JP2007040703A - 微少質量測定用センサの表面処理方法 - Google Patents
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Abstract
本発明の目的は、信頼性の高い微少質量測定用センサの表面処理方法を提供することである。
【解決手段】
上記の目的を達成する為に本発明は、水晶基板の表面に金属膜を形成して成る水晶振動子を用いた微少質量測定用センサの表面処理方法において、微少質量測定用センサ素子の表面にフォトレジスト保護膜を塗布する工程(S101)と、光を照射してフォトレジスト保護膜を硬化する工程(S102)とによりなることを特徴として課題を解決する。
【選択図】 図1
Description
2 表面
3 金属膜
5 微少質量測定用センサー
6 微少質量測定用センサー素子
7 フォトレジスト保護膜
9 縁部
13 反応物
Claims (1)
- 水晶基板の表面に金属膜を形成して成る水晶振動子を用いた微少質量測定用センサの表面処理方法において、
微少質量測定用センサ素子表面にフォトレジスト保護膜を塗布する工程と、
光を照射して該フォトレジスト保護膜を硬化する工程と、
によりなる微少質量測定用センサの表面処理方法。
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