JP2007033327A - 欠陥検出方法及び装置 - Google Patents
欠陥検出方法及び装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007033327A JP2007033327A JP2005219185A JP2005219185A JP2007033327A JP 2007033327 A JP2007033327 A JP 2007033327A JP 2005219185 A JP2005219185 A JP 2005219185A JP 2005219185 A JP2005219185 A JP 2005219185A JP 2007033327 A JP2007033327 A JP 2007033327A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- light
- defect detection
- defect
- flaw
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Cleaning In Electrography (AREA)
Abstract
【解決手段】 板状体12に存在する欠陥部を検出する欠陥検出方法は、透明または半透明の板状体12に投光装置15から光を照射し、光が透過した板状体12を、板状体12を間に挟んで投光装置15に対向配置した撮像装置13によって撮像することを含む。投光装置15と板状体12との間に、光透過率が50%以上90%未満の拡散板16を配置する。
【選択図】 図1
Description
(1)欠陥部を埋める画素の画素数(面積)
(2)欠陥部の一番遠い画素同士の距離
(3)欠陥部を囲む稜線の真円度
(4)欠陥部を囲む稜線の方形度(縦横比)
(5)欠陥部を囲む稜線の長さ
欠陥部と欠陥部でない部分とを判別する所定の条件式に、これらの項目(1)〜(5)に関して求めた数値を当てはめ、認識していた欠陥部が欠陥部であるか欠陥部でない部分であるかを判別し、欠陥部であると判別されたものを欠陥部として確定する。その後、上記項目の数値に基づいて、確定した欠陥部の重心位置を算出する。
12 板状体
13 撮像装置
14 レンズ
15 投光装置
16 拡散板
17 記憶・処理装置
18 表示装置
19 駆動装置
Claims (6)
- 透明または半透明の板状体に投光手段から光を照射し、前記光が透過した板状体を、前記板状体を間に挟んで前記投光手段に対向配置した撮像手段によって撮像することを含む、板状体に存在する欠陥部を検出する欠陥検出方法であって、
前記投光手段と前記板状体との間に、光透過率が50%以上90%未満の拡散板を配置することを特徴とする欠陥検出方法。 - 前記拡散板を前記板状体から0.5〜5mmの範囲の位置に配置する、請求項1に記載の欠陥検出方法。
- 前記板状体は電子写真装置の像坦持体上に残留するトナーを摺擦して除去するためのクリーニングブレードである、請求項1または2に記載の欠陥検出方法。
- 透明または半透明の板状体に光を照射する投光手段と、前記板状体を間に挟んで前記投光手段に対向配置され、前記光が透過した板状体を撮像する撮像手段とを含む、板状体に存在する欠陥部を検出する欠陥検出装置であって、
前記投光手段と前記板状体との間に、光透過率が50%以上90%未満の拡散板が配置されていることを特徴とする欠陥検出装置。 - 前記拡散板が前記板状体から0.5〜5mmの範囲の位置に配置されている、請求項4に記載の欠陥検出装置。
- 前記板状体は電子写真装置の像坦持体上に残留するトナーを摺擦して除去するためのクリーニングブレードである、請求項4または5に記載の欠陥検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005219185A JP2007033327A (ja) | 2005-07-28 | 2005-07-28 | 欠陥検出方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005219185A JP2007033327A (ja) | 2005-07-28 | 2005-07-28 | 欠陥検出方法及び装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007033327A true JP2007033327A (ja) | 2007-02-08 |
JP2007033327A5 JP2007033327A5 (ja) | 2008-06-26 |
Family
ID=37792767
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005219185A Pending JP2007033327A (ja) | 2005-07-28 | 2005-07-28 | 欠陥検出方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007033327A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010043895A (ja) * | 2008-08-11 | 2010-02-25 | Canon Chemicals Inc | 欠陥検出装置及び欠陥検出方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06235624A (ja) * | 1992-12-15 | 1994-08-23 | Hitachi Ltd | 透明シートの検査方法とその装置 |
JPH08327561A (ja) * | 1995-06-05 | 1996-12-13 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 連続シート状物体の欠点検査装置 |
JP2001041719A (ja) * | 1999-07-27 | 2001-02-16 | Canon Inc | 透明材の検査装置及び検査方法並びに記憶媒体 |
JP2001119689A (ja) * | 1999-10-14 | 2001-04-27 | Olympus Optical Co Ltd | 電子内視鏡装置 |
JP2003247952A (ja) * | 1993-10-25 | 2003-09-05 | Ricoh Co Ltd | 外観欠陥検査装置 |
JP2004094031A (ja) * | 2002-09-02 | 2004-03-25 | Sumitomo Rubber Ind Ltd | フィルム観察装置 |
JP2004321610A (ja) * | 2003-04-25 | 2004-11-18 | Olympus Corp | 電子内視鏡の光量制御装置 |
-
2005
- 2005-07-28 JP JP2005219185A patent/JP2007033327A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06235624A (ja) * | 1992-12-15 | 1994-08-23 | Hitachi Ltd | 透明シートの検査方法とその装置 |
JP2003247952A (ja) * | 1993-10-25 | 2003-09-05 | Ricoh Co Ltd | 外観欠陥検査装置 |
JPH08327561A (ja) * | 1995-06-05 | 1996-12-13 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 連続シート状物体の欠点検査装置 |
JP2001041719A (ja) * | 1999-07-27 | 2001-02-16 | Canon Inc | 透明材の検査装置及び検査方法並びに記憶媒体 |
JP2001119689A (ja) * | 1999-10-14 | 2001-04-27 | Olympus Optical Co Ltd | 電子内視鏡装置 |
JP2004094031A (ja) * | 2002-09-02 | 2004-03-25 | Sumitomo Rubber Ind Ltd | フィルム観察装置 |
JP2004321610A (ja) * | 2003-04-25 | 2004-11-18 | Olympus Corp | 電子内視鏡の光量制御装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010043895A (ja) * | 2008-08-11 | 2010-02-25 | Canon Chemicals Inc | 欠陥検出装置及び欠陥検出方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9140545B2 (en) | Object inspection system | |
TWI440844B (zh) | 檢測樣品表面缺陷之檢測系統及其檢測方法 | |
JP2010071845A (ja) | 検査装置 | |
JPH08128959A (ja) | 光学的検査方法および光学的検査装置 | |
US10209203B2 (en) | Wafer inspection apparatus and wafer inspection method | |
JP2008286791A (ja) | 表面欠陥検査方法及び装置 | |
JP2001209798A (ja) | 外観検査方法及び検査装置 | |
JP5042503B2 (ja) | 欠陥検出方法 | |
JP2017166903A (ja) | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 | |
JPH1062354A (ja) | 透明板の欠陥検査装置及び欠陥検査方法 | |
JP2009236760A (ja) | 画像検出装置および検査装置 | |
JP5104346B2 (ja) | 表面欠陥検査方法及びその装置 | |
JP2019066222A (ja) | 外観検査装置および外観検査方法 | |
JP2001124538A (ja) | 物体表面の欠陥検査方法および欠陥検査装置 | |
JP2007033327A (ja) | 欠陥検出方法及び装置 | |
JP2009229221A (ja) | 光学デバイス欠陥検査方法及び光学デバイス欠陥検査装置 | |
US20230138331A1 (en) | Motion in images used in a visual inspection process | |
JP4662424B2 (ja) | ガラス基板の検査方法及び検査装置、並びに表示用パネルの製造方法 | |
JP2004257776A (ja) | 光透過体検査装置 | |
JP2011007498A (ja) | 円筒体の表面検査装置 | |
JP4679995B2 (ja) | 欠陥検出方法及び装置 | |
JP5367292B2 (ja) | 表面検査装置および表面検査方法 | |
JP2004212353A (ja) | 光学的検査装置 | |
JP2007003332A (ja) | 板状体側面の欠陥検出方法及び欠陥検出装置 | |
JP5297717B2 (ja) | 欠陥検出装置及び欠陥検出方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20080509 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080509 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20100929 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20101006 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101206 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20110615 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110812 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120313 |