JP2007036263A - Insulating substrate board for semiconductor and power module - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a metal ceramic circuit board of excellent heat cycle resistance which is suitable for mounting a large power electronic component such as a power module, and to provide the power module using the board. <P>SOLUTION: An insulating substrate board for a semiconductor comprises a metal alloy layer containing silicon mainly made of aluminum, copper, zinc or nickel formed on at least one surface portion of a ceramic substrate board, and the Vickers hardness of the metal alloy layer is not less than 25 and less than 40. The ceramic substrate board is made of a material selected from a group consisting of alumina, aluminum nitride, and silicon nitride. A semiconductor chip is provided on the other surface of the ceramic substrate board to form the power module. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、半導体実装用絶縁基板及びパワーモジュール、特に、パワーモジュール等の大電力電子部品の実装に好適な耐ヒートサイクル性に優れた金属セラミックス回路基板及びこの基板を用いたパワーモジュールに関するものである。   TECHNICAL FIELD The present invention relates to an insulating substrate for semiconductor mounting and a power module, and more particularly to a metal ceramic circuit board excellent in heat cycle resistance suitable for mounting a high power electronic component such as a power module, and a power module using this board. is there.

近年、電気自動車、電車、工作機械などの大電流制御にパワーモジュールが用いられている。パワーモジュールには主に複数の半導体チップが搭載され、その表面および裏面から大電流を取り出すため、半導体チップを固定する基板には高い電気的絶縁性や放熱性が要求される。また、自動車や電車などに搭載されることから高い信頼性や耐久性も要求される。   In recent years, power modules have been used for large current control in electric vehicles, trains, machine tools, and the like. Since a plurality of semiconductor chips are mainly mounted on the power module and a large current is taken out from the front and back surfaces thereof, the substrate on which the semiconductor chips are fixed is required to have high electrical insulation and heat dissipation. In addition, high reliability and durability are required because they are installed in automobiles and trains.

信頼性や耐久性を計る指標の一つにヒートサイクル試験がある。これは使用環境で考え得る最低到達温度と最高到達温度を短時間で往来させて熱衝撃を与える試験であり、このような熱衝撃サイクルを重ねても、基板および周辺部の絶縁性や放熱性が損なわれないことが必要である。一般に自動車や電車ではより高いヒートサイクル耐量が必要とされ、その値は1000サイクル以上と言われている。   One of the indicators for measuring reliability and durability is the heat cycle test. This is a test that gives a thermal shock by moving the minimum temperature and the maximum temperature that can be considered in the usage environment in a short time, and even if the thermal shock cycle is repeated, the insulation and heat dissipation of the substrate and the peripheral part are performed. Must be intact. Generally, higher heat cycle tolerance is required for automobiles and trains, and the value is said to be 1000 cycles or more.

一般的なパワーモジュールの断面構造を図２に示す。このような従来のパワーモジュールでは、半導体チップ１が絶縁性基材としてのセラミックス基板２上の金属層３に半田４で固定され、更にこのセラミックス基板２が他方の金属層５を介して半田６により金属ベース板７に固定される。なお、８は金属層３と５及び金属ベース板７に形成したメッキ層である。また、図２においては、チップ間等の配線の表示は省略している。   A cross-sectional structure of a general power module is shown in FIG. In such a conventional power module, the semiconductor chip 1 is fixed to the metal layer 3 on the ceramic substrate 2 as an insulating base material by the solder 4, and the ceramic substrate 2 is further soldered via the other metal layer 5. To be fixed to the metal base plate 7. Reference numeral 8 denotes a plating layer formed on the metal layers 3 and 5 and the metal base plate 7. In FIG. 2, the display of the wiring between the chips is omitted.

上述した自動車や電車用の高信頼性パワーモジュールにはアルミニウムをセラミックスと接合した絶縁基板が向いているとされている。この絶縁基板にヒートサイクルをかけた場合、金属とセラミックスは熱膨張係数が異なるためにその接合界面に応力が生じ、最終的にはセラミックスが破壊されてしまう。しかし、金属にアルミニウムを用いると、アルミニウムの変形しやすい性質がセラミックスへの応力集中を緩和して銅などに比べ、ヒートサイクル耐量が格段に向上すると言われている。   It is said that the above-described highly reliable power module for automobiles and trains is suitable for an insulating substrate in which aluminum is bonded to ceramics. When this insulating substrate is subjected to a heat cycle, the metal and ceramic have different coefficients of thermal expansion, so that stress is generated at the bonding interface, and the ceramic is eventually destroyed. However, when aluminum is used as the metal, it is said that the property of aluminum to be easily deformed relieves stress concentration on ceramics, and the heat cycle resistance is significantly improved compared to copper.

アルミニウムをセラミックス基板へろう接した先行技術としては、実開平2−68448号や実開平3−57945号に示されたものがあり、これらは、窒化アルミニウム基板やアルミナ基板にアルミニウムをAl−Si系やAl−Ge系ろう材を用いて接合するものである。これには、さらに先行技術として1976年の米国特許第3994430号のアルミニウム結合助剤としてのシリコン使用がある。   Prior art of brazing aluminum to a ceramic substrate includes those disclosed in Japanese Utility Model Publication Nos. 2-68448 and 3-57945, which are made of Al-Si based aluminum on aluminum nitride substrates and alumina substrates. And using Al-Ge brazing filler metal. This further includes the use of silicon as an aluminum bonding aid in 1976 US Pat. No. 3,994,430.

アルミニウムをセラミックス基板に直接接合した先行技術として、特開平7−193358号や特開平7−276035号に示されたものがあり、これらは、窒化アルミニウム基板やアルミナ基板にアルミニウムの溶融体を接触させ、凝固することでアルミニウムをセラミックスに直接接合させるものである。   As prior arts in which aluminum is directly bonded to a ceramic substrate, there are those disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 7-193358 and 7-276035, which are made by contacting an aluminum nitride substrate or an alumina substrate with an aluminum melt. By solidifying, aluminum is directly bonded to ceramics.

しかし、アルミニウム−セラミックス絶縁基板は、半導体素子を半田付けする等でパワーモジュールの部品として使用され、このためアルミニウム−セラミックス絶縁基板におけるアルミニウムは、セラミックスと半田層および半導体素子に挟まれる状態となり、アルミニウムはセラミックスを保護する役割と半田層および半導体素子とを配設させる機能が必要となり、アルミニウムの上に配設される半田および半導体素子がより多岐にわたり複雑化していることからより熱衝撃による影響の少ないものが望まれていた。即ち、この影響の1つであるアルミニウムと特に鉛半田系の半田層における半田や半田とアルミニウムの接合界面に生じる半田クラックによりパワーモジュールの放熱性は著しく低下し、半導体の温度上昇が起こり、最終的には半導体が破壊される可能性があり、これを防止することが望まれていた。   However, the aluminum-ceramic insulating substrate is used as a power module component by soldering a semiconductor element or the like. For this reason, the aluminum in the aluminum-ceramic insulating substrate is sandwiched between the ceramic, the solder layer, and the semiconductor element. The role of protecting ceramics and the function of disposing the solder layer and the semiconductor element are required. Since the solder and the semiconductor element disposed on the aluminum are more complicated, the influence of thermal shock is more Less was desired. In other words, due to one of these effects, the heat dissipation of the power module is significantly reduced due to solder cracks occurring at the solder and solder-aluminum joint interface in the solder layer of aluminum and lead solder, and the temperature of the semiconductor rises. In particular, there is a possibility that the semiconductor may be destroyed, and it has been desired to prevent this.

従って、本発明の目的は、上述の問題点を解決することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to solve the above-mentioned problems.

本発明者等は鋭意研究したところ、アルミニウム−セラミックス絶縁基板のアルミニウムの硬度を一定範囲にすることで、上記の課題を解決出来ることを見いだした。   As a result of intensive studies, the present inventors have found that the above-mentioned problems can be solved by keeping the aluminum hardness of the aluminum-ceramic insulating substrate within a certain range.

即ち、絶縁基板のアルミニウムの硬度に、熱衝撃を与えたときにセラミックスを保護し、なおかつ半田クラックを生じさせない、一定の範囲があることを見いだした。その範囲はビッカース硬度で25以上、40未満である。ビッカース硬度が25未満であると熱衝撃を与えたときにセラミックスは保護されるが、アルミニウムの変形量が大きく、ヒートサイクルを重ねたときに半田クラックが生じやすい。一方、ビッカース硬度が40より大きいと、アルミニウムが変形しにくくなるため、熱衝撃時に応力を吸収しにくくなり、サイクルを重ねたときにセラミックスにクラックが生じやすい。   That is, it has been found that there is a certain range in the hardness of aluminum of the insulating substrate, which protects ceramics when a thermal shock is applied and does not cause solder cracks. The range is 25 or more and less than 40 in terms of Vickers hardness. When the Vickers hardness is less than 25, ceramics are protected when a thermal shock is applied, but the deformation amount of aluminum is large, and solder cracks are likely to occur when heat cycles are repeated. On the other hand, if the Vickers hardness is greater than 40, aluminum is not easily deformed, so that it is difficult to absorb stress during thermal shock, and cracks are likely to occur in ceramics when cycles are repeated.

また、上記のような一定範囲の硬度を実現するためにはアルミニウムに他の金属元素を添加すれば良い、例えばシリコンを加えた合金を用いることが出来る。また、シリコンはアルミニウムに拡散しやすく、比較的低温で共晶を作ることから用いることが容易である。上記のビッカース硬度25以上、40未満を実現するのに必要なシリコン添加量は0.2重量％以上、5重量％未満である。他に、Mn，Mg，Cu，Zn，Ni等を更に加える事も可能である。   In order to achieve a certain range of hardness as described above, other metal elements may be added to aluminum, for example, an alloy with silicon added can be used. Silicon is easy to diffuse because it easily diffuses into aluminum and forms a eutectic at a relatively low temperature. The amount of silicon added to achieve the above Vickers hardness of 25 or more and less than 40 is 0.2% by weight or more and less than 5% by weight. In addition, Mn, Mg, Cu, Zn, Ni, etc. can be further added.

本発明はかかる知見をもとになされたものである。   The present invention has been made based on such knowledge.

本発明の半導体実装用絶縁基板は、セラミックス基板の少なくとも一部の面にアルミニウムを主とする合金金属層が形成された半導体実装用絶縁基板において、上記合金金属層のビッカース硬度が25以上、40未満であることを特徴とする。   The insulating substrate for semiconductor mounting of the present invention is an insulating substrate for semiconductor mounting in which an alloy metal layer mainly composed of aluminum is formed on at least a part of a ceramic substrate. The alloy metal layer has a Vickers hardness of 25 or more, 40 It is characterized by being less than.

本発明のパワーモジュールは、金属ベース板と、一面を上記金属ベース板に接合された少なくとも一部の面にアルミニウムを主とする合金金属層が形成されたセラミックス基板と、上記セラミックス基板の他面に設けた半導体チップとを有し、上記合金金属層のビッカース硬度が25以上、40未満であることを特徴とする。   The power module of the present invention includes a metal base plate, a ceramic substrate on which at least a part of one surface joined to the metal base plate is formed with an alloy metal layer mainly composed of aluminum, and the other surface of the ceramic substrate. And the alloy metal layer has a Vickers hardness of 25 or more and less than 40.

上記合金金属層は、シリコンを含有し、その含有量は0.2重量％以上、5重量％未満であることを特徴とする。   The alloy metal layer contains silicon, and the content thereof is 0.2 wt% or more and less than 5 wt%.

上記合金金属層は、Mnを含有し、その含有量が1.5重量％以下であることを特徴とする。   The alloy metal layer contains Mn, and the content thereof is 1.5% by weight or less.

上記合金金属層は、Mgを含有し、その含有量が１重量％以下であることを特徴とする。   The alloy metal layer contains Mg, and the content thereof is 1% by weight or less.

上記合金金属層は、銅、亜鉛またはニッケルを含有し、その含有量が0.2重量％以上、3重量％以下であることを特徴とする。   The alloy metal layer contains copper, zinc or nickel, and the content thereof is 0.2 wt% or more and 3 wt% or less.

上記セラミックス基板はアルミナ、窒化アルミニウム、窒化珪素から選ばれる一種で作られることを特徴とする。   The ceramic substrate is made of one selected from alumina, aluminum nitride, and silicon nitride.

上記のように本発明によれば、アルミニウム−セラミックス絶縁基板のアルミニウムの硬度を一定範囲にすることで、熱衝撃を与えたときにセラミックスを保護し、なおかつ半田クラックを生じさせない、高ヒートサイクル耐量、高信頼性のパワーモジュールをもたらすことができる。   As described above, according to the present invention, by setting the aluminum hardness of the aluminum-ceramic insulating substrate within a certain range, the ceramic is protected when a thermal shock is applied, and a high heat cycle resistance is achieved without causing solder cracks. Can provide a highly reliable power module.

以下本発明の金属セラミックス基板の実施例を詳細に説明する。   Examples of the metal ceramic substrate of the present invention will be described in detail below.

（実施例１） Example 1

図１に示すように黒鉛鋳型９の上部の凹み１０内に重量でアルミニウム99.8％、シリコン0.2％の原料１１および黒鉛ピストン１２を設置し、鋳型９の下部空洞１３内に厚さ0.635mmの窒化アルミニウムのセラミックス基板１４を設置し、この鋳型９を800℃に加熱した炉の中に入れた。この結果、原料１１が溶けてピストン１２の重量で窒化アルミニウムのセラミックス基板１４を設置した空洞１３内に入り込んだ後、鋳型９を加熱炉から取り出し、室温まで冷却した。なお、本実施例においては、黒鉛鋳型９の酸化を防ぐために、加熱および冷却を窒素雰囲気中で行った。このように作製したセラミックス基板１４の両面に夫々0.5mm厚さのアルミニウム合金層を有するセラミックス基板１４を機械研磨および電解研磨した。   As shown in FIG. 1, 99.8% aluminum and 0.2% silicon raw material 11 and graphite piston 12 are placed in the upper recess 10 of the graphite mold 9, and a nitriding film having a thickness of 0.635 mm is formed in the lower cavity 13 of the mold 9. An aluminum ceramic substrate 14 was placed, and the mold 9 was placed in a furnace heated to 800 ° C. As a result, after the raw material 11 melted and entered the cavity 13 in which the aluminum nitride ceramic substrate 14 was installed by the weight of the piston 12, the mold 9 was taken out of the heating furnace and cooled to room temperature. In this example, heating and cooling were performed in a nitrogen atmosphere in order to prevent oxidation of the graphite mold 9. The ceramic substrate 14 having an aluminum alloy layer having a thickness of 0.5 mm on both surfaces of the ceramic substrate 14 thus manufactured was mechanically polished and electropolished.

この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ25であった。次いで、アルミニウム合金属上に無電解Ni−Pメッキを3μｍ施した後この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 25. Next, after electroless Ni-P plating was applied to aluminum composite metal by 3 μm, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using a eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル3000回でもセラミックスに異常は無く、セラミックス−ベース板間の半田にも異常は認められなかった。   When the heat cycle tolerance of this module was examined, no abnormality was found in the ceramics even after 3000 heat cycles, and no abnormality was found in the solder between the ceramic and the base plate.

（実施例２） (Example 2)

原料１１の組成を重量でアルミニウム99.5％、シリコン0.5％とした以外は実施例１と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ30であった。次いで、アルミニウム合金属上に無電解Ni−Pメッキを3μｍ施した後この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as in Example 1 except that the composition of the raw material 11 was 99.5% aluminum and 0.5% silicon. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 30. Next, after electroless Ni-P plating was applied to aluminum composite metal by 3 μm, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using a eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル3000回でもセラミックスに異常は無く、セラミックス−ベース板間の半田にも異常は認められなかった。   When the heat cycle tolerance of this module was examined, no abnormality was found in the ceramics even after 3000 heat cycles, and no abnormality was found in the solder between the ceramic and the base plate.

（実施例３） (Example 3)

原料１１の組成を重量でアルミニウム98％、シリコン2％とした以外は実施例１と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ35であった。次いで、アルミニウム合金属上に無電解Ni−Pメッキを3μｍ施した後この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as in Example 1 except that the composition of the raw material 11 was 98% aluminum and 2% silicon. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 35. Next, after electroless Ni-P plating was applied to aluminum composite metal by 3 μm, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using a eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル3000回でもセラミックスに異常は無く、セラミックス−ベース板間の半田にも異常は認められなかった。   When the heat cycle tolerance of this module was examined, no abnormality was found in the ceramics even after 3000 heat cycles, and no abnormality was found in the solder between the ceramic and the base plate.

（実施例４） (Example 4)

セラミックスの種類をアルミナとした以外は実施例２と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ30であった。次いで、アルミニウム合金属上に無電解Ni−Pメッキを3μｍ施した後この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as in Example 2 except that the type of ceramic was alumina. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 30. Next, after electroless Ni-P plating was applied to aluminum composite metal by 3 μm, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using a eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル3000回でもセラミックスに異常は無く、セラミックス−ベース板間の半田にも異常は認められなかった。   When the heat cycle tolerance of this module was examined, no abnormality was found in the ceramics even after 3000 heat cycles, and no abnormality was found in the solder between the ceramic and the base plate.

（実施例５） (Example 5)

セラミックスの種類を窒化珪素とした以外は実施例２と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ30であった。次いで、アルミニウム合金属上に無電解Ni−Pメッキを3μｍ施した後この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as in Example 2 except that the type of ceramic was silicon nitride. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 30. Next, after electroless Ni-P plating was applied to aluminum composite metal by 3 μm, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using a eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル3000回でもセラミックスに異常は無く、セラミックス−ベース板間の半田にも異常は認められなかった。   When the heat cycle tolerance of this module was examined, no abnormality was found in the ceramics even after 3000 heat cycles, and no abnormality was found in the solder between the ceramic and the base plate.

（実施例６） (Example 6)

厚さ0.635mmの窒化アルミニウム基板の両面に重量でアルミニウム87.5％、シリコン12.5％の厚さ50μmろう材層を挟んで重量でアルミニウム99.5％、シリコン0.5％の厚さ0.4mmの板を積層し、これを640℃に加熱した真空雰囲気の炉の中に入れて、アルミニウム合金板と窒化アルミニウムを接合して、金属セラミック基板を得た。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ31であった。次いで、アルミニウム合金属上に無電解Ni−Pメッキを3μｍ施した後この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   The aluminum nitride substrate with a thickness of 0.635mm is laminated on both sides by a plate of aluminum 87.5% by weight, silicon 12.5% thickness 50μm brazing material layer, aluminum 99.5% by weight, silicon 0.5% thickness 0.4mm, This was put in a furnace in a vacuum atmosphere heated to 640 ° C., and an aluminum alloy plate and aluminum nitride were joined to obtain a metal ceramic substrate. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 31. Next, after electroless Ni-P plating was applied to aluminum composite metal by 3 μm, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using a eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル3000回でもセラミックスに異常は無く、セラミックス−ベース板間の半田にも異常は認められなかった。   When the heat cycle tolerance of this module was examined, no abnormality was found in the ceramics even after 3000 heat cycles, and no abnormality was found in the solder between the ceramic and the base plate.

（実施例７） (Example 7)

原料１１の組成を重量でアルミニウム97.9％、シリコン0.6％、Mn1.5％とした以外は実施例１と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ32であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。ここでMnは、硬度を上げるために加えたものである。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as in Example 1 except that the composition of the raw material 11 was 97.9% by weight of aluminum, 0.6% of silicon, and 1.5% of Mn. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was 32. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module. Here, Mn is added to increase the hardness.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル3000回でもセラミックスに異常は無く、セラミックス−ベース板間の半田にも異常は認められなかった。   When the heat cycle tolerance of this module was examined, no abnormality was found in the ceramics even after 3000 heat cycles, and no abnormality was found in the solder between the ceramic and the base plate.

（実施例８） (Example 8)

積層する板の組成を重量でアルミニウム98.6％、シリコン0.4％、Mg1％とした以外は実施例６と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ30であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。ここでMgは硬度を上げるために加えたものである。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as in Example 6 except that the composition of the laminated plates was 98.6% aluminum, 0.4% silicon, and 1% Mg. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 30. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module. Here, Mg is added to increase the hardness.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル3000回でもセラミックスに異常は無く、セラミックス−ベース板間の半田にも異常は認められなかった。   When the heat cycle tolerance of this module was examined, no abnormality was found in the ceramics even after 3000 heat cycles, and no abnormality was found in the solder between the ceramic and the base plate.

（実施例９） Example 9

原料１１の組成を重量でアルミニウム98％、Mn2％とした以外は実施例１と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ30であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as in Example 1 except that the composition of the raw material 11 was 98% aluminum and 2% Mn by weight. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 30. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル3000回でもセラミックスに異常は無く、セラミックス−ベース板間の半田にも異常は認められなかった。   When the heat cycle tolerance of this module was examined, no abnormality was found in the ceramics even after 3000 heat cycles, and no abnormality was found in the solder between the ceramic and the base plate.

（実施例１０） (Example 10)

原料１１の組成を重量でアルミニウム99.8％、Mg0.2％とした以外は実施例１と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ25であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as in Example 1 except that the composition of the raw material 11 was 99.8% aluminum and 0.2% Mg. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 25. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル3000回でもセラミックスに異常は無く、セラミックス−ベース板間の半田にも異常は認められなかった。   When the heat cycle tolerance of this module was examined, no abnormality was found in the ceramics even after 3000 heat cycles, and no abnormality was found in the solder between the ceramic and the base plate.

（実施例１１） (Example 11)

原料１１の組成を重量でアルミニウム99.5％、Mg0.5％とした以外は実施例１と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ27であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as in Example 1 except that the composition of the raw material 11 was 99.5% aluminum and 0.5% Mg. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 27. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル3000回でもセラミックスに異常は無く、セラミックス−ベース板間の半田にも異常は認められなかった。   When the heat cycle tolerance of this module was examined, no abnormality was found in the ceramics even after 3000 heat cycles, and no abnormality was found in the solder between the ceramic and the base plate.

（実施例１２） (Example 12)

セラミックスの種類をアルミナとした以外は実施例１１と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ27であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as in Example 11 except that the ceramic type was alumina. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 27. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル3000回でもセラミックスに異常は無く、セラミックス−ベース板間の半田にも異常は認められなかった。   When the heat cycle tolerance of this module was examined, no abnormality was found in the ceramics even after 3000 heat cycles, and no abnormality was found in the solder between the ceramic and the base plate.

（実施例１３） (Example 13)

セラミックスの種類を窒化珪素とした以外は実施例１１と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ27であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as in Example 11 except that the type of ceramic was silicon nitride. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 27. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル3000回でもセラミックスに異常は無く、セラミックス−ベース板間の半田にも異常は認められなかった。   When the heat cycle tolerance of this module was examined, no abnormality was found in the ceramics even after 3000 heat cycles, and no abnormality was found in the solder between the ceramic and the base plate.

（実施例１４） (Example 14)

原料１１の組成を重量でアルミニウム99％、Cu1％とした以外は実施例１と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ30であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as in Example 1 except that the composition of the raw material 11 was 99% aluminum and 1% Cu by weight. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 30. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル3000回でもセラミックスに異常は無く、セラミックス−ベース板間の半田にも異常は認められなかった。   When the heat cycle tolerance of this module was examined, no abnormality was found in the ceramics even after 3000 heat cycles, and no abnormality was found in the solder between the ceramic and the base plate.

（実施例１５） (Example 15)

原料１１の組成を重量でアルミニウム98％、Cu2％とした以外は実施例１と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ32であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as in Example 1 except that the composition of the raw material 11 was 98% aluminum and 2% Cu by weight. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was 32. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル3000回でもセラミックスに異常は無く、セラミックス−ベース板間の半田にも異常は認められなかった。   When the heat cycle tolerance of this module was examined, no abnormality was found in the ceramics even after 3000 heat cycles, and no abnormality was found in the solder between the ceramic and the base plate.

（実施例１６） (Example 16)

セラミックスの種類をアルミナとした以外は実施例１５と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ32であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as in Example 15 except that the ceramic type was alumina. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was 32. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル3000回でもセラミックスに異常は無く、セラミックス−ベース板間の半田にも異常は認められなかった。   When the heat cycle tolerance of this module was examined, no abnormality was found in the ceramics even after 3000 heat cycles, and no abnormality was found in the solder between the ceramic and the base plate.

（実施例１７） (Example 17)

セラミックスの種類を窒化珪素とした以外は実施例１５と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ32であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as in Example 15 except that the type of ceramic was silicon nitride. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was 32. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル3000回でもセラミックスに異常は無く、セラミックス−ベース板間の半田にも異常は認められなかった。   When the heat cycle tolerance of this module was examined, no abnormality was found in the ceramics even after 3000 heat cycles, and no abnormality was found in the solder between the ceramic and the base plate.

（実施例１８） (Example 18)

原料１１の組成を重量でアルミニウム98％、Zn2％とした以外は実施例１と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ34であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as in Example 1 except that the composition of the raw material 11 was 98% aluminum and 2% Zn by weight. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 34. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル3000回でもセラミックスに異常は無く、セラミックス−ベース板間の半田にも異常は認められなかった。   When the heat cycle tolerance of this module was examined, no abnormality was found in the ceramics even after 3000 heat cycles, and no abnormality was found in the solder between the ceramic and the base plate.

（実施例１９） (Example 19)

原料１１の組成を重量でアルミニウム99.5％、Ni0.5％とした以外は実施例１と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ33であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as in Example 1 except that the composition of the raw material 11 was 99.5% aluminum and 0.5% Ni by weight. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 33. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル3000回でもセラミックスに異常は無く、セラミックス−ベース板間の半田にも異常は認められなかった。   When the heat cycle tolerance of this module was examined, no abnormality was found in the ceramics even after 3000 heat cycles, and no abnormality was found in the solder between the ceramic and the base plate.

（実施例２０） (Example 20)

厚さ0.635mmの窒化アルミニウム基板の両面に重量でアルミニウム87.5％、シリコン12.5％の厚さ50μmろう材層を挟んで重量でアルミニウム98％、Mn2％の厚さ0.4mmの板を積層し、これを640℃に加熱した真空雰囲気の炉の中に入れて、アルミニウム合金板と窒化アルミニウムを接合して、金属セラミック基板を得た。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ25であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   An aluminum nitride substrate with a thickness of 0.635 mm is laminated on both sides by a plate of aluminum with a thickness of 87.5% by weight and silicon with a thickness of 12.5% with a thickness of 50 μm and a 98 mm aluminum by weight and Mn2% 0.4 mm thickness. Was put in a furnace having a vacuum atmosphere heated to 640 ° C., and an aluminum alloy plate and aluminum nitride were joined together to obtain a metal ceramic substrate. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 25. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル3000回でもセラミックスに異常は無く、セラミックス−ベース板間の半田にも異常は認められなかった。   When the heat cycle tolerance of this module was examined, no abnormality was found in the ceramics even after 3000 heat cycles, and no abnormality was found in the solder between the ceramic and the base plate.

（実施例２１） (Example 21)

積層する板の組成を重量でアルミニウム99.8％、Mg0.2％とした以外は実施例２０と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ25であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。ここでMgは硬度を上げるために加えたものである。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as in Example 20 except that the composition of the laminated plates was 99.8% aluminum and 0.2% Mg by weight. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 25. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module. Here, Mg is added to increase the hardness.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル3000回でもセラミックスに異常は無く、セラミックス−ベース板間の半田にも異常は認められなかった。   When the heat cycle tolerance of this module was examined, no abnormality was found in the ceramics even after 3000 heat cycles, and no abnormality was found in the solder between the ceramic and the base plate.

（実施例２２） (Example 22)

積層する板の組成を重量でアルミニウム99.5％、Mg0.5％とした以外は実施例２０と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ27であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。ここでMgは硬度を上げるために加えたものである。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as in Example 20 except that the composition of the laminated plates was 99.5% aluminum and 0.5% Mg by weight. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 27. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module. Here, Mg is added to increase the hardness.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル3000回でもセラミックスに異常は無く、セラミックス−ベース板間の半田にも異常は認められなかった。   When the heat cycle tolerance of this module was examined, no abnormality was found in the ceramics even after 3000 heat cycles, and no abnormality was found in the solder between the ceramic and the base plate.

（実施例２３）   (Example 23)

セラミックスの種類をアルミナとした以外は実施例２２と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ27であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as in Example 22 except that the ceramic type was alumina. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 27. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル3000回でもセラミックスに異常は無く、セラミックス−ベース板間の半田にも異常は認められなかった。   When the heat cycle tolerance of this module was examined, no abnormality was found in the ceramics even after 3000 heat cycles, and no abnormality was found in the solder between the ceramic and the base plate.

（実施例２４） (Example 24)

セラミックスの種類を窒化珪素とした以外は実施例２２と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ27であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as in Example 22 except that the type of ceramic was silicon nitride. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 27. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル3000回でもセラミックスに異常は無く、セラミックス−ベース板間の半田にも異常は認められなかった。   When the heat cycle tolerance of this module was examined, no abnormality was found in the ceramics even after 3000 heat cycles, and no abnormality was found in the solder between the ceramic and the base plate.

（実施例２５） (Example 25)

原料１１の組成を重量でアルミニウム99％、Cu1％とした以外は実施例２０と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ31であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as in Example 20 except that the composition of the raw material 11 was 99% aluminum and 1% Cu by weight. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 31. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル3000回でもセラミックスに異常は無く、セラミックス−ベース板間の半田にも異常は認められなかった。   When the heat cycle tolerance of this module was examined, no abnormality was found in the ceramics even after 3000 heat cycles, and no abnormality was found in the solder between the ceramic and the base plate.

（実施例２６） (Example 26)

原料１１の組成を重量でアルミニウム98％、Cu2％とした以外は実施例２０と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ33であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as Example 20 except that the composition of the raw material 11 was 98% aluminum and 2% Cu by weight. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 33. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル3000回でもセラミックスに異常は無く、セラミックス−ベース板間の半田にも異常は認められなかった。   When the heat cycle tolerance of this module was examined, no abnormality was found in the ceramics even after 3000 heat cycles, and no abnormality was found in the solder between the ceramic and the base plate.

（実施例２７） (Example 27)

セラミックスの種類をアルミナとした以外は実施例２６と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ33であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as in Example 26 except that the type of ceramic was alumina. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 33. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル3000回でもセラミックスに異常は無く、セラミックス−ベース板間の半田にも異常は認められなかった。   When the heat cycle tolerance of this module was examined, no abnormality was found in the ceramics even after 3000 heat cycles, and no abnormality was found in the solder between the ceramic and the base plate.

（実施例２８） (Example 28)

セラミックスの種類を窒化珪素とした以外は実施例２６と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ33であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as in Example 26 except that the type of ceramic was silicon nitride. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 33. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル3000回でもセラミックスに異常は無く、セラミックス−ベース板間の半田にも異常は認められなかった。   When the heat cycle tolerance of this module was examined, no abnormality was found in the ceramics even after 3000 heat cycles, and no abnormality was found in the solder between the ceramic and the base plate.

（実施例２９） (Example 29)

原料１１の組成を重量でアルミニウム98％、Zn2％とした以外は実施例２０と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ35であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as in Example 20 except that the composition of the raw material 11 was 98% aluminum and 2% Zn by weight. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 35. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル3000回でもセラミックスに異常は無く、セラミックス−ベース板間の半田にも異常は認められなかった。   When the heat cycle tolerance of this module was examined, no abnormality was found in the ceramics even after 3000 heat cycles, and no abnormality was found in the solder between the ceramic and the base plate.

（実施例３０） (Example 30)

原料１１の組成を重量でアルミニウム99.5％、Ni0.5％とした以外は実施例２０と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ33であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as in Example 20 except that the composition of the raw material 11 was 99.5% aluminum and 0.5% Ni by weight. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 33. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル3000回でもセラミックスに異常は無く、セラミックス−ベース板間の半田にも異常は認められなかった。   When the heat cycle tolerance of this module was examined, no abnormality was found in the ceramics even after 3000 heat cycles, and no abnormality was found in the solder between the ceramic and the base plate.

（実施例３１） (Example 31)

原料１１の組成を重量でアルミニウム99.4％、シリコン0.1％、Mg0.5％とした以外は実施例１と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ28であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。ここでMnは、硬度を上げるために加えたものである。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as in Example 1 except that the composition of the raw material 11 was 99.4% aluminum, 0.1% silicon, and 0.5% Mg. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 28. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module. Here, Mn is added to increase the hardness.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル3000回でもセラミックスに異常は無く、セラミックス−ベース板間の半田にも異常は認められなかった。   When the heat cycle tolerance of this module was examined, no abnormality was found in the ceramics even after 3000 heat cycles, and no abnormality was found in the solder between the ceramic and the base plate.

（実施例３２） (Example 32)

厚さ0.635mmの窒化アルミニウム基板の両面に重量でアルミニウム87.5％、シリコン12.5％の厚さ50μmろう材層を挟んで重量でアルミニウム99.4％、シリコン0.1％、Mg0.5％の厚さ0.4mmの板を積層し、これを640℃に加熱した真空雰囲気の炉の中に入れて、アルミニウム合金板と窒化アルミニウムを接合して、金属セラミック基板を得た。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ28であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   An aluminum nitride substrate with a thickness of 0.635mm is 87.5% aluminum by weight and a 50μm thick solder layer with a thickness of 12.5% silicon. The plates were laminated and placed in a vacuum atmosphere furnace heated to 640 ° C., and the aluminum alloy plate and aluminum nitride were joined to obtain a metal ceramic substrate. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 28. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル3000回でもセラミックスに異常は無く、セラミックス−ベース板間の半田にも異常は認められなかった。   When the heat cycle tolerance of this module was examined, no abnormality was found in the ceramics even after 3000 heat cycles, and no abnormality was found in the solder between the ceramic and the base plate.

（実施例３３） (Example 33)

積層する板の組成を重量でアルミニウム98.9％、シリコン0.1％、Cu1％とした以外は実施例３１と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ32であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as in Example 31 except that the composition of the laminated plates was 98.9% aluminum, 0.1% silicon, and 1% Cu. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was 32. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル3000回でもセラミックスに異常は無く、セラミックス−ベース板間の半田にも異常は認められなかった。   When the heat cycle tolerance of this module was examined, no abnormality was found in the ceramics even after 3000 heat cycles, and no abnormality was found in the solder between the ceramic and the base plate.

（実施例３４） (Example 34)

積層する板の組成を重量でアルミニウム98.9％、シリコン0.1％、Cu1％とした以外は実施例３２と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ32であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as in Example 32 except that the composition of the laminated plates was 98.9% by weight of aluminum, 0.1% of silicon, and 1% of Cu. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was 32. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル3000回でもセラミックスに異常は無く、セラミックス−ベース板間の半田にも異常は認められなかった。   When the heat cycle tolerance of this module was examined, no abnormality was found in the ceramics even after 3000 heat cycles, and no abnormality was found in the solder between the ceramic and the base plate.

（実施例３５） (Example 35)

積層する板の組成を重量でアルミニウム98.8％、シリコン0.1％、Mg0.1％、Cu1％とした以外は実施例３１と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ33であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as in Example 31 except that the composition of the laminated plates was 98.8% aluminum, 0.1% silicon, 0.1% Mg, and 1% Cu. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 33. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル3000回でもセラミックスに異常は無く、セラミックス−ベース板間の半田にも異常は認められなかった。   When the heat cycle tolerance of this module was examined, no abnormality was found in the ceramics even after 3000 heat cycles, and no abnormality was found in the solder between the ceramic and the base plate.

（実施例３６） (Example 36)

積層する板の組成を重量でアルミニウム98.8％、シリコン0.1％、Mg0.1％、Cu1％とした以外は実施例３２と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ33であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as in Example 32 except that the composition of the laminated plates was 98.8% aluminum, 0.1% silicon, 0.1% Mg, and 1% Cu. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 33. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル3000回でもセラミックスに異常は無く、セラミックス−ベース板間の半田にも異常は認められなかった。   When the heat cycle tolerance of this module was examined, no abnormality was found in the ceramics even after 3000 heat cycles, and no abnormality was found in the solder between the ceramic and the base plate.

（比較例１） (Comparative Example 1)

比較の目的で以下のサンプルを作成した。図１示すように黒鉛鋳型９の上部の凹み１０内に重量でアルミニウム100％の原料１１および黒鉛ピストン１２を設置し、下部空洞１３内に厚さ0.635mmの窒化アルミニウム基板４を設置し、鋳型９を800℃に加熱した炉の中に入れた。原料１１が溶けて、ピストン１２の重量で、窒化アルミニウムのセラミックス基板１４を設置した空洞１３内に入り込んだ後、鋳型９を加熱炉から取り出し、室温まで冷却した。なお、この比較例においては、黒鉛鋳型９の酸化を防ぐために、加熱および冷却を窒素雰囲気中で行った。このように作製した両面に夫々0.5mm厚さのアルミニウム合金層を有するセラミックス基板を機械研磨および電解研磨した。   The following samples were made for comparison purposes. As shown in FIG. 1, a raw material 11 made of 100% aluminum by weight and a graphite piston 12 are placed in a recess 10 at the upper part of a graphite mold 9, and an aluminum nitride substrate 4 having a thickness of 0.635 mm is placed in a lower cavity 13. 9 was placed in a furnace heated to 800 ° C. After the raw material 11 was melted and the weight of the piston 12 entered the cavity 13 in which the aluminum nitride ceramic substrate 14 was installed, the mold 9 was taken out of the heating furnace and cooled to room temperature. In this comparative example, heating and cooling were performed in a nitrogen atmosphere in order to prevent oxidation of the graphite mold 9. The ceramic substrate having aluminum alloy layers each having a thickness of 0.5 mm on both sides thus prepared was mechanically polished and electropolished.

この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ20であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 20. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル2000回でセラミックス−ベース板間の半田に微少クラックが発生した。但し、モジュール機能の低下はなかった。   When the heat cycle resistance of this module was examined, minute cracks were generated in the solder between the ceramic and the base plate after 2000 heat cycles. However, there was no decline in module function.

（比較例２） (Comparative Example 2)

原料１１の組成を重量でアルミニウム95％、シリコン5％とした以外は比較例１と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ40であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as in Comparative Example 1 except that the composition of the raw material 11 was 95% aluminum and 5% silicon. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 40. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル1000回でセラミックスにクラックが発生した。   When the heat cycle resistance of this module was examined, cracks occurred in ceramics after 1000 heat cycles.

（比較例３） (Comparative Example 3)

厚さ0.635mmの窒化アルミニウム基板の両面に重量でアルミニウム87.5％、シリコン12.5％の厚さ50μmろう材層を挟んでアルミニウム95％、シリコン5％の厚さ0.4mmの板を積層し、これを640℃に加熱した真空雰囲気の炉の中に入れて、アルミニウム合金板と窒化アルミニウムを接合して、金属セラミックス基板を得た。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ40であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   A 0.6mm thick aluminum nitride substrate was laminated on both sides by a weight of 87.5% aluminum, 12.5% silicon, 50μm thick brazing material layer, and 95% aluminum, 5% silicon 0.4% thick plate. It put in the furnace of the vacuum atmosphere heated at 640 degreeC, the aluminum alloy plate and the aluminum nitride were joined, and the metal ceramic substrate was obtained. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 40. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル1000回でセラミックスにクラックが発生した。   When the heat cycle resistance of this module was examined, cracks occurred in ceramics after 1000 heat cycles.

（比較例４） (Comparative Example 4)

原料１１の組成を重量でアルミニウム95％、Ni5％とした以外は比較例１と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ42であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as in Comparative Example 1 except that the composition of the raw material 11 was 95% aluminum and 5% Ni by weight. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 42. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル1000回でセラミックスにクラックが発生した。また、ヒートサイクル1000回でもセラミックス−ベース板間の半田にクラックが発生しなかった。   When the heat cycle resistance of this module was examined, cracks occurred in ceramics after 1000 heat cycles. Further, no cracks occurred in the solder between the ceramic and the base plate even after 1000 heat cycles.

（比較例５） (Comparative Example 5)

原料１１の組成を重量でアルミニウム95％、Cu5％とした以外は比較例１と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ68であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as in Comparative Example 1 except that the composition of the raw material 11 was 95% aluminum and 5% Cu by weight. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 68. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル100回でセラミックスにクラックが発生した。また、ヒートサイクル100回でもセラミックス−ベース板間の半田にクラックが発生しなかった。   When the heat cycle resistance of this module was examined, cracks occurred in ceramics after 100 heat cycles. In addition, no crack was generated in the solder between the ceramic and the base plate even after 100 heat cycles.

（比較例６） (Comparative Example 6)

原料１１の組成を重量でアルミニウム98％、Mg2％とした以外は比較例１と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ67であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as in Comparative Example 1 except that the composition of the raw material 11 was 98% aluminum and 2% Mg by weight. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 67. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル100回でセラミックスにクラックが発生した。また、ヒートサイクル100回でもセラミックス−ベース板間の半田にクラックが発生しなかった。   When the heat cycle resistance of this module was examined, cracks occurred in ceramics after 100 heat cycles. In addition, no crack was generated in the solder between the ceramic and the base plate even after 100 heat cycles.

（比較例７） (Comparative Example 7)

原料１１の組成を重量でアルミニウム95％、Zn5％とした以外は比較例１と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ40であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as in Comparative Example 1 except that the composition of the raw material 11 was 95% aluminum and 5% Zn by weight. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 40. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル1000回でセラミックスにクラックが発生した。また、ヒートサイクル1000回でもセラミックス−ベース板間の半田にクラックが発生しなかった。   When the heat cycle resistance of this module was examined, cracks occurred in ceramics after 1000 heat cycles. Further, no cracks occurred in the solder between the ceramic and the base plate even after 1000 heat cycles.

（比較例８） (Comparative Example 8)

原料１１の組成を重量でアルミニウム95％、Cu5％とした以外は比較例３と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ68であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as in Comparative Example 3 except that the composition of the raw material 11 was 95% aluminum and 5% Cu by weight. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 68. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル100回でセラミックスにクラックが発生した。また、ヒートサイクル100回でもセラミックス−ベース板間の半田に微少クラックが発生しなかった。   When the heat cycle resistance of this module was examined, cracks occurred in ceramics after 100 heat cycles. In addition, the micro-crack did not occur in the solder between the ceramic and the base plate even after 100 heat cycles.

（比較例９） (Comparative Example 9)

原料１１の組成を重量でアルミニウム98％、Mg2％とした以外は比較例３と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ67であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as in Comparative Example 3 except that the composition of the raw material 11 was 98% aluminum and 2% Mg by weight. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 67. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル100回でセラミックスにクラックが発生した。また、ヒートサイクル100回でもセラミックス−ベース板間の半田に微少クラックが発生しなかった。   When the heat cycle resistance of this module was examined, cracks occurred in ceramics after 100 heat cycles. In addition, the micro-crack did not occur in the solder between the ceramic and the base plate even after 100 heat cycles.

（比較例１０） (Comparative Example 10)

原料１１の組成を重量でアルミニウム95％、Cu0.1％とした以外は比較例１と同じ条件で金属セラミックス基板の調製を行った。この基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ22であった。次いで、この金属セラミックス基板を共晶組成の半田を用い、Al−SiCの複合材ベース板に半田付けしてモジュールを形成した。   A metal ceramic substrate was prepared under the same conditions as in Comparative Example 1 except that the composition of the raw material 11 was 95% aluminum and 0.1% Cu by weight. The Vickers hardness of the aluminum alloy layer of this substrate was measured and found to be 22. Next, this metal ceramic substrate was soldered to an Al—SiC composite base plate using eutectic solder to form a module.

このモジュールのヒートサイクル耐量を調べたところ、ヒートサイクル2000回でもセラミックスにクラックが発生した。また、ヒートサイクル2000回でセラミックス−ベース板間の半田にクラックが発生しなかった。   When the heat cycle resistance of this module was examined, cracks occurred in the ceramics even after 2000 heat cycles. In addition, no cracks occurred in the solder between the ceramic and the base plate after 2000 heat cycles.

以上の結果を表１〜表５に示す。   The above results are shown in Tables 1-5.

Figure 2007036263
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なお、上記セラミックス基板上には半田濡れ性や耐食性を向上させるためにAuメッキ、Niメッキ等を行うことができる。   Note that Au plating, Ni plating, or the like can be performed on the ceramic substrate in order to improve solder wettability and corrosion resistance.

また、セラミックスのなかでも特にアルミナは絶縁性が高く安価であり、窒化アルミニウムは熱伝導率が高いことで放熱性に優れ、大電流コントロール用のチップを搭載することができ、窒化珪素は強度が高いので耐ヒートサイクル性が高くエンジンルームなどの厳しい環境での対応性に優れている。   Among ceramics, especially alumina is highly insulating and inexpensive, and aluminum nitride has high heat conductivity, so it has excellent heat dissipation and can be equipped with a chip for large current control. Silicon nitride has high strength. Because it is high, it has high heat cycle resistance and excellent compatibility in harsh environments such as engine rooms.

なお、ビッカース硬度はマイクロビッカース硬度計（株式会社明石社製のMVK−G1）を用い、50gを15秒間加重して、セラミックスにアルミニウムを接合した後の、アルミニウム表面を測定した。表１に示す測定値は20個所を測定した平均値である。また、ヒートサイクル試験の条件は気相式で1サイクルは、−40℃を30分保持、25℃を10分保持、125℃を30分保持、25℃を１０分保持、−40℃を30分保持のプロセスとした。   The Vickers hardness was measured by using a micro Vickers hardness meter (MVK-G1 manufactured by Akashi Co., Ltd.), weighing 50 g for 15 seconds, and measuring the aluminum surface after bonding aluminum to ceramics. The measured values shown in Table 1 are average values obtained by measuring 20 locations. Also, the heat cycle test conditions were gas phase, and for one cycle, -40 ° C was held for 30 minutes, 25 ° C was held for 10 minutes, 125 ° C was held for 30 minutes, 25 ° C was held for 10 minutes, and -40 ° C was held for 30 minutes. It was a minute retention process.

本発明の基板の製造装置の説明図である。It is explanatory drawing of the manufacturing apparatus of the board | substrate of this invention. 従来のパワーモジュールの縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of the conventional power module.

符号の説明Explanation of symbols

１ 半導体チップ
２ セラミックス基板
３ 金属層
４ 半田
５ 他方の金属層
６ 半田
７ 金属ベース板
８ メッキ層
９ 鋳型
１０ 凹み
１１ 原料
１２ 黒鉛ピストン
１３ 空洞
１４ 窒化アルミニウムのセラミックス基板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Semiconductor chip 2 Ceramic substrate 3 Metal layer 4 Solder 5 Other metal layer 6 Solder 7 Metal base plate 8 Plating layer 9 Mold 10 Recess 11 Raw material 12 Graphite piston 13 Cavity 14 Aluminum nitride ceramic substrate

Claims (13)

セラミックス基板の少なくとも一部の面にアルミニウムを主とする合金金属層が形成された半導体実装用絶縁基板において、上記合金金属層のビッカース硬度が25以上、40未満であることを特徴とする半導体実装用絶縁基板。   A semiconductor mounting insulating substrate in which an alloy metal layer mainly composed of aluminum is formed on at least a part of a surface of a ceramic substrate, wherein the alloy metal layer has a Vickers hardness of 25 or more and less than 40 Insulating substrate. 上記合金金属層がシリコンを含有し、その含有量が0.2重量％以上、5重量％未満であることを特徴とする請求項１記載の半導体実装用絶縁基板。   2. The insulating substrate for semiconductor mounting according to claim 1, wherein the alloy metal layer contains silicon, and the content thereof is 0.2 wt% or more and less than 5 wt%. 上記合金金属層がMnを含有し、その含有量が1.5重量％以下であることを特徴とする請求項１または２記載の半導体実装用絶縁基板。   3. The insulating substrate for semiconductor mounting according to claim 1, wherein the alloy metal layer contains Mn and the content thereof is 1.5% by weight or less. 上記合金金属層がMgを含有し、その含有量が１重量％以下であることを特徴とする請求項１、２または３記載の半導体実装用絶縁基板。   4. The insulating substrate for semiconductor mounting according to claim 1, wherein the alloy metal layer contains Mg and the content thereof is 1% by weight or less. 上記合金金属層が銅を含有し、その含有量が0.2重量％以上、3重量％以下であることを特徴とする請求項１、２、３または４記載の半導体実装用絶縁基板。   5. The insulating substrate for semiconductor mounting according to claim 1, wherein the alloy metal layer contains copper, and the content thereof is 0.2% by weight or more and 3% by weight or less. 上記合金金属層が亜鉛を含有し、その含有量が0.2重量％以上、3重量％以下であることを特徴とする請求項１記載の半導体実装用絶縁基板。   2. The insulating substrate for semiconductor mounting according to claim 1, wherein the alloy metal layer contains zinc, and the content thereof is 0.2 wt% or more and 3 wt% or less. 上記合金金属層がニッケルを含有し、その含有量が0.2重量％以上、3重量％以下であることを特徴とする請求項１記載の半導体実装用絶縁基板。   2. The insulating substrate for semiconductor mounting according to claim 1, wherein the alloy metal layer contains nickel, and the content thereof is 0.2 wt% or more and 3 wt% or less. 上記セラミックス基板がアルミナ、窒化アルミニウム、窒化珪素から選ばれる一種で作られることを特徴とする請求項１、２、３、４、５、６または７記載の半導体実装用絶縁基板。   8. The insulating substrate for semiconductor mounting according to claim 1, wherein the ceramic substrate is made of one selected from alumina, aluminum nitride, and silicon nitride. 金属ベース板と、一面を上記金属ベース板に接合された少なくとも一部の面にアルミニウムを主とする合金金属層が形成されたセラミックス基板と、上記セラミックス基板の他面に設けた半導体チップとを有し、上記合金金属層のビッカース硬度が25以上、40未満であることを特徴とするパワーモジュール。   A metal base plate, a ceramic substrate on which at least a part of one surface joined to the metal base plate is formed with an alloy metal layer mainly composed of aluminum, and a semiconductor chip provided on the other surface of the ceramic substrate A power module comprising: the alloy metal layer having a Vickers hardness of 25 or more and less than 40. 上記合金金属層がシリコンを含有し、その含有量が0.2重量％以上、5重量％未満であることを特徴とする請求項９記載のパワーモジュール。   The power module according to claim 9, wherein the alloy metal layer contains silicon, and the content thereof is 0.2 wt% or more and less than 5 wt%. 上記合金金属層がMnを含有し、その含有量が1.5重量％以下であることを特徴とする請求項９または１０記載のパワーモジュール。   The power module according to claim 9 or 10, wherein the alloy metal layer contains Mn and the content thereof is 1.5 wt% or less. 上記合金金属層がMgを含有し、その含有量が１重量％以下であることを特徴とする請求項９、１０または１１記載のパワーモジュール。   The power module according to claim 9, 10 or 11, wherein the alloy metal layer contains Mg and the content thereof is 1 wt% or less. 上記セラミックス基板がアルミナ、窒化アルミニウム、窒化珪素から選ばれる一種で作られることを特徴とする請求項９、１０、１１または１２記載のパワーモジュール。   The power module according to claim 9, 10, 11 or 12, wherein the ceramic substrate is made of one selected from alumina, aluminum nitride, and silicon nitride.
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