JP2007024559A - レンズユニット、形状検出装置、形状検出方法およびシートの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】被検体表面の微細な凹凸を精度良く、かつ、広範囲にわたって高速に検出可能なレンズユニット、このレンズユニットを用いた形状検出装置、形状検出方法およびシートの製造方法を提供すること。
【解決手段】光分離手段に直線偏光を入射させて、光路が互いに平行でかつ進行方向に対して直交する第１の方向にずれた位置にある互いに直交する振動方向を有する２つの直線偏光を生成する。これらを被検体表面に照射し、反射光を合成して１つの光線をなす。この光線を検光子で直線偏光を生成し、ラインセンサカメラで受光して、被検体表面の形状を検出する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、レンズユニット、形状検出装置、形状検出方法およびシートの製造方法に関する。

金属やガラスなどの表面上の微小な凹凸を観察する手段として微分干渉顕微鏡が知られている。微分干渉顕微鏡は光学顕微鏡に干渉装置を組み込んだものである。通常の光学顕微鏡は光の明暗差によってコントラストを得るが、微分干渉顕微鏡は光の光路差を干渉色の差として表現するもので、通常の光学顕微鏡とは異なったコントラストが得られる。微分干渉顕微鏡の原理を図２、図３を用いて説明する。

図３は、従来の微分干渉レンズユニット１１０の概略断面図である。光源４０から出射された入射光２０を集光レンズ１０によって集光し、偏光素子で構成された偏光子１１を通過させると直線偏光２１が得られる。直線偏光２１はハーフミラー１２によって進行方向を変え複屈折媒体１３（光分離手段）に入射する。複屈折媒体１３（光分離手段）を通過した直線偏光２１は、振動方向が互いに直交しており一定距離のずれ量１６だけ第１の方向（図３においては左右方向）にずれた２つの直線偏光２２ａ、２２ｂとなる。２つの直線偏光２２ａ、２２ｂを、これらが交わる点に後側焦点を有する対物レンズ１４に通過させると、被検体表面２に互いにコヒーレントで振動方向が互いに垂直な２つの直線偏光を落射させることができる。これらが被検体表面２で反射され複屈折媒体１３（光合成手段）に入射すると、一般的にこの反射光は楕円偏光２３となる。この楕円偏光２３を偏光素子で構成された検光子１５に通すと楕円偏光２３から直線偏光を得ることができる。楕円偏光２３の振動方向は前記２つの直線偏光２２ａ、２２ｂの光路差、つまり、被検体表面の段差１７の２倍の距離、すなわち位相差に応じて変化するので、検光子１５を通過する光の強度は、被検体表面の段差１７によって変化する。したがって微分干渉顕微鏡では被検体表面２の形状に応じて光の強度分布による像を得ることができる。

図２は、図３における被検体表面２の断面を拡大したものである。被検体表面２には図３のように第１の方向（光路ずれ方向）に沿って傾斜しており、上記２つの直線偏光２２ａおよび２２ｂの落射する２つの位置の高さが異なる、すなわち、被検体表面の段差１７が存在するものとする。このとき、入射光２０を白色光にすると、上記２つの直線偏光２２ａ、２２ｂの光路差つまり、被検体表面の段差１７の２倍の距離に応じた干渉色が得られる。すなわち、今まで見えなかった被検体表面２の微細構造の勾配が色のコントラストによって表現され、見えるようになる。

上記のような光学系のレンズ系を微分干渉レンズユニットと呼ぶことがある。

上記に示すように微分干渉顕微鏡の原理を利用することによって被検体表面２の微小な凹凸をコントラストよく観察することができる。この原理を利用した検査方法として、特許文献１に記載の方法がある。この方法は、被検体表面を検査用ビームで光照射する機構及びこの検査用光ビームに基づく被検体表面からの反射光を２次元ＣＣＤカメラを介して光量の変化に基づき被検体の欠陥を検出する機構を有する表面欠陥検査装置において、被検体からの反射光を捕らえる２次元ＣＣＤカメラの前に倍率５〜４００倍の微分干渉レンズユニットを取り付けるというものである。

この方法では、従来の２次元ＣＣＤカメラを用いた凹凸検査では検出できなかったｎｍ単位の微小な凹凸も検出することが可能であるとされている。

また、微分干渉の原理を利用して広い範囲を検査する方法として特許文献２に記載の方法がある。

この方法は、光源からの光を偏光素子を用いて２本の互いに直交した振動方向を有する互いに光軸のずれた平行な直線偏光ビームとし、被検体に前記直線偏光ビームを走査して、単眼のセンサで前記検体からの干渉光を含む戻り光によって前記被検体の表面凹凸を検出するものである。

この方法によると、光ビームを１次元的に走査するので広い範囲の検査が可能であり、さらに被検体が高速で走行する場合にも適用できる。
特開平５−２９６９４１号公報 特開平８−３２７５６２号公報

しかし、本発明者らの知見によると、特許文献１に記載のごとく、２次元ＣＣＤカメラを用いた場合には、視野全体で均一な凹凸検出感度が得られない場合がある。図８，図９を用いて以下に説明する。

図８は、被検体表面に存在する矢印ＯＡを２次元ＣＣＤカメラで検出する場合に、直線偏光が、複屈折媒体１３のどの場所を通過するかを表した概念図である。図の左右方向が２つの直線偏光（図示せず）のずれの方向、すなわち、第１の方向である。Ｏ点から出た直線偏光は、対物レンズを通過した後、複屈折媒体１３のＷ_２部分を通過してＯ´点へ集まり、Ａ点から出た直線偏光は、対物レンズを通過した後、複屈折媒体１３のＷ_１部分を通過してＡ´点へ集まる。すなわち、矢印ＯＡは矢印Ｏ´Ａ´の位置に結像する。被検体表面のうち、同一視野の中で第１の方向に異なる位置にある点を発した光は、複屈折媒体の第１の方向に異なる場所Ｗ_１およびＷ_２を透過することになる。

複屈折媒体の通過場所が異なる場合に問題となるのは、ずれ量の相違により感度が異なることである。図９に、その概念図を示す。複屈折媒体に入射する直線偏光は、スネルの法則に従う通常光Ｏ波と異常光線Ｅ波とに分離される。このとき、入射角度等の条件が同一であれば、２つの光線はある角度θを保って複屈折媒体１３を進行し、それぞれ複屈折媒体の接合面で再びある角度で屈折し、複屈折媒体から出射されてくるが、このとき、複屈折媒体に入射した場所に応じたずれ量Ｄ_１，Ｄ_２をもって出射されてくることになる。ずれ量が異なると被検体表面の段差１７における傾きが同じであっても異なるコントラストの画像が得られることになる。

したがって、２次元ＣＣＤカメラを用いた場合には、同一視野の中で第１の方向で感度が均一に得られない場合があることになる。

また、本発明者らの知見によると、特許文献２の方法では光ビームを走査する機構が必要なため装置コストが増加する。さらに、光ビームのスポット径が測定分解能となるため、光ビームスポット径より微小な面積の凹凸については検出精度が低下するという問題がある。

よって、本発明の目的は、視野全体で均一な画像が得られ、被検体表面の微細な凹凸を精度良く、広範囲にわたって高速に検出するための、レンズユニット、このレンズユニットを用いた形状検出装置、形状検出方法およびシートの製造方法を提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明によれば、直線偏光が入射すると、光路が互いに平行でかつ進行方向に対して直交する第１の方向にずれた位置にある、互いに直交する振動方向を有する２つの直線偏光を生成する光分離手段と、該光分離手段が生成した前記２つの直線偏光を被検体表面に照射する照射光学系と、前記被検体表面からの反射光を１つの光線に合成する光合成手段と、該光合成手段が合成した前記光線から直線偏光を生成する検光子と、該検光子が生成した前記直線偏光を受光する、前記第１の方向に対して６０度以上９０度以下の角をなす第２の方向に延びるラインセンサを有するラインセンサカメラを取り付けるカメラ取付部とを備えたレンズユニットが提供される。

また、本発明の好ましい態様によれば、前記光分離手段が前記光合成手段を兼ねるものであるレンズユニットを提供される。

また、前記光分離手段の前記第１の方向における位置を調整する調整手段を備えたレンズユニットを提供される。

また、本発明の別の形態によれば、直線偏光から光分離手段を用いて互いに振動方向が直交し、光路が互いに平行でかつ進行方向に対して直交する第１の方向にずれた位置にある2つの直線偏光を生成し、該2つの直線偏光を被検体表面に照射し、前記2つの直線偏光の前記被検体表面からの反射光を光合成手段を用いて１つの光線に合成し、該合成した光線を検光子を通過させて、前記第１の方向に対して６０度以上９０度以下の角をなす前記第２の方向に延びるラインセンサ上に結像させ、該ラインセンサの出力に基づいて前記被検体表面の形状情報を検出する被検体表面の形状検出方法を提供される。

また、本発明の別の形態によれば、直線偏光を発生させる光源と、該光源の生成した直線偏光が入射すると、光路が互いに平行でかつ進行方向に対して直交する第１の方向にずれた位置にある互いに直交する振動方向に有する２つの直線偏光を生成する光分離手段と、該光分離手段が生成した前記2つの直線偏光を被検体表面に照射する照射光学系と、前記被検体表面からの反射光を１つの光線に合成する光合成手段と、該光合成手段が合成した光線から直線偏光を生成する検光子と、該検光子を通過した直線偏光を受光する前記第１の方向に対して６０度以上９０度以下の角をなす前記第２の方向に延びるラインセンサとを備えてなる被検体表面の形状検出装置を提供される。

また、本発明の好ましい形態によれば、前記光分離手段は、前記第１の方向における位置を調整する調整手段を有する被検体表面の形状検出装置を提供される。

また、本発明の好ましい形態によれば、被検体が前記第２の方向に対して３０度以上６０度以下の角をなす方向に連続して走行するシートの被検体表面の形状検出方法を提供される。

また、本発明の好ましい形態によれば、形状検出方法を用いて前記シートの形状を検査するシートの製造方法を提供される。

本発明において、ラインセンサとは、同時に有効な視野をなす受光素子が１次元的に配列されたセンサをいう。ＴＤＩモード（時間遅延積分モード）で動作する場合の２次元センサも同時に有効な視野が１次元的な形態をとるのでここでいうラインセンサに該当する。

また、本発明において、光源としては、単色光または白色光を用いることが好ましい。単色光を用いた場合、被検体表面の段差が明暗のコントラストとなってラインセンサカメラで撮像される。白色光を用いた場合、被検体表面の段差が有色のコントラストとしてラインセンサカメラで撮像される。ここで白色光とは、連続する１００ｎｍ以上の波長範囲にわたって光を発する光源をいう。

また、本発明において、ラインセンサカメラとしてはモノクロでもカラーでもよい。入射光に白色光を用い、干渉色で被検体表面の凹凸を検査する場合はカラーカメラを用いることが好ましい。ラインセンサカメラの画素数は１０００、２０００、５０００、７５００などを用いることができるが、画素数が多いほど細かい欠点を検出することが可能である。

また、本発明において、光分離手段とは、入射した直線偏光を通常光Ｏ波と異常光Ｅ波とに分離して出射する光学素子をいう。また、光合成手段とは、通常光Ｏ波と異常光Ｅ波とが同時に入射したときにこれらを合成して、一般には楕円偏光を生成する光学素子をいう。いずれも、ノマルスキープリズムやサバール板、ウォラストンプリズムなどで構成することができる。ノマルスキープリズムは、水晶や方解石などの一軸性結晶を適当な角度で切断し貼り合わせたプリズムで、１つの光束を互いに直交する方向に振動する２つの光波（通常光Ｏ波と異常光Ｅ波）に分離する。光分離手段と光合成手段とを図３の単一の複屈折媒体１３と同様に単一の素子で実現することもありうる。この場合、一個の素子で１つの光束を分割したり合わせたりするので、機械的・熱的な乱れに強い。

また、光分離手段の位置の調整手段としては、マイクロメータ類を利用したものが好ましく使用される。

本発明によれば、以下に説明するとおり、ラインセンサカメラに微分干渉計を付与することができるので、連続走行しているフィルムなどのシート表面の微小な凹凸を精度良く、かつ、広範囲にわたって高速に検出することができる。

以下、本発明の最良の実施形態の例をフィルム表面検査装置に適用した場合を例にとって、図面を参照しながら説明する。なお、図３に記載した従来の微分干渉レンズユニット１１０と共通する部材については同一の符号を付し、説明を省略することがある。

図１は、本実施形態のレンズユニット１００とラインセンサ３０とからなるフィルム表面検査装置の概略断面図である。

図１に示すように、本実施形態のレンズユニット１００は、図３で示した従来の微分干渉レンズユニット１１０に、カメラ取付部１９、位置調整手段３３を取り付けたものである。また、上記カメラ取付部１９には、第１の方向（光路ずれ方向）と直交する第２の方向（視野幅方向、図１においては紙面に垂直な方向）に延びるラインセンサ３０を含むラインセンサカメラ３１が取り付けられている。被検体としては、上記第２の方向（視野幅方向）および２つの直線偏光２２ａおよび２２ｂの光軸の方向にともに直交する方向（紙面の左右方向であり、本実施形態においては第１の方向と一致する）に連続的に走行しているプラスチックのシート３００が置かれている。

本実施形態のレンズユニット１００の２つの直線偏光２２ａおよび２２ｂの光軸、ラインセンサ３０の視野およびシート３００の走行方向の位置関係について、図４、図５、図６を用いて以下に説明する。

図４、図５は２つの直線偏光２２ａおよび２２ｂの光軸の位置とラインセンサ３０の視野との位置関係を表した概念図であり、これらの光軸に平行な方向から見たものである。

図４に示すように、シート３００の走行方向は、第２の方向すなわちラインセンサ３０の視野幅方向と直交する方向である。図４は、第１の方向（光路ずれ方向）にずれた位置にある２本の直線偏光２２ａ、２２ｂと、第２の方向に延びるラインセンサ３０の視野幅方向とのなす角度が９０度の場合を示している。

シート３００上に、シート３００の走行方向と直交する方向、すなわち、光路ずれ方向と直交する方向に長い形状のキズ３があった場合を考える。

図６は本実施形態のレンズユニット１００を用いた場合における、被検体表面への光の照射の様子を表した斜視図である。この状況において、シート３００に形成されたキズ３は、紙面の左側から右側へ移動する。図６に示すように、キズ３が２本の直線偏光２２ａ、２２ｂに差し掛かったとき、直線偏光２２ｂは２２ａよりも深い場所に落射しており、直線偏光２２ｂと２２ａは、その深さの差すなわち段差の２倍の距離の分だけ光路差が生じるので、複屈折媒体１３で合成したときに他の部位とは異なる干渉が起こる。直線偏光２２ａ、２２ｂのずれ量１６を大きくすると、２本の直線偏光の光路差が大きくなり、キズの部位における光路差が大きくなるため、さらに被検体表面２の凹凸の検出精度が向上することになる。

直線偏光２２ｂと２２ａの反射光の光路差が最も長くなるため、被検体表面２のキズ３は、第１の方向（光路ずれ方向）に直交する方向に延在しているときに最も精度が高く検出することができる。被検体表面２のキズ３の長手方向か第１の方向（光路ずれ方向）となす角度が９０度から離れれば離れるほど同じ形状のキズであっても、直線偏光２２ｂと２２ａの反射光の光路差が短くなるため、検出精度は低くなっていく。

被検体表面２に第１の方向（光路ずれ方向）に対して平行に近い方向に長手方向のあるキズや異物などがある場合には、直線偏光２２ｂと２２ａの反射光の光路差が短くなることから、検出精度が低くなることになる。この場合に検出精度を上げるためには、直線偏光２２ｂと２２ａの光路差を長くすること、すなわち、キズや長い異物の方向に直交するように第１の方向（光路ずれ方向）を合わせることが考えられる。なお、この場合には、検出精度を高く保つために、第１の方向（光路ずれ方向）と第２の方向（視野幅方向）のなす角度を６０度以上９０度以下に保った状態でシート３００の走行方向に対する視野幅方向を調整するのがよい。

また、シート３００の走行方向に対して平行な方向に長手方向を有するキズも直交する方向のキズも検出したいときは、図５のように第１の方向（光路ずれ方向）とシートの走行方向のなす角度を３０度以上６０度以下とするのがよい。角度が３０度以下、６０度以上のときは、どちらかの方向に長手方向を有するキズの検出感度が低下し、バランスがとりにくくなるからである。

なお、この場合にも、検出精度を高く保つために、第１の方向（光路ずれ方向）と第２の方向（視野幅方向）のなす角度を６０度以上９０度以下に保った状態で方向を調整するのがよい。

また、位置調整手段３３で複屈折媒体１３の位置を第１の方向（光路ずれ方向）に調整することにより、図９で説明した原理により直線偏光２２ｂと２２ａの光路差が変化するので、２本の直線偏光の位相差が変化する。光路差が一定であっても位相差を変えると干渉の強度を変えることができるので、位相差によって被検体表面凹凸の検出精度を変えることができる。

ところで、前述のように、２次元ＣＣＤカメラの場合、２つの直線偏光２２ａ、２２ｂを視野上下方向（図８では左右方向）にずれるように複屈折媒体１３を設置すると、視野上下端部では複屈折媒体１３に入射する光線の入射場所が異なるので、視野上下端部では直線偏光２２ａと２２ｂのずれ量が異なる。ずれ量が異なると被検体表面の段差１７が同じであっても異なるコントラストの画像が得られることになり、視野上下端部で均一な凹凸検出感度が得られない。

一方、第１の方向に対して直交する方向に視野幅方向が延びたラインセンサカメラの場合、画素が一方向、ここでは第２の方向（視野幅方向、図８では、紙面に垂直方向）にのみ並んでいるため、２つの直線偏光２２ａ、２２ｂを視野上下方向にずれるように複屈折媒体１３を設置した場合、ラインセンサカメラの画素には、複屈折媒体１３に所定の場所に入射した光線のみが集まるので、視野幅方向に対して均一な凹凸検出感度が得られる。

上記実施形態において、対物レンズ１４の倍率は１倍以上が好ましい。倍率を大きくすると検査範囲が狭くなるため、検査範囲が広くなるとカメラ台数が増えて装置コストが増大する。したがって、１０倍以下がよい。ここで対物レンズの倍率とは、（結像面での被測定物体の大きさ）／（実際の被測定物体の大きさ）である。

また、上記実施形態において、複屈折媒体１３（光分離手段、光合成手段）のサイズは２本の直線偏光２２ａ、２２ｂがラインセンサ３０の受光部全体に受光されるサイズとする。

図７は本実施形態のレンズユニット１００を用いたフィルム表面検査装置の全体構成を示す概略図である。

本実施形態のレンズユニット１００を用いた検査の場合、図７に示すようにラインセンサ３０で受光した光は受光素子毎に、受光量に応じた電気信号に変換され、欠点検出手段３２へ入力される。欠点検出手段３２は入力された電気信号に基づいて欠点の有無や欠点のレベルを判定する。

以上のレンズユニットを用いた検査装置により、フィルム表面の微小キズを検査した結果を説明する。

入射光２０の光源４０にはメタルハライドランプを使用した。対物レンズ１４の倍率は１倍とし、ラインセンサ３０は受光素子サイズが７μｍ×７μｍ、受光素子数５０００でモノクロタイプのものを使用した。受光素子のピッチは７μｍであり、ラインセンサ３０の視野幅は３５ｍｍである。ラインセンサ３０の駆動クロックは４０ＭＨｚである。フィルムは透明、厚さ６μｍであり、ラインセンサ３０の視野幅方向およびスリット１８の長手方向と直交する方向に５ｍ／ｍｉｎで走行させながら撮像した。

レンズユニット１００は２つの直線偏光２２ａ、２２ｂの光軸のずれ方向がラインセンサ３０の視野幅方向と直交するようにラインセンサカメラ３１に取り付けた。また、２つの直線偏光のずれ量は５μｍとした。レンズの複屈折媒体１３を２つの直線偏光のずれる方向に移動させて感度を調整し、０．１μｍの凹凸が検出できる位置に固定した。

本装置でフィルムを検査した結果、深さ０．１μｍのキズを検出することができた。

実施例１と同じ構成の検査装置により、銅箔フィルム表面の凹凸を検査した結果を説明する。

銅箔は１ｍ／ｍｉｎで走行させた。

その結果、φ３０μｍ、高さ２μｍの突起を検出することができた。

また、従来のように銅箔フィルム表面に対して浅い角度から光を照射し、フィルム表面の突起による散乱光を受光する方法では突起の有無は判別できても突起の高さや面積は測定できなかったが、本発明の方法では突起の面積を精度良く測定することができた。さらに、突起の斜度が白黒の濃淡のコントラストとなって受光されるので、突起高さの大小も判別することができた。

本発明は、フィルム表面の検査装置に限らず、金属板表面検査装置やガラス板表面検査装置などにも応用することができるが、その応用範囲が、これらに限られるものではない。

本発明の好ましい実施形態のフィルム表面センサ装置の概略断面図である。 図３における被検体表面の断面の拡大図である。 従来の微分干渉レンズユニットの概略断面図である。 第１の実施形態における２つの直線偏光２２ａおよび２２ｂの光軸の位置とラインセンサ３０の視野との位置関係を表した概念図である。 第１の実施形態における２つの直線偏光２２ａおよび２２ｂの光軸の位置とラインセンサ３０の視野との位置関係を表した概念図である。 図１の実施形態のレンズユニットを用いた場合における、被検体表面への光の照射の様子を表した斜視図である。 図１の実施形態のレンズユニットに係るフィルム表面検査装置の全体構成を示す概略図である。 図３における直線偏光が複屈折媒体のどの場所を通過するかを表した概念図である。 複屈折媒体の通過場所が異なるときのずれ量の相違の概念図である。

符号の説明

２ 被検体表面
３ キズ
１０ 集光レンズ
１１ 偏光子
１２ ハーフミラー
１３ 複屈折媒体（光分離手段、光合成手段）
１４ 対物レンズ
１５ 検光子
１６ ずれ量
１７ 被検体表面の段差
１９ カメラ取付部
２０ 入射光
２１ 直線偏光
２２ａ 直線偏光（通常光Ｏ波）
２２ｂ 直線偏光（異常光Ｅ波）
３０ ラインセンサ
３１ ラインセンサカメラ
３２ 欠点検出手段
３３ 位置調整手段
４０ 光源
１００ レンズユニット
１１０ 従来の微分干渉レンズユニット
３００ シート

Claims (8)

1. 直線偏光が入射すると、光路が互いに平行でかつ進行方向に対して直交する第１の方向にずれた位置にある、互いに直交する振動方向を有する２つの直線偏光を生成する光分離手段と、該光分離手段が生成した前記２つの直線偏光を被検体表面に照射する照射光学系と、前記被検体表面からの反射光を１つの光線に合成する光合成手段と、該光合成手段が合成した前記光線から直線偏光を生成する検光子と、該検光子が生成した前記直線偏光を受光する、前記第１の方向に対して６０度以上９０度以下の角をなす第２の方向に延びるラインセンサを有するラインセンサカメラを取り付けるカメラ取付部とを備えたレンズユニット。
2. 前記光分離手段が前記光合成手段を兼ねるものである、請求項１に記載のレンズユニット。
3. 前記光分離手段の前記第１の方向における位置を調整する調整手段を備えたことを特徴とする請求項１または２に記載のレンズユニット。
4. 直線偏光から光分離手段を用いて互いに振動方向が直交し、光路が互いに平行でかつ進行方向に対して直交する第１の方向にずれた位置にある2つの直線偏光を生成し、該2つの直線偏光を被検体表面に照射し、前記2つの直線偏光の前記被検体表面からの反射光を光合成手段を用いて１つの光線に合成し、該合成した光線を検光子を通過させて、前記第１の方向に対して６０度以上９０度以下の角をなす前記第２の方向に延びるラインセンサ上に結像させ、該ラインセンサの出力に基づいて前記被検体表面の形状情報を検出することを特徴とする被検体表面の形状検出方法。
5. 直線偏光を発生させる光源と、該光源の生成した直線偏光が入射すると、光路が互いに平行でかつ進行方向に対して直交する第１の方向にずれた位置にある互いに直交する振動方向に有する２つの直線偏光を生成する光分離手段と、該光分離手段が生成した前記2つの直線偏光を被検体表面に照射する照射光学系と、前記被検体表面からの反射光を１つの光線に合成する光合成手段と、該光合成手段が合成した光線から直線偏光を生成する検光子と、該検光子を通過した直線偏光を受光する前記第１の方向に対して６０度以上９０度以下の角をなす前記第２の方向に延びるラインセンサとを備えてなる被検体表面の形状検出装置。
6. 前記光分離手段は、前記第１の方向における位置を調整する調整手段を有するものである、請求項５に記載の被検体表面の形状検出装置。
7. 被検体が前記第２の方向に対して３０度以上６０度以下の角をなす方向に連続して走行するシートであることを特徴とする請求項４に記載の被検体表面の形状検出方法。
8. 請求項７に記載の形状検出方法を用いて前記シートの形状を検査することを特徴とするシートの製造方法。

Images