JP2007112651A - シリコン単結晶原料の溶解方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】断面矩形状または断面円形の柱状の多結晶シリコン3の軸線が、水平かつルツボ径方向に向くようにルツボ1内に配置し、かつ前記柱状の多結晶シリコン3を複数配置して、柱状の多結晶シリコン3の配置形状を十字状または放射状になし、前記多結晶シリコンを溶解する。
【選択図】図1
Description
ここで、シリコン単結晶の製造原料として使用される多結晶シリコンは、通常、製造効率に優れるとされているシーメンス法によって製造された多結晶シリコンロッドを素材としている。そして、この多結晶シリコンロッドを熱衝撃、機械的衝撃などによって破砕し、エッチング洗浄などの工程を経た後、サイズ分けしたものがシリコン単結晶の製造原料として使用されている。
この要求に応えるために、まずルツボサイズを大きくすることが考えられる。しかしながらルツボサイズを大きくすると、溶解に要する電力費が嵩み、しかも融液温度の管理が困難となるため、ルツボのサイズを大きくすることは好ましくない。
しかしながら、個々の塊状の多結晶シリコンが持つ表面積が大きいために、その塊状の多結晶シリコン間に多くの隙間が残るため、このような装填方法では、原料装填率は十分ではない。
このため、ルツボ内に装填される多結晶シリコン量は依然として制限され、大重量の単結晶を製造することを困難としている。
この特許文献1に示されたシリコン単結晶原料の溶解方法について、図12に基づいて説明する。先ず、ルツボ10内に、シーメンス法により製造された多結晶シリコンロッドから切り出された複数本の柱状原料13a,13bを、俵積み状に組み合わせて装填する。そして、前記柱状原料13a,13bの周囲に塊粒原料12を装填する。
また、融液の中央に柱状原料13a,13bが残存し、その溶融に時間がかかり、電力の増加を招くという技術的課題があった。
更に、柱状原料13a,13bの上に山積みにされた、ルツボ上端部に接している塊粒の多結晶シリコン12が溶け残り、ルツボ上端部に付着するという技術的課題があった。
その結果、融液の中央に柱状の多結晶シリコンが残存することもなく、溶解に要する時間の短縮化、電力の低減化を図ることができる。
その結果、融液の中央部に柱状の多結晶シリコンが残存することもなく、溶解に要する時間の短縮化、電力の低減化を図ることができる。
このように、粒径の大きなものと小さなものが混在した第一の塊状の多結晶シリコンを用いることにより、ルツボへの装填率をより向上させることができ、多結晶シリコンの隙間も減少し、熱の伝播が効率的になり、溶解に要する時間の短縮化、電力の低減化を図ることができる。
更に、第二の塊状の多結晶シリコンは、前記第一の塊状の多結晶シリコンを構成している粒径の大きなものからなるため、ルツボ上端部に接している第二の塊状の多結晶シリコンは自重で落下し、ルツボ上端部に付着するという弊害を防止できる。
図1に示すように、ルツボ1の底面形状は曲面形状となっているため、まずルツボ1の底面上に、粒径(原料サイズ)5〜20mm程度の塊状の多結晶シリコン2(以下、塊状原料2)を敷詰め、底部を平らにする。この塊状原料2の粒径(原料サイズ)は、図4に示すように10mm〜15mmが約70%締めている。
尚、前記柱状原料3は、直径100mm〜150mm、長さ60mm〜120mmの円柱状形状 あるいは断面の縦が100mm〜150mm、断面の横が100mm〜150mmであって、長さが60mm〜120mmの四角柱形状であっても良い。
尚、このように、粒径の大きな塊状原料4のみで装填を行なうのは、ルツボ1上方に溶け残りの塊状原料の付着を防止するためである。即ち、粒径の小さな塊状原料2で装填した場合、ルツボ1の上端部に接して塊状原料2が装填される。このため、粒径の小さな塊状原料2の溶け残りが、ルツボ1の上端部から落下することなく付着し、ルツボを変形させる力として作用する。一方、粒径の大きな塊状原料4は、自重さによりルツボ内の下方に移動し、ルツボ1の上端部に付着することもない。
また、柱状原料3の周囲に塊状原料2、4を装填しているため、装填率も向上することから、原料間の隙間も減少し、熱の伝播も効率的になり、溶解に要する時間の短縮も図られる。
更に、柱状原料3の最下段の中央部には、柱状原料3が配置されていないため、ルツボ中心に柱状の柱状原料3が残存することもない。一方、柱状原料3の上段の配置された柱状原料3の中央部には柱状原料を配置することにより、ルツボ内の原料装填率をより向上させることができる。
この第2の実施形態にあっては、ルツボ1の内底部に柱状原料3を配置したのち、その隙間を塊状原料2,4で装填し、その上にさらに前記柱状原料3より長さの長い第2の柱状原料5を俵積み状に配置する点に顕著な特徴を有する。
そして、柱状原料3を並べ終わると、次にその柱状原料3がほぼ埋まるように塊状原料2と、塊状原料4を混在させながら装填する。
その後、図6(d)に示すように、塊状原料2と塊状原料4で隙間を埋めるように装填し、柱状原料5がほぼ見えなくなった以降、塊状原料4のみで山積みし所定の重量まで装填する。
そして、ルツボ1内への原料装填が終わると、ルツボの周囲に配置されたヒータに通電を行なって、ルツボ1内の原料を溶解する。
22インチサイズの石英ルツボを使用して多結晶シリコンの溶解を行う際に、図7に示すように多結晶シリコンとして、図4,5の粒径分布を有する塊状原料2,4のみを使用し、かつ粒径の大きい塊状原料4をルツボ底部に装填し、粒径の小さな塊状原料2をルツボの上方に装填した場合(比較例1)と、図8に示すように粒径の大きい塊状原料4をルツボ上方に装填し、粒径の小さな塊状原料2をルツボの底部に装填し、更に塊状原料2,4以外に柱状原料5を使用し、それを横に寝かせて俵積み状にした場合(比較例2)と、図1に示すように柱状原料3、塊状原料2,4を配置した場合(実施例1)ついて、溶融時間及び装填率の検証を行なった。なお、溶融時間の結果を図10に示す。
尚、ヒータ電力を上げると溶解に要する時間は短縮されるが、ルツボの変形を招くなどルツボへのダメージが大きく耐久性を損なうので、溶解に要する時間を短縮する手段としてヒータ電力の増大は採用できない。
一方、実施例1にあっては、溶解の様子もルツボ全体に均一で、柱状の多結晶シリコンが残存することもなく、極めて安定して溶解を完了した。
まず、ルツボ1の底面上に塊状原料2を敷詰める。塊状原料2の敷詰めが終わると、その上に柱状原料3を横にして放射状に並べる(図6(a)(b))。
柱状原料3を並べ終わると、次にその柱状原料3がほぼ埋まるように塊状原料2と塊状原料4を混ぜながら装填する。そして、その上にさらに長さの長い柱状の多結晶シリコン5を並べる(図6(c))。
その後、塊状原料2と塊状原料4で隙間を埋めるように装填し、柱状原料5がほぼ見えなくなったら塊状原料4のみで所定の重量まで装填する(図6(d))。
28インチサイズの石英ルツボを用いて実施例1と同様の実験を行なった。
石英ルツボのサイズのみ変更し、比較例1と同様に塊状原料2,4のみを使用して装填を行った場合(比較例3)、装填重量は最大で270kgであり、また溶解に要する時間はヒータ電力を170KWとした場合、図11に示すように約15時間であった。
また、石英ルツボのサイズのみ変更し、比較例2と同様に塊状原料2,4以外に柱状原料5を使用し、それを横に寝かせて俵積み状にした場合(比較例4)、330kgの原料装填が可能になり、溶解に要する時間は、図11に示すように同一ヒータ電力で約13時間であった。
これに対して、図9に示すように、下段に8個の柱状原料3を装填し、上段に16個の柱状原料3を装填した場合(実施例3)、330kgの原料装填が可能になり、溶解に要する時間は、図11に示すように同一ヒータ電力で約12時間に短縮された。
それに比べて、実施例3では、溶解の様子もルツボ全体に均一で、柱状の多結晶シリコンが残存することもなく、極めて安定して溶解を完了した。
2 塊状の多結晶シリコン(塊状原料)
3 柱状の多結晶シリコン(柱状原料)
4 塊状の多結晶シリコン(塊状原料)
5 柱状の多結晶シリコン(柱状原料)
Claims (6)
- CZ法によりシリコン単結晶を製造する際、製造原料である多結晶シリコンをルツボ内で溶解するにあたり、
断面矩形状または断面円形の柱状の多結晶シリコン軸線が、水平かつルツボ径方向に向くようにルツボ内に配置し、かつ前記柱状の多結晶シリコンを複数配置して、前記柱状の多結晶シリコンの配置形状を十字状または放射状になし、前記多結晶シリコンを溶解することを特徴とするシリコン単結晶原料の溶解方法。 - 前記柱状の多結晶シリコンを、十字状または放射状にルツボの底面に配置した後、前記柱状の多結晶シリコンの周囲に塊状の多結晶シリコンを装填し、更に前記塊状の多結晶シリコンの上に、更に断面矩形状または断面円形の柱状の多結晶シリコンを放射状に配置することを特徴とする請求項1に記載されたシリコン単結晶原料の溶解方法。
- 前記柱状の多結晶シリコンを、十字状または放射状にルツボの底面に配置した後、前記柱状の多結晶シリコンの周囲に塊状の多結晶シリコンを装填し、更に前記塊状の多結晶シリコンの上に、前記ルツボの底面に配置された前記柱状の多結晶シリコンよりも長さの長い、断面矩形状または断面円形の柱状の多結晶シリコンを配置することを特徴とする請求項1に記載されたシリコン単結晶原料の溶解方法。
- 前記ルツボの上段に放射状に配置された、前記柱状の多結晶シリコンの配置中央部に、柱状の多結晶シリコンを配置したことを特徴とする請求項2に記載されたシリコン単結晶原料の溶解方法。
- 前記柱状の多結晶シリコンを、十字状または放射状にルツボの底面に配置した後、前記柱状の多結晶シリコンの周囲に第一の塊状の多結晶シリコンを装填し、更に前記塊状の多結晶シリコンの上に、更に柱状の多結晶シリコンを放射状に配置し、その後、前記柱状の多結晶シリコンの上に第二の塊状の多結晶シリコンを山積みすることを特徴とする請求項2または請求項3に記載されたシリコン単結晶原料の溶解方法。
- 前記第一の塊状の多結晶シリコンは、粒径の大きなものと小さなものが混在しており、前記第二の塊状の多結晶シリコンは、前記第一の塊状の多結晶シリコンを構成している粒径の大きなものからなることを特徴とする請求項5に記載されたシリコン単結晶原料の溶解方法。
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