JP2007031096A

JP2007031096A - Automatic setting method and device for band-shaped work

Info

Publication number: JP2007031096A
Application number: JP2005218399A
Authority: JP
Inventors: Masahiko Oshimo; 征彦大霜
Original assignee: Toray Engineering Co Ltd
Current assignee: Toray Engineering Co Ltd
Priority date: 2005-07-28
Filing date: 2005-07-28
Publication date: 2007-02-08

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To conduct safely and efficiently the operation to set a band-shaped work in a work transporting device including high altitude positions in its transporting path. SOLUTION: An automatic setting device to set the band-shaped work W automatically in the transporting device 5 for band-shaped work W whose transporting path is composed of a rising path, a horizontally transporting path, and a falling path, wherein the arrangement includes a first transporting means 4 to raise the work W so that a tool 8 reaches the first high position P1 in the condition that the tool 8 reaches the tip of the work W, a second transporting means formed able to make horizontal movement between the first high position P1 and the second high position P2 and having a coupled part 631 coupled with the tool 8 reached at the first high position P1 and arranged able to separate from the tool 8 reached at the second high position P2, and a third transporting means 7 to lower the work W so that the tool 8 separated from the coupled part 631 lowers downward from the second high position P2. COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、帯状ワークの自動セット装置及び自動セット方法に関する。より詳しくは、高所位置を搬送経路に含む帯状ワークの搬送装置に当該帯状ワークを自動的にセットする装置及び方法に関し、特に帯状ワークの露光装置や印刷装置などへの適用に好適である。 The present invention relates to an automatic setting device and an automatic setting method for a strip-shaped workpiece. More specifically, the present invention relates to an apparatus and a method for automatically setting a belt-like workpiece on a belt-like workpiece conveyance device including a high position in the conveyance path, and is particularly suitable for application to a belt-like workpiece exposure apparatus, printing apparatus, or the like.

図７は従来における帯状ワークの両面露光装置１０を示す正面概略図である。図７に示すように、両面露光装置１０は、帯状ワークＷの表側面に露光を行う第１ステージ２０と、帯状ワークＷの裏側面に露光を行う第２ステージ３０とを備え、間歇搬送された帯状ワークＷの表側面及び裏側面に対してこの順に露光処理を行う装置である（特許文献１参照）。 FIG. 7 is a schematic front view showing a conventional double-sided exposure apparatus 10 for a strip-shaped workpiece. As shown in FIG. 7, the double-sided exposure apparatus 10 includes a first stage 20 that exposes the front side surface of the strip-shaped workpiece W and a second stage 30 that exposes the back side surface of the strip-shaped workpiece W, and is intermittently transported. This is an apparatus for performing exposure processing in this order on the front side surface and the back side surface of the strip-shaped workpiece W (see Patent Document 1).

このような両面露光装置１０への帯状ワークＷのセットは、次のようにして行っていた。すなわち作業者は、まず軸Ｊ１回りに回転自在に装着された送り出しリール２１から、帯状ワークＷの先端を手でつまみ、送り出しリール２１を回転させながら徐々に帯状ワークＷを繰り出す。繰り出した帯状ワークＷをガイドローラ２２及び第１エアダンサー部２３にセットした後、グリッパ４１の隙間に通す。 The belt-like workpiece W is set on the double-sided exposure apparatus 10 in the following manner. That is, the operator first picks up the belt-like workpiece W from the delivery reel 21 that is rotatably mounted around the axis J 1 by hand, and gradually feeds the belt-like workpiece W while rotating the delivery reel 21. The fed strip-shaped workpiece W is set on the guide roller 22 and the first air dancer 23 and then passed through the gap of the gripper 41.

次に作業者は横長の踏み台の上に載り、帯状ワークＷの先端を持って高所位置Ｐ１（床面から３ｍ弱程度）まで引き上げ、第１ワーク搬送ガイド部５の最上流部で角度を９０度変化させ、帯状ワークＷを徐々に繰り出しながら、踏み台の上を図中矢印Ｘ１方向に移動する。そして、帯状ワークＷの正面視形状が略逆Ｕ字形となるように第１ワーク搬送ガイド部５に掛け渡す。帯状ワークＷの先端は、踏み台を使わなくても届く高さとなる位置まで垂らす。次に作業者は踏み台を降り、帯状ワークＷの先端をグリッパ２４１の隙間に通し、第２エアダンサー部２６にセットする。その後、裏側面露光ステージ３０についても上と同様な要領でセットする。
特願２００５−０３９６３５号 Next, the operator puts on the horizontally long platform, lifts the tip of the strip-shaped workpiece W to the high position P1 (about 3 m or less from the floor surface), and sets the angle at the most upstream portion of the first workpiece conveyance guide section 5. The position is changed by 90 degrees and the belt-like workpiece W is gradually fed out and moved on the platform in the direction of arrow X1 in the figure. Then, the belt-like workpiece W is hung on the first workpiece conveyance guide portion 5 so that the shape of the belt-like workpiece W when viewed from the front is substantially an inverted U-shape. The tip of the belt-like workpiece W is hung up to a position that can be reached without using a platform. Next, the operator gets off the platform, passes the tip of the strip-shaped workpiece W through the gap of the gripper 241, and sets it on the second air dancer unit 26. Thereafter, the back side exposure stage 30 is set in the same manner as above.
Japanese Patent Application No. 2005-039635

通常、上述のような両面露光装置により露光を行う現場では、作業者は、一日に数十回も上記作業を行う。このように高所位置での帯状ワークのセット作業を、一日に数十回も行うことは、作業者にとって精神的及び肉体的に大きな負担となる。また、踏み台上で移動しながらの作業であるため危険が伴う。 Usually, in the field where exposure is performed by the double-sided exposure apparatus as described above, an operator performs the above operation several tens of times a day. It is a mental and physical burden for the operator to perform the work of setting the belt-like work at a high position several tens of times a day. In addition, it is dangerous because it is a work while moving on the platform.

本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、高所位置を搬送経路に含む帯状ワークの搬送装置に当該帯状ワークをセットする作業を、安全に且つ効率良く実施できる帯状ワークの自動セット装置及び自動セット方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such a problem, and is a belt-like workpiece that can safely and efficiently perform the work of setting the belt-like workpiece on a belt-like workpiece conveyance device that includes a high position in the conveyance path. An object is to provide an automatic setting device and an automatic setting method.

上述の課題を解決するために、請求項１の発明は、帯状ワークＷを下方から第１高所位置Ｐ１に引き上げる上昇経路Ｌ１と、第１高所位置Ｐ１から第２高所位置Ｐ２に水平搬送する水平搬送経路Ｌ２と、第２高所位置Ｐ２から下方に降下する降下経路Ｌ３とを搬送経路とする帯状ワークＷの搬送装置５に当該帯状ワークＷを自動的にセットする帯状ワークの自動セット装置であって、帯状ワークＷの先端に治具８を取り付けた状態で治具８が第１高所位置Ｐ１に到達するように帯状ワークＷを上昇させる第１搬送手段４と、第１高所位置Ｐ１と第２高所位置Ｐ２との間で水平移動可能に構成されると共に第１高所位置Ｐ１に到達した治具８に結合し且つ第２高所位置Ｐ２に到達した治具８から離脱可能に構成された結合部６３１を有する第２搬送手段６と、結合部６３１から離脱した治具８が第２高所位置Ｐ２から下方に向けて降下するように帯状ワークＷを降下させる第３搬送手段７とを備えることを特徴とする In order to solve the above-mentioned problem, the invention of claim 1 is directed to a rising path L1 for pulling up the belt-like workpiece W from below to the first height position P1, and horizontally from the first height position P1 to the second height position P2. Automatic strip-shaped workpiece W that automatically sets the strip-shaped workpiece W on the transport device 5 of the strip-shaped workpiece W having the horizontal transport path L2 to be transported and the lowering path L3 descending downward from the second height position P2 as the transport path. A first transfer means 4 for raising the belt-like workpiece W so that the jig 8 reaches the first height position P1 with the jig 8 attached to the tip of the belt-like workpiece W; A jig that is configured to be horizontally movable between the high position P1 and the second high position P2, and that is coupled to the jig 8 that has reached the first high position P1 and that has reached the second high position P2. A second part having a coupling part 631 configured to be detachable from the second part A feed means 6, the jig 8 which is disengaged from the coupling portion 631; and a third conveying unit 7 for lowering the strip-shaped workpiece W to drop downward from the second altitude position P2

請求項２の発明では、前記治具８は、切欠溝８１を備え、前記第２搬送手段６は、第１高所位置Ｐ１における上下位置に設けられたプーリ６２ｂ，６２ａと、第２高所位置Ｐ２における上下位置に設けられたプーリ６２ｃ，６１と、これら各プーリに掛け渡され前記切欠溝８１に掛合可能な凸部６３１を表側面に備えた無端状のタイミングベルト６３と、タイミングベルト６３の走行方向が第１高所位置Ｐ１において下から上となるようにプーリ６１を駆動するプーリ駆動部６４とを備える。 In the invention of claim 2, the jig 8 includes a notch groove 81, and the second conveying means 6 includes pulleys 62 b and 62 a provided at the upper and lower positions at the first height position P 1 and a second height position. Pulleys 62c and 61 provided at the upper and lower positions in the position P2, an endless timing belt 63 provided on the front side with a convex portion 631 that spans the pulleys and can be engaged with the notch groove 81, and a timing belt 63 And a pulley driving unit 64 that drives the pulley 61 so that the traveling direction is from the bottom to the top at the first height position P1.

請求項３の発明では、前記第３搬送手段７は、第２高所位置Ｐ２における帯状ワークＷを挟持しながら回転駆動する駆動ローラ６５とニップローラ７１とからなる。 According to a third aspect of the present invention, the third conveying means 7 includes a driving roller 65 and a nip roller 71 that are rotationally driven while sandwiching the belt-like workpiece W at the second height position P2.

請求項４の発明は、請求項１から請求項３のいずれかに記載の帯状ワークの自動セット装置を用いた帯状ワークの自動セット方法であって、帯状ワークＷの先端に治具８を取り付けた状態で治具８が第１高所位置Ｐ１に到達するように第１搬送手段４により帯状ワークＷを上昇させるステップと、第１高所位置Ｐ１に到達した治具８を第２搬送手段６における結合部６３１に結合するステップと、結合部６３１に結合した治具８を第２搬送手段６により第１高所位置Ｐ１から第２高所位置Ｐ２に水平移動させるステップと、第２高所位置Ｐ２に到達した治具８を第２搬送手段６における結合部６３１から離脱するステップと、結合部６３１から離脱した治具８が第２高所位置Ｐ２から下方に向けて降下するように帯状ワークＷを第３搬送手段７により降下させるステップとを備えることを特徴とする。 The invention of claim 4 is a method for automatically setting a belt-like workpiece using the automatic device for setting a belt-like workpiece according to any one of claims 1 to 3, wherein a jig 8 is attached to the tip of the belt-like workpiece W. In this state, the step of raising the belt-like workpiece W by the first conveying means 4 so that the jig 8 reaches the first height position P1, and the jig 8 having reached the first height position P1 is the second conveying means. 6, the step of joining the joining portion 631 to the joining portion 631, the step of horizontally moving the jig 8 joined to the joining portion 631 from the first height position P 1 to the second height position P 2 by the second transport means 6, and the second height The step of detaching the jig 8 that has reached the location P2 from the coupling portion 631 in the second conveying means 6 and the jig 8 that has detached from the coupling portion 631 are lowered downward from the second height location P2. A third conveying means for the strip-shaped workpiece W Characterized in that it comprises the step of lowering the.

請求項５の発明は、前記各ステップを一連のシーケンスプログラムにより実行する。 According to a fifth aspect of the invention, the steps are executed by a series of sequence programs.

請求項１，４の発明によると、まず第１搬送手段４により、帯状ワークＷの先端に治具８を取り付けた状態で治具８が第１高所位置Ｐ１に到達するように帯状ワークＷを上昇させる。続いて第１搬送手段４により、第１高所位置Ｐ１に到達した治具８を第２搬送手段６における結合部６３１に結合させる。続いて第２搬送手段６により、結合部６３１に結合した治具８を第１高所位置Ｐ１から第２高所位置Ｐ２に水平移動させる。続いて第２高所位置Ｐ２に到達した治具８を第２搬送手段６における結合部６３１から離脱させる。最後に第３搬送手段７により、結合部６３１から離脱した治具８が第２高所位置Ｐ２から下方に向けて降下するように帯状ワークＷを降下させる。以上の動作により、上昇経路Ｌ１と水平搬送経路Ｌ２と降下経路Ｌ３とを搬送経路とする帯状ワークＷの搬送装置５に当該帯状ワークＷを自動的にセットすることができる。 According to the first and fourth aspects of the invention, the belt-like workpiece W is first moved by the first conveying means 4 so that the jig 8 reaches the first height position P1 with the jig 8 attached to the tip of the belt-like workpiece W. To raise. Subsequently, the jig 8 that has reached the first height position P 1 is coupled to the coupling portion 631 in the second transport unit 6 by the first transport unit 4. Subsequently, the jig 8 coupled to the coupling portion 631 is horizontally moved from the first height position P1 to the second height position P2 by the second transport means 6. Subsequently, the jig 8 that has reached the second height position P 2 is detached from the coupling portion 631 in the second transport means 6. Finally, the belt-like workpiece W is lowered by the third conveying means 7 so that the jig 8 detached from the coupling portion 631 is lowered downward from the second height position P2. By the above operation, the belt-like workpiece W can be automatically set on the carrier device 5 for the belt-like workpiece W using the ascending route L1, the horizontal carrying route L2, and the descending route L3 as the carrying routes.

請求項２の発明によると、凸部６３１は、第１高所位置Ｐ１において下方から上方に向けて走行しているときに、第１高所位置Ｐ１に到達した治具８の切欠溝８１に掛合する。第１高所位置Ｐ１における上下位置にプーリ６２ｂ，６２ａが設けられるため、タイミングベルト６３は、上流端部において長い上昇距離を得ることができる。このため凸部６３１は、余裕をもって治具８を捕らえることができる。 According to the invention of claim 2, the convex portion 631 is formed in the notch groove 81 of the jig 8 that has reached the first height position P1 when traveling from the lower side to the upper side at the first height position P1. I will talk about it. Since the pulleys 62b and 62a are provided at the upper and lower positions at the first height position P1, the timing belt 63 can obtain a long rising distance at the upstream end. For this reason, the convex part 631 can catch the jig | tool 8 with a margin.

請求項３の発明によると、駆動ローラ６５とニップローラ７１とは、第２高所位置Ｐ２における帯状ワークＷを挟持させながら回転駆動するので、結合部６３１と治具８とが離脱した状態でも帯状ワークＷは下方に向けて導かれる。 According to the invention of claim 3, since the driving roller 65 and the nip roller 71 are rotationally driven while sandwiching the belt-like workpiece W at the second height position P2, the belt-like shape is obtained even when the coupling portion 631 and the jig 8 are separated. The workpiece W is guided downward.

請求項５の発明によると、作業者が操作パネル９を操作する手間が少なくて済む。 According to the invention of claim 5, the labor for the operator to operate the operation panel 9 can be reduced.

なお、請求項１及び請求項４における「結合」の意味は、「掛合」の上位概念としたものである。したがって、結合の仕方は「掛合」に限らず例えば磁気吸着や真空吸着であってもよい。 Note that the meaning of “combination” in claims 1 and 4 is a superordinate concept of “multiplication”. Therefore, the method of coupling is not limited to “engagement”, and may be, for example, magnetic adsorption or vacuum adsorption.

本発明によると、高所位置を搬送経路に含む帯状ワークの搬送装置に当該帯状ワークをセットする作業を、安全に且つ効率良く実施できるようになる。 According to the present invention, it is possible to safely and efficiently perform the work of setting the belt-like workpiece on the belt-like workpiece conveyance device including the high position in the conveyance path.

以下、添付図面を用いて、本発明を実施するための最良の形態について説明する。図１は本発明に係る帯状ワークの自動セット装置を用いた両面露光装置の正面概略図、図２は治具を帯状ワークの先端に取り付けた状態を示す図、図３は本発明に係る帯状ワークの自動セット装置の正面一部断面図、図４は本発明に係る帯状ワークの自動セット装置の平面一部断面図、図５は治具の切欠溝が凸状部に掛合した状態を示す図、図６は本発明に係る帯状ワークの自動セット装置の動作を説明するための図である。なお、図５（Ｂ）は図５（Ａ）のＩ−Ｉ線矢視図である。 The best mode for carrying out the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a schematic front view of a double-sided exposure apparatus using a belt-shaped workpiece automatic setting apparatus according to the present invention, FIG. 2 is a diagram showing a state where a jig is attached to the tip of the belt-shaped workpiece, and FIG. 4 is a partial front sectional view of the automatic workpiece setting device, FIG. 4 is a partial plan sectional view of the automatic belt workpiece setting device according to the present invention, and FIG. 5 shows a state in which the notch groove of the jig is engaged with the convex portion. FIG. 6 and FIG. 6 are diagrams for explaining the operation of the automatic apparatus for setting a strip-shaped workpiece according to the present invention. Note that FIG. 5B is a view taken along the line I-I in FIG.

図１に示すように、両面露光装置１は、帯状ワークＷの表側面に露光を行う表側面露光ステージ２と、帯状ワークＷの裏側面に露光を行う裏側面露光ステージ３とを備え、間歇搬送された帯状ワークＷの表側面及び裏側面に対してこの順に露光処理を行う装置である。 As shown in FIG. 1, the double-sided exposure apparatus 1 includes a front side exposure stage 2 that performs exposure on the front side of the strip-shaped workpiece W, and a back side exposure stage 3 that performs exposure on the back side of the strip-shaped workpiece W. It is an apparatus that performs exposure processing in this order on the front side surface and the back side surface of the transported belt-like workpiece W.

表側面露光ステージ２は、送り出しリール２１、第１ガイドローラ２２、第１エアダンサー部２３、第１上流グリップフィード部４、第１ワーク搬送ガイド部５、第１ワーク送り部６、第１ニップローラ部７、第１下流グリップフィード部２４、第１露光部２５及び第２エアダンサー部２６などを備える。第１露光部２５は、光源（図示せず）、第１反射ミラー２５１、第１露光マスク２５２及び第１吸着テーブル２５３などを備える。裏側面露光ステージ３は、第２上流グリップフィード部４Ｒ、第２ワーク搬送ガイド部５Ｒ、第２ワーク送り部６Ｒ、第２露光部３５、第２下流グリップフィード部３６、第３エアダンサー部３７、第２ガイドローラ３８及び巻き取りリール３９などを備える。第２露光部３５は、第２反射ミラー３５１、第２露光マスク３５２及び第２吸着テーブル３５３などを備える。両面露光装置１の制御は、リモート式の操作パネル９により行う。 The front side exposure stage 2 includes a delivery reel 21, a first guide roller 22, a first air dancer unit 23, a first upstream grip feed unit 4, a first workpiece conveyance guide unit 5, a first workpiece feeding unit 6, and a first nip roller. Unit 7, a first downstream grip feed unit 24, a first exposure unit 25, a second air dancer unit 26, and the like. The first exposure unit 25 includes a light source (not shown), a first reflection mirror 251, a first exposure mask 252, a first suction table 253, and the like. The back side exposure stage 3 includes a second upstream grip feed section 4R, a second work transport guide section 5R, a second work feed section 6R, a second exposure section 35, a second downstream grip feed section 36, and a third air dancer section 37. The second guide roller 38 and the take-up reel 39 are provided. The second exposure unit 35 includes a second reflection mirror 351, a second exposure mask 352, a second suction table 353, and the like. The double-sided exposure apparatus 1 is controlled by a remote operation panel 9.

本発明に係る帯状ワークの自動セット装置は、表側面露光ステージ２と裏側面露光ステージ３とにそれぞれ１つずつ設けられる。表側面露光ステージ２における帯状ワークの自動セット装置は、次段落に説明する治具８、第１上流グリップフィード部４、第１ワーク搬送ガイド部５、第１ワーク送り部６及び第１ニップローラ部７を構成要素とする。裏側面露光ステージ３における帯状ワークの自動セット装置は、治具８、第２上流グリップフィード部４Ｒ、第２ワーク搬送ガイド部５Ｒ、第２ワーク送り部６Ｒ及び第２ニップローラ部７Ｒを構成要素とする。両者は基本的に同様な構成及び動作であるため、本明細書では、表側面露光ステージ２における帯状ワークの自動セット装置について詳細に説明する。 One apparatus for automatically setting strip-like workpieces according to the present invention is provided for each of the front side exposure stage 2 and the back side exposure stage 3. A device for automatically setting a strip-shaped workpiece in the front side exposure stage 2 includes a jig 8, a first upstream grip feed unit 4, a first workpiece conveyance guide unit 5, a first workpiece feeding unit 6 and a first nip roller unit which will be described in the next paragraph. 7 is a component. The automatic apparatus for setting a strip-shaped workpiece in the back side exposure stage 3 includes a jig 8, a second upstream grip feed section 4R, a second workpiece conveyance guide section 5R, a second workpiece feeding section 6R, and a second nip roller section 7R. To do. Since both have basically the same configuration and operation, in the present specification, an automatic setting device for a strip-shaped workpiece in the front side exposure stage 2 will be described in detail.

治具８は、ＰＥＴ樹脂等の合成樹脂を材質とし、図２に示すように、セットの対象となる帯状ワークＷの幅よりも幅広の扁平長尺形状を呈する。その厚さは、帯状ワークＷの厚さとほぼ同じとされる。また、その幅方向に延在する両側部分には、それぞれ四角形の切欠溝８１を備える。治具８は、例えば粘着テープ、締結ボルト、または自在クリップなどの使用により帯状ワークＷの先端に着脱自在とされる。 The jig 8 is made of synthetic resin such as PET resin, and has a flat and long shape wider than the width of the band-shaped workpiece W to be set as shown in FIG. The thickness is substantially the same as the thickness of the strip-shaped workpiece W. In addition, square cutout grooves 81 are provided on both side portions extending in the width direction. The jig 8 can be attached to and detached from the end of the strip-shaped workpiece W by using, for example, an adhesive tape, a fastening bolt, or a free clip.

第１上流グリップフィード部４は、図３及び図４に示すように、グリッパ４１、スライダ４２及びグリッパ駆動部４３を備える。グリッパ４１は、帯状ワークＷを負圧により吸着保持可能な吸着テーブル４１１と、吸着テーブル４１１に吸着保持された帯状ワークＷの両端部を吸着テーブル４１１との間で挟持可能に設けられた左右一対の爪部材４１２と、爪部材４１２を挟持位置と解除位置とに切り替えて配置可能とするエアーシリンダ４１３とから構成される。エアーシリンダ４１３は、ブラケット４１４を介して吸着テーブル４１１に取り付けられる。スライダ４２は、グリッパ４１が上下方向にスライド自在に取り付けられる垂直レール体である。グリッパ駆動部４３は、スライダ４２の下部に取り付けられ回転軸を備えたサーボモータ４３１と、一端がグリッパ４１に連結し他端が上記サーボモータ４３１の回転軸に連結したボールネジ４３２とを備える。なお、グリッパ駆動部４３を、スライダ４２の上部に取り付ける構成としてもよい。 As shown in FIGS. 3 and 4, the first upstream grip feed unit 4 includes a gripper 41, a slider 42, and a gripper driving unit 43. The gripper 41 is provided with a suction table 411 that can suck and hold the belt-like workpiece W by negative pressure, and a pair of left and right provided so that both ends of the belt-like workpiece W sucked and held by the suction table 411 can be held between the suction table 411. The claw member 412 and an air cylinder 413 that can be arranged by switching the claw member 412 between the holding position and the release position. The air cylinder 413 is attached to the suction table 411 via the bracket 414. The slider 42 is a vertical rail body to which the gripper 41 is slidably attached in the vertical direction. The gripper driving unit 43 includes a servo motor 431 attached to the lower portion of the slider 42 and having a rotation shaft, and a ball screw 432 having one end connected to the gripper 41 and the other end connected to the rotation shaft of the servo motor 431. The gripper driving unit 43 may be attached to the upper portion of the slider 42.

第１ワーク搬送ガイド部５は、図３及び図４に示すように、帯状ワークＷの水平搬送経路Ｌ２と直交する方向に対向して配される２枚のフレーム板５１と、フレーム板５１間に帯状ワークＷの水平搬送経路Ｌ２に沿って互いに平行に配列されると共にフレーム板５１に回転自在に支承された複数本のフリーローラ５２とからなり、上り勾配を有する上流ターンガイド部５Ａと、水平搬送面を有する水平ガイド部５Ｂと、下り勾配を有する下流ターンガイド部５Ｃとに区分けされる。フリーローラ５２の長手方向の長さは、帯状ワークＷの幅よりも若干長いものとされる。フリーローラ５２は、表側面露光ステージ２への帯状ワークＷのセットが完了した後において、帯状ワークＷを搬送するためのガイド面として機能する。 As shown in FIGS. 3 and 4, the first work conveyance guide unit 5 includes two frame plates 51 arranged to face each other in a direction orthogonal to the horizontal conveyance path L 2 of the band-shaped workpiece W, and the frame plate 51. An upstream turn guide portion 5A having an upward slope, and a plurality of free rollers 52 that are arranged in parallel with each other along the horizontal conveyance path L2 of the belt-like workpiece W and are rotatably supported by the frame plate 51; It is divided into a horizontal guide portion 5B having a horizontal conveyance surface and a downstream turn guide portion 5C having a downward slope. The length of the free roller 52 in the longitudinal direction is slightly longer than the width of the belt-like workpiece W. The free roller 52 functions as a guide surface for transporting the strip-shaped workpiece W after the setting of the strip-shaped workpiece W to the front side exposure stage 2 is completed.

第１ワーク送り部６は、第１ワーク搬送ガイド部５に組み付けられた形態をとり、フレーム板５１に回転自在に支承され外周部に歯部を形成した駆動側プーリ６１と、同じくフレーム板５１に回転自在に支承され外周部に歯部を形成した従動側プーリ６２（６２ａ，６２ｂ，６２ｃ）と、内周部に形成した歯部が駆動側プーリ６１の歯部と従動側プーリ６２の歯部とに噛み合うように掛け渡された無端状のタイミングベルト６３と、駆動側プーリ６１に直結する回転駆動モータ６４とを備える。タイミングベルト６３は、左右一対とされ、その走行方向側に向けて突出し治具８に形成された切欠溝８１に掛合可能な断面視略Ｌ字状の凸部６３１を備える。凸部６３１は、左右のタイミングベルト６３に対象に設けられ、１本のタイミングベルト６３について等間隔に複数個設けられることが好ましい。左右対称とすることで搬送時の安定性が確保できる。 The first work feeding section 6 is in a form assembled to the first work conveyance guide section 5, and is rotatably supported by the frame plate 51 and has a driving pulley 61 having teeth formed on the outer peripheral portion thereof. Driven pulley 62 (62a, 62b, 62c) which is rotatably supported on the outer peripheral portion and the tooth portion formed on the inner peripheral portion is the teeth of the driving pulley 61 and the driven pulley 62. An endless timing belt 63 that is stretched so as to mesh with the portion, and a rotary drive motor 64 that is directly connected to the drive pulley 61 are provided. The timing belt 63 includes a pair of left and right protrusions, and includes a convex portion 631 having a substantially L-shaped cross-sectional view that protrudes toward the traveling direction and can be engaged with a notch groove 81 formed in the jig 8. It is preferable that a plurality of convex portions 631 are provided on the left and right timing belts 63 and provided at regular intervals with respect to one timing belt 63. The stability during conveyance can be ensured by making it symmetrical.

第１ニップローラ部７は、駆動側プーリ６１と同じ回転軸に取り付けられた駆動ローラ６５と、帯状ワークＷの表側面を押圧可能とする押圧面を有するニップローラ７１と、駆動ローラ６５に向けてニップローラ７１を水平駆動するエアーシリンダ７２とから構成される。駆動ローラ６５の取付位置は、下流ターンガイド部５Ｃの下方位置とされる。また駆動ローラ６５は、フリーローラ５２とは異なり、露光動作時における帯状ワークＷの搬送時には回転動作が拘束されているため、露光動作時に帯状ワークＷに接触しない位置に配置するのが好ましい。これにより、帯状ワークＷが損傷を受けることが回避できる。 The first nip roller unit 7 includes a driving roller 65 attached to the same rotation shaft as the driving pulley 61, a nip roller 71 having a pressing surface capable of pressing the front side surface of the belt-like workpiece W, and a nip roller toward the driving roller 65. And an air cylinder 72 for horizontally driving 71. The mounting position of the drive roller 65 is set to a position below the downstream turn guide portion 5C. Further, unlike the free roller 52, the driving roller 65 is constrained to rotate when the belt-like workpiece W is conveyed during the exposure operation, and is therefore preferably disposed at a position where it does not contact the belt-like workpiece W during the exposure operation. Thereby, it can avoid that the strip | belt-shaped workpiece | work W receives damage.

次に、図１から図６を参照して帯状ワークの自動セット装置の動作について説明する。作業者は、まず軸Ｊ１回りに回転自在に装着された送り出しリール２１（図１参照）から、帯状ワークＷの先端を手でつまみ、送り出しリール２１を回転させながら徐々に帯状ワークＷを繰り出す。そして、繰り出した帯状ワークＷをガイドローラ２２及び第１エアダンサー部２３にセットする。次に帯状ワークＷの先端に治具８を取り付けた後、治具８と帯状ワークＷとの付け根付近をグリッパ４１の隙間に通す。次に操作パネル９から、グリッパ４１を挟持状態とする指示を入力し、その後グリッパ４１を上昇させる指示を入力する。これによりグリッパ４１は、図６（Ａ）に示すように、上記付け根付近を挟持した状態でサーボモータ４３１の駆動により上昇する。 Next, the operation of the automatic apparatus for setting a strip-shaped workpiece will be described with reference to FIGS. The operator first picks up the belt-like workpiece W from the delivery reel 21 (see FIG. 1) rotatably mounted around the axis J 1 by hand, and gradually feeds the belt-like workpiece W while rotating the delivery reel 21. Then, the fed strip-shaped workpiece W is set on the guide roller 22 and the first air dancer 23. Next, after attaching the jig 8 to the tip of the strip-shaped workpiece W, the vicinity of the base of the jig 8 and the strip-shaped workpiece W is passed through the gap of the gripper 41. Next, an instruction for holding the gripper 41 is input from the operation panel 9 and then an instruction for raising the gripper 41 is input. As a result, as shown in FIG. 6A, the gripper 41 is lifted by the drive of the servo motor 431 while the vicinity of the root is sandwiched.

グリッパ４１が上昇して、図６（Ｂ）に示すように、治具８の切欠溝８１が掛合可能範囲５Ｄに入ったところで、グリッパ４１の停止指示を操作パネル９から入力する。これにより、サーボモータ４３１が停止し、治具８は掛合可能範囲５Ｄ内で停止する。なお、掛合可能範囲５Ｄとは、上向きに走行中の凸部６３１が治具８の切欠溝８１に掛合可能となる治具８の垂直方向位置の範囲である。続いて作業者は、タイミングベルト６３の走行指示を操作パネル９から入力する。これにより回転駆動モータ６４が回転して、駆動側プーリ６１が図中時計回り方向に回転し、タイミングベルト６３が走行する。 When the gripper 41 rises and the notch groove 81 of the jig 8 enters the engageable range 5D as shown in FIG. 6B, an instruction to stop the gripper 41 is input from the operation panel 9. As a result, the servo motor 431 stops and the jig 8 stops within the engageable range 5D. Note that the engageable range 5D is a range of a vertical position of the jig 8 in which the convex portion 631 that is traveling upward can engage with the notch groove 81 of the jig 8. Subsequently, the operator inputs a travel instruction for the timing belt 63 from the operation panel 9. As a result, the rotation drive motor 64 rotates, the drive pulley 61 rotates in the clockwise direction in the figure, and the timing belt 63 travels.

走行中のタイミングベルト６３は、上流ターンガイド部５Ａの最上流部では上向きに走行する。上向きに走行している凸部６３１が、掛合可能範囲内５Ｄにある治具８の切欠溝８１に掛合することにより、治具８はタイミングベルト６３と一体となり、図６（Ｃ）に示すように、第１ワーク搬送ガイド部５の上方を経由して水平方向に移動する。凸部６３１は、切欠溝８１の奥面８１１を押圧する形になり、上昇時及び水平走行時に外れにくい。 The traveling timing belt 63 travels upward in the uppermost stream portion of the upstream turn guide portion 5A. When the convex portion 631 traveling upward is engaged with the notch groove 81 of the jig 8 within the engageable range 5D, the jig 8 is integrated with the timing belt 63, as shown in FIG. Then, it moves in the horizontal direction via the upper part of the first workpiece conveyance guide unit 5. The convex portion 631 presses the inner surface 811 of the notch groove 81, and is difficult to come off during ascent and horizontal travel.

図６（Ｄ）に示すように、下側のタイミングベルト６３の走行方向が下方向から水平方向（図中左方向）に変わった位置で、凸部６３１は切欠溝８１から外れ、治具８がタイミングベルト６３から離脱する。治具８が凸部６３１から離脱した時点で、作業者は第１ニップローラ部７の押圧指示を操作パネル９から入力する。その結果、エアーシリンダ７２が駆動ローラ６５の側に延伸する。その結果、ニップローラ７１は、ニップローラ７１と駆動ローラ６５との間に介在した帯状ワークＷを挟持する。このとき回転駆動モータ６４の回転により駆動ローラ６５は回転しているため、帯状ワークＷは鉛直下方に向けて降下する。 As shown in FIG. 6D, at the position where the traveling direction of the lower timing belt 63 changes from the lower direction to the horizontal direction (left direction in the figure), the convex portion 631 comes off the notch groove 81 and the jig 8 Is detached from the timing belt 63. When the jig 8 is detached from the convex portion 631, the operator inputs an instruction to press the first nip roller portion 7 from the operation panel 9. As a result, the air cylinder 72 extends toward the driving roller 65. As a result, the nip roller 71 sandwiches the belt-like workpiece W interposed between the nip roller 71 and the drive roller 65. At this time, since the driving roller 65 is rotated by the rotation of the rotation driving motor 64, the belt-like workpiece W is lowered vertically downward.

帯状ワークＷが十分に手の届く位置まで降下したら、作業者は、第１ニップローラ部７の解除指示及び回転駆動モータ６４の停止指示を操作パネル９から入力する。これによりエアーシリンダ７２が収縮して、ニップローラ７１と駆動ローラ６５との間に挟持された帯状ワークＷは、その挟持から解放されると共に回転駆動モータ６４は停止する。 When the belt-like workpiece W is lowered to a position where it can be sufficiently reached, the operator inputs a release instruction for the first nip roller unit 7 and a stop instruction for the rotation drive motor 64 from the operation panel 9. As a result, the air cylinder 72 contracts, and the belt-like workpiece W sandwiched between the nip roller 71 and the drive roller 65 is released from the sandwich and the rotational drive motor 64 stops.

続いて作業者は、帯状ワークＷの上記付け根付近をグリッパ２４１の隙間に通し、第２エアダンサー部（図１参照）にセットする。その後、裏側面露光ステージ３へのセットを、表側面露光ステージ２へのセットと同様の作業要領で行う。以上の一連の作業をシーケンスプログラムによって行うようにしてもよい。 Subsequently, the operator passes the vicinity of the base of the belt-like workpiece W through the gap of the gripper 241 and sets it in the second air dancer portion (see FIG. 1). Thereafter, the setting to the back side exposure stage 3 is performed in the same manner as the setting to the front side exposure stage 2. The above series of operations may be performed by a sequence program.

このように、本発明に係る帯状ワークの自動セット装置によると、高所位置を搬送経路に含む帯状ワークの搬送装置に当該帯状ワークをセットする作業を、踏み台を使用することなく、自動的に行うことができ、安全性に優れ、しかも作業効率が良い。 As described above, according to the automatic apparatus for setting a belt-like workpiece according to the present invention, the work of setting the belt-like workpiece on the belt-like workpiece transporting apparatus including the high position in the transport path is automatically performed without using a step platform. It is possible to carry out, and it is excellent in safety and the work efficiency is good.

以上のようにして、セットされた帯状ワークＷは、表側面露光ステージ２において、第１上流グリップフィード部４のグリッパ４１と、第１下流グリップフィード部２４のグリッパ２４１とがそれぞれ帯状ワークＷを挟持した状態で上下方向にスライドすることにより、帯状ワークＷが間歇搬送される。間歇搬送された帯状ワークＷを第１吸着テーブル２５３により吸着保持した状態で、第１反射ミラー２５１により反射した光源からの光を、第１露光マスク２５２を通過させることにより、帯状ワークＷの表側面への露光を行う。 As described above, the set strip-shaped workpiece W is formed by the gripper 41 of the first upstream grip feed portion 4 and the gripper 241 of the first downstream grip feed portion 24 in the front side exposure stage 2 respectively. The belt-like workpiece W is intermittently conveyed by sliding in the up-down direction in the sandwiched state. The light from the light source reflected by the first reflecting mirror 251 is allowed to pass through the first exposure mask 252 in a state where the belt-like work W transported intermittently is sucked and held by the first suction table 253. Perform side exposure.

同様に、裏側面露光ステージ３において、第２上流グリップフィード部４Ｒのグリッパと、第２下流グリップフィード部３６のグリッパとがそれぞれ帯状ワークＷを挟持した状態で上下方向にスライドすることにより、帯状ワークＷが間歇搬送される。間歇搬送された帯状ワークＷを第２吸着テーブル３５３により吸着保持した状態で、第２反射ミラー３５１で反射した光源からの光を、第２露光マスク３５２を通過させることにより、帯状ワークＷの裏側面への露光を行う。 Similarly, in the back side exposure stage 3, the gripper of the second upstream grip feed portion 4 R and the gripper of the second downstream grip feed portion 36 slide in the vertical direction while sandwiching the strip-shaped workpiece W, thereby forming a strip shape. The workpiece W is conveyed intermittently. The back side of the belt-like workpiece W is passed by allowing the light from the light source reflected by the second reflecting mirror 351 to pass through the second exposure mask 352 while the belt-like workpiece W transported intermittently is sucked and held by the second suction table 353. Exposure to the surface.

以上、本発明の実施の形態について説明を行ったが、上に開示した実施の形態は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれら実施の形態に限定されるものではない。本発明の範囲は、特許請求の範囲の記載によって示され、更に特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更を含むことが意図される。 As mentioned above, although embodiment of this invention was described, embodiment disclosed above is an illustration to the last, Comprising: The scope of the present invention is not limited to these embodiment. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.

本発明に係る帯状ワークの自動セット装置を用いた両面露光装置の正面概略図である。It is the front schematic of the double-sided exposure apparatus using the automatic set apparatus of the strip | belt-shaped workpiece | work concerning this invention. 治具を帯状ワークの先端に取り付けた状態を示す図である。It is a figure which shows the state which attached the jig | tool to the front-end | tip of a strip | belt-shaped workpiece. 本発明に係る帯状ワークの自動セット装置の正面一部断面図である。It is a front fragmentary sectional view of the automatic set apparatus of the strip | belt-shaped workpiece | work concerning this invention. 本発明に係る帯状ワークの自動セット装置の平面一部断面図である。It is a plane partial sectional view of the automatic set device of the strip shaped work concerning the present invention. 治具の切欠溝が凸状部に掛合した状態を示す図である。It is a figure which shows the state which the notch groove of the jig | hook hooked on the convex-shaped part. 本発明に係る帯状ワークの自動セット装置の動作を説明するための図である。It is a figure for demonstrating operation | movement of the automatic set apparatus of the strip | belt-shaped workpiece | work concerning this invention. 従来における帯状ワークの両面露光装置を示す正面概略図である。It is the front schematic which shows the double-sided exposure apparatus of the conventional strip | belt-shaped workpiece | work.

符号の説明Explanation of symbols

４第１上流グリップフィード部（第１搬送手段）
５第１ワーク搬送ガイド部（搬送装置）
６第１ワーク送り部（第２搬送手段）
７第１ニップローラ部（第３搬送手段）
８治具
６１駆動側プーリ（プーリ）
６２従動側プーリ（プーリ）
６３タイミングベルト
６４回転駆動モータ（プーリ駆動部）
６５駆動ローラ
７１ニップローラ
８１切欠溝
６３１凸部（結合部、凸部）
Ｌ１上昇経路
Ｌ２水平搬送経路
Ｌ３降下経路
Ｐ１第１高所位置
Ｐ２第２高所位置
Ｗ帯状ワーク 4 1st upstream grip feed part (1st conveyance means)
5 1st work conveyance guide part (conveyance device)
6 1st work feeding part (2nd conveyance means)
7 First nip roller section (third transport means)
8 Jig 61 Drive side pulley (pulley)
62 Driven pulley (pulley)
63 Timing belt 64 Rotation drive motor (pulley drive unit)
65 Driving roller 71 Nip roller 81 Notch groove 631 Convex part (coupling part, convex part)
L1 Ascending path L2 Horizontal transport path L3 Descent path P1 First height position P2 Second height position W Band-shaped work

Claims

帯状ワークを下方から第１高所位置に引き上げる上昇経路と、第１高所位置から第２高所位置に水平搬送する水平搬送経路と、第２高所位置から下方に降下する降下経路とを搬送経路とする帯状ワークの搬送装置に当該帯状ワークを自動的にセットする帯状ワークの自動セット装置であって、帯状ワークの先端に治具を取り付けた状態で治具が第１高所位置に到達するように帯状ワークを上昇させる第１搬送手段と、第１高所位置と第２高所位置との間で水平移動可能に構成されると共に第１高所位置に到達した治具に結合し且つ第２高所位置に到達した治具から離脱可能に構成された結合部を有する第２搬送手段と、結合部から離脱した治具が第２高所位置から下方に向けて降下するように帯状ワークを降下させる第３搬送手段とを備えることを特徴とする帯状ワークの自動セット装置。 An ascending path for pulling up the belt-like workpiece from below to the first height position, a horizontal conveyance path for horizontally conveying from the first height position to the second height position, and a descending path descending downward from the second height position A belt-shaped workpiece automatic setting device that automatically sets the belt-shaped workpiece on a belt-shaped workpiece conveyance device serving as a conveyance path, with the jig mounted at the tip of the belt-shaped workpiece at the first height position. The first conveying means for raising the belt-like workpiece to reach the first workpiece, and configured to be horizontally movable between the first height position and the second height position and coupled to the jig reaching the first height position. And the second conveying means having a coupling portion configured to be detachable from the jig reaching the second height position, and the jig detached from the coupling portion descends downward from the second height position. And a third conveying means for lowering the belt-like workpiece. Automatic setting device of the strip-shaped workpiece, characterized and.

前記治具は、切欠溝を備え、前記第２搬送手段は、第１高所位置における上下位置に設けられたプーリと、第２高所位置における上下位置に設けられたプーリと、これら各プーリに掛け渡され前記切欠溝に掛合可能な凸部を表側面に備えた無端状のタイミングベルトと、タイミングベルトの走行方向が第１高所位置において下から上となるようにプーリを駆動するプーリ駆動部とを備える請求項１に記載の帯状ワークの自動セット装置。 The jig includes a notch groove, and the second conveying means includes a pulley provided at a vertical position at a first height position, a pulley provided at a vertical position at a second height position, and each of these pulleys. An endless timing belt provided on the front side with a convex portion that can be hooked on the notch groove, and a pulley that drives the pulley so that the running direction of the timing belt is from the bottom to the top at the first high position The automatic setting apparatus of the strip | belt-shaped workpiece | work of Claim 1 provided with a drive part.

前記第３搬送手段は、第２高所位置における帯状ワークを挟持しながら回転駆動する駆動ローラとニップローラとからなる請求項１または請求項２に記載の帯状ワークの自動セット装置。 3. The automatic apparatus for setting a belt-like workpiece according to claim 1, wherein the third transport unit includes a driving roller and a nip roller that are driven to rotate while sandwiching the belt-like workpiece at the second high position.

請求項１から請求項３のいずれかに記載の帯状ワークの自動セット装置を用いた帯状ワークの自動セット方法であって、帯状ワークの先端に治具を取り付けた状態で治具が第１高所位置に到達するように第１搬送手段により帯状ワークを上昇させるステップと、第１高所位置に到達した治具を第２搬送手段における結合部に結合するステップと、結合部に結合した治具を第２搬送手段により第１高所位置から第２高所位置に水平移動させるステップと、第２高所位置に到達した治具を第２搬送手段における結合部から離脱するステップと、結合部から離脱した治具が第２高所位置から下方に向けて降下するように帯状ワークを第３搬送手段により降下させるステップとを備えることを特徴とする帯状ワークの自動セット方法。 A method for automatically setting a belt-shaped workpiece using the automatic device for setting a belt-shaped workpiece according to any one of claims 1 to 3, wherein the jig is attached to the tip of the belt-shaped workpiece with the first height. A step of raising the belt-like workpiece by the first conveying means so as to reach the position, a step of coupling the jig that has reached the first height position to the coupling portion in the second conveying means, and a jig coupled to the coupling portion. Horizontally moving the tool from the first height position to the second height position by the second transport means, separating the jig that has reached the second height position from the coupling portion in the second transport means, And a step of lowering the belt-like workpiece by the third conveying means so that the jig detached from the part descends downward from the second height position.

前記各ステップを一連のシーケンスプログラムにより実行する請求項４に記載の帯状ワークの自動セット方法。 The automatic setting method of the strip | belt-shaped workpiece | work of Claim 4 which performs each said step by a series of sequence programs.