JP2007079933A - 製造情報処理方法及びそれをコンピュータに実行させるためのプログラム並びに製造情報管理システム - Google Patents
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Abstract
【課題】 異常な工程や設備を迅速かつ正確に特定できる製造情報処理方法を提供すること。
【解決手段】 各製造ロット毎に、複数の工程でそれぞれその製造ロットが処理を受けた設備を特定する設備識別情報D1と、それらの工程終了後の特性検査工程で得られたその製造ロットの検査結果を表す特性検査情報D2とを関連付けて単位加工情報Uとする。複数の製造ロットの単位加工情報Uを並べてデータテーブルD0を設定する。データテーブルD0内で、各工程毎に、その工程に関して設備識別情報D1が同じであるような単位加工情報Uをそれぞれ一組とし、それらの組が取り得る順列に応じて単位加工情報Uの並び順を入れ替える。単位加工情報Uの並び順に従った特性検査情報D2の変化の頻度が最小となる場合を探索する。
【選択図】 図10
【解決手段】 各製造ロット毎に、複数の工程でそれぞれその製造ロットが処理を受けた設備を特定する設備識別情報D1と、それらの工程終了後の特性検査工程で得られたその製造ロットの検査結果を表す特性検査情報D2とを関連付けて単位加工情報Uとする。複数の製造ロットの単位加工情報Uを並べてデータテーブルD0を設定する。データテーブルD0内で、各工程毎に、その工程に関して設備識別情報D1が同じであるような単位加工情報Uをそれぞれ一組とし、それらの組が取り得る順列に応じて単位加工情報Uの並び順を入れ替える。単位加工情報Uの並び順に従った特性検査情報D2の変化の頻度が最小となる場合を探索する。
【選択図】 図10
Description
この発明は、複数の工程を含む製造ラインを管理する製造情報処理方法および製造情報管理システムに関する。
また、この発明は、上記製造情報処理方法をコンピュータに実行させるためのプログラムに関する。
一般的に、液晶デバイスや半導体デバイスの製造ラインは製造ロット単位で順次実行される複数の工程からなる。そして、特定の製造ロットが各工程でどの設備の処理を受けてきたかを表す処理履歴情報や、或る工程での処理が完了した際に行われる特性検査結果、最終検査の合格率を表す歩留データなどが収集される。ここで、いずれかの設備に異常が発生した場合、歩留が低下してから原因究明と対策を行うと、すでに大量の不良品が生産ラインで処理されてしまっているので、その間の損失は甚大になる。したがって、設備の異常を早期に発見し、異常が発生した設備による処理を停止する措置をとる必要がある。
例えば特許文献1(特開2004−110602号公報)には、設備に異常が発生したことを早期に発見するため、設備の内部状態を計測するセンサを配置し、その波形パターンデータからその設備の診断や監視を行う技術が開示されている。しかしながら、通常の半導体デバイスの製造工程のように、生産能力向上のために複数の工程でそれぞれ複数の設備(第1号機、第2号機などと呼ばれる。)を用いて製造を行っているような場合は、各設備毎に設備内部の状態を計測して波形を分析すると、作業が極めて膨大となる。また、沢山のグラフを表示して見比べることは、生産ラインの人間に負担を強いることになる。
このため、半導体デバイスの製造現場では、特性検査工程において時系列で得られる各製造ロットの特性検査情報を調べることで、設備異常の有無を判断しているのが実情である。すなわち、或る工程を実行する設備で異常が発生した場合、その設備で処理された製造ロットの特性検査情報(特性値)は正常時と比べて異なった値を示すと考えられる。そこで、その後の特性検査工程において時系列で得られる各製造ロットの特性検査情報の変化を見て、設備異常の有無を判定している。
特開2004−110602号公報
しかしながら、特性検査を行う装置のところには、異常設備で処理された製造ロットと、正常な設備で処理された製造ロットとが相前後して順不同で流れてくる。つまり、異常処理を受けた製造ロットの一団は、特性検査工程では既に分散してしまっている。このため、特性検査工程において時系列で得られる各製造ロットの特性検査情報の変化を単に見ていても、異常な工程や設備を特定することが難しいという問題がある。
そこで、この発明の課題は、特性検査工程において得られる製造ロットの特性検査情報に基づいて異常な工程や設備を迅速かつ正確に特定できる製造情報処理方法を提供することにある。
また、この発明の課題は、そのような製造情報処理方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを提供することにある。
また、この発明の課題は、特性検査段階において得られる製造ロットの特性検査情報に基づいて異常な工程や設備を迅速かつ正確に特定できる製造情報管理システムを提供することにある。
この発明は、発明者による、次のような着想により創出された。すなわち、上述のように、特性検査を行う装置のところには、異常設備で処理された製造ロットと、正常な設備で処理された製造ロットとが相前後して順不同で流れてくる。したがって、逆に、特性検査情報の変化の頻度が最小になるようにそれらの製造ロットの特性検査情報の並び順を入れ替えることができれば、その入れ替え後の並び順から、異常な設備を特定できると考えられる。
上記課題を解決するため、この発明の製造情報処理方法は、
複数の工程でそれぞれその工程を実行可能な1機以上の設備を用いる製造ラインを管理する製造情報処理方法であって、
各製造ロット毎に、複数の工程でそれぞれその製造ロットが処理を受けた設備を特定する設備識別情報と、それらの工程終了後の特性検査工程で得られたその製造ロットの検査結果を表す特性検査情報とを関連付けて単位加工情報とし、複数の製造ロットの単位加工情報を並べてなるデータテーブルを設定するステップと、
上記データテーブル内で、各工程毎に、その工程に関して設備識別情報が同じであるような単位加工情報をそれぞれ一組とし、それらの組が取り得る順列に応じて上記単位加工情報の並び順を入れ替えて、上記単位加工情報の並び順に従った上記特性検査情報の変化の頻度が最小となる場合を探索するステップとを含むことを特徴とする。
複数の工程でそれぞれその工程を実行可能な1機以上の設備を用いる製造ラインを管理する製造情報処理方法であって、
各製造ロット毎に、複数の工程でそれぞれその製造ロットが処理を受けた設備を特定する設備識別情報と、それらの工程終了後の特性検査工程で得られたその製造ロットの検査結果を表す特性検査情報とを関連付けて単位加工情報とし、複数の製造ロットの単位加工情報を並べてなるデータテーブルを設定するステップと、
上記データテーブル内で、各工程毎に、その工程に関して設備識別情報が同じであるような単位加工情報をそれぞれ一組とし、それらの組が取り得る順列に応じて上記単位加工情報の並び順を入れ替えて、上記単位加工情報の並び順に従った上記特性検査情報の変化の頻度が最小となる場合を探索するステップとを含むことを特徴とする。
この発明の製造情報処理方法では、まず、各製造ロット毎に、複数の工程でそれぞれその製造ロットが処理を受けた設備を特定する設備識別情報と、それらの工程終了後の特性検査工程で得られたその製造ロットの検査結果を表す特性検査情報とを関連付けて単位加工情報とする。そして、複数の製造ロットの単位加工情報を並べてなるデータテーブルを設定する。次のステップで、上記データテーブル内で、各工程毎に、その工程に関して設備識別情報が同じであるような単位加工情報をそれぞれ一組とし、それらの組が取り得る順列に応じて上記単位加工情報の並び順を入れ替える。そして、上記単位加工情報の並び順に従った上記特性検査情報の変化の頻度が最小となる場合を探索する。上記単位加工情報の並び順に従った上記特性検査情報の変化の頻度が最小となる場合は、上記データテーブル内で、異常な設備を特定する設備識別情報が組をなして連続していると推定される。したがって、担当者は、この探索結果に基づいて、異常な設備を迅速かつ正確に特定することができる。異常な設備が特定されれば、それに伴ってその異常な設備を用いた工程(つまり、異常な工程)も特定される。このようにして、特性検査段階において時系列で得られる製造ロットの特性検査情報に基づいて異常な工程や設備を迅速かつ正確に特定できる。
また、上記複数の製造ロットの単位加工情報を最初に並べる順は、それらの単位加工情報に含まれる特性検査情報が得られた時系列の順であるのが望ましい。または、上記複数の製造ロットの単位加工情報を最初に並べる順は、それらの製造ロットを特定するロット識別情報の順であるのが望ましい。これらの並べ方の場合、データテーブルをとりあえず簡単な処理で作成することができる。
一実施形態の製造情報処理方法は、上記データテーブルを設定した後上記特性検査情報の変化の頻度を求める前に、上記特性検査情報を平滑化処理し、さらに微分処理することを特徴とする。
この一実施形態の製造情報処理方法では、上記データテーブルを設定した後上記特性検査情報の変化の頻度を求める前に、上記特性検査情報を平滑化処理し、さらに微分処理する。これにより、上記特性検査情報が計測誤差や外乱を含んでいる場合であっても、上記特性検査情報の変化の頻度を正しく求めることができる。
この発明のプログラムは、上記発明の製造情報処理方法をコンピュータに実行させるためのプログラムである。
この発明のプログラムによれば、上記発明の製造情報処理方法をコンピュータに実行させることができる。
この発明の製造情報管理システムは、
複数の工程でそれぞれその工程を実行可能な1機以上の設備を用いる製造ラインを管理する製造情報管理システムであって、
データテーブルを格納し得るデータ格納部と、
各製造ロット毎に、複数の工程でそれぞれその製造ロットが処理を受けた設備を特定する設備識別情報と、それらの工程終了後の特性検査工程で得られたその製造ロットの検査結果を表す特性検査情報とを関連付けて単位加工情報とし、上記データ格納部に、複数の製造ロットの単位加工情報を並べてなるデータテーブルを設定するデータテーブル設定部と、
上記データテーブル内で、各工程毎に、その工程に関して設備識別情報が同じであるような単位加工情報をそれぞれ一組とし、それらの組が取り得る順列に応じて上記単位加工情報の並び順を入れ替えて、上記単位加工情報の並び順に従った上記特性検査情報の変化の頻度が最小となる場合を探索するデータ解析部を備えたことを特徴とする。
複数の工程でそれぞれその工程を実行可能な1機以上の設備を用いる製造ラインを管理する製造情報管理システムであって、
データテーブルを格納し得るデータ格納部と、
各製造ロット毎に、複数の工程でそれぞれその製造ロットが処理を受けた設備を特定する設備識別情報と、それらの工程終了後の特性検査工程で得られたその製造ロットの検査結果を表す特性検査情報とを関連付けて単位加工情報とし、上記データ格納部に、複数の製造ロットの単位加工情報を並べてなるデータテーブルを設定するデータテーブル設定部と、
上記データテーブル内で、各工程毎に、その工程に関して設備識別情報が同じであるような単位加工情報をそれぞれ一組とし、それらの組が取り得る順列に応じて上記単位加工情報の並び順を入れ替えて、上記単位加工情報の並び順に従った上記特性検査情報の変化の頻度が最小となる場合を探索するデータ解析部を備えたことを特徴とする。
この発明の製造情報管理システムでは、まず、データテーブル設定部が、各製造ロット毎に、複数の工程でそれぞれその製造ロットが処理を受けた設備を特定する設備識別情報と、それらの工程終了後の特性検査工程で得られたその製造ロットの検査結果を表す特性検査情報とを関連付けて単位加工情報とする。そして、複数の製造ロットの単位加工情報を並べてなるデータテーブルを設定する。次に、データ解析部が、上記データテーブル内で、各工程毎に、その工程に関して設備識別情報が同じであるような単位加工情報をそれぞれ一組とし、それらの組が取り得る順列に応じて上記単位加工情報の並び順を入れ替えて、上記単位加工情報の並び順に従った上記特性検査情報の変化の頻度が最小となる場合を探索する。上記単位加工情報の並び順に従った上記特性検査情報の変化の頻度が最小となる場合は、上記データテーブル内で、異常な設備を特定する設備識別情報が組をなして連続していると推定される。したがって、担当者は、この探索結果に基づいて、異常な設備を迅速かつ正確に特定することができる。異常な設備が特定されれば、それに伴ってその異常な設備を用いた工程(つまり、異常な工程)も特定される。このようにして、特性検査段階において時系列で得られる製造ロットの特性検査情報に基づいて異常な工程や設備を迅速かつ正確に特定できる。
一実施形態の製造情報管理システムは、上記データ解析部が探索した、上記特性検査情報の変化の頻度が最小であるような上記単位加工情報の並び順をもつデータテーブルを表示する異常監視部を備えたことを特徴とする。
この一実施形態の製造情報管理システムでは、異常監視部は、上記データ解析部が探索した、上記特性検査情報の変化の頻度が最小であるような上記単位加工情報の並び順をもつデータテーブルを表示する。したがって、担当者は、その表示を見ることにより、異常な工程や設備を容易に知ることができる。
以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。
一般に、液晶デバイスや半導体デバイスの製造ラインは、基板の受け入れからデバイスの完成に至るまで製造ロット(以下単に「ロット」という。)単位で順次実行される多数の工程から構成されている。それらの複数の工程はそれぞれ1機以上の処理装置を使うことが多い。
例えば図1は、そのような製造ラインであって、工程1、工程2、工程3、および特定検査工程としての検査Aを順次実行するものを示している。この製造ラインが、この発明の一実施形態の製造情報処理方法を適用して管理する対象となる。工程1は設備#11と設備#12の2機を、工程2は設備#21〜#24の4機を、工程3は設備#31と設備#32の2機をそれぞれ使用している。ここで、#11,#12,#21〜#24,#31,#32は各設備を特定する設備識別情報としての機番である。
この図1では、各設備の機番の直下の段に、それぞれその設備で処理されるロットを特定するロット識別情報としてのロット番号(L1〜L8のうちの幾つか)を示している。例えば工程1では、ロットL1〜L8のうちロットL1〜L4が設備#11で、ロットL5〜L8が設備#12でそれぞれ処理されている。次の工程2では、ロットL1,L2が設備#21で、ロットL3,L4が設備#22で、ロットL5,L6が設備#23で、ロットL7,L8が設備#24でそれぞれ処理されている。次の工程3では、ロットL1,L2とロットL5,L6が設備#31で、ロットL3,L4とロットL7,L8が設備#32でそれぞれ処理される。それぞれの工程では、図中で右側に示すロットから左側に示すロットへ順次処理されている。この例では、検査Aでは、ロットL1〜L8の時系列の順は「<L8><L7>(L4)(L3)<L6><L5>(L2)(L1)」であるから、ロットL1,L2,L5,L6,L3,L4,L7,L8の順に検査が実行されている。
また、この図1では、()で囲ったロット番号が異常ロットを示し、<>で囲った番号が正常ロットを示している。すなわち、工程1で設備#11を用いて処理されたロットL1〜L4が異常ロットになっている。
図3は、各ロット毎に、そのロットを特定するロット番号と、各工程1〜3でそれぞれそのロットが処理を受けた設備を特定する機番と、そのロットが検査Aで特性検査を受けた順番(検査順)と、検査Aでのそのロットの検査結果を表す特性検査情報(正常/異常の別を表す)とを関連づけてそれぞれ1行の単位加工情報Uとし、それらの単位加工情報Uを並べて得られたデータテーブルを示している。この図3のデータテーブルでは、ロットL1〜L8の単位加工情報U,U,…の並び順を、実際に各ロットが検査Aを受けた順番(検査順)、つまり特性検査情報(正常/異常)が得られた時系列の順に並べてある。検査結果を表す特性検査情報は、正常か異常かの判定結果を、正常を0、異常を1として2値で表している。
図3から分かるように、特性検査情報(正常/異常)は「11001100」のように頻繁に変化している。このため、特性検査情報の変化を単に見ていても、異常な工程や設備を特定することは難しい。
そこで、図2に示すように、データテーブル内で、例えば工程1に関して機番が同じであるような単位加工情報Uをそれぞれ一組とし、それらの組が取り得る順列に応じて単位加工情報Uの並び順を入れ替える。この例では、工程1に関して機番が同じ#11であるような単位加工情報U(この例ではロットL1〜L4の単位加工情報U)が作る組が上4行に並び、工程1に関して機番が同じ#12であるような単位加工情報U(この例ではロットL5〜L8の単位加工情報U)が作る組が下4行に並ぶように入れ替える。すると、工程1に関して設備#11を使用した場合と設備#12を使用した場合との間で、特性検査情報が異常1から正常0へ変わっていることが一目瞭然となる。したがって、異常な設備は#11であることを特定できる。
なお、この例では、単位加工情報Uが作る各組内では、それぞれ単位加工情報Uを上から下へ時系列の順(この例ではロット番号順と同じ)に並べてある。
図3のデータテーブル内では、上から下への並び順に従って特性検査情報は11001100と並んでいるから、特性検査情報の変化の頻度は3である。これに対して、図2のデータテーブル内では、上から下への並び順に従って特性検査情報は11110000と並んでいるから、特性検査情報の変化の頻度は1である。このようにして、データテーブル内で、特性検査情報の変化の頻度が最小となるような単位加工情報Uの並び順を探索することにより、異常な設備を特定することができる。異常な設備が特定されれば、それに伴ってその異常な設備を用いた工程(つまり、異常な工程)も特定される。このようにして、特性検査段階において時系列で得られる製造ロットの特性検査情報に基づいて異常な工程や設備を迅速かつ正確に特定できる。
図4は、図1の製造ラインと同様に工程1、工程2、工程3および検査Aを順次実行する製造ラインであって、工程2で使用している設備#21と設備#24との2機で異常が発生しているものを示している。各設備でどのロットが処理されるかは、図1のものと同じになっている。
工程2で使用している設備#21〜#24(計4機)が作る順列の総数は4!=4×3×2×1=24通りある。図5は、その24通り全ての場合(単位加工情報の並び順)に応じた特性検査情報の並び(1と0の配列パターン)を求めるとともに、その変化の頻度を求めたものである。この図5より、変化の頻度の最小値1を与えるのは、設備#21〜#24(計4機)が作る順列が、#21#24#22#23、#21#24#23#22、#22#23#21#24、#22#23#24#21、#23#22#21#24、#23#22#24#21、#24#21#22#23、#24#21#23#22となっている場合の8通りであることが分かる。この8通りの場合には、#21#24の並びが共通して出現していることから、異常な設備は#21と#24であることがわかる。
図6は、図1の製造ラインと同様に工程1、工程2、工程3および検査Aを順次実行する製造ラインであって、工程1で使用している設備#11と工程3で使用している設備#32との2機で異常が発生しているものを示している。各設備でどのロットが処理されるかは、図1のものと同じになっている。
この図6の場合に、まず、ロットL1〜L8の単位加工情報Uをロット番号順に並べて得られたデータテーブルを図7Aに示し、検査Aにおける検査順に並べて得られたデータテーブルを図7Bに示している。これらの並べ方の場合、データテーブルをとりあえず簡単な処理で作成することができる。
次に、例えば図7Bのデータテーブル内で、或る工程に関して機番(設備識別番号)が同じであるような単位加工情報Uをそれぞれ一組とし、それらの組が取り得る順列に応じて単位加工情報Uの並び順を入れ替える。この場合、特性検査情報の変化の頻度が最小(この例では最小値は1)になるのは、図8Aに示すように工程1の機番が降順になるようにした場合と、図8Bに示すように工程3の機番が昇順になるようにした場合と、図9Aに示すように工程1の機番が降順になるようにした後工程3の機番が昇順になるようにした場合と、図9Bに示すように工程3の機番が降順になるようにした後工程1の機番が昇順になるようにした場合との4通りである。この結果から、異常な設備は、工程1の設備#11、工程3の設備#33、または設備#11と設備#33との両方であると特定される。
図10は、これまで説明した製造情報処理方法を、取り扱うデータの流れを明示して模式的に示している。まず、各製造ロット毎に、その製造ロットを特定するロット識別番号(ロット番号)L1,L2,…に基づいて、複数の工程1,2,…でそれぞれその製造ロットが処理を受けた設備を特定する設備識別情報(機番)D1と、それらの工程終了後の検査Aで得られたその製造ロットの検査結果を表す特性検査情報D2とを関連付けて1行の単位加工情報Uとする。そして、複数の製造ロットの単位加工情報U,U,…を並べてなるデータテーブルDT0を作成する。次に、各工程1,2,…毎に、その工程に関して設備識別情報D1が同じであるような単位加工情報Uをそれぞれ一組とし、それらの組が取り得る順列に応じて単位加工情報Uの並び順を入れ替えて、複数のデータテーブルDT1,DT2,…,DTnを作成する。複数のデータテーブルDT1,DT2,…,DTn内でデータ解析を行って、特性検査情報の変化の頻度が最小となるような単位加工情報Uの並び順を探索して、その並び順を持つデータテーブルDTi(ただし、iは整数で、1≦i≦nである。)を求める。求めたデータテーブルDTiを後述する異常監視部へ送る。
図13は、これまで説明した製造情報処理方法を、コンピュータに実行させるプログラムに適したフローとして示している。
まず、ステップS1で、各製造ロット毎に、その製造ロットを特定するロット番号L1,L2,…に基づいて、複数の工程1,2,…でそれぞれその製造ロットが処理を受けた設備を特定する設備識別情報(機番)#11,#12;#21,#22,…と、それらの工程終了後の検査Aで得られたその製造ロットの検査結果を表す特性検査情報とを関連付けて1行の単位加工情報Uとする。そして、複数の製造ロットの単位加工情報U,U,…を並べてなるデータテーブルDT0を作成する。
次のステップS2では、そのデータテーブルDT0内で、単位加工情報Uの並び順に従った特性検査情報の変化の頻度を算出する。
次のステップS3では、各工程1,2,…毎に、その工程に関して設備識別情報が同じであるような単位加工情報Uをそれぞれ一組とし、それらの組が取り得る順列に応じて単位加工情報の並び順を入れ替えて、データテーブルDT1を作成する。
次のステップS4では、そのデータテーブルDT1内で、単位加工情報Uの並び順に従った特性検査情報の変化の頻度を算出する。
次のステップS5では、すべての順列に応じて単位加工情報の並び順の入れ替えが完了したか否かを判断して、まだ完了していなければ、ステップS3に戻る。データテーブルDT1について算出を行った段階では、まだ完了していないので、ステップS3に戻る。
このようにして、データテーブルDT2,…,DTnについて、それぞれそのデータテーブル内で、単位加工情報Uの並び順に従った特性検査情報の変化の頻度を算出する。
そして、すべての順列に応じて単位加工情報の並び順の入れ替えが完了したら(ステップS5でYES)、ステップS6で、特性検査情報の変化の頻度が最小となるような単位加工情報Uの並び順を持つデータテーブルDTiを探索する。 次のステップS7で、そのデータテーブルDTiを後述する異常監視部へ送って、表示画面に表示させる。
さて、特性検査工程としての既述の検査Aでは、正常か異常かの判定を行って、その検査結果を2値(正常を0、異常を1)で表すものとした。しかし、現実の特性検査工程では、正常か異常かの判定を行わず、特性検査値を監視するのみの場合がある。このような場合は、特性検査値の変化(検査順に従った時系列変化)を次のような分析により求めて、異常設備を特定することが必要となる。
例えば図11中の左上に示すグラフG1は、複数の工程で処理を受けた基板群(製造ロットをなす)の検査結果を検査順に示している。このグラフG1は、生の特性検査値(計測値)を表すドットの集合からなっている。図11中の左下に示すグラフG3は、グラフG1に対して平滑化処理を行わずに微分処理(後述)を行った結果を示している。図11中の右上に示すグラフG2は、グラフG1に対して平滑化処理(後述)を行って得られた曲線(実線)を示している。図11中の右下に示すグラフG4は、グラフG1に対して平滑化処理を行った後に(つまりグラフG2に対して)微分処理を行った結果を示している。グラフG3,G4に対しては、特性検査値の変化(検査順に従った時系列変化)の有無を判断する基準(上限、下限)となる一対の標本線5U,5Lを記入してある。
グラフG1は、計測誤差や外乱等の細かい振動成分と、設備(機番)の違いによる大きな周期的変化(図中に矢印で示す6箇所)を含んでいる。グラフG3のように、このグラフG1に対して平滑化処理を行わずに微分処理を行ったものは、設備(機番)の違いによる変化だけでなく、計測誤差等の細かい振動成分までも「特性検査値の変化」であると判断される箇所がでてくる。これに対して、グラフG4のように、グラフG1に対して平滑化処理を行った後に(つまりグラフG2に対して)微分処理を行ったものは、設備(機番)の違いによる変化(図中に矢印で示す6箇所)を「特性検査値の変化」であるとして正しく判断することができる。このように、特性検査情報が計測誤差や外乱等を含んでいる場合であっても、特性検査情報の変化の頻度を正しく求めることができる。
図12中の左上に示すグラフG11は、複数の工程で処理を受けた基板群(製造ロットをなす)の検査結果を、工程1に関する処理順に示している。なお、この工程1に関する処理順は、既述のようにデータテーブル内で単位加工情報の並び順を入れ替えることによって特性検査値の変化の頻度が最小となる場合を探索した結果として得られたものである。このグラフG11は、計測誤差や外乱等の細かい振動成分と、設備(機番)の違いによる大きな周期的変化(図中に矢印で示す1箇所)を含んでいる。左下のグラフG13のように、このグラフG11に対して平滑化処理を行わずに微分処理を行ったものは、設備(機番)の違いによる変化だけでなく、計測誤差等の細かい振動成分までも「特性検査値の変化」であると判断される箇所がでてくる。これに対して、右下のグラフG14のように、グラフG11に対して平滑化処理を行った後に(つまり右上のグラフG2に対して)微分処理を行ったものは、設備(機番)の違いによる変化(図中に矢印で示す1箇所)を「特性検査値の変化」であるとして正しく判断することができる。このように、特性検査情報が計測誤差や外乱等を含んでいる場合に、データテーブル内で単位加工情報の並び順を入れ替えた後であっても、特性検査情報の変化の頻度を正しく求めることができる。
上述の平滑化処理は、例えば移動平均法を用いて次のようにして行う。
i番目の特性検査値をf(i)とするとき、iにおける移動平均値F(i)は、次の(式1)で表される。
図14は、図13の製造情報処理のフローに、上述の平滑化処理および微分処理を加えたフローを示している。
まず、ステップS11で、各製造ロット毎に、その製造ロットを特定するロット番号L1,L2,…に基づいて、複数の工程1,2,…でそれぞれその製造ロットが処理を受けた設備を特定する設備識別情報(機番)#11,#12;#21,#22,…と、それらの工程終了後の検査Aで得られたその製造ロットの検査結果を表す特性検査情報とを関連付けて1行の単位加工情報Uとする。そして、複数の製造ロットの単位加工情報U,U,…を並べてなるデータテーブルDT0を作成する。
次のステップS12では、上記(式1)の平滑化処理を行う。
次のステップS13では、上記(式3)の微分処理を行う。
以下のステップS14〜S19の処理は、図13中のステップS2〜S7と同じである。
なお、平滑化処理としては、移動平均法を用いる他に、新しいデータが追加されるごとに前の推定値を修正する「逐次最小2乗法」を使うこともできる。
図15は、これまで説明した製造情報処理を実行する製造情報管理システムのブロック構成を示している。
この製造情報管理システム10は、各種データD1,D2を格納し得るデータ格納部11と、データテーブルを設定するデータテーブル設定部12と、データ解析部20と、異常監視部13とを備えている。データテーブル設定部12およびデータ解析部20は、図14のフローに対応したプログラムを実行するCPU(中央演算処理ユニット)によって構成されている。
データテーブル設定部12は、各製造ロット毎に、その製造ロットを特定するロット番号L1,L2,…に基づいて、複数の工程1,2,…でそれぞれその製造ロットが処理を受けた設備を特定する設備識別情報(機番)#11,#12;#21,#22,…と、それらの工程終了後の検査Aで得られたその製造ロットの検査結果を表す特性検査情報とを関連付けて1行の単位加工情報Uとする。そして、複数の製造ロットの単位加工情報U,U,…を並べてなるデータテーブルDT0を設定する。
データ解析部13は、各工程1,2,…毎に、その工程に関して設備識別情報D1が同じであるような単位加工情報Uをそれぞれ一組とし、それらの組が取り得る順列に応じて単位加工情報Uの並び順を入れ替えて、複数のデータテーブルDT1,DT2,…,DTnを順次作成する。複数のデータテーブルDT1,DT2,…,DTn内で順次上述の平滑化処理、微分処理を含むデータ解析を行う。これによって、特性検査情報の変化の頻度が最小となるような単位加工情報Uの並び順を探索して、その並び順を持つデータテーブルDTi(ただし、iは整数で、1≦i≦nである。)を求める。求めたデータテーブルDTiを後述する異常監視部13へ送る。
異常監視部13は、データ解析部20が探索した、上記特性検査情報の変化の頻度が最小であるような上記単位加工情報の並び順をもつデータテーブルDTiを表示画面(図示せず)に表示する。
単位加工情報Uの並び順に従った特性検査情報の変化の頻度が最小となる場合は、データテーブルDTi内で、異常な設備を特定する設備識別情報が組をなして連続していると推定される。したがって、担当者は、この探索結果に基づいて、異常な設備を迅速かつ正確に特定し、容易に知ることができる。異常な設備が特定されれば、それに伴ってその異常な設備を用いた工程(つまり、異常な工程)も特定される。
なお、この発明は、製造ラインの複数の工程のうち或る工程が1機の設備のみで実行される場合や、複数の工程の全てがそれぞれ1機の設備のみで実行される場合にも適用される。
また、複数の工程が第1群の工程と第2群の工程との順で実行される場合、第1群の工程終了後に第1の特性検査工程、第2群の工程終了後に第2の特性検査工程をそれぞれ実行して、第1群の工程で異常な設備を特定するとともに、第2群の工程で異常な設備を特定しても良い。このようにした場合、各特性検査工程の特性検査情報に基づいて管理すべき工程数が減るので、異常な工程や設備をさらに迅速かつ正確に特定できる。当然ながら、上記複数の工程をより多くの工程群に分けて、各工程群の終了後にそれぞれ特性検査工程を実行し、各工程群でそれぞれ異常な設備を特定しても良い。
DT0,DT1,DT2,…,DTn データテーブル
L1,L2,…,L8 ロット
U 単位加工情報
#11,#12,#21,#22,#23,#24,#31,#32 設備
10 製造情報管理システム
11 データ格納部
12 データテーブル設定部
13 異常監視部
20 データ解析部
L1,L2,…,L8 ロット
U 単位加工情報
#11,#12,#21,#22,#23,#24,#31,#32 設備
10 製造情報管理システム
11 データ格納部
12 データテーブル設定部
13 異常監視部
20 データ解析部
Claims (5)
- 複数の工程でそれぞれその工程を実行可能な1機以上の設備を用いる製造ラインを管理する製造情報処理方法であって、
各製造ロット毎に、複数の工程でそれぞれその製造ロットが処理を受けた設備を特定する設備識別情報と、それらの工程終了後の特性検査工程で得られたその製造ロットの検査結果を表す特性検査情報とを関連付けて単位加工情報とし、複数の製造ロットの単位加工情報を並べてなるデータテーブルを設定するステップと、
上記データテーブル内で、各工程毎に、その工程に関して設備識別情報が同じであるような単位加工情報をそれぞれ一組とし、それらの組が取り得る順列に応じて上記単位加工情報の並び順を入れ替えて、上記単位加工情報の並び順に従った上記特性検査情報の変化の頻度が最小となる場合を探索するステップとを含むことを特徴とする製造情報処理方法。 - 請求項1に記載の製造情報処理方法において、
上記データテーブルを設定した後上記特性検査情報の変化の頻度を求める前に、上記特性検査情報を平滑化処理し、さらに微分処理することを特徴とする製造情報処理方法。 - 請求項1または2に記載の製造情報処理方法をコンピュータに実行させるためのプログラム。
- 複数の工程でそれぞれその工程を実行可能な1機以上の設備を用いる製造ラインを管理する製造情報管理システムであって、
データテーブルを格納し得るデータ格納部と、
各製造ロット毎に、複数の工程でそれぞれその製造ロットが処理を受けた設備を特定する設備識別情報と、それらの工程終了後の特性検査工程で得られたその製造ロットの検査結果を表す特性検査情報とを関連付けて単位加工情報とし、上記データ格納部に、複数の製造ロットの単位加工情報を並べてなるデータテーブルを設定するデータテーブル設定部と、
上記データテーブル内で、各工程毎に、その工程に関して設備識別情報が同じであるような単位加工情報をそれぞれ一組とし、それらの組が取り得る順列に応じて上記単位加工情報の並び順を入れ替えて、上記単位加工情報の並び順に従った上記特性検査情報の変化の頻度が最小となる場合を探索するデータ解析部を備えたことを特徴とする製造情報管理システム。 - 請求項4に記載の製造情報管理システムにおいて、
上記データ解析部が探索した、上記特性検査情報の変化の頻度が最小であるような上記単位加工情報の並び順をもつデータテーブルを表示する異常監視部を備えたことを特徴とする製造情報管理システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005266892A JP2007079933A (ja) | 2005-09-14 | 2005-09-14 | 製造情報処理方法及びそれをコンピュータに実行させるためのプログラム並びに製造情報管理システム |
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JP2005266892A JP2007079933A (ja) | 2005-09-14 | 2005-09-14 | 製造情報処理方法及びそれをコンピュータに実行させるためのプログラム並びに製造情報管理システム |
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JP (1) | JP2007079933A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015119232A1 (ja) * | 2014-02-10 | 2015-08-13 | オムロン株式会社 | 品質管理装置及びその制御方法 |
US9791853B2 (en) | 2013-12-03 | 2017-10-17 | Fujitsu Limited | Display method, display device, and recording medium |
KR101889739B1 (ko) * | 2014-01-10 | 2018-09-20 | 한화에어로스페이스 주식회사 | Smt 생산라인 설비 이상 진단 시스템의 최적 배치 시스템 및 방법 |
-
2005
- 2005-09-14 JP JP2005266892A patent/JP2007079933A/ja active Pending
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