JP2007090200A - Drying method, drying equipment, and deposition method, method for manufacturing electrooptical apparatus, and electrooptical apparatus, and electronic equipment - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、液状体が塗布された基板を乾燥させて成膜を行う成膜方法、および、そのための乾燥方法、乾燥装置、並びに、当該成膜方法を用いた電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器に関する。 The present invention relates to a film forming method for forming a film by drying a substrate coated with a liquid material, a drying method and a drying apparatus therefor, a method for manufacturing an electro-optical device using the film forming method, The present invention relates to optical devices and electronic devices.
従来、半導体装置や電気光学装置の製造プロセスに用いられる成膜方法として、基板の一面に塗布された液状体を乾燥等により膜化させるいわゆる液相法がある。この液相法においては、液状体近傍の蒸気圧分布を制御することは重要な技術である。例えば、基板の中央領域は、周囲の隣接領域からの蒸気拡散の影響で蒸気の滞留が起こりやすいため、外縁領域に比べて蒸気圧が高くなる傾向があり、このような蒸気圧のムラを低減することは良好なプロファイルの機能性膜（膜）を得る上で重要である。 Conventionally, as a film forming method used in the manufacturing process of a semiconductor device or an electro-optical device, there is a so-called liquid phase method in which a liquid material applied to one surface of a substrate is formed into a film by drying or the like. In this liquid phase method, it is an important technique to control the vapor pressure distribution near the liquid. For example, in the central area of the substrate, vapor stays easily due to the influence of vapor diffusion from surrounding neighboring areas, so that the vapor pressure tends to be higher than the outer edge area, and this unevenness in vapor pressure is reduced. It is important to obtain a functional film (film) having a good profile.
特許文献１には、多孔質の整流板を基板と対向して配置し、基板上方の蒸気を整流板の全面から一様に排気させるようにして、蒸気流の均一化を図った乾燥方法が提案されている。また、この文献に係る乾燥方法では、基板の外縁に臨んで溶剤噴霧手段を設けて、外縁領域における蒸気圧を補正することにより、蒸気圧分布の一層の均一化を図っている。 Patent Document 1 discloses a drying method in which a porous rectifying plate is arranged to face a substrate, and vapor above the substrate is exhausted uniformly from the entire surface of the rectifying plate, thereby achieving a uniform vapor flow. Proposed. In the drying method according to this document, solvent spraying means is provided facing the outer edge of the substrate, and the vapor pressure distribution in the outer edge region is corrected to further uniform the vapor pressure distribution.
しかしながら、上述のような溶剤噴霧手段を利用した乾燥方法の場合、複雑な装置構成の乾燥装置が必要であり、また、多様なサイズや形状の基板に対応させることも困難である。 However, in the case of the drying method using the solvent spraying means as described above, a drying apparatus having a complicated apparatus configuration is required, and it is difficult to cope with substrates of various sizes and shapes.
また近年、微小ノズルから液滴を吐出させて描画を行ういわゆる液滴吐出法により、基板上に液状体をパターニングし、パターン化された機能性膜を形成する手法が広く用いられるようになってきている（例えば、特開平１１−２７４６７１号公報など）。このようにあらかじめパターニングされている液状体を乾燥させるにあたっては、基板の全面に塗布された液状体の場合とは異なった特有の問題がある。すなわち、個体単位でパターニングされた液状体（以下、個体パターンとする）は、それぞれが独立した集合体をなしているので、各個体パターン内の中央領域と外縁領域との間で、上述したような蒸気圧分布のムラが生じてしまうのである。 In recent years, a technique of patterning a liquid material on a substrate and forming a patterned functional film by a so-called droplet discharge method in which drawing is performed by discharging droplets from minute nozzles has been widely used. (For example, JP-A-11-274671). Thus, in drying the liquid material that has been patterned in advance, there is a specific problem different from the case of the liquid material applied to the entire surface of the substrate. That is, since the liquid material patterned in individual units (hereinafter referred to as individual patterns) forms an independent assembly, as described above, between the central region and the outer edge region in each individual pattern. As a result, uneven vapor pressure distribution occurs.
本発明は、上述の課題を解決するためになされたもので、基板面内領域間の乾燥ムラを好適に低減することができる乾燥方法、乾燥装置、および、当該乾燥方法を用いた成膜方法、電気光学装置の製造方法、並びに、当該乾燥方法を用いて製造された電気光学装置、電子機器を提供することを目的としている。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and a drying method, a drying apparatus, and a film forming method using the drying method that can suitably reduce drying unevenness between regions in the substrate surface. It is an object of the present invention to provide an electro-optical device manufacturing method, and an electro-optical device and an electronic apparatus manufactured using the drying method.
本発明は、一面に液状体の個体パターンが配置された基板についての乾燥方法であって、前記基板の一面側における空間を、前記基板の外形に合わせて物理的に区画する区画工程と、前記基板を乾燥させる乾燥工程と、を有することを特徴とする。 The present invention is a drying method for a substrate on which a solid pattern of a liquid material is arranged on one surface, and a partitioning step for physically partitioning a space on one surface side of the substrate in accordance with an outer shape of the substrate; And a drying step for drying the substrate.
この発明の乾燥方法によれば、基板の一面側の空間を基板の外形に合わせて区画した状態で、基板（個体パターン）の乾燥を行うことにより、区画空間内における液状体の蒸気流を基板面に垂直にするように規制することができる。これにより、比較的簡単な方法でありながら、個体パターン近傍における蒸気圧分布が基板面内の領域間で均一化され、当該領域間の乾燥ムラが低減される。 According to the drying method of the present invention, the substrate (solid pattern) is dried in a state where the space on one surface side of the substrate is partitioned according to the outer shape of the substrate, whereby the vapor flow of the liquid material in the partitioned space is transferred to the substrate. It can be regulated to be perpendicular to the surface. Thereby, although it is a comparatively simple method, the vapor pressure distribution in the vicinity of the solid pattern is made uniform between regions in the substrate surface, and drying unevenness between the regions is reduced.
本発明は、一面に液状体の個体パターンが配置された基板についての乾燥方法であって、前記基板の一面側における空間を、前記個体パターンの配置領域に合わせて物理的に区画する区画工程と、前記基板を乾燥させる乾燥工程と、を有することを特徴とする。 The present invention is a drying method for a substrate on which a solid pattern of a liquid material is arranged on one side, and a partitioning step of physically partitioning a space on one side of the substrate in accordance with the arrangement area of the individual pattern; And a drying step of drying the substrate.
この発明の乾燥方法によれば、基板の一面側の空間を個体パターンの配置領域に合わせて区画した状態で、基板（個体パターン）の乾燥を行うことにより、区画空間内における液状体の蒸気流を基板面に垂直にするように規制することができる。これにより、個体パターン近傍における蒸気圧分布が個体パターン内の領域間で均一化され、当該領域間の乾燥ムラが低減される。 According to the drying method of the present invention, by drying the substrate (individual pattern) in a state where the space on one surface side of the substrate is partitioned in accordance with the arrangement area of the individual pattern, the vapor flow of the liquid material in the partitioned space is performed. Can be regulated to be perpendicular to the substrate surface. As a result, the vapor pressure distribution in the vicinity of the individual pattern is made uniform between regions in the individual pattern, and drying unevenness between the regions is reduced.
また好ましくは、前記乾燥方法において、前記個体パターンの配置領域と前記区画された空間領域の境界との基板面内距離が、前記区画された空間内における前記液状体の蒸気の平均自由行程ないしその１００倍の距離の範囲内で設定されていることを特徴とする。
この発明の乾燥方法によれば、区画空間を形成することによる蒸気流の規制の効果を十分なものとすることができる。
Preferably, in the drying method, an in-plane distance between the arrangement area of the individual pattern and a boundary of the partitioned space area is an average free path of vapor of the liquid material in the partitioned space or the It is characterized by being set within a range of 100 times distance.
According to the drying method of the present invention, the effect of regulating the steam flow by forming the compartment space can be made sufficient.
また好ましくは、前記乾燥方法において、前記区画工程は、前記基板の一面側に仕切り部材を設置して行うことを特徴とする。
この発明の乾燥方法によれば、仕切り部材を用いて簡単に上記区画工程を行うことができる。
Preferably, in the drying method, the partitioning step is performed by installing a partition member on one surface side of the substrate.
According to the drying method of the present invention, the partitioning process can be easily performed using a partition member.
また好ましくは、仕切り部材を用いる前記乾燥方法において、前記仕切り部材と前記基板の一面とを密着させることを特徴とする。
この発明の乾燥方法によれば、区画空間を形成することによる蒸気流の規制をより確実に行うことができる。
Preferably, in the drying method using a partition member, the partition member and one surface of the substrate are brought into close contact with each other.
According to the drying method of the present invention, it is possible to more reliably regulate the steam flow by forming the compartment space.
また好ましくは、前記乾燥方法において、前記区画された空間を介して前記基板と対向するように整流板が配置された状態で、前記乾燥工程を行うことを特徴とする。
この発明の乾燥方法によれば、整流板によって区画空間内における蒸気圧分布をより均一化させることができる。
Preferably, in the drying method, the drying step is performed in a state in which a current plate is disposed so as to face the substrate through the partitioned space.
According to the drying method of the present invention, the vapor pressure distribution in the compartment space can be made more uniform by the current plate.
本発明は、一面に液状体の個体パターンが配置された基板の乾燥を行うための乾燥装置であって、前記基板を収容するための気密室と、前記気密室内において、前記基板の一面側における空間を前記基板の外形に合わせて物理的に区画可能な区画手段と、を備えることを特徴とする。 The present invention is a drying apparatus for drying a substrate on which a solid pattern of a liquid material is arranged on one side, in an airtight chamber for containing the substrate, and in one side of the substrate in the airtight chamber Partitioning means capable of physically partitioning the space according to the outer shape of the substrate.
この発明の乾燥装置によれば、基板の一面側の空間を基板の外形に合わせて区画した状態で、基板（個体パターン）の乾燥を行い、区画空間内における液状体の蒸気流を基板面に垂直にするように規制することができる。これにより、比較的簡単な方法でありながら、個体パターン近傍における蒸気圧分布が基板面内の領域間で均一化され、当該領域間の乾燥ムラが低減される。 According to the drying apparatus of the present invention, the substrate (solid pattern) is dried in a state where the space on one surface side of the substrate is partitioned according to the outer shape of the substrate, and the vapor flow of the liquid material in the partition space is applied to the substrate surface. It can be regulated to be vertical. Thereby, although it is a comparatively simple method, the vapor pressure distribution in the vicinity of the solid pattern is made uniform between regions in the substrate surface, and drying unevenness between the regions is reduced.
本発明は、一面に液状体の個体パターンが配置された基板の乾燥を行うための乾燥装置であって、前記基板を収容するための気密室と、前記気密室内において、前記基板の一面側における空間を前記個体パターンの配置領域に合わせて物理的に区画可能な区画手段と、を備えることを特徴とする。 The present invention is a drying apparatus for drying a substrate on which a solid pattern of a liquid material is arranged on one side, in an airtight chamber for containing the substrate, and in one side of the substrate in the airtight chamber Partitioning means capable of physically partitioning the space according to the arrangement area of the individual pattern.
この発明の乾燥装置によれば、基板の一面側の空間を個体パターンの配置領域に合わせて区画した状態で、基板（個体パターン）の乾燥を行い、区画空間内における蒸気流を基板面に垂直にするように規制することができる。これにより、個体パターン近傍における蒸気圧分布が個体パターン内の領域間で均一化され、当該領域間の乾燥ムラが低減される。 According to the drying apparatus of the present invention, the substrate (individual pattern) is dried in a state where the space on one surface side of the substrate is partitioned according to the arrangement area of the individual pattern, and the vapor flow in the partition space is perpendicular to the substrate surface. Can be regulated. As a result, the vapor pressure distribution in the vicinity of the individual pattern is made uniform between regions in the individual pattern, and drying unevenness between the regions is reduced.
また好ましくは、前記乾燥装置において、前記区画手段を介して前記基板と対向して配置される整流板をさらに備えることを特徴とする。
この発明の乾燥方法によれば、整流板によって区画空間内の蒸気圧分布をより均一化させることができる。
Preferably, the drying device further includes a current plate arranged to face the substrate through the partitioning means.
According to the drying method of the present invention, the vapor pressure distribution in the compartment space can be made more uniform by the current plate.
本発明の成膜方法は、基板の一面に液状体の個体パターンを配置し、前記乾燥方法で前記基板の乾燥を行って、前記個体パターンを膜化させることを特徴とする。 The film forming method of the present invention is characterized in that a solid pattern of a liquid material is disposed on one surface of a substrate, and the substrate is dried by the drying method to form the solid pattern.
本発明は、パターン化された機能性膜を備える電気光学装置の製造方法であって、前記機能性膜は、前記成膜方法を用いて形成されることを特徴とする。 The present invention is a method for manufacturing an electro-optical device including a patterned functional film, wherein the functional film is formed using the film forming method.
本発明は、パターン化された機能性膜を備える電気光学装置であって、前記機能性膜は、基板の一面に液状体の個体パターンが配置され、前記基板の一面側における空間が前記基板の外形に合わせて物理的に区画された状態で乾燥されて形成されることを特徴とする。 The present invention is an electro-optical device including a patterned functional film, wherein the functional film has a solid pattern of a liquid material disposed on one surface of the substrate, and a space on the one surface side of the substrate is the surface of the substrate. It is formed by being dried in a state of being physically partitioned in accordance with the outer shape.
本発明は、パターン化された機能性膜を備える電気光学装置であって、前記機能性膜は、基板の一面に液状体の個体パターンが配置され、前記基板の一面側における空間が前記個体パターンの配置領域に合わせて物理的に区画された状態で乾燥されて形成されることを特徴とする。 The present invention is an electro-optical device including a patterned functional film, wherein the functional film has a liquid solid pattern disposed on one surface of the substrate, and a space on the one surface side of the substrate is the solid pattern. It is formed by being dried in a state of being physically partitioned in accordance with the arrangement area.
本発明の電子機器は、前記電気光学装置を備えることを特徴とする。 According to another aspect of the invention, an electronic apparatus includes the electro-optical device.
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
なお、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。また、以下の説明で参照する図では、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、これらの縮尺を実際のものとは異なるように表している。
DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
The embodiment described below is a preferred specific example of the present invention, and thus various technically preferable limitations are given. However, the scope of the present invention is particularly limited in the following description. Unless otherwise stated, the present invention is not limited to these forms. In the drawings referred to in the following description, the scales of the layers and the members are shown to be different from the actual ones in order to make each layer and each member recognizable on the drawings.
（第１実施形態）
（乾燥装置）
まずは、図１、図２を参照して本発明に係る乾燥装置について説明する。
図１は、本発明に係る乾燥装置の構成を一部模式化して示す概略図である。図２は、乾燥装置内における整流ユニットと基板との関係を示す斜視図である。
(First embodiment)
(Drying device)
First, the drying apparatus according to the present invention will be described with reference to FIGS.
FIG. 1 is a schematic view showing a part of the configuration of a drying apparatus according to the present invention. FIG. 2 is a perspective view showing the relationship between the rectifying unit and the substrate in the drying apparatus.
図１に示す乾燥装置１は、一面（基板表面２０ａ）に個体パターン２１…が配置された基板２０を乾燥させて、機能性膜（膜）を形成（成膜）するのに用いられるものである。ここで、個体パターン２１…は、図２に示すように、所定の形状でパターニングされた個体単位の液状体のパターン（集合体）であり、本実施形態では、一つの基板２０で９つの個体の機能性膜を形成するようになっている。尚、基板２０上に形成される機能性膜の個体数については特別な限定があるわけではなく、例えば、基板２０上に単一の個体パターンを配置して機能性膜の形成を行ってもよい。
A drying apparatus 1 shown in FIG. 1 is used to dry a
図１において、乾燥装置１は、気密室としてのチャンバ９を形成する容器体２および蓋体３と、チャンバ９内において基板２０を載置するための載置台４と、チャンバ９内を減圧するための減圧ポンプ５および送気管６と、チャンバ９内において基板２０と対向して設けられた整流ユニット３０と、を備えている。送気管６は、容器体２の底部に複数設けられた排気口７を介してチャンバ９と連通されている。整流ユニット３０は、蓋体３の内壁側で可動連結部８と連結されており、図示しない駆動機構により図の上下方向に移動可能となっている。
In FIG. 1, a drying apparatus 1 includes a
整流ユニット３０は、図２に示すように、枠体３２と弾性体３３とからなる複数の区画手段としての仕切り部材３１…と、整流板３４と、を備えている。枠体３２は、板状部材を加工して形成されており、例えば本実施形態では、厚みが１ｍｍ、高さ（図の上下方向の寸法）が５ｍｍのＳＵＳプレートが用いられている。弾性体３３には、例えば、ゴム等が用いられている。整流板３４には、特許文献１に係るような多孔質のセラミック基板を用いることもできるが、本実施形態では、ＳＵＳプレートに１．２ｍｍ間隔で直径１ｍｍの貫通孔３５を穿設したものが用いられている。
As shown in FIG. 2, the
仕切り部材３１…は、整流板３４の下面にそれぞれ接着固定されて所定の配列をなしており、弾性体３３が基板表面２０ａと密着した状態において、基板表面２０ａに配置された個体パターン２１…の上方空間を、それぞれの配置領域に合わせて物理的に区画するようになっている。
The
上述のように、整流ユニット３０における仕切り部材３１…の区画形状や配列は、個体パターン２１…の形状や位置と関連して決められるものである。そこで、整流ユニット３０は、形成される機能性膜の種類に応じて対応したものが用意されており、必要に応じて交換が可能となっている。
As described above, the partition shape and arrangement of the
（液滴吐出装置）
次に、図３を参照して、個体パターンの描画に用いる液滴吐出装置について説明する。図３は、液滴吐出装置の構成の一例を示す模式図である。
(Droplet discharge device)
Next, with reference to FIG. 3, a droplet discharge device used for drawing an individual pattern will be described. FIG. 3 is a schematic diagram illustrating an example of the configuration of the droplet discharge device.
図３において、液滴吐出装置２００は、一面に複数のノズル２１２を配した吐出ヘッド２０１と、吐出ヘッド２０１と対向する位置に吐出対象媒体２０２を載置するための載置台２０３とを備えている。また、吐出ヘッド２０１を、吐出対象媒体２０２との距離を保ったまま縦横に移動（走査）させる走査手段２０４と、吐出ヘッド２０１に液状体を供給する液状体供給手段２０５と、吐出ヘッド２０１の吐出制御を行う吐出制御手段２０６と、を備えている。
In FIG. 3, the
吐出ヘッド２０１には、複数に枝分かれした微細な流路が形成されており、当該流路の端部は、圧力室（キャビティ）２１１、ノズル２１２となっている。圧力室２１１の外郭の一面は、圧電素子２１０によって変形可能となっており、吐出制御手段２０６からの駆動信号によって圧力室２１１内に圧力を発生させることで、ノズル２１２から液滴２１３が吐出される。尚、吐出技術としては、この例のような電気機械方式の他に、電気信号を熱に変換して圧力を発生させるいわゆるサーマル方式などもある。
The
上述の構成において、吐出ヘッド２０１の走査と同期したノズル２１２毎の吐出制御を行うことにより、吐出対象媒体２０２上に所望のパターン（形状、大きさ）で液状体を配置することが可能となっている。尚、液滴吐出装置２００は、一走査中において複数種の液状体を吐出可能なように構成することもできる。
In the above configuration, by performing ejection control for each
（成膜方法）
次に、図４のフローチャートに沿って、図１、図２、図５を参照して、本発明に係る成膜方法（乾燥方法含む）について説明する。
図４は、成膜工程のフローを示すフローチャートである。図５は、区画空間内における蒸気流を示す概略断面図である。
(Film formation method)
Next, a film forming method (including a drying method) according to the present invention will be described along the flowchart of FIG. 4 with reference to FIGS.
FIG. 4 is a flowchart showing a flow of the film forming process. FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing the vapor flow in the compartment space.
最初の工程Ｓ１では、液滴吐出装置２００（図３参照）を用いて、基板表面２０ａ上に図２に示すように液状体の個体パターン２１…を配置する。尚、図２では、矩形状のパターンが個々の個体パターン２１とされているが、その態様は機能性膜の種類によって様々である。例えば、所定領域に複数の独立パターン（集合体）が互いに分断されて配置されているような態様であっても、当該個々の独立パターンが互いに関連して個体としての性格を有するのならば、全体を一つの個体パターンとみなすことができる。
In the first step S1, liquid
液状体には、得ようとする機能性膜を構成する機能性材料を水や有機溶媒に溶解ないし分散させたものが用いられる。また、液状体には、レオロジー特性や保存安定性を調整するための添加剤や、バインダー樹脂等を添加することもできる。 As the liquid, a material obtained by dissolving or dispersing a functional material constituting the functional film to be obtained in water or an organic solvent is used. In addition, an additive for adjusting rheological properties and storage stability, a binder resin, and the like can be added to the liquid.
基板表面２０ａとは、狭義に基材表面のみのことを表しているのではなく、基材表面上に電気配線等の機能層が形成されている場合も含めた最表層のことを表している。また、個体パターン２１…の配置に先立って、基板表面２０ａの親液性／撥液性の改質のために、プラズマ処理を施したり、官能基を有する鎖状分子からなる自己組織化膜を形成しておくこともできる。また、個体パターン２１…の形状を高精度に規定するために、基板表面２０ａにあらかじめ樹脂等で区画構造物（バンク）を形成しておくこともできる。
The
次の工程Ｓ２では、乾燥装置１の蓋体３を開けて、載置台４上に基板２０を移送する。基板２０は、図示しない位置決め手段によって載置台４上の所定の位置に載置され、整流ユニット３０との位置関係が規定されるようになっている。
In the next step S <b> 2, the
次の工程Ｓ３では、図示しない駆動手段によって整流ユニット３０が基板２０に向かって降下され、基板２０上に設置される。これにより、個体パターン２１…の上方の空間が各仕切り部材３１…によって区画される。すなわち、この工程Ｓ３は、本発明における区画工程となっている。
In the next step S <b> 3, the
次の工程Ｓ４では、減圧ポンプ５の稼動によりチャンバ９内を減圧させ、１００Ｐａ程度の真空度で基板２０（個体パターン２１…）の乾燥を行う。すなわち、この工程Ｓ４は、本発明における乾燥工程となっている。
In the next step S4, the inside of the
図５に示すように、仕切り部材３１で区画された区画空間３６内における液状体の蒸気流（矢印で図示）は、基板２０の基板面にほぼ垂直となる。これは、仕切り部材３１によって蒸気拡散の基板面内方向の成分が打ち消されるためであり、仕切り部材３１による区画領域を個体パターン２１配置領域に近接させることで、その効果は大きくなる。好ましくは、仕切り部材３１と個体パターン２１との基板面内距離ｄを、区画空間３６内における蒸気の平均自由行程（数百μｍオーダー）ないしその１００倍の範囲内とすることが理想的である。また、本実施形態では、弾性体３３により仕切り部材３１と基板表面２０ａとを密着させることで、このような蒸気流の規制をより確実に行うようにしている。
As shown in FIG. 5, the vapor flow (illustrated by arrows) of the liquid material in the
かくして、個体パターン２１の近傍における蒸気流が、基板面内方向で均一化されるため、個体パターン２１内の各領域においてムラなく乾燥、膜化がなされ、プロファイルの良好な機能性膜を得ることができる。
Thus, since the vapor flow in the vicinity of the
また、本実施形態では、特に基板２０と対向して多孔性の整流板３４を配置することで、区画空間３６内における蒸気流の一層の均一化を図ると共に、個々の区画空間３６間の蒸気圧ムラの低減を図っている。これは、整流板３４の配置によって、一の区画空間３６から排気された蒸気が、隣接する他の区画空間３６内に最流入しにくくなるためであり、言い換えるならば、個々の区画空間３６が、隣接領域の影響を受けない擬似気密空間としての性格を有することになるためである。
In the present embodiment, in particular, by arranging the
（液晶表示装置およびその製造方法）
次に、図６を参照して、本発明に係る電気光学装置の一例としての液晶表示装置について説明する。
図６は、液晶表示装置の要部構造を示す概略断面図である。
(Liquid crystal display device and manufacturing method thereof)
Next, a liquid crystal display device as an example of an electro-optical device according to the invention will be described with reference to FIG.
FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing the main structure of the liquid crystal display device.
図６に示すように、電気光学装置としての液晶表示装置５０は、パッシブマトリクス型液晶表示装置であって、複数の着色膜６４を有するカラーフィルタ基板（ＣＦ基板）６１と、複数の電極６８を有する対向基板７１と、ＣＦ基板６１と対向基板７１との間に狭持された液晶７０とを備えた液晶表示パネル６０を有している。このような液晶表示装置５０は、受光型の表示装置であるため、例えば対向基板７１の背面側にＬＥＤ素子、ＥＬ、冷陰極管などの光源を有する照明装置（図示を省略）を備えている。尚、本実施形態の液晶表示装置５０は、これに限定されず、例えば対向基板７１にＴＦＴやＴＦＤなどのスイッチング素子を備えたアクティブマトリクス型液晶表示装置であってもよい。
As shown in FIG. 6, a liquid
対向基板７１は、例えば透明な樹脂またはガラス基板を用いており、その液晶７０側の表面にＩＴＯからなる透明な複数の電極６８を有している。電極６８は、対向するＣＦ基板６１に設けられたＩＴＯからなる透明な電極６６と直交してＹ方向に延在している。すなわち、液晶表示パネル６０は、互いに対向すると共に直交して格子状に配置された電極６６と電極６８とを有している。そして電極６６と電極６８とが直交して重なった部分が表示用の画素領域となっている。
The
ＣＦ基板６１は、例えば透明な樹脂またはガラス基板を用いており、表面に色要素領域に対応して開口している下層バンクとしての遮光膜６２と、遮光膜６２の上に設けられた上層バンク６３とを備えている。また上層バンク６３によって区画された色要素領域にＲ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）に対応する色要素としての着色膜６４と、着色膜６４と上層バンク６３とを覆う平坦化層としてのＯＣ（オーバーコート）膜６５とを備えている。電極６６はＯＣ膜６５上に形成されている。尚、電極６６との密着性を確保するために、ＯＣ膜６５の上にさらにＳｉＯ2などの薄膜を形成するようにしてもよい。
The
液晶表示パネル６０は、このようなＣＦ基板６１と対向基板７１とをギャップ材７２を介して所定の間隔で対向配置させ、図示しないシール材を用いて接合させたものである。また、シール材により液晶７０を２つの基板６１，７１の間に封止したものである。２つの基板６１，７１の液晶７０に面する側には、液晶７０を所定の方向に配向させる配向膜６７，６９が設けられている。
In the liquid
尚、液晶表示パネル６０の前面側と背面側の表面には、通常、入射あるいは出射する光を偏向させる偏光板や、視角等を改善するための光学機能性フィルムとしての位相差フィルム等が配設されるが、これらは省略している。
The front and back surfaces of the liquid
遮光膜６２は、ＣＦ基板６１上に、Ｃｒ、Ｎｉ、Ａｌ等の不透明な金属、あるいはこれらの金属の酸化物等の化合物を材料として、気相法とフォトリソグラフィー法を用いて製造することができる。
The
上層バンク６３は、遮光膜６２が形成されたＣＦ基板６１上に、ロールコート法やスピンコート法により厚みがおよそ２μｍの感光性樹脂層を形成した後、フォトリソグラフィー法によりパターニングを施して得ることができる。
The
機能性膜としての着色膜６４Ｂ，６４Ｇ，６４Ｒは、それぞれＢ，Ｇ，Ｒに対応する三色の色材（有機顔料）を含む液状体を用い、上述した成膜方法により形成することができる。すなわち、上層バンク６３によって区画された色要素領域に液状体を付与して個体パターンの配置を行い、区画工程Ｓ３および乾燥工程Ｓ４（図４参照）を経て着色膜６４Ｂ，６４Ｇ，６４Ｒを形成する。この場合において、複数の色要素領域にそれぞれ配置された液状体パターンの、液晶表示パネル６０の個体毎における集合が、それぞれの個体パターンを構成することになる。
The
機能性膜としてのＯＣ膜６５は、透明なアクリル系樹脂を含む液状体を用いて、スピンコート法、オフセット印刷により形成することができるほか、上述した成膜方法により形成することもできる。
The
機能性膜としての電極６６，６８は、気相法およびフォトリソグラフィー法を用いて形成することができるほか、液状体としてＡｕ，Ａｇ，Ｐｔ等の金属微粒子の分散液を用い、上述した成膜方法により形成することもできる。
The
機能性膜としての配向膜６７，６９は、ポリイミド樹脂などを含む液状体を用いて、上述した成膜方法により成膜を行った後、ラビング処理により配向性を付与して形成される。
The
このように、上述の成膜方法を用いて製造された液晶表示装置５０は、プロファイルの良好な各種機能性膜を備えているので、高品質である。
As described above, the liquid
（電子機器）
次に、図７を参照して、本発明に係る電子機器の一例としての携帯型情報処理装置について説明する。
図７は、携帯型情報処理装置を示す概略斜視図である。
(Electronics)
Next, a portable information processing apparatus as an example of an electronic apparatus according to the invention will be described with reference to FIG.
FIG. 7 is a schematic perspective view showing the portable information processing apparatus.
図７に示すように、電子機器としての携帯型情報処理装置３００は、入力用のキーボード３０１を有する情報処理装置本体３０３と、表示部３０２とを備えている。表示部３０２には、液晶表示装置５０が用いられている。この携帯型情報処理装置３００は、上記液晶表示装置５０を備えているので、高品質である。
As shown in FIG. 7, a portable
（第２実施形態）
次に、図８を参照して、本発明の第２実施形態ついて、第１実施形態との相違点を中心に説明する。図８は、第２実施形態に係る仕切り部材と基板との関係を示す断面図である。
(Second Embodiment)
Next, with reference to FIG. 8, a second embodiment of the present invention will be described focusing on differences from the first embodiment. FIG. 8 is a cross-sectional view showing the relationship between the partition member and the substrate according to the second embodiment.
この第２実施形態では、乾燥装置内において、基板２０の外形に合わせて個体パターン２１…の上方空間を区画するように仕切り部材４１が配置され、さらに仕切り部材４１を挟んで基板２０と対向するように整流板４２が配置されるようになっている。仕切り部材４１と整流板４２とは独立した構成となっており、仕切り部材４１は、図示しない位置決め手段によって載置台４上の規定された位置に載置される。また、整流板４２は、仕切り部材４１の上縁４１ａからわずかに離間して配置される。
In the second embodiment, the
この実施形態のように、仕切り部材と整流板とは独立した構成となっていてもよいし、仕切り部材と整流板とは、離間して配置されるようになっていてもよい。 As in this embodiment, the partition member and the current plate may be independent of each other, or the partition member and the current plate may be arranged separately.
また、この第２実施形態のように、基板２０の外形に合わせて区画を行うようにした態様にあっては、仕切り部材４１による蒸気流の整流作用によって、基板面内の領域間における蒸気圧分布の均一化が図られる。これにより、個体パターン２１…個々の乾燥（膜化）が一様になされ、膜プロファイルの個体ばらつきが好適に抑えられる。
Further, in the embodiment in which the partitioning is performed in accordance with the outer shape of the
本発明は上述の実施形態に限定されない。
例えば、上述の実施形態は、単一の基板上に複数の個体パターンが配置される態様であったが、複数の個片基板を単一パレット上に配列した状態において、個体パターンの配置、区画、乾燥の各工程を行うようにしてもよい。
また、区画工程は、印刷法等を用いて、基板表面上に区画構造物を形成することで行うようにしてもよい。
また、乾燥工程は、整流板を用いず、仕切り部材のみで行うようにしてもよい。
また、乾燥方式は、上述の実施形態のような減圧乾燥に限定されるものではなく、温風送風による乾燥や、自然乾燥等であってもよい。
また、本発明に係る電気光学装置ないし機能性膜の別の例として、有機エレクトロルミネッセンス表示装置における発光膜や正孔輸送膜、プラズマディスプレイ装置における蛍光膜、電界放出型表示装置（表面電界型を含む）などを挙げることができる。また、これらの電気光学装置において、画素駆動用配線やＴＦＴ素子などを上述の成膜方法を用いて形成することもできる。
また、各実施形態の各構成はこれらを適宜組み合わせたり、省略したり、図示しない他の構成と組み合わせたりすることができる。
The present invention is not limited to the above-described embodiment.
For example, in the above-described embodiment, a plurality of individual patterns are arranged on a single substrate. However, in a state where a plurality of individual substrates are arranged on a single pallet, the arrangement and partitioning of individual patterns are performed. Each step of drying may be performed.
Moreover, you may be made to perform a division process by forming a division structure on a substrate surface using a printing method etc.
Moreover, you may make it perform a drying process only with a partition member, without using a baffle plate.
Further, the drying method is not limited to the reduced-pressure drying as in the above-described embodiment, and may be drying by hot air blowing, natural drying, or the like.
Further, as another example of the electro-optical device or the functional film according to the present invention, a light emitting film or a hole transport film in an organic electroluminescence display device, a fluorescent film in a plasma display device, a field emission display device (surface electric field type) Including). In these electro-optical devices, pixel driving wirings, TFT elements, and the like can be formed using the above-described film forming method.
Moreover, each structure of each embodiment can combine these suitably, can be abbreviate | omitted, or can combine with the other structure which is not shown in figure.
１…乾燥装置、２…容器体、３…蓋体、４…載置台、５…減圧ポンプ、６…送気管、７…排気口、８…可動連結部、９…気密室としてのチャンバ、２０…基板、２０ａ…基板の一面としての基板表面、２１…個体パターン、３０…整流ユニット、３１…区画手段としての仕切り部材、３２…枠体、３３…弾性体、３４…整流板、３５…貫通孔、３６…区画空間、４１…区画手段としての仕切り部材、４２…整流板、５０…電気光学装置としての液晶表示装置、６０…液晶表示パネル、６１…ＣＦ基板、６２…遮光膜、６３…上層バンク、６４…機能性膜としての着色膜、６５…機能性膜としてのＯＣ膜、６６，６８…機能性膜としての電極、６７，６９…機能性膜としての配向膜、７０…液晶、７１…対向基板、７２…ギャップ材、３００…電子機器としての携帯型情報処理装置、３０１…キーボード、３０２…表示部、３０３…情報処理装置本体。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Drying device, 2 ... Container body, 3 ... Cover body, 4 ... Mounting stand, 5 ... Decompression pump, 6 ... Air supply pipe, 7 ... Exhaust port, 8 ... Movable connection part, 9 ... Chamber as airtight chamber, 20 ... substrate, 20a ... substrate surface as one surface of the substrate, 21 ... solid pattern, 30 ... rectifying unit, 31 ... partition member as partition means, 32 ... frame, 33 ... elastic body, 34 ... rectifying plate, 35 ... penetrating
Claims (14)
前記基板の一面側における空間を、前記基板の外形に合わせて物理的に区画する区画工程と、
前記基板を乾燥させる乾燥工程と、を有することを特徴とする乾燥方法。 A drying method for a substrate on which a solid pattern of liquid material is arranged on one side,
A partitioning step of physically partitioning the space on the one surface side of the substrate according to the outer shape of the substrate;
And a drying step for drying the substrate.
前記基板の一面側における空間を、前記個体パターンの配置領域に合わせて物理的に区画する区画工程と、
前記基板を乾燥させる乾燥工程と、を有することを特徴とする乾燥方法。 A drying method for a substrate on which a solid pattern of liquid material is arranged on one side,
A partitioning step of physically partitioning the space on the one surface side of the substrate in accordance with the placement region of the individual pattern;
And a drying step for drying the substrate.
前記基板を収容するための気密室と、
前記気密室内において、前記基板の一面側における空間を前記基板の外形に合わせて物理的に区画可能な区画手段と、を備えることを特徴とする乾燥装置。 A drying apparatus for drying a substrate in which a solid pattern of liquid material is arranged on one side,
An airtight chamber for accommodating the substrate;
A drying apparatus comprising: partitioning means capable of physically partitioning a space on one surface side of the substrate in accordance with an outer shape of the substrate in the hermetic chamber.
前記基板を収容するための気密室と、
前記気密室内において、前記基板の一面側における空間を前記個体パターンの配置領域に合わせて物理的に区画可能な区画手段と、を備えることを特徴とする乾燥装置。 A drying apparatus for drying a substrate in which a solid pattern of liquid material is arranged on one side,
An airtight chamber for accommodating the substrate;
A drying apparatus comprising: partitioning means capable of physically partitioning a space on one surface side of the substrate in accordance with an arrangement region of the solid pattern in the hermetic chamber.
前記機能性膜は、請求項１０に記載の成膜方法を用いて形成されることを特徴とする電気光学装置の製造方法。 A method of manufacturing an electro-optical device including a patterned functional film,
The method of manufacturing an electro-optical device, wherein the functional film is formed by using the film forming method according to claim 10.
前記機能性膜は、基板の一面に液状体の個体パターンが配置され、前記基板の一面側における空間が前記基板の外形に合わせて物理的に区画された状態で乾燥されて形成されることを特徴とする電気光学装置。 An electro-optical device comprising a patterned functional film,
The functional film is formed such that a solid pattern of a liquid material is disposed on one surface of a substrate, and the space on one surface side of the substrate is dried in a state of being physically partitioned according to the outer shape of the substrate. Electro-optical device characterized.
前記機能性膜は、基板の一面に液状体の個体パターンが配置され、前記基板の一面側における空間が前記個体パターンの配置領域に合わせて物理的に区画された状態で乾燥されて形成されることを特徴とする電気光学装置。 An electro-optical device comprising a patterned functional film,
The functional film is formed by drying a liquid solid pattern on one surface of the substrate, and a space on the one surface side of the substrate physically partitioned in accordance with the solid pattern placement region. An electro-optical device.
An electronic apparatus comprising the electro-optical device according to claim 12.
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