JP2007024070A - 圧力制御弁 - Google Patents
圧力制御弁 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007024070A JP2007024070A JP2005203010A JP2005203010A JP2007024070A JP 2007024070 A JP2007024070 A JP 2007024070A JP 2005203010 A JP2005203010 A JP 2005203010A JP 2005203010 A JP2005203010 A JP 2005203010A JP 2007024070 A JP2007024070 A JP 2007024070A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- control valve
- chamber
- outer chamber
- valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000013016 damping Methods 0.000 claims abstract description 78
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 61
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 57
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 21
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 abstract description 8
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 abstract description 6
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 abstract description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- 230000008859 change Effects 0.000 description 8
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 7
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 5
- 230000000241 respiratory effect Effects 0.000 description 4
- 230000029058 respiratory gaseous exchange Effects 0.000 description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- BQCIDUSAKPWEOX-UHFFFAOYSA-N 1,1-Difluoroethene Chemical compound FC(F)=C BQCIDUSAKPWEOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NPNPZTNLOVBDOC-UHFFFAOYSA-N 1,1-difluoroethane Chemical compound CC(F)F NPNPZTNLOVBDOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 1
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 1
- 230000010349 pulsation Effects 0.000 description 1
- 210000002345 respiratory system Anatomy 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Control Of Fluid Pressure (AREA)
- Safety Valves (AREA)
Abstract
【解決手段】流入部12側に配された第一ダイヤフラム50と、流出部15側に配された第二ダイヤフラム60とを有し、各ダイヤフラムは、その外周部がボディ本体に固定されてチャンバ20内に取り付けられ、チャンバを第1ダイヤフラム外側の第一外室21、第一ダイヤフラム及び第二ダイヤフラムに囲まれ流入部及び弁座16並びに流出部を有する弁室25、第二ダイヤフラム外側の第二外室30に区分し、少なくとも第一又は第二外室のいずれかに加圧手段Mを備える制御弁において、第一外室内又は第二外室内のボディ本体11に弁機構体の進退方向と同一方向に穿設した摺動孔80を形成し、弁機構体に摺動孔の内面81と空隙部85を介して圧接摺動するゴム弾性体よりなる制振部材90を設ける。
【選択図】図1
Description
図1はこの発明の第一実施例に係る圧力制御弁の閉弁状態の縦断面図、図2は図1における圧力制御弁の開弁状態の縦断面図、図3は摺動孔と制振部材の圧接摺動の関係を示す第1の概略図、図4は摺動孔と制振部材の圧接摺動の関係を示す第2の概略図、図5はゴムロッドとその内孔の関係を示す概略図、図6は第二実施例に係る圧力制御弁の閉弁状態の縦断面図、図7は第三実施例に係る圧力制御弁の閉弁状態の縦断面図、図8は図7の主要部拡大図、図9は第四実施例に係る圧力制御弁の閉弁状態の縦断面図、図10は第五実施例に係る圧力制御弁の閉弁状態の縦断面図、図11は第六実施例に係る圧力制御弁の閉弁状態の縦断面図、図12は第七実施例に係る圧力制御弁の閉弁状態の縦断面図、図13は第八実施例に係る圧力制御弁の閉弁状態の縦断面図である。
11 ボディ本体
12 流入部
15 流出部
16 弁座
20 チャンバ
21 第一外室
25 弁室
30 第二外室
40 弁機構体
41 弁部
50 第一ダイヤフラム
51 第一ダイヤフラムの薄肉可動部
52 第一ダイヤフラムの外周部
60 第二ダイヤフラム
61 第二ダイヤフラムの薄肉可動部
62 第二ダイヤフラムの外周部
70 保持部材
75 付勢手段
80 摺動孔
81 内面
83 圧接部
85 空隙部
90 制振部材(ゴムロッド)
95 内孔
M 加圧手段
Claims (8)
- 一側に被制御流体の流入部(12)を有し、弁座(16)を介して他側に被制御流体の流出部(15)が形成されたチャンバ(20)を有するボディ本体(11)と、
前記弁座を開閉する弁部(41)と、前記流入部側に配された第一ダイヤフラム(50)と、前記流出部側に配された第二ダイヤフラム(60)とを有する弁機構体(40)とを有し、
前記各ダイヤフラムは、その外周部が前記ボディ本体に固定されて前記チャンバ内に取り付けられていて、該チャンバを前記第1ダイヤフラム外側の第一外室(21)、前記第一ダイヤフラム及び第二ダイヤフラムに囲まれ前記流入部及び弁座並びに流出部を有する弁室(25)、前記第二ダイヤフラム外側の第二外室(30)に区分しており、
少なくとも前記第一外室又は第二外室のいずれか一方の外室に加圧手段(M)を備えなる制御弁において、
前記第一外室内又は第二外室内のボディ本体には前記弁機構体の進退方向と同一方向に穿設された摺動孔(80)が形成されているとともに、前記弁機構体には前記摺動孔の内面(81)と空隙部(85)を介して圧接摺動するゴム弾性体よりなる制振部材(90)が設けられていることを特徴とする圧力制御弁。 - 一側に被制御流体の流入部(12)を有し、弁座(16)を介して他側に被制御流体の流出部(15)が形成されたチャンバ(20)を有するボディ本体(11)と、
前記弁座を開閉する弁部(41)と、前記流入部側に配された第一ダイヤフラム(50)と、前記流出部側に配された第二ダイヤフラム(60)とを有する弁機構体(40)とを有し、
前記各ダイヤフラムは、その外周部が前記ボディ本体に固定されて前記チャンバ内に取り付けられていて、該チャンバを前記第1ダイヤフラム外側の第一外室(21)、前記第一ダイヤフラム及び第二ダイヤフラムに囲まれ前記流入部及び弁座並びに流出部を有する弁室(25)、前記第二ダイヤフラム外側の第二外室(30)に区分しており、
少なくとも前記第一外室又は第二外室のいずれか一方の外室に加圧手段(M)を備えなる制御弁において、
前記第一ダイヤフラム又は第二ダイヤフラムには前記弁機構体の進退方向と同一方向の摺動孔(80)が形成されているとともに、前記摺動孔が形成されているダイヤフラム外側の外室には前記摺動孔の内面(81)と空隙部(85)を介して圧接摺動するゴム弾性体よりなる制振部材(90)が設けられていることを特徴とする圧力制御弁。 - 前記第一外室及び第二外室の双方に加圧手段が備えられている請求項1又は2に記載の圧力制御弁。
- 前記第一外室又は第二外室のいずれか一方の外室内にダイヤフラムを所定方向に付勢する付勢手段が備えられている請求項1ないし3のいずれか1項に記載の圧力制御弁。
- 前記制振部材が、前記弁機構体に保持部材を介して取り付けられている請求項1、3、4のいずれか1項に記載の圧力制御弁。
- 前記制振部材が、前記摺動孔を形成しているダイヤフラム外側の外室に保持部材を介して取り付けられている請求項2ないし4のいずれか1項に記載の圧力制御弁。
- 前記制振部材が前記摺動孔と断面形状を異にするゴムロッドよりなる請求項1ないし6のいずれか1項に記載の圧力制御弁。
- 前記ゴムロッドの軸方向に内孔が設けられている請求項7に記載の圧力制御弁。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005203010A JP4625730B2 (ja) | 2005-07-12 | 2005-07-12 | 圧力制御弁 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005203010A JP4625730B2 (ja) | 2005-07-12 | 2005-07-12 | 圧力制御弁 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007024070A true JP2007024070A (ja) | 2007-02-01 |
JP4625730B2 JP4625730B2 (ja) | 2011-02-02 |
Family
ID=37785110
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005203010A Active JP4625730B2 (ja) | 2005-07-12 | 2005-07-12 | 圧力制御弁 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4625730B2 (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009097564A (ja) * | 2007-10-15 | 2009-05-07 | Advance Denki Kogyo Kk | ボディ本体におけるブロック間固定構造 |
JP4819967B2 (ja) * | 2008-09-25 | 2011-11-24 | 株式会社コガネイ | 減圧弁 |
CN102720881A (zh) * | 2012-06-19 | 2012-10-10 | 宁波星箭航天机械有限公司 | 气控膜片式高压大流量减压阀出口压力控制*** |
CN105320158A (zh) * | 2014-07-29 | 2016-02-10 | 盛美半导体设备(上海)有限公司 | 稳流装置 |
JP2017106517A (ja) * | 2015-12-08 | 2017-06-15 | 株式会社Lixil | 開閉弁装置 |
CN108730562A (zh) * | 2018-06-20 | 2018-11-02 | 杭州电子科技大学 | 一种自引阻尼真空隔膜阀 |
WO2020111148A1 (ja) * | 2018-11-30 | 2020-06-04 | 旭有機材株式会社 | ダイヤフラム弁 |
US10865886B2 (en) | 2017-11-16 | 2020-12-15 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Pressure control valve and apparatus and method for processing a substrate including the same |
JP2022509669A (ja) * | 2018-12-18 | 2022-01-21 | インテグリス・インコーポレーテッド | 流体の流れを制御するための弁および弁部材 |
WO2024011997A1 (zh) * | 2022-07-12 | 2024-01-18 | 南京菡束环保设备有限公司 | 开关阀 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106802676B (zh) * | 2017-03-08 | 2019-12-17 | 成都九门科技有限公司 | 一种驱动调压器 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6237700U (ja) * | 1985-08-23 | 1987-03-05 | ||
JP2671183B2 (ja) * | 1993-04-07 | 1997-10-29 | アドバンス電気工業株式会社 | 流体コントロールバルブ |
JPH10184962A (ja) * | 1996-12-25 | 1998-07-14 | Kimura Giken Kk | フラッシュ弁装置 |
JPH1185287A (ja) * | 1997-09-10 | 1999-03-30 | Advance Denki Kogyo Kk | 流量コントロールバルブ |
JPH11182456A (ja) * | 1997-12-19 | 1999-07-06 | Jidosha Kiki Co Ltd | リリーフバルブ付きポンプ |
JPH11270729A (ja) * | 1998-03-24 | 1999-10-05 | Keihin Corp | ソレノイド装置 |
JP3467438B2 (ja) * | 1999-09-29 | 2003-11-17 | アドバンス電気工業株式会社 | 背圧制御弁 |
JP2004038571A (ja) * | 2002-07-03 | 2004-02-05 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | 流体制御弁 |
JP2004185872A (ja) * | 2002-11-29 | 2004-07-02 | Keihin Corp | 燃料電池用レギュレータ |
JP2004270914A (ja) * | 2003-01-17 | 2004-09-30 | Showa Corp | リリーフ弁 |
-
2005
- 2005-07-12 JP JP2005203010A patent/JP4625730B2/ja active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6237700U (ja) * | 1985-08-23 | 1987-03-05 | ||
JP2671183B2 (ja) * | 1993-04-07 | 1997-10-29 | アドバンス電気工業株式会社 | 流体コントロールバルブ |
JPH10184962A (ja) * | 1996-12-25 | 1998-07-14 | Kimura Giken Kk | フラッシュ弁装置 |
JPH1185287A (ja) * | 1997-09-10 | 1999-03-30 | Advance Denki Kogyo Kk | 流量コントロールバルブ |
JPH11182456A (ja) * | 1997-12-19 | 1999-07-06 | Jidosha Kiki Co Ltd | リリーフバルブ付きポンプ |
JPH11270729A (ja) * | 1998-03-24 | 1999-10-05 | Keihin Corp | ソレノイド装置 |
JP3467438B2 (ja) * | 1999-09-29 | 2003-11-17 | アドバンス電気工業株式会社 | 背圧制御弁 |
JP2004038571A (ja) * | 2002-07-03 | 2004-02-05 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | 流体制御弁 |
JP2004185872A (ja) * | 2002-11-29 | 2004-07-02 | Keihin Corp | 燃料電池用レギュレータ |
JP2004270914A (ja) * | 2003-01-17 | 2004-09-30 | Showa Corp | リリーフ弁 |
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4653795B2 (ja) * | 2007-10-15 | 2011-03-16 | アドバンス電気工業株式会社 | ボディ本体におけるブロック間固定構造 |
JP2009097564A (ja) * | 2007-10-15 | 2009-05-07 | Advance Denki Kogyo Kk | ボディ本体におけるブロック間固定構造 |
JP4819967B2 (ja) * | 2008-09-25 | 2011-11-24 | 株式会社コガネイ | 減圧弁 |
CN102720881A (zh) * | 2012-06-19 | 2012-10-10 | 宁波星箭航天机械有限公司 | 气控膜片式高压大流量减压阀出口压力控制*** |
CN105320158A (zh) * | 2014-07-29 | 2016-02-10 | 盛美半导体设备(上海)有限公司 | 稳流装置 |
CN105320158B (zh) * | 2014-07-29 | 2020-02-14 | 盛美半导体设备(上海)有限公司 | 稳流装置 |
JP2017106517A (ja) * | 2015-12-08 | 2017-06-15 | 株式会社Lixil | 開閉弁装置 |
US10865886B2 (en) | 2017-11-16 | 2020-12-15 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Pressure control valve and apparatus and method for processing a substrate including the same |
CN108730562A (zh) * | 2018-06-20 | 2018-11-02 | 杭州电子科技大学 | 一种自引阻尼真空隔膜阀 |
WO2020111148A1 (ja) * | 2018-11-30 | 2020-06-04 | 旭有機材株式会社 | ダイヤフラム弁 |
CN113167394A (zh) * | 2018-11-30 | 2021-07-23 | 旭有机材株式会社 | 隔膜阀 |
KR20210096087A (ko) | 2018-11-30 | 2021-08-04 | 아사히 유키자이 가부시키가이샤 | 다이어프램 밸브 |
JPWO2020111148A1 (ja) * | 2018-11-30 | 2021-11-18 | 旭有機材株式会社 | ダイヤフラム弁 |
US11473682B2 (en) | 2018-11-30 | 2022-10-18 | Asahi Yukizai Corporation | Diaphragm valve |
CN113167394B (zh) * | 2018-11-30 | 2023-08-25 | 旭有机材株式会社 | 隔膜阀 |
JP7357639B2 (ja) | 2018-11-30 | 2023-10-06 | 旭有機材株式会社 | ダイヤフラム弁 |
JP2022509669A (ja) * | 2018-12-18 | 2022-01-21 | インテグリス・インコーポレーテッド | 流体の流れを制御するための弁および弁部材 |
WO2024011997A1 (zh) * | 2022-07-12 | 2024-01-18 | 南京菡束环保设备有限公司 | 开关阀 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4625730B2 (ja) | 2011-02-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4625730B2 (ja) | 圧力制御弁 | |
JP6277835B2 (ja) | 燃料蒸気制御装置 | |
JP4237781B2 (ja) | 流量制御弁 | |
US8770221B2 (en) | Pressure regulating valve | |
JP3467438B2 (ja) | 背圧制御弁 | |
JP6273093B2 (ja) | 逆止弁 | |
CN108692062B (zh) | 金属隔膜阀 | |
JP2007024071A (ja) | 圧力制御弁 | |
JP7041416B2 (ja) | 流体制御弁 | |
JP5388878B2 (ja) | 電磁弁 | |
JP2013241835A (ja) | 高圧燃料ポンプのリリーフ弁 | |
EP1582788B1 (en) | Excess flow valve | |
JP5357233B2 (ja) | 操作エア用中間弁 | |
JP2020063777A (ja) | ダイヤフラム弁 | |
JP5902063B2 (ja) | 液体供給制御弁 | |
JP2017155910A (ja) | 流体制御弁 | |
JP5551650B2 (ja) | 液垂れ防止バルブ | |
JP2005054618A (ja) | 流体制御弁及び燃料噴射弁 | |
JP4963478B2 (ja) | 流体制御弁 | |
JP2019019694A (ja) | 燃料ポンプ | |
JP2019163834A (ja) | 膨張弁 | |
JP2007113764A (ja) | ダイヤフラム式制御弁 | |
JP4763936B2 (ja) | バルブにおけるガスパージ方法及び構造 | |
JP2010255668A (ja) | 定流量弁 | |
JP2019163887A (ja) | 膨張弁 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070417 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090812 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090908 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091015 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100427 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100618 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101019 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101108 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4625730 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131112 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |