JP2007083666A - Web pasting method - Google Patents

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和芳 末原
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To certainly prevent air bubbles from being generated between a web and a substrate by a simple process, and to effectively and economically obtain a high-quality laminate. <P>SOLUTION: The pasting region of the photosensitive web 22 is conveyed to a specified position near the upstream of a pasting mechanism 46 and stopped there. On the other hand, a glass substrate 24 is conveyed to a specified position and stopped there, and then, the photosensitive web 22 begins to be conveyed by the rotating action of a rubber roller 110a. During the movement of the web 22 at a first velocity, the photosensitive web 22 is clamped by the rubber rollers 110a and 110b in one piece together with the glass substrate 24, and the photosensitive web 22 and the glass substrate 24 are laminated while they are moved at a second velocity. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、ウエブをラミネートローラの押圧回転作用下に基板に貼り付けるウエブの貼り付け方法に関する。   The present invention relates to a web attaching method for attaching a web to a substrate under the action of pressing and rotating a laminating roller.

例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、ＰＤＰパネル用基板では、感光材料（感光性樹脂）層を有する感光性シート体（長尺状ウエブ）を基板表面に貼り付けて構成されている。感光性シート体は、一般的に、可撓性プラスチック支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層されている。   For example, in a liquid crystal panel substrate, a printed wiring substrate, and a PDP panel substrate, a photosensitive sheet (elongated web) having a photosensitive material (photosensitive resin) layer is attached to the substrate surface. In general, a photosensitive sheet is formed by sequentially laminating a photosensitive material layer and a protective film on a flexible plastic support.

そこで、この種の感光性シート体の貼り付けに使用される貼り付け装置では、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させて搬送するとともに、前記感光性シート体から保護フイルムを剥離した後、前記基板に感光性樹脂層を貼り付ける方式が採用されている。   Therefore, in a pasting apparatus used for pasting this type of photosensitive sheet body, usually a substrate such as a glass substrate or a resin substrate is transported while being spaced apart by a predetermined interval, and is also protected from the photosensitive sheet body. A method is adopted in which after the film is peeled off, a photosensitive resin layer is attached to the substrate.

上記の貼り付け装置では、例えば、特許文献１に開示されているように、ガラス基板が熱圧着部に搬送されるとともに、この熱圧着部は、熱圧着ローラ対とバックアップローラとを備えている。熱圧着ローラ対は、上下に配置された第１及び第２熱圧着ローラを設けており、前記第１及び第２熱圧着ローラには、ヒータが内蔵されている。そして、熱圧着ローラ対は、ガラス基板と積層体フイルムとを挟持して搬送することにより、前記ガラス基板に前記積層体フイルムの感光層を熱圧着するように構成されている。   In the above-described pasting device, for example, as disclosed in Patent Document 1, the glass substrate is conveyed to the thermocompression bonding portion, and the thermocompression bonding portion includes a thermocompression roller pair and a backup roller. . The thermocompression roller pair is provided with first and second thermocompression rollers arranged vertically, and a heater is built in the first and second thermocompression rollers. The thermocompression roller pair is configured to thermocompression-bond the photosensitive layer of the laminate film to the glass substrate by sandwiching and conveying the glass substrate and the laminate film.

特開２００２−１４８７９４号公報（図３）JP 2002-148794 A (FIG. 3)

ところで、従来、熱圧着部では、積層体フイルム及びガラス基板を停止させることなく搬送しながら、熱圧着ローラ対により間欠的にクランプを繰り返す方式が採用されている。しかしながら、この方式では、積層体フイルムの貼り付け先端及び後端が弓形の円弧状に変形し易く、貼り付け境界が直線状にならないおそれがある。この結果、貼り付け位置精度が低下するという問題がある。   By the way, conventionally, the thermocompression bonding section employs a method in which clamping is intermittently repeated by a thermocompression roller pair while conveying the laminated film and the glass substrate without stopping. However, in this method, the application front and rear ends of the laminated film are easily deformed into an arcuate arc shape, and the application boundary may not be linear. As a result, there is a problem that the pasting position accuracy is lowered.

特に、ガラス基板の大型化に伴う広幅化が促進されると、円弧状の変形量が数ｍｍ程度に顕著になり、貼り付け位置精度が大幅に低下するという問題が指摘されている。これは、ラミネートローラ（熱圧着ローラ対）の自重による撓みやクラウン形状に起因して積層体フイルムの中央部から先にクランプが開始されるためである。   In particular, when the widening accompanying the increase in the size of the glass substrate is promoted, a problem has been pointed out that the amount of arc-shaped deformation becomes noticeable to about several millimeters, and the attaching position accuracy is greatly reduced. This is because clamping is started first from the center of the laminate film due to the bending due to the weight of the laminating roller (thermocompression roller pair) and the crown shape.

そこで、例えば、熱圧着ローラ対を離間させておき、積層体フイルム及びガラス基板を前記熱圧着ローラ対間の所定の位置に位置決め停止した後、前記熱圧着ローラ対でこれらをクランプし、次いで、熱圧着ローラを回転させることにより、ガラス基板に積層体フイルムの感光層を貼り付ける方法がある。   Therefore, for example, the thermocompression roller pair is separated, and after the laminated film and the glass substrate are stopped at a predetermined position between the thermocompression roller pair, these are clamped by the thermocompression roller pair, There is a method of attaching a photosensitive layer of a laminate film to a glass substrate by rotating a thermocompression roller.

しかしながら、図１１に示すように、停止されているガラス基板１と積層体フイルム２とを熱圧着ローラ３ａ、３ｂによりクランプする際、前記熱圧着ローラ３ａ、３ｂによるニップ領域４の外側に位置５と位置６との間で気泡が発生し易いという問題がある。この５は、例えば、略５０μｍ程度の大きさを有しており、熱圧着ローラ３ａ、３ｂの軸方向に多数発生し易く、ガラス基板１と積層体フイルム２との貼り付け品質が低下するという問題がある。   However, as shown in FIG. 11, when the stopped glass substrate 1 and the laminate film 2 are clamped by the thermocompression rollers 3a and 3b, the position 5 is located outside the nip region 4 by the thermocompression rollers 3a and 3b. There is a problem that bubbles are likely to be generated between the position 6 and the position 6. This 5 has a size of about 50 μm, for example, and is likely to occur in a large number in the axial direction of the thermocompression rollers 3a and 3b, so that the bonding quality between the glass substrate 1 and the laminate film 2 is deteriorated. There's a problem.

さらに、熱圧着ローラ３ａ、３ｂによりガラス基板１と積層体フイルム２とがクランプされた後、前記熱圧着ローラ３ａ、３ｂを所定のラミネート速度に急速に立ち上げようとすると、前記積層体フイルム２には、位置６に貼り付け品質に影響するスジが発生し易い。これにより、貼り付け品質の低下が惹起されるという問題がある。   Further, after the glass substrate 1 and the laminate film 2 are clamped by the thermocompression rollers 3a and 3b, when the thermocompression rollers 3a and 3b are rapidly raised to a predetermined laminating speed, the laminate film 2 is used. In this case, streaks that affect the pasting quality at the position 6 are likely to occur. As a result, there is a problem that a deterioration in the pasting quality is caused.

本発明はこの種の問題を解決するものであり、簡単な工程で、ラミネートローラによるクランプ時に気泡が発生することを確実に阻止することができ、貼り付け品質に影響するスジの発生がなく、高品質な積層体を効率的且つ経済的に得ることが可能なウエブの貼り付け方法を提供することを目的とする。   The present invention solves this type of problem, and it is possible to reliably prevent bubbles from being generated during clamping by the laminating roller in a simple process, and there is no generation of streaks affecting the attachment quality, It is an object of the present invention to provide a web attaching method capable of efficiently and economically obtaining a high-quality laminate.

本発明は、ウエブをラミネートローラの押圧回転作用下に基板に貼り付けるウエブの貼り付け方法である。そこで、先ず、ウエブの貼り付け部位を、貼り付け位置の上流近傍の所定位置に搬送して一旦停止させる。   The present invention is a method of attaching a web to which a web is attached to a substrate under the action of pressing and rotating a laminating roller. Therefore, first, the web application part is transported to a predetermined position near the upstream of the application position and temporarily stopped.

次いで、ウエブの搬送を開始し、前記ウエブを第１の速度で搬送させながら、ラミネートローラにより該ウエブが基板と一体にクランプされる。そして、ウエブ及び基板を第２の速度で搬送させながら、ラミネートローラの押圧回転により前記ウエブが前記基板に貼り付けられる。基板は、予め停止しており、ラミネートローラが回転（超低速）しながら前記基板をクランプする。   Next, the conveyance of the web is started, and the web is clamped integrally with the substrate by the laminating roller while the web is conveyed at the first speed. Then, while the web and the substrate are conveyed at the second speed, the web is attached to the substrate by the pressing rotation of the laminating roller. The substrate is stopped in advance, and the laminate roller is rotated (super low speed) to clamp the substrate.

また、第１の速度は、第２の速度よりも低速に設定されることが好ましい。さらに、第１の速度から第２の速度には、１２０ｍｍ／ｓ2 以下の加速度で移行することが好ましい。 The first speed is preferably set to be lower than the second speed. Furthermore, it is preferable to shift from the first speed to the second speed at an acceleration of 120 mm / s 2 or less.

さらにまた、第１の速度は、０．２ｍ／ｍｉｎ以上の速度に設定されることが好ましい。また、ウエブの搬送を開始してから第２の速度に至るまで、階段状又は連続的に速度を変化させることが好ましい。   Furthermore, the first speed is preferably set to a speed of 0.2 m / min or more. Further, it is preferable to change the speed stepwise or continuously from the start of the conveyance of the web to the second speed.

さらに、ラミネートローラは、４０度〜９０度のゴム硬度を有するゴムローラであることが好ましい。   Further, the laminating roller is preferably a rubber roller having a rubber hardness of 40 degrees to 90 degrees.

本発明では、ウエブが所定位置に位置決め停止された後、前記ウエブが第１の速度で搬送されながら、ラミネートローラを介して前記ウエブが基板と一体にクランプされている。このため、ラミネートローラによるクランプ時に、ウエブと基板との間に気泡が発生することを確実に阻止することができる。一方、第１の速度から第２の速度までの加速パターンを緩やかに設定することにより、貼り付け品質に影響するスジの発生がなく、高品質な積層体を効率的に得ることが可能になる。   In the present invention, after the web is stopped at a predetermined position, the web is clamped integrally with the substrate via the laminating roller while the web is conveyed at the first speed. For this reason, at the time of clamping with a laminating roller, it can prevent reliably that a bubble generate | occur | produces between a web and a board | substrate. On the other hand, by gradually setting the acceleration pattern from the first speed to the second speed, it is possible to efficiently obtain a high-quality laminate without generation of streaks affecting the attachment quality. .

図１は、本発明の第１の実施形態に係る積層体の貼り付け方法を実施するための製造装置２０の概略構成図である。この製造装置２０は、液晶又は有機ＥＬ用カラーフィルタ等の製作工程で、長尺状感光性ウエブ（長尺状ウエブ）２２の感光性樹脂層２９（後述する）をガラス基板２４に熱転写する作業を行う。   FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a manufacturing apparatus 20 for carrying out the method for attaching a laminate according to the first embodiment of the present invention. The manufacturing apparatus 20 is a process of thermally transferring a photosensitive resin layer 29 (described later) of a long photosensitive web (long web) 22 to a glass substrate 24 in a manufacturing process of a liquid crystal or an organic EL color filter or the like. I do.

図２は、製造装置２０に使用される感光性ウエブ２２の断面図である。この感光性ウエブ２２は、可撓性ベースフイルム（支持層）２６、クッション層（熱可塑性樹脂層）２７、中間層（酸素遮断膜）２８、感光性樹脂層２９及び保護フイルム３０を積層して構成される。なお、感光性ウエブ２２は、ベースフイルム２６、感光性樹脂層２９及び保護フイルム３０により構成されていてもよい。   FIG. 2 is a cross-sectional view of the photosensitive web 22 used in the manufacturing apparatus 20. This photosensitive web 22 is formed by laminating a flexible base film (support layer) 26, a cushion layer (thermoplastic resin layer) 27, an intermediate layer (oxygen barrier film) 28, a photosensitive resin layer 29, and a protective film 30. Composed. The photosensitive web 22 may be composed of a base film 26, a photosensitive resin layer 29, and a protective film 30.

ベースフイルム２６は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）で形成され、クッション層２７は、エチレンと酸化ビニル共重合体で形成され、中間層２８は、ポリビニルアルコールで形成され、感光性樹脂層２９は、アルカリ可溶性バインダとモノマーと光重合開始材と着色剤を含む着色感光性樹脂組成物で形成され、保護フイルム３０は、ポリエチレンあるいはポリプロピレン等で形成される。   The base film 26 is formed of polyethylene terephthalate (PET), the cushion layer 27 is formed of ethylene and vinyl oxide copolymer, the intermediate layer 28 is formed of polyvinyl alcohol, and the photosensitive resin layer 29 is alkali-soluble. The protective film 30 is formed of polyethylene, polypropylene, or the like, and is formed of a colored photosensitive resin composition containing a binder, a monomer, a photopolymerization initiator, and a colorant.

図１に示すように、製造装置２０は、感光性ウエブ２２をロール状に巻回した感光性ウエブロール２２ａを収容し、この感光性ウエブロール２２ａから前記感光性ウエブ２２を送り出すウエブ送り出し機構３２と、送り出された前記感光性ウエブ２２の保護フイルム３０に、幅方向に切断可能なハーフカット部位３４を形成するハーフカット機構３６と、一部に非接着部３８ａを有する接着ラベル３８（図３参照）を保護フイルム３０に接着させるラベル接着機構４０とを備える。なお、ハーフカット機構３６は、矢印Ａ方向に所定の間隔だけ離間して２セット配設され、同時に２個所のハーフカット部位３４を形成してもよい。   As shown in FIG. 1, the manufacturing apparatus 20 accommodates a photosensitive web roll 22a in which a photosensitive web 22 is wound in a roll shape, and a web feed mechanism 32 that feeds the photosensitive web 22 from the photosensitive web roll 22a. And a half-cut mechanism 36 for forming a half-cut portion 34 that can be cut in the width direction on the protective film 30 of the fed photosensitive web 22, and an adhesive label 38 having a non-adhesive portion 38a in part (FIG. 3). And a label adhering mechanism 40 for adhering the protective film 30 to the protective film 30. Note that two sets of the half-cut mechanism 36 may be disposed in the direction of the arrow A with a predetermined interval therebetween, and two half-cut portions 34 may be formed at the same time.

ラベル接着機構４０の下流には、感光性ウエブ２２をタクト送りから略連続送りに変更するためのリザーバ機構４２と、前記感光性ウエブ２２から保護フイルム３０を所定の長さ間隔で剥離させる剥離機構４４と、ガラス基板２４を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に搬送する加熱機構４５と、前記保護フイルム３０の剥離により露出した感光性樹脂層２９を前記ガラス基板２４に貼り付ける貼り付け機構４６とが配設される。なお、貼り付け機構４６によりガラス基板２４に感光性ウエブ２２が貼り付けられた積層体を、以下、貼り付け基板２４ａという。   Downstream of the label adhering mechanism 40, a reservoir mechanism 42 for changing the photosensitive web 22 from tact feeding to substantially continuous feeding, and a peeling mechanism for peeling the protective film 30 from the photosensitive web 22 at a predetermined length interval. 44, a heating mechanism 45 for transporting the glass substrate 24 to a pasting position in a state where the glass substrate 24 is heated to a predetermined temperature, and a pasting for pasting the photosensitive resin layer 29 exposed by the peeling of the protective film 30 to the glass substrate 24 A mechanism 46 is disposed. The laminated body in which the photosensitive web 22 is bonded to the glass substrate 24 by the bonding mechanism 46 is hereinafter referred to as a bonded substrate 24a.

貼り付け機構４６における貼り付け位置の上流近傍には、感光性ウエブ２２の境界位置であるハーフカット部位３４を直接検出する検出機構４７が配設されるとともに、前記貼り付け機構４６の下流には、各ガラス基板２４間の前記感光性ウエブ２２を切断する基板間ウエブ切断機構４８が配設される。この基板間ウエブ切断機構４８の上流には、運転開始時及び運転終了時に使用されるウエブ切断機構４８ａが設けられる。   A detection mechanism 47 that directly detects a half-cut portion 34 that is a boundary position of the photosensitive web 22 is disposed in the vicinity of the pasting position in the pasting mechanism 46, and downstream of the pasting mechanism 46. An inter-substrate web cutting mechanism 48 for cutting the photosensitive web 22 between the glass substrates 24 is disposed. Upstream of the inter-substrate web cutting mechanism 48, a web cutting mechanism 48a used at the start of operation and at the end of operation is provided.

ウエブ送り出し機構３２の下流近傍には、略使用済みの感光性ウエブ２２の後端と、新たに使用される感光性ウエブ２２の先端とを接合させる接合台４９が配設される。この接合台４９の下流には、感光性ウエブロール２２ａの巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端位置検出器５１が配設される。   In the vicinity of the downstream side of the web feed mechanism 32, a joining base 49 for joining the rear end of the photosensitive web 22 that has been substantially used and the tip of the photosensitive web 22 that is newly used is disposed. A film end position detector 51 is disposed downstream of the joining base 49 in order to control the deviation in the width direction due to the winding deviation of the photosensitive web roll 22a.

ハーフカット機構３６は、ウエブ送り出し機構３２に収容巻回されている感光性ウエブロール２２ａのロール径を算出するためのローラ対５０の下流に配置される。ハーフカット機構３６は、感光性ウエブ２２の搬送方向（矢印Ａ方向）に直交する方向に進退自在なスライド台５２を備える。このスライド台５２には、回転丸刃（カッタ）５４が固着されるとともに、前記回転丸刃５４に対向する位置には、感光性ウエブ２２を挟んでカット受台５６が配設される。   The half-cut mechanism 36 is disposed downstream of the roller pair 50 for calculating the roll diameter of the photosensitive web roll 22a accommodated and wound in the web feed mechanism 32. The half-cut mechanism 36 includes a slide base 52 that can be moved back and forth in a direction orthogonal to the conveyance direction (arrow A direction) of the photosensitive web 22. A rotating round blade (cutter) 54 is fixed to the slide base 52, and a cut receiving base 56 is disposed at a position facing the rotating round blade 54 with the photosensitive web 22 interposed therebetween.

図２に示すように、ハーフカット部位３４は、少なくとも保護フイルム３０を切断する必要があり、実際上、この保護フイルム３０を確実に切断するために感光性樹脂層２９乃至中間層２８まで切り込むように、回転丸刃５４の切り込み深さが設定される。ハーフカット部位３４は、回転丸刃５４に代替して、例えば、固定丸刃や超音波を用いたカット方式の他、ナイフ刃、後述する帯状押し切り刃（トムソン刃）等で形成する方式を採用してもよい。なお、押し切り刃は、垂直方向の押し切り構成の他、斜め方向の押し切り構成を含む。   As shown in FIG. 2, the half-cut portion 34 needs to cut at least the protective film 30, and in practice, the photosensitive resin layer 29 to the intermediate layer 28 are cut to securely cut the protective film 30. In addition, the cutting depth of the rotating round blade 54 is set. Instead of the rotating round blade 54, for example, the half-cut portion 34 employs a cutting method using a fixed round blade or ultrasonic waves, a knife blade, a band-shaped push cutting blade (Thomson blade) described later, and the like. May be. The push cutting blade includes an oblique push cutting structure in addition to a vertical push cutting structure.

ハーフカット部位３４は、ガラス基板２４の間隔を設定するものであり、例えば、両側の前記ガラス基板２４にそれぞれ１０ｍｍずつ入り込んだ位置に設定される。ガラス基板２４間のハーフカット部位３４で挟まれた部分は、後述する貼り付け機構４６において感光性樹脂層２９を前記ガラス基板２４に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。   The half-cut part 34 sets the space | interval of the glass substrate 24, for example, is set in the position which respectively entered 10 mm each to the said glass substrate 24 of both sides. A portion sandwiched between the half cut portions 34 between the glass substrates 24 functions as a mask when the photosensitive resin layer 29 is attached to the glass substrate 24 in a frame shape in an attaching mechanism 46 described later.

ラベル接着機構４０は、ガラス基板２４間に対応して保護フイルム３０の残存部分３０ｂを残すため、剥離側前方の剥離部分３０ａａと剥離側後方の剥離部分３０ａｂとを連結する接着ラベル３８を供給する。図２に示すように、保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを挟んで、先に剥離される部分を前方の剥離部分３０ａａとする一方、後に剥離される部分を後方の剥離部分３０ａｂとする。   The label bonding mechanism 40 supplies an adhesive label 38 that connects the peeling portion 30aa on the front side of the peeling side and the peeling portion 30ab on the back side of the peeling side in order to leave the remaining portion 30b of the protective film 30 correspondingly between the glass substrates 24. . As shown in FIG. 2, the protective film 30 has a remaining portion 30 b sandwiched between the first peeled portion 30 aa and the later peeled portion 30 ab.

図３に示すように、接着ラベル３８は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム３０と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル３８は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部（微粘着を含む）３８ａを有するとともに、この非接着部３８ａの両側、すなわち、前記接着ラベル３８の長手方向両端部に、前方の剥離部分３０ａａに接着される第１接着部３８ｂと、後方の剥離部分３０ａｂに接着される第２接着部３８ｃとを有する。   As shown in FIG. 3, the adhesive label 38 is formed in a strip shape, and is formed of, for example, the same resin material as the protective film 30. The adhesive label 38 has a non-adhesive portion (including a slight adhesion) 38a to which a pressure-sensitive adhesive is not applied at the center, and the front side of the non-adhesive portion 38a, that is, both ends in the longitudinal direction of the adhesive label 38 It has the 1st adhesion part 38b adhered to exfoliation part 30aa, and the 2nd adhesion part 38c adhered to back exfoliation part 30ab.

図１に示すように、ラベル接着機構４０は、例えば、最大５枚（ラベル間隔は最大２５０ｍｍ以下であり、第１の実施形態では、最大５枚に設定される）の接着ラベル３８を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド５８ａ〜５８ｅを備えるとともに、前記吸着パッド５８ａ〜５８ｅによる前記接着ラベル３８の貼り付け位置には、感光性ウエブ２２を下方から保持するための受台５９が昇降自在に配置される。   As shown in FIG. 1, the label adhering mechanism 40 has, for example, a maximum of five adhesive labels 38 (the label interval is a maximum of 250 mm or less, and is set to a maximum of 5 in the first embodiment) at a predetermined interval. Adhesive pads 58a to 58e that can be attached separately from each other are provided, and a pedestal 59 for holding the photosensitive web 22 from below is provided at the attachment position of the adhesive label 38 by the adsorption pads 58a to 58e. It is arranged to be movable up and down.

リザーバ機構４２は、上流側の感光性ウエブ２２のタクト搬送と、下流側の前記感光性ウエブ２２の連続搬送との速度差を吸収するが、さらにテンション変動を防ぐために、揺動自在な２連のローラ６０で構成されるダンサー６１を備えることが好ましい。なお、ローラ６０は、リザーブ量に応じて１連又は３連以上であってもよい。   The reservoir mechanism 42 absorbs the difference in speed between the tact conveyance of the upstream photosensitive web 22 and the continuous conveyance of the downstream photosensitive web 22, but in order to further prevent fluctuations in tension, the reservoir mechanism 42 is a oscillating duplex unit. It is preferable to provide a dancer 61 composed of the roller 60. Note that the roller 60 may be one or three or more depending on the reserve amount.

剥離機構４４は、リザーバ機構４２の下流に配置されるとともに、サクションドラム６２と、感光性ウエブ２２を挟んでこのサクションドラム６２に接する剥離ローラ６４とを備える。剥離ローラ６４を介して感光性ウエブ２２から鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを除いて保護フイルム巻き取り軸６６に巻き取られる。保護フイルム巻き取り軸６６は、保護フイルム３０に所定のテンションを付与するために、例えば、トルクモータ６８に連結される。   The peeling mechanism 44 is disposed downstream of the reservoir mechanism 42 and includes a suction drum 62 and a peeling roller 64 that contacts the suction drum 62 with the photosensitive web 22 interposed therebetween. The protective film 30 that is peeled off from the photosensitive web 22 at an acute peeling angle via the peeling roller 64 is wound around the protective film winding shaft 66 except for the remaining portion 30b. The protective film take-up shaft 66 is connected to, for example, a torque motor 68 in order to apply a predetermined tension to the protective film 30.

剥離機構４４の下流側には、感光性ウエブ２２にテンションを付与可能なテンション制御機構７６が配設される。テンション制御機構７６は、シリンダ７８を備え、このシリンダ７８の駆動作用下に、テンションピックアップローラ８０が揺動変位することにより、このテンションピックアップローラ８０が摺接する感光性ウエブ２２のテンションが調整可能である。なお、テンション制御機構７６は、必要に応じて使用すればよく、削除することもできる。   A tension control mechanism 76 that can apply tension to the photosensitive web 22 is disposed on the downstream side of the peeling mechanism 44. The tension control mechanism 76 includes a cylinder 78, and the tension of the photosensitive web 22 with which the tension pickup roller 80 is slidably contacted can be adjusted by oscillating and displacing the tension pickup roller 80 under the driving action of the cylinder 78. is there. The tension control mechanism 76 may be used as necessary, and can be deleted.

検出機構４７は、レーザセンサやフォトセンサ等の光電センサ８２を備えており、前記光電センサ８２は、ハーフカット部位３４の楔状の溝形状部や、保護フイルム３０の厚さによる段差、あるいは、これらの組み合わせによる変化を直接検出し、この検出信号を境界位置信号とする。光電センサ８２は、バックアップローラ８３に対向して配置される。なお、光電センサ８２に代えて、非接触変位計やＣＣＤカメラ等の画像検査手段等を用いてもよい。   The detection mechanism 47 includes a photoelectric sensor 82 such as a laser sensor or a photosensor. The photoelectric sensor 82 is a wedge-shaped groove-shaped portion of the half-cut portion 34, a step due to the thickness of the protective film 30, or these A change due to the combination is directly detected, and this detection signal is used as a boundary position signal. The photoelectric sensor 82 is disposed to face the backup roller 83. Instead of the photoelectric sensor 82, an image inspection means such as a non-contact displacement meter or a CCD camera may be used.

検出機構４７により検出されるハーフカット部位３４の位置データは、リアルタイムで統計処理及びグラフ化が可能であり、ばらつき異常や偏りの発生時に警報を出すことができる。   The position data of the half-cut region 34 detected by the detection mechanism 47 can be statistically processed and graphed in real time, and an alarm can be issued when a variation abnormality or bias occurs.

また、ハーフカット部位３４を直接検出するのではなく、このハーフカット部位３４に対応してハーフカット機構３６の近傍で孔部や切り欠きを形成したり、レーザ加工やアクアジェット加工による孔開けや切り込みを設けたり、インクジェットやプリンタ等によるマーキングを設けたりしてマーク部を形成し、このマーク部を検出して境界位置信号としてもよい。   Further, instead of directly detecting the half-cut portion 34, a hole or notch is formed in the vicinity of the half-cut mechanism 36 corresponding to the half-cut portion 34, or a hole is formed by laser processing or aqua jet processing. A mark portion may be formed by providing a notch or marking by an ink jet or a printer, and the mark portion may be detected and used as a boundary position signal.

加熱機構４５は、ガラス基板２４を矢印Ｃ方向に搬送するための搬送機構８４を備え、この搬送機構８４は、矢印Ｃ方向に配列される複数の樹脂製円板状搬送ローラ８６を有する。搬送機構８４の矢印Ｃ方向上流側には、ガラス基板２４を受け取る受け取り部８８が設けられる。受け取り部８８の下流側には、複数の加熱炉９０が配列される。   The heating mechanism 45 includes a transport mechanism 84 for transporting the glass substrate 24 in the arrow C direction, and the transport mechanism 84 includes a plurality of resin disk-shaped transport rollers 86 arranged in the arrow C direction. A receiving portion 88 that receives the glass substrate 24 is provided on the upstream side in the arrow C direction of the transport mechanism 84. A plurality of heating furnaces 90 are arranged on the downstream side of the receiving unit 88.

加熱機構４５では、ガラス基板２４の温度を常時監視し、異常時には、搬送ローラ８６の停止や警報を発生するとともに、異常情報を発信して異常なガラス基板２４を後工程でＮＧ排出、品質管理又は生産管理等に活用することができる。また、搬送機構８４では、図示しないエア浮上プレートが配設され、ガラス基板２４が浮上されて矢印Ｃ方向に搬送される構成を採用してもよい。   The heating mechanism 45 constantly monitors the temperature of the glass substrate 24. When an abnormality occurs, the conveyance roller 86 is stopped or alarmed, and abnormal information is transmitted to cause the abnormal glass substrate 24 to be NG discharged and quality control in a subsequent process. Or it can be used for production management. Further, the transport mechanism 84 may be configured such that an air levitation plate (not shown) is provided and the glass substrate 24 is floated and transported in the direction of arrow C.

加熱機構４５の上流には、複数のガラス基板２４が収容される基板ストッカー１００が設けられる。基板ストッカー１００には、投入及び取り出し口以外の３方の側面に、除塵用ファンユニット（又はダクトユニット）１０２が付設される。ファンユニット１０２は、基板ストッカー１００内に除電クリーンエアの吹き出しを行う。基板ストッカー１００に収容されている各ガラス基板２４は、ロボット１０４のハンド部１０４ａに設けられた吸着パッド１０６に吸着されて取り出され、受け取り部８８に搬入される。   A substrate stocker 100 that accommodates a plurality of glass substrates 24 is provided upstream of the heating mechanism 45. The substrate stocker 100 is provided with a dust removal fan unit (or duct unit) 102 on three side surfaces other than the loading and unloading ports. The fan unit 102 blows out the static elimination clean air into the substrate stocker 100. Each glass substrate 24 accommodated in the substrate stocker 100 is sucked and taken out by the suction pad 106 provided in the hand portion 104 a of the robot 104 and is carried into the receiving portion 88.

貼り付け機構４６は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるラミネート用ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂを備える。ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂには、バックアップローラ１１２ａ、１１２ｂが摺接するとともに、前記バックアップローラ１１２ｂは、ローラクランプ部１１４を介してゴムローラ１１０ｂ側に押圧される。   The affixing mechanism 46 is provided with rubber rollers 110a and 110b for laminating that are arranged vertically and heated to a predetermined temperature. The backup rollers 112a and 112b are slidably contacted with the rubber rollers 110a and 110b, and the backup roller 112b is pressed toward the rubber roller 110b via the roller clamp portion 114.

ゴムローラ１１０ａの近傍には、感光性ウエブ２２が前記ゴムローラ１１０ａに接触することを防止するための接触防止ローラ１１６が配設される。この接触防止ローラ１１６は、図示しないアクチュエータを介して移動可能である。   In the vicinity of the rubber roller 110a, a contact prevention roller 116 for preventing the photosensitive web 22 from contacting the rubber roller 110a is disposed. The contact prevention roller 116 is movable via an actuator (not shown).

貼り付け機構４６と基板間ウエブ切断機構４８との間には、フイルム搬送ローラ１１８ａと基板搬送ローラ１１８ｂとが配設される。ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂの接触位置と基板搬送ローラ１１８ｂとの距離は、ガラス基板２４の１枚分の長さ以下の寸法に設定される。   A film transport roller 118a and a substrate transport roller 118b are disposed between the attaching mechanism 46 and the inter-substrate web cutting mechanism 48. The distance between the contact positions of the rubber rollers 110 a and 110 b and the substrate transport roller 118 b is set to a dimension that is equal to or less than the length of one glass substrate 24.

基板間ウエブ切断機構４８の下流側には、冷却機構１２０が配置されるとともに、この冷却機構１２０の下流側には、ベース剥離機構１２２が配置される。冷却機構１２０は、基板間ウエブ切断機構４８を介して貼り付け基板２４ａ間の感光性ウエブ２２が切断された後、この貼り付け基板２４ａに冷風を供給して冷却処理を施す。具体的には、冷風温度が１０℃で、風量が１．０〜２．０ｍ／ｍｉｎに設定される。なお、冷却機構１２０を使用することがなく、後述する感光性積層体ストッカー１３６で自然冷却してもよい。   A cooling mechanism 120 is disposed on the downstream side of the inter-substrate web cutting mechanism 48, and a base peeling mechanism 122 is disposed on the downstream side of the cooling mechanism 120. After the photosensitive web 22 between the bonded substrates 24a is cut through the inter-substrate web cutting mechanism 48, the cooling mechanism 120 supplies cooling air to the bonded substrate 24a to perform a cooling process. Specifically, the cold air temperature is set to 10 ° C., and the air volume is set to 1.0 to 2.0 m / min. In addition, you may naturally cool with the photosensitive laminated body stocker 136 mentioned later, without using the cooling mechanism 120. FIG.

冷却機構１２０の下流に配置されるベース剥離機構１２２は、貼り付け基板２４ａを下方から吸着する複数の吸着パッド１２４を備え、この吸着パッド１２４に前記貼り付け基板２４ａが吸着保持された状態で、ロボットハンド１２６を介してベースフイルム２６及び残存部分３０ｂを剥離する。吸着パッド１２４の上流、下流及び両側方には、貼り付け基板２４ａのラミネート部分全体に４方向の側面から除電クリーンエアを噴射する除電ブロー（図示せず）が配設されている。なお、剥離は、除塵のためテーブルを垂直にして、あるいは傾斜させて、又は裏返にして行ってもよい。   The base peeling mechanism 122 disposed downstream of the cooling mechanism 120 includes a plurality of suction pads 124 that suck the attached substrate 24a from below, and the attached substrate 24a is sucked and held on the suction pads 124. The base film 26 and the remaining portion 30b are peeled off via the robot hand 126. On the upstream, downstream, and both sides of the suction pad 124, a static elimination blow (not shown) that injects static elimination clean air from the side surfaces in four directions is disposed on the entire laminate portion of the bonding substrate 24a. Note that the peeling may be performed with the table vertical, tilted, or turned upside down for dust removal.

ベース剥離機構１２２の下流には、複数の積層体基板１３０が収容される感光性積層体ストッカー１３６が設けられる。ベース剥離機構１２２で貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６及び残存部分３０ｂが剥離された積層体基板１３０は、ロボット１３２のハンド部１３２ａに設けられた吸着パッド１３４に吸着されて取り出され、感光性積層体ストッカー１３６に収容される。   A photosensitive laminate stocker 136 that accommodates a plurality of laminate substrates 130 is provided downstream of the base peeling mechanism 122. The laminated substrate 130 from which the base film 26 and the remaining portion 30b are peeled off from the attached substrate 24a by the base peeling mechanism 122 is sucked and taken out by the suction pad 134 provided on the hand portion 132a of the robot 132, and is subjected to the photosensitive lamination. Housed in body stocker 136.

感光性積層体ストッカー１３６には、投入及び取り出し口以外の３方の側面に、除塵用ファンユニット（又はダクトユニット）１０２が付設される。ファンユニット１０２は、感光性積層体ストッカー１３６内に除電クリーンエアの吹き出しを行う。   The photosensitive laminate stocker 136 is provided with a dust removal fan unit (or duct unit) 102 on three side surfaces other than the inlet and outlet ports. The fan unit 102 blows out neutralizing clean air into the photosensitive laminate stocker 136.

製造装置２０では、ウエブ送り出し機構３２、ハーフカット機構３６、ラベル接着機構４０、リザーバ機構４２、剥離機構４４、テンション制御機構７６及び検出機構４７が、貼り付け機構４６の上方に配置されているが、これとは逆に、前記ウエブ送り出し機構３２から前記検出機構４７を前記貼り付け機構４６の下方に配置し、感光性ウエブ２２の上下が逆になって感光性樹脂層２９がガラス基板２４の下側に貼り付けされてもよく、また、前記製造装置２０全体を直線上に構成してもよい。   In the manufacturing apparatus 20, the web feed mechanism 32, the half cut mechanism 36, the label adhesion mechanism 40, the reservoir mechanism 42, the peeling mechanism 44, the tension control mechanism 76, and the detection mechanism 47 are arranged above the pasting mechanism 46. On the contrary, the detection mechanism 47 from the web delivery mechanism 32 is disposed below the attaching mechanism 46 so that the photosensitive web 22 is turned upside down so that the photosensitive resin layer 29 is attached to the glass substrate 24. You may affix on the lower side, and you may comprise the said manufacturing apparatus 20 whole on a straight line.

製造装置２０は、ラミネート工程制御部１４０を介して全体制御されており、この製造装置２０の各機能部毎に、例えば、ラミネート制御部１４２、基板加熱制御部１４４及びベース剥離制御部１４６等が設けられ、これらが工程内ネットワークにより繋がっている。   The manufacturing apparatus 20 is entirely controlled via a laminating process control unit 140. For each functional unit of the manufacturing apparatus 20, for example, a laminating control unit 142, a substrate heating control unit 144, a base peeling control unit 146, and the like are provided. Provided, and these are connected by an in-process network.

ラミネート工程制御部１４０は、工場ネットワークに繋がっており、図示しない工場ＣＰＵからの指示情報（条件設定や生産情報）の生産管理や稼動管理等、生産のための情報処理を行う。   The laminating process control unit 140 is connected to a factory network, and performs information processing for production such as production management and operation management of instruction information (condition setting and production information) from a factory CPU (not shown).

ラミネート制御部１４２は、工程全体のマスターとして各機能部の制御を行うものであり、検出機構４７により検出された感光性ウエブ２２のハーフカット部位３４の位置情報に基づいて、例えば、加熱機構４５を制御する制御機構を構成している。   The laminating control unit 142 controls each functional unit as a master of the entire process. For example, based on the position information of the half-cut portion 34 of the photosensitive web 22 detected by the detection mechanism 47, for example, the heating mechanism 45. The control mechanism which controls is comprised.

ベース剥離制御部１４６は、貼り付け機構４６から供給される貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６を剥離し、さらに下流工程に積層体基板１３０を排出する動作の制御を行うとともに、前記貼り付け基板２４ａ及び前記積層体基板１３０の情報をハンドリング制御する。   The base peeling control unit 146 controls the operation of peeling the base film 26 from the sticking substrate 24a supplied from the sticking mechanism 46, and discharging the laminate substrate 130 to the downstream process, and the sticking substrate 24a. In addition, the information of the laminate substrate 130 is controlled to be handled.

製造装置２０内は、仕切り壁１５０を介して第１クリーンルーム１５２ａと第２クリーンルーム１５２ｂとに仕切られる。第１クリーンルーム１５２ａには、ウエブ送り出し機構３２からテンション制御機構７６までが収容されるとともに、第２クリーンルーム１５２ｂには、検出機構４７以降が収容される。第１クリーンルーム１５２ａと第２クリーンルーム１５２ｂとは、貫通部１５４を介して連通する。   The inside of the manufacturing apparatus 20 is partitioned into a first clean room 152a and a second clean room 152b through a partition wall 150. The first clean room 152a accommodates the web feed mechanism 32 to the tension control mechanism 76, and the second clean room 152b accommodates the detection mechanism 47 and the subsequent elements. The first clean room 152a and the second clean room 152b communicate with each other through the penetrating portion 154.

このように構成される製造装置２０の動作について、第１の実施形態に係る貼り付け方法との関連で以下に説明する。   The operation of the manufacturing apparatus 20 configured as described above will be described below in relation to the attaching method according to the first embodiment.

先ず、図１に示すように、ウエブ送り出し機構３２に取り付けられている感光性ウエブロール２２ａから感光性ウエブ２２が繰り出され、この感光性ウエブ２２は、ハーフカット機構３６に送られる。   First, as shown in FIG. 1, the photosensitive web 22 is fed out from a photosensitive web roll 22 a attached to the web feed mechanism 32, and the photosensitive web 22 is sent to a half-cut mechanism 36.

ハーフカット機構３６では、スライド台５２が感光性ウエブ２２の幅方向（搬送方向に直交する方向）に移動する。このため、回転丸刃５４は、感光性ウエブ２２のハーフカット部位３４に所望の深さまで切り込んだ状態で、移動しながら回転する。これにより、感光性ウエブ２２には、保護フイルム３０から所望の深さに切り込んだハーフカット部位３４が形成される（図２参照）。   In the half-cut mechanism 36, the slide base 52 moves in the width direction of the photosensitive web 22 (direction orthogonal to the transport direction). For this reason, the rotating round blade 54 rotates while moving in a state where it is cut into the half cut portion 34 of the photosensitive web 22 to a desired depth. As a result, a half-cut portion 34 cut from the protective film 30 to a desired depth is formed in the photosensitive web 22 (see FIG. 2).

ハーフカット処理された感光性ウエブ２２は、図１に示すように、保護フイルム３０の残存部分３０ｂの寸法に対応して矢印Ａ方向に搬送された後、一旦停止されて回転丸刃５４の走行作用下に次なるハーフカット部位３４が形成される。このため、感光性ウエブ２２には、残存部分３０ｂを挟んで前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとが設けられる（図２参照）。   As shown in FIG. 1, the half-cut photosensitive web 22 is conveyed in the direction of arrow A corresponding to the dimension of the remaining portion 30 b of the protective film 30, and then temporarily stopped to run the rotating round blade 54. The next half-cut portion 34 is formed under the action. For this reason, the photosensitive web 22 is provided with a front peeling portion 30aa and a rear peeling portion 30ab across the remaining portion 30b (see FIG. 2).

さらに、感光性ウエブ２２は、ラベル接着機構４０に搬送されて、保護フイルム３０の所定の貼り付け部位が受台５９上に配置される。ラベル接着機構４０では、所定枚数の接着ラベル３８が吸着パッド５８ａ〜５８ｅにより吸着保持され、各接着ラベル３８が保護フイルム３０の残存部分３０ｂを跨いで、前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとに一体的に接着される（図３参照）。   Further, the photosensitive web 22 is conveyed to the label adhering mechanism 40, and a predetermined application portion of the protective film 30 is disposed on the receiving table 59. In the label adhering mechanism 40, a predetermined number of adhering labels 38 are adsorbed and held by the adsorbing pads 58a to 58e, and each adhering label 38 straddles the remaining portion 30b of the protective film 30, and the front peeling portion 30aa and the rear peeling portion 30ab. Are integrally bonded to each other (see FIG. 3).

例えば、５本の接着ラベル３８が接着された感光性ウエブ２２は、図１に示すように、リザーバ機構４２を介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、剥離機構４４に連続的に搬送される。   For example, as shown in FIG. 1, the photosensitive web 22 to which five adhesive labels 38 are bonded is continuously conveyed to the peeling mechanism 44 after the tension on the sending side is prevented via the reservoir mechanism 42. The

剥離機構４４では、感光性ウエブ２２がサクションドラム６２と剥離ローラ６４とに挟持されて、前記感光性ウエブ２２のベースフイルム２６が前記サクションドラム６２に吸着保持されている。この状態で、サクションドラム６２が回転されるとともに、保護フイルム３０には、トルクモータ６８を介して所定のテンションが付与されている。   In the peeling mechanism 44, the photosensitive web 22 is sandwiched between the suction drum 62 and the peeling roller 64, and the base film 26 of the photosensitive web 22 is sucked and held by the suction drum 62. In this state, the suction drum 62 is rotated, and a predetermined tension is applied to the protective film 30 via the torque motor 68.

従って、保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを残して感光性ウエブ２２から剥離され、剥離ローラ６４を介して保護フイルム巻き取り軸６６に巻き取られる。なお、剥離部位には、除電エアを吹き付けることが好ましい。   Therefore, the protective film 30 is peeled off from the photosensitive web 22 leaving the remaining portion 30 b, and taken up on the protective film take-up shaft 66 via the peeling roller 64. In addition, it is preferable to spray static elimination air on a peeling site | part.

剥離機構４４の作用下に、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残してベースフイルム２６から剥離された後、感光性ウエブ２２は、テンション制御機構７６によってテンション調整が行われ、さらに検出機構４７で光電センサ８２によりハーフカット部位３４の検出が行われる。   Under the action of the peeling mechanism 44, after the protective film 30 is peeled off from the base film 26 leaving the remaining portion 30b, the photosensitive web 22 is tension-adjusted by a tension control mechanism 76, and further the detection mechanism 47 performs photoelectric conversion. The sensor 82 detects the half-cut region 34.

この場合、第１の実施形態では、図４に示すタイミングチャートに沿ってラミネート処理が行われる。   In this case, in the first embodiment, the laminating process is performed according to the timing chart shown in FIG.

すなわち、感光性ウエブ２２は、ハーフカット部位３４の検出情報に基づいて、運転開始時にはフイルム搬送ローラ１１８ａの回転作用下に、その後は貼り付け基板２４ａを挟持する基板搬送ローラ１１８ｂの回転作用下に、貼り付け機構４６に定量搬送される。このため、感光性ウエブ２２のハーフカット部位３４は、貼り付け位置上流近傍の所定位置に位置決め停止される。その際、接触防止ローラ１１６が上方に待機するとともに、ゴムローラ１１０ｂが下方に配置されている。   In other words, the photosensitive web 22 is under the rotational action of the film transport roller 118a at the start of operation, and thereafter under the rotational action of the substrate transport roller 118b that sandwiches the bonded substrate 24a, based on the detection information of the half-cut portion 34. The fixed amount is conveyed to the pasting mechanism 46. For this reason, the half-cut portion 34 of the photosensitive web 22 is stopped at a predetermined position near the attachment position upstream. At that time, the contact prevention roller 116 waits upward, and the rubber roller 110b is disposed below.

一方、加熱機構４５では、貼り付け機構４６におけるラミネート温度に対応して各加熱炉９０内の加熱温度が設定されている。そこで、ロボット１０４は、基板ストッカー１００に収容されているガラス基板２４を把持し、このガラス基板２４を受け取り部８８に搬入する。ガラス基板２４は、搬送機構８４を構成する搬送ローラ８６の回転作用下に、受け取り部８８から各加熱炉９０に、順次、タクト搬送される。矢印Ｃ方向後段に配置されている加熱炉９０では、ガラス基板２４は、貼り付け位置上流近傍の所定位置に一旦停止された後、ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂ間に対応して搬送され、停止される（図５参照）。   On the other hand, in the heating mechanism 45, the heating temperature in each heating furnace 90 is set corresponding to the laminating temperature in the attaching mechanism 46. Therefore, the robot 104 holds the glass substrate 24 accommodated in the substrate stocker 100 and carries the glass substrate 24 into the receiving unit 88. The glass substrate 24 is tact-conveyed sequentially from the receiving unit 88 to each heating furnace 90 under the rotating action of the conveyance roller 86 constituting the conveyance mechanism 84. In the heating furnace 90 arranged in the rear stage in the direction of arrow C, the glass substrate 24 is temporarily stopped at a predetermined position in the vicinity of the pasting position upstream, and then conveyed and stopped correspondingly between the rubber rollers 110a and 110b ( (See FIG. 5).

この状態で、ゴムローラ１１０ａが回転駆動されて感光性ウエブ２２の搬送が開始される（図４中、時間Ｔ１）。そして、感光性ウエブ２２の搬送速度が、第１の速度Ｖ１に至ると（時間Ｔ２）、ローラクランプ部１１４を介してバックアップローラ１１２ｂ及びゴムローラ１１０ｂが上昇を開始する。これにより、時間Ｔ３で、ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂ間に搬送中の感光性ウエブ２２及び停止中のガラス基板２４が所定のプレス圧力で挟み込まれる。   In this state, the rubber roller 110a is rotationally driven and the conveyance of the photosensitive web 22 is started (time T1 in FIG. 4). When the conveying speed of the photosensitive web 22 reaches the first speed V1 (time T2), the backup roller 112b and the rubber roller 110b start to rise via the roller clamp part 114. Thereby, at time T3, the photosensitive web 22 being conveyed and the glass substrate 24 being stopped are sandwiched between the rubber rollers 110a and 110b with a predetermined pressing pressure.

さらに、時間Ｔ４〜時間Ｔ５において、ゴムローラ１１０ａの回転作用下に、感光性ウエブ２２は、第１の速度Ｖ１から第２の速度Ｖ２に加速されるとともに、ガラス基板２４は、前記感光性ウエブ２２と一体に搬送される。この第２の速度Ｖ２による搬送時に、ガラス基板２４には、感光性樹脂層２９が加熱溶融により転写（ラミネート）される。   Further, from time T4 to time T5, the photosensitive web 22 is accelerated from the first speed V1 to the second speed V2 under the rotating action of the rubber roller 110a, and the glass substrate 24 is moved to the photosensitive web 22. And transported together. During conveyance at the second speed V2, the photosensitive resin layer 29 is transferred (laminated) to the glass substrate 24 by heating and melting.

ここで、ラミネート条件としては、第２の速度Ｖ２が１．０ｍ／ｍｉｎ〜１０．０ｍ／ｍｉｎ、ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂの温度が８０℃〜１４０℃、前記ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂのゴム硬度が４０度〜９０度、該ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂのプレス圧（線圧）が５０Ｎ／ｃｍ〜４００Ｎ／ｃｍである。   Here, as lamination conditions, the second speed V2 is 1.0 m / min to 10.0 m / min, the temperatures of the rubber rollers 110a and 110b are 80 ° C. to 140 ° C., and the rubber hardness of the rubber rollers 110a and 110b is 40 degrees. The press pressure (linear pressure) of the rubber rollers 110a and 110b is 50 N / cm to 400 N / cm.

図６に示すように、ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂを介してガラス基板２４に感光性ウエブ２２の１枚分のラミネートが終了すると、前記ゴムローラ１１０ａの回転が停止される。一方、ガラス基板２４に感光性ウエブ２２がラミネートされた貼り付け基板２４ａは、基板搬送ローラ１１８ｂによりクランプされる。そして、ゴムローラ１１０ｂは、ゴムローラ１１０ａから離間する方向に退避してクランプが解除される。   As shown in FIG. 6, when the lamination of one photosensitive web 22 on the glass substrate 24 is completed via the rubber rollers 110a and 110b, the rotation of the rubber roller 110a is stopped. On the other hand, the bonded substrate 24a in which the photosensitive web 22 is laminated on the glass substrate 24 is clamped by the substrate transport roller 118b. Then, the rubber roller 110b is retracted in a direction away from the rubber roller 110a, and the clamp is released.

基板搬送ローラ１１８ｂは、貼り付け基板２４ａを矢印Ｃ方向に搬送してガラス基板２４間の間隔に対応して基板間送りを行う。その際、新たなガラス基板２４は、ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂのローラ中心に対応して搬送される。さらに、ゴムローラ１１０ａの回転作用下に、感光性ウエブ２２が搬送を開始し、第１の速度Ｖ１で移動している前記感光性ウエブ２２がガラス基板２４にクランプされた後、上記と同様にラミネート処理される。   The substrate transport roller 118b transports the bonded substrate 24a in the direction of arrow C and performs inter-substrate feeding corresponding to the distance between the glass substrates 24. At that time, the new glass substrate 24 is conveyed corresponding to the roller centers of the rubber rollers 110a and 110b. Further, under the rotating action of the rubber roller 110a, the photosensitive web 22 starts to be conveyed, and after the photosensitive web 22 moving at the first speed V1 is clamped to the glass substrate 24, the lamination is performed as described above. It is processed.

この場合、第１の実施形態では、感光性ウエブ２２のハーフカット部位３４が、貼り付け位置上流の近傍の所定の位置に一旦停止されるとともに、ガラス基板２４がゴムローラ１１０ａ、１１０ｂ間に搬送された後、前記感光性ウエブ２２の搬送が開始されている。そして、感光性ウエブ２２が第１の速度Ｖ１で移動中に、ゴムローラ１１０ｂが上昇してゴムローラ１１０ａ、１１０ｂ間で前記感光性ウエブ２２とガラス基板２４とがクランプされている。   In this case, in the first embodiment, the half-cut portion 34 of the photosensitive web 22 is temporarily stopped at a predetermined position in the vicinity of the pasting position, and the glass substrate 24 is conveyed between the rubber rollers 110a and 110b. After that, the conveyance of the photosensitive web 22 is started. While the photosensitive web 22 is moving at the first speed V1, the rubber roller 110b is raised and the photosensitive web 22 and the glass substrate 24 are clamped between the rubber rollers 110a and 110b.

このように、ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂでガラス基板２４と感光性ウエブ２２とをクランプする際、前記感光性ウエブ２２が移動しているため、クランプ時に前記感光性ウエブ２２と前記ガラス基板２４との間に気泡が発生することを確実に阻止することができる。これにより、高品質な貼り付け基板２４ａを効率的に得ることが可能になるという効果が得られる。   As described above, when the glass substrate 24 and the photosensitive web 22 are clamped by the rubber rollers 110a and 110b, the photosensitive web 22 is moved, so that the gap between the photosensitive web 22 and the glass substrate 24 is clamped. It is possible to reliably prevent bubbles from being generated. Thereby, the effect that it becomes possible to obtain the high quality bonded substrate 24a efficiently is acquired.

具体的に、第１の実施形態では、ガラス基板２４は、幅寸法が９６０ｍｍ、長さが１１００ｍｍ、厚さが０．７ｍｍに設定される一方、ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂの温度が１１０℃で、前記ガラス基板２４の温度が１２０℃に設定されている。さらに、ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂのプレス圧が１５０Ｎ／ｃｍであり、前記ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂのゴム厚が２ｍｍ、ゴム硬度が７０度、面長が１２００ｍｍ、直径が１１０ｍｍに設定されるとともに、バックアップローラ１１２ａ、１１２ｂの直径が２２０ｍｍである。   Specifically, in the first embodiment, the glass substrate 24 is set to have a width dimension of 960 mm, a length of 1100 mm, and a thickness of 0.7 mm, while the temperature of the rubber rollers 110a and 110b is 110 ° C. The temperature of the glass substrate 24 is set to 120 ° C. Further, the pressing pressure of the rubber rollers 110a and 110b is 150 N / cm, the rubber thickness of the rubber rollers 110a and 110b is set to 2 mm, the rubber hardness is set to 70 degrees, the surface length is set to 1200 mm, the diameter is set to 110 mm, and the backup roller 112a. 112b has a diameter of 220 mm.

さらにまた、感光性ウエブ２２のテンションが１２０Ｎ／ｍ幅で、厚さが１０５μｍに設定されている。そして、ラミネート速度である第２の速度Ｖ２は、２．２ｍ／ｍｉｎである。   Furthermore, the tension of the photosensitive web 22 is set to 120 N / m width and the thickness to 105 μm. And the 2nd speed V2 which is a lamination speed is 2.2 m / min.

ここで、ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂによりクランプを行う際、感光性ウエブ２２の第１の速度Ｖ１を０〜２．２ｍ／ｍｉｎまで変化させて気泡が発生するか否かを検出する実験を行った。その結果が図７に示されている。これにより、感光性ウエブ２２の第１の速度Ｖ１が０．２ｍ／ｍｉｎ未満では、クランプ時に気泡が発生して品質低下が惹起されるのに対し、前記第１の速度Ｖ１が０．２ｍ／ｍｉｎ以上であると、クランプ時の気泡の発生が確実に阻止された。   Here, when clamping by the rubber rollers 110a and 110b, an experiment was performed to detect whether or not bubbles are generated by changing the first speed V1 of the photosensitive web 22 from 0 to 2.2 m / min. The result is shown in FIG. Thereby, when the first speed V1 of the photosensitive web 22 is less than 0.2 m / min, bubbles are generated at the time of clamping and the quality is deteriorated. On the other hand, the first speed V1 is 0.2 m / min. If it is at least min, the generation of bubbles during clamping was reliably prevented.

さらに、第１の速度Ｖ１から第２の速度Ｖ２に至るまでの加速度を種々変更させ、感光性ウエブ２２に貼り付け品質に影響するスジが発生するか否かの実験を行った。その結果が図８に示されている。これにより、加速度が１２０ｍｍ／Ｓ2を超えると、感光性ウエブ２２に貼り付け品質に影響するスジが発生してしまい、品質低下が惹起された。従って、第１の速度Ｖ１から第２の速度Ｖ２には、１２０ｍｍ／Ｓ2以下の加速度で移行することが好ましい。 Further, various accelerations from the first speed V1 to the second speed V2 were changed, and an experiment was conducted to determine whether streaks that affect the pasting quality on the photosensitive web 22 occur. The result is shown in FIG. Thus, when the acceleration exceeds 120 mm / S 2, streak affecting the pasting quality photosensitive web 22 will occur, degradation is caused. Therefore, it is preferable to shift from the first speed V1 to the second speed V2 at an acceleration of 120 mm / S 2 or less.

これにより、第１の実施形態では、ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂによりラミネート処理されて得られた貼り付け基板２４ａには、気泡や貼り付け品質に影響するスジ等の不良箇所が発生することがなく、高品質な貼り付け基板２４ａを効率的且つ経済的に得ることができる。   As a result, in the first embodiment, the bonded substrate 24a obtained by laminating with the rubber rollers 110a and 110b is free from defects such as air bubbles and streaks that affect the bonding quality. A quality bonded substrate 24a can be obtained efficiently and economically.

図９は、本発明の第２の実施形態に係る積層体の貼り付け方法を説明するタイミングチャートである。   FIG. 9 is a timing chart for explaining a method of attaching a laminate according to the second embodiment of the present invention.

第１の実施形態では、感光性ウエブ２２の搬送を開始してから第１の速度Ｖ１で一旦所定の時間だけ維持した後、第２の速度Ｖ２に加速しており、速度が階段状に変化している。一方、この第２の実施形態では、感光性ウエブ２２の搬送を開始してから第２の速度Ｖ２に至るまで、前記感光性ウエブ２２の搬送速度を連続的に変化させている。   In the first embodiment, after the conveyance of the photosensitive web 22 is started, the first speed V1 is temporarily maintained for a predetermined time, and then accelerated to the second speed V2, and the speed changes stepwise. is doing. On the other hand, in the second embodiment, the conveyance speed of the photosensitive web 22 is continuously changed from the conveyance of the photosensitive web 22 to the second speed V2.

これにより、第２の実施形態では、感光性ウエブ２２の搬送速度（ウエブ速度）が連続的に変化し、この搬送速度が第１の速度Ｖ１に至る際、ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂにより前記感光性ウエブ２２とガラス基板２４とがクランプされている。従って、気泡や貼り付け品質に影響するスジ等の不良箇所のない、高品質な貼り付け基板２４ａを効率的に得ることができる等、第１の実施形態と同様の効果が得られる。   As a result, in the second embodiment, the conveyance speed (web speed) of the photosensitive web 22 continuously changes. When the conveyance speed reaches the first speed V1, the photosensitive web 22 is moved by the rubber rollers 110a and 110b. 22 and the glass substrate 24 are clamped. Therefore, the same effects as those of the first embodiment can be obtained, for example, it is possible to efficiently obtain a high-quality bonded substrate 24a free from defects such as bubbles and streaks that affect the bonding quality.

なお、第２の実施形態では、ウエブ速度が０から第２の速度Ｖ２まで直線状に、すなわち、同一の加速度で変化しているが、例えば、第１の速度Ｖ１に至った後、この第１の速度Ｖ１から第２速度Ｖ２までの加速度を変化させてもよい（図９中、二点鎖線参照）。   In the second embodiment, the web speed changes linearly from 0 to the second speed V2, that is, with the same acceleration. For example, after reaching the first speed V1, the web speed changes. The acceleration from the first speed V1 to the second speed V2 may be changed (see a two-dot chain line in FIG. 9).

また、第１及び第２の実施形態では、図１に示す製造装置２０を用いており、この製造装置２０では、一組の基板搬送ローラ１１８ｂが用いられているが、これに限定されるものではなく、例えば、２組の基板搬送ローラ１１８ｂを所定間隔離間して配設してもよい。   In the first and second embodiments, the manufacturing apparatus 20 shown in FIG. 1 is used. In this manufacturing apparatus 20, a set of substrate transport rollers 118b is used, but the present invention is not limited to this. Instead, for example, the two sets of substrate transport rollers 118b may be arranged at a predetermined interval.

図１０は、本発明に係る積層体の貼り付け方法を実施するための他の製造装置１６０の概略構成図である。なお、製造装置２０と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。   FIG. 10 is a schematic configuration diagram of another manufacturing apparatus 160 for carrying out the method for attaching a laminate according to the present invention. The same components as those of the manufacturing apparatus 20 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

製造装置１６０は、基板間ウエブ切断機構４８を用いておらず、ウエブ切断機構４８ａの下流に、冷却機構１２０とベース自動剥離機構１６２とが設けられる。ベース自動剥離機構１６２は、各ガラス基板２４が所定間隔ずつ離間して貼り付けられている長尺なベースフイルム２６を連続して剥離するものであり、比較的小径な剥離ローラ１６６と、巻き取り軸１６８と、自動貼り付け機１７０とを備えている。   The manufacturing apparatus 160 does not use the inter-substrate web cutting mechanism 48, and the cooling mechanism 120 and the base automatic peeling mechanism 162 are provided downstream of the web cutting mechanism 48a. The automatic base peeling mechanism 162 continuously peels the long base film 26 to which the glass substrates 24 are attached with a predetermined interval apart, and has a relatively small diameter peeling roller 166 and a winding roller. A shaft 168 and an automatic pasting machine 170 are provided.

巻き取り軸１６８は、駆動時にトルク制御してベースフイルム２６に張力を付与する一方、例えば、剥離ローラ１６６に張力検出器（図示せず）を設けることにより、張力のフィードバック制御を行うことが好ましい。   The take-up shaft 168 preferably applies torque control during driving to apply tension to the base film 26, while providing a tension detector (not shown) on the peeling roller 166, for example, to perform tension feedback control. .

ベース自動剥離機構１６２の下流には、ガラス基板２４に実際に貼り付けられた感光性樹脂層２９のエリア位置を測定する測定器１７２が配設される。この測定器１７２は、例えば、ＣＣＤ等のカメラ１７４を備え、貼り付け基板２４ａの四隅を撮影するために、４台の前記カメラ１７４が配設される。   A measuring instrument 172 for measuring the area position of the photosensitive resin layer 29 actually attached to the glass substrate 24 is disposed downstream of the automatic base peeling mechanism 162. The measuring instrument 172 includes a camera 174 such as a CCD, for example, and four cameras 174 are disposed to photograph the four corners of the pasting substrate 24a.

このように構成される製造装置１６０では、上記の製造装置２０と同様に、第１及び第２の実施形態に係る貼り付け方法を良好且つ効率的に実施することができる。   In the manufacturing apparatus 160 configured as described above, the attaching method according to the first and second embodiments can be performed satisfactorily and efficiently similarly to the manufacturing apparatus 20 described above.

本発明の第１の実施形態に係る積層体の貼り付け方法を実施するための製造装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the manufacturing apparatus for enforcing the bonding method of the laminated body which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 前記製造装置に使用される長尺状感光性ウエブの断面図である。It is sectional drawing of the elongate photosensitive web used for the said manufacturing apparatus. 前記長尺状感光性ウエブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。It is explanatory drawing of the state by which the adhesive label was adhere | attached on the said elongate photosensitive web. 前記貼り付け方法を説明するタイミングチャートである。It is a timing chart explaining the said sticking method. ゴムローラ間にガラス基板が配置される際の動作説明図である。It is operation | movement explanatory drawing when a glass substrate is arrange | positioned between rubber rollers. 前記ガラス基板の後端が前記ゴムロール間から離間する際の動作説明図である。It is operation | movement explanatory drawing when the rear end of the said glass substrate spaces apart from between the said rubber rolls. 第１の速度と気泡の発生との説明図である。It is explanatory drawing of a 1st speed and bubble generation | occurrence | production. 加速度と貼り付け品質に影響するスジの発生との説明図である。It is explanatory drawing with generation | occurrence | production of the stripe which affects an acceleration and sticking quality. 本発明の第２の実施形態に係る積層体の貼り付け方法のタイミングチャートである。It is a timing chart of the bonding method of the laminated body which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 前記貼り付け方法を実施するための他の製造装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the other manufacturing apparatus for enforcing the said bonding method. 特許文献１に開示されている貼り付け装置を構成する熱圧着ローラの説明図である。It is explanatory drawing of the thermocompression-bonding roller which comprises the sticking apparatus currently disclosed by patent document 1. FIG.

符号の説明Explanation of symbols

２０、１６０…製造装置 ２２…感光性ウエブ
２２ａ…感光性ウエブロール ２４…ガラス基板
２６…ベースフイルム ２７…クッション層
２９…感光性樹脂層 ３０…保護フイルム
３２…ウエブ送り出し機構 ３４…ハーフカット部位
３６…ハーフカット機構 ４０…ラベル接着機構
４２…リザーバ機構 ４４…剥離機構
４５…加熱機構 ４６…貼り付け機構
４７…検出機構 ４８…基板間ウエブ切断機構
６２…サクションドラム ６４…剥離ローラ
６６…保護フイルム巻き取り軸 ７６…テンション制御機構
８４…搬送機構 １１０ａ、１１０ｂ…ゴムローラ
１１６…接触防止ローラ １１８ｂ…基板搬送ローラ
１２０…冷却機構 １２２…ベース剥離機構
１４０…ラミネート工程制御部 １４２…ラミネート制御部
１４４…基板加熱制御部 １４６…ベース剥離制御部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 20,160 ... Manufacturing apparatus 22 ... Photosensitive web 22a ... Photosensitive web roll 24 ... Glass substrate 26 ... Base film 27 ... Cushion layer 29 ... Photosensitive resin layer 30 ... Protective film 32 ... Web delivery mechanism 34 ... Half cut part 36 ... Half-cut mechanism 40 ... Label adhesion mechanism 42 ... Reservoir mechanism 44 ... Peeling mechanism 45 ... Heating mechanism 46 ... Pasting mechanism 47 ... Detection mechanism 48 ... Inter-substrate web cutting mechanism
62 ... Suction drum 64 ... Peeling roller
66 ... Protective film take-up shaft 76 ... Tension control mechanism
84 ... Conveying mechanism 110a, 110b ... Rubber roller
116: Contact prevention roller 118b ... Substrate transport roller
120 ... Cooling mechanism 122 ... Base peeling mechanism
140: Laminating process control unit 142 ... Laminating control unit
144 ... Substrate heating control unit 146 ... Base peeling control unit

Claims (6)

ウエブをラミネートローラの押圧回転作用下に基板に貼り付けるウエブの貼り付け方法であって、
前記ウエブの貼り付け部位を、貼り付け位置の上流近傍の所定位置に搬送して一旦停止させる工程と、
前記ウエブの搬送を開始し、前記ウエブを第１の速度で搬送させながら、前記ラミネートローラにより該ウエブを前記基板と一体にクランプする工程と、
前記ウエブ及び前記基板を第２の速度で搬送させながら、前記ラミネートローラの押圧回転により前記ウエブを前記基板に貼り付ける工程と、
を有することを特徴とするウエブの貼り付け方法。 A web affixing method in which a web is affixed to a substrate under the pressing and rotating action of a laminate roller,
Transporting the web pasting part to a predetermined position near the upstream of the pasting position and temporarily stopping;
Starting the conveyance of the web, and clamping the web integrally with the substrate by the laminating roller while conveying the web at a first speed;
Adhering the web to the substrate by pressing and rotating the laminating roller while transporting the web and the substrate at a second speed;
A method of attaching a web, comprising: 請求項１記載の貼り付け方法において、前記第１の速度は、前記第２の速度よりも低速に設定されることを特徴とするウエブの貼り付け方法。   2. The method of attaching a web according to claim 1, wherein the first speed is set to be lower than the second speed. 請求項１又は２記載の貼り付け方法において、前記第１の速度から前記第２の速度には、１２０ｍｍ／ｓ2 以下の加速度で移行することを特徴とするウエブの貼り付け方法。 3. The method of attaching a web according to claim 1, wherein the first speed is shifted from the first speed to the second speed at an acceleration of 120 mm / s < 2 > or less. 請求項１乃至３のいずれか１項に記載の貼り付け方法において、前記第１の速度は、０．２ｍ／ｍｉｎ以上の速度に設定されることを特徴とするウエブの貼り付け方法。   4. The method of attaching a web according to claim 1, wherein the first speed is set to a speed of 0.2 m / min or more. 5. 請求項１乃至４のいずれか１項に記載の貼り付け方法において、前記ウエブの搬送を開始してから前記第２の速度に至るまで、階段状又は連続的に速度を変化させることを特徴とするウエブの貼り付け方法。   5. The affixing method according to claim 1, wherein the speed is changed stepwise or continuously from the start of conveyance of the web to the second speed. How to paste the web. 請求項１記載の貼り付け方法において、前記ラミネートローラは、４０度〜９０度のゴム硬度を有するゴムローラであることを特徴とするウエブの貼り付け方法。   2. The method of attaching a web according to claim 1, wherein the laminating roller is a rubber roller having a rubber hardness of 40 degrees to 90 degrees.
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