の施錠部に当接して基板収納用容器を棚板に固定し、基板収納用容器の棚板への載置を許容する傾斜面を形成している施錠手段を有し、他方の端部が前記第２のローラに係合し、前記操作レバーに連動して前記第２の回転軸を中心に回動し、前記施錠手段による施錠と開錠を行う施錠レバー
を備えていることを特徴とする。 The displacement prevention device for a substrate storage container in a shelf in a stocker according to claim 4 is the displacement prevention device for a substrate storage container in a shelf in a stocker according to claim 1 or 2, Locking mechanism is (I)
The robot hand is subjected to expansion / contraction control on the side, and is extended only when the robot hand is lifted when the substrate storage container placed on the shelf is carried out, otherwise it is positioned at the tip of the rod that is retracted, A first roller (b) having an axis center in the advancing / retreating direction of the robot hand and rotatably supported (b) direction from the first rotating shaft in a state where the robot hand is not engaged with the first roller A spring that regulates the movement of the first roller and engages with the first roller, and when the engaging portion rotates upward, the spring rotates against the return force of the spring, with the first rotation shaft as a center. An operation lever (c) provided with a second roller that rotates and has an axial center in the advancing and retreating direction of the robot hand at the end on the side not having the first roller, and is rotatably supported A locking lever that operates by engaging with the second roller provided on the lever. Thus, the second rotating shaft is supported so as to be rotatable at the substantially central portion, and one end abuts against a locking portion of the substrate storage container wall surface to fix the substrate storage container to the shelf board. Locking means forming an inclined surface allowing the container to be placed on the shelf, the other end engaging the second roller, and interlocking with the operation lever, the second A locking lever is provided that rotates around the rotation axis and performs locking and unlocking by the locking means.

この請求項４に係る発明によれば、引用先の請求項１又は２に係る発明の効果は元より、
ロボット用ハンドの両側方に設けられる部材に支持されたローラ、操作レバー、施錠レバーなどの相互作用によって施錠機構を的確に作動させることができる。 According to the invention according to claim 4, the effect of the invention according to claim 1 or 2 to be cited is
The locking mechanism can be accurately operated by the interaction of rollers, operation levers, locking levers and the like supported by members provided on both sides of the robot hand.

請求項５に記載のストッカー内の棚における基板収納用容器の変位防止装置は、請求項１又は２に記載のストッカー内の棚における基板収納用容器の変位防止装置において、請求項１に記載の施錠機構が
（イ）
ロボットハンドの側方に伸縮制御を受け、ロボット用ハンドが棚に載置されている基板収納用容器の搬出時上昇する際にのみ伸長し、それ以外には縮退するロッドの先端部に位置し、前記ロボットハンドの進退方向に軸心を有し、回転自在に支持されるローラ
（ロ）ロボット用ハンドが基板収納用容器の搬出時において上昇する際に、前記ローラとの係合によって所定位置から上方に向け、前記ロボットハンドの進退方向の軸心において回動する機構と、前記ローラとの係合がない状態において、所定位置に規制する第１のばねと、によって回動制御を受ける操作レバー
（ハ）前記操作レバーと回転の中心を共通とし、当該操作レバーの所定個所に設けられた突起
（ニ）上部先端部に施錠部を形成し、前記ロボットハンドの進退方向の軸心において回動する機構と、前記施錠部を基板収納用容器の施錠部位に押圧するための第２のばねを有し、前記施錠部は、基板収納用容器の棚への搬入を許容する傾斜面を有している施錠レバー（ホ）前記突起と施錠レバーの下方部とが両端部において係合し、前記操作レバーが前記ローラによって上方への力を受けた際、施錠レバーの施錠部が基板収納用容器の施錠部位から離れる方向に作用する伝達機能を備えたロッド
を備えていることを特徴とする。 The displacement prevention device for a substrate storage container in a shelf in a stocker according to claim 5 is the displacement prevention device for a substrate storage container in a shelf in a stocker according to claim 1 or 2, Locking mechanism is (I)
The robot hand receives expansion / contraction control from the side, and is extended only when the robot hand rises when the substrate storage container placed on the shelf is lifted, and otherwise it is located at the tip of the rod that retracts. A roller (b) having a shaft center in the advancing and retreating direction of the robot hand and rotatably supported (b) When the robot hand rises when the substrate storage container is unloaded, the robot hand is engaged with the roller at a predetermined position. From the top to the top, a mechanism that rotates around the axis of the robot hand in the forward and backward direction, and a first spring that regulates to a predetermined position in a state in which the robot hand is not engaged with the roller Lever (c) The same center of rotation as the operation lever, and a locking part is formed at the top end of the protrusion (d) provided at a predetermined position of the operation lever, and the axis of the robot hand is moved forward and backward And a second spring for pressing the locking portion against the locking portion of the substrate storage container, and the locking portion is an inclined surface that allows the substrate storage container to be carried into the shelf. The locking lever (e) having the protrusion engages the projection and the lower portion of the locking lever at both ends, and when the operating lever receives an upward force by the roller, the locking portion of the locking lever is the substrate. A rod having a transmission function acting in a direction away from the locking part of the storage container is provided.

この請求項５に係る発明によれば、引用先の請求項１又は２に係る発明の効果は元より、
第６及び第７のレバーと、これらの各レバーの回転を伝達するロッドと、ロボット両側方から伸縮制御を受ける部材に支持されるローラとの相互作用によって施錠機構を的確に作動させることができる。 According to the invention according to claim 5, the effect of the invention according to claim 1 or 2 to be cited is
The locking mechanism can be accurately actuated by the interaction of the sixth and seventh levers, the rods that transmit the rotations of these levers, and the rollers that are supported by members that receive expansion / contraction control from both sides of the robot. .

以下、本発明の好適な実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
先ず、この実施の形態に関連する図面の概要を述べると、図１は本発明が適用されるストッカーの内部機構を表示する斜視図、図２はＦＯＵＰに対するロボットハンド及び棚板との位置決め手段を表示する平面図、図３は本発明に係る施錠機構の動作原理図で、（Ａ）は棚からのＦＯＵＰの搬出時の動作を示し、（Ｂ）は棚へのＦＯＵＰの搬入時の動作を示す。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
First, the outline of the drawings related to this embodiment will be described. FIG. 1 is a perspective view showing an internal mechanism of a stocker to which the present invention is applied, and FIG. 2 shows positioning means for a robot hand and a shelf board with respect to the FOUP. FIG. 3 is an operation principle diagram of the locking mechanism according to the present invention, (A) shows the operation when carrying out the FOUP from the shelf, and (B) shows the operation when carrying the FOUP into the shelf. Show.

次に、本発明を適用する基礎となる構成について、図１及び図２を参照して説明する。
図１は、クリーンルーム内等に設置されたストッカー１の概略を示すものである。当該ストッカー１はＦＯＵＰ８を保管する棚２ａを上下左右に多数列配設した棚群２と、所定の収納棚２ａにＦＯＵＰ８を搬入又は所定の収納棚２ａからＦＯＵＰ８を搬出するスタッカクレーン３とを有している。 Next, a basic configuration to which the present invention is applied will be described with reference to FIGS.
FIG. 1 shows an outline of a stocker 1 installed in a clean room or the like. The stocker 1 has a shelf group 2 in which shelves 2a for storing the FOUPs 8 are arranged in multiple rows in the vertical and horizontal directions, and a stacker crane 3 for loading the FOUPs 8 into or removing the FOUPs 8 from the predetermined storage shelves 2a. is doing.

そして、スタッカクレーン３は、棚群２に沿って走行自在且つ昇降自在な可動ベース９と、この可動ベース９に設けられ、棚群２に向って伸縮自在なアーム機構を有するロボット７とを備えており、このロボット７にて、ＦＯＵＰ８を保持するとともに各棚２ａに対する搬入および搬出を行う。また、前記可動ベース９は、棚群２に平行な走行レール４を走行する走行部５と、当該走行部５に縦設されたポスト部６との各動作の組合せによって、前記棚群２に対向する平面の任意の位置に移動制御を受ける。 The stacker crane 3 includes a movable base 9 that can run and move up and down along the shelf group 2, and a robot 7 that is provided on the movable base 9 and has an arm mechanism that can extend and retract toward the shelf group 2. The robot 7 holds the FOUP 8 and carries it into and out of each shelf 2a. Further, the movable base 9 is connected to the shelf group 2 by a combination of operations of the traveling unit 5 traveling on the traveling rail 4 parallel to the shelf group 2 and the post unit 6 vertically provided on the traveling unit 5. Movement control is performed at an arbitrary position on the opposing plane.

次に、図１におけるロボット７、各棚２ａ及びＦＯＵＰ８との関係であって特に本願発明に関連するＦＯＵＰ８に対する各棚２ａ及びロボット７の相対位置を規制する構成について図２を参照して説明する。
図２において、ロボット７は前記スタッカクレーン３の構成要素としての可動ベース９に設けられ、当該可動ベース９とともに移動し、アーム機構７ａを構成する第一アーム７ａｘ、第二アーム７ａｙ及びハンド部（以下、ロボットハンドという）７ｂから構成され、これらの構成要素の連結機構（図示しない周知の機構）によって、ロボット７内でのロボットハンド７ｂの変位は棚群２の正面に対して常に垂直方向に規制される。 Next, a configuration that regulates the relative positions of the shelves 2a and the robots 7 with respect to the FOUPs 8 related to the present invention will be described with reference to FIG. 2 in relation to the robots 7, the shelves 2a, and the FOUPs 8 in FIG. .
In FIG. 2, a robot 7 is provided on a movable base 9 as a component of the stacker crane 3 and moves together with the movable base 9 to form a first arm 7ax, a second arm 7ay and a hand portion ( (Hereinafter, referred to as a robot hand) 7b, and the displacement of the robot hand 7b in the robot 7 is always perpendicular to the front of the shelf group 2 by a connecting mechanism (a well-known mechanism not shown) of these components. Be regulated.

そして、ＦＯＵＰ８が載置される棚板２ａｘには、ロボットハンド７ｂが上下方向に移動できる開口部２ａｙが形成されている。
１０ａ、１０ｂ、１０ｃは第１のキネマティック嵌合機構で、ロボットハンド７ｂとＦＯＵＰ８との相互間の相対位置を常に適正に保つ作用をなし、通常ＦＯＵＰ８の底面の適所に設けられた凹部と、当該凹部と嵌合できるようにロボットハンド７ｂのＦＯＵＰ８の載置面に形成される凸部との嵌合によって構成される。
これらの第１のキネマティック嵌合機構は、数量的には、例えば、図２に示すように３個設けられるが、一般的には、必要な複数個設けることにより位置決め作用を達成できる。 An opening 2ay through which the robot hand 7b can move in the vertical direction is formed in the shelf board 2ax on which the FOUP 8 is placed.
Reference numerals 10a, 10b, and 10c are first kinematic fitting mechanisms, each of which serves to keep the relative position between the robot hand 7b and the FOUP 8 properly at all times, and a concave portion provided at a proper position on the bottom surface of the FOUP 8; It is configured by fitting with a convex portion formed on the mounting surface of the FOUP 8 of the robot hand 7b so that it can be fitted with the concave portion.
These first kinematic fitting mechanisms are quantitatively provided, for example, as shown in FIG. 2, but generally, a positioning action can be achieved by providing a necessary plural number.

１１ａ、１１ｂ、１１ｃは第２のキネマティック嵌合機構で、棚板２ａｘとＦＯＵＰ８との相互間の相対位置を常に適正に保つ作用をなし、通常ＦＯＵＰ底面の適所に設けられた凹部と、当該凹部と嵌合できるように棚板２ａｘのＦＯＵＰ８の載置面に形成される凸部との嵌合によって構成される。
これらの第２のキネマティック嵌合機構は、数量的には、例えば、図２に示すように３個設けられるが、一般的には、必要な複数個設けることにより位置決め作用を達成できる。 11a, 11b, and 11c are second kinematic fitting mechanisms that always keep the relative position between the shelf board 2ax and the FOUP 8 properly, and a concave portion provided at a proper position on the bottom surface of the FOUP, It is comprised by fitting with the convex part formed in the mounting surface of FOUP8 of shelf board 2ax so that it can fit with a recessed part.
These second kinematic fitting mechanisms are quantitatively provided, for example, as shown in FIG. 2, for example, but in general, the positioning operation can be achieved by providing a plurality of necessary second kinematic fitting mechanisms.

なお、前記第１のキネマティック嵌合機構１０ａ、１０ｂ、１０ｃ及び第２のキネマティック嵌合機構１１ａ、１１ｂ、１１ｃは、これらの損傷を防止するために、ＦＯＵＰ８の棚板２ａｘへの搬入に際しては、第２のキネマティック嵌合機構１１ａ、１１ｂ、１１ｃの嵌合及びこれに次ぐ第１のキネマティック嵌合機構１０ａ、１０ｂ、１０ｃの分離の過程では、ロボットハンド７ｂは上下方向の変位のみに規制して制御される。
同様の観点からＦＯＵＰ８の棚板２ａｘからの搬出に際しては、第１のキネマティック嵌合機構１０ａ、１０ｂ、１０ｃの嵌合及びこれに次ぐ第２のキネマティック嵌合機構１１ａ、１１ｂ、１１ｃの分離の過程では、ロボットハンド７ｂは上下方向の変位のみに規制して制御される。 The first kinematic fitting mechanisms 10a, 10b, and 10c and the second kinematic fitting mechanisms 11a, 11b, and 11c are used when the FOUP 8 is carried into the shelf 2ax in order to prevent the damage. In the process of fitting the second kinematic fitting mechanisms 11a, 11b, and 11c and separating the first kinematic fitting mechanisms 10a, 10b, and 10c, the robot hand 7b only moves in the vertical direction. Regulated and controlled.
From the same viewpoint, when the FOUP 8 is unloaded from the shelf 2ax, the first kinematic fitting mechanisms 10a, 10b, and 10c are fitted and the second kinematic fitting mechanisms 11a, 11b, and 11c are separated. In this process, the robot hand 7b is controlled only by displacement in the vertical direction.

以上、図１及び図２に開示の構成は本願発明を実施する前提となる構成で、この構成に適用する本願発明に係る施錠機構を、図３を参照して説明すると次の通りである。
図３において、２０は施錠機構で、そのケーシング２１は棚板２ａｘの下面の所定位置に固定され、図２における開口部２ａｙを挟む両側に少なくとも１個ずつ棚面正面から見て対称に設けられる。
なお、図３においては、棚面正面から見て右側のみを示し左側は対称同一構成につき周辺構成を含め図示を省略する。 As described above, the configuration disclosed in FIG. 1 and FIG. 2 is a configuration which is a premise for carrying out the present invention, and a locking mechanism according to the present invention applied to this configuration will be described with reference to FIG.
In FIG. 3, 20 is a locking mechanism, and its casing 21 is fixed at a predetermined position on the lower surface of the shelf board 2ax, and is provided symmetrically when viewed from the front of the shelf surface at least one on both sides of the opening 2ay in FIG. .
In FIG. 3, only the right side is shown when viewed from the front of the shelf surface, and the left side omits the illustration including the peripheral configuration for the same symmetrical configuration.

前記施錠機構２０の具体的構成は図３に示されるように、基本的には、ロボットハンド７ｂの進退方向の軸心に回動可能に支持される第１のレバー２２、第２のレバー２３からなる操作レバー及び施錠レバー２４から構成されている。
そして、第１のレバー２２は、ＦＯＵＰ８が棚板２ａｘに搬入される際及び棚板２ａｘから搬出される際のロボットハンド７ｂの位置する方向を向けて配置され、第２のレバー２３の左端部に位置する回転軸２３ａにおいて回動可能に支持されている。２２ａは係止部材で、第１のレバー２２がロボットハンド７ｂから外力を受け、時計方向に回転する際には、第２のレバー２３と一体化した状態にてケーシング２１の所定位置に配置される第２のレバー２３の回転軸２３ｂを中心に回動させ、第１のレバー２２がロボットハンド７ｂから外力を受け、反時計方向に回動する際には、前記第１のレバーの回転軸２３ａを中心に回動させる。 As shown in FIG. 3, the specific structure of the locking mechanism 20 is basically a first lever 22 and a second lever 23 that are rotatably supported by the axis of the robot hand 7 b in the advancing / retreating direction. The operation lever and the locking lever 24 are made up of.
The first lever 22 is arranged facing the direction in which the robot hand 7b is positioned when the FOUP 8 is loaded into the shelf 2ax and when it is unloaded from the shelf 2ax. It is supported so that it can rotate on a rotating shaft 23a located at the position. Reference numeral 22a denotes a locking member, and when the first lever 22 receives an external force from the robot hand 7b and rotates in the clockwise direction, the first lever 22 is disposed at a predetermined position of the casing 21 in an integrated state with the second lever 23. When the first lever 22 receives an external force from the robot hand 7b and rotates counterclockwise, the rotation axis of the first lever 23 is rotated about the rotation axis 23b of the second lever 23. Rotate around 23a.

２２ｂは第１のばねで、第１のレバー２２がロボットハンド７ｂから外力を受けないフリーの状態において前記係止部材２２ａが第２のレバー２３と係合状態を維持する復帰力を与える。
２３ｃは第２のばねで、前記第１のレバー２２がロボットハンド７ｂから時計方向の外力を受けない状態において第２のレバー２３を初期位置（図面上実線にて示す位置）に復帰力を与える。
２３ｄは第２のレバー２３の右端部に設けられたローラで、ロボットハンド７ｂの進退方向の軸心を有し、この軸心を中心に回動自在に支持されている。 Reference numeral 22b denotes a first spring, which applies a restoring force for maintaining the engagement state of the locking member 22a with the second lever 23 in a free state where the first lever 22 does not receive an external force from the robot hand 7b.
Reference numeral 23c denotes a second spring, which applies a restoring force to the initial position (the position indicated by the solid line in the drawing) of the second lever 23 when the first lever 22 does not receive a clockwise external force from the robot hand 7b. .
Reference numeral 23d denotes a roller provided at the right end of the second lever 23. The roller 23d has an axis in the advancing / retreating direction of the robot hand 7b, and is supported so as to be rotatable about the axis.

２４ａは施錠レバー２４の回転軸で、施錠レバー２４は、この回転軸２４ａを中心に回動可能に支持される。２４ｂは第３のばねで、施錠レバー２４を反時計方向に回動させる復帰力を備えている。２４ｃは施錠レバー２４の上方端部に位置する施錠部で、ＦＯＵＰ８の棚板２ａｘへの搬入を許容する傾斜案内面２４ｃｘ及びＦＯＵＰ８の固定用フック部２４ｃｙを備えている。
そして、このフック部２４ｃｙは、棚板２ａｘへのＦＯＵＰ８の搬入完了と同時に第３のばね２４ｂの復帰力によってＦＯＵＰ８に形成した施錠用凹部８ａに嵌合し、ＦＯＵＰ８を棚板２ａｘに固定し、前記キネマティック嵌合機構１０ａ、１０ｂ、１０ｃの位置決め作用の強力化を図る。 Reference numeral 24a denotes a rotating shaft of the locking lever 24, and the locking lever 24 is supported so as to be rotatable about the rotating shaft 24a. Reference numeral 24b denotes a third spring having a restoring force for rotating the locking lever 24 counterclockwise. Reference numeral 24c denotes a locking portion positioned at the upper end of the locking lever 24, and includes an inclined guide surface 24cx that allows the FOUP 8 to be carried into the shelf 2ax and a fixing hook portion 24cy of the FOUP 8.
And this hook part 24cy is fitted into the locking recess 8a formed in the FOUP 8 by the return force of the third spring 24b simultaneously with the completion of the carry-in of the FOUP 8 to the shelf board 2ax, and the FOUP 8 is fixed to the shelf board 2ax. The kinematic fitting mechanisms 10a, 10b, and 10c are strengthened in positioning action.

２４ｄは前記第２のレバー２３に設けたローラ２３ｄの案内面で、第２のレバーが時計方向に回動することに伴って、施錠レバー２４を時計方向に回動させる。２ａｚはＦＯＵＰ８の棚板２ａｘからの搬出及び棚板２ａｘへの搬入においてＦＯＵＰ８用案内部材である。
７ｂｙはローラで、ロボットハンド７ｂにおいて側方に延びる支持部材７ｂｘの先端部
に回転自在に支持され、その回転の中心線はロボットハンド７ａの進退方向と平行であって、当該ローラ７ｂｙの上下方向における変位時に第１のレバー２２に係合する位置に設けられている。 A guide surface 24d of the roller 23d provided on the second lever 23 rotates the locking lever 24 in the clockwise direction as the second lever rotates in the clockwise direction. Reference numeral 2az denotes a FOUP 8 guide member for carrying out the FOUP 8 from the shelf 2ax and carrying it into the shelf 2ax.
Reference numeral 7by denotes a roller, which is rotatably supported by the tip of a support member 7bx extending laterally in the robot hand 7b. The center line of the rotation is parallel to the advancing / retreating direction of the robot hand 7a, and the vertical direction of the roller 7by Is provided at a position that engages with the first lever 22 at the time of displacement.

前記構成において、ＦＯＵＰ８の棚板２ａｘからの搬出時の動作を説明すると、図３（Ａ）に示されるように、ＦＯＵＰ８の搬出前の状態はＦＯＵＰ８の施錠用凹部８ａに施錠レバー２４のフック部２４ｃｙが実線に示すように係合している。
従って、棚板２ａｘに対して想定される大地震などの要因にて、キネマティック連結機構１１ａ、１１ｂ、１１ｃにおいては棚板２ａｘ上にＦＯＵＰ８が正確な位置決め状況を維持できない程度に及ぶ衝撃を受けてもＦＯＵＰ８は棚板２ａｘ上に的確に保持される。 In the above configuration, the operation when the FOUP 8 is unloaded from the shelf board 2ax will be described. As shown in FIG. 3A, the state before the FOUP 8 is unloaded is the locking recess 8a of the FOUP 8 and the hook portion of the locking lever 24. 24cy is engaged as indicated by the solid line.
Therefore, the kinematic coupling mechanisms 11a, 11b, and 11c are subjected to an impact that does not allow the FOUP 8 to maintain an accurate positioning state on the shelf 2ax due to factors such as a large earthquake assumed for the shelf 2ax. Even so, the FOUP 8 is accurately held on the shelf board 2ax.

この状態において、今、ＦＯＵＰ８を搬出する場合、ロボットハンド７ｂを上昇させると、当該ロボットハンド７ｂと一体にローラ７ｂｙが上昇し、当該ローラ７ｂｙが第１のレバー２２を押し上げる。これによって、操作レバーを構成する第１のレバー２２及び第２のレバー２３は第２のばね２３ｃの復帰力に抗して時計方向に回動し、鎖線で示す位置に移行する。
この第２のレバー２３の回動に伴ってローラ２３ｄは案内面２４ｄ上に沿って下方に転動し、施錠レバー２４は鎖線で示す位置に回動し、ＦＯＵＰ８の施錠用凹部８ａと施錠レバー２４のフック部２４ｃｙとの係合が解かれる。 In this state, when carrying out the FOUP 8 now, when the robot hand 7b is raised, the roller 7by rises integrally with the robot hand 7b, and the roller 7by pushes up the first lever 22. As a result, the first lever 22 and the second lever 23 constituting the operation lever rotate clockwise against the restoring force of the second spring 23c, and shift to the position indicated by the chain line.
As the second lever 23 rotates, the roller 23d rolls downward along the guide surface 24d, the locking lever 24 rotates to the position indicated by the chain line, and the locking recess 8a of the FOUP 8 and the locking lever. The engagement with the 24 hook parts 24cy is released.

この状態において、ロボットハンド７ｂが更に上昇すると、ローラ７ｂｙと第１のレバー２２との係合が解かれ、ばね２３ｃの復帰力で第１のレバー２２及び第２のレバー２３は実線の位置まで反時計方向に回動する。この動作に連動して施錠レバー２４は再度実線の位置に戻り、棚は空き状態になって別のＦＯＵＰ８の搬入が可能となる。
ＦＯＵＰ８を載置したロボットハンド７ｂが所定の高さまで上昇した後、当該ロボットハンド７ｂはロボット７内に縮退後、次の工程に移行する。 In this state, when the robot hand 7b is further raised, the roller 7by and the first lever 22 are disengaged, and the first lever 22 and the second lever 23 are moved to the solid line position by the restoring force of the spring 23c. It rotates counterclockwise. In conjunction with this operation, the locking lever 24 returns to the position of the solid line again, the shelf becomes empty, and another FOUP 8 can be carried in.
After the robot hand 7b on which the FOUP 8 is placed rises to a predetermined height, the robot hand 7b degenerates into the robot 7 and then proceeds to the next step.

次に、ＦＯＵＰ８の棚板２ａｘへの搬入時の動作を説明すると、図３（Ｂ）に示されるように、案内部材２ａｚの上方にＦＯＵＰ８の底面が位置する高さにおいてロボットハンド７ｂが棚板２ａｘの上部に伸長し、直下方向に降下する。
この過程において、ＦＯＵＰ８は案内部材２ａｚに案内されつつ棚板２ａｘに接近する際、ＦＯＵＰ８の側底部が傾斜案内面２４ｃｘに係合したまま降下し、実線の位置にある施錠レバー２４は鎖線で示す位置まで第３のばね２４ｂの復帰力に抗して時計方向に回動する。
そして、更にロボットハンド７ｂが降下し、ＦＯＵＰ８が棚板２ａｘに到達した際、施錠レバー２４のフック部２４ｃｙがＦＯＵＰ８の側下方に形成された施錠用凹部８ａに嵌合するに至る。この嵌合状態は、垂直方向の衝撃に対して強力に維持される。 Next, the operation when the FOUP 8 is carried into the shelf 2ax will be described. As shown in FIG. 3B, the robot hand 7b is placed at the height where the bottom surface of the FOUP 8 is located above the guide member 2az. Extends to the top of 2ax and descends directly downward.
In this process, when the FOUP 8 approaches the shelf 2ax while being guided by the guide member 2az, the side bottom portion of the FOUP 8 is lowered while being engaged with the inclined guide surface 24cx, and the locking lever 24 in the position of the solid line is indicated by a chain line. It rotates clockwise to the position against the restoring force of the third spring 24b.
When the robot hand 7b is further lowered and the FOUP 8 reaches the shelf 2ax, the hook portion 24cy of the locking lever 24 is fitted into the locking recess 8a formed on the lower side of the FOUP 8. This fitting state is maintained strongly against the impact in the vertical direction.

なお、この状態においては、ロボットハンド７ｂと一体に変位するローラ７ｂｙが第１のレバー２２に係合しており、ロボットハンド７ｂの降下を更に継続すると、第１のレバー２２は鎖線で示す方向に回転軸２３ａを中心に反時計方向に回動する。
この第１のレバー２２の回動過程において、第１のレバー２２と前記ローラ７ｂｙとの係合が解かれると、第１のレバー２２は回転軸２３ａを中心に第１のばねの復帰力によって係止部材２２ａが第２のレバー２３に係合するまで時計方向に回動する。
この第１のレバー２２の動作に続きロボットハンド７ｂはロボット７内に縮退し、次のＦＯＵＰ搬送の準備が整う。 In this state, the roller 7by that is integrally displaced with the robot hand 7b is engaged with the first lever 22, and when the robot hand 7b is further lowered, the direction of the first lever 22 is indicated by a chain line. Rotate counterclockwise about the rotation shaft 23a.
When the engagement of the first lever 22 and the roller 7by is released in the turning process of the first lever 22, the first lever 22 is moved by the restoring force of the first spring around the rotation shaft 23a. The locking member 22a rotates clockwise until it engages with the second lever 23.
Following the operation of the first lever 22, the robot hand 7b retracts into the robot 7 and preparation for the next FOUP conveyance is completed.

図４は前記実施の形態における施錠機構の変形例の動作原理図で、（Ａ）は棚からのＦＯＵＰの搬出時の動作を示し、（Ｂ）は棚へのＦＯＵＰの搬入時の動作を示す。
図４（Ａ）、（Ｂ）の構成において、前記実施の形態を表示する図３（Ａ）、（Ｂ）と同じ構成要素については同一符号を付し、これらの説明の重複を避ける。
即ち、本実施例１の構成上の特徴は、棚板２ａｘからのＦＯＵＰ８の搬出動作は前記実施形態とほぼ均等動作で、棚板２ａｘへのＦＯＵＰ８の搬入の手段を異にしている。
具体的に本実施例１と前記実施の形態との相違について述べると、先ず、本実施例１における施錠機構３０は、前記実施の形態における施錠機構２０に比べ、操作レバーを構成するレバーが１個少ない点において相違する。
この相違点は、前記実施の形態の施錠機構２０における操作レバーを構成する第１のレバー２２及び第２のレバー２３を、第１のレバー２２とローラ７ｂｙとが係合しない状態にて一体化した形状をなす操作レバー３３に表れている。 FIGS. 4A and 4B are operation principle diagrams of a modified example of the locking mechanism in the embodiment. FIG. 4A shows the operation when the FOUP is carried out from the shelf, and FIG. 4B shows the operation when the FOUP is carried into the shelf. .
In the configuration of FIGS. 4A and 4B, the same components as those in FIGS. 3A and 3B displaying the embodiment are given the same reference numerals to avoid duplication of explanation.
That is, the structural feature of the first embodiment is that the operation for carrying out the FOUP 8 from the shelf 2ax is substantially the same as that in the above embodiment, and the means for carrying the FOUP 8 into the shelf 2ax is different.
Specifically, the difference between the first embodiment and the above embodiment will be described. First, the locking mechanism 30 in the first embodiment has one lever constituting the operation lever as compared with the locking mechanism 20 in the above embodiment. It is different in the point that there are few.
This difference is that the first lever 22 and the second lever 23 constituting the operation lever in the locking mechanism 20 of the embodiment are integrated in a state where the first lever 22 and the roller 7by are not engaged. It appears on the operation lever 33 having the shape.

従って、本実施例１におけるロボットハンド７ｂによる棚板２ａｘからのＦＯＵＰ８の搬出動作は前記実施の形態と同じである。
なお、本実施例１における施錠レバー２４の案内面２４ｄに案内されるローラ３３ｄは前記実施の形態におけるローラ２３ｄに比べて当接する対象レバーの形状が相違するのみで実質的に同一作用をなす。 Therefore, the carry-out operation of the FOUP 8 from the shelf 2ax by the robot hand 7b in the first embodiment is the same as that in the above embodiment.
In addition, the roller 33d guided by the guide surface 24d of the locking lever 24 in the first embodiment has substantially the same function, except that the shape of the target lever to be contacted is different from that of the roller 23d in the above embodiment.

一方、本実施例１におけるロボットハンド７ｂのローラ支持部材７ｂｚは、棚板２ａｘへのＦＯＵＰ８を載置後降下動作において、ロボットハンド７ｂのローラ７ｂｙをレバー３３に係合させない手段として例えば、電磁ソレノイドによる伸縮制御を受ける構成としている。
この伸縮動作は、図４（Ａ）におけるＦＯＵＰ８の棚板２ａｘからの搬出時には伸長形態Ｌ１とし、図４（Ｂ）におけるＦＯＵＰ８の棚板２ａｘへの搬入時には縮退状態Ｌ２とするようにロボットハンド７ｂの動作に連動して行われる。 On the other hand, the roller support member 7bz of the robot hand 7b according to the first embodiment is, for example, an electromagnetic solenoid as means for preventing the roller 7by of the robot hand 7b from engaging with the lever 33 in the descending operation after placing the FOUP 8 on the shelf 2ax. It is configured to receive expansion / contraction control.
This expansion / contraction operation is such that the robot hand 7b is in the extended form L1 when the FOUP 8 is unloaded from the shelf 2ax in FIG. 4 (A) and in the contracted state L2 when the FOUP 8 is loaded into the shelf 2ax in FIG. 4 (B). It is performed in conjunction with the operation of.

図５は前記実施例１における施錠機構の変形例の動作原理図で、（Ａ）は棚からのＦＯＵＰの搬出時の動作を示し、（Ｂ）は棚へのＦＯＵＰの搬入時の動作を示し、図６は図５における要部断面図である。
図５（Ａ）、（Ｂ）の構成において、前記実施例１の動作原理図、図４（Ａ）、（Ｂ）と同じ構成要素については同一符号を付し、これらの説明の重複を避ける。
図５（Ａ）、（Ｂ）及び図６において、４０は施錠機構で、そのケーシング４１は棚板２ａｘの下面の所定位置に固定され、図２における開口部２ａｙを挟む両側に少なくとも１個ずつ棚面正面から見て対称に設けられる。４２は操作レバーで、支持部材４２ａ及び当該支持部材４２ａの所定個所に固定されるレバー部材４２ｂから構成される。 5A and 5B are operation principle diagrams of a modified example of the locking mechanism in the first embodiment. FIG. 5A shows the operation when the FOUP is carried out from the shelf, and FIG. 5B shows the operation when the FOUP is carried into the shelf. 6 is a cross-sectional view of the main part in FIG.
In the configuration of FIGS. 5A and 5B, the same reference numerals are given to the same components as those in the operation principle diagram of the first embodiment and FIGS. 4A and 4B to avoid duplication of description. .
5A, 5B and 6, reference numeral 40 denotes a locking mechanism, the casing 41 of which is fixed at a predetermined position on the lower surface of the shelf 2ax, and at least one on each side of the opening 2ay in FIG. They are provided symmetrically when viewed from the front of the shelf. An operation lever 42 includes a support member 42a and a lever member 42b fixed to a predetermined position of the support member 42a.

そして、前記支持部材４２ａは、回転軸４２ｃにより回動可能に支持されており、レバー部材４２ｂは、この支持部材４２ａに固定され、ロボットハンド７ｂと一体に変位するローラ７ｂｙがこの固定用支持部材７ｂｚの伸長状態において下方からの上昇により係合し、時計方向に回動する。４２ｄは第１のばねで、操作レバー４２を、レバー部材４２ｂが前記ローラ７ｂｙに係合していない状態において、レバー部材４２ｂの方向を規制し、前記ローラ７ｂｙとの係合に際しては復帰力に抗して操作レバー４２の変位を許容する。 The support member 42a is rotatably supported by a rotating shaft 42c, the lever member 42b is fixed to the support member 42a, and a roller 7by that is displaced integrally with the robot hand 7b is a fixing support member. In the extended state of 7 bz, it engages by ascending from below and rotates clockwise. Reference numeral 42d denotes a first spring that restricts the direction of the lever 42b when the lever 42b is not engaged with the roller 7by, and a return force is applied when the lever 42b is engaged with the roller 7by. Accordingly, the displacement of the operation lever 42 is allowed.

４３は突起で、前記支持部材４２ａの上方部位に固定され、レバー部材４２ｂの回転角度に同期して回動する。
４４は施錠レバーで、前記操作レバー４２のレバー部材４２ｂとは反対方向の位置に設けられ、支持部材４４ａ及び当該支持部材４４ａに固定される施錠部４４ｃからなり、支持部材４４ａは回転軸４４ｂに回動可能に支持される。４４ｄは第２のばねで、前記施錠部４４ｃに対し図示の状態で反時計方向に復帰力を及ぼす。施錠部４４ｃには、ＦＯＵＰ８の棚板２ａｘへの搬入を許容するための傾斜案内面４４ｃｘ及びＦＯＵＰ８の施錠用凹部８ａに係合するフック部４４ｃｙが形成されており、前記実施例１の施錠部２４ｃと均等な作用を行う。 Reference numeral 43 denotes a protrusion which is fixed to an upper portion of the support member 42a and rotates in synchronization with the rotation angle of the lever member 42b.
Reference numeral 44 denotes a locking lever, which is provided at a position opposite to the lever member 42b of the operation lever 42, and includes a support member 44a and a locking portion 44c fixed to the support member 44a. The support member 44a is attached to the rotating shaft 44b. It is rotatably supported. Reference numeral 44d denotes a second spring, which exerts a restoring force in the counterclockwise direction on the locking portion 44c in the illustrated state. The locking part 44c is formed with an inclined guide surface 44cx for allowing the FOUP 8 to be carried into the shelf 2ax and a hook part 44cy that engages with the locking recess 8a of the FOUP 8, and the locking part of the first embodiment is formed. Performs actions equivalent to 24c.

４５はロッドで、その周辺構成を図６も併せて参照して説明すると、前記突起４３と係合する開口４５ａ及び前記施錠レバー４４の施錠部４４ｃと係合する開口４５ｂを形成している。
４６は案内部材で、前記ロッド４５を水平方向であって、前記開口４５ａ、４５ｂの中心部を結ぶ直線上に移動可能に支持している。
前記図５（Ａ）（Ｂ）及び図６に示す構成において、その作用は前記実施例１とほぼ均等であるが、特徴的部分の作用を述べると次の通りである。 Reference numeral 45 denotes a rod, and its peripheral configuration will be described with reference to FIG. 6. The opening 45 a that engages with the protrusion 43 and the opening 45 b that engages with the locking portion 44 c of the locking lever 44 are formed.
A guide member 46 supports the rod 45 in a horizontal direction so as to be movable on a straight line connecting the central portions of the openings 45a and 45b.
In the configuration shown in FIGS. 5A and 5B and FIG. 6, the operation is almost the same as that of the first embodiment, but the operation of the characteristic part is described as follows.

先ず、棚板２ａｘからＦＯＵＰ８を搬出する場合について述べると、ＦＯＵＰ８を載置していないロボットハンド７ｂの側方から延びる支持部材７ｂｚが伸長状態において、その先端部に位置するローラ７ｂｙの上昇に伴い操作レバー４２のレバー部材４２ｂがばね４２ｄの復帰力に抗して、図示における時計方向に回動する。
この際、突起４３も同角度、同方向に回動し、ロッド４５が右方向に変位する。これに伴い、施錠レバー４４は鎖線で示す位置に回動し、施錠部４４ｃのフック部４４ｃｙはＦＯＵＰ８の施錠用凹部８ａとの係合が解かれ、ロボットハンド７ｂはＦＯＵＰ８を載置したまま上昇する。 First, the case where the FOUP 8 is carried out from the shelf 2ax will be described. When the support member 7bz extending from the side of the robot hand 7b on which the FOUP 8 is not placed is in the extended state, the roller 7by located at the tip thereof is raised. The lever member 42b of the operation lever 42 rotates in the clockwise direction in the figure against the restoring force of the spring 42d.
At this time, the protrusion 43 is also rotated in the same angle and in the same direction, and the rod 45 is displaced in the right direction. Accordingly, the locking lever 44 is rotated to the position indicated by the chain line, the hook portion 44cy of the locking portion 44c is disengaged from the locking recess 8a of the FOUP 8, and the robot hand 7b is raised with the FOUP 8 placed thereon. To do.

この過程でローラ７ｂｙと操作レバー４２のレバー部４２ｂとの係合が解けると、操作レバー４２及び施錠レバー４４は夫々ばね４２ｄ、４４ｄの復帰力により、実線の位置に戻る。
一方、ロボットハンド７ｂは前記実施例１と同様ロボットハンド７ｂを縮退させ、ストッカポートまで移動し、該ポートにＦＯＵＰ８を移載する。 In this process, when the engagement between the roller 7by and the lever portion 42b of the operation lever 42 is released, the operation lever 42 and the locking lever 44 are returned to the solid line positions by the restoring forces of the springs 42d and 44d, respectively.
On the other hand, the robot hand 7b retracts the robot hand 7b as in the first embodiment, moves to the stocker port, and transfers the FOUP 8 to the port.

次に、棚板２ａｘへのＦＯＵＰ８の搬入時の動作は図５（Ｂ）に示されるようにローラ７ｂｙは、縮退状態Ｌ２に制御された支持部材７ｂｚの作用を伴って操作レバー４２のレバー部材４２ｂに接触することなく降下し、操作レバーは実線で示す位置に保持される。
一方、施錠レバー４４の施錠部４４ｃは実線の位置から、その傾斜案内面４４ｃｘがＦＯＵＰ８の側底面部に係合した状態でＦＯＵＰ８が更に降下すると、徐々に鎖線で表示する位置に傾斜し、施錠レバー４４のフック部４４ｃｙがＦＯＵＰ８に形成した施錠用凹部８ａに嵌合するに至り、施錠レバー４４は実線に示す位置に戻り施錠動作が完了する。 Next, as shown in FIG. 5B, the operation when the FOUP 8 is carried into the shelf board 2ax is as follows. As shown in FIG. 5B, the roller 7by is a lever member of the operation lever 42 with the action of the support member 7bz controlled to the retracted state L2. The control lever is lowered without contacting 42b, and the operation lever is held at the position indicated by the solid line.
On the other hand, the locking portion 44c of the locking lever 44 gradually tilts from the position indicated by the solid line to the position indicated by the chain line when the FOUP 8 further descends with the inclined guide surface 44cx engaged with the side bottom surface portion of the FOUP 8. When the hook portion 44cy of the lever 44 is fitted into the locking recess 8a formed in the FOUP 8, the locking lever 44 returns to the position shown by the solid line and the locking operation is completed.

本発明が適用されるストッカーの内部機構を表示する斜視図である。It is a perspective view which displays the internal mechanism of the stocker to which this invention is applied. ＦＯＵＰに対するロボットハンド及び棚板との位置決め手段を表示する平面図である。It is a top view which displays the positioning means with the robot hand and shelf board with respect to FOUP. 本発明に係る施錠機構の動作原理図で、（Ａ）は棚からのＦＯＵＰの搬出時の動作を示し、（Ｂ）は棚へのＦＯＵＰの搬入時の動作を示す。FIG. 4 is an operation principle diagram of the locking mechanism according to the present invention, where (A) shows the operation when carrying out the FOUP from the shelf, and (B) shows the operation when carrying in the FOUP to the shelf. 図４は前記実施の形態における施錠機構の変形例の動作原理図で、（Ａ）は棚からのＦＯＵＰの搬出時の動作を示し、（Ｂ）は棚へのＦＯＵＰの搬入時の動作を示す。FIGS. 4A and 4B are operation principle diagrams of a modified example of the locking mechanism in the embodiment. FIG. 4A shows the operation when the FOUP is carried out from the shelf, and FIG. 4B shows the operation when the FOUP is carried into the shelf. . 図５は前記実施の形態における施錠機構の変形例の動作原理図で、（Ａ）は棚からのＦＯＵＰの搬出時の動作を示し、（Ｂ）は棚へのＦＯＵＰの搬入時の動作を示す。FIGS. 5A and 5B are operation principle diagrams of a modified example of the locking mechanism in the embodiment. FIG. 5A shows the operation when the FOUP is carried out from the shelf, and FIG. 5B shows the operation when the FOUP is carried into the shelf. . 図５における要部断面図である。It is principal part sectional drawing in FIG.

符号の説明Explanation of symbols

１・・・・・・・・ストッカー
２・・・・・・・・棚群
２ａ・・・・・・・棚
２ａｘ・・・・・・棚板
２ａｙ・・・・・・開口部
２２ｂ、２３ｃ、２４ｂ、３３ｃ、４２ｄ、４４ｄ・・・・・・ばね
２３ａ、２３ｂ、２４ａ、３３ｂ、４２ｃ、４４ｂ・・・回転軸
７・・・・・・・・ロボット
７ｂ・・・・・・・ロボットハンド
７ｂｘ、７ｂｚ・・支持部材
７ｂｙ・・・・・・ローラ
８・・・・・・・・ＦＯＵＰ
８ａ・・・・・・・施錠用凹部
９・・・・・・・・可動ベース
１１ａ、１１ｂ、１１ｃ・・・のキネマティック嵌合機構
２０、３０，４０・・・・・・・施錠機構
２２・・・・・・・第１のレバー
２２ａ・・・・・・係止部材
２３・・・・・・・第２のレバー
２３ｄ・・・・・・ローラ
２４、４４・施錠レバー
２４ｃ、４４ｃ・・・・・・施錠部
２４ｃｘ、４４ｃｘ・・・傾斜案内面
２４ｃｙ、４４ｃｙ・・・・・フック部
２４ｄ・・・ローラ用案内面
４２・・・・・・・操作レバー
４３・・・・・・・突起
４５・・・・・・・ロッド
1 ... Stocker 2 ... Shelf group 2a ... Shelf 2ax ... Shelf plate 2ay ... Opening 22b, 23c, 24b, 33c, 42d, 44d ··· Spring 23a, 23b, 24a, 33b, 42c, 44b ··· Rotary axis 7 ··· Robot 7b ··· Robot hand 7bx, 7bz ... Support member 7by ... Roller 8 ... FOUP
8a ····················································································································· Locking mechanism 22. First lever 22a ... Locking member 23 ... Second lever 23d ... Rollers 24, 44-Locking lever 24c, 44c... Locking parts 24cx, 44cx ... Inclined guide surfaces 24cy, 44cy ... Hook part 24d ... Roller guide surface 42 ... Operation lever 43 ... .... Projection 45 ... Rod

Claims (5)

縦横に整列された多数の棚と、当該各棚に対する基板収納用容器の所定位置への規制手段と、当該各棚に対する基板収納用容器の前記所定位置への搬入及び前記所定位置からの搬出を担うロボットと、を含むストッカーにおいて、
前記各棚に対し、基板収納用容器が少なくとも左右１対の施錠機構を備え、当該施錠機構が本項における下記（イ）〜（ハ）の作用を有することを特徴とするストッカー内の棚における基板収納用容器の変位防止装置。
（イ）前記棚の所定位置に載置されている基板収納用容器の前記ロボットによる搬出動
作に先だって開錠されること
（ロ）基板収納用容器が、前記ロボットによって基板収納用容器が載置されていない棚の所定位置への搬入動作に先だって前記施錠機構が開錠され、基板収納用容器の前記所定位置への載置により前記施錠機構が施錠されること
（ハ）前記ロボットの作用を受けることなく棚の所定位置に載置されている基板収納用容器を、ストッカーが通常規模を越える強い地震などで受ける衝撃を受け、この衝撃が前記規制手段のみによってはその位置決め機能を損なう程度に及ぶ場合でも、前記規制手段によって定まる所定位置に維持すること A large number of shelves arranged vertically and horizontally, a restricting means to the predetermined position of the substrate storage container with respect to each shelf, and the loading and unloading of the substrate storage container with respect to each shelf to and from the predetermined position In the stocker including the robot that bears
In each shelf in the stocker, the substrate storage container includes at least one pair of right and left locking mechanisms, and the locking mechanism has the following actions (a) to (c) in this section: Device for preventing displacement of substrate storage container.
(B) The substrate storage container placed at a predetermined position on the shelf is unlocked prior to the unloading operation by the robot. (B) The substrate storage container is placed by the robot. The locking mechanism is unlocked prior to the loading operation to the predetermined position of the shelf that has not been performed, and the locking mechanism is locked by placing the substrate storage container at the predetermined position. The substrate storage container placed at a predetermined position on the shelf without receiving it is subjected to an impact that the stocker receives due to a strong earthquake exceeding the normal scale, etc., and the impact is such that the positioning function is impaired by only the regulating means. Even in the case where it reaches, it is maintained at a predetermined position determined by the restriction means. 前記基板がウエハであり、容器が前記ウエハを挿脱自在に収納するＦＯＵＰであることを特徴とする請求項１に記載のストッカー内の棚における基板収納用容器の変位防止装置。 The apparatus for preventing displacement of a substrate storage container in a shelf in a stocker according to claim 1, wherein the substrate is a wafer, and the container is a FOUP that removably stores the wafer. 前記施錠機構が本項における下記（イ）〜（ハ）から構成される請求項１又は２に記載のストッカー内の棚における基板収納用容器の変位防止装置。
（イ）一端がロボットハンドの側方に支持された所定長さのバー部材の他端部に、当該ロボットハンドの進退方向を軸心とし、回転自在に支持される第１のローラ
（ロ）一方端部同士が第１の回転軸にて互いに回動可能に連結される第１及び第２のレバーを有する操作レバーであって、前記第１のローラが下方向の動作にて係合した時、前記第１の回転軸を中心に第１のレバーを回動させ、前記第１のローラが上方向の動作にて係合した時、前記第１のレバーが第２のレバーと一体となり、当該第２のレバーを回動可能に支持するの第２の回転軸を中心に回転させる前記第１のローラと前記第２のローラとを係合する係合部材を備え、第２のレバーにおける端部のうち前記第１の回転軸と反対側の端部に前記ロボットハンドの進退方向に軸心を有し、回転自在に支持される第２のローラを備えた操作レバー
（ハ）前記操作レバーに設けられた前記第２のローラに係合して作動する施錠レバーであって、第３の回転軸により略中央部において棚板に回動可能に支持され、一方の端部が基板収納用容器の施錠部位に当接して基板収納用容器を棚板に固定し、基板収納用容器の棚板への載置を許容する傾斜面を形成している施錠手段を有し、他方の端部が前記第２のローラに係合し、前記操作レバーに連動して前記第３の回転軸を中心に回動し、前記施錠手段による施錠と開錠を行う施錠レバー The apparatus for preventing displacement of a substrate storage container in a shelf in a stocker according to claim 1 or 2, wherein the locking mechanism is configured from the following (A) to (C) in this section.
(A) A first roller (B) that is rotatably supported on the other end of a bar member having a predetermined length, one end of which is supported on the side of the robot hand, with the advancing and retreating direction of the robot hand as an axis. An operation lever having first and second levers whose one ends are connected to each other so as to be rotatable around a first rotating shaft, and the first roller is engaged by a downward movement When the first lever is pivoted about the first rotation axis and the first roller is engaged by the upward movement, the first lever is integrated with the second lever. An engaging member that engages the first roller and the second roller that rotate about a second rotating shaft that rotatably supports the second lever, and the second lever Of the robot hand at the end opposite to the first rotation axis in the direction of advancement and retreat of the robot hand An operating lever having a second roller rotatably supported; (c) a locking lever that engages and operates with the second roller provided on the operating lever; A pivot is supported on the shelf at a substantially central portion by a shaft, one end abuts against a locking portion of the substrate storage container to fix the substrate storage container to the shelf, and the substrate storage container shelf Locking means forming an inclined surface that allows placement on the other end, the other end of which engages with the second roller, and interlocks with the operation lever to center the third rotation shaft A locking lever that rotates and unlocks by the locking means 前記施錠機構が本項における下記（イ）〜（ハ）から構成される請求項１又は２に記載のストッカー内の棚における基板収納用容器の変位防止装置。
（イ） ロボットハンドの側方に伸縮制御を受け、ロボットハンドが棚に載置されている基板収納用容器の搬出時に上昇する際にのみ伸長し、それ以外には縮退するロッドの先端部に位置し、前記ロボット用ハンドの進退方向の軸心を有し、回転自在に支持される第１のローラ
（ロ）前記第１のローラとの係合がない状態においては、第１の回転軸からの向きを規制するばねを有し、前記第１のローラと係合し、この係合個所が上向きに回動するに際しては、前記ばねの復帰力に抗して、前記第１の回転軸を中心に回動し、第１のローラを有しない側の端部には前記ロボットハンドの進退方向に軸心を有し、回転自在に支持される第２のローラを備えた操作レバー
（ハ）前記操作レバーに設けられた前記第２のローラに係合して作動する施錠レバーであって、第２の回転軸により略中央部において回動可能に支持され、一方の端部が基板収納用容器の施錠部位に当接して基板収納用容器を棚板に固定し、基板収納用容器の棚板への載置を許容する傾斜面を形成している施錠手段を有し、他方の端部が前記第２のローラに係合し、前記操作レバーに連動して前記第２の回転軸を中心に回動し、前記施錠手段による施錠と開錠を行う施錠レバー The apparatus for preventing displacement of a substrate storage container in a shelf in a stocker according to claim 1 or 2, wherein the locking mechanism is configured from the following (A) to (C) in this section.
(B) The robot hand is subjected to expansion / contraction control to the side, and is extended only when the robot hand is lifted when the substrate storage container placed on the shelf is carried out. A first roller (b) that is positioned and has a shaft center in the advancing and retreating direction of the robot hand, and is rotatably supported. A spring that regulates the direction from the first rotation shaft, and when the engagement portion rotates upward, the first rotating shaft resists the restoring force of the spring. An operation lever (having a second roller that is rotatably supported and has an axial center in the forward and backward direction of the robot hand at the end on the side not having the first roller. ) A locking lever that engages and operates with the second roller provided on the operation lever. A bar that is pivotally supported at a substantially central portion by a second rotating shaft, one end of which is in contact with a locking portion of the substrate storage container to fix the substrate storage container to the shelf board, Locking means forming an inclined surface that allows the storage container to be placed on the shelf, the other end engaging the second roller, and interlocking with the operation lever A locking lever that rotates about the rotation axis of 2 and performs locking and unlocking by the locking means 前記施錠機構が本項における下記（イ）〜（ホ）から構成される請求項１又は２に記載のストッカー内の棚における基板収納用容器の変位防止装置。
（イ） ロボットハンドの側方に伸縮制御を受け、ロボット用ハンドが棚に載置されている基板収納用容器の搬出時上昇する際にのみ伸長し、それ以外には縮退するロッドの先端部に位置し、前記ロボットハンドの進退方向に軸心を有し、回転自在に支持されるローラ
（ロ）ロボット用ハンドが基板収納用容器の搬出時において上昇する際に、前記ローラとの係合によって所定位置から上方に向け、前記ロボットハンドの進退方向の軸心において回動する機構と、前記ローラとの係合がない状態において、所定位置に規制するの第１のばねと、によって回動制御を受ける操作レバー
（ハ）前記操作レバーと回転の中心を共通とし、当該操作レバーの所定個所に設けられた突起
（ニ）上部先端部に施錠部を形成し、前記ロボットハンドの進退方向の軸心において回動する機構と、前記施錠部を基板収納用容器の施錠部位に押圧するための第２のばねを有し、前記施錠部は、基板収納用容器の棚への搬入を許容する傾斜面を有している施錠レバー
（ホ）前記突起と施錠レバーの下方部とが両端部において係合し、前記操作レバーが前記ローラによって上方への力を受けた際、施錠レバーの施錠部が基板収納用容器の施錠部位から離れる方向に作用する伝達機能を備えたロッド The apparatus for preventing displacement of a substrate storage container in a shelf in a stocker according to claim 1 or 2, wherein the locking mechanism is configured from the following (A) to (E) in this section.
(A) The tip of the rod that is stretched only when the robot hand is lifted when the substrate storage container placed on the shelf is lifted, and is otherwise retracted under the expansion and contraction control of the robot hand. Roller (b) having a shaft center in the forward and backward direction of the robot hand and supported rotatably, (b) engagement with the roller when the robot hand rises when carrying out the substrate storage container Rotating by a mechanism that rotates upward from a predetermined position by an axis of the robot hand and a first spring that regulates the predetermined position in a state where the robot hand is not engaged with the roller. Control lever (c) to be controlled has the same center of rotation as the control lever, and a locking part is formed at the top end of the protrusion (d) provided at a predetermined position of the control lever. And a second spring for pressing the locking portion against the locking portion of the substrate storage container, and the locking portion allows the substrate storage container to be carried into the shelf. Locking lever (e) having an inclined surface that engages the projection and the lower part of the locking lever at both ends, and the locking lever is locked when the operating lever receives an upward force by the roller. Rod with a transmission function in which the part acts away from the locking part of the substrate storage container

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