JP2007060337A5 - - Google Patents

Claims (18)

1. 複数の貫通穴が形成された第１の固定電極と、
   前記複数の貫通穴における各々の貫通穴が形成された位置に対応する位置に形成された複数の貫通穴を有する第２の固定電極と、
   前記第1の固定電極と前記第２の固定電極との間に位置し且つ導電層を有する振動膜と、を有し、
   前記第１の固定電極と前記第２の固定電極との間に交流信号を印加可能な静電型超音波トランスデューサであって、
   前記第1及び第２の固定電極は、当該第１及び第２の固定電極の前記振動膜側の面における前記貫通穴の外周に多角形状の段部を有することを特徴とする静電型超音波トランスデューサ。
2. 前記段部は前記固定電極における前記振動膜に対向する対向電極部であることを特徴とする請求項１記載の静電型超音波トランスデューサ。
3. 前記段部の形状は正六角形であることを特徴とする請求項１または２に記載の静電型超音波トランスデューサ。
4. 前記段部がハニカム状に配置されたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の静電型超音波トランスデューサ。
5. 前記複数の貫通穴は複数のサイズにて形成され、
   前記第1の固定電極に形成された第1の貫通穴と前記第１の貫通穴に対応する位置に且つ前記第２の固定電極に形成された第２の貫通穴とは同じサイズであることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の静電型超音波トランスデューサ。
6. 前記第1及び第２の固定電極に形成された前記複数の貫通穴は、各々同じサイズであることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の静電型超音波トランスデューサ。
7. 前記第１及び第２の固定電極は、単一の導電性部材で形成されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の静電型超音波トランスデューサ。
8. 前記第１及び第２の固定電極は、複数の導電性部材で形成されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の静電型超音波トランスデューサ。
9. 前記第１及び第２の固定電極は、導電性部材と絶縁部材とで形成されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の静電型超音波トランスデューサ。
10. 前記振動膜は、絶縁性高分子フィルムの両面に電極層が形成された膜であることを特徴とする請求項１乃至９のいずれかに記載の静電型超音波トランスデューサ。
11. 前記振動膜は、電極層が２枚の絶縁性高分子フィルムで挟むように形成された膜であることを特徴とする請求項１乃至９のいずれかに記載の静電型超音波トランスデューサ。
12. 前記振動膜は、絶縁性高分子フィルムの片面に電極層が形成された薄膜を２枚有し、前記電極層同士を密着させて構成されていることを特徴とする請求項１乃至９のいずれかに記載の静電型超音波トランスデューサ。
13. 前記振動膜は、エレクトレットフィルムで構成されることを特徴とする請求項１乃至９のいずれかに記載の静電型超音波トランスデューサ。
14. 前記第１及び第２の固定電極の前記振動膜側に電気的絶縁処理が施されていることを特徴とする請求項１０または請求項１３に記載の静電型超音波トランスデューサ。
15. 前記振動膜には、単一極性の直流バイアス電圧が印加可能であることを特徴とする請求項１乃至１４のいずれかに記載の静電型超音波トランスデューサ。
16. 前記第１及び第２の固定電極と前記振動膜とを保持する保持部材を有し、
    前記保持部材は絶縁材料で構成されることを特徴とする請求項１乃至１５のいずれかに記載の静電型超音波トランスデューサ。
17. 前記振動膜は該振動膜表面における直角四方向に張力をかけた状態で固定されることを特徴とする請求項１乃至１６のいずれかに記載の静電型超音波トランスデューサ。
18. 請求項1乃至１７のいずれかに記載の静電型超音波トランスデューサと、
    可聴周波数帯の信号波を生成する信号源と、
    超音波周波数帯のキャリア波を生成し、出力するキャリア波供給手段と、
    前記キャリア波を前記信号源から出力される可聴周波数帯の信号波により変調する変調手段とを有し、
    前記静電型超音波トランスデューサは、前記固定電極と前記振動膜の電極層との間に印加される前記変調手段から出力される変調信号により駆動されることを特徴とする超音波スピーカ。