JP2007019590A - Semiconductor signal switching circuit - Google Patents

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Tomonori Okashita
友則 岡下
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a semiconductor signal switching circuit the impedance of which when viewing the inside thereof from a terminal connected to an external circuit is in matching with the impedance of the external circuit connected to the semiconductor signal switching circuit. <P>SOLUTION: The semiconductor signal switching circuit includes switch circuits 31, 32 for switching between a conductive state and a shut-off state of signal paths in response to a switching control signal applied to switching control terminals 4, 5. The switch circuit 31 (32) includes a connection terminal 2 (3), an external control terminal 6 (7), and an impedance variable circuit 19 (29). The connection terminals 2, 3 are connected to the external circuit (not shown). An external control signal is applied to the external control terminals 6, 7. The impedance variable circuit 19 (29) is connected in shunt with the signal paths. The impedance of the switch circuit 31 (32) when viewed from the connection terminal 2 (3) is adjusted on the basis of the external control signal. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、信号切替回路に関し、特に、インピーダンス整合が重視される信号切替回路に関する。   The present invention relates to a signal switching circuit, and more particularly to a signal switching circuit in which impedance matching is important.

一般にインピーダンス整合が重視される通信機、携帯電話端末等に用いられる信号切替回路において、最も重視される特性は、交流信号通過時の通過損失と遮断側の信号反射である。この特性は、信号切替回路とそれに接続される回路との間のインピーダンスの整合によって大きく影響を受ける。従来の回路ではインピーダンスの微調整ができないため、結果として遮断側のインピーダンス不整合が生じ、遮断側に接続される回路に信号の反射が発生することになる。   In signal switching circuits used for communication devices, cellular phone terminals, etc. where impedance matching is generally important, the most important characteristics are the passage loss and the signal reflection on the cutoff side when an AC signal is passed. This characteristic is greatly affected by impedance matching between the signal switching circuit and the circuit connected thereto. Since the conventional circuit cannot finely adjust the impedance, as a result, impedance mismatch on the cutoff side occurs, and signal reflection occurs in the circuit connected to the cutoff side.

半導体を用いた信号切替回路には、以下のような技術が知られている。特開平10−215162号公報には、IC化されたスイッチ回路に関する技術が開示されている。そのスイッチ回路は、少なくとも第1、第2、第3の入出力端子と、第1と第2の入出力端子間の第1の信号経路と、第1と第2の入出力端子間の第2の信号経路と、第1から第4のスイッチング素子を備えている。第1の信号経路は、第1と第2の入出力端子間に直列に接続された少なくとも2つのスイッチング素子を含む。第2の信号経路は、第1と第3の入出力端子間に直列に接続された少なくとも2つのスイッチング素子を含む。第1のスイッチング素子は、第1の信号経路中の第1の入出力端子側のスイッチング素子の第2の入出力端子側の端部とチップ上の共通グランドとの間に接続される。第2のスイッチング素子は、第1の信号経路中の第2の入出力端子側のスイッチング素子の第2の入出力端子側の端部とIC外部のグランドとの間に接続される。第3のスイッチング素子は、第2の信号経路中の第1の入出力端子側のスイッチング素子の第3の入出力端子側の端部とチップ上の共通グランドとの間に接続される。第4のスイッチング素子は、第2の信号経路中の第3の入出力端子側のスイッチング素子の第3の入出力端子側の端部とIC外部のグランドとの間に接続される。   The following technologies are known for signal switching circuits using semiconductors. Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-215162 discloses a technique related to an integrated switch circuit. The switch circuit includes at least first, second, and third input / output terminals, a first signal path between the first and second input / output terminals, and a first signal path between the first and second input / output terminals. 2 signal paths and first to fourth switching elements. The first signal path includes at least two switching elements connected in series between the first and second input / output terminals. The second signal path includes at least two switching elements connected in series between the first and third input / output terminals. The first switching element is connected between the second input / output terminal side end of the first input / output terminal side switching element in the first signal path and the common ground on the chip. The second switching element is connected between the second input / output terminal side end of the second input / output terminal side switching element in the first signal path and the ground outside the IC. The third switching element is connected between the third input / output terminal side end of the first input / output terminal side switching element in the second signal path and the common ground on the chip. The fourth switching element is connected between the third input / output terminal side end of the third input / output terminal side switching element in the second signal path and the ground outside the IC.

また、特開平10−303720号公報には、半導体スイッチ集積回路に関する技術が開示されている。半導体スイッチ集積回路は、第1及び第2半導体スイッチ素子と、第3半導体スイッチ素子と、第4半導体スイッチ素子とを備える。第1及び第2半導体スイッチ素子は、入出力端子間に直列接続され、入出力開閉を担う。第3半導体スイッチ素子は、入力端子にドレイン電極が接続され、かつソース電極が接地電位に接続される。第3半導体スイッチ素子は、第1及び第2半導体スイッチ素子が非導通時に導通となる。第4半導体スイッチ素子は、第1半導体スイッチ素子のドレイン電極と第2半導体スイッチ素子のソース電極の接続点にドレイン電極が接続され、かつソース電極が接地電位に接続される。第4半導体スイッチ素子は、第1及び第2半導体スイッチ素子が非導通時に導通となる。第3半導体スイッチ素子が介在する入力端子と接地電位端子との間に抵抗が付加される。この抵抗は、第3半導体スイッチ素子のソース電極と接地電位との間に存在する所要周波数におけるインピーダンスと比較して十分高くなる抵抗値を有する。   Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-303720 discloses a technique related to a semiconductor switch integrated circuit. The semiconductor switch integrated circuit includes first and second semiconductor switch elements, a third semiconductor switch element, and a fourth semiconductor switch element. The first and second semiconductor switch elements are connected in series between the input / output terminals and are responsible for opening / closing the input / output. In the third semiconductor switch element, the drain electrode is connected to the input terminal, and the source electrode is connected to the ground potential. The third semiconductor switch element is conductive when the first and second semiconductor switch elements are non-conductive. In the fourth semiconductor switch element, the drain electrode is connected to the connection point between the drain electrode of the first semiconductor switch element and the source electrode of the second semiconductor switch element, and the source electrode is connected to the ground potential. The fourth semiconductor switch element becomes conductive when the first and second semiconductor switch elements are non-conductive. A resistor is added between the input terminal where the third semiconductor switch element is interposed and the ground potential terminal. This resistance has a resistance value that is sufficiently higher than the impedance at the required frequency that exists between the source electrode of the third semiconductor switch element and the ground potential.

さらに、特開2003−198344号公報には、伝送対象の高周波信号に対して、入力端子から第1出力端子又は第2出力端子への出力を切り替える高周波スイッチ回路が開示されている。高周波スイッチ回路は、高周波フィルタと、整合回路と、第1及び第2の切替回路とを備える。高周波フィルタは、入力端子と第1出力端子間の高周波信号の通過と減衰の切り替えを行なう。整合回路は、高周波信号に対して、第1出力端に接続される外部回路とのインピーダンス整合をとる。第1及び第2の切替回路は、高周波信号に対して2つの切替端子間の通過と減衰の切り替えを行なう。第1の切替回路の切替端子の一端は入力端子に接続され、他端は第2出力端子に接続される。第2の切替回路の切替端子の一端は第1出力端子に接続され、他端は整合回路を介して接地されている。   Furthermore, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-198344 discloses a high frequency switch circuit that switches an output from an input terminal to a first output terminal or a second output terminal for a high frequency signal to be transmitted. The high frequency switch circuit includes a high frequency filter, a matching circuit, and first and second switching circuits. The high frequency filter switches between passing and attenuating a high frequency signal between the input terminal and the first output terminal. The matching circuit performs impedance matching with an external circuit connected to the first output terminal with respect to the high-frequency signal. The first and second switching circuits switch between passing and attenuation between the two switching terminals for the high-frequency signal. One end of the switching terminal of the first switching circuit is connected to the input terminal, and the other end is connected to the second output terminal. One end of the switching terminal of the second switching circuit is connected to the first output terminal, and the other end is grounded via the matching circuit.

また、特開2002−290104号公報には、高周波スイッチ回路が開示されている。この高周波スイッチ回路は、第1〜第6の信号端子(RF1〜RF6)と、第1〜第10のスイッチ(FET1〜FET10)とを備える。第1のスイッチ(FET1)は、第1の信号端子(RF1)と第2の信号端子(RF2)とを連絡する第1の信号経路に挿入接続される。第2のスイッチ(FET2)は、第2の信号端子(RF2)と第3の信号端子(RF3)とを連絡する第2の信号経路に挿入接続される。第3のスイッチ(FET3)は、第2の信号端子(RF2)と第4の信号端子(RF4)とを連絡する第3の信号経路に挿入接続される。第4のスイッチ(FET4)は、第4の信号端子(RF4)と第5の信号端子(RF5)とを連絡する第4の信号経路に挿入接続される。第5のスイッチ(FET5)は、第5の信号端子(RF5)と第6の信号端子(RF6)とを連絡する第5の信号経路に挿入接続される。第6のスイッチ(FET6)は、第2の信号端子(RF2)と第6の信号端子(RF6)とを連絡する第6の信号経路に挿入接続される。第7のスイッチ(FET7)は、第6の信号端子(RF6)を基準電位(GND)に接続するか開放するか選択する。第8のスイッチ(FET8)は、第1の信号端子(RF1)を基準電位(GND)に接続するか開放するか選択する。第9のスイッチ(FET9)は、第4の信号端子(RF4)を基準電位(GND)に接続するか開放するか選択する。第10のスイッチ(FET10)は、第3の信号端子(RF3)を基準電位(GND)に接続するか開放するか選択する。第7、第8、第9および第10のスイッチ(FET7〜FET10)のオン時の特性インピーダンスが、第6,第1,第4および第3の信号端子(RF6、RF1、RF4、RF3)と接続される第1、第2、第3および第4の外部回路の特性インピーダンスとの整合条件をそれぞれ満たすようにする。   Japanese Patent Laid-Open No. 2002-290104 discloses a high-frequency switch circuit. The high-frequency switch circuit includes first to sixth signal terminals (RF1 to RF6) and first to tenth switches (FET1 to FET10). The first switch (FET1) is inserted and connected to a first signal path that connects the first signal terminal (RF1) and the second signal terminal (RF2). The second switch (FET2) is inserted and connected to a second signal path that connects the second signal terminal (RF2) and the third signal terminal (RF3). The third switch (FET3) is inserted and connected to a third signal path that connects the second signal terminal (RF2) and the fourth signal terminal (RF4). The fourth switch (FET4) is inserted and connected to a fourth signal path that connects the fourth signal terminal (RF4) and the fifth signal terminal (RF5). The fifth switch (FET5) is inserted and connected to a fifth signal path that connects the fifth signal terminal (RF5) and the sixth signal terminal (RF6). The sixth switch (FET 6) is inserted and connected to a sixth signal path that connects the second signal terminal (RF2) and the sixth signal terminal (RF6). The seventh switch (FET7) selects whether the sixth signal terminal (RF6) is connected to the reference potential (GND) or opened. The eighth switch (FET8) selects whether the first signal terminal (RF1) is connected to the reference potential (GND) or opened. The ninth switch (FET 9) selects whether the fourth signal terminal (RF4) is connected to the reference potential (GND) or opened. The tenth switch (FET10) selects whether the third signal terminal (RF3) is connected to the reference potential (GND) or opened. The characteristic impedance when the seventh, eighth, ninth, and tenth switches (FET7 to FET10) are on is the sixth, first, fourth, and third signal terminals (RF6, RF1, RF4, RF3). Matching conditions with the characteristic impedances of the first, second, third, and fourth external circuits to be connected are satisfied.

従来の信号切替回路の例としてSPDT(Single Pole Double Throw)スイッチが、図1を参照して説明される。従来の信号切替回路は、図1に示されるように、電界効果トランジスタ(Field Effect Transistor:以降FETと略す)11〜14、FET21〜24、終端抵抗R1、R2を備える。入力端子1から出力端子2に至る信号経路に、直列に接続されるFET11とFET13が挿入される。FET11とFET13は、切替制御端子4に印加される電圧により制御され、同時にオン/オフされる。シリーズFET11、FET13は、オン/オフ時のチャネル抵抗が利用されて、入力端子1から入力する信号を通過/遮断する。   As an example of a conventional signal switching circuit, an SPDT (Single Pole Double Throw) switch will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 1, the conventional signal switching circuit includes field effect transistors (hereinafter referred to as FETs) 11 to 14, FETs 21 to 24, and termination resistors R1 and R2. The FET 11 and FET 13 connected in series are inserted in the signal path from the input terminal 1 to the output terminal 2. The FET 11 and FET 13 are controlled by a voltage applied to the switching control terminal 4 and are turned on / off simultaneously. The series FET 11 and FET 13 use the channel resistance at the time of on / off, and pass / block the signal input from the input terminal 1.

シリーズFET11とFET13との間にシャントFET12が接続される。FET13と出力端子2との間に、終端抵抗R1がFET14を介して接続される。FET12とFET14は、切替制御端子5に印加される電圧により、シリーズFET11がオフ状態のときオン状態になるように制御される。オン状態のシャントFET12は、オフ状態のシリーズFET11の容量成分を介して漏洩する信号をグランドに引き込み、入力端子1と出力端子2との間の信号のアイソレーションを向上させる。終端抵抗R1は、出力端子側インピーダンス整合用の固定抵抗である。終端抵抗R1とFET14のオン抵抗の和が、出力端子2からみた出力インピーダンスとなる。   A shunt FET 12 is connected between the series FET 11 and FET 13. A termination resistor R 1 is connected between the FET 13 and the output terminal 2 via the FET 14. The FET 12 and the FET 14 are controlled by the voltage applied to the switching control terminal 5 so as to be turned on when the series FET 11 is turned off. The shunt FET 12 in the on state draws a signal that leaks through the capacitance component of the series FET 11 in the off state to the ground, and improves the isolation of the signal between the input terminal 1 and the output terminal 2. The termination resistor R1 is a fixed resistor for impedance matching on the output terminal side. The sum of the termination resistance R1 and the on-resistance of the FET 14 is the output impedance viewed from the output terminal 2.

同様に、入力端子1から出力端子3に至る信号経路では、直列に接続されるFET21とFET23が挿入される。FET21とFET23は、切替制御端子5に印加される電圧により制御され、同時にオン/オフされる。シリーズFET21、FET23は、オン/オフ時のチャネル抵抗が利用されて、入力端子1から入力する信号を通過/遮断する。   Similarly, in the signal path from the input terminal 1 to the output terminal 3, the FET 21 and the FET 23 connected in series are inserted. The FET 21 and FET 23 are controlled by the voltage applied to the switching control terminal 5 and are turned on / off simultaneously. The series FET 21 and FET 23 use channel resistance at the time of on / off, and pass / block a signal input from the input terminal 1.

シリーズFET21とFET23との間にシャントFET22が接続される。FET23と出力端子3との間に、終端抵抗R2がFET24を介して接続される。FET22とFET24は、切替制御端子4に印加される電圧により、シリーズFET21がオフ状態のときオン状態になるように制御される。オン状態のシャントFET22は、オフ状態のシリーズFET21の容量成分を介して漏洩する信号をグランドに引き込み、入力端子1と出力端子3との間の信号のアイソレーションを向上させる。終端抵抗R2は、出力端子3側インピーダンス整合用の固定抵抗である。終端抵抗R2とFET24のオン抵抗の和が、出力端子3からみた出力インピーダンスとなる。   A shunt FET 22 is connected between the series FET 21 and FET 23. A termination resistor R2 is connected between the FET 23 and the output terminal 3 via the FET 24. The FET 22 and the FET 24 are controlled by the voltage applied to the switching control terminal 4 so as to be turned on when the series FET 21 is turned off. The shunt FET 22 in the on state draws a signal leaking through the capacitance component of the series FET 21 in the off state to the ground, and improves the isolation of the signal between the input terminal 1 and the output terminal 3. The termination resistor R2 is a fixed resistor for impedance matching on the output terminal 3 side. The sum of the termination resistance R2 and the on-resistance of the FET 24 is the output impedance viewed from the output terminal 3.

例えば、切替制御端子4にFETの閾値より大きい電圧が印加され、切替制御端子5にFETの閾値より小さい電圧が印加されると、FET11、13、22、24はオン状態に、FET21、23、12、14はオフ状態になる。したがって、入力端子1と出力端子2との間の信号経路が導通状態になり、入力端子1と出力端子3との間の信号経路は遮断状態になる。そのときの等価回路図は、図2に示されるようになる。   For example, when a voltage larger than the threshold value of the FET is applied to the switching control terminal 4 and a voltage smaller than the threshold value of the FET is applied to the switching control terminal 5, the FETs 11, 13, 22, 24 are turned on, and the FETs 21, 23, 24, 12 and 14 are turned off. Therefore, the signal path between the input terminal 1 and the output terminal 2 is turned on, and the signal path between the input terminal 1 and the output terminal 3 is cut off. The equivalent circuit diagram at that time is as shown in FIG.

遮断状態にある入力端子1と出力端子3との間の信号アイソレーションは、オン状態のシャントFET22により高められている。抵抗R2の抵抗値は、出力端子3に接続される外部回路の入力インピーダンスとオン状態にあるFET24のチャネル抵抗(オン抵抗)との差分になるように予め設定されている。したがって、抵抗R2とオン状態にあるFET24のチャネル抵抗(オン抵抗)との和が、接続される外部回路の入力インピーダンスと等しくなり、外部回路とこの信号切替回路とのインピーダンス整合が実現される。   The signal isolation between the input terminal 1 and the output terminal 3 in the cut-off state is enhanced by the shunt FET 22 in the on state. The resistance value of the resistor R2 is set in advance so as to be the difference between the input impedance of the external circuit connected to the output terminal 3 and the channel resistance (ON resistance) of the FET 24 in the ON state. Therefore, the sum of the resistance R2 and the channel resistance (ON resistance) of the FET 24 in the ON state becomes equal to the input impedance of the connected external circuit, and impedance matching between the external circuit and the signal switching circuit is realized.

通常、シリーズFETのオン抵抗(図2では、FET11、FET13のチャネル抵抗の和)は、数オームに抑えられている。しかし、シャントFETは、チップ面積の節約のため、ゲート幅を狭くすることが多い。したがって、シャントFETのオン抵抗は、シリーズFETのオン抵抗より大きく、特に、終端抵抗に直列に接続されるFET14、FET24のオン抵抗は、終端抵抗値に近づけて設定されることが多い。そのため、FET14、FET24のオン抵抗のずれは終端抵抗値に大きく影響する。   Usually, the on-resistance of the series FET (in FIG. 2, the sum of the channel resistances of the FET 11 and FET 13) is suppressed to several ohms. However, the shunt FET often has a narrow gate width in order to save the chip area. Therefore, the on-resistance of the shunt FET is larger than the on-resistance of the series FET. In particular, the on-resistances of the FETs 14 and 24 connected in series to the termination resistor are often set close to the termination resistance value. For this reason, the deviation of the on-resistance of the FETs 14 and 24 greatly affects the termination resistance value.

特開平10−215162号公報JP-A-10-215162 特開平10−303720号公報JP-A-10-303720 特開2003−198344号公報JP 2003-198344 A 特開2002−290104号公報JP 2002-290104 A

この従来の信号切替回路は、切替制御端子4、5に印加される切替制御電圧によりFET14、FET24をオン/オフする。したがって、切替制御電圧の大きさによりオン抵抗の値が変化する。即ち、外部回路と接続される端子から信号切替回路内部をみたインピーダンスは、切替制御電圧の影響を受けて変動し、終端抵抗値に与える影響が大きい。   In this conventional signal switching circuit, the FET 14 and FET 24 are turned on / off by a switching control voltage applied to the switching control terminals 4 and 5. Therefore, the value of the on-resistance varies depending on the magnitude of the switching control voltage. That is, the impedance of the inside of the signal switching circuit viewed from the terminal connected to the external circuit varies under the influence of the switching control voltage, and has a great influence on the termination resistance value.

また、終端抵抗R2の抵抗値は、回路設計時に設定した固定値である。そのため、予め想定された外部回路と異なる外部回路が、出力端子3に接続された場合には、インピーダンス不整合が生ずることがあった。   Further, the resistance value of the termination resistor R2 is a fixed value set during circuit design. Therefore, when an external circuit different from the external circuit assumed in advance is connected to the output terminal 3, impedance mismatch may occur.

以下に、[発明を実施するための最良の形態]で使用される番号・符号を用いて、課題を解決するための手段を説明する。これらの番号・符号は、[特許請求の範囲]の記載と[発明を実施するための最良の形態]との対応関係を明らかにするために付加されたものである。ただし、それらの番号・符号を、[特許請求の範囲]に記載されている発明の技術的範囲の解釈に用いてはならない。   Hereinafter, means for solving the problem will be described using the numbers and symbols used in [Best Mode for Carrying Out the Invention]. These numbers and symbols are added to clarify the correspondence between the description of [Claims] and [Best Mode for Carrying Out the Invention]. However, these numbers and symbols should not be used for the interpretation of the technical scope of the invention described in [Claims].

本発明の観点では、半導体信号切替回路は、切替制御端子(4、5)に印加される切替制御信号に応答して信号経路の導通状態と遮断状態とを切り替えるスイッチ回路(31、32)を具備する。スイッチ回路(31、32)は、接続端子(2、3)と、外部制御端子(6、7)と、インピーダンス可変回路(19、29)とを備える。接続端子(2、3)は、外部回路(図示せず)に接続する。外部制御端子(6、7)は、外部制御信号が印加される。インピーダンス可変回路(19、29)は、信号経路に対してシャントに接続される。このスイッチ回路(31、32)の接続端子(2、3)からみたインピーダンスは、外部制御信号に基づいて調整される。   In an aspect of the present invention, the semiconductor signal switching circuit includes a switch circuit (31, 32) that switches between a conduction state and a cutoff state of a signal path in response to a switching control signal applied to the switching control terminals (4, 5). It has. The switch circuit (31, 32) includes a connection terminal (2, 3), an external control terminal (6, 7), and an impedance variable circuit (19, 29). The connection terminals (2, 3) are connected to an external circuit (not shown). An external control signal is applied to the external control terminals (6, 7). The variable impedance circuit (19, 29) is connected to the shunt with respect to the signal path. The impedance viewed from the connection terminals (2, 3) of the switch circuit (31, 32) is adjusted based on the external control signal.

本発明によれば、外部回路と接続される端子から信号切替回路内部をみたインピーダンスが、接続される外部回路のインピーダンスに整合する半導体信号切替回路を提供することができる。また、本発明によれば、出力インピーダンスが出力切替制御信号の電圧の影響を受けない半導体信号切替回路を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a semiconductor signal switching circuit in which the impedance of the signal switching circuit viewed from the terminal connected to the external circuit matches the impedance of the connected external circuit. Further, according to the present invention, it is possible to provide a semiconductor signal switching circuit whose output impedance is not affected by the voltage of the output switching control signal.

図を参照して本発明を実施するための最良の形態を説明する。本実施の形態では、SPDT(Single Pole Double Throw:単極双投)スイッチを例として、半導体信号切替回路が説明される。図3に示される半導体信号切替回路は、切替制御端子4、5に印加される電圧に基づいて、入力端子1に印加される信号を出力端子2に伝達し、出力端子3に接続される回路を終端する。又は、半導体信号切替回路は、入力端子1に印加される信号を出力端子3に伝達し、出力端子2に接続される回路を終端する。   The best mode for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. In the present embodiment, a semiconductor signal switching circuit will be described using an SPDT (Single Pole Double Throw) switch as an example. The semiconductor signal switching circuit shown in FIG. 3 transmits a signal applied to the input terminal 1 to the output terminal 2 based on the voltage applied to the switching control terminals 4 and 5 and is connected to the output terminal 3. Terminate. Alternatively, the semiconductor signal switching circuit transmits a signal applied to the input terminal 1 to the output terminal 3 and terminates the circuit connected to the output terminal 2.

半導体信号切替回路は、図3に示されるように、スイッチ回路31とスイッチ回路32とを備える。スイッチ回路31は、入力端子1から出力端子2に至る信号経路を形成する。スイッチ回路32は、入力端子1から出力端子3に至る信号経路を形成する。入力端子1と、切替制御端子4、5とは、スイッチ回路31とスイッチ回路32とにより共有される端子である。スイッチ回路31は、共有端子である入力端子1、切替制御端子4、5と、出力端子2と外部制御端子6とを備える。スイッチ回路32は、共有端子である入力端子1、切替制御端子4、5と、出力端子3と外部制御端子7とを備える。   As shown in FIG. 3, the semiconductor signal switching circuit includes a switch circuit 31 and a switch circuit 32. The switch circuit 31 forms a signal path from the input terminal 1 to the output terminal 2. The switch circuit 32 forms a signal path from the input terminal 1 to the output terminal 3. The input terminal 1 and the switching control terminals 4 and 5 are terminals shared by the switch circuit 31 and the switch circuit 32. The switch circuit 31 includes an input terminal 1 that is a shared terminal, switching control terminals 4 and 5, an output terminal 2, and an external control terminal 6. The switch circuit 32 includes an input terminal 1 that is a shared terminal, switching control terminals 4 and 5, an output terminal 3, and an external control terminal 7.

スイッチ回路31は、電界効果トランジスタ(Field Effect Transistor:以降FETと略す)11〜14、インピーダンス可変回路19を備える。入力端子1から出力端子2に至る信号経路に、シリーズに接続されるFET11とFET13とが挿入される。FET11とFET13は、切替制御端子4に印加される電圧により制御され、同時にオン/オフして信号の通過/遮断を決定する。   The switch circuit 31 includes a field effect transistor (hereinafter referred to as FET) 11 to 14 and an impedance variable circuit 19. The FET 11 and FET 13 connected in series are inserted in the signal path from the input terminal 1 to the output terminal 2. The FET 11 and FET 13 are controlled by the voltage applied to the switching control terminal 4 and are simultaneously turned on / off to determine the passage / cutoff of the signal.

FET11とFET13と接続ノードとグランドとの間にシャントFET12が接続される。インピーダンス可変回路19は、出力端子2とグランドとの間に、FET14を介して接続される。FET12とFET14は、切替制御端子5に印加される電圧により、シリーズFET11がオフ状態のとき、オン状態になるように制御される。オン状態のシャントFET12は、オフ状態のシリーズFET11の容量成分を介して漏洩する信号をグランドに引き込み、入力端子1と出力端子2との間の信号のアイソレーションを向上させる。インピーダンス可変回路19は、出力端子側インピーダンス整合用の回路であり、外部制御端子6に印加される制御電圧によりインピーダンスを変化させる。   A shunt FET12 is connected between the FET11, the FET13, the connection node, and the ground. The impedance variable circuit 19 is connected between the output terminal 2 and the ground via the FET 14. The FET 12 and the FET 14 are controlled by the voltage applied to the switching control terminal 5 so as to be turned on when the series FET 11 is turned off. The shunt FET 12 in the on state draws a signal that leaks through the capacitance component of the series FET 11 in the off state to the ground, and improves the isolation of the signal between the input terminal 1 and the output terminal 2. The impedance variable circuit 19 is a circuit for impedance matching on the output terminal side, and changes the impedance by a control voltage applied to the external control terminal 6.

スイッチ回路32は、FET21〜24、インピーダンス可変回路29を備える。入力端子1から出力端子3に至る信号経路に、シリーズに接続されるFET21とFET23とが挿入される。FET21とFET23は、切替制御端子5に印加される電圧により制御され、同時にオン/オフして信号の通過/遮断を決定する。   The switch circuit 32 includes FETs 21 to 24 and an impedance variable circuit 29. An FET 21 and an FET 23 connected in series are inserted in a signal path from the input terminal 1 to the output terminal 3. The FET 21 and the FET 23 are controlled by a voltage applied to the switching control terminal 5 and are turned on / off at the same time to determine whether a signal is passed or blocked.

FET21とFET23との接続ノードとグランドとの間にシャントFET22が接続される。インピーダンス可変回路29は、出力端子3とグランドとの間に、FET24を介して接続される。FET22とFET24は、切替制御端子4に印加される電圧により、シリーズFET21がオフ状態のとき、オン状態になるように制御される。オン状態のシャントFET22は、オフ状態のシリーズFET21の容量成分を介して漏洩する信号をグランドに引き込み、入力端子1と出力端子3との間の信号のアイソレーションを向上させる。インピーダンス可変回路29は、出力端子側インピーダンス整合用の回路であり、外部制御端子7に印加される制御電圧によりインピーダンスを変化させる。   A shunt FET 22 is connected between a connection node between the FET 21 and the FET 23 and the ground. The impedance variable circuit 29 is connected between the output terminal 3 and the ground via the FET 24. The FET 22 and the FET 24 are controlled by the voltage applied to the switching control terminal 4 so as to be turned on when the series FET 21 is turned off. The shunt FET 22 in the on state draws a signal leaking through the capacitance component of the series FET 21 in the off state to the ground, and improves the isolation of the signal between the input terminal 1 and the output terminal 3. The impedance variable circuit 29 is an output terminal side impedance matching circuit, and changes the impedance by a control voltage applied to the external control terminal 7.

このように、半導体信号切替回路のインピーダンス整合部は、従来の固定抵抗ではなく、インピーダンス可変回路19、29とFET14、24とを含む。したがって、遮断経路となったときの出力端子2から半導体信号切替回路内部をみた出力インピーダンスは、インピーダンス可変回路19のインピーダンスとオン状態にあるFET14のチャネル抵抗との和になる。また、遮断経路となったときの出力端子3から半導体信号切替回路内部をみた出力インピーダンスは、インピーダンス可変回路29のインピーダンスとオン状態にあるFET24のチャネル抵抗との和になる。インピーダンス可変回路19、29のインピーダンスは、外部制御端子6、7により制御されるため、出力端子2、3に接続される外部回路の入力インピーダンスに整合させることが可能となる。即ち、半導体信号切替回路の出力端子に接続される外部回路の入力インピーダンスを選ぶことなく、両者間のインピーダンス整合を実現することができる。   As described above, the impedance matching unit of the semiconductor signal switching circuit includes the variable impedance circuits 19 and 29 and the FETs 14 and 24 instead of the conventional fixed resistors. Therefore, the output impedance when the semiconductor signal switching circuit is viewed from the output terminal 2 when it becomes the cutoff path is the sum of the impedance of the impedance variable circuit 19 and the channel resistance of the FET 14 in the on state. Further, the output impedance when the semiconductor signal switching circuit is viewed from the output terminal 3 when it becomes the cutoff path is the sum of the impedance of the impedance variable circuit 29 and the channel resistance of the FET 24 in the on state. Since the impedance of the variable impedance circuits 19 and 29 is controlled by the external control terminals 6 and 7, it is possible to match the input impedance of the external circuit connected to the output terminals 2 and 3. That is, impedance matching between the two can be realized without selecting the input impedance of the external circuit connected to the output terminal of the semiconductor signal switching circuit.

図4に示されるFET終端整合型半導体信号切替回路は、図3に示されるインピーダンス可変回路19、29を具体的な回路に展開したものである。インピーダンス可変回路19、29は、FETのチャネル抵抗のゲート電圧依存性を利用して構成される。インピーダンス可変回路19は、ゲートが外部制御端子6に接続されるFET15に展開される。また、インピーダンス可変回路29は、ゲートが外部制御端子7に接続されるFET25に展開される。他の回路は、図3に示される回路と同じであり、同一の符号が付されている。   The FET termination matching type semiconductor signal switching circuit shown in FIG. 4 is obtained by developing impedance variable circuits 19 and 29 shown in FIG. 3 into specific circuits. The impedance variable circuits 19 and 29 are configured using the gate voltage dependency of the channel resistance of the FET. The impedance variable circuit 19 is developed in the FET 15 whose gate is connected to the external control terminal 6. The impedance variable circuit 29 is developed in the FET 25 whose gate is connected to the external control terminal 7. Other circuits are the same as those shown in FIG. 3, and are given the same reference numerals.

チャネル抵抗のゲート電圧依存性が利用されるFET15及びFET25は、可変抵抗の役割を果たしている。外部制御端子6及び外部制御端子7に印加される電圧を適当に設定することにより、FET15及びFET25のチャネル抵抗を所望の値に調節することができる。   The FET 15 and the FET 25 in which the channel voltage dependency of the channel resistance is used plays a role of a variable resistance. By appropriately setting the voltages applied to the external control terminal 6 and the external control terminal 7, the channel resistance of the FET 15 and the FET 25 can be adjusted to a desired value.

切替制御端子4にFETの閾値電圧より充分大きい電圧が印加され、切替制御端子5にFETの閾値電圧より充分小さい電圧が印加されると、FET11、13、22、24はオン状態に、FET21、23、12、14はオフ状態になる。したがって、入力端子1と出力端子2との間の信号経路が導通状態になり、入力端子1と出力端子3との間の信号経路は遮断状態になる。   When a voltage sufficiently larger than the threshold voltage of the FET is applied to the switching control terminal 4 and a voltage sufficiently smaller than the threshold voltage of the FET is applied to the switching control terminal 5, the FETs 11, 13, 22, and 24 are turned on, 23, 12 and 14 are turned off. Therefore, the signal path between the input terminal 1 and the output terminal 2 is turned on, and the signal path between the input terminal 1 and the output terminal 3 is cut off.

この場合の等価回路が図5に示される。等価回路では、オン状態のFETは抵抗成分(チャネル抵抗)として表わされ、オフ状態のFETは容量成分として表わされる。導通側の出力端子2からみた出力インピーダンスは、入力端子1に接続された外部回路の出力インピーダンスと、FET11、13のオン抵抗の和としてみえる。FET11、13のオン抵抗は、入力端子1に接続される外部回路の出力インピーダンスに対して無視できる程度に設定されている。そのため、出力端子2からみた出力インピーダンスは、ほぼ入力端子1に接続された外部回路の出力インピーダンスとなる。したがって、出力端子2からみた出力インピーダンスは、出力端子2に接続される外部回路の入力インピーダンスと整合がとれることになる。   An equivalent circuit in this case is shown in FIG. In the equivalent circuit, the on-state FET is represented as a resistance component (channel resistance), and the off-state FET is represented as a capacitance component. The output impedance seen from the output terminal 2 on the conduction side can be seen as the sum of the output impedance of the external circuit connected to the input terminal 1 and the on-resistances of the FETs 11 and 13. The on-resistances of the FETs 11 and 13 are set to be negligible with respect to the output impedance of the external circuit connected to the input terminal 1. Therefore, the output impedance viewed from the output terminal 2 is substantially the output impedance of the external circuit connected to the input terminal 1. Therefore, the output impedance viewed from the output terminal 2 can be matched with the input impedance of the external circuit connected to the output terminal 2.

遮断側の出力端子3から半導体信号切替回路を見たときのインピーダンスは、オン状態のFET24のチャネル抵抗と外部制御端子7の電圧により制御されるFET25のチャネル抵抗との和になる。このインピーダンスを出力端子3側に接続される外部回路の入力インピーダンスに等しくなるように、外部制御端子7に印加される電圧が設定されている。このようにして半導体信号切替回路と出力端子3に接続される外部回路とのインピーダンス整合状態が得られる。   The impedance when the semiconductor signal switching circuit is viewed from the output terminal 3 on the cutoff side is the sum of the channel resistance of the FET 24 in the on state and the channel resistance of the FET 25 controlled by the voltage of the external control terminal 7. The voltage applied to the external control terminal 7 is set so that this impedance is equal to the input impedance of the external circuit connected to the output terminal 3 side. In this way, an impedance matching state between the semiconductor signal switching circuit and the external circuit connected to the output terminal 3 is obtained.

同じように、切替制御端子4にFETの閾値電圧より充分小さい電圧が印加され、切替制御端子5にFETの閾値電圧より充分大きい電圧が印加されると、FET11、13、22、24はオフ状態に、FET21、23、12、14はオン状態になる。したがって、入力端子1と出力端子2との間の信号経路が遮断状態になり、入力端子1と出力端子3との間の信号経路は導通状態になる。   Similarly, when a voltage sufficiently smaller than the threshold voltage of the FET is applied to the switching control terminal 4 and a voltage sufficiently larger than the threshold voltage of the FET is applied to the switching control terminal 5, the FETs 11, 13, 22, and 24 are turned off. At the same time, the FETs 21, 23, 12, and 14 are turned on. Therefore, the signal path between the input terminal 1 and the output terminal 2 is cut off, and the signal path between the input terminal 1 and the output terminal 3 is turned on.

出力端子2から半導体信号切替回路内部を見たときのインピーダンスは、オン状態のFET14のチャネル抵抗と外部制御端子6の電圧により制御されるFET15のチャネル抵抗との和になる。外部制御端子6に印加される電圧は、このインピーダンスを出力端子2に接続される外部回路の入力インピーダンスに等しくなるように設定されている。このようにして半導体信号切替回路と出力端子2に接続される外部回路とのインピーダンス整合状態が得られる。   The impedance when the inside of the semiconductor signal switching circuit is viewed from the output terminal 2 is the sum of the channel resistance of the FET 14 in the ON state and the channel resistance of the FET 15 controlled by the voltage of the external control terminal 6. The voltage applied to the external control terminal 6 is set so that this impedance is equal to the input impedance of the external circuit connected to the output terminal 2. In this way, an impedance matching state between the semiconductor signal switching circuit and the external circuit connected to the output terminal 2 is obtained.

上述のように、FET15、FET25のゲート電圧は適当に調節され、FET15、FET14のチャネル抵抗の和、及び、FET25、FET24のチャネル抵抗の和が、出力端子2、及び、出力端子3に接続される外部回路の入力インピーダンスと等しくなるように設定される。これにより、半導体信号切替回路と外部回路とのインピーダンス整合を実現することができる。   As described above, the gate voltages of the FET 15 and the FET 25 are appropriately adjusted, and the sum of the channel resistances of the FET 15 and the FET 14 and the sum of the channel resistances of the FET 25 and the FET 24 are connected to the output terminal 2 and the output terminal 3. It is set to be equal to the input impedance of the external circuit. Thereby, impedance matching between the semiconductor signal switching circuit and the external circuit can be realized.

図6に示されるPINダイオード終端整合型半導体信号切替回路は、図3に示されるインピーダンス可変回路19、29を他の具体的回路に展開したものである。インピーダンス可変回路19、29は、PINダイオードのインピーダンスのバイアス電圧依存性を利用して構成される。インピーダンス可変回路19は、PINダイオード16とキャパシタ17とが直列接続される回路に展開される。外部制御端子6は、PINダイオード16とキャパシタ17との接続ノードに接続される。この接続ノードに、制御電圧、即ち、PINダイオード16のバイアスが印加される。キャパシタ17は、そのバイアス電圧が信号経路に影響しないように遮断する。インピーダンス可変回路29は、PINダイオード26とキャパシタ27とが直列接続される回路に展開される。外部制御端子7は、PINダイオード26とキャパシタ27との接続ノードに接続される。この接続ノードに、制御電圧、即ち、PINダイオード26のバイアスが印加される。キャパシタ27は、そのバイアス電圧が信号経路に影響しないように遮断する。   The PIN diode termination matching type semiconductor signal switching circuit shown in FIG. 6 is obtained by developing the impedance variable circuits 19 and 29 shown in FIG. 3 into other specific circuits. The impedance variable circuits 19 and 29 are configured using the bias voltage dependence of the impedance of the PIN diode. The impedance variable circuit 19 is developed into a circuit in which the PIN diode 16 and the capacitor 17 are connected in series. The external control terminal 6 is connected to a connection node between the PIN diode 16 and the capacitor 17. A control voltage, that is, a bias of the PIN diode 16 is applied to this connection node. The capacitor 17 blocks the bias voltage so as not to affect the signal path. The impedance variable circuit 29 is developed into a circuit in which a PIN diode 26 and a capacitor 27 are connected in series. The external control terminal 7 is connected to a connection node between the PIN diode 26 and the capacitor 27. A control voltage, that is, a bias of the PIN diode 26 is applied to this connection node. The capacitor 27 is blocked so that the bias voltage does not affect the signal path.

PINダイオード16及びPINダイオード26は、バイアス電圧が制御されて可変インピーダンス素子となる。外部制御端子6及び外部制御端子7に印加される電圧を適当に設定することにより、PINダイオード16及びPINダイオード26のインピーダンスは所望の値に調節される。   The PIN diode 16 and the PIN diode 26 are controlled by a bias voltage and become variable impedance elements. By appropriately setting the voltages applied to the external control terminal 6 and the external control terminal 7, the impedances of the PIN diode 16 and the PIN diode 26 are adjusted to desired values.

切替制御端子4にFETの閾値電圧より充分大きい電圧が印加され、切替制御端子5にFETの閾値電圧より充分小さい電圧が印加されると、FET11、13、22、24はオン状態に、FET21、23、12、14はオフ状態になる。したがって、入力端子1と出力端子2との間の信号経路が導通状態になり、入力端子1と出力端子3との間の信号経路は遮断状態になる。   When a voltage sufficiently larger than the threshold voltage of the FET is applied to the switching control terminal 4 and a voltage sufficiently smaller than the threshold voltage of the FET is applied to the switching control terminal 5, the FETs 11, 13, 22, and 24 are turned on, 23, 12 and 14 are turned off. Therefore, the signal path between the input terminal 1 and the output terminal 2 is turned on, and the signal path between the input terminal 1 and the output terminal 3 is cut off.

この場合の等価回路が図7に示される。出力端子3から半導体信号切替回路を見たときのインピーダンスは、外部端子7の電圧により制御されるPINダイオード26の等価インピーダンスと、オン状態のFET24のチャネル抵抗との和になる。外部制御端子7に印加される電圧は、このインピーダンスを出力端子3側に接続される外部回路の入力インピーダンスに等しくなるように設定されている。このようにして半導体信号切替回路と出力端子3に接続される外部回路とのインピーダンス整合状態が得られる。   An equivalent circuit in this case is shown in FIG. The impedance when the semiconductor signal switching circuit is viewed from the output terminal 3 is the sum of the equivalent impedance of the PIN diode 26 controlled by the voltage of the external terminal 7 and the channel resistance of the FET 24 in the on state. The voltage applied to the external control terminal 7 is set so that this impedance is equal to the input impedance of the external circuit connected to the output terminal 3 side. In this way, an impedance matching state between the semiconductor signal switching circuit and the external circuit connected to the output terminal 3 is obtained.

同じように切替制御端子4にFETの閾値電圧より充分小さい電圧が印加され、切替制御端子5にFETの閾値電圧より充分大きい電圧が印加されると、FET11、13、22、24はオフ状態に、FET21、23、12、14はオン状態になる。したがって、入力端子1と出力端子2との間の信号経路が遮断状態になり、入力端子1と出力端子3との間の信号経路は導通状態になる。   Similarly, when a voltage sufficiently smaller than the threshold voltage of the FET is applied to the switching control terminal 4 and a voltage sufficiently larger than the threshold voltage of the FET is applied to the switching control terminal 5, the FETs 11, 13, 22, and 24 are turned off. FETs 21, 23, 12, and 14 are turned on. Therefore, the signal path between the input terminal 1 and the output terminal 2 is cut off, and the signal path between the input terminal 1 and the output terminal 3 is turned on.

出力端子2から半導体信号切替回路を見たときのインピーダンスは、外部制御端子6の電圧により制御されるPINダイオード16の等価インピーダンスと、オン状態のFET14のチャネル抵抗との和になる。外部制御端子6に印加される電圧は、このインピーダンスを出力端子2側に接続される外部回路の入力インピーダンスに等しくなるように設定されている。このようにして半導体信号切替回路と出力端子2に接続される外部回路とのインピーダンス整合状態が得られる。   The impedance when the semiconductor signal switching circuit is viewed from the output terminal 2 is the sum of the equivalent impedance of the PIN diode 16 controlled by the voltage of the external control terminal 6 and the channel resistance of the FET 14 in the on state. The voltage applied to the external control terminal 6 is set so that this impedance is equal to the input impedance of the external circuit connected to the output terminal 2 side. In this way, an impedance matching state between the semiconductor signal switching circuit and the external circuit connected to the output terminal 2 is obtained.

上述のように、PINダイオード16のバイアス電圧は適当に調節され、FET14のチャネル抵抗とPINダイオード16の等価インピーダンスとの和が、出力端子2に接続される外部回路の入力インピーダンスと等しくなるように設定される。また、PINダイオード26のバイアス電圧は適当に調節され、FET24のチャネル抵抗とPINダイオード26の等価インピーダンスとの和が、出力端子3に接続される外部回路の入力インピーダンスと等しくなるように設定される。これにより、半導体信号切替回路と外部回路とのインピーダンス整合を実現することができる。   As described above, the bias voltage of the PIN diode 16 is appropriately adjusted so that the sum of the channel resistance of the FET 14 and the equivalent impedance of the PIN diode 16 becomes equal to the input impedance of the external circuit connected to the output terminal 2. Is set. Further, the bias voltage of the PIN diode 26 is appropriately adjusted, and the sum of the channel resistance of the FET 24 and the equivalent impedance of the PIN diode 26 is set to be equal to the input impedance of the external circuit connected to the output terminal 3. . Thereby, impedance matching between the semiconductor signal switching circuit and the external circuit can be realized.

ここでは、SPDT型回路で説明したが、他の回路構成、例えば、SPST(Single Pole Single Throw:単極単投)型回路やDPDT(Double Pole Double Throw:2極双投)型回路などの信号切替回路にもこのインピーダンス整合用回路は、適用可能である。また、外部回路が、50オームインピーダンス系回路、75オームインピーダンス系回路と変わっても、制御電圧を変更することにより終端インピーダンスを整合させることが可能である。   Although the SPDT type circuit has been described here, other circuit configurations such as SPST (Single Pole Single Throw) type circuit and DPDT (Double Pole Double Throw) type circuit are used. This impedance matching circuit can also be applied to the switching circuit. Even if the external circuit is changed to a 50 ohm impedance system circuit or a 75 ohm impedance system circuit, the termination impedance can be matched by changing the control voltage.

また、入力端子、出力端子として説明したが、回路は方向性を持たないため、出力端子2、3から信号が入力され、一方の信号を入力端子1に出力するようにすることもできる。その場合、出力インピーダンスとして説明した出力端子2、3からみたインピーダンスは、入力インピーダンスとなる。即ち、信号切替切替回路は、外部回路の出力を終端することになる。さらに、出力端子2、3の一方は、信号が入力される入力端子であってもよい。   Further, although described as an input terminal and an output terminal, since the circuit has no directionality, a signal is input from the output terminals 2 and 3, and one signal can be output to the input terminal 1. In this case, the impedance viewed from the output terminals 2 and 3 described as the output impedance is the input impedance. That is, the signal switching circuit terminates the output of the external circuit. Furthermore, one of the output terminals 2 and 3 may be an input terminal to which a signal is input.

このように、半導体信号切替回路のインピーダンス整合回路として、インピーダンス可変回路を採用することにより、半導体信号切替回路の切替制御電圧の如何によらず常に出力端子に接続される外部回路とのインピーダンス整合が可能となる。また、出力端子に接続される外部回路の変更などによる外部回路の入力インピーダンスの変化に対応してインピーダンス整合が可能となる。   In this way, by adopting an impedance variable circuit as the impedance matching circuit of the semiconductor signal switching circuit, impedance matching with an external circuit that is always connected to the output terminal is possible regardless of the switching control voltage of the semiconductor signal switching circuit. It becomes possible. Further, impedance matching can be performed in response to a change in the input impedance of the external circuit due to a change in the external circuit connected to the output terminal.

従来の半導体信号切替回路の回路図である。It is a circuit diagram of the conventional semiconductor signal switching circuit. 従来の半導体信号切替回路の等価回路図である。It is an equivalent circuit diagram of a conventional semiconductor signal switching circuit. 本発明の実施の形態に係る半導体信号切替回路の回路図である。1 is a circuit diagram of a semiconductor signal switching circuit according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施の形態に係るFET終端整合型半導体信号切替回路の回路図である。1 is a circuit diagram of an FET termination matching semiconductor signal switching circuit according to an embodiment of the present invention. FIG. 図4の等価回路図である。FIG. 5 is an equivalent circuit diagram of FIG. 4. 本発明の実施の形態に係るPINダイオード終端整合型半導体信号切替回路の回路図である。It is a circuit diagram of a PIN diode termination matching type semiconductor signal switching circuit according to an embodiment of the present invention. 図6の等価回路図である。FIG. 7 is an equivalent circuit diagram of FIG. 6.

符号の説明Explanation of symbols

1 入力端子
2、3 出力端子
4、5 切替制御端子
6、7 外部制御端子
11、12、13、14、15、21、22、23、24、25 FET
16、26 PINダイオード
17、27 キャパシタ
1 Input terminal 2, 3 Output terminal 4, 5 Switching control terminal 6, 7 External control terminal 11, 12, 13, 14, 15, 21, 22, 23, 24, 25 FET
16, 26 PIN diode 17, 27 Capacitor

Claims (11)

外部回路に接続する接続端子と、
外部制御信号が印加される外部制御端子と、
信号経路に対してシャントに接続されるインピーダンス可変回路と
を備え、切替制御端子に印加される切替制御信号に応答して前記信号経路の導通状態と遮断状態とを切り替えるスイッチ回路
を具備し、
前記スイッチ回路の前記接続端子からみたインピーダンスは、前記外部制御信号に基づいて調整される
半導体信号切替回路。
A connection terminal connected to an external circuit;
An external control terminal to which an external control signal is applied;
An impedance variable circuit connected to the shunt with respect to the signal path, and a switch circuit that switches between a conduction state and a cutoff state of the signal path in response to a switching control signal applied to the switching control terminal,
The impedance viewed from the connection terminal of the switch circuit is adjusted based on the external control signal. Semiconductor signal switching circuit.
前記インピーダンス可変回路は、第5トランジスタを備え、
前記第5トランジスタのゲートは、前記外部制御端子に接続され、前記外部制御信号に基づいてチャネル抵抗が制御される
請求項1に記載の半導体信号切替回路。
The variable impedance circuit includes a fifth transistor,
The semiconductor signal switching circuit according to claim 1, wherein a gate of the fifth transistor is connected to the external control terminal, and channel resistance is controlled based on the external control signal.
前記インピーダンス可変回路は、
前記外部制御信号により逆方向にバイアスされて等価インピーダンスを制御されるダイオードと、
前記ダイオードに直列に接続され、前記ダイオードに印加されるバイアス電圧が前記信号経路に印加されないように遮断するコンデンサと
を具備する
請求項1に記載の半導体信号切替回路。
The impedance variable circuit is:
A diode that is biased in the reverse direction by the external control signal to control the equivalent impedance;
The semiconductor signal switching circuit according to claim 1, further comprising: a capacitor connected in series with the diode and blocking a bias voltage applied to the diode from being applied to the signal path.
前記ダイオードは、PIN(P−Instrinsic−N)ダイオードである
請求項3に記載の半導体信号切替回路。
The semiconductor signal switching circuit according to claim 3, wherein the diode is a PIN (P-Instrinic-N) diode.
複数の前記スイッチ回路を具備し、
前記複数の前記スイッチ回路の各々の前記接続端子からみたインピーダンスは、前記外部制御信号に基づいて調整される
請求項1から請求項4のいずれかに記載の半導体信号切替回路。
Comprising a plurality of the switch circuits;
5. The semiconductor signal switching circuit according to claim 1, wherein an impedance viewed from the connection terminal of each of the plurality of switch circuits is adjusted based on the external control signal.
前記複数の前記スイッチ回路の各々は、個別に設定される前記外部制御信号に基づいて前記インピーダンスを調整される
請求項5に記載の半導体信号切替回路。
The semiconductor signal switching circuit according to claim 5, wherein each of the plurality of switch circuits is adjusted in impedance based on the external control signal set individually.
前記複数の前記スイッチ回路の各々は、同一の前記外部制御信号が印加される
請求項5に記載の半導体信号切替回路。
The semiconductor signal switching circuit according to claim 5, wherein the same external control signal is applied to each of the plurality of switch circuits.
前記スイッチ回路は、前記遮断状態のとき、前記外部制御信号に基づいて調整される前記インピーダンスにより前記外部回路を終端する
請求項1から請求項7のいずれかに記載の半導体信号切替回路。
The semiconductor signal switching circuit according to claim 1, wherein the switch circuit terminates the external circuit with the impedance adjusted based on the external control signal when in the cut-off state.
前記複数の前記スイッチ回路のうちの1つのスイッチ回路は、前記切替制御信号に応答して前記導通状態になり、
前記複数の前記スイッチ回路のうちの他のスイッチ回路は、前記切替制御信号に応答して前記遮断状態になり、前記外部制御信号に基づいて調整される前記インピーダンスにより前記外部回路を終端する
請求項5から請求項7のいずれかに記載の半導体信号切替回路。
One switch circuit of the plurality of switch circuits is in the conductive state in response to the switching control signal,
The other switch circuit among the plurality of switch circuits enters the cutoff state in response to the switching control signal, and terminates the external circuit with the impedance adjusted based on the external control signal. The semiconductor signal switching circuit according to claim 5.
前記スイッチ回路は、
前記接続端子を端点とする前記信号経路の反対側の端点である第2接続端子と、
前記第2接続端子と前記接続端子との間に直列に接続され、前記接続端子と前記第2端子との間の導通状態と遮断状態とを制御する第1及び第3トランジスタと、
前記第1トランジスタと前記第3トランジスタとの接続ノードと、グランドとの間に接続され、前記接続端子と前記第2端子との間が遮断状態のときに漏洩する信号を減衰させる第2トランジスタと、
前記接続端子と前記インピーダンス可変回路との間に接続され、前記接続端子と前記インピーダンス可変回路との間の導通状態と遮断状態とを制御する第4トランジスタと
を備える
請求項1から請求項9のいずれかに記載の半導体信号切替回路。
The switch circuit is
A second connection terminal that is an end point on the opposite side of the signal path with the connection terminal as an end point;
A first transistor and a third transistor connected in series between the second connection terminal and the connection terminal and controlling a conduction state and a cutoff state between the connection terminal and the second terminal;
A second transistor connected between a connection node of the first transistor and the third transistor and a ground, and attenuating a signal leaked when the connection terminal and the second terminal are in a cut-off state; ,
10. A fourth transistor connected between the connection terminal and the impedance variable circuit and controlling a conduction state and a cutoff state between the connection terminal and the impedance variable circuit. A semiconductor signal switching circuit according to any one of the above.
第1端子と第2端子との間に直列に接続される第11及び第13トランジスタと、
前記第11トランジスタと前記第13トランジスタとの接続ノードと、グランドとの間に接続される第12トランジスタと、
前記第2端子とグランドとの間に第14トランジスタを介して接続される第1インピーダンス可変回路と、
前記第1端子と第3端子との間に直列に接続される第21及び第23トランジスタと、
前記第21トランジスタと前記第23トランジスタとの接続ノードと、グランドとの間に接続される第22トランジスタと、
前記第3端子とグランドとの間に第24トランジスタを介して接続される第2インピーダンス可変回路と、
前記第11トランジスタのゲートと、前記第13トランジスタのゲートと、前記第22トランジスタのゲートと、前記第24トランジスタのゲートとに接続される第1切替制御端子と、
前記第21トランジスタのゲートと、前記第23トランジスタのゲートと、前記第12トランジスタのゲートと、前記第14トランジスタのゲートとに接続される第2切替制御端子と、
前記第1インピーダンス可変回路のインピーダンスを調整する第1外部制御信号を印加する第1外部制御端子と、
前記第2インピーダンス可変回路のインピーダンスを調整する第2外部制御信号を印加する第2外部制御端子と
を具備し、
前記第1切替制御端子と前記第2切替制御端子とに印加される切替制御信号に応答して、前記第1端子と前記第2端子との間の信号経路と前記第1端子と前記第3端子との間の信号経路との一方の信号経路を導通状態、他方の信号経路を遮断状態にし、
前記第1外部制御信号及び前記第2外部制御信号に基づいて、前記遮断状態の信号経路の前記第2端子又は前記第3端子である遮断側端子から内部をみたインピーダンスを、前記遮断側端子に接続される外部回路のインピーダンスに整合させる
半導体信号切替回路。
Eleventh and thirteenth transistors connected in series between the first terminal and the second terminal;
A twelfth transistor connected between a connection node of the eleventh transistor and the thirteenth transistor and a ground;
A first impedance variable circuit connected via a fourteenth transistor between the second terminal and the ground;
21st and 23rd transistors connected in series between the first terminal and the third terminal;
A twenty-second transistor connected between a connection node of the twenty-first transistor and the twenty-third transistor and a ground;
A second impedance variable circuit connected via a 24th transistor between the third terminal and the ground;
A first switching control terminal connected to the gate of the eleventh transistor, the gate of the thirteenth transistor, the gate of the twenty-second transistor, and the gate of the twenty-fourth transistor;
A second switching control terminal connected to the gate of the twenty-first transistor, the gate of the twenty-third transistor, the gate of the twelfth transistor, and the gate of the fourteenth transistor;
A first external control terminal for applying a first external control signal for adjusting the impedance of the first impedance variable circuit;
A second external control terminal for applying a second external control signal for adjusting the impedance of the second impedance variable circuit;
In response to a switching control signal applied to the first switching control terminal and the second switching control terminal, a signal path, the first terminal, and the third terminal between the first terminal and the second terminal. One signal path with the signal path to the terminal is in the conductive state, the other signal path is in the blocked state,
Based on the first external control signal and the second external control signal, the impedance viewed from the interruption side terminal that is the second terminal or the third terminal of the signal path in the interruption state to the interruption side terminal. A semiconductor signal switching circuit that matches the impedance of the connected external circuit.
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US11616494B1 (en) 2021-09-15 2023-03-28 Kabushiki Kaisha Toshiba Semiconductor device

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07221595A (en) * 1994-02-07 1995-08-18 Tera Tec:Kk Variable resistance circuit
JPH10215162A (en) * 1997-01-29 1998-08-11 Sony Corp Switch circuit

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07221595A (en) * 1994-02-07 1995-08-18 Tera Tec:Kk Variable resistance circuit
JPH10215162A (en) * 1997-01-29 1998-08-11 Sony Corp Switch circuit

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009044503A1 (en) * 2007-10-03 2009-04-09 Advantest Corporation Switching apparatus
US11616494B1 (en) 2021-09-15 2023-03-28 Kabushiki Kaisha Toshiba Semiconductor device

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