JP2007035386A - 電子線装置及び該装置を用いたデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【手段】 複数の一次電子線によって試料Sを走査し、試料Sから放出される複数の二次電子線を写像投影光学系Cを介して検出する電子線装置において、写像投影光学系Cは軸上色収差補正レンズ20を備える。軸上色収差補正レンズ20は写像投影光学系Cのレンズ19の像面に配置され、4極子電極と4極子磁極とを有するウィーン・フィルタであることが望ましい。
【選択図】 図1
Description
第52回応用物理学関係連合講演会 講演予稿集(2005 春 埼玉大学)、pp.812、815
請求項1の発明は、
複数の一次電子線によって試料を走査し、該試料から放出される複数の二次電子線を写像投影光学系を介して検出する電子線装置であって、
前記写像投影光学系が軸上色収差又は球面収差補正レンズを備えることを特徴とする電子線装置、
を提供する。
複数の一次電子線によって第1電子光学系を介して試料を走査し、該試料から放出された複数の二次電子線を第2電子光学系を介して検出器に結像させて前記試料の像を検出する電子線装置であって、
前記第1電子光学系が第1軸上色収差補正レンズを備え、前記第2電子光学系が第2軸上色収差補正レンズを備え、
前記第1軸上色収差補正レンズと前記第2軸上色収差補正レンズとが、偶数の電磁極を有するウィーン・フィルタである
ことを特徴とする電子線装置、
を提供する。
複数の一次電子線によって試料を照射するための電子光学系と、前記試料から放出された複数の二次電子線を集束する対物レンズ及び集束された前記二次電子線の軸上色収差を補正する収差補正レンズを有し、軸上色収差補正された前記二次電子線を検出器に結像させるための電子光学系とを備える電子線装置であって、
前記対物レンズと前記収差補正レンズとの間に配置されたNA開口部材を備えることを特徴とする電子線装置、
を提供する。
請求項6の発明は、
一次電子線によって試料を走査し、該試料から放出された二次電子線を検出器に結像させて前記試料の像を検出する電子線装置であって、
前記一次電子線が、第1対物レンズによって集束されて試料を照射し、
前記二次電子線が前記第1対物レンズ及び第2対物レンズによって集束され、前記第1対物レンズと前記第2対物レンズとによって集束された前記二次電子線の軸上色収差を収差補正レンズによって補正し、軸上色収差補正された前記二次電子線を前記検出器に結像させ、
前記第1対物レンズと前記第2対物レンズとの間に、前記一次電子線と前記二次電子線とを分離するためのビーム分離器が配置されてなる
ことを特徴とする電子線装置、
を提供する。
請求項8の発明は、
請求項1〜7の発明における電子線装置において軸上色収差と球面収差のいずれかを補正するときに使用されるマーカー板であって、二次電子線放出係数の大きい平滑な面に径の異なる複数の穴又はドットが形成されてなることを特徴とするマーカー板、
を提供する。
1:マルチ開口部材、 2:コンデンサ・レンズ、 3、4:縮小レンズ、 5:NA開口部材、 6:収差補正レンズ、 7:第1走査偏向器、 8:プリ偏向器、 9:物点、 11:像点、 12、ビーム分離器、 13:第2走査偏向器、 14:軸対称電極、 15:第1MOL偏向器、 16:第2MOL偏向器、 17:対物レンズ、 19:二次電子像形成レンズ、 20:収差補正レンズ、 21、22:拡大レンズ、
30:ウィーン・フィルタ、 31:パーマロイ・コア、 32:ボア、 331〜3312:磁極及び電極、 341〜3412:絶縁スペーサ、
41:軸合わせ偏向器、 42:コンデンサ・レンズ、 43:軸合わせ偏向器、 44:成形開口部材、 45:コンデンサ・レンズ、 46:軸合わせ偏向器、 47:成形レンズ、 48:一次電子線軌道調整用偏向器、 49:ビーム分離器、 50:NA開口部材、 51:対物レンズ、 52:静電偏向器、 53:収差補正レンズ、 54:補助レンズ、 55、57:拡大レンズ、 56:補助レンズ群、 58:偏向器、
501:正方形の穴、 502:リング状の穴、 62〜65:CCD装置、
71、72:コンデンサ・レンズ、 73:開口部材、 74、75:レンズ、 76:偏向器、 77:ビーム分離器、 78:第1対物レンズ、 79:ビーム軌道修正偏向器、 80:NA開口部材、 81:第2対物レンズ、 82:収差補正レンズ、 83、85:拡大レンズ、 84:補助レンズ群、 90:CPU、 91:制御電源、
101:マーカー板: 101:小マーカー穴、 102:中マーカー穴、 103:大マーカー穴、 105:重金属のドット
Claims (8)
- 複数の一次電子線によって試料を走査し、該試料から放出される複数の二次電子線を写像投影光学系を介して検出する電子線装置であって、
前記写像投影光学系が軸上色収差又は球面収差補正レンズを備えることを特徴とする電子線装置。 - 請求項1に記載の電子線装置に使用するための軸上色収差又は球面収差補正レンズであって、多極子電極と多極子磁極とを有し、且つ、対向する前記電極間のボア径が光軸に沿って連続的に増減する区域を有する非分散のウィーン・フィルタであることを特徴とする軸上色収差補正レンズ。
- 複数の一次電子線によって第1電子光学系を介して試料を走査し、該試料から放出された複数の二次電子線を第2電子光学系を介して検出器に結像させて前記試料の像を検出する電子線装置であって、
前記第1電子光学系が第1軸上色収差補正レンズを備え、前記第2電子光学系が第2軸上色収差補正レンズを備え、
前記第1軸上色収差補正レンズと前記第2軸上色収差補正レンズとが、偶数の電磁極を有するウィーン・フィルタである
ことを特徴とする電子線装置。 - 複数の一次電子線によって試料を照射するための電子光学系と、前記試料から放出された複数の二次電子線を集束する対物レンズ及び集束された前記二次電子線の軸上色収差を補正する収差補正レンズを有し、軸上色収差補正された前記二次電子線を検出器に結像させるための電子光学系とを備える電子線装置であって、
前記対物レンズと前記収差補正レンズとの間に配置されたNA開口部材を備えることを特徴とする電子線装置。 - 前記対物レンズが、円筒状電極と円板状電極板とからなる電極を備えることを特徴とする、請求項8に記載の電子線装置。
- 一次電子線によって試料を走査し、該試料から放出された二次電子線を検出器に結像させて前記試料の像を検出する電子線装置であって、
前記一次電子線が、第1対物レンズによって集束されて試料を照射し、
前記二次電子線が前記第1対物レンズ及び第2対物レンズによって集束され、前記第1対物レンズと前記第2対物レンズとによって集束された前記二次電子線の軸上色収差を収差補正レンズによって補正し、軸上色収差補正された前記二次電子線を前記検出器に結像させ、
前記第1対物レンズと前記第2対物レンズとの間に、前記一次電子線と前記二次電子線とを分離するためのビーム分離器が配置されてなる
ことを特徴とする電子線装置。 - 前記第1対物レンズが、壁面の厚さが前記試料へ向かって連続的に減少する円錐台状電極板を備えることを特徴とする、請求項6に記載の電子線装置。
- 請求項1〜7のいずれか一つに記載の電子線装置において軸上色収差と球面収差のいずれかを補正するときに使用されるマーカー板であって、
二次電子線放出係数の大きい平滑な面に径の異なる複数の穴又はドットが形成されてなることを特徴とするマーカー板。
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