JP2007093986A - 電気光学装置、及びこれを備えた電子機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電気光学装置は、基板上に、複数の画素部と、複数の走査線及び複数のデータ線と、N本のデータ線を1群とするデータ線群毎に画像信号を供給するために、シリアル−パラレル変換された画像信号が供給されるN本の画像信号線と、画像信号をサンプリング信号に応じてデータ線に供給するサンプリング回路と、転送信号を出力するシフトレジスタとを備える。更に、データ線群毎に設けられ、転送信号を、サンプリング信号としてサンプリング回路に供給する複数のバッファ回路と、複数の導電膜から夫々形成されると共にデータ線群毎に設けられた複数のコンタクトホールを介して互いに電気的に接続された複数の部分配線を有しており、バッファ回路に電源を供給する電源配線とを備える。
【選択図】図15
Description
<第1実施形態>
第1実施形態に係る液晶装置について、図1から図15を参照して説明する。
先ず、第1層には、例えば、Ti、Cr、W、Ta、Mo等の高融点金属のうちの少なくとも一つを含む、金属単体、合金、金属シリサイド、ポリシリサイド、これらを積層したもの、或いは導電性ポリシリコン等からなる走査線11aが設けられている。この走査線11aは、平面的にみて、図9のX方向に沿うように、ストライプ状にパターニングされている。
次に、第2層として、ゲート電極3aを含むTFT30が設けられている。TFT30は、図11に示すように、LDD(Lightly Doped Drain)構造を有しており、その構成要素としては、上述したゲート電極3a、例えばポリシリコン膜からなりゲート電極3aからの電界によりチャネルが形成される半導体層1aのチャネル領域1a´、ゲート電極3aと半導体層1aとを絶縁するゲート絶縁膜を含む絶縁膜2、半導体層1aにおける低濃度ソース領域1b及び低濃度ドレイン領域1c並びに高濃度ソース領域1d及び高濃度ドレイン領域1eを備えている。
以上説明した走査線11aの上、かつ、TFT30の下には、例えばシリコン酸化膜等からなる下地絶縁膜12が設けられている。下地絶縁膜12は、走査線11aからTFT30を層間絶縁する機能等を有する。
前述の第2層に続けて第3層には、蓄積容量70が設けられている。蓄積容量70は、TFT30の高濃度ドレイン領域1e及び画素電極9aに接続された画素電位側容量電極としての下部電極71と、固定電位側容量電極としての容量電極300とが、誘電体膜75を介して対向配置されることにより形成されている。この蓄積容量70によれば、画素電極9aにおける電位保持特性を顕著に高めることが可能となる。ここで、下部電極71は、本発明に係る「下側電極」の一例であり、容量電極300は、本発明に係る「上側電極」の一例である。
以上説明したTFT30ないしゲート電極3a及び中継電極719の上、かつ、蓄積容量70の下には、例えば、NSG(ノンシリケートガラス)、PSG(リンシリケートガラス)、BSG(ボロンシリケートガラス)、BPSG(ボロンリンシリケートガラス)等のシリケートガラス膜、窒化シリコン膜や酸化シリコン膜等、或いは好ましくはNSGからなる第1層間絶縁膜41が形成されている。
前述の第3層に続けて第4層には、データ線6aが設けられている。データ線6aは、図11に示すように、下層より順に、アルミニウムからなる層(図11における符号41A参照)、窒化チタンからなる層(図11における符号41TN参照)、窒化シリコン膜からなる層(図11における符号401参照)の三層構造を有する膜として形成されている。
以上説明した蓄積容量70の上、かつ、データ線6aの下には、例えばNSG、PSG,BSG、BPSG等のシリケートガラス膜、窒化シリコン膜や酸化シリコン膜等、或いは好ましくはTEOSガスを用いたプラズマCVD法によって形成された第2層間絶縁膜42が形成されている。第2層間絶縁膜42には、TFT30の高濃度ソース領域1dとデータ線6aとを電気的に接続する、前記のコンタクトホール81が開孔されているとともに、前記容量配線用中継層6a1と蓄積容量70の上部電極たる容量電極300とを電気的に接続するコンタクトホール801が開孔されている。更に、第2層間絶縁膜42には、第2中継電極6a2と中継電極719とを電気的に接続するための、前記のコンタクトホール882が形成されている。
前述の第4層に続けて第5層には、容量配線400が形成されている。容量配線400は、平面的にみると、図10に示すように、図中X方向及びY方向それぞれに延在するように、格子状に形成されている。該容量配線400のうち図中Y方向に延在する部分については特に、データ線6aを覆うように、且つ、該データ線6aよりも幅広に形成されている。また、図中X方向に延在する部分については、後述の第3中継電極402を形成する領域を確保するために、各画素電極9aの一辺の中央付近に切り欠き部を有している。
以上説明した前述のデータ線6aの上、かつ、容量配線400の下には、NSG、PSG、BSG、BPSG等のシリケートガラス膜、窒化シリコン膜や酸化シリコン膜等、あるいは好ましくはTEOSガスを用いたプラズマCVD法によって形成された第3層間絶縁膜43が形成されている。この第3層間絶縁膜43には、前記の容量配線400と容量配線用中継層6a1とを電気的に接続するためのコンタクトホール803、及び、第3中継電極402と第2中継電極6a2とを電気的に接続するためのコンタクトホール804がそれぞれ開孔されている。
最後に、第6層には、上述したように画素電極9aがマトリクス状に形成され、該画素電極9a上に配向膜16が形成されている。画素電極9a下には、NSG、PSG、BSG、BPSG等のシリケートガラス膜、窒化シリコン膜や酸化シリコン膜等、或いは好ましくはNSGからなる第4層間絶縁膜44が形成されている。第4層間絶縁膜44には、画素電極9a及び前記の第3中継電極402間を電気的に接続するためのコンタクトホール89が開孔されている。画素電極9aとTFT30との間は、コンタクトホール89及び第3中継層402並びに前述したコンタクトホール804、第2中継層6a2、コンタクトホール882、中継電極719、コンタクトホール881、下部電極71及びコンタクトホール83を介して、電気的に接続されることとなる。
<第2実施形態>
次に、第2実施形態に係る液晶装置について、図17を参照して説明する。ここに図17は、部分配線間を電気的に接続するためのコンタクトホールを拡大して示す拡大平面図である。尚、図17において、図1から図16に示した第1実施形態に係る構成要素と同様の構成要素に同一の参照符合を付し、それらの説明は適宜省略する。
次に、上述した電気光学装置である液晶装置を各種の電子機器に適用する場合について説明する。
Claims (7)
- 基板上に、
複数の画素部と、
前記複数の画素部が配列された画素領域に配線された複数の走査線及び複数のデータ線と、
N本の前記データ線を1群とするデータ線群毎に画像信号を供給するために、N(但し、Nは2以上の自然数)個のシリアル−パラレル変換された前記画像信号が供給されるN本の画像信号線と、
前記画像信号線と電気的に接続されおり、前記画像信号をサンプリング信号に応じて前記複数のデータ線に夫々供給する複数のサンプリングスイッチを含むサンプリング回路と、
前記複数の画素部に前記画像信号を供給すべきタイミングを規定する転送信号を出力するシフトレジスタと、
前記データ線群毎に設けられており、前記転送信号を、前記サンプリング信号として前記データ線群に対応する前記サンプリングスイッチ毎に供給する複数のバッファ回路と、
層間絶縁膜を介して相異なる層に位置する複数の導電膜から夫々形成されると共に前記データ線群毎に設けられた複数のコンタクトホールを介して互いに電気的に接続された複数の部分配線を有しており、前記複数のバッファ回路の各々に電源を供給する電源配線と
を備えたことを特徴とする電気光学装置。 - 前記複数のコンタクトホールは、前記基板上で平面的に見て、前記電源配線が配線された配線領域のうち前記複数のバッファ回路の各々に対応する部分領域毎における同一の領域に夫々設けられることを特徴とする請求項1に記載の電気光学装置。
- 前記電源配線は、第1の電位の電源を供給する第1電源配線と前記第1の電位よりも低い第2の電位の電源を供給する第2電源配線とを含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の電気光学装置。
- 前記複数の画素部は夫々、前記基板上に、下側電極、誘電体膜及び上側電極が順に積層された蓄積容量を備え、
前記複数の部分配線は、前記データ線と同一膜から形成された第1部分配線と、前記下側電極及び前記上側電極のいずれか一方に電気的に接続された容量線と同一膜から形成された第2部分配線とからなる
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の電気光学装置。 - 前記基板上に前記複数の部分配線よりも下層側に配置されており、前記サンプリング信号を供給するためのサンプリング信号線と、
前記基板上で平面的に見て、前記複数のコンタクトホールが形成される領域に、前記複数の部分配線よりも下層側に前記走査線、前記サンプリング信号線、前記下側電極及び前記上側電極のうち少なくともいずれかと同一膜からなる調整膜と
を備えることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の電気光学装置。 - 前記複数のコンタクトホールは夫々、前記基板上で平面的に見て、互いに隣接する複数の部分コンタクトホールからなることを特徴とする請求項1から5に記載の電気光学装置。
- 請求項1から6のいずれか一項に記載の電気光学装置を具備してなる電子機器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005282992A JP4945985B2 (ja) | 2005-09-28 | 2005-09-28 | 電気光学装置、及びこれを備えた電子機器 |
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JP2007093986A true JP2007093986A (ja) | 2007-04-12 |
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP4945985B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019215863A1 (ja) * | 2018-05-10 | 2019-11-14 | シャープ株式会社 | 表示装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102481182B1 (ko) * | 2015-11-20 | 2022-12-26 | 삼성디스플레이 주식회사 | 액정 표시 장치 |
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JP2003337545A (ja) * | 1999-02-23 | 2003-11-28 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置の駆動回路及び電気光学装置並びに電子機器 |
JP2004354966A (ja) * | 2003-05-02 | 2004-12-16 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器 |
JP2005018031A (ja) * | 2003-06-02 | 2005-01-20 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置及びこれを備えた電子機器 |
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CN112056005A (zh) * | 2018-05-10 | 2020-12-08 | 夏普株式会社 | 显示装置 |
CN112056005B (zh) * | 2018-05-10 | 2024-04-30 | 夏普株式会社 | 显示装置 |
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---|---|
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