JP2007034279A - アルカリ現像性感光性樹脂組成物 - Google Patents
アルカリ現像性感光性樹脂組成物 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007034279A JP2007034279A JP2006155876A JP2006155876A JP2007034279A JP 2007034279 A JP2007034279 A JP 2007034279A JP 2006155876 A JP2006155876 A JP 2006155876A JP 2006155876 A JP2006155876 A JP 2006155876A JP 2007034279 A JP2007034279 A JP 2007034279A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin composition
- alkali
- epoxy
- group
- compound
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F290/00—Macromolecular compounds obtained by polymerising monomers on to polymers modified by introduction of aliphatic unsaturated end or side groups
- C08F290/08—Macromolecular compounds obtained by polymerising monomers on to polymers modified by introduction of aliphatic unsaturated end or side groups on to polymers modified by introduction of unsaturated side groups
- C08F290/14—Polymers provided for in subclass C08G
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G59/00—Polycondensates containing more than one epoxy group per molecule; Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups
- C08G59/14—Polycondensates modified by chemical after-treatment
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
- Epoxy Resins (AREA)
- Macromonomer-Based Addition Polymer (AREA)
Abstract
【解決手段】エポキシ樹脂(A)に不飽和一塩基酸(B)を付加させた構造を有するエポキシ付加物に対し、多塩基酸無水物(C)、続いて多官能エポキシ化合物(D)をエステル化させて得られた反応生成物を含有するアルカリ現像性樹脂組成物で、上記エポキシ付加物は、上記エポキシ樹脂(A)のエポキシ基1個に対し、上記不飽和一塩基酸(B)のカルボキシル基が0.1〜1.0個で付加させた構造を有し、上記エステル化は、上記エポキシ付加物の水酸基1個に対し、上記多塩基酸無水物(C)の酸無水物構造が0.1〜1.0個となる比率で、上記多官能エポキシ化合物(D)のエポキシ基が0.1〜1.0個となる比率で行われるアルカリ現像性樹脂組成物。
【選択図】なし
Description
また、本発明は、上記アルカリ現像性樹脂組成物の製造方法であって、上記一般式(I)で表されるエポキシ樹脂(A)に不飽和一塩基酸(B)を付加させてエポキシ付加物を得た後、該エポキシ付加物を、多塩基酸無水物(C)、続いて多官能エポキシ付加物(D)でエステル化して、請求項1記載のアルカリ現像性樹脂組成物を得るアルカリ現像性樹脂組成物の製造方法を提供するものである。
上記エポキシ樹脂(A)のエポキシ基1個に対する上記不飽和一塩基酸(B)のカルボキシル基の比率は、好ましくは0.4〜1.0個である。また、上記エポキシ化合物の水酸基1個に対し、多塩基酸無水物(C)の酸無水物構造の比率は好ましくは0.4〜1.0個であり、上記多官能エポキシ化合物(D)のエポキシ基の比率は好ましくは0.4〜1.0個である。
Xで表される炭素原子数3〜10のシクロアルキル基としては、例えば、Cyで示される炭素原子数3〜10のシクロアルキル基として例示したものが挙げられる。Xで示されるフェニル基又は炭素原子数3〜10のシクロアルキル基を置換してもよい炭素原子数1〜10のアルキル基、炭素原子数1〜10のアルコキシ基及びハロゲン原子としては、それぞれ、Y及びZで示されるものとして後に例示するものが挙げられる。
Y及びZで示される炭素原子数1〜10のアルキル基としては、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、イソブチル、第二ブチル、第三ブチル、アミル、イソアミル、第三アミル、ヘキシル、へプチル、オクチル、イソオクチル、第三オクチル、2−エチルヘキシル、ノニル、イソノニル、デシル、イソデシル等が挙げられる。Y及びZで示される炭素原子数1〜10のアルコキシ基としてはメトキシ、エトキシ、プロピルオキシ、ブチルオキシ、第二ブトキシ、第三ブトキシ、ペントキシ、ヘキシロキシ、ヘプトキシ、オクチロキシ、2−エチル−ヘキシロキシ等が挙げられる。Y及びZで示される炭素原子数2〜10のアルケニル基としては、ビニル、アリル、ブテニル、プロペニル等が挙げられる、Y及びZで示されるハロゲン原子としては、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素が挙げられる。
また、Xで示されるフェニル基及び炭素原子数3〜10のシクロアルキル基を置換してもよい上記のアルキル基及びアルコキシ基、並びにY及びZで示される上記のアルキル基、アルコキシ基及びアルケニル基は、ハロゲン原子で置換されていてもよく、該ハロゲン原子としては、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素が挙げられる。例えば、フッ素原子で置換された炭素原子数1〜10のアルキル基としては、モノフルオロメチル、ジフルオロメチル、トリフルオロメチル、トリフルオロエチル、パーフルオロエチル等が挙げられる。
まず、(A)成分であるエポキシ樹脂(1)に、(B)成分である不飽和一塩基酸(2)を付加させて、エポキシ付加物である化合物(3)を含む樹脂組成物を得る。(A)成分への(B)成分の付加反応は、常法に従って行なうことができるが、好ましくは、(A)成分のエポキシ基1個に対して(B)成分のカルボキシル基が0.1〜1.0個の比率を満たす量の(A)成分及び(B)成分を使用し、90〜150℃で5〜30時間反応させる。
続いて、エポキシ付加物である化合物(3)に、(C)成分である多塩基酸無水物(4)を反応させてエステル化反応を行い、エステル化合物である化合物(5)を含む樹脂組成物を得る。エポキシ付加物と(C)成分とのエステル化反応は、常法に従って行なうことができるが、好ましくは、上記エポキシ付加物の水酸基1個に対して(C)成分の酸無水物構造が0.1〜1.0個の比率を満たす量のエポキシ付加物及び(C)成分を使用し、50〜150℃で5〜10時間反応させる。
続いて、エステル化合物である化合物(5)に、更に(D)成分の多官能エポキシ化合物であるジエポキシ化合物(6)をエステル化反応させて、目的の反応生成物である化合物(7)を含む樹脂組成物を得ることができる。上記エステル化合物と(D)成分とのエステル化反応は、常法に従って行なうことができるが、好ましくは、上記エステル化合物及び(D)成分の使用量は、先に用いたエポキシ付加物の水酸基1個に対して(D)成分のエポキシ基が0.1〜1.0個の比率を満たす量とし、30〜150℃で2〜30時間反応を行なう。
すなわち、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールB型エポキシ樹脂、ビスフェノールC型エポキシ樹脂、ビスフェノールE型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールM型エポキシ樹脂、ビスフェノールP型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールZ型エポキシ樹脂等のアルキリデンビスフェノールポリグリシジルエーテル型エポキシ樹脂;上記アルキリデンビスフェノールポリグリシジルエーテル型エポキシ樹脂を水添して得られる水添ビスフェノール型ジグリシジルエーテル;エチレングリコールジグリシジルエーテル、1,3−プロピレングリコールジグリシジルエーテル、1,2−プロピレングリコールジグリシジルエーテル、1,4−ブタンジオールジグリシジルエーテル、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、1,8−オクタンジオールジグリシジルエーテル、1,10−デカンジオールジグリシジルエーテル、2,2−ジメチル−1,3−プロパンジオールジグリシジルエーテル、ジエチレングリコールジグリシジルエーテル、トリエチレングリコールジグリシジルエーテル、テトラエチレングリコールジグリシジルエーテル、ヘキサエチレングリコールジグリシジルエーテル、1,4−シクロヘキサンジメタノールジグリシジルエーテル、1,1,1−トリ(グリシジルオキシメチル)プロパン、1,1,1−トリ(グリシジルオキシメチル)エタン、1,1,1−トリ(グリシジルオキシメチル)メタン、1,1,1,1−テトラ(グリシジルオキシメチル)メタン、グリセリントリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、ソルビトールテトラグリシジルエーテル、ジペンタエリスリトールヘキサグリシジルエーテル等の脂肪族多価アルコールのグリシジルエーテル;プロピレングリコール、トリメチロールプロパン、グリセリン等の多価アルコールに2種以上のアルキレンオキシドを付加することによって得られるポリエーテルポリオールのポリグリシジルエーテル;フェノールノボラック型エポキシ化合物、ビフェニルノボラック型エポキシ化合物、クレゾールノボラック型エポキシ化合物、ビスフェノールAノボラック型エポキシ化合物、ジシクロペンタジエンノボラック型エポキシ化合物等のノボラック型エポキシ化合物;3,4−エポキシ−3−メチルシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシ−3−メチルシクロヘキサンカルボキシレート、3,4−エポキシ−5−メチルシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシ−5−メチルシクロヘキサンカルボキシレート、3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキサンカルボキシレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、1−エポキシエチル−3,4−エポキシシクロヘキサン、ビス(3,4−エポキシシクロヘキシルメチル)アジペート、メチレンビス(3,4−エポキシシクロヘキサン)、イソプロピリデンビス(3,4−エポキシシクロヘキサン)、ジシクロペンタジエンジエポキシド、エチレンビス(3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート)、1,2−エポキシ−2−エポキシエチルシクロヘキサン等の脂環式エポキシ化合物;フタル酸ジグリシジルエステル、テトラヒドロフタル酸ジグリシジルエステル、ダイマー酸グリシジルエステルなどのニ塩基酸のグリシジルエステル;テトラグリシジルジアミノジフェニルメタン、トリグリシジルP−アミノフェノール、N,N−ジグリシジルアニリンなどのグリシジルアミン類;1,3−ジグリシジル−5,5−ジメチルヒダントイン、トリグリシジルイソシアヌレート等の複素環式エポキシ化合物;ジシクロペンタジエンジオキシド等のジオキシド化合物;ナフタレン型エポキシ化合物、トリフェニルメタン型エポキシ化合物、ジシクロペンタジエン型エポキシ化合物等が挙げられる。
本発明のアルカリ現像性樹脂組成物の固形分の酸価は、20〜120mgKOH/gの範囲であることが好ましく、エポキシ化合物(E)の使用量は、上記酸価を満たすように選択するのが好ましい。
上記溶媒としては、通常、前記の各成分を溶解または分散しえる溶媒であれば特に制限はないが、例えば、メチルエチルケトン、メチルアミルケトン、ジエチルケトン、アセトン、メチルイソプロピルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;エチルエーテル、ジオキサン、テトラヒドロフラン、1,2−ジメトキシエタン、1,2−ジエトキシエタン、ジプロピレングリコールジメチルエーテル等のエーテル系溶媒;酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸−n−プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸n−ブチル等のエステル系溶媒;エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のセルソルブ系溶媒;メタノール、エタノール、イソ−又はn−プロパノール、イソ−又はn−ブタノール、アミルアルコール等のアルコール系溶媒;ベンゼン、トルエン、キシレン等のBTX系溶媒;ヘキサン、ヘプタン、オクタン、シクロヘキサン等の脂肪族炭化水素系溶媒;テレピン油、D−リモネン、ピネン等のテルペン系炭化水素油;ミネラルスピリット、スワゾール#310(コスモ松山石油(株))、ソルベッソ#100(エクソン化学(株))等のパラフィン系溶媒;四塩化炭素、クロロホルム、トリクロロエチレン、塩化メチレン等のハロゲン化脂肪族炭化水素系溶媒;クロロベンゼン等のハロゲン化芳香族炭化水素系溶媒;カルビトール系溶媒、アニリン、トリエチルアミン、ピリジン、酢酸、アセトニトリル、二硫化炭素、テトラヒドロフラン、N,N−ジメチルホルムアミド、N−メチルピロリドン等が挙げられ、中でも、ケトン類あるいはセロソルブ系溶媒が好ましい。これらの溶媒は1種又は2種以上の混合溶媒として使用することができる。
本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物において、上記溶媒の含有量は、アルカリ現像性感光性樹脂組成物に占める全固形分濃度が5〜40質量%、特に15〜30質量%となるように調整するとよい。
<ステップ1>1,1−ビス(4’−ヒドロキシフェニル)−1−(1’’−ビフェニル)−1−シクロヘキシルメタンの製造
ビフェニルシクロヘキシルケトン70.5g、フェノール200.7g及びチオ酢酸10.15gを仕込み、トリフルオロメタンスルホン酸40.0gを18℃で20分かけて滴下した。17〜19℃で18時間反応後、水500gを加えて反応を停止させ、トルエン500gを加え、有機層をpH3〜4になるまで水洗して有機層を分離した。トルエン、水及び過剰のフェノールを留去した。残さにトルエンを加えて析出した固体をろ別し、トルエンで分散洗浄して淡黄色結晶59.2g(収率51%)を得た。該淡黄色結晶の融点は239.5℃であり、該淡黄色結晶は目的物であることを確認した。
ステップ1で得られた1,1−ビス(4’−ヒドロキシフェニル)−1−(1’’−ビフェニル)−1−シクロヘキシルメタン57.5g及びエピクロルヒドリン195.8gを仕込み、ベンジルトリエチルアンモニウムクロリド0.602gを加えて64℃で18時間攪拌した。続いて54℃まで降温し、24重量%水酸化ナトリウム水溶液43.0gを滴下し、30分攪拌した。エピクロルヒドリン及び水を留去し、メチルイソブチルケトン216gを加えて水洗後、24重量%水酸化ナトリウム2.2gを滴下した。80℃で2時間攪拌後、室温まで冷却し、3重量%モノリン酸ナトリウム水溶液で中和し、水洗を行った。溶媒を留去して、黄色固体57g(収率79%)を得た。(融点64.2℃、エポキシ当量282、n=0.04)。該黄色結晶は目的物であることを確認した。
ステップ2で得られた1,1−ビス(4’−エポキシプロピルオキシフェニル)−1−(1’’−ビフェニル)−1−シクロヘキシルメタン(以下、化合物aともいう)1695g、アクリル酸(以下、化合物b−1ともいう)443g、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール6g、テトラブチルアンモニウムアセテート11g及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート1425gを仕込み、120℃で16時間攪拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート718g及び無水コハク酸(以下、化合物c−1ともいう)482g及びテトラブチルアンモニウムアセテート25gを加えて100℃で5時間攪拌した。更に、ステップ2で得られた1,1−ビス(4’−エポキシプロピルオキシフェニル)−1−(1’’−ビフェニル)−1−シクロヘキシルメタン(以下、化合物d−1ともいう)508g及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート218gを加えて120℃で12時間、80℃で2時間、40℃で2時間攪拌後、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート1463gを加えて、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート溶液として目的物であるアルカリ現像性樹脂組成物No.1を得た(Mw=4200、Mn=2100、酸価(固形分)55mgKOH/g)。
尚、アルカリ現像性樹脂組成物No.1が含有する反応生成物は、(A)成分である化合物aに(B)成分である化合物b−1を付加させた構造を有するエポキシ付加物の水酸基1個に対し、(C)成分である化合物c−1の酸無水物構造が0.8個の比率で、(D)成分である化合物dのエポキシ基が0.3個の比率でエポキシ付加物と化合物c−1及び化合物d−1とをエステル化反応させて得られたものである。また、上記エポキシ付加物は、化合物aのエポキシ基1個に対し、化合物bのカルボキシル基が1.0個の比率で付加させた構造を有するものである。
1,1−ビス(4’−エポキシプロピルオキシフェニル)−1−(1’’−ビフェニル)−1−シクロヘキシルメタン(化合物a)43g、アクリル酸(化合物b−1)33.6g、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール0.04g、テトラブチルアンモニウムアセテート0.21g及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート18gを仕込み、120℃で13時間攪拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート24g及び無水コハク酸(化合物c−1)10gを加えて100℃で3時間攪拌した。更にビスフェノールZグリシジルエーテル(化合物d−2)8gを加えて120℃で4時間、90℃で3時間、60℃で2時間、40℃で5時間攪拌後、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート29gを加えて、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート溶液として目的物であるアルカリ現像性樹脂組成物No.2を得た(Mw=4600、Mn=2100、酸価(固形分)54mgKOH/g)。
尚、アルカリ現像性樹脂組成物No.2が含有する反応生成物は、(A)成分である化合物aに(B)成分である化合物b−1を付加させた構造を有するエポキシ付加物の水酸基1個に対し、(C)成分である化合物c−1の酸無水物構造が0.8個の比率で、(D)成分である化合物d−2のエポキシ基が0.3個の比率でエポキシ付加物と化合物c−1及び化合物d−2とをエステル化反応させて得られたものである。また、上記エポキシ付加物は、化合物aのエポキシ基1個に対し、化合物bのカルボキシル基が1.0個の比率で付加させた構造を有するものである。
1,1−ビス(4’−エポキシプロピルオキシフェニル)−1−(1’’−ビフェニル)−1−シクロヘキシルメタン(化合物a)1695g、アクリル酸(化合物b−1)443g、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール6g、テトラブチルアンモニウムアセテート11g及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート1425gを仕込み、120℃で16時間攪拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート931g及びヘキサヒドロ無水フタル酸(以下、化合物c−2ともいう)741g及びテトラ−n−ブチルアンモニウムアセテート25gを加えて70℃で4時間攪拌した。更にエチレングリコールジグリシジルエーテル(以下、化合物d−3ともいう)313g及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート1463gを加えて、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート溶液として目的物であるアルカリ現像性樹脂組成物No.3を得た(Mw=3000、Mn=1700、酸価(固形分)43mgKOH/g)。
尚、アルカリ現像性樹脂組成物No.3が含有する反応生成物は、(A)成分である化合物aに(B)成分である化合物b−1を付加させた構造を有するエポキシ付加物の水酸基1個に対し、(C)成分である化合物c−2の酸無水物構造が0.8個の比率で、(D)成分である化合物d−3のエポキシ基が0.4個の比率でエポキシ付加物と化合物c−2および化合物d−3とをエステル化反応させて得られたものである。また、上記エポキシ付加物は、化合物aのエポキシ基1個に対し、化合物bのカルボキシル基が1.0個の比率で付加させた構造を有するものである。
ライトアクリレートPE−3A(アクリル酸誘導体、共栄社化学製)37.3g、コハク酸無水物12.5g、トリフェニルフォスフィン0.087g及び2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール0.050gを仕込み、100℃で3時間攪拌し、多官能アクリル基を有する不飽和一塩基酸(以下、化合物b−2ともいう)を得た。室温まで冷却し、1,1−ビス(4’―エポキシプロピルオキシフェニル)−1−(1’’−ビフェニル)−1−シクロヘキシルメタン(化合物a)138g、アクリル酸(化合物b−1)27.7g、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール0.51g、テトラブチルアンモニウムアセテート0.90g及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート144gを仕込み、120℃で12時間攪拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート65.4g及びコハク酸無水物(化合物c−1)40.0g及びテトラブチルアンモニウムアセテート2.1gを加えて100℃で5時間攪拌した。更に1,1−ビス(4’―エポキシプロピルオキシフェニル)−1−(1’’−ビフェニル)−1−シクロヘキシルメタン(化合物d−1)41.4g及び2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール0.56g並びにプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート18.0gを加えて90℃で1時間、120℃で8時間攪拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート136gを加えて、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート溶液として目的物であるアルカリ現像性樹脂組成物No.4を得た(Mw=6700、Mn=2700、酸価(固形分)51mgKOH/g)。
尚、アルカリ現像性樹脂組成物No.4が含有する反応生成物は、(A)成分である化合物aに(B)成分である化合物b−1及びb−2を付加させた構造を有するエポキシ付加物の水酸基1個に対し、(C)成分である化合物c−1の酸無水物構造が0.8個の比率で、(D)成分である化合物d−1のエポキシ基が0.3個の比率でエポキシ付加物と化合物c−1および化合物d−1とをエステル化反応させて得られたものである。また、上記エポキシ付加物は、化合物aのエポキシ基1個に対し、化合物b−1のカルボキシル基が0.75個、化合物b−2のカルボキシル基が0.25個の比率で付加させた構造を有するものである。
ライトエステルG201P(メタクリル酸誘導体、共栄社化学製)26.8g、無水コハク酸12.5g、トリフェニルフォスフィン0.087g及び2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール0.039gを仕込み、100℃で3時間攪拌し、多官能(メタ)アクリル基を有する不飽和一塩基酸(以下、化合物b−3ともいう)を得た。室温まで冷却し、1,1−ビス(4’―エポキシプロピルオキシフェニル)−1−(1’’−ビフェニル)−1−シクロヘキシルメタン(化合物a)138g、アクリル酸(化合物b−1)27.7g、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール0.50g、テトラブチルアンモニウムアセテート0.90g及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート137gを仕込み、120℃で12時間攪拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート63.8g及びコハク酸無水物(化合物c−1)40.0g及びテトラブチルアンモニウムアセテート2.1gを加えて100℃で5時間攪拌した。更に1,1−ビス(4’―エポキシプロピルオキシフェニル)−1−(1’’−ビフェニル)−1−シクロヘキシルメタン(化合物d−1)41.4g及び2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール0.56g並びにプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート18.0gを加えて90℃で1時間、120℃で8時間攪拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート132gを加えて、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート溶液として目的物であるアルカリ現像性樹脂組成物No.5を得た(Mw=4800、Mn=2400、酸価(固形分)54mgKOH/g)。
尚、アルカリ現像性樹脂組成物No.5が含有する反応生成物は、(A)成分である化合物aに(B)成分である化合物b−1及びb−3を付加させた構造を有するエポキシ付加物の水酸基1個に対し、(C)成分である化合物c−1の酸無水物構造が0.8個の比率で、(D)成分である化合物d−1のエポキシ基が0.3個の比率でエポキシ付加物と化合物c−1および化合物d−1とをエステル化反応させて得られたものである。また、上記エポキシ付加物は、化合物aのエポキシ基1個に対し、化合物b−1のカルボキシル基が0.75個、化合物b−3のカルボキシル基が0.25個の比率で付加させた構造を有するものである。
実施例1で得られたアルカリ現像性樹脂組成物No.1の14gに対し、トリメチロールプロパントリアクリレート5.9g、ベンゾフェノン2.1g及びエチルセロソルブ78gを加えてよく攪拌し、アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.1を得た。
実施例2で得られたアルカリ現像性樹脂組成物No.2の14gに対し、トリメチロールプロパントリアクリレート5.9g、ベンゾフェノン2.1g及びエチルセロソルブ78gを加えてよく攪拌し、アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.2を得た。
実施例3で得られたアルカリ現像性樹脂組成物No.3の14gに対し、トリメチロールプロパントリアクリレート5.9g、ベンゾフェノン2.1g及びエチルセロソルブ78gを加えてよく攪拌し、アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.3を得た。
実施例1で得られたアルカリ現像性樹脂組成物No.1の12gに対し、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート8.1g、ベンゾフェノン1.9g、エチルセロソルブ47g及びシクロヘキサノン31gを加えてよく攪拌し、アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.4を得た。
実施例1で得られたアルカリ現像性樹脂組成物No.1の7.2gに対し、トリメチロールプロパントリアクリレート4.3g、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノプロパン−1−オン1.5g及びエチルセロソルブ87gを加えてよく攪拌し、アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.5を得た。
実施例1で得られたアルカリ現像性樹脂組成物No.1の20gに対し、トリメチロールプロパントリアクリレート8.7g、アクリル系共重合体4.6g、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノプロパン−1−オン1.7g及びエチルセロソルブ65gを加えてよく攪拌し、アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.6を得た。
尚、上記アクリル系共重合体は、メタクリル酸20重量部、ヒドロキシエチルメタクリレート15重量部、メチルメタクリレート10重量部及びブチルメタクリレート55重量部をエチルセロソルブ300重量部に溶解し、窒素雰囲気下でアゾビスイソブチルニトリル0.75重量部を加えて70℃で5時間反応させることにより得られたものである。
実施例4で得られたアルカリ現像性樹脂組成物No.4の14gに対し、トリメチロールプロパントリアクリレート5.9g、ベンゾフェノン2.1g及びエチルセロソルブ78gを加えてよく攪拌し、アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.7を得た。
実施例5で得られたアルカリ現像性樹脂組成物No.5の14gに対し、トリメチロールプロパントリアクリレート5.9g、ベンゾフェノン2.1g及びエチルセロソルブ78gを加えてよく攪拌し、アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.8を得た。
ビスフェノールフルオレン型エポキシ樹脂(エポキシ当量231)184g、アクリル酸58g、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール0.26g、テトラブチルアンモニウムアセテート0.11g及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート23gを仕込み、120℃で16時間攪拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート35g及びテトラヒドロ無水フタル酸41gを加えて100℃で3時間攪拌した。更にエチレングリコールジグリシジルエーテル6.5gを加え、120℃で4時間、90℃で3時間、60℃で2時間、40℃で5時間攪拌後、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート90gを加えて目的物のプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート溶液としてアルカリ現像性樹脂組成物No.6を得た(Mw=5000、Mn=2100、酸価(固形分)92.7mgKOH/g)。
ビスフェノールA型エポキシ樹脂(エポキシ当量190)154g、アクリル酸59g、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール0.26g、テトラブチルアンモニウムアセテート0.11g及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート23gを仕込み、120℃で13時間攪拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート365g及び無水フタル酸45gを加えて100℃で3時間攪拌した。更にビスフェノールA型エポキシ樹脂(エポキシ当量190)7.0gを加えて120℃で4時間、90℃で3時間、60℃で2時間、40℃で5時間攪拌後、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート90gを加えて目的物のプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート溶液としてアルカリ現像性樹脂組成物No.7を得た(Mw=7500、Mn=2100、酸価(固形分)91mgKOH/g)。
<ステップ1>1,1−ビス(4’−ヒドロキシフェニル)−1−(1’’−ビフェニル)エタンの製造
フェノール75g及び4−アセチルビフェニル50gを60℃で加熱溶融させ、3−メルカプトプロピオン酸5gを加えて攪拌しながら塩化水素ガスを24時間吹き込み、その後72時間反応させた。70℃の温水で洗浄した後、減圧下で180℃まで加熱して蒸発物を留去した。残渣にキシレンを加えて冷却し、析出した結晶をろ取、減圧乾燥して淡黄色結晶65g(収率68%)を得た。該淡黄色結晶の融点は184℃であり、該淡黄色結晶は目的物であることを確認した。
ステップ1で得られた1,1−ビス(4’−ヒドロキシフェニル)−1−(1’’−ビフェニル)エタン37g及びエピクロルヒドリン149.5gを仕込み、ベンジルトリエチルアンモニウムクロリド0.45gを加えて64℃で18時間攪拌した。続いて54℃まで降温し、24重量%水酸化ナトリウム水溶液32.6gを滴下し、30分攪拌した。エピクロルヒドリン及び水を留去し、メチルイソブチルケトン140gを加えて水洗後、24重量%水酸化ナトリウム1.7gを滴下した。80℃で2時間攪拌後、室温まで冷却し、3重量%モノリン酸ナトリウム水溶液で中和し、水洗を行った。溶媒を留去して、黄色粘性液体38.7g(収率80%)を得た。(エポキシ当量248、n=0.04)。該黄色粘性液体は目的物であることを確認した。
1,1−ビス(4’−エポキシプロピルオキシフェニル)−1−(1’’−ビフェニル)エタン49.6g、アクリル酸14.4g、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール0.05g、テトラブチルアンモニウムアセテート0.14g及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート27.4gを仕込み、120℃で13時間攪拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート41.5g及びコハク酸無水物4.3gを加えて100℃で3時間攪拌した。更にエチレングリコールジグリシジルエーテル0.34gを加えて120℃で4時間、90℃で3時間、60℃で2時間、40℃で5時間攪拌後、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート34gを加えて、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート溶液として目的物のアルカリ現像性樹脂組成物No.8を得た(Mw=3700、Mn=1900、酸価(固形分)93mgKOH/g)。
比較例1で得られたアルカリ現像性樹脂組成物No.6の14gに対し、トリメチロールプロパントリアクリレート5.9g、ベンゾフェノン2.1g及びエチルセロソルブ78gを加えてよく攪拌し、アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.9を得た。
比較例2で得られたアルカリ現像性樹脂組成物No.7の14gに対し、トリメチロールプロパントリアクリレート5.9g、ベンゾフェノン2.1g及びエチルセロソルブ78gを加えてよく攪拌し、アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.10を得た。
比較例3で得られたアルカリ現像性樹脂組成物No.8の14gに対し、トリメチロールプロパントリアクリレート5.9g、ベンゾフェノン2.1g及びエチルセロソルブ78gを加えてよく攪拌し、アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.11を得た。
すなわち、基板上にγ−グリシドキシプロピルメチルエトキシシランをスピンコートして良くスピン乾燥させた後、上記アルカリ現像性感光性樹脂組成物をスピンコート(1300r.p.m、50秒間)し乾燥させた。70℃で20分間プリベークを行った後、ポリビニルアルコール5重量%溶液をコートして酸素遮断膜とした。70℃20分間の乾燥後、所定のマスクを用い、光源として超高圧水銀ランプを用いて露光後、2.5重量%炭酸ナトリウム溶液に25℃で30秒間浸漬して現像し、良く水洗した。水洗乾燥後、230℃で1時間ベークしてパターンを定着させた。得られたパターンについて、以下の評価を行った。結果を表1に示す。
露光時に、露光量が100mJ/cm2で十分だったものをa、100mJ/cm2では不十分で、200mJ/cm2で露光したものをbとした。
<解像度>
露光現像時に、線幅10μm以下でも良好にパターン形成できたものをA、線幅10〜30μmであれば良好にパターン形成できたものをB、線幅30μm以上のものでないと良好なパターン形成ができなかったものをCと評価した。
<密着性>
JIS D 0202の試験方法に従い、塗膜に基盤目状にクロスカットを入れ、次いでセロハンテープによってピーリングテストを行い、基盤目の剥離の状態を目視により評価した。全く剥離が認められなかったものを○、剥離が認められたものを×とした。
<耐アルカリ性>
加熱処理後の塗膜をa)5重量%NaOHaq.中24時間、b)4重量%KOHaq.中50℃で10分間、c)1重量%NaOHaq.中80℃で5分間の条件で浸漬し、浸漬後の外観を目視により評価した。いずれの条件においても外観変化もなくレジストの剥離も全くなかったものを○、いずれかの条件においてレジストの浮きが見られたりレジストの剥離が認められたものを×とした。
それに対して、比較例4〜6のアルカリ現像性感光性樹脂組成物は、感度が低いため露光量を多くせざるを得ず、解像度が低下し、線幅30μm以上でないと形成できず、また、得られた塗膜の基板との密着性、耐アルカリ性も思わしくなかった。
Claims (4)
- 下記一般式(I)で表されるエポキシ樹脂(A)に不飽和一塩基酸(B)を付加させた構造を有するエポキシ付加物に対し、多塩基酸無水物(C)、続いて多官能エポキシ化合物(D)をエステル化させて得られた反応生成物を含有するアルカリ現像性樹脂組成物で、
上記エポキシ付加物は、上記エポキシ樹脂(A)のエポキシ基1個に対し、上記不飽和一塩基酸(B)のカルボキシル基が0.1〜1.0個で付加させた構造を有し、
上記エステル化は、上記エポキシ付加物の水酸基1個に対し、上記多塩基酸無水物(C)の酸無水物構造が0.1〜1.0個となる比率で、上記多官能エポキシ化合物(D)のエポキシ基が0.1〜1.0個となる比率で行われるアルカリ現像性樹脂組成物。
- 上記一般式(I)中、Cyがシクロヘキシル基であり、Xがフェニル基であり、p及びrが0である請求項1記載のアルカリ現像性樹脂組成物。
- 請求項1又は2記載のアルカリ現像性樹脂組成物に光重合開始剤(F)を含有させてなるアルカリ現像性感光性樹脂組成物。
- 請求項1記載のアルカリ現像性樹脂組成物の製造方法であって、上記一般式(I)で表されるエポキシ樹脂(A)に不飽和一塩基酸(B)を付加させてエポキシ付加物を得た後、該エポキシ付加物を、多塩基酸無水物(C)、続いて多官能エポキシ化合物(D)でエステル化して、請求項1記載のアルカリ現像性樹脂組成物を得るアルカリ現像性樹脂組成物の製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006155876A JP4916224B2 (ja) | 2005-06-20 | 2006-06-05 | アルカリ現像性感光性樹脂組成物 |
KR1020060055034A KR101308954B1 (ko) | 2005-06-20 | 2006-06-19 | 알칼리 현상성 감광성 수지조성물 |
TW095121898A TW200712768A (en) | 2005-06-20 | 2006-06-19 | Alkali developable photosensitive resin composition |
CN2006100938192A CN1885162B (zh) | 2005-06-20 | 2006-06-20 | 碱性显影性感光性树脂组合物 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005178857 | 2005-06-20 | ||
JP2005178857 | 2005-06-20 | ||
JP2006155876A JP4916224B2 (ja) | 2005-06-20 | 2006-06-05 | アルカリ現像性感光性樹脂組成物 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007034279A true JP2007034279A (ja) | 2007-02-08 |
JP4916224B2 JP4916224B2 (ja) | 2012-04-11 |
Family
ID=37793551
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006155876A Active JP4916224B2 (ja) | 2005-06-20 | 2006-06-05 | アルカリ現像性感光性樹脂組成物 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4916224B2 (ja) |
KR (1) | KR101308954B1 (ja) |
CN (1) | CN1885162B (ja) |
TW (1) | TW200712768A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007206351A (ja) * | 2006-02-01 | 2007-08-16 | Adeka Corp | アルカリ現像性感光性樹脂組成物 |
JP2007204596A (ja) * | 2006-02-01 | 2007-08-16 | Adeka Corp | エポキシ樹脂、アルカリ現像性樹脂組成物及びアルカリ現像性感光性樹脂組成物 |
JP2007246638A (ja) * | 2006-03-15 | 2007-09-27 | Adeka Corp | エポキシ樹脂、アルカリ現像性樹脂組成物及びアルカリ現像性感光性樹脂組成物 |
JP2008208312A (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-11 | Adeka Corp | フェノール樹脂、エポキシ樹脂、アルカリ現像性樹脂組成物及びアルカリ現像性感光性樹脂組成物 |
JP2009275148A (ja) * | 2008-05-15 | 2009-11-26 | Adeka Corp | 新規化合物、アルカリ現像性樹脂組成物及びアルカリ現像性感光性樹脂組成物 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102858884B (zh) * | 2010-09-22 | 2015-10-21 | 株式会社艾迪科 | 染料及着色感光性组合物 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05339356A (ja) * | 1992-02-04 | 1993-12-21 | Nippon Steel Corp | 光重合性不飽和化合物及びアルカリ現像型感光性樹脂組成物 |
JP2000053746A (ja) * | 1998-08-06 | 2000-02-22 | Nippon Shokubai Co Ltd | 感光性樹脂の製造方法および該方法によって得られる樹脂を含む感光性樹脂組成物 |
JP2003015136A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-01-15 | Nippon Shokubai Co Ltd | 液晶スペーサー用感光性樹脂および感光性樹脂組成物 |
JP2003177528A (ja) * | 2001-09-21 | 2003-06-27 | Tamura Kaken Co Ltd | 感光性樹脂組成物及びプリント配線板 |
JP2004359734A (ja) * | 2003-06-03 | 2004-12-24 | Tamura Kaken Co Ltd | 紫外線硬化型アルカリ可溶性樹脂、ソルダーレジスト用組成物およびプリント配線板 |
WO2005092826A1 (ja) * | 2004-03-25 | 2005-10-06 | Asahi Denka Co., Ltd. | 新規フェノール化合物及び該フェノール化合物から誘導し得る新規エポキシ樹脂 |
WO2006030630A1 (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-23 | Asahi Denka Co., Ltd. | アルカリ現像性樹脂組成物 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6727042B2 (en) * | 2000-01-17 | 2004-04-27 | Showa Highpolymer Co., Ltd. | Photosensitive resin composition |
EP1324135B1 (en) * | 2000-09-16 | 2009-04-01 | Goo Chemical Co., Ltd. | Ultraviolet-curable resin composition and photosolder resist ink containing the composition |
-
2006
- 2006-06-05 JP JP2006155876A patent/JP4916224B2/ja active Active
- 2006-06-19 TW TW095121898A patent/TW200712768A/zh unknown
- 2006-06-19 KR KR1020060055034A patent/KR101308954B1/ko active IP Right Grant
- 2006-06-20 CN CN2006100938192A patent/CN1885162B/zh active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05339356A (ja) * | 1992-02-04 | 1993-12-21 | Nippon Steel Corp | 光重合性不飽和化合物及びアルカリ現像型感光性樹脂組成物 |
JP2000053746A (ja) * | 1998-08-06 | 2000-02-22 | Nippon Shokubai Co Ltd | 感光性樹脂の製造方法および該方法によって得られる樹脂を含む感光性樹脂組成物 |
JP2003015136A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-01-15 | Nippon Shokubai Co Ltd | 液晶スペーサー用感光性樹脂および感光性樹脂組成物 |
JP2003177528A (ja) * | 2001-09-21 | 2003-06-27 | Tamura Kaken Co Ltd | 感光性樹脂組成物及びプリント配線板 |
JP2004359734A (ja) * | 2003-06-03 | 2004-12-24 | Tamura Kaken Co Ltd | 紫外線硬化型アルカリ可溶性樹脂、ソルダーレジスト用組成物およびプリント配線板 |
WO2005092826A1 (ja) * | 2004-03-25 | 2005-10-06 | Asahi Denka Co., Ltd. | 新規フェノール化合物及び該フェノール化合物から誘導し得る新規エポキシ樹脂 |
WO2006030630A1 (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-23 | Asahi Denka Co., Ltd. | アルカリ現像性樹脂組成物 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007206351A (ja) * | 2006-02-01 | 2007-08-16 | Adeka Corp | アルカリ現像性感光性樹脂組成物 |
JP2007204596A (ja) * | 2006-02-01 | 2007-08-16 | Adeka Corp | エポキシ樹脂、アルカリ現像性樹脂組成物及びアルカリ現像性感光性樹脂組成物 |
JP4667261B2 (ja) * | 2006-02-01 | 2011-04-06 | 株式会社Adeka | アルカリ現像性感光性樹脂組成物 |
JP2007246638A (ja) * | 2006-03-15 | 2007-09-27 | Adeka Corp | エポキシ樹脂、アルカリ現像性樹脂組成物及びアルカリ現像性感光性樹脂組成物 |
JP2008208312A (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-11 | Adeka Corp | フェノール樹脂、エポキシ樹脂、アルカリ現像性樹脂組成物及びアルカリ現像性感光性樹脂組成物 |
JP2009275148A (ja) * | 2008-05-15 | 2009-11-26 | Adeka Corp | 新規化合物、アルカリ現像性樹脂組成物及びアルカリ現像性感光性樹脂組成物 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4916224B2 (ja) | 2012-04-11 |
TWI372943B (ja) | 2012-09-21 |
KR101308954B1 (ko) | 2013-09-24 |
TW200712768A (en) | 2007-04-01 |
KR20060133482A (ko) | 2006-12-26 |
CN1885162B (zh) | 2011-06-22 |
CN1885162A (zh) | 2006-12-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4684293B2 (ja) | 着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物、及び該着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物を用いたカラーフィルタ | |
JP5020142B2 (ja) | カラーレジスト組成物及び該組成物を用いたカラーフィルタ | |
TWI620741B (zh) | Novel epoxy compound | |
JP4916224B2 (ja) | アルカリ現像性感光性樹脂組成物 | |
JP4726868B2 (ja) | アルカリ現像性感光性樹脂組成物 | |
JPWO2007010919A1 (ja) | 含フッ素共重合体、アルカリ現像性樹脂組成物及びアルカリ現像性感光性樹脂組成物 | |
WO2015109645A1 (zh) | 碱显影型感光性树脂组合物、干膜和固化物、以及印刷电路板 | |
JP4878876B2 (ja) | エポキシ樹脂、アルカリ現像性樹脂組成物及びアルカリ現像性感光性樹脂組成物 | |
JP2007248678A (ja) | 着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物、及び該着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物を用いたカラーフィルタ | |
KR20070051762A (ko) | 알칼리 현상성 수지 조성물 | |
JP4738190B2 (ja) | エポキシ樹脂、アルカリ現像性樹脂組成物及びアルカリ現像性感光性樹脂組成物 | |
JP2009275148A (ja) | 新規化合物、アルカリ現像性樹脂組成物及びアルカリ現像性感光性樹脂組成物 | |
JP2007284578A (ja) | エポキシ樹脂、アルカリ現像性樹脂組成物及びアルカリ現像性感光性樹脂組成物 | |
JP2007206370A (ja) | 着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物及び該着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物を用いたカラーフィルタ | |
JP4667261B2 (ja) | アルカリ現像性感光性樹脂組成物 | |
JP2007286369A (ja) | 着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物、及び該着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物を用いたカラーフィルタ | |
JP5014054B2 (ja) | 液晶表示装置用基板及び該基板を備えた液晶表示装置 | |
JP5065123B2 (ja) | アルカリ現像性感光性樹脂組成物 | |
JP2007292807A (ja) | 液晶分割配向制御用突起付き基板及び該基板を備えた液晶表示装置 | |
JP4641861B2 (ja) | アルカリ現像性樹脂組成物 | |
JP5112948B2 (ja) | 着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物、それを用いたカラーフィルタ並びに液晶分割配向制御用突起付き基板及び該基板を備えた液晶表示装置 | |
JP4675246B2 (ja) | 着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物及びそれを用いたカラーフィルタ | |
JP2000256428A (ja) | 硬化性樹脂及びその組成物 | |
JP2006251495A (ja) | アルカリ現像性感光性樹脂組成物 | |
JP2023180374A (ja) | 組成物、接着剤、硬化物を製造する方法、硬化物及び表示装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090420 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120119 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120124 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120124 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150203 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4916224 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150203 Year of fee payment: 3 |