JP2007043048A - 保護テープ剥離方法およびこれを用いた装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】エッジ部材50を半導体ウエハWに接近させて保護テープの端部に剥離テープを押圧接触さて貼り付ける。このとき、エッジ部材50をヒータによって所定温度に維持し、剥離テープの接着層を重合反応させて熱硬化させてゆく。熱硬化によって保護テープに強固に接着した剥離テープを保護テープの端縁から剥離してゆく。
【選択図】図2
Description
前記剥離用接着テープ類は熱硬化型接着テープであり、当該熱硬化型接着テープを加熱しながら前記保護テープに貼り付けた後、当該熱硬化型接着テープを保護テープと一体にして剥離する
ことを特徴とする。
前記熱硬化型接着テープの加熱は、当該熱硬化型接着テープを押圧する貼付け部材を加熱手段によって加熱して行なうことを特徴とする。
保護テープ付きの半導体ウエハを載置保持する保持手段と、
前記剥離用接着テープは熱硬化型接着テープであり、当該熱硬化型接着テープを貼付け部材に向けて供給する接着テープ供給手段と、
前記貼付け部材を加熱する加熱手段と、
前記熱硬化型接着テープが前記保護テープに貼り付けられる作用位置と熱硬化型接着テープが保護テープから離間した非作用位置とに移動するように、前記貼付け部材と前記保持手段とを相対的に上下動させる昇降手段と、
前記保持手段と前記貼付け部材とを相対的に水平移動させる水平駆動手段と、
剥離した前記熱硬化型接着テープと一体になった保護テープを回収するテープ回収手段と、
を備えたことを特徴とする。
前記貼付け部材の温度を検出する検出手段と、
前記熱硬化型接着テープの種類に応じて予め設定した基準温度と、前記検出手段による検出結果とを比較し、当該比較結果に基づいて前記加熱手段を操作して前記貼付け部材の温度を制御する制御手段と、
を備えたことを特徴とする。
60 … 支持部材
62 … ヒータ
f … リングフレーム
DT … 支持用粘着テープ
PT … 保護テープ
Ts … 剥離テープ
MF … マウントフレーム
W … 半導体ウエハ
Claims (8)
- 半導体ウエハの表面に貼り付けられた保護テープに、剥離用接着テープ類をその非接着面側から貼付け部材により押圧しながら貼り付け、当該剥離用接着テープ類を剥離することで半導体ウエハの表面から保護テープを剥離用接着テープ類と一体にして剥離する保護テープ剥離方法において、
前記剥離用接着テープ類は熱硬化型接着テープであり、当該熱硬化型接着テープを加熱しながら前記保護テープに貼り付けた後、当該熱硬化型接着テープを保護テープと一体にして剥離する
ことを特徴とする保護テープ剥離方法。 - 請求項1に記載の保護テープ剥離方法において、
前記熱硬化型接着テープの加熱は、当該熱硬化型接着テープを押圧する貼付け部材を加熱手段によって加熱して行なう
ことを特徴とする保護テープ剥離方法。 - 請求項1または請求項2に記載の保護テープ剥離方法において、
前記熱硬化型接着テープの種類に応じて前記加熱手段を操作して前記貼付け部材の温度を制御する
ことを特徴とする保護テープ剥離方法。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の保護テープ剥離方法において、
前記貼付け部材は、先端が先鋭なエッジ部材である
ことを特徴とする保護テープ剥離方法。 - 半導体ウエハの表面に貼り付けられた保護テープに、剥離用接着テープ類をその非接着面側から貼付け部材により押圧しながら貼り付け、当該剥離用接着テープ類を剥離することで半導体ウエハの表面から保護テープを剥離用接着テープ類と一体にして剥離する保護テープ剥離装置であって、
保護テープ付きの半導体ウエハを載置保持する保持手段と、
前記剥離用接着テープは熱硬化型接着テープであり、当該熱硬化型接着テープを貼付け部材に向けて供給する接着テープ供給手段と、
前記貼付け部材を加熱する加熱手段と、
前記熱硬化型接着テープが前記保護テープに貼り付けられる作用位置と熱硬化型接着テープが保護テープから離間した非作用位置とに移動するように、前記貼付け部材と前記保持手段とを相対的に上下動させる昇降手段と、
前記保持手段と前記貼付け部材とを相対的に水平移動させる水平駆動手段と、
剥離した前記熱硬化型接着テープと一体になった保護テープを回収するテープ回収手段と、
を備えたことを特徴とする保護テープ剥離装置。 - 請求項5に記載の保護テープ剥離装置において、
前記貼付け部材の温度を検出する検出手段と、
前記熱硬化型接着テープの種類に応じて予め設定した基準温度と、前記検出手段による検出結果とを比較し、当該比較結果に基づいて前記加熱手段を操作して前記貼付け部材の温度を制御する制御手段と、
を備えたことを特徴とする保護テープ剥離装置。 - 請求項5または請求項6に記載の保護テープ剥離装置において、
前記貼付け部材に前記加熱手段を搭載した
ことを特徴とする保護テープ剥離装置。 - 請求項5ないし請求項7のいずれかに記載の保護テープ剥離装置において、
前記貼付け部材は、先端が先鋭なエッジ部材である
ことを特徴とする保護テープ剥離装置。
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