JP2007108027A - 電磁誘導式変位センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】電磁誘導式変位センサが交流磁界の存在する環境中において使用される場合に、センサの測定精度の低下を防止すること。
【解決手段】外部交流磁界Hによって第1の交流信号を出力する第1巻線コイル部1と、測定対象物の変位方向に沿って等間隔で配列された巻線コイル素子L1〜L4を有する第2巻線コイル部2と、測定対象物の変位に追従しかつ第2巻線コイル部に対し相対変位可能に配置され、その変位方向に沿って所定のピッチで配列された磁気応答部材を備え、相対変位に応じて、第2巻線コイル部に、第1の交流信号に対し振幅変調され、異なる振幅関数特性をもつ複数の第2の交流信号を誘起させる可動部3と、第2巻線コイル部から入力された第2の交流信号の合成信号を生成し、合成信号と第1巻線コイル部から入力された第1の交流信号との電気的位相差を検出する変位量検出部4を備える。
【選択図】図1
【解決手段】外部交流磁界Hによって第1の交流信号を出力する第1巻線コイル部1と、測定対象物の変位方向に沿って等間隔で配列された巻線コイル素子L1〜L4を有する第2巻線コイル部2と、測定対象物の変位に追従しかつ第2巻線コイル部に対し相対変位可能に配置され、その変位方向に沿って所定のピッチで配列された磁気応答部材を備え、相対変位に応じて、第2巻線コイル部に、第1の交流信号に対し振幅変調され、異なる振幅関数特性をもつ複数の第2の交流信号を誘起させる可動部3と、第2巻線コイル部から入力された第2の交流信号の合成信号を生成し、合成信号と第1巻線コイル部から入力された第1の交流信号との電気的位相差を検出する変位量検出部4を備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、電磁誘導方式により測定対象物の変位量を検出する変位センサに関するものである。
従来の電磁誘導式変位センサは、巻線部と、この巻線部に対して相対的に変位可能に設けられ、巻線部に対する相対変位に応じて、巻線部との間に形成される磁気回路の磁気抵抗に変化を与える部材とを有している。磁気抵抗に変化を与える部材は、軸方向に設けられた磁性体部と非磁性体部の繰り返しパターン(磁気目盛り部)を備えたロッドからなり、巻線部は、ロッドの軸方向に所定間隔をもって配置された4個の1次コイルと、これに対応して設けられた2次コイルからなり、巻線部の内部に形成される円筒空間がロッドと同心となるように配置される(特許文献1参照)。
この構成において、一対の1次コイルが正弦信号sinωtで互いに同相に励磁され、対応する一対の2次コイルからの出力交流信号は逆相で合成され、他の一対の1次コイルが余弦信号cosωtで互いに同相に励磁され、対応する一対の2次コイルからの交流出力信号は逆相で合成される。さらに、これらの2次コイルからの出力交流信号の合成出力信号が得られる。合成出力信号は、ロッドの磁性体部と、巻線部との間の相対的な直線変位に応じた位相角φだけ基準交流信号sinωtを位相シフトしたものとなり、よって、この合成出力信号における基準交流信号sinωtからの位相のずれφを測定することにより、直線位置の検出がなされるようになっている。
このように、従来の電磁誘導式変位センサは、交流信号によって励磁される1次コイル、および2次コイルからなる巻線部と、巻線部との間で磁気回路を形成し、巻線部に対する相対変位に応じて磁気回路の磁気抵抗に変化を与える部材とから構成されているので、例えば、非接触給電によって作動する機械などに実装されるような場合には、センサの周辺に存在する強力な交流磁界がノイズ源となって、センサの測定精度を低下させてしまうおそれがある。しかしながら、そのノイズ対策が非常に難しいという問題があった。
特開平9−89516号公報([0029]〜[0039]段落)
したがって、本発明の課題は、電磁誘導式変位センサが交流磁界の存在する環境中において使用される場合に、センサの測定精度の低下を防止することにある。
上記課題を解決するため、本発明は、定常的に交流磁界が存在する環境で使用されるものであって、前記交流磁界によって誘起される第1の交流信号を出力する第1巻線コイル部と、測定対象物の変位方向に沿って等間隔で配列された複数個の巻線コイル素子を有する第2巻線コイル部と、前記測定対象物の変位に追従しかつ前記第2巻線コイル部に対し相対変位可能に配置され、その変位方向に沿って所定のピッチで配列された複数個の磁気応答部材を備え、前記相対変位に応じて、前記第2巻線コイル部に、前記第1の交流信号に対し振幅変調され、異なる振幅関数特性をもつ複数の第2の交流信号を誘起させる可動部と、前記第1巻線コイル部および前記第2巻線コイル部に接続され、前記第2巻線コイル部から入力された前記複数の第2の交流信号から合成信号を生成し、前記合成信号と前記第1巻線コイル部から入力された前記第1の交流信号との電気的位相差を検出する変位量検出部とを備えたことを特徴とする電磁誘導式変位センサを構成したものである。
上記構成において、好ましくは、前記第2巻線コイル部は、4個の前記巻線コイル素子を備えかつ軸方向にのびる円筒空間を有し、前記可動部は、前記第2巻線コイル部の前記円筒空間を貫通し前記軸方向にスライド運動可能に配置された棒状体からなり、前記棒状体の軸方向に沿って、前記巻線コイル素子の間隔の4倍を1ピッチとして円筒状の前記磁気応答部材が配列されている。
さらに好ましくは、前記第1の交流信号は、正弦波信号Asinωtであり、前記可動部の相対変位xに応じて、前記第2巻線コイル部の一端側から順に並ぶ第1〜第4の前記巻線コイル素子のうち、前記第1および第3の巻線コイル素子の対から正弦関数の振幅関数特性をもつ交流信号asinθ・sinωtが、前記第2および第4の巻線コイル素子の対から余弦関数の振幅関数特性をもつ交流信号acosθ・sinωtがそれぞれ出力され、これらの異なる2つの振幅関数特性をもつ交流信号から正弦関数の振幅関数特性をもつ合成信号asin(ωt±θ)が生成される。
さらに好ましくは、前記第1の交流信号は、正弦波信号Asinωtであり、前記可動部の相対変位xに応じて、前記第2巻線コイル部の一端側から順に並ぶ第1〜第4の前記巻線コイル素子のうち、前記第1および第3の巻線コイル素子の対から正弦関数の振幅関数特性をもつ交流信号asinθ・sinωtが、前記第2および第4の巻線コイル素子の対から余弦関数の振幅関数特性をもつ交流信号acosθ・sinωtがそれぞれ出力され、これらの異なる2つの振幅関数特性をもつ交流信号から正弦関数の振幅関数特性をもつ合成信号asin(ωt±θ)が生成される。
本発明によれば、外部磁界が定常的な交流磁界からなっている場合には、従来のように電磁誘導式センサの1次コイルに励磁交流信号を適用して変位検出用のベースとなる磁界を生成する代わりに、外部交流磁界を直接利用することにより、可動部との位置関係に応じた第2巻線コイル部(従来の2次コイル)のインダクタンスの変化を検出するようにしたので、外部磁界の存在による電磁誘導式変位センサの測定精度の低下を防止することができる。
以下、添付図面を参照して本発明の好ましい実施例について説明する。図1は、本発明の1実施例による電磁誘導式変位センサの構成を示すブロック図である。図1に示されるように、本発明によれば、定常的に存在する外部の交流磁界Hによって誘起される第1の交流信号を出力する第1巻線コイル部1と、測定対象物(図示はされない)の変位方向Zに沿って等間隔で配列された複数個(この実施例では4個)の巻線コイル素子L1〜L4を有する第2巻線コイル部2と、測定対象物の変位に追従しかつ第2巻線コイル部2に対し相対変位可能に配置され、その変位方向Zに沿って所定のピッチで配列された複数個の磁気応答部材を備え、前記相対変位に応じて、第2巻線コイル部2に、第1の交流信号に対し振幅変調され、異なる振幅関数特性をもつ複数(この実施例では2つ)の第2の交流信号を誘起させる可動部3が備えられる。
図2は、図1に示された電磁誘導式センサの第2巻線コイル部および可動部の構成を示した斜視図である。図2を参照して、第2巻線コイル部2は、4個の巻線コイル素子L1〜L4を備えかつ軸方向にのびる円筒空間6を有している。また、可動部3は、顕著な磁性を示さない金属またはプラスチックから形成されたロッド4と、ロッド4に取付けられ、そしてその軸方向に沿って、巻線コイル素子L1〜L4間の間隔の4倍を1ピッチとして配列された円筒状の磁気応答部材(強磁性体)5とからなる棒状体として形成され、第2巻線コイル部2の円筒空間6を貫通し軸方向にスライド運動可能に配置されている。
また、第1巻線コイル部1および第2巻線コイル部2には変位量検出部4が接続される。変位量検出部4は、第1巻線コイル部1から出力された第1の交流信号が入力される第1交流信号検出部7と、第2巻線コイル部2から入力された複数の第2の交流信号の合成信号を生成する第2交流信号合成部8と、第2交流信号合成部8から入力された合成信号と第1交流信号検出部7から入力された第1の交流信号との電気的位相差を検出する位相差検出部9を備えている。
こうして、第1巻線コイル1には、外部交流磁界Hによって第1の交流信号Asinωtが誘起され、この交流信号が第1交流信号検出部7によって検出される。
一方、第2巻線コイル部2の巻線コイル素子L1、L2、L3、L4は、外部交流磁界Hによって、第1巻線コイル部1と同様、正弦波信号Asinωtを誘起されるが、可動部3が変位量xだけ相対変位すると、可動部2に所定ピッチで設けられた磁気応答部材5との関係位置に応じたインダクタンスの変化によって、巻線コイル素子L1およびL3の対において正弦関数の振幅関数特性をもつ交流信号asinθ・sinωtが、また、巻線コイル素子L2およびL4の対において余弦関数の振幅関数特性をもつ交流信号acosθ・sinωtがそれぞれ誘起される。
一方、第2巻線コイル部2の巻線コイル素子L1、L2、L3、L4は、外部交流磁界Hによって、第1巻線コイル部1と同様、正弦波信号Asinωtを誘起されるが、可動部3が変位量xだけ相対変位すると、可動部2に所定ピッチで設けられた磁気応答部材5との関係位置に応じたインダクタンスの変化によって、巻線コイル素子L1およびL3の対において正弦関数の振幅関数特性をもつ交流信号asinθ・sinωtが、また、巻線コイル素子L2およびL4の対において余弦関数の振幅関数特性をもつ交流信号acosθ・sinωtがそれぞれ誘起される。
巻線コイル素子L1およびL3の対からの第2の交流信号asinθ・sinωtおよび巻線コイル素子L2およびL4の対からの第2の交流信号acosθ・sinωtは、第2交流信号合成部8に入力される。第2交流信号合成部8は、入力された第2の交流信号
X=asinθ・sinωt ・・・(1)
Y=acosθ・sinωt ・・・(2)
に基づき、(1)式のsinωtをcosωtに変換して、asinθ・cosωtを得、三角関数の加法定理を適用し、合成信号
asinθ・cosωt±acosθ・sinωt=asin(ωt±θ)
を生成する。
X=asinθ・sinωt ・・・(1)
Y=acosθ・sinωt ・・・(2)
に基づき、(1)式のsinωtをcosωtに変換して、asinθ・cosωtを得、三角関数の加法定理を適用し、合成信号
asinθ・cosωt±acosθ・sinωt=asin(ωt±θ)
を生成する。
そして、位相差検出部9において、合成信号asin(ωt±θ)と、第1の交流信号Asinωtとの電気的位相差θが検出される。位相差θの検出は、図3に示されるように、Asinωtのグラフのゼロクロス点から、asin(ωt+θ)のグラフのゼロクロス点までの時間をカウントすることによってなされる。
位相差θは、可動部3の位置と比例関係にあるので、位相差θを検出することによって可動部3の位置、よって基準位置からの変位量が求められる。
位相差θは、可動部3の位置と比例関係にあるので、位相差θを検出することによって可動部3の位置、よって基準位置からの変位量が求められる。
1 第1巻線コイル部
2 第2巻線コイル部
3 可動部
4 変位量検出部
5 ロッド
6 磁気応答部材
7 円筒空間
8 第1交流信号検出部
9 第2交流信号合成部
10 位相差検出部
2 第2巻線コイル部
3 可動部
4 変位量検出部
5 ロッド
6 磁気応答部材
7 円筒空間
8 第1交流信号検出部
9 第2交流信号合成部
10 位相差検出部
Claims (3)
- 定常的に交流磁界が存在する環境で使用されるものであって、
前記交流磁界によって誘起される第1の交流信号を出力する第1巻線コイル部と、
測定対象物の変位方向に沿って等間隔で配列された複数個の巻線コイル素子を有する第2巻線コイル部と、
前記測定対象物の変位に追従しかつ前記第2巻線コイル部に対し相対変位可能に配置され、その変位方向に沿って所定のピッチで配列された複数個の磁気応答部材を備え、前記相対変位に応じて、前記第2巻線コイル部に、前記第1の交流信号に対し振幅変調され、異なる振幅関数特性をもつ複数の第2の交流信号を誘起させる可動部と、
前記第1巻線コイル部および前記第2巻線コイル部に接続され、前記第2巻線コイル部から入力された前記複数の第2の交流信号から合成信号を生成し、前記合成信号と前記第1巻線コイル部から入力された前記第1の交流信号との電気的位相差を検出する変位量検出部とを備えたことを特徴とする電磁誘導式変位センサ。 - 前記第2巻線コイル部は、4個の前記巻線コイル素子を備えかつ軸方向にのびる円筒空間を有し、前記可動部は、前記第2巻線コイル部の前記円筒空間を貫通し前記軸方向にスライド運動可能に配置された棒状体からなり、前記棒状体の軸方向に沿って、前記巻線コイル素子の間隔の4倍を1ピッチとして円筒状の前記磁気応答部材が配列されていることを特徴とする請求項1に記載の電磁誘導式変位センサ。
- 前記第1の交流信号は、正弦波信号Asinωtであり、前記可動部の相対変位に応じて、前記第2巻線コイル部の一端側から順に並ぶ第1〜第4の前記巻線コイル素子のうち、前記第1および第3の巻線コイル素子の対から正弦関数の振幅関数特性をもつ交流信号asinθ・sinωtが、前記第2および第4の巻線コイル素子の対から余弦関数の振幅関数特性をもつ交流信号acosθ・sinωtがそれぞれ出力され、これらの異なる2つの振幅関数特性をもつ交流信号から正弦関数の振幅関数特性をもつ合成信号asin(ωt±θ)が生成されることを特徴とする請求項2に記載の電磁誘導式変位センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005299551A JP2007108027A (ja) | 2005-10-14 | 2005-10-14 | 電磁誘導式変位センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005299551A JP2007108027A (ja) | 2005-10-14 | 2005-10-14 | 電磁誘導式変位センサ |
Publications (1)
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ID=38033994
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005299551A Pending JP2007108027A (ja) | 2005-10-14 | 2005-10-14 | 電磁誘導式変位センサ |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2007108027A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101751485B1 (ko) | 2015-03-10 | 2017-06-27 | 주식회사 트루윈 | 진폭 변조를 이용한 인덕턴스 방식의 변위센서 |
-
2005
- 2005-10-14 JP JP2005299551A patent/JP2007108027A/ja active Pending
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KR101751485B1 (ko) | 2015-03-10 | 2017-06-27 | 주식회사 트루윈 | 진폭 변조를 이용한 인덕턴스 방식의 변위센서 |
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