JP2007157788A - 半導体装置 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 23
- 229910000577 Silicon-germanium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 161
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 77
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 6
- 239000000969 carrier Substances 0.000 abstract 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 description 16
- 239000010408 film Substances 0.000 description 15
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 8
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 8
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
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- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
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- H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
- H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
- H01L29/66477—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET
- H01L29/6656—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET using multiple spacer layers, e.g. multiple sidewall spacers
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- H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
- H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
- H01L29/66477—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET
- H01L29/66568—Lateral single gate silicon transistors
- H01L29/66613—Lateral single gate silicon transistors with a gate recessing step, e.g. using local oxidation
- H01L29/66628—Lateral single gate silicon transistors with a gate recessing step, e.g. using local oxidation recessing the gate by forming single crystalline semiconductor material at the source or drain location
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- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
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- H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
- H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
- H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
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Abstract
【課題】本発明は、Si/SiGe基板を用いて構成されるMOSトランジスタのキャリアの移動度を向上させるために、基板上の有効な方向に応力がかかるようにすることを特徴とする。
【解決手段】Si及びSiGeの積層構造を有する半導体基板10と、半導体基板上にゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極15と、ゲート電極下の半導体基板表面に形成されたチャネル領域と、チャネル領域を挟むように半導体基板表面に形成されたソース・ドレイン領域17とを具備し、チャネル領域下のGe濃度とソース・ドレイン領域のGe濃度が異なる。
【選択図】 図1
【解決手段】Si及びSiGeの積層構造を有する半導体基板10と、半導体基板上にゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極15と、ゲート電極下の半導体基板表面に形成されたチャネル領域と、チャネル領域を挟むように半導体基板表面に形成されたソース・ドレイン領域17とを具備し、チャネル領域下のGe濃度とソース・ドレイン領域のGe濃度が異なる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、表面に歪んだSi層を有するSi/SiGe基板上に形成され、歪んだチャネル領域を有するMOSトランジスタが形成された半導体装置に関する。
ゲート電極の両側に位置するSi基板内にSiGeを埋め込みにより堆積させてソース・ドレイン領域を形成した構造を持つMOSトランジスタが、例えば特許文献1に開示されている。この構造のMOSトランジスタでは、ゲート電極下のチャネル領域に印加される1軸方向の圧縮応力によりホールの移動度が増加する。このため、PチャネルMOSトランジスタでは駆動電流が増加する。SiGeからなるソース・ドレイン領域からチャネル領域へ与えることのできる応力は電流に平行な1軸方向のため、電流に垂直な方向には応力をかけることができない。NチャネルMOSトランジスタでは、電子の移動度が引っ張り応力により増加し、圧縮応力により減少する。従って、この構造ではNチャネルMOSトランジスタに対して圧縮応力が加えられるために、NチャネルMOSトランジスタの駆動電流を増加させることができない。
また、特許文献2には、Si/SiGe基板を用いることで、電子及びホールの移動度を向上させる技術が開示されている。基板表面のSi層にはSiGe層から2軸方向(平面)の引っ張り応力が加えられるので、電子及びホールの移動度が向上する。
しかし、ホールの移動度を十分に向上させるためには、SiGe層におけるGe濃度を高くする必要がある。Ge濃度を高くした場合、Si層とSiGe層の間の結晶欠陥が発生し易くなり、動作不良の原因となる可能性がある。
すなわち、Si/SiGe基板を用いる場合、SiGe層におけるGe濃度を上げてPチャネルMOSトランジスタの駆動電流を増加させることと、結晶欠陥の発生を抑制して動作不良の発生を抑制することの両方を共に満たすことが困難である。
米国特許第6621131号明細書
米国特許第6605498号明細書
本発明は、MOSトランジスタのキャリアの移動度を向上させて動作の高速化を図ると共に、結晶欠陥の発生に基づく動作不良の発生が抑制できる半導体装置を提供する。
本発明の半導体装置は、Si及びSiGeの積層構造を有する半導体基板と、前記半導体基板上にゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極と、前記ゲート電極下の前記半導体基板表面に形成されたチャネル領域と、前記チャネル領域を挟むように前記半導体基板表面に形成されたソース・ドレイン領域とを具備し、前記チャネル領域下のGe濃度と前記ソース・ドレイン領域のGe濃度が異なることを特徴とする。
本発明によれば、MOSトランジスタのキャリアの移動度を向上させて動作の高速化を図ることができると共に、結晶欠陥の発生に基づく動作不良の発生を抑制することができる。
以下、図面を参照して本発明を実施の形態により説明する。
(第1の実施形態)
図1は、本発明の第1の実施形態に係るMOSトランジスタの断面構造を示している。このMOSトランジスタは、表面に歪んだSi層を持つSi/SiGe基板10上に形成されている。Si/SiGe基板10は、下地となるSi基板(図示せず)上に形成されているSiGe層11と、SiGe層11上に形成されているSiGe層12と、SiGe層12上に形成されている薄膜の歪んだSi層13とを有する。SiGe層11は、膜厚方向で最も深い位置におけるGe濃度が0%にされており、深さが浅くなるに従ってGe濃度が0%から始まり5%から100%の間で変化している。SiGe層12は、Ge濃度が5%から100%の範囲の値で一定の濃度にされている。
図1は、本発明の第1の実施形態に係るMOSトランジスタの断面構造を示している。このMOSトランジスタは、表面に歪んだSi層を持つSi/SiGe基板10上に形成されている。Si/SiGe基板10は、下地となるSi基板(図示せず)上に形成されているSiGe層11と、SiGe層11上に形成されているSiGe層12と、SiGe層12上に形成されている薄膜の歪んだSi層13とを有する。SiGe層11は、膜厚方向で最も深い位置におけるGe濃度が0%にされており、深さが浅くなるに従ってGe濃度が0%から始まり5%から100%の間で変化している。SiGe層12は、Ge濃度が5%から100%の範囲の値で一定の濃度にされている。
Ge濃度を変化させたSiGe層11は例えば100nmから5000nmの膜厚を有し、Ge濃度を一定にしたSiGe層12は例えば1nmから5000nmの膜厚を有し、薄膜のSi層13は例えば10nm以下の膜厚を有する。
薄膜のSi層12上には、ゲート絶縁膜14を介して、例えばポリシリコンからなるゲート電極15が形成されている。ゲート電極15の側壁上には、例えばSiO2 及びSiNの2層構造からなる第1のスペーサ16が形成されている。
ゲート電極15の両側面に位置するSi/SiGe基板10には一対のリセス(窪み)が形成されており、この一対のリセスを埋めるように堆積されたSiGeまたはSiまたはSiCからなるソース・ドレイン領域17が形成されている。ソース・ドレイン領域17相互間の歪んだSi層13にチャネル領域が形成される。さらに、第1のスペーサ16上には、ソース・ドレイン領域17のゲート電極側端部の一部表面上を覆うように、SiO2 やSiN等の絶縁膜からなる第2のスペーサ18が形成されている。第2のスペーサ18は、ソース・ドレイン領域17上に形成されるサリサイド層(図示せず)の位置を決めるために形成される。
Si/SiGe基板10上に形成されるMOSトランジスタがNチャネルの場合、ソース・ドレイン領域17は、SiGe層12のGe濃度よりも低いGe濃度のSiGeまたはSiまたはSiCを用いて構成される。ソース・ドレイン領域17を構成するSiGeまたはSiまたはSiCに対し、n型不純物として例えばP、AsなどがIn-situドープされている。
このような構成のNチャネルMOSトランジスタでは、ゲート電極15下部のチャネル領域には、ソース・ドレイン領域17を構成するSiGe層またはSi層またはSiC層から電流に平行な方向へ引っ張り応力が加えられ、チャネル領域下部のSiGe層12から電流に垂直な方向へ引っ張り応力が与えられる。この結果、電子の移動度が向上し、NチャネルMOSトランジスタの駆動電流が向上する。
Si/SiGe基板10のSiGe層12のGe濃度が例えば40%にされている場合、ソース・ドレイン領域17はSiGeで埋め込まれ、この埋め込まれたSiGeのGe濃度は例えば20%にされている。もしくは、Si/SiGe基板のSiGe層のGe濃度が例えば20%にされている場合、ソース・ドレイン領域17はSiまたはSiCで埋め込まれる。このとき、Si/SiGe基板10のSiGe層12と、ソース・ドレイン領域17に埋め込まれるSiGe層もしくはSi層もしくはSiC層との間のGe濃度差は20%になり、チャネル領域には電流に平行な方向へ100MPa〜2GPaの引っ張り応力が加えられる。このような引っ張り応力により、チャネル領域の電子移動度は10%〜100%増加する。
一方、Si/SiGe基板10上に形成されるMOSトランジスタがPチャネルの場合、ソース・ドレイン領域17は、SiGe層12のGe濃度よりも高いGe濃度のSiGeを用いて構成される。ソース・ドレイン領域17を構成するSiGeに対し、p型不純物として例えばBなどがIn-situドープされている。
このような構成のPチャネルMOSトランジスタでは、ゲート電極15下部のチャネル領域には、ソース・ドレイン領域17のSiGe層から電流に平行な方向へ圧縮応力が与えられ、チャネル領域下部のSiGe層12から電流に垂直な方向へ引っ張り応力が与えられる。この結果、ホールの移動度が向上し、PチャネルMOSトランジスタの駆動電流が向上する。
Si/SiGe基板10のSiGe層12のGe濃度が例えば40%にされている場合、ソース・ドレイン領域17のSiGeのGe濃度は例えば60%にされている。もしくは、Si/SiGe基板10のSiGe層12のGe濃度が例えば20%にされている場合、ソース・ドレイン領域17のSiGeのGe濃度は40%にされている。このとき、Si/SiGe基板10のSiGe層12と、ソース・ドレイン領域17に埋め込まれるSiGe層との間のGe濃度差は20%になり、チャネル領域には電流に平行な方向へ100MPa〜2GPaの圧縮応力が加えられる。このような圧縮応力により、チャネル領域のホール移動度は10%〜200%増加する。
また、N及びP両チャネルのMOSトランジスタを同一基板上に構成する場合、Si/SiGe基板10のSiGe層12のGe濃度を例えば40%にした場合、SiGeを用いてソース・ドレイン領域17を構成することができるので、Si層とSiGe基板との間の結晶欠陥に基づく動作不良の問題は発生しない。他方、NチャネルMOSトランジスタのソース・ドレイン領域17をSiまたはSiCにより構成する場合、Si/SiGe基板のSiGe層12のGe濃度を例えば20%程度に低くしても十分な電子の移動度向上が図れる。すなわち、この場合にも、SiGe層12のGe濃度をそれ程、高くしなくても良いので、Si層またはSiC層とSiGe基板との間の結晶欠陥に基づく動作不良の問題は発生しない。
次に、第1の実施形態に係るMOSトランジスタの製造方法を説明する。まず、図2に示すように、下地となるSi基板(図示せず)上に形成されているSiGe層11と、SiGe層11上に形成されているSiGe層12と、SiGe層12上に形成されている薄膜の歪んだSi層13とを有するSi/SiGe基板10が用意される。
続いて、従来のMOSトランジスタの製造方法と同様に、ゲート絶縁膜14を介してゲート電極15が形成され、さらにゲート電極15の側壁上に、例えばSiO2 及びSiNの2層構造からなる第1のスペーサ16が形成される。第1のスペーサ16の幅は例えば1nmから200nmである。
次に、図3に示すように、RIE(Reactive Ion Etching)法によりSi/SiGe基板10が選択的にエッチングされ、ソース・ドレイン用の一対のリセス21が形成される。このとき、ゲート電極15の両側壁上の第1のスペーサ16下部に位置する基板は、第1のスペーサ16がエッチングブロックとなり、エッチングされない。リセス21の深さは例えば10nm〜300nmである。従って、図3に示すように、リセス21の底部はSiGe層12にまで達する。基板がエッチングされる際、Si層13は横方向にもエッチングが進むため、第1のスペーサ16下部のSi層13はソース・ドレイン領域から横方向にエッチングされる。エッチング時に使用されるエッチングガスの条件により、横方向のエッチング量は任意に変えることができる。横方向にエッチングされる量は例えば1nmから100nmである。
次に、図4に示すように、基板10のSiGe層12及びSi層13と格子整合した状態でSiGeまたはSiまたはSiCがエピタキシャル成長により堆積され、一対のリセス21が埋め戻されることにより、ソース・ドレイン領域17が形成される。エピタキシャル成長をさせる前の表面のクリーニング条件とエピタキシャル成長の条件は、従来と同様の条件を用いることができる。一対のリセス21にエピタキシャル成長されるSiGeまたはSiまたはSiCの量は、基板表面よりも高いか、もしくは同じ程度の高さになることが望ましい。エピタキシャル成長したSiGeまたはSiの表面の位置は、例えば基板表面から100nm下から基板表面より100nm上の間である。NチャネルMOSトランジスタとPチャネルMOSトランジスタとで、一対のリセス21を埋め戻すSiGeまたはSiは異なった構造を選択することができる。NチャネルMOSトランジスタでは、ゲート電極下部のチャネル領域に引っ張り応力を与えるために、Si/SiGe基板10のSiGe層12のGe濃度より低いGe濃度のSiGe、またはSi、またはSiCが一対のリセス21内に埋め込まれる。PチャネルMOSトランジスタでは、ゲート電極下部のチャネル領域に圧縮応力を与えるために、Si/SiGe基板10のSiGe層12のGe濃度より高いGe濃度のSiGeが一対のリセス21内に埋め込まれる。
次に、図5に示すように、例えばSiO2 及びSiN等の絶縁膜からなる第2のスペーサ18が、ゲート電極15上の第1のスペーサ16上に形成される。第2のスペーサ18は、この後の工程でソース・ドレイン領域17上にサリサイド層が形成される際に、サリサイド層の位置を自己整合的に決めるために使用される。
(第2の実施形態)
図6は、本発明の第2の実施形態に係るMOSトランジスタの断面構造を示している。本実施形態のMOSトランジスタでは、ゲート電極の両側面に位置するSi/SiGe基板にはリセスが形成されず、表面の歪んだSi層上に堆積された薄膜のSiGe層またはSi層によりソース・ドレイン領域が構成される。
図6は、本発明の第2の実施形態に係るMOSトランジスタの断面構造を示している。本実施形態のMOSトランジスタでは、ゲート電極の両側面に位置するSi/SiGe基板にはリセスが形成されず、表面の歪んだSi層上に堆積された薄膜のSiGe層またはSi層によりソース・ドレイン領域が構成される。
本実施形態のMOSトランジスタは、表面に歪んだSi層を持つSi/SiGe基板上に形成されている。Si/SiGe基板10は、下地となるSi基板(図示せず)上に形成されているSiGe層11と、SiGe層11上に形成されているSiGe層12と、SiGe層12上に形成されている薄膜の歪んだSi層13とを有する。SiGe層11は、膜厚方向で最も深い位置におけるGe濃度が0%にされており、深さが浅くなるに従ってGe濃度が0%から始まり5%から100%の間で変化している。SiGe層12は、Ge濃度が5%から100%の範囲の値で一定の濃度にされている。
Ge濃度を変化させたSiGe層11は例えば100nmから5000nmの膜厚を有し、Ge濃度を一定にしたSiGe層12は例えば1nmから5000nmの膜厚を有し、薄膜のSi層12は例えば10nm以下の膜厚を有する。
薄膜のSi層12上には、ゲート絶縁膜14を介して、例えばポリシリコンからなるゲート電極15が形成されている。ゲート電極15の側壁上には、例えばSiO2 及びSiNの2層構造からなる第1のスペーサ16が形成されている。
ゲート電極15の両側面に位置するSi層13上には、SiGeまたはSiまたはSiCからなるソース・ドレイン領域17が形成されている。ソース・ドレイン領域17の膜厚は最大で100nm程度であり、ソース・ドレイン領域17の上面の高さはゲート電極15の上面よりも低い。なお、ソース・ドレイン領域17は比較的薄膜であることが望ましい。さらに、第1のスペーサ16上には、ソース・ドレイン領域17のゲート電極側端部の一部表面上を覆うように、SiO2 やSiN等の絶縁膜からなる第2のスペーサ18が形成されている。第2のスペーサ18は、ソース・ドレイン領域17上に形成されるサリサイド層の位置を決めるために形成される。
Si/SiGe基板10上に形成されるMOSトランジスタがNチャネルの場合、ソース・ドレイン領域17は、SiGe層12のGe濃度よりも低いGe濃度のSiGeまたはSiまたはSiCを用いて構成される。ソース・ドレイン領域17を構成するSiGeまたはSiに対し、n型不純物として例えばP、AsなどがIn-situドープされている。
このような構成のNチャネルMOSトランジスタでは、ゲート電極15下部のチャネル領域には、ソース・ドレイン領域17を構成するSiGe層またはSi層またはSiC層から電流に平行な方向へ引っ張り応力が加えられ、チャネル領域下部のSiGe層12から電流に垂直な方向へ引っ張り応力が与えられる。この結果、電子の移動度が向上し、NチャネルMOSトランジスタの駆動電流が向上する。
Si/SiGe基板10のSiGe層12のGe濃度が例えば40%にされている場合、ソース・ドレイン領域17はSiGeで構成され、このSiGeのGe濃度は例えば20%にされている。もしくは、Si/SiGe基板10のSiGe層のGe濃度が例えば20%にされている場合、ソース・ドレイン領域17はSiまたはSiCで構成される。このとき、Si/SiGe基板10のSiGe層12と、ソース・ドレイン領域17のSiGe層もしくはSi層との間のGe濃度差は20%になり、チャネル領域には電流に平行な方向へ100MPa〜2GPaの引っ張り応力が加えられる。このような引っ張り応力により、チャネル領域の電子移動度は10%〜100%増加する。
一方、Si/SiGe基板10上に形成されるMOSトランジスタがPチャネルの場合、ソース・ドレイン領域17は、SiGe層12のGe濃度よりも高いGe濃度のSiGeを用いて構成される。ソース・ドレイン領域17を構成するSiGeに対し、p型不純物として例えばBなどがIn-situドープされている。
このような構成のPチャネルMOSトランジスタでは、ゲート電極15下部のチャネル領域には、ソース・ドレイン領域17のSiGe層から電流に平行な方向へ圧縮応力が与えられ、チャネル領域下部のSiGe層12から電流に垂直な方向へ引っ張り応力が与えられる。この結果、ホールの移動度が向上し、PチャネルMOSトランジスタの駆動電流が向上する。
Si/SiGe基板10のSiGe層12のGe濃度が例えば40%にされている場合、ソース・ドレイン領域17のSiGeのGe濃度は例えば60%にされている。もしくは、Si/SiGe基板10のSiGe層のGe濃度が例えば20%にされている場合、ソース・ドレイン領域17のSiGeのGe濃度は40%にされている。このとき、Si/SiGe基板のSiGe層12と、ソース・ドレイン領域17のSiGe層との間のGe濃度差は20%になり、チャネル領域には電流に平行な方向へ100MPa〜2GPaの圧縮応力が加えられる。このような圧縮応力により、チャネル領域のホール移動度は10%〜200%増加する。
また、N及びP両チャネルのMOSトランジスタを同一基板上に構成する場合、Si/SiGe基板10のSiGe層12のGe濃度を例えば40%にした場合、SiGeを用いてソース・ドレイン領域17を構成することができるので、Si層とSiGe基板との間の結晶欠陥に基づく動作不良の問題は発生しない。他方、NチャネルMOSトランジスタのソース・ドレイン領域17をSiまたはSiCにより構成する場合、Si/SiGe基板10のSiGe層12のGe濃度を例えば20%程度に低くしても十分な電子の移動度向上が図れる。すなわち、この場合にも、SiGe層12のGe濃度をそれ程、高くしなくても良いので、Si層またはSiC層とSiGe基板との間の結晶欠陥に基づく動作不良の問題は発生しない。
次に、第2の実施形態に係るMOSトランジスタの製造方法を説明する。まず、図7に示すように、下地となるSi基板(図示せず)上に形成されているSiGe層11と、SiGe層11上に形成されているSiGe層12と、SiGe層12上に形成されている薄膜の歪んだSi層13とを有するSi/SiGe基板10が用意される。
続いて、従来のMOSトランジスタの製造方法と同様に、ゲート絶縁膜14を介してゲート電極15が形成され、さらにゲート電極15の側壁上に、例えばSiO2 及びSiNの2層構造からなる第1のスペーサ16が形成される。第1のスペーサ16の幅は例えば1nmから200nmである。第1のスペーサ16が形成されていることにより、この後のエピタキシャル成長工程により形成されるソース・ドレイン領域と、ゲート電極15とを絶縁分離することができる。
次に、図8に示すように、Si/SiGe基板10のSi層13と格子整合した状態でSiGeまたはSiまたはSiCがエピタキシャル成長により堆積され、ソース・ドレイン領域17が形成される。エピタキシャル成長をさせる前の表面のクリーニング条件とエピタキシャル成長の条件は、従来と同様の条件を用いることができる。エピタキシャル成長されたSiGeまたはSiまたはSiCの上面の位置はゲート電極15の上面よりも低く、比較的薄膜であることが望ましい。NチャネルMOSトランジスタとPチャネルMOSトランジスタとで、ソース・ドレイン領域17を構成するSiGeまたはSiまたはSiCは異なった構造を選択することができる。NチャネルMOSトランジスタでは、ゲート電極下部のチャネル領域に引っ張り応力を与えるために、Si/SiGe基板10のSiGe層12のGe濃度より低いGe濃度のSiGe、またはSiまたはSiCが堆積される。PチャネルMOSトランジスタでは、ゲート電極下部のチャネル領域に圧縮応力を与えるために、Si/SiGe基板10のSiGe層12のGe濃度より高いGe濃度のSiGeが堆積される。
続いて、例えばSiO2 やSiN等の絶縁膜からなる第2のスペーサ18が、ゲート電極15の側壁上の第1のスペーサ16上に形成される。第2のスペーサ18は、この後の工程でソース・ドレイン領域17上にサリサイド層が形成される際に、サリサイド層の位置を自己整合的に決めるために使用される。
(第3の実施形態)
図10は、本発明の第3の実施形態に係るMOSトランジスタの断面構造を示している。本実施形態のMOSトランジスタは、以下の点を除いて図1に示す第1の実施形態に係るMOSトランジスタと同様の構成を有する。すなわち、図10のMOSトランジスタは、下地となるSi基板上に形成されているSiGe層11と、SiGe層11上に形成されているSiGe層12とを有するSi/SiGe基板10に形成されており、Si/SiGe基板10には薄膜の歪んだSi層13は形成されていない。
図10は、本発明の第3の実施形態に係るMOSトランジスタの断面構造を示している。本実施形態のMOSトランジスタは、以下の点を除いて図1に示す第1の実施形態に係るMOSトランジスタと同様の構成を有する。すなわち、図10のMOSトランジスタは、下地となるSi基板上に形成されているSiGe層11と、SiGe層11上に形成されているSiGe層12とを有するSi/SiGe基板10に形成されており、Si/SiGe基板10には薄膜の歪んだSi層13は形成されていない。
本実施形態のMOSトランジスタでは、Si/SiGe基板10の表面に歪んだSi層が形成されていないので、チャネル領域はSiGe層12内に形成される。SiGe層12内に形成されたチャネル領域に対し、第1の実施形態の場合と同様に、NチャネルMOSトランジスタでは、電流に平行な方向へ引っ張り応力が加えられ、PチャネルMOSトランジスタでは、電流に平行な方向へ圧縮応力が加えられる。従って、本実施形態においても、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
図10に示すMOSトランジスタは、図2乃至図5に示した場合と同様の方法により製造することができる。
なお、本発明は上記各実施形態に限定されるものではなく種々の変形が可能であることはいうまでもない。例えば、上記各実施形態ではMOSトランジスタとしてソース・ドレイン領域それぞれが単一の領域で構成される場合を説明した。しかし、ソース・ドレイン領域がエクステンション構造を有するものに実施できることはもちろんである。
11…Si/SiGe基板のSiGe層、12…Si/SiGe基板のSiGe層、13…Si/SiGe基板のSi層、14…ゲート絶縁膜、15…ゲート電極、16…第1のスペーサ、17…ソース・ドレイン領域、18…第1のスペーサ、21…リセス。
Claims (5)
- Si及びSiGeの積層構造を有する半導体基板と、
前記半導体基板上にゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極と、
前記ゲート電極下の前記半導体基板表面に形成されたチャネル領域と、
前記チャネル領域を挟むように前記半導体基板表面に形成されたソース・ドレイン領域とを具備し、
前記チャネル領域下のGe濃度と前記ソース・ドレイン領域のGe濃度が異なることを特徴とする半導体装置。 - 前記ソース・ドレイン領域は、前記ゲート電極をマスクとして前記半導体基板に窪みを形成し、前記窪みを埋めるように形成されたSiGe層またはSi層またはSiC層に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記ソース・ドレイン領域はn型不純物領域により形成され、前記ソース・ドレイン領域のGe濃度は、前記チャネル領域下のGe濃度よりも低いことを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置。
- 前記ソース・ドレイン領域はp型不純物領域により形成され、前記ソース・ドレイン領域のGe濃度は、前記チャネル領域下のGe濃度よりも高いことを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置。
- 前記チャネル領域は、歪んだSi層に形成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の半導体装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005347125A JP2007157788A (ja) | 2005-11-30 | 2005-11-30 | 半導体装置 |
US11/606,382 US20070131969A1 (en) | 2005-11-30 | 2006-11-30 | Semiconductor device and method of manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005347125A JP2007157788A (ja) | 2005-11-30 | 2005-11-30 | 半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007157788A true JP2007157788A (ja) | 2007-06-21 |
Family
ID=38138403
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005347125A Pending JP2007157788A (ja) | 2005-11-30 | 2005-11-30 | 半導体装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20070131969A1 (ja) |
JP (1) | JP2007157788A (ja) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080922 |
|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A02 | Decision of refusal |
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