JP2007136856A - 静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、静電デバイス、静電アクチュエータの製造方法並びに液滴吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一方の電極として作用する可撓性を有した振動板12と、振動板12にギャップ10を隔てて対向し振動板12との間で電圧が印加される対向電極17とを備え、振動板12の対向電極17との対向面に絶縁膜16Bが形成されている静電アクチュエータであって、絶縁膜16Bが形成された振動板12と対向電極17との対向面の少なくとも一方の面に、ダイヤモンドライクカーボンなどのカーボン材料からなる表面層16Cを形成している静電アクチュエータ。
【選択図】図1
Description
このように、振動板と対向電極との対向面の少なくとも一方の表面に、ダイヤモンドライクカーボンなどのカーボン材料からなる表面層を形成することにより、振動板の最表面の水酸基密度が極めて小さくなり、振動板最表面の電荷密度や、水分吸着に起因する表面残留電荷が抑制されて、静電アクチュエータの安定駆動及び耐久性向上が可能となる。
また、対向電極側に表面層を形成する場合には、対向電極の表面に誘電体の保護膜が形成され、その保護膜上にカーボン材料が形成されていることが好ましい。これにより、絶縁耐圧の向上を図るとともに、基板に成膜されたカーボン材料を所定の形状にパターニングする際における電極の酸化が防止できる。
また、本発明の液滴吐出装置は、上記の液滴吐出ヘッドを備えたものである。
さらに、本発明の静電デバイスは、上記いずれかに記載の静電アクチュエータを備えたものである。
この方法により製造された静電アクチュエータは、アクチュエータの残留電荷影響が抑えられ、安定した駆動が可能となる。
なお、前記電極基板の電極の表面に誘電体の保護膜を成膜した後、その保護膜上に前記表面層を積層してもよい。これにより、絶縁耐圧の向上が図れるとともに、基板に成膜されたカーボン材料を所定の形状にパターニングする際における電極の酸化が防止できる。 また、前記表面層の積層は、カーボン材料を前記基板の表面層形成面に成膜し、その成膜面に対してレジストパターニングを行った後、酸素プラズマにより不要な部分の前記成膜をエッチング除去して行うのが好ましい。表面層のパターニングを酸素プラズマに行うことで、炭素材料を効率良く酸化して除去することが可能となる。
図1は本発明の実施形態1に係る静電アクチュエータの縦断面図である。本実施形態1に係る静電アクチュエータは、一方の電極として作用する可撓性を有した振動板12と、振動板12とギャップ10を介して対向する対向電極17が溝内に形成された電極基板3と、振動板12と対向電極17にパルス電圧を印可する駆動回路20(図1ではブロック表示)とを備える。
絶縁膜16Bは、振動板12の駆動時、振動板12と対向電極17との間での絶縁破壊やショートを防止する作用を果たす。絶縁膜16Bとしては酸化シリコンが利用できる。ただし、絶縁膜16Bとして、酸化シリコンの比誘電率(3.2)より大きな比誘電率を有する、酸化アルミニウム、酸窒化シリコン、酸化タンタル、窒化ハフニウムシリケート、または酸窒化ハフニウムシリケートのいずれかを用いると、酸化シリコンより厚くして同等の静電吸引圧力を確保した上でより高い耐絶縁性を確保できる。換言すれば、酸化膜換算厚み(EOT)を薄くして必要な耐絶縁性を確保できる。
表面層16CにDLCなどを用いることにより、振動板12の最表面の水酸基密度が極めて小さくなり、振動板12の表面電荷密度や、水分吸着による表面残留電荷が抑制されて、振動板12の安定駆動が可能となる。特に、振動板12と対向電極17が当接する面にこの表面層16Cを設けることにより、最小限の膜応力により、安定した駆動を実現できる。また、振動板12と対向電極17の接触面の硬度が上がるため、それらの真実接触面積が小さくなり、接触帯電量すなわち表面残留電荷も低減される。
また、絶縁膜16Bとして、酸化シリコンの比誘電率より大きな比誘電率を有する酸化アルミニウムなどを成膜すれば、酸化膜換算厚み(EOT)を薄くして絶縁耐圧を確保することができ、静電圧力を高めることができる。これにより、アクチュエータ駆動電圧の低電圧化を可能にして、小型でしかも駆動耐久性に優れた静電アクチュエータを得ることができる。
なお、表面層16Cを、振動板12の表面ではなく、対向電極17の表面に形成する構成としても、同様の効果を奏することができる。
次に、実施形態1の静電アクチュエータを適用した液滴吐出ヘッドについて説明する。
実施例1
図2は本発明の実施形態2の実施例1に係る液滴吐出ヘッドを示す縦断面図、図3は図2の液滴吐出ヘッドを90度向きを変えた方向からみた圧力室付近の断面図である。この液滴吐出ヘッド1は、キャビティ基板2、電極基板3、及びノズル基板4が積層されて接合されており、キャビティ基板2に形成された可撓性を有する振動板12と、電極基板3に形成された固定電極である対向電極17とが静電アクチュエータを構成している。対向電極17は、対応する圧力室毎に形成されているため個別電極とも称される。なお図2では、振動板12の対向電極17との対向面には絶縁膜16Bのみ表示し、表面層(図1の符号16Cに対応するもの)の図示は省略している。
なお、図3に示す例では、それぞれの膜厚を、絶縁膜(SiO2)16Bが80nm、表面層(DLC膜)16Cが10nmとし、絶縁耐圧が優れたSiO2膜の厚み割合を大きくしている。そして、ギャップ10の距離は110nmとしている。さらに、効率良く振動板12を対向電極17に吸引するために、振動板12の幅と各対向電極17の幅はほぼ等しく設定し、表面層16Cの幅は振動板12よりも狭く設定している。このように、表面層16Cの幅を振動板12の幅よりも狭く設定することにより、表面層16CのDLC膜の大きな膜応力により振動板12が撓む不具合を解消している。
ここでは、振動板12の表面に代えて、固定電極である対向電極17に表面層16Cを成膜した液滴吐出ヘッドの例を説明する。図4は図3に対応する実施例2の液滴吐出ヘッドの圧力室付近拡大図である。なお、この液滴吐出ヘッドは、表面層16Cが対向電極17に成膜されている点を除いて、図2の液滴吐出ヘッドと同じ構成とする。
ここでは、絶縁膜(SiO2)16Bを80nm、表面層(DLC膜)16Cを10nmとしている。絶縁膜16Bと表面層16Cの間の距離で決まるギャップは110nmとしている。また、振動板12が対向電極17に当接する幅が、対向電極17の幅よりも狭くなることから、表面層16Cの対向電極17に対するパターニングによる区画形成の位置合わせズレを考慮し、表面層C16の幅は対向電極17の幅よりも狭く設定している。 DLCは硬く、振動板12が対向電極17に吸着したときのDLC膜とSiO2膜の真実接触面積が小さいため、同構成においても絶縁膜16Bの接触帯電による、残留電荷を低減できる。なお、実施例2の液滴吐出ヘッドは、キャビティ基板2には絶縁膜(誘電体層)を設けるだけでよいので、キャビティ基板2の製造が容易となっている。
ここでは、実施例2の表面層16Cの配置態様を更に変更した例を示す。図5は図3に対応する実施例3の液滴吐出ヘッドの圧力室付近拡大図である。なお、この液滴吐出ヘッドは、表面層16Cが対向電極17に成膜された誘電体層上に成膜されている点を除いて、図2の液滴吐出ヘッドと同じ構成とする。
実施例3は、対向電極16表面に、保護膜16Dを成膜しその保護膜16Dの上に表面層16Cを成膜したものである。保護膜16Dとしては誘電体と絶縁体の両方の機能も同時に有するものが好ましく、酸化シリコン、酸化アルミニウム、酸窒化シリコン、酸化タンタル、窒化ハフニウムシリケートなどを成膜する。これにより、対向電極17上に表面層16Cを酸素プラズマなどを利用して区画形成する際に、対向電極17の酸化を防止できる。なお、実施例3の場合、各膜厚は、例えば絶縁膜16Bを60nm、表面層16Cを10nm、保護膜16Dを30nmとしている。
図6は上記実施例1に係る液滴吐出ヘッドの製造工程を示すフローチャートである。
(a)まず、電極基板3を製作する(S0)。電極基板3は、例えばホウ珪酸ガラス基板に金・クロムのエッチングマスクを施し、該ガラス基板をフッ酸水溶液等でエッチングして凹部(または溝部)を形成した後に、凹部内にスパッタ等によりITOからなる対向電極17を形成することで製作することができる。
(b)次に、キャビテキ基板となる例えば厚さが525μmのシリコン基板を用意する。シリコン基板はその両面を鏡面研磨し、その片側表面にボロンをドープして、例えば2μm程度の厚さのボロンドーブ層を形成する。このボロンドーブ層は、後に振動板12となるものである。さらに、シリコン基板のボロンドーブ層が形成されている表面に絶縁膜(又は誘電体層)16Bを形成する(S1)。絶縁膜16Bの形成は、TESOプラズマCVDにより緻密で絶縁性に優れた酸化シリコン膜を成膜するのが好ましい。また、絶縁膜16Bは、酸化アルミニウムや酸窒化シリコンを、ALD(Atomic Layer Deposition)法、ECRスパッタまたはプラズマCVDにより成膜してもよい。
(c)続いて、絶縁膜16Bの表面に表面層16Cを形成する。表面層16Cの形成は、RFプラズマCVD等により、DLCやダイヤモンドを成膜する(S2)。また、フラーレンC60の超微粒子を絶縁膜16Bの表面に付着させる方法や、カーボンナノチューブを絶縁膜16Bの表面に植毛させる方法によっても表面層16Cを成膜してもよい。
さらに、表面層16Cをドライフィルムレジストでパターニングして、対向電極17との接触部分に対応する部分を保護した後(S3)、酸素プラズマにより余分なDLCを酸化して除去する(S4)。酸素プラズマを利用すれば、DLCやダイヤモンド薄膜等のカーボン材料を効率良く酸化して除去し、区画形成することができる。
なお、成膜された表面層16Cの表面は、工程S3の前に硝酸系やフッ酸系の洗浄液による洗浄とリンス等による表面処理により表面を水素終端させることにより、表面の水酸基を低減し、撥水性としておくのが良い。
(e)続いて、電極基板3に接合されたシリコン基板の全体を、例えば機械研削によって、厚さ140μm程度になるまで薄板化する(S6)。なお、機械研削を行った後には、加工変質層を除去するため水酸化カリウム水溶液等でライトエッチングを行うのが望ましい(S7)。機械研削の代わりに、水酸化カリウム水溶液によるウェットエッチングによってシリコン基板の薄板化を行っても良い。
(f)それから、シリコン基板の上面(電極基板3が接合されている面の反対面)の全面にTEOSプラズマCVDによって例えば厚さ1.5μmの酸化シリコン膜を形成する。そして、この酸化シリコン膜に、圧力室13となる凹部、リザーバ14となる凹部及びオリフィスとなる凹部となる部分を形成するためのレジストをパターニングし、この部分の酸化シリコン膜をエッチングして除去する(S8)。
この後、シリコン基板の圧力室13となる凹部等が形成された面に、例えばCVDによって酸化シリコン等からなる耐液滴保護膜を例えば厚さ0.1μmで形成する。また、シリコン基板の振動板12と電極基板の対向電極との間に形成されているギャップを封止する(S10)。
(h)次に、ICP(Inductively Coupled Plasma)放電によるドライエッチング等によってノズル8が形成されたノズル基板4を、シリコン基板(キャビティ基板2と同じ)の電極基板3が接合されている側と反対側に接着剤等により接合する(S11)。
(i)最後に、例えばキャビティ基板2、電極基板3、及びノズル基板4が接合された接合基板をダイシング(切断)により分離して、液滴吐出ヘッド1が完成する(S12)。
図7は上記実施例2に係る液滴吐出ヘッドの製造工程を示すフローチャートである。
(a)まず、電極基板3を形成する。電極基板3は、例えばホウ珪酸ガラス基板に金・クロムのエッチングマスクを施し、該ガラス基板をフッ酸水溶液等でエッチングして凹部(または溝部)を形成した後に、凹部内にスパッタ等によりITOからなる対向電極17を形成する(S01)。
(b)続いて、電極基板3の対向電極17が形成された側に表面層16Cを形成する。表面層16Cの形成は、プラズマCVDにより、DLCやダイヤモンドを成膜する(S02)。なお、実施例3の液滴吐出ヘッドを製造する場合には、対向電極17面に誘電体層16Dを形成してから、DLCやダイヤモンドを成膜する。
(c)さらに、表面層16Cをドライフィルムレジストでパターニングして、対向電極と接触部分に対応する部分を保護する(S03)。なお、DLC膜の対向電極17に対するパターニングによる区画形成の位置合わせのずれを考慮し、DLC膜は図4に示すように、対向電極17の幅より少し狭くするのが好ましい。
(d)そして、酸素プラズマにより余分なDLCを酸化して除去し、その後ドライフィルムレジストを剥離する(04)。
(e)その後、電極基板3に吐出液供給口をドリルなどを利用して開口する(S05)。
(f)一方、キャビテキ基板となる例えば厚さが525μmのシリコン基板を用意する。シリコン基板はその両面を鏡面研磨し、その片側表面にボロンをドープして、例えば2μm程度の厚さのボロンドーブ層を形成する。このボロンドーブ層は、後に振動板12となるものである。さらに、シリコン基板のボロンドーブ層が形成されている表面に絶縁膜16Bを形成する。絶縁膜16Bの形成は、TESOプラズマCVDにより緻密で絶縁性に優れた酸化シリコン膜を成膜できる。また、絶縁膜16Bは、酸化アルミニウムや酸窒化シリコンを、ALD法、ECRスパッタまたはプラズマCVDにより成膜してもよい(S1)。
(g)そして、S01〜S05の工程が終了した電極基板3と、S1の工程が終了したシリコン基板とを、表面層16Cが形成された面と絶縁膜16Bが形成された面とを対向させて陽極接合する(S5)。この後は、図6のS6〜S12と同じ工程を経て、液滴吐出ヘッドが完成する。
図8は実施形態2の液滴吐出ヘッドを備えた本発明の実施形態3に係る液滴吐出装置の一例を示した外観図である。図8に示す液滴吐出装置100は、液滴としてインクを吐出するインクジェットプリンタである。この液滴吐出装置100は、そこに採用されている液滴吐出ヘッドの作用により、静電アクチュエータ部分の残留電荷影響が低減されるため、安定した駆動による高精度のインク吐出が可能となる。さらに、液滴吐出装置100は、低電力駆動が可能となり小型で駆動耐久性に優れたものとなる。
なお、実施形態2の液滴吐出ヘッドは、ここに示したインクジェットプリンタの他に、吐出する液滴を種々変更することで、カラーフィルタのマトリクスパターンの形成、有機EL表示装置の発光部の形成、生体液体試料の吐出等を行う液滴吐出装置にも適用することができる。
図9は実施形態1の静電アクチュエータを備えた本発明の実施形態4に係る静電デバイスの一例を示す斜視図である。図9に示す静電デバイスは波長可変フィルタ200であり、これは、駆動電極部210、可動部220及びパッケージ部230を備え、可動部220の位置変動を利用して、入射した光から特定の波長の光をフィルタリングして、それを出射させるものである。
駆動電極部210は、可動体221aと静電ギャップをEGを有して配置され、可動体221aに対向してもう一方の電極を構成している駆動電極212と、可動反射面223と光学ギャップOGを有して配置され、可動反射面223で反射された光をさらに反射する固定反射面218とを有し、可動反射面223と固定反射面218とが対向するように、スペーサ221eを形成した側と反対側で可動部220と接合されている。駆動電極部210の基材には、例えばガラス基板を用いることができる。
パッケージ部230は、可動部220のスペーサ221eにより形成された空間を塞ぐように、スペーサ221eの先端に接合されている。
Claims (12)
- 一方の電極として作用する可撓性を有した振動板と、前記振動板にギャップを隔てて対向し前記振動板との間で電圧が印加される対向電極とを備え、前記振動板の前記対向電極との対向面に絶縁膜が形成されている静電アクチュエータであって、
前記絶縁膜が形成された前記振動板と前記対向電極との対向面の少なくとも一方の表面にカーボン材料からなる表面層が形成されていることを特徴とする静電アクチュエータ。 - 前記カーボン材料は、ダイヤモンドライクカーボン、ダイヤモンド、フラーレンC60またはカーボンナノチューブのいずれかであることを特徴とする請求項1記載の静電アクチュエータ。
- 前記表面層が、駆動により前記振動板と前記対向電極が当接する面に区画形成されていることを特徴とする請求項1または2記載の静電アクチュエータ。
- 前記対向電極の表面に誘電体の保護膜が形成され、前記保護膜上に前記カーボン材料が形成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の静電アクチュエータ。
- 請求項1ないし4のいずれかに記載の静電アクチュエータを備え、前記振動板が液滴を貯えて吐出させる圧力室の底面を構成していることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- 請求項5記載の液滴吐出ヘッドを備えていることを特徴とする液滴吐出装置。
- 請求項1ないし4のいずれかに記載の静電アクチュエータを備えていることを特徴とする静電デバイス。
- シリコン基板の表面に絶縁膜を成膜し、その絶縁膜の上にカーボン材料からなる表面層を積層する工程と、
電極基板に溝を形成し、その溝内に電極を形成する工程と、
前記シリコン基板と前記電極基板とを、前記表面層と前記電極をギャップを介して対向させて接合する工程と、
前記シリコン基板の前記表面層との対向部を可撓性を有した振動板に加工する工程と、
を備えた静電アクチュエータの製造方法。 - シリコン基板の表面に絶縁膜を成膜する工程と、
電極基板に溝を形成し、その溝内に電極を形成し、その電極面上にカーボン材料からなる表面層を積層する工程と、
前記シリコン基板と前記電極基板とを、前記絶縁膜と前記表面層をギャップを介して対向させて接合する工程と、
前記シリコン基板の前記表面層との対向部を可撓性を有した振動板に加工する工程と、
を備えた静電アクチュエータの製造方法。 - 前記電極基板の電極の表面に誘電体の保護膜を成膜した後、その保護膜上に前記表面層を積層することを特徴とする請求項9記載の静電アクチュエータの製造方法。
- 前記表面層の積層は、カーボン材料を前記基板の表面層形成面に成膜し、その成膜面に対してレジストパターニングを行った後、酸素プラズマにより不要な部分の前記成膜をエッチング除去して行う、ことを特徴とする請求項8〜10のいずれかに記載の静電アクチュエータの製造方法。
- 請求項8〜11の方法を利用して静電アクチュエータを製造し、前記シリコン基板の振動板を液滴を貯えて吐出させる圧力室の底面とすることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
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