KR102326021B1

KR102326021B1 - Apparatus for transferring doors

Info

Publication number: KR102326021B1
Application number: KR1020210095662A
Authority: KR
Inventors: 황보승
Original assignee: 세메스 주식회사
Priority date: 2018-11-28
Filing date: 2021-07-21
Publication date: 2021-11-15
Also published as: KR20200063655A; KR20210093831A

Abstract

본 발명에 따른 도어 이송 장치는, 대차를 수용하기 위한 대차 수용부와, 상기 대차 수용부에 수용되며, 웨이퍼 이송 용기의 개방된 일측을 개폐하는 도어들을 상하로 적재하며 상기 도어들을 공급 및 배출하는 대차와, 상기 도어의 배치 방향 및 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태가 정상인 도어들을 적재하는 제1 포트와, 상기 도어의 배치 방향 및 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태 중 적어도 하나가 불량인 도어들을 적재하는 제2 포트와, 상기 대차에 적재된 상기 도어들을 픽업하여 상기 도어의 배치 방향과 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 감지하고, 상기 감지 결과에 따라 상기 제1 포트 또는 상기 제2 포트로 이송하는 도어 이송 유닛과, 상기 웨이퍼 이송 용기에 장착될 도어들을 적재하는 제3 포트 및 상기 제1 포트에 적재된 정상인 도어들을 상기 제3 포트로 이송하는 이송 로봇을 포함할 수 있다. The door transfer device according to the present invention includes a bogie accommodating part for accommodating a trolley, and is accommodated in the trolley accommodating part, stacking doors opening and closing an open side of a wafer transfer container up and down, and supplying and discharging the doors A first port for loading the bogie, the doors in which the door arrangement direction and the open/close state of the latch provided in the door are normal, and at least one of the arrangement direction of the door and the open/close state of the latch provided in the door is defective A second port for loading doors and the doors loaded on the cart are picked up to sense an arrangement direction of the door and an opening/closing state of a latch provided in the door, and according to the detection result, the first port or the second port It may include a door transfer unit for transferring the two ports, a third port for loading the doors to be mounted on the wafer transfer container, and a transfer robot for transferring the normal doors loaded on the first port to the third port.

Description

도어 이송 장치{Apparatus for transferring doors}Door transfer device {Apparatus for transferring doors}

본 발명은 도어 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 웨이퍼 이송 용기의 개방된 일측을 개폐하는 도어를 이송하는 도어 이송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a door transfer apparatus, and more particularly, to a door transfer apparatus for transferring a door that opens and closes an open side of a wafer transfer container.

일반적으로, 반도체 소자 제조 공정은 웨이퍼를 대상으로 사진, 식각, 확산, 증착 및 금속 공정 등의 다양하게 이루어지는 단위 공정을 반복적으로 수행하여 이루어진다. 각 단위 공정에서는 웨이퍼를 다수 적재된 웨이퍼 이송 용기를 이용하여 웨이퍼를 이동하거나 상기 웨이퍼 이송 용기에 수납된 상태로 각 공정에 투입한다.In general, a semiconductor device manufacturing process is performed by repeatedly performing various unit processes such as photography, etching, diffusion, deposition, and metal processing on a wafer. In each unit process, wafers are moved using a wafer transfer container loaded with a large number of wafers or put into each process while being accommodated in the wafer transfer container.

상기 웨이퍼 이송 용기의 예로는 전면 개방 운반 용기(FOSB, Front Opening Shipping Box)와 전면 개방 일체식 포드(FOUP, Front Open Unified Pod)를 들 수 있다. 상기 웨이퍼 이송 용기는 EFEM(Equipment Front End Module)이나 스토커(Stocker)의 로드 포트에 안착된다.Examples of the wafer transport container include a Front Opening Shipping Box (FOSB) and a Front Open Unified Pod (FOUP). The wafer transfer container is seated on a load port of an Equipment Front End Module (EFEM) or a Stocker.

상기 웨이퍼 이송 용기는 일측이 개방되어 있고, 상기 개방된 일측을 도어로 개폐한다. 상기 웨이퍼 이송 용기의 도어를 자동으로 개폐하기 위해 작업자가 상기 도어를 수작업으로 공급한다. 또한, 작업자가 상기 도어의 배치 방향과 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 육안으로 확인한다. One side of the wafer transfer container is opened, and the opened one side is opened and closed by a door. In order to automatically open and close the door of the wafer transfer container, an operator manually supplies the door. In addition, the operator visually confirms the arrangement direction of the door and the open/close state of the latch provided in the door.

상기 도어를 작업자가 수작업으로 공급하므로, 상기 도어를 공급하는데 많은 시간이 소요되며, 작업자의 상기 도어의 배치 방향과 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 실수로 확인하지 못하거나 잘못 확인할 가능성이 존재한다. Since the door is manually supplied by the operator, it takes a lot of time to supply the door, and there is a possibility that the operator cannot mistakenly check the arrangement direction of the door and the opening/closing state of the latch provided in the door by mistake. do.

본 발명은 일측이 개방된 웨이퍼 이송 용기를 개폐하기 위한 도어를 자동으로 공급하기 위한 도어 이송 장치를 제공한다.The present invention provides a door transfer device for automatically supplying a door for opening and closing a wafer transfer container with one side open.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 도어 이송 장치는, 상기 제1 포트의 상방에 배치되며, 상기 도어 이송 유닛으로부터 상기 정상 도어를 전달받아 정렬하는 도어 정렬 유닛을 더 포함할 수 있다. According to embodiments of the present invention, the door transfer device may further include a door alignment unit disposed above the first port and arranged to receive and align the normal door from the door transfer unit.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 도어 정렬 유닛은, 상기 도어를 상하로 통과시키기 위한 개구를 갖는 사각 프레임과, 상기 프레임의 하부 양측에 돌출 가능하도록 각각 구비되며, 상기 도어의 하부면을 지지하는 지지부들과, 상기 프레임의 하부면 네 모서리 중 마주보는 두 모서리에 각각 구비되며, 상기 지지부에 의해 지지된 도어의 두 모서리를 밀어 정렬하는 정렬부들 및 상기 프레임의 하부면 네 모서리 중 나머지 두 모서리에 각각 구비되며, 정렬된 도어의 기울어짐을 감지하는 감지부들을 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the door alignment unit is provided with a rectangular frame having an opening for passing the door up and down, and protruding from both sides of the lower side of the frame, the lower surface of the door. Supporting parts, aligning parts provided at two opposite corners among the four corners of the lower surface of the frame, for pushing and aligning the two corners of the door supported by the support part, and the other two of the four corners of the lower surface of the frame It is provided at each corner, and may include sensing units for detecting the inclination of the aligned door.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 도어 정렬 유닛에서 정렬된 도어를 전달받아 적재하기 위해 상기 제1 포트는 승강 가능하도록 구비될 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the first port may be provided so as to be able to move up and down in order to receive and load the aligned door from the door alignment unit.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 도어 이송 장치는, 상기 제1 포트에 적재된 상기 정상 도어들을 상기 제3 포트로 이송하기 전에 임시로 적재하기 위한 제4 포트를 더 포함할 수 있다. According to embodiments of the present invention, the door transfer device may further include a fourth port for temporarily loading the normal doors loaded in the first port before transferring them to the third port.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제3 포트는 상기 웨이퍼 이송 용기로부터 분리된 도어들을 추가로 적재하며, 상기 도어 이송 장치는, 상기 대차 수용부에 수용된 상기 대차와 인접하도록 배치되며, 상기 이송 로봇에 의해 이송되는 상기 제3 포트에 적재된 도어들을 적재하기 위한 제5 포트 및 상기 제5 포트에 적재된 도어들을 상기 대차로 이송하기 위해 상기 도어들을 상기 대차를 향해 푸시하는 푸셔를 더 포함할 수 있다. According to embodiments of the present invention, the third port additionally loads the doors separated from the wafer transfer container, and the door transfer device is disposed adjacent to the bogie accommodated in the bogie accommodating part, and the A fifth port for loading the doors loaded on the third port transferred by the transfer robot, and a pusher for pushing the doors toward the cart to transport the doors loaded on the fifth port to the cart can do.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 도어 이송 장치는, 상기 웨이퍼 이송 용기를 지지하는 로드 포트 및 상기 로드 포트의 일측에 구비되며, 상기 제3 포트에 적재된 도어들을 순차적으로 상기 웨이퍼 이송 용기에 장착하거나, 상기 웨이퍼 이송 용기로부터 상기 도어를 분리하여 상기 제3 포트에 적재하는 도어 탈부착 로봇을 더 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the door transfer device is provided at a load port supporting the wafer transfer container and one side of the load port, and sequentially transfers the doors loaded in the third port to the wafer transfer container. It may further include a door detachable robot that is mounted on, or that separates the door from the wafer transfer container and loads it into the third port.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 도어 이송 유닛은, 몸체부와, 상기 몸체부의 하부면에 구비되며, 상기 도어의 외측면을 진공력으로 흡착하는 진공 흡착부 및 상기 몸체부에 구비되며, 상기 도어의 배치 방향과 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 감지하는 도어 감지부를 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the door transfer unit includes a body portion, a vacuum suction unit provided on a lower surface of the body portion, a vacuum adsorption unit for adsorbing an outer surface of the door with vacuum force, and the body portion, , a door detection unit configured to detect an arrangement direction of the door and an open/close state of a latch provided in the door.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 도어 감지부는, 상기 진공 흡착부에 흡착된 상기 도어의 외측면을 향해 돌출되는 제1 로드를 가지며, 상기 제1 로드가 상기 도어의 외측면 상방 일측에 형성된 제1 홈 또는 돌기를 감지하는지 여부에 따라 상기 도어의 배치 방향을 확인하는 제1 스케일 실린더 및 상기 진공 흡착부에 흡착된 상기 도어의 외측면을 향해 돌출되는 제2 로드를 가지며, 상기 제2 로드가 상기 도어의 외측면에서 상기 래치홀의 일측에 형성된 제2 홈을 감지하는지 여부에 따라 상기 래치의 개폐 상태를 확인하는 제2 스케일 실린더를 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the door sensing unit has a first rod that protrudes toward an outer surface of the door that is adsorbed to the vacuum adsorption unit, and the first rod is disposed on an upper side of the outer surface of the door. a first scale cylinder for checking an arrangement direction of the door according to whether the formed first groove or protrusion is detected, and a second rod protruding toward the outer surface of the door adsorbed to the vacuum adsorption unit, the second and a second scale cylinder for checking an open/closed state of the latch according to whether the rod detects a second groove formed on one side of the latch hole on the outer surface of the door.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 스케일 실린더는 상기 제1 로드가 상기 도어의 외측면과 접촉할 때의 돌출 길이를 상기 제1 로드가 상기 제1 홈의 저면 또는 상기 돌기와 접촉할 때의 기준 돌출 길이와 비교하여 상기 제1 홈 또는 돌기를 감지하고, 상기 제2 스케일 실린더는 상기 제2 로드가 상기 도어의 외측면과 접촉할 때의 돌출 길이를 상기 제2 로드가 상기 제2 홈의 저면과 접촉할 때의 기준 돌출 길이와 비교하여 상기 제2 홈을 감지할 수 있다. According to embodiments of the present invention, the first scale cylinder determines the length of the protrusion when the first rod contacts the outer surface of the door so that the first rod contacts the bottom surface of the first groove or the protrusion. The first groove or protrusion is sensed by comparing the reference protrusion length when the second rod is in contact with the outer surface of the door, and the second scale cylinder determines the protrusion length when the second rod comes into contact with the outer surface of the door. The second groove may be detected as compared with a reference protrusion length when it comes into contact with the bottom surface of the groove.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 도어 감지부의 감지 결과, 상기 도어 배치 방향이 불량이고 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태가 정상인 경우, 상기 도어의 배치 방향을 변경하기 위해 상기 몸체부는 회전 가능할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, when the door arrangement direction is defective and the open/closed state of the latch provided in the door is normal as a result of the detection of the door detecting unit, the body is rotated to change the arrangement direction of the door It may be possible.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 도어 이송 유닛은, 상기 몸체부의 하부면에 구비되며, 상기 진공 흡착부와 상기 도어가 접촉할 때 상기 도어에 가해지는 충격을 완충하기 위한 탄성부를 더 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the door transfer unit is provided on the lower surface of the body part, and further includes an elastic part for buffering an impact applied to the door when the vacuum adsorption part and the door come into contact with each other. can do.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 대차 수용부는, 상기 대차가 수용되기 위해 이동하는 방향 단부에 구비되며, 상기 대차와 도킹하는 도킹 플레이트와, 상기 대차의 이동 방향 양측에 각각 구비되며, 상기 대차의 이동을 가이드하기 위한 가이드 플레이트들 및 상기 대차의 이동 방향을 따라 바닥면을 따라 연장하며, 상기 대차가 상기 대차 수용부에 도킹되도록 상기 대차를 안내하는 도킹 레일을 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the balance accommodating part is provided at an end in a moving direction to receive the balance, a docking plate docking with the balance, and both sides in the moving direction of the balance, respectively, the It may include guide plates for guiding the movement of the bogie, and a docking rail extending along a bottom surface along the moving direction of the bogie, and guiding the bogie so that the bogie is docked to the bogie accommodating part.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 대차는, 상기 도어들을 적재하는 몸체와, 상기 몸체의 이동을 위해 상기 몸체의 하부면에 구비되는 이동 바퀴와, 상기 몸체의 측면에 구비되며, 상기 대차의 이동을 가이드하기 위해 상기 가이드 플레이트들과 접촉하는 가이드 롤러들 및 상기 몸체의 하부면에 구비되며 상기 도킹 레일을 따라 이동하는 도킹 바퀴를 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the bogie, a body for loading the doors, a moving wheel provided on a lower surface of the body for movement of the body, and a side surface of the body, the bogie It may include guide rollers in contact with the guide plates and a docking wheel provided on a lower surface of the body to move along the docking rail in order to guide the movement.

본 발명의 도어 이송 장치는 대차를 이용하여 다수의 도어들을 동시에 공급하거나 배출할 수 있다. 따라서, 상기 도어들의 공급 및 배출에 소요되는 시간을 줄일 수 있다. The door transfer device of the present invention may simultaneously supply or discharge a plurality of doors using a bogie. Accordingly, it is possible to reduce the time required for supplying and discharging the doors.

상기 도어 이송 장치의 도어 이송 유닛은 도어 감지부를 이용하여 진공 흡착부에 흡착된 도어의 배치 방향 및 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 감지할 수 있다. 따라서, 상기 도어의 배치 방향과 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 확인하는데 소요되는 시간을 줄일 수 있을 뿐만 아니라 정확도도 높일 수 있다. The door transfer unit of the door transfer device may sense an arrangement direction of the door adsorbed to the vacuum adsorption unit and an opening/closing state of a latch provided in the door by using the door sensing unit. Accordingly, it is possible to reduce the time required to check the arrangement direction of the door and the open/close state of the latch provided in the door, as well as increase the accuracy.

상기 도어 이송 유닛은 상기 대차의 도어들을 이송하는 도중에 상기 도어의 배치 방향 및 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 확인하여 제1 포트 또는 제2 포트로 이송한다. 따라서, 상기 도어 이송 유닛은 신속하고 정확하게 상기 도어들을 이송할 수 있다. The door transfer unit transfers the doors to the first port or the second port by checking the arrangement direction of the door and the opening/closing state of the latch provided in the door while transferring the doors of the cart. Accordingly, the door transfer unit can transfer the doors quickly and accurately.

상기 도어의 배치 방향 및 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태가 정상인 도어들은 상기 도어 정렬 유닛에서 정렬된 후 상기 제1 포트에 적재된다. 따라서, 상기 정상 상태의 도어들을 정확하게 상기 웨이퍼 이송 용기에 장착할 수 있다. Doors in which the door arrangement direction and the open/closed state of the latch provided on the door are normal are aligned in the door alignment unit and then loaded into the first port. Accordingly, it is possible to accurately mount the doors in the normal state to the wafer transfer container.

상기 도어 이송 장치는 상기 푸셔를 이용하여 상기 웨이퍼 이송 용기로부터 분리된 도어들을 상기 대차로 동시에 이송할 수 있다. The door transfer device may simultaneously transfer the doors separated from the wafer transfer container to the cart using the pusher.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 도어 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 대차 수용부, 대차, 제1 포트, 제2 포트, 도어 이송 유닛 및 도어 정렬 유닛을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 도어 이송 유닛을 설명하기 위한 대략적인 사시도이다.
도 4는 도 1에 도시된 도어 정렬 유닛을 설명하기 위한 개략적인 저면도이다. 1 is a schematic plan view for explaining a door transfer device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic side view for explaining the bogie accommodating part, the bogie, the first port, the second port, the door transfer unit, and the door alignment unit shown in FIG. 1 .
Figure 3 is a schematic perspective view for explaining the door transfer unit shown in Figure 1;
FIG. 4 is a schematic bottom view for explaining the door alignment unit shown in FIG. 1 .

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Since the present invention can have various changes and can have various forms, specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing each figure, like reference numerals have been used for like elements. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are enlarged than the actual size for clarity of the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, a first component may be referred to as a second component, and similarly, a second component may also be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, terms such as “comprise” or “have” are intended to designate the presence of a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, but one or more other features It is to be understood that it does not preclude the possibility of the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical and scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in the present application. does not

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 도어 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 대차 수용부, 대차, 제1 포트, 제2 포트, 도어 이송 유닛 및 도어 정렬 유닛을 설명하기 위한 개략적인 측면도이고, 도 3은 도 1에 도시된 도어 이송 유닛을 설명하기 위한 대략적인 사시도이고, 도 4는 도 1에 도시된 도어 정렬 유닛을 설명하기 위한 개략적인 저면도이다. Figure 1 is a schematic plan view for explaining a door transfer device according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a bogie receiving unit shown in FIG. 1, the bogie, the first port, the second port, the door transfer unit and the door It is a schematic side view for explaining the alignment unit, FIG. 3 is a schematic perspective view for explaining the door transfer unit shown in FIG. 1, and FIG. 4 is a schematic bottom view for explaining the door alignment unit shown in FIG. am.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 상기 도어 이송 장치(100)는 웨이퍼 이송 용기(10)의 개방된 일측을 개폐하기 위한 도어(20)를 이송하기 위한 것으로, 대차 수용부(110), 대차(120), 제1 포트(130), 제2 포트(140), 도어 이송 유닛(150), 도어 정렬 유닛(160), 제3 포트(170), 제4 포트(180), 이송 로봇(190), 제5 포트(200), 푸셔(210), 로드 포트(220), 도어 탈부착 로봇(230)을 포함할 수 있다. 1 to 4, the door transfer device 100 is for transferring the door 20 for opening and closing the opened side of the wafer transfer container 10, the bogie receiving part 110, the bogie ( 120), first port 130, second port 140, door transfer unit 150, door alignment unit 160, third port 170, fourth port 180, transfer robot 190 , a fifth port 200 , a pusher 210 , a load port 220 , and a door detachable robot 230 .

상기 대차 수용부(110)는 상기 도어 이송 장치(100)의 일측에 구비되며, 상기 대차(120)의 출입을 위해 일측이 개방될 수 있다. The cart accommodating part 110 is provided on one side of the door transfer device 100 , and one side may be opened for entry and exit of the cart 120 .

상기 대차 수용부(110)는 상기 대차(120)와 도킹하여 고정하기 위한 도킹 플레이트(112)를 구비한다. 상기 도킹 플레이트(112)는 상기 대차(120)가 대차 수용부(110)에 수용되기 위해 이동하는 방향, 예를 들면, Y축 방향의 단부에 구비된다. 상기 도킹 플레이트(112)는 상기 대차(120)와의 도킹을 위해 상기 대차(120)를 수용하는 홈을 갖거나, 상기 대차(120)를 고정하기 위한 실린더를 구비할 수 있다. The bogie accommodating part 110 includes a docking plate 112 for docking and fixing the bogie 120 . The docking plate 112 is provided at an end in a direction in which the bogie 120 moves to be accommodated in the bogie accommodating part 110 , for example, in the Y-axis direction. The docking plate 112 may have a groove for accommodating the bogie 120 for docking with the bogie 120 , or a cylinder for fixing the bogie 120 .

또한, 상기 대차 수용부(110)는 가이드 플레이트(114)들 및 도킹 레일(116)을 더 포함할 수 있다.In addition, the bogie accommodating part 110 may further include guide plates 114 and a docking rail 116 .

상기 가이드 플레이트(114)들은 상기 대차(120)의 이동 방향 양측에 각각 구비되며, 상기 Y축 방향을 따라 연장할 수 있다. 상기 가이드 플레이트(114)들은 상기 대차(120)가 상기 도킹 플레이트(112)에 도킹되도록 상기 대차(120)를 안내한다.The guide plates 114 are respectively provided on both sides of the moving direction of the bogie 120 and may extend along the Y-axis direction. The guide plates 114 guide the bogie 120 so that the bogie 120 is docked to the docking plate 112 .

상기 도킹 레일(116)들은 상기 대차 수용부(110)의 바닥면에 상기 대차(120)의 이동 방향인 상기 Y축 방향을 따라 연장한다. 상기 도킹 레일(116)들은 상기 대차(120)가 상기 도킹 플레이트(112)에 도킹되도록 상기 대차(120)를 안내한다. The docking rails 116 extend along the Y-axis direction, which is the moving direction of the cart 120 on the bottom surface of the cart accommodating part 110 . The docking rails 116 guide the bogie 120 so that the bogie 120 is docked to the docking plate 112 .

따라서, 상기 대차(120)가 정확하고 안정적으로 상기 도킹 플레이트(112)와 도킹될 수 있다. Accordingly, the bogie 120 may be accurately and stably docked with the docking plate 112 .

그리고, 도시되지는 않았지만, 상기 대차 수용부(110)는 대차 감지 센서와 도킹 감지 센서를 더 포함할 수 있다. And, although not shown, the balance receiving unit 110 may further include a balance detection sensor and a docking detection sensor.

상기 대차 감지 센서는 상기 도킹 플레이트(112)와 인접하도록 구비된다. 예를 들면, 상기 대차 감지 센서는 상기 도킹 플레이트(112)와 인접한 바닥면이나 측면에 구비될 수 있다. 상기 대차 감지 센서(128)는 상기 대차 수용부(110)의 내부에 상기 대차(120)의 존재 여부를 감지한다. 예를 들면, 상기 대차 감지 센서는 근접 센서일 수 있다. The balance detection sensor is provided to be adjacent to the docking plate 112 . For example, the balance detection sensor may be provided on a bottom surface or a side surface adjacent to the docking plate 112 . The bogie detection sensor 128 detects whether the bogie 120 is present inside the bogie accommodating part 110 . For example, the bogie detection sensor may be a proximity sensor.

상기 도킹 감지 센서는 상기 도킹 플레이트(112)에 구비되며, 상기 대차(120)가 상기 도킹 플레이트(112)에 고정되었는지 여부를 감지한다. 예를 들면, 상기 도킹 감지 센서는 상기 도킹 플레이트(112)의 홈에 구비되어 상기 대차(120)가 상기 홈에 삽입되는지를 감지하거나, 상기 대차(120)가 상기 도킹 플레이트(112)의 실린더와 결합되는지를 감지할 수 있다. The docking detection sensor is provided on the docking plate 112 , and detects whether the bogie 120 is fixed to the docking plate 112 . For example, the docking detection sensor is provided in the groove of the docking plate 112 to detect whether the cart 120 is inserted into the groove, or the cart 120 is connected to the cylinder of the docking plate 112 . bonding can be detected.

따라서, 상기 대차 감지 센서 및 상기 도킹 감지 센서를 이용하여 상기 대차(120)의 도킹 불량을 신속하게 확인할 수 있다. 그러므로, 상기 대차(120)가 상기 도킹 플레이트(112)에 정확하고 안정적으로 도킹될 수 있다. Therefore, it is possible to quickly check the docking defect of the bogie 120 using the bogie detection sensor and the docking detection sensor. Therefore, the bogie 120 may be accurately and stably docked to the docking plate 112 .

상기 대차(120)는 상기 대차 수용부(110)의 개방된 일측을 통해 상기 대차 수용부(110)에 수용되며, 상기 대차 수용부(110)의 상기 도킹 플레이트(112)와 도킹되어 고정된다. 상기 대차(120)는 다수의 도어(20)들을 수납한다. 예를 들면, 상기 대차(120)는 두 세트의 도어(20)들을 각각 적재할 수 있다. 이때, 한 세트는 20개의 도어들로 이루어질 수 있다.The bogie 120 is accommodated in the bogie accommodating part 110 through the open one side of the bogie accommodating part 110 , and is docked with the docking plate 112 of the bogie accommodating part 110 to be fixed. The bogie 120 accommodates a plurality of doors 20 . For example, the bogie 120 may load two sets of doors 20 , respectively. In this case, one set may consist of 20 doors.

구체적으로 상기 대차(120)는 몸체(121), 가이드 바(122)들, 이동 바퀴(123)들, 도킹 바퀴(124)들, 가이드 롤러(125)들 및 반사판(126)을 포함한다. Specifically, the bogie 120 includes a body 121 , guide bars 122 , moving wheels 123 , docking wheels 124 , guide rollers 125 , and a reflecting plate 126 .

상기 몸체(121)는 상면이 평판 형태를 갖는 프레임일 수 있다. 상기 몸체(121)의 상면에는 도어(20)들이 상하로 적재될 수 있다. 또한, 상기 두 세트의 도어(20)들은 상기 몸체(121)의 상면에서 X축 방향을 따라 배열될 수 있다. 상기에서는 상기 몸체(121)에 두 세트의 도어(20)들이 적재되는 것으로 설명되었으나, 한 세트의 도어(20)들이 적재되거나 세 세트 이상의 도어(20)들이 적재될 수도 있다. The body 121 may be a frame having a flat top surface. Doors 20 may be vertically stacked on the upper surface of the body 121 . In addition, the two sets of doors 20 may be arranged along the X-axis direction on the upper surface of the body 121 . Although it has been described above that two sets of doors 20 are loaded on the body 121 , one set of doors 20 may be loaded or three or more sets of doors 20 may be loaded.

상기 가이드 바(122)들은 상기 몸체(121)의 상면에 수직 방향, 즉 Z축 방향을 따라 연장하도록 구비된다. 상기 가이드 바(122)들은 상기 몸체(121)에 적재된 도어(20)들의 측면에 구비되며 상기 도어(20)들을 지지한다. 따라서, 상기 도어(20)들을 상기 몸체(121)의 상부면에 정확하고 안정적으로 적재할 수 있으며, 상기 대차(120)의 이동시 상기 도어(20)들이 수평 방향으로 이동하는 것을 차단할 수 있다. The guide bars 122 are provided to extend in a direction perpendicular to the upper surface of the body 121 , that is, along the Z-axis direction. The guide bars 122 are provided on side surfaces of the doors 20 loaded on the body 121 and support the doors 20 . Accordingly, the doors 20 can be accurately and stably loaded on the upper surface of the body 121 , and when the cart 120 is moved, the doors 20 can be blocked from moving in the horizontal direction.

한편, 상기 푸셔(210) 에 의해 이동하는 도어(20)의 이동 경로를 제한하지 않도록 상기 푸셔(210) 와 인접하는 도어(20)들의 측면에는 상기 가이드 바(122)가 구비되지 않는다. Meanwhile, the guide bar 122 is not provided on the side surfaces of the doors 20 adjacent to the pusher 210 so as not to limit the movement path of the door 20 moving by the pusher 210 .

상기 이동 바퀴(123)는 상기 몸체(121)의 이동을 위해 상기 몸체(121)의 하부면에 구비된다. 상기 이동 바퀴(123)의 예로는 회전이 가능한 캐스터를 들 수 있다. 상기 이동 바퀴(123)가 구비되므로 작업자가 상기 대차(120)를 쉽게 이동시킬 수 있다. The moving wheel 123 is provided on the lower surface of the body 121 to move the body 121 . An example of the moving wheel 123 may be a rotatable caster. Since the moving wheel 123 is provided, an operator can easily move the bogie 120 .

상기 도킹 바퀴(124)는 상기 몸체(121)의 하부면에 구비된다. 상기 도킹 바퀴(124)는 상기 대차(120)가 상기 도킹 플레이트(112)와 도킹될 때만 사용되며, 상기 대차(120)의 이동시 사용되지 않는다. The docking wheel 124 is provided on the lower surface of the body 121 . The docking wheel 124 is used only when the bogie 120 is docked with the docking plate 112 , and is not used when the bogie 120 is moved.

상기 도킹 바퀴(124)는 상기 도킹 레일(116)을 따라 이동할 수 있다. 상기 대차(120)가 상기 도킹 레일(116)에 의해 안내되므로, 상기 대차(120)가 상기 도킹 플레이트(112)에 안정적으로 도킹될 수 있다. The docking wheel 124 may move along the docking rail 116 . Since the bogie 120 is guided by the docking rail 116 , the bogie 120 may be stably docked to the docking plate 112 .

상기 도킹 바퀴(124)는 상기 이동 바퀴(123)와 동일선 상이 아닌 다른 위치에 위치할 수 있다. 따라서, 상기 도킹 바퀴(124)가 상기 도킹 레일(116)을 따라 이동할 때 상기 이동 바퀴(123)의 간섭을 받지 않을 수 있다. The docking wheel 124 may be located at a different position than on the same line as the moving wheel 123 . Accordingly, when the docking wheel 124 moves along the docking rail 116 , interference from the moving wheel 123 may be avoided.

또한, 상기 도킹 바퀴(124)의 높이가 상기 이동 바퀴(123)의 높이보다 높게 위치할 수 있다. 따라서, 상기 도킹 바퀴(124)가 대차 수용부(110)의 내부의 바닥면에 구비된 상기 도킹 레일(116)에 쉽게 진입할 수 있다. Also, a height of the docking wheel 124 may be higher than a height of the moving wheel 123 . Accordingly, the docking wheel 124 can easily enter the docking rail 116 provided on the bottom surface of the inside of the bogie accommodating part 110 .

한편, 상기 도킹 바퀴(124)의 높이가 상기 이동 바퀴(123)의 높이와 동일할 수도 있다. Meanwhile, the height of the docking wheel 124 may be the same as the height of the moving wheel 123 .

상기 가이드 롤러(125)들은 상기 몸체(121)의 측면에 구비되며, 상기 가이드 플레이트(114)들과 접촉한다. 따라서, 상기 대차(120)의 이동을 보다 안정적으로 가이드할 수 있다. The guide rollers 125 are provided on the side surfaces of the body 121 and are in contact with the guide plates 114 . Accordingly, it is possible to more stably guide the movement of the bogie 120 .

상기 반사판(126)은 상기 몸체(121)의 상면에서 상기 도어(20)들이 적재되는 부위에 각각 구비될 수 있다. 상기 반사판(126)은 상기 몸체(121)의 상부면에 상기 도어(20)들이 존재하는지 여부를 확인하는데 사용될 수 있다.The reflective plate 126 may be provided on the upper surface of the body 121 at a portion on which the doors 20 are loaded. The reflector 126 may be used to check whether the doors 20 are present on the upper surface of the body 121 .

한편, 상기 대차 수용부(110)의 상방에는 도어 센서(118)가 구비될 수 있다. 상기 도어 센서(118)는 상기 대차 수용부(110)에 수용된 상기 대차(120)에서 상기 반사판(126)과 대응하는 위치에 배치될 수 있다. On the other hand, a door sensor 118 may be provided above the bogie accommodating part 110 . The door sensor 118 may be disposed at a position corresponding to the reflecting plate 126 in the bogie 120 accommodated in the bogie accommodating part 110 .

상기 도어 센서(118)에서 상기 반사판(126)을 향해 광을 조사하고, 상기 반사판(126)으로부터 반사된 반사광이 상기 도어 센서(118)에 수신되는지 여부에 따라 상기 대차(120)에 상기 도어(20)들이 존재하는지 여부를 확인할 수 있다. The door sensor 118 irradiates light toward the reflective plate 126, and depending on whether the reflected light reflected from the reflective plate 126 is received by the door sensor 118, the 20) can be checked whether they exist.

상기 제1 포트(130)는 상기 도어(20)의 배치 방향 및 상기 도어(20)에 구비된 래치의 개폐 상태가 정상인 도어(20)들을 상하로 적재한다. 예를 들면, 상기 제1 포트(130)는 상기 대차 수용부(110)의 상기 X축 방향 일측에 배치될 수 있다. The first port 130 stacks the doors 20 in which the door 20 is disposed and the latches provided in the door 20 are normally opened and closed. For example, the first port 130 may be disposed on one side of the balance receiving part 110 in the X-axis direction.

상기 제1 포트(130)는 승강 가능하도록 구비될 수 있다. 따라서, 상기 도어 정렬 유닛(160)에서 정렬된 도어(20)를 전달받아 적재할 수 있다. The first port 130 may be provided to be liftable. Accordingly, the door 20 aligned by the door alignment unit 160 may be received and loaded.

또한, 상기 제1 포트(130)는 상기 도어(20)의 하부면 전체가 아닌 일부를 지지하는 형상을 가질 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 포트(130)는 대략 U자 형태를 가질 수 있다. 따라서, 상기 이송 로봇(190)이 상기 도어(20)의 하부면에서 상기 제1 포트(130)에 의해 지지되지 않는 부위를 지지하여 한 번에 이송할 수 있다. In addition, the first port 130 may have a shape to support a portion of the lower surface of the door 20 instead of the whole. For example, the first port 130 may have an approximately U-shape. Accordingly, the transfer robot 190 can support a portion not supported by the first port 130 on the lower surface of the door 20 and transfer it at a time.

상기 제2 포트(140)는 상기 도어(20)의 배치 방향 및 상기 도어(20)에 구비된 래치의 개폐 상태 중 적어도 하나가 불량인 도어(20)들을 상하로 적재한다. 예를 들면, 상기 제2 포트(140)는 상기 대차 수용부(110)의 상기 X축 방향 일측에 배치될 수 있다. The second port 140 stacks the doors 20 in which at least one of an arrangement direction of the door 20 and an open/close state of a latch provided on the door 20 is defective. For example, the second port 140 may be disposed on one side of the bogie accommodating part 110 in the X-axis direction.

상기 도어 이송 유닛(150)은 상기 대차(120)에 적재된 상기 도어(20)들을 픽업하여 상기 도어(20)의 배치 방향과 상기 도어(20)에 구비된 래치의 개폐 상태를 감지하고, 상기 감지 결과에 따라 상기 제1 포트(130) 또는 상기 제2 포트(140)로 이송한다. 자세히 도시되지는 않았지만, 상기 도어 이송 유닛(150)은 별도의 구동부에 의해 수평 방향 및 수직 방향으로 이동이 가능하며, 회전도 가능하다. 예를 들면, 상기 도어 이송 유닛(150)은 상기 X축 방향 및 상기 Z축 방향으로 이동 가능하며 상기 Z축을 중심으로 회전할 수 있다. The door transfer unit 150 picks up the doors 20 loaded on the bogie 120 , detects an arrangement direction of the door 20 and an opening/closing state of a latch provided in the door 20 , and the It is transferred to the first port 130 or the second port 140 according to the detection result. Although not shown in detail, the door transfer unit 150 can be moved in horizontal and vertical directions by a separate driving unit, and can also be rotated. For example, the door transfer unit 150 may move in the X-axis direction and the Z-axis direction, and may rotate around the Z-axis.

상기 도어 이송 유닛(150)은 몸체부(152), 진공 흡착부(154), 도어 감지부(156) 및 탄성부(158)를 포함할 수 있다. The door transfer unit 150 may include a body 152 , a vacuum adsorption unit 154 , a door sensing unit 156 , and an elastic unit 158 .

상기 도어(20)는 외측면에 래치홀(22)을 갖는다. 상기 래치홀(22)은 상기 도어(20)의 외측면 중앙 부위에 좌우로 배치된다. 상기 래치홀(22)은 상기 도어(20) 내부의 래치(미도시)를 회전시키기 위해 래치핀(미도시)이 삽입되는 통로이다. The door 20 has a latch hole 22 on its outer surface. The latch holes 22 are disposed left and right at the central portion of the outer surface of the door 20 . The latch hole 22 is a passage through which a latch pin (not shown) is inserted to rotate a latch (not shown) inside the door 20 .

상기 도어(20)가 세워진 상태에서 상기 도어(20)의 외측면 상방에 제1 홈(24)이 구비된다. 이하에서 상기 도어(20)의 상방은 상기 도어(20)가 정상 방향으로 세워졌을 때 상기 도어(20)의 상방을 의미한다. 한편, 도시되지는 않았지만, 제1 홈(24) 대신에 돌기가 구비될 수 있다. A first groove 24 is provided above the outer surface of the door 20 in a state in which the door 20 is erected. Hereinafter, the upper side of the door 20 means the upper side of the door 20 when the door 20 is erected in the normal direction. Meanwhile, although not shown, a protrusion may be provided instead of the first groove 24 .

또한, 상기 래치홀(22)의 외측면에서 상기 래치홀(22)의 일측에 제2 홈(26)이 구비된다. 상기 제2 홈(26)은 상기 래치핀에 의해 회전하는 상기 래치를 노출한다. 상기 래치의 개폐가 정상적인 경우, 상기 래치는 상기 제2 홈(26)에 의해 노출되지 않는다. 상기 래치의 개폐가 불량인 경우, 상기 래치는 상기 제2 홈(26)에 의해 노출된다. In addition, a second groove 26 is provided on one side of the latch hole 22 on the outer surface of the latch hole 22 . The second groove 26 exposes the latch rotated by the latch pin. When the latch is normally opened and closed, the latch is not exposed by the second groove 26 . When opening and closing of the latch is defective, the latch is exposed by the second groove 26 .

구체적으로, 상기 몸체부(152)는 대략 일정한 두께를 갖는 평판 형태이다. Specifically, the body portion 152 is in the form of a flat plate having an approximately constant thickness.

상기 진공 흡착부(154)는 상기 몸체부(152)의 하부면에 구비되며, 상기 도어(20)의 외측면을 진공력으로 흡착한다.The vacuum adsorption part 154 is provided on the lower surface of the body part 152 and adsorbs the outer surface of the door 20 by vacuum force.

상기 진공 흡착부(154)는 적어도 두 개가 구비되며, 바람직하게는 네 개가 구비될 수 있다. 상기 진공 흡착부(154)가 복수로 구비되므로, 상기 진공 흡착부(154)로 도어(20)를 안정적으로 흡착할 수 있다. At least two vacuum adsorption units 154 may be provided, preferably four. Since the vacuum adsorption unit 154 is provided in plurality, the door 20 can be stably adsorbed by the vacuum adsorption unit 154 .

상기 도어 감지부(156)는 상기 몸체부(152)에 구비되어 상기 도어(20)의 배치 방향과 상기 도어(20)에 구비된 래치의 개폐 상태를 감지한다. The door detection unit 156 is provided in the body unit 152 to detect an arrangement direction of the door 20 and an open/close state of a latch provided in the door 20 .

상기 도어 감지부(156)는 제1 스케일 실린더(156a) 및 제2 스케일 실린더(156b)를 포함한다. The door detection unit 156 includes a first scale cylinder 156a and a second scale cylinder 156b.

상기 제1 스케일 실린더(156a)는 상기 몸체부(152)를 상하로 관통하여 구비되며, 제1 로드(미도시)를 갖는다. 상기 제1 로드는 상기 진공 흡착부(154)에 흡착된 도어(20)의 외측면을 향해 상기 몸체부(152)의 하방으로 돌출된다. 상기 제1 로드를 이용하여 상기 도어(20)의 제1 홈(24) 또는 상기 돌기를 감지한다. The first scale cylinder 156a is provided vertically penetrating the body portion 152 and has a first rod (not shown). The first rod protrudes downward of the body 152 toward the outer surface of the door 20 adsorbed by the vacuum adsorption unit 154 . The first groove 24 or the protrusion of the door 20 is sensed using the first rod.

상기 도어(20)의 배치 방향이 정상적인 경우, 상기 제1 로드는 상기 몸체부(152)의 하방으로 돌출되어 상기 제1 홈(24)의 저면과 접촉한다. 상기 도어(20)가 진공 흡착부(154)에 흡착된 상태에서 상기 제1 로드가 상기 제1 홈(24)의 저면과 접촉할 때 상기 제1 로드의 돌출 길이를 제1 기준 돌출 길이로 설정한다. When the arrangement direction of the door 20 is normal, the first rod protrudes downward of the body part 152 and comes into contact with the bottom surface of the first groove 24 . When the first rod contacts the bottom surface of the first groove 24 while the door 20 is adsorbed to the vacuum adsorption unit 154 , the protrusion length of the first rod is set as the first reference protrusion length do.

그러므로, 상기 도어(20)가 상기 진공 흡착부(154)에 흡착된 상태에서 상기 제1 로드가 상기 도어(20)의 외측면과 접촉할 때의 돌출 길이를 상기 제1 기준 돌출 길이와 비교함으로써 상기 제1 스케일 실린더(156a)로 상기 제1 홈(24) 또는 상기 돌기를 감지할 수 있다. Therefore, by comparing the protrusion length when the first rod contacts the outer surface of the door 20 with the first reference protrusion length in a state in which the door 20 is adsorbed to the vacuum adsorption unit 154 . The first groove 24 or the protrusion may be detected by the first scale cylinder 156a.

예를 들면, 상기 제1 로드의 돌출 길이가 상기 제1 기준 돌출 길이와 실질적으로 동일한 경우, 상기 제1 스케일 실린더(156a)가 상기 제1 홈(24) 또는 상기 돌기를 감지한 것으로 판단한다. 따라서, 상기 도어(20)에서 상기 제1 홈(24) 또는 상기 돌기가 상기 상방에 위치하고, 상기 도어(20)의 배치 방향을 정상으로 판단한다. For example, when the protrusion length of the first rod is substantially the same as the first reference protrusion length, it is determined that the first scale cylinder 156a detects the first groove 24 or the protrusion. Accordingly, in the door 20 , the first groove 24 or the protrusion is located at the upper side, and it is determined that the arrangement direction of the door 20 is normal.

상기 제1 로드의 돌출 길이가 상기 제1 기준 돌출 길이와 다른 경우, 상기 제1 스케일 실린더(156a)가 상기 제1 홈(24) 또는 상기 돌기를 감지하지 못한 것으로 판단한다. 따라서, 상기 도어(20)에서 상기 제1 홈(24) 또는 상기 돌기가 상기 상방과 반대되는 하방에 위치하고, 상기 도어(20)의 배치 방향을 불량으로 판단한다. When the protrusion length of the first rod is different from the first reference protrusion length, it is determined that the first scale cylinder 156a does not detect the first groove 24 or the protrusion. Accordingly, in the door 20 , the first groove 24 or the protrusion is located at a lower side opposite to the upper side, and the arrangement direction of the door 20 is determined to be defective.

상기 제2 스케일 실린더(156b)는 한 쌍으로 이루어지며, 상기 몸체부(152)를 상하로 관통하여 구비된다. 상기 제2 스케일 실린더(156b)는 각각 제2 로드(미도시)를 갖는다. 상기 제2 로드는 상기 진공 흡착부(154)에 흡착된 상기 도어(20)의 외측면을 향해 상기 몸체부(152)의 하방으로 돌출된다. 상기 제2 로드를 이용하여 상기 도어(20)의 외측면에서 상기 래치홀(22)의 일측에 형성된 상기 제2 홈(26)을 감지한다. The second scale cylinder 156b is formed as a pair, and is provided to penetrate the body portion 152 vertically. Each of the second scale cylinders 156b has a second rod (not shown). The second rod protrudes downward of the body 152 toward the outer surface of the door 20 adsorbed by the vacuum adsorption unit 154 . The second groove 26 formed on one side of the latch hole 22 on the outer surface of the door 20 is sensed using the second rod.

상기 래치의 개폐 상태가 정상인 경우, 상기 제2 로드는 상기 몸체부(152)의 하방으로 돌출되어 상기 제2 홈(26)의 저면과 접촉한다. 상기 도어(20)가 진공 흡착부(154)에 흡착된 상태에서 상기 제2 로드가 상기 제2 홈(26)의 저면과 접촉할 때 상기 제2 로드의 돌출 길이를 제2 기준 돌출 길이로 설정한다. When the latch opening and closing state is normal, the second rod protrudes downward of the body part 152 and comes into contact with the bottom surface of the second groove 26 . When the second rod comes into contact with the bottom surface of the second groove 26 while the door 20 is adsorbed to the vacuum adsorption unit 154 , the protrusion length of the second rod is set as the second reference protrusion length do.

그러므로, 상기 도어(20)가 상기 진공 흡착부(154)에 흡착된 상태에서 상기 제2 로드가 도어(20)의 외측면과 접촉할 때의 돌출 길이를 상기 제2 기준 돌출 길이와 비교함으로써 제2 스케일 실린더(156b)로 상기 래치의 개폐 상태를 감지할 수 있다. Therefore, by comparing the protrusion length when the second rod contacts the outer surface of the door 20 with the second reference protrusion length in a state in which the door 20 is adsorbed to the vacuum adsorption unit 154 , the second reference protrusion length is obtained. The open/closed state of the latch may be detected by the second scale cylinder 156b.

예를 들면, 상기 제2 로드의 돌출 길이가 상기 제2 기준 돌출 길이와 실질적으로 동일한 경우, 상기 제2 스케일 실린더(156b)가 상기 제2 홈(26)을 감지한 것으로 판단한다. 따라서, 상기 래치의 개폐 상태가 정상인 것으로 판단한다. For example, when the protrusion length of the second rod is substantially the same as the second reference protrusion length, it is determined that the second scale cylinder 156b senses the second groove 26 . Accordingly, it is determined that the open/close state of the latch is normal.

상기 제2 로드의 돌출 길이가 상기 제2 기준 돌출 길이와 다른 경우, 상기 제2 스케일 실린더(156b)가 상기 제2 홈(26)을 감지하지 못한 것으로 판단한다. 따라서, 상기 래치의 개폐 상태가 불량인 것으로 판단한다. When the protrusion length of the second rod is different from the second reference protrusion length, it is determined that the second scale cylinder 156b does not sense the second groove 26 . Therefore, it is determined that the open/closed state of the latch is defective.

그러므로, 상기 도어 감지부(156)를 이용하여 상기 진공 흡착부(154)에 흡착된 도어(20)의 배치 방향과 도어(20)에 구비된 래치의 개폐 상태를 확인할 수 있다. 따라서, 상기 도어(20)의 배치 방향과 도어(20)에 구비된 래치의 개폐 상태를 확인하는데 소요되는 시간을 줄일 수 있을 뿐만 아니라 정확도도 높일 수 있다. Therefore, the arrangement direction of the door 20 adsorbed to the vacuum adsorption unit 154 and the opening/closing state of the latch provided in the door 20 can be checked using the door sensing unit 156 . Accordingly, it is possible to reduce the time required to check the arrangement direction of the door 20 and the open/closed state of the latch provided in the door 20, as well as increase the accuracy.

한편, 상기 몸체부(152)는 회전 가능하도록 구비될 수 있다. 상기 도어 감지부(156)의 감지 결과, 상기 도어(20)의 배치 방향이 불량이고 상기 도어(20)에 구비된 래치의 개폐 상태가 정상인 경우, 상기 몸체부(152)를 180도 만큼 회전시켜 도어(20)의 배치 방향을 변경할 수 있다. 상기 몸체부(152)의 회전을 통해 도어(20)의 배치 방향 불량을 해소할 수 있다. On the other hand, the body portion 152 may be provided to be rotatable. As a result of the detection by the door detection unit 156, when the arrangement direction of the door 20 is bad and the opening and closing state of the latch provided in the door 20 is normal, the body unit 152 is rotated by 180 degrees The arrangement direction of the door 20 may be changed. Through the rotation of the body portion 152, it is possible to solve a defect in the arrangement direction of the door 20.

상기 탄성부(158)는 상기 몸체부(152)의 하부면에 돌출되어 구비된다. 예를 들면, 상기 탄성부(158)는 상기 몸체부(152)를 관통하여 구비되거나, 상기 몸체부(152)의 하부면에 구비될 수 있다. 이때, 상기 탄성부(158)는 상기 진공 흡착부(154)보다 약간 더 돌출될 수 있다. 상기 탄성부(158)의 예로는 코일 스프링을 들 수 있다. The elastic part 158 is provided to protrude from the lower surface of the body part 152 . For example, the elastic part 158 may be provided through the body part 152 or provided on the lower surface of the body part 152 . In this case, the elastic part 158 may protrude slightly more than the vacuum adsorption part 154 . An example of the elastic part 158 may be a coil spring.

상기 탄성부(158)는 상기 진공 흡착부(154)보다 약간 더 돌출되므로, 상기 진공 흡착부(154)가 상기 도어(20)를 흡착할 때 상기 탄성부(158)가 상기 도어(20)와 먼저 접촉한다. 따라서, 상기 진공 흡착부(154)와 상기 도어(20)가 접촉할 때 상기 도어(20)에 가해지는 충격을 상기 탄성부(158)가 완충할 수 있다. 그러므로, 상기 진공 흡착부(154)에 의해 상기 도어(20)가 손상되는 것을 방지할 수 있다. Since the elastic part 158 protrudes slightly more than the vacuum adsorption part 154 , when the vacuum adsorption part 154 adsorbs the door 20 , the elastic part 158 and the door 20 and first contact Accordingly, the elastic part 158 may buffer the impact applied to the door 20 when the vacuum adsorption part 154 and the door 20 come into contact with each other. Therefore, it is possible to prevent the door 20 from being damaged by the vacuum adsorption unit 154 .

상기 탄성부(158)는 적어도 두 개가 구비되며, 바람직하게는 네 개가 구비될 수 있다. 상기 탄성부(158)가 복수로 구비되므로, 상기 충격을 탄성부(158)가 보다 안정적으로 완충할 수 있다. At least two elastic parts 158 may be provided, and preferably four may be provided. Since the elastic part 158 is provided in plurality, the elastic part 158 may more stably buffer the impact.

상기 도어 감지부(156)의 감지 결과 상기 도어(20)의 배치 방향 및 도어(20)에 구비된 래치의 개폐 상태가 정상인 경우, 상기 도어 이송 유닛(150)은 상기 대차(120)의 도어(20)들을 상기 제1 포트(130)로 이송한다. As a result of detection by the door detection unit 156 , when the arrangement direction of the door 20 and the open/close state of the latch provided on the door 20 are normal, the door transfer unit 150 moves the door ( 20) are transferred to the first port 130 .

상기 도어 감지부(156)의 감지 결과 상기 도어(20)의 배치 방향 및 도어(20)에 구비된 래치의 개폐 상태 중 어느 하나가 불량인 경우, 상기 도어 이송 유닛(150)은 상기 대차(120)의 도어(20)들을 상기 제2 포트(140)로 이송한다. As a result of the detection by the door detection unit 156 , when any one of the arrangement direction of the door 20 and the open/close state of the latch provided on the door 20 is defective, the door transfer unit 150 transmits the bogie 120 ) of the doors 20 are transferred to the second port 140 .

한편, 상기 도어 감지부(156)의 감지 결과 상기 도어(20)에 구비된 래치의 개폐 상태는 정상이고 상기 도어(20)의 배치 방향만 불량인 경우, 상기 도어 이송 유닛(150)은 상기 도어(20)의 배치 방향을 변경하기 위해 상기 도어(20)를 180도 만큼 회전시켜 상기 도어(20)의 배치 방향 불량을 해소한 후, 상기 제1 포트(130)로 이송할 수도 있다. On the other hand, when the door detection unit 156 detects that the open/closed state of the latch provided on the door 20 is normal and only the arrangement direction of the door 20 is defective, the door transfer unit 150 may In order to change the arrangement direction of 20 , the door 20 may be rotated by 180 degrees to solve the defective arrangement direction of the door 20 , and then transferred to the first port 130 .

상기 도어 정렬 유닛(160)은 상기 제1 포트(130)의 상방에 배치된다. 상기 도어 정렬 유닛(160)은 상기 도어 이송 유닛(150)으로부터 상기 정상 상태의 도어(20)를 전달받아 정렬한다. The door alignment unit 160 is disposed above the first port 130 . The door alignment unit 160 receives and aligns the door 20 in the normal state from the door transfer unit 150 .

상기 도어 정렬 유닛(160)은 프레임(162), 지지부들(164), 정렬부들(166) 및 감지부들(168)을 포함할 수 있다. The door alignment unit 160 may include a frame 162 , support units 164 , alignment units 166 , and sensing units 168 .

상기 프레임(162)은 상기 도어(20)를 상하로 통과시키기 위한 개구(163)를 갖는다. 상기 프레임(162)은 대략 사각 모양을 가질 수 있다. The frame 162 has an opening 163 for passing the door 20 up and down. The frame 162 may have a substantially rectangular shape.

상기 지지부들(164)은 상기 프레임(162)의 하부면 양측에 각각 구비된다. 상기 지지부들(164)은 상기 개구(163)를 향해 돌출할 수 있다. 상기 지지부들(164)이 돌출된 상태에서 상기 도어 정렬 유닛(160)은 상기 도어 이송 유닛(150)으로부터 상기 도어(20)를 전달받을 수 있다. 상기 지지부들(164)은 상기 도어(20)의 하부면을 지지할 수 있다. The support parts 164 are provided on both sides of the lower surface of the frame 162 , respectively. The support parts 164 may protrude toward the opening 163 . In a state in which the supporting parts 164 protrude, the door alignment unit 160 may receive the door 20 from the door transfer unit 150 . The support parts 164 may support the lower surface of the door 20 .

상기 정렬부들(166)은 상기 프레임(162)의 하부면 네 모서리 중 마주보는 두 모서리에 각각 구비될 수 있다. 상기 도어(20)가 상기 지지부들(164)에 의해 지지된 상태에서 상기 정렬부들(166)은 상기 도어(20)의 두 모서리를 밀어 상기 도어(20)의 위치를 정렬할 수 있다.The alignment parts 166 may be respectively provided at two opposite corners among the four corners of the lower surface of the frame 162 . In a state in which the door 20 is supported by the support parts 164 , the alignment parts 166 may align the positions of the door 20 by pushing two corners of the door 20 .

상기 감지부들(168)은 상기 프레임(162)의 하부면 네 모서리 중 나머지 두 모서리에 각각 구비될 수 있다. 상기 감지부들(168)은 수광부와 발광부로 이루어질 수 있다. 예를 들면, 상기 발광부에서 조사된 광이 상기 수광부에 수광되면, 상기 정렬된 도어(20)가 기울어지지 않고 수평 상태인 것으로 판단한다. 상기 발광부에서 조사된 광이 상기 수광부에 수광되지 않으면, 상기 정렬된 도어(20)가 기울어지진 것으로 판단한다. 상기 도어(20)가 기울어진 것으로 판단되면, 상기 정렬부들(166)을 이용하여 상기 도어(20)를 다시 정렬하거나, 알람을 발생할 수 있다. The sensing units 168 may be respectively provided at the remaining two corners among the four corners of the lower surface of the frame 162 . The sensing units 168 may include a light receiving unit and a light emitting unit. For example, when the light irradiated from the light emitting unit is received by the light receiving unit, it is determined that the aligned door 20 is in a horizontal state without being inclined. When the light irradiated from the light emitting unit is not received by the light receiving unit, it is determined that the aligned door 20 is inclined. If it is determined that the door 20 is tilted, the door 20 may be re-aligned using the alignment units 166 or an alarm may be generated.

상기 도어 정렬 유닛(160)이 상기 도어(20)를 정렬할 수 있으므로, 상기 제1 포트(130)는 상기 정상 상태의 도어(20)들을 정렬된 상태로 적재할 수 있다. 따라서, 상기 도어(20)를 상기 웨이퍼 이송 용기(10)에 장착할 때 상기 도어(20)의 정렬 오류에 인해 발생하는 장착 불량을 방지할 수 있다. Since the door alignment unit 160 can align the doors 20 , the first port 130 can load the doors 20 in the normal state in an aligned state. Accordingly, when the door 20 is mounted on the wafer transfer container 10 , it is possible to prevent a mounting defect caused by an alignment error of the door 20 .

상기 제3 포트(170)는 상기 웨이퍼 이송 용기(20)에 장착될 도어(20)들을 상하로 적재할 수 있다. 또한, 상기 제3 포트(170)는 상기 웨이퍼 이송 용기(20)로부터 분리된 도어(20)들을 상하로 적재할 수도 있다. The third port 170 may vertically load the doors 20 to be mounted on the wafer transfer container 20 . Also, the third port 170 may vertically load the doors 20 separated from the wafer transfer container 20 .

또한, 상기 제3 포트(170)는 승강 가능하도록 구비될 수 있다. 따라서, 상기 웨이퍼 이송 용기(20)로부터 분리된 도어(20)들을 순차적으로 적재할 수 있다. In addition, the third port 170 may be provided to be liftable. Accordingly, the doors 20 separated from the wafer transfer container 20 may be sequentially loaded.

그리고, 상기 제3 포트(170)는 상기 제1 포트(130)와 마찬가지로 상기 도어(20)의 하부면 전체가 아닌 일부를 지지하는 형상을 가질 수 있다. 예를 들면, 상기 제3 포트(170)는 대략 U자 형태를 가질 수 있다. 따라서, 상기 이송 로봇(190)이 상기 도어(20)들은 한 번에 상기 제3 포트(170)로 이송하거나, 상기 제3 포트(170)로부터 상기 도어(20)들을 한번에 이송할 수 있다. Also, like the first port 130 , the third port 170 may have a shape to support a part of the lower surface of the door 20 rather than the whole. For example, the third port 170 may have an approximately U-shape. Accordingly, the transfer robot 190 may transfer the doors 20 to the third port 170 at a time or transfer the doors 20 from the third port 170 at once.

상기 제4 포트(180)는 상기 제1 포트(130)에 적재된 상기 정상 상태의 도어(20)들을 상기 제3 포트(170)로 이송하기 전에 임시로 적재한다. 예를 들면, 상기 제4 포트(180)는 상기 제3 포트(170)와 상기 X축 방향을 따라 배열되며, 상기 제4 포트(180)는 상기 제1 포트(130)와 상기 Y축 방향을 따라 배열될 수 있다. The fourth port 180 temporarily loads the doors 20 loaded in the first port 130 before transferring them to the third port 170 . For example, the fourth port 180 is arranged along the X-axis direction with the third port 170 , and the fourth port 180 is aligned with the first port 130 and the Y-axis direction. can be arranged accordingly.

상기 제1 포트(130)에 적재된 상기 정상 상태의 도어(20)들을 상기 제3 포트(170)로 바로 이송하기 어려운 경우, 상기 제4 포트(180)에 상기 도어(20)들을 임시로 적재할 수 있다. 상기 제1 포트(130)가 빈 상태가 되므로, 상기 제1 포트(130)에 상기 정상 상태의 도어(20)들을 다시 적재할 수 있다. 따라서, 상기 도어(20)들의 이송 효율을 향상시킬 수 있다. When it is difficult to directly transfer the doors 20 in the normal state loaded in the first port 130 to the third port 170 , the doors 20 are temporarily loaded in the fourth port 180 . can do. Since the first port 130 is in an empty state, the doors 20 in the normal state can be loaded back into the first port 130 . Accordingly, it is possible to improve the transport efficiency of the doors 20 .

한편, 상기 제4 포트(180)는 상기 도어(20)의 하부면 전체가 아닌 일부를 지지하는 형상을 가질 수 있다. 예를 들면, 상기 제4 포트(180)는 상기 도어(30)를 3점 지지하거나 4점 지지하는 형태를 가질 수 있다. 따라서, 상기 이송 로봇(190)이 상기 도어(20)들은 한 번에 상기 제4 포트(180)로 이송하거나, 상기 제4 포트(180)로부터 상기 도어(20)들을 한번에 이송할 수 있다. Meanwhile, the fourth port 180 may have a shape to support a portion of the lower surface of the door 20 instead of the entire lower surface. For example, the fourth port 180 may have a shape that supports the door 30 at three points or supports the door 30 at four points. Accordingly, the transfer robot 190 may transfer the doors 20 to the fourth port 180 at a time or transfer the doors 20 from the fourth port 180 at once.

상기 이송 로봇(190)은 상기 제1 포트(130)에 적재된 정상 상태의 도어(20)들을 상기 제3 포트(170)로 이송한다. 이때, 상기 이송 로봇(190)은 상기 제1 포트(130)에 적재된 정상 상태의 도어(20)들을 상기 제3 포트(170)로 바로 이송하거나, 상기 제1 포트(130)에 적재된 정상 상태의 도어(20)들을 상기 제4 포트(180)를 거쳐 상기 제3 포트(170)로 이송할 수 있다. The transfer robot 190 transfers the doors 20 in a normal state loaded in the first port 130 to the third port 170 . At this time, the transfer robot 190 directly transfers the doors 20 in a normal state loaded in the first port 130 to the third port 170 , or the normal loading in the first port 130 . The doors 20 in the state may be transferred to the third port 170 through the fourth port 180 .

상기 이송 로봇(190)은 상기 적재된 도어(20)들의 하부면을 지지하여 한번에 이송할 수 있다. 예를 들면, 상기 이송 로봇(190)은 상기 X축 방향 및 상기 Y축 방향을 따라 이동 가능하도록 구비되며, 상기 Z축 방향을 따라 승강 가능하도록 구비된다. The transfer robot 190 may support the lower surfaces of the loaded doors 20 and transfer them at once. For example, the transfer robot 190 is provided to be movable along the X-axis direction and the Y-axis direction, and is provided to be able to move up and down along the Z-axis direction.

상기 제5 포트(200)는 상기 웨이퍼 이송 용기(10)로부터 분리된 도어(20)들을 상하로 적재한다. 예를 들면, 상기 제5 포트(200)는 상기 제3 포트(170)와 상기 제4 포트(180) 사이에 배치될 수 있다. 상기 제3 포트(170), 상기 제5 포트(200) 및 상기 제4 포트(180)는 상기 X축 방향을 따라 일렬로 배열될 수 있다. 또한, 상기 제5 포트(200)는 상기 대차 수용부(110)와 상기 Y축 방향을 따라 일렬로 배열될 수 있다. 따라서 상기 제5 포트(200)는 상기 대차 수용부(110)에 수용된 대차(120)와 인접할 수 있다. The fifth port 200 vertically loads the doors 20 separated from the wafer transfer container 10 . For example, the fifth port 200 may be disposed between the third port 170 and the fourth port 180 . The third port 170 , the fifth port 200 , and the fourth port 180 may be arranged in a line along the X-axis direction. In addition, the fifth port 200 may be arranged in a line with the bogie accommodating part 110 in the Y-axis direction. Accordingly, the fifth port 200 may be adjacent to the bogie 120 accommodated in the bogie accommodating part 110 .

상기 대차(120)가 두 세트의 도어(20)들을 적재하는 경우, 상기 제5 포트(200)는 두 개가 구비될 수 있다. When the cart 120 loads two sets of doors 20 , two fifth ports 200 may be provided.

한편, 상기 제5 포트(200)는 상기 도어(20)의 하부면 전체가 아닌 일부를 지지하는 형상을 가질 수 있다. 예를 들면, 상기 제5 포트(200)는 상기 도어(20)를 3점 지지하거나 4점 지지하는 형태를 가질 수 있다. 따라서, 상기 이송 로봇(190)이 상기 도어(20)들은 한 번에 상기 제5 포트(200)로 이송할 수 있다. Meanwhile, the fifth port 200 may have a shape to support a portion of the lower surface of the door 20 rather than the entire lower surface. For example, the fifth port 200 may have a shape of supporting the door 20 at three points or supporting the door 20 at four points. Accordingly, the transfer robot 190 may transfer the doors 20 to the fifth port 200 at a time.

상기 이송 로봇(190)은 상기 제3 포트(170)에 적재된 상기 웨이퍼 이송 용기(10)로부터 분리된 도어(20)들을 상기 제5 포트(200)로 이송할 수 있다. The transfer robot 190 may transfer the doors 20 separated from the wafer transfer container 10 loaded in the third port 170 to the fifth port 200 .

상기 제1 포트(130), 상기 제3 포트(170), 상기 제4 포트(180) 및 상기 제5 포트(200)가 각각 상기 도어(20)의 하부면 전체가 아닌 일부를 지지하는 형상을 가지므로, 상기 이송 로봇(190)이 상기 제1 포트(130), 상기 제3 포트(170), 상기 제4 포트(180) 및 상기 제5 포트(200)와 간섭되지 않으면서 상기 X축, 상기 Y축 및 상기 Z축 방향을 따라 이동할 수 있다. The first port 130 , the third port 170 , the fourth port 180 , and the fifth port 200 each support a part of the lower surface of the door 20 rather than the whole. Since the transfer robot 190 does not interfere with the first port 130, the third port 170, the fourth port 180 and the fifth port 200, the X-axis, It can move along the Y-axis and the Z-axis direction.

상기 푸셔(210)는 상기 제5 포트(200)의 일측에 배치되며, 상기 제5 포트(200)에 적재된 도어(20)들을 상기 대차 수용부(110)에 수용된 대차(120)를 향해 푸시한다. 따라서, 상기 제5 포트(200)에 적재된 도어(20)들을 상기 대차(120)로 신속하게 이송할 수 있다. The pusher 210 is disposed on one side of the fifth port 200 , and pushes the doors 20 loaded on the fifth port 200 toward the bogie 120 accommodated in the bogie accommodating part 110 . do. Accordingly, the doors 20 loaded in the fifth port 200 can be quickly transferred to the cart 120 .

상기 로드 포트(220)는 상기 제3 포트(170)의 일측에 배치되며, 상기 웨이퍼 이송 용기(10)를 지지한다. 이때, 상기 웨이퍼 이송 용기(10)는 상기 도어(20)가 장착된 상태일 수도 있고, 상기 도어(20)가 분리된 상태일 수 도 있다. The load port 220 is disposed on one side of the third port 170 , and supports the wafer transfer container 10 . In this case, the wafer transfer container 10 may be in a state in which the door 20 is mounted or in a state in which the door 20 is detached.

상기 도어 탈부착 로봇(230)은 상기 로드 포트(220)의 일측에 구비된다. 상기 도어 탈부착 로봇(230)은 상기 제3 포트(170)에 적재된 정상 상태의 도어(20)들을 순차적으로 상기 웨이퍼 이송 용기(10)에 장착할 수 있다. 또한, 상기 도어 탈부착 로봇(230)은 상기 웨이퍼 이송 용기(10)로부터 상기 도어(20)를 분리하여 상기 제3 포트(170)에 적재할 수 있다. The door detachable robot 230 is provided on one side of the load port 220 . The door detaching robot 230 may sequentially mount the doors 20 in a normal state loaded on the third port 170 to the wafer transfer container 10 . In addition, the door detaching robot 230 may separate the door 20 from the wafer transfer container 10 and load it in the third port 170 .

상기 도어(20)는 상기 제3 포트(170)에 수평 상태로 적재되고, 상기 웨이퍼 이송 용기(10)에 수직 상태로 장착된다. 상기 제3 포트(170)에 적재된 도어(20)들을 상기 웨이퍼 이송 용기(10)에 장착하거나, 상기 웨이퍼 이송 용기(10)로부터 상기 도어(20)를 분리하여 상기 제3 포트(170)에 적재하기 위해 상기 도어 탈부착 로봇(230)은 상기 도어(20)를 90도 회전시킬 수 있다. The door 20 is horizontally loaded on the third port 170 and vertically mounted on the wafer transfer container 10 . The doors 20 loaded on the third port 170 are mounted on the wafer transfer container 10 , or the door 20 is separated from the wafer transfer container 10 to be connected to the third port 170 . In order to load, the door detachable robot 230 may rotate the door 20 by 90 degrees.

상기 도어 이송 장치(100)는 대차를 이용하여 다수의 도어(20)들을 동시에 공급하거나 배출할 수 있다. 따라서, 상기 도어(20)들의 공급 및 배출에 소요되는 시간을 줄일 수 있다. The door transfer device 100 may simultaneously supply or discharge a plurality of doors 20 using a bogie. Accordingly, it is possible to reduce the time required for supplying and discharging the doors 20 .

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to the preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the following claims. You will understand that you can.

100 : 도어 이송 유닛 110 : 대차 수용부
120 : 대차 130 : 제1 포트
140 : 제2 포트 150 : 도어 이송 유닛
160 : 도어 정렬 유닛 170 : 제3 포트
180 : 제4 포트 190 : 이송 로봇
200 : 제5 포트 210 : 푸셔
220 : 로드 포트 230 : 도어 탈부착 로봇
10 : 웨이퍼 이송 용기 20 : 도어100: door transfer unit 110: bogie receiving part
120: bogie 130: first port
140: second port 150: door transfer unit
160: door alignment unit 170: third port
180: fourth port 190: transfer robot
200: fifth port 210: pusher
220: load port 230: door detachable robot
10: wafer transfer container 20: door

Claims

대차를 수용하기 위한 대차 수용부;
상기 대차 수용부에 수용되며, 웨이퍼 이송 용기의 개방된 일측을 개폐하는 도어들을 상하로 적재하며 상기 도어들을 공급 및 배출하는 대차;
상기 도어의 배치 방향 및 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태가 정상인 도어들을 적재하는 제1 포트;
상기 도어의 배치 방향 및 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태 중 적어도 하나가 불량인 도어들을 적재하는 제2 포트;
상기 대차에 적재된 상기 도어들을 픽업하여 상기 도어의 배치 방향과 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 감지하고, 상기 감지 결과에 따라 상기 제1 포트 또는 상기 제2 포트로 이송하는 도어 이송 유닛;
상기 웨이퍼 이송 용기에 장착될 도어들을 적재하는 제3 포트;
상기 제1 포트에 적재된 정상인 도어들을 상기 제3 포트로 이송하는 이송 로봇;
상기 웨이퍼 이송 용기를 지지하는 로드 포트; 및
상기 로드 포트의 일측에 구비되며, 상기 제3 포트에 적재된 도어들을 순차적으로 상기 웨이퍼 이송 용기에 장착하거나, 상기 웨이퍼 이송 용기로부터 상기 도어를 분리하여 상기 제3 포트에 적재하는 도어 탈부착 로봇을 포함하는 것을 특징으로 하는 도어 이송 장치.a balance receiving unit for accommodating the balance;
a trolley accommodated in the bogie accommodating part, stacking doors for opening and closing an open side of the wafer transfer container up and down, and supplying and discharging the doors;
a first port for loading doors in which an arrangement direction of the door and an open/close state of a latch provided on the door are normal;
a second port for loading doors in which at least one of an arrangement direction of the door and an open/close state of a latch provided on the door are defective;
a door transfer unit that picks up the doors loaded on the cart, senses an arrangement direction of the door and an open/close state of a latch provided on the door, and transfers the door to the first port or the second port according to the detection result;
a third port for loading doors to be mounted on the wafer transfer container;
a transfer robot for transferring normal doors loaded in the first port to the third port;
a load port supporting the wafer transfer vessel; and
It is provided on one side of the load port, and the door mounted on the third port is sequentially mounted on the wafer transfer container, or the door detachable robot that separates the door from the wafer transfer container and loads the door into the third port. Door transfer device, characterized in that.

제1항에 있어서, 상기 제1 포트의 상방에 배치되며, 상기 도어 이송 유닛으로부터 상기 정상인 도어를 전달받아 정렬하는 도어 정렬 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 도어 이송 장치. The door transfer device according to claim 1, further comprising a door aligning unit disposed above the first port and arranged to receive and align the normal door from the door transfer unit.

제2항에 있어서, 상기 도어 정렬 유닛은,
상기 도어를 상하로 통과시키기 위한 개구를 갖는 사각 프레임;
상기 프레임의 하부 양측에 돌출 가능하도록 각각 구비되며, 상기 도어의 하부면을 지지하는 지지부들;
상기 프레임의 하부면 네 모서리 중 마주보는 두 모서리에 각각 구비되며, 상기 지지부에 의해 지지된 도어의 두 모서리를 밀어 정렬하는 정렬부들; 및
상기 프레임의 하부면 네 모서리 중 나머지 두 모서리에 각각 구비되며, 정렬된 도어의 기울어짐을 감지하는 감지부들을 포함하는 것을 특징으로 하는 도어 이송 장치.According to claim 2, wherein the door alignment unit,
a rectangular frame having an opening for passing the door up and down;
support parts respectively provided to protrude from both sides of the lower portion of the frame and supporting the lower surface of the door;
alignment units provided at two opposite corners of the four corners of the lower surface of the frame, respectively, for pushing and aligning the two corners of the door supported by the support unit; and
The door transport device, which is provided at each of the remaining two corners of the four corners of the lower surface of the frame, and includes sensing units for detecting the inclination of the aligned door.

제2항에 있어서, 상기 도어 정렬 유닛에서 정렬된 도어를 전달받아 적재하기 위해 상기 제1 포트는 승강 가능하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 도어 이송 장치. [Claim 3] The door transfer device according to claim 2, wherein the first port is provided so as to be able to move up and down in order to receive and load the aligned door from the door alignment unit.

제1항에 있어서, 상기 제1 포트에 적재된 상기 정상인 도어들을 상기 제3 포트로 이송하기 전에 임시로 적재하기 위한 제4 포트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 도어 이송 장치. The door transfer device according to claim 1, further comprising a fourth port for temporarily loading the normal doors loaded in the first port before transferring them to the third port.

제1항에 있어서, 상기 제3 포트는 상기 웨이퍼 이송 용기로부터 분리된 도어들을 추가로 적재하며,
상기 대차 수용부에 수용된 상기 대차와 인접하도록 배치되며, 상기 이송 로봇에 의해 이송되는 상기 제3 포트에 적재된 도어들을 적재하기 위한 제5 포트; 및
상기 제5 포트에 적재된 도어들을 상기 대차로 이송하기 위해 상기 도어들을 상기 대차를 향해 푸시하는 푸셔를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 도어 이송 장치. The method of claim 1, wherein the third port further loads doors separated from the wafer transfer container;
a fifth port disposed adjacent to the bogie accommodated in the bogie accommodating part and for loading the doors loaded in the third port transferred by the transfer robot; and
The door transport device further comprising a pusher for pushing the doors toward the cart in order to transport the doors loaded in the fifth port to the cart.

제1항에 있어서, 상기 도어 이송 유닛은,
몸체부;
상기 몸체부의 하부면에 구비되며, 상기 도어의 외측면을 진공력으로 흡착하는 진공 흡착부; 및
상기 몸체부에 구비되며, 상기 도어의 배치 방향과 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 감지하는 도어 감지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 도어 이송 장치. According to claim 1, wherein the door transfer unit,
body part;
a vacuum adsorption unit provided on a lower surface of the body and adsorbing an outer surface of the door with a vacuum force; and
and a door detection unit provided in the body portion and configured to detect an arrangement direction of the door and an opening/closing state of a latch provided in the door.

제7항에 있어서, 상기 도어 감지부는,
상기 진공 흡착부에 흡착된 상기 도어의 외측면을 향해 돌출되는 제1 로드를 가지며, 상기 제1 로드가 상기 도어의 외측면 상방 일측에 형성된 제1 홈 또는 돌기를 감지하는지 여부에 따라 상기 도어의 배치 방향을 확인하는 제1 스케일 실린더; 및
상기 진공 흡착부에 흡착된 상기 도어의 외측면을 향해 돌출되는 제2 로드를 가지며, 상기 제2 로드가 상기 도어의 외측면에서 래치홀의 일측에 형성된 제2 홈을 감지하는지 여부에 따라 상기 래치의 개폐 상태를 확인하는 제2 스케일 실린더를 포함하고,
상기 래치홀은 상기 도어 내부의 래치를 회전시키기 위해 래치핀이 삽입되는 통로인 것을 특징으로 하는 도어 이송 장치. The method of claim 7, wherein the door detection unit,
and a first rod that protrudes toward the outer surface of the door, which is adsorbed to the vacuum adsorption unit, and the door of the door according to whether the first rod detects a first groove or protrusion formed on one upper side of the outer surface of the door. a first scale cylinder for confirming the arrangement direction; and
and a second rod that protrudes toward the outer surface of the door, which is adsorbed to the vacuum adsorption unit, and the latch of the latch depends on whether the second rod senses a second groove formed on one side of the latch hole on the outer surface of the door. Including a second scale cylinder to check the open/close state,
The latch hole is a passage through which a latch pin is inserted to rotate a latch inside the door.

제8항에 있어서, 상기 제1 스케일 실린더는 상기 제1 로드가 상기 도어의 외측면과 접촉할 때의 돌출 길이를 상기 제1 로드가 상기 제1 홈의 저면 또는 상기 돌기와 접촉할 때의 기준 돌출 길이와 비교하여 상기 제1 홈 또는 돌기를 감지하고,
상기 제2 스케일 실린더는 상기 제2 로드가 상기 도어의 외측면과 접촉할 때의 돌출 길이를 상기 제2 로드가 상기 제2 홈의 저면과 접촉할 때의 기준 돌출 길이와 비교하여 상기 제2 홈을 감지하는 것을 특징으로 하는 도어 이송 장치. The reference protrusion of claim 8 , wherein the first scale cylinder determines a protrusion length when the first rod contacts the outer surface of the door when the first rod contacts a bottom surface of the first groove or the protrusion. Detecting the first groove or protrusion compared to the length,
The second scale cylinder compares the protrusion length when the second rod contacts the outer surface of the door with a reference protrusion length when the second rod contacts the bottom surface of the second groove. Door transfer device, characterized in that for detecting.

제7항에 있어서, 상기 도어 감지부의 감지 결과, 상기 도어의 배치 방향이 불량이고 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태가 정상인 경우, 상기 도어의 배치 방향을 변경하기 위해 상기 몸체부는 회전 가능한 것을 특징으로 하는 도어 이송 장치. 8. The method of claim 7, wherein, as a result of detecting the door detection unit, when the arrangement direction of the door is bad and the open/close state of the latch provided in the door is normal, the body part is rotatable to change the arrangement direction of the door door transfer device.

제7항에 있어서, 상기 도어 이송 유닛은, 상기 몸체부의 하부면에 구비되며, 상기 진공 흡착부와 상기 도어가 접촉할 때 상기 도어에 가해지는 충격을 완충하기 위한 탄성부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 도어 이송 장치. The method of claim 7, wherein the door transfer unit, is provided on the lower surface of the body, characterized in that it further comprises an elastic part for buffering an impact applied to the door when the vacuum adsorption part and the door contact. door transfer device.

제1항에 있어서, 상기 대차 수용부는,
상기 대차가 수용되기 위해 이동하는 방향 단부에 구비되며, 상기 대차와 도킹하는 도킹 플레이트;
상기 대차의 이동 방향 양측에 각각 구비되며, 상기 대차의 이동을 가이드하기 위한 가이드 플레이트들; 및
상기 대차의 이동 방향을 따라 바닥면을 따라 연장하며, 상기 대차가 상기 대차 수용부에 도킹되도록 상기 대차를 안내하는 도킹 레일을 포함하는 것을 특징으로 하는 도어 이송 장치. According to claim 1, wherein the balance receiving portion,
a docking plate provided at an end in a moving direction to accommodate the balance, and docking with the cart;
guide plates provided on both sides in the moving direction of the bogie, respectively, for guiding the movement of the bogie; and
and a docking rail extending along a floor surface along the moving direction of the bogie and guiding the bogie so that the bogie is docked to the bogie accommodating part.

제12항에 있어서, 상기 대차는,
상기 도어들을 적재하는 몸체;
상기 몸체의 이동을 위해 상기 몸체의 하부면에 구비되는 이동 바퀴;
상기 몸체의 측면에 구비되며, 상기 대차의 이동을 가이드하기 위해 상기 가이드 플레이트들과 접촉하는 가이드 롤러들; 및
상기 몸체의 하부면에 구비되며 상기 도킹 레일을 따라 이동하는 도킹 바퀴를 포함하는 것을 특징으로 하는 도어 이송 장치.The method of claim 12, wherein the bogie,
a body for loading the doors;
a moving wheel provided on the lower surface of the body to move the body;
Guide rollers provided on the side of the body and in contact with the guide plates to guide the movement of the bogie; and
A door transport device provided on the lower surface of the body and comprising a docking wheel moving along the docking rail.