JP2007114435A - スキャン光学ユニット及びその制御方法並びにレーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザ光を反射によって第1の面内で角度偏向させる第1の偏向ミラーと、第1の偏向ミラーによって偏向されたレーザ光を反射によって第1の面と交わる第2の面内で角度偏向する第2の偏向ミラーとを備え、2つの偏向ミラーは夫々異なるサーボモータによって回転駆動される。2つのミラー面は反射偏向によってコリメート光を機械的に2次元に偏向し、作動距離の長いスキャン光学ユニットを得ることができる。サーボモータ制御部は、描画動作休止時にサーボモータの回転軸を左右にメインテナンスに必要な角度、例えば360°回転させ、回転軸とこの回転軸を保持する軸受け部との間に介在する潤滑剤を回転軸全周に塗り広げるように制御する。
【選択図】図1
Description
2; コリメートレンズ
3; X軸スキャン用ミラー
4; Y軸スキャン用ミラー
5; 集光レンズ
6; X軸サーボモータ
7; Y軸サーボモータ
8; サーボモータ制御部
9; 走査対象面
10; 図形
100; スキャン光学ユニット
Claims (5)
- レーザ光を反射によって第1の面内で角度偏向させる第1の偏向ミラーと、前記第1の偏向ミラーによって偏向されたレーザ光を反射によって前記第1の面と交わる第2の面内で角度偏向する第2の偏向ミラーと、前記第1及び第2の偏向ミラーを夫々回転駆動する第1及び第2のサーボモータとを有することを特徴とするスキャン光学ユニット。
- 前記第1及び第2のサーボモータを制御する制御部を備え、この制御部は、描画動作の際、前記第1及び第2のサーボモータを前記第1及び第2の偏向ミラーが90°以下の角度で回転するように独立に制御し、前記第1及び第2の偏向ミラーはこの回転域で相互に接触しないよう近接して配設されていることを特徴とする請求項1に記載のスキャン光学ユニット。
- 前記制御部は、メインテナンス動作の際、前記偏向ミラーの一方をメインテナンスに必要な角度で回転させ、前記偏向ミラーの他方を前記一方の偏向ミラーに接触しない回転位置に退避させるように、前記第1及び第2のサーボモータを制御することを特徴とする請求項2に記載のスキャン光学ユニット。
- レーザ光を反射によって第1の面内で角度偏向させる第1の偏向ミラーと、前記第1の偏向ミラーによって偏向されたレーザ光を反射によって前記第1の面と交わる第2の面内で角度偏向する第2の偏向ミラーと、前記第1及び第2の偏向ミラーを夫々回転駆動する第1及び第2のサーボモータと、前記第1及び第2のサーボモータを制御する制御部とを備え、前記第1及び第2の偏向ミラーが、描画動作の際、90°以下の角度で回転するように独立に制御し、前記第1及び第2の偏向ミラーはこの回転域で相互に接触しないよう近接して配設されているスキャン光学ユニットの制御方法において、メインテナンス動作の際、前記偏向ミラーの一方をメインテナンスに必要な角度で回転させ、前記偏向ミラーの他方を前記一方の偏向ミラーに接触しない回転位置に退避させるように、前記第1及び第2のサーボモータを制御することを特徴とするスキャン光学ユニットの制御方法。
- 請求項1乃至3に記載のスキャン光学ユニットのうちのいずれか1つのスキャン光学ユニットを備えることを特徴とするレーザ加工装置。
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JP2005305034A JP4376221B2 (ja) | 2005-10-19 | 2005-10-19 | スキャン光学ユニット及びその制御方法並びにレーザ加工装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2013078771A (ja) * | 2011-09-30 | 2013-05-02 | Panasonic Industrial Devices Sunx Co Ltd | レーザ加工装置 |
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2005
- 2005-10-19 JP JP2005305034A patent/JP4376221B2/ja not_active Expired - Fee Related
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