JP2007017189A - 電気的接続装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】被検査体2に必要以上に圧力を掛けずに検査を行い、圧力の掛け過ぎによる検査不良を解消する。
【解決手段】被検査体2の電極部3に、配線基板4に形成された信号配線9を電気的に接続する電気的接続装置1である。上記被検査体2の電極部3と上記配線基板4の信号配線9とを電気的に接続する接触子7を備えた。接触子7は、上記被検査体2の側面に位置する電極部3に当接する電極当接部35と、上記信号配線9に当接する配線当接部37と、弾性体19に嵌合して全体を弾性的に支持する弾性体支持部38と、押圧されることで全体が回動して上記被検査体2の電極部3と上記電極当接部35との当接が解除される解除レバー部39とを備えた。解除レバー部39は、上下動するカバー6によって押し下げられて解除される。
【選択図】 図1

Description

本発明は、ICデバイス、集積回路、液晶表示パネル等の被検査体の試験に用いる電気的接続装置に関する。
ICチップ等の電気的特性試験用の接続装置として特許文献1に記載のものがある。この接続装置は、C字状に曲げられた接続端子を用いるものである。このC字状接続端子がICチップ等の電極に当接して試験が行われる。
このとき、C字状接続端子とICチップ等の電極との接続は、C字状接続端子をICチップ等の電極とを接触させた状態で互いに押し付けて行われる。
特開平5−299483号公報
しかし、従来の接続装置では、C字状接続端子とICチップ等の電極との接続ために、ICチップ等が押圧されるが、ICチップ等がより微細になると、電気的接続のためにICチップ等に掛ける圧力の程度でも特性が変化したり回路が破損したりしてしまうことがあるという問題点がある。
本発明は係る問題点に鑑みてなされたもので、被検査体になるべく圧力を掛けないで、電極への接続を可能にした電気的接続装置を提供することを目的とする。
本発明は、上述した課題に鑑みてなされたもので、被検査体の電極部に、配線基板に形成された信号配線を電気的に接続する電気的接続装置であって、上記被検査体の電極部と上記配線基板の信号配線とを電気的に接続する接触子を備え、当該接触子が、上記被検査体の側面に位置する電極部に当接する電極当接部と、上記配線基板に形成された信号配線に当接する配線当接部と、弾性体に嵌合され弾性的に接触して接触子全体を支持する弾性体支持部と、押圧されることで接触子全体が回動して上記被検査体の電極部と上記電極当接部との当接が解除される解除レバー部とを備えたことを特徴とする。
上記電気的接続装置には、上下動可能に支持されて押し下げられることで上記接触子の解除レバー部を押し下げて上記被検査体の電極部と上記電極当接部との当接を解除する解除カバーを備えることが望ましい。また、上記接触子は、上記被検査体をその電極部が上記電極当接部に整合するように案内するガイド面を備えることが望ましい。
本発明によれば、次のような効果を奏することができる。
接触子に、被検査体の側面に位置する電極部に当接する電極当接部を備えたので、被検査体の側面から押圧して接続することができる。これにより、被検査体に不必要な圧力がかかって特性が変化するのを防止することができる。
また、解除カバーで接触子の解除レバー部を押し下げて、被検査体の電極部と電極当接部との当接を解除するため、被検査体を容易に取り外すことができる。
さらに、上記接触子のガイド面で、上記被検査体をその電極部が上記電極当接部に整合するように案内するため、被検査体を容易に装着することができる。
以下、本発明の実施形態に係る電気的接続装置について、添付図面を参照しながら説明する。図1は本発明の実施形態に係る電気的接続装置の要部を示す断面図、図2は被検査体を裏面から示す斜視図、図3は電気的接続装置を示す断面図、図4は電気的接続装置を示す平面図、図5は電気的接続装置を示す図4のA−A線矢視断面図、図6は電気的接続装置のベースを示す平面図である。
図1に示す電気的接続装置1は、被検査体2の検査のための補助装置として用いられる。被検査体2は、ICデバイスや液晶表示パネル等の、検査信号を通電させる必要のあるものである。被検査体2の一例を図1及び図2に示す。この被検査体2は、四角台形状でその下部にフランジ部2Aを備えて構成されている。この被検査体2のフランジ部2Aに、信号の出入力のための電極部3を備えている。電極部3は並列に複数配置されている。
電気的接続装置1は、図1、図3〜5に示すように主に、配線基板4と、ベース5と、カバー6と、接触子7とから構成されている。
配線基板4は、接触子7を介して被検査体2に試験用の電気信号を伝送するための導電部である。配線基板4は電気絶縁材料で形成されている。この配線基板4の一方の面に、印刷配線技術により信号配線9が形成されている。信号配線9は、接触子7の配設位置に合わせたパターンに形成されている。この信号配線9に接触子7の基端部が電気的に接触される。
ベース5は、図1,3,6に示すように、肉厚の四角形板状に形成されている。ベース5には、ネジ穴10と、バネ座11と、接触子収納凹部12と、デバイスガイド13とから構成されている。
ネジ穴10は、ベース5を配線基板4に固定する固定ネジ15を通すための穴である。ネジ穴10は、ベース5の四隅近傍に4つ設けられている。バネ座11は、カバー6をベース5に対して弾性的に近接離間できるようにするための圧縮バネ16の端部を支持するための凹部である。このバネ座11は、隣り合う2つのネジ穴10の中間位置に設けられ、全体のバランスを取りながらカバー6をスライド可能に支持するようになっている。なお、固定ネジ15によるカバー6の支持態様については後述する。
接触子収納凹部12は、接触子7を回動可能に支持するための凹部である。接触子収納凹部12は、接触子7を左右に5個ずつ配設して支持するようになっている。各接触子7は、被検査体2の電極部3に合わせた位置に配設されている。そして、各接触子7の位置に合わせてスロット18が設けられている。このスロット18は、接触子収納凹部12の上側面と配線基板4の信号配線9とを連通している。これにより、接触子7がスロット18に挿入されて、信号配線9に接触するようになっている。
接触子収納凹部12には二本の弾性体19が取り付けられる。この弾性体19は、弾性を有する円柱状の合成樹脂で構成されている。弾性体19は、5個ずつ配設される各接触子7を全て横切る方向に配設されている。各弾性体19の両端部は接触子収納凹部12の縁部に設けられた弾性体支持部20に嵌合して固定されている。接触子収納凹部12内では、半円形溝状の弾性体嵌合部21が設けられている。この弾性体嵌合部21は、それに嵌合される弾性体19の中心位置がスロット18の縁部付近に位置するように配設されている。
接触子収納凹部12の中心位置には、被検査体載置台22が設けられている。被検査体載置台22は、四角形状で僅かに***させて構成されている。被検査体載置台22の中心部には通気孔23が設けられている。被検査体載置台22に被検査体2が載置された状態で、電極部3が被検査体載置台22からはみ出して接触子7と接触しやすいようになっている。
デバイスガイド13は、被検査体2を被検査体載置台22に載置する際に、被検査体2を案内するための部材である。デバイスガイド13は、傾斜面を有し、各接触子7の配列方向の両側に被検査体載置台22を挟んでそれぞれ設けられている。被検査体2は、デバイスガイド13の傾斜面に案内されて被検査体載置台22に載置される。
固定ネジ15は、図5に示すように、ネジ部25と、ガイド部26と、ネジ頭部27とから構成されている。ネジ部25は、配線基板4のネジ穴4Aにねじ込まれて固定される部分である。ネジ部25がネジ穴4Aにねじ込まれることで、ネジ部25よりも直径の大きいガイド部26の縁部がベース5に当接してベース5を配線基板4側に固定している。ガイド部26は、カバー6をスライド可能に支持する部分である。ガイド部26にカバー6のガイド穴30が嵌合して、カバー6がスライド可能に支持される。ネジ頭部27は、カバー6のガイド部26からの抜け落ちを防止するストッパとなっている。
圧縮バネ16は、図3に示すように、カバー6を弾性的に支持するためのバネである。この圧縮バネ16は、その基端部がベース5のバネ座11に嵌合され、先端部がカバー6のバネ座31に嵌合されて装着されている。圧縮バネ16によって、カバー6がベース5に対して近接離間可能に支持されている。これにより、カバー6は、押し下げられることで、図1の左側の状態から右側の状態のようにベース5に近づけられて接触子7が回動され、被検査体2の電極部3への接触子7の押圧が解除されるようになっている。
カバー6は、図1、3〜5に示すように、被検査体2の電極部3への接触子7の押圧を解除するための部材である。カバー6の四隅近傍には、固定ネジ15のガイド部26にスライド可能に嵌合するためのガイド穴30が設けられている。ガイド穴30に固定ネジ15のガイド部26が挿入されることで、カバー6がスライド可能に支持されると共に、固定ネジ15のネジ頭部27でカバー6の抜け落ちが防止される。カバー6の裏面には、バネ座31が設けられている。バネ座31は、カバー6をベース5に対して弾性的に近接離間できるようにするための圧縮バネ16の端部を支持するための凹部である。このバネ座31は、隣り合う2つのガイド穴30の中間位置に設けられ、全体のバランスを取りながらカバー6をスライド可能に支持するようになっている。カバー6の中央には、被検査体2の出し入れ開口32が設けられている。さらに、出し入れ開口32の縁部は、接触子7の解除レバー部39の押圧部33となっている。これにより、カバー6が押し下げられることで、接触子7が回動して(図1中の右側の実線の接触子7の状態に回動して)、接触子7の電極当接部35と被検査体2の電極部3との当接が解除するようになっている。即ち、解除状態になるようになっている。また、この解除状態で、被検査体2が出し入れされる。
接触子7は、図1、3、6に示すように、被検査体2の電極部3と配線基板4の信号配線9とを電気的に接続するための部材である。この接触子7は、導電性板材を用いて全体をほぼT字状に形成され、その両側に電極当接部35及び解除レバー部39が、下端に配線当接部37が配設されている。具体的には接触子7は、電極当接部35と、ガイド面36と、配線当接部37と、弾性体支持部38と、解除レバー部39とから構成されている。
電極当接部35は、上記被検査体2の側面に位置する電極部3に直接当接する部分である。電極当接部35は、被検査体2が装着された状態で電極部3との当接面がほぼ垂直になるように設定されている。この当接面の具体的な角度は、被検査体2の種類に応じて設定される。本実施形態の例では、当接面の下部が電極部3側へせり出すように、垂直から僅かに倒した状態に設定される。なお、被検査体2は被検査体載置台22に載置されて電極部3の下側に隙間があるため、その電極部3に当接する電極当接部35を、電極部3の形状に合わせて形成してもよい。具体的には、電極当接部35をL字状に形成して、電極部3の下側へ回り込んで電気的に接触するようにしてもよい。また、L字状に限らず、電極当接部35の下部から電極部3の下側へ延ばして設けられ、電極部3の下側へ回り込んで電極部3と接触する下側接触部を設けてもよい。
ガイド面36は、被検査体2を被検査体載置台22に載置する際に、被検査体2を案内するための斜面である。ガイド面36は、電極当接部35の上側に連続して形成された傾斜面によって構成されている。これにより、被検査体載置台22を挟んで互いに向き合って配設される各接触子7の各ガイド面36とデバイスガイド13とで、被検査体2が案内されて被検査体載置台22に載置される。
配線当接部37は、配線基板4に形成された信号配線9に当接するための部分である。配線当接部37が信号配線9に当接して電気的に接続される。配線当接部37の先端部はほぼ円弧状に湾曲して形成され、配線当接部37が多少回動しても信号配線9との接触状態を維持できるようになっている。
弾性体支持部38は、接触子7全体を弾性的に支持するための部分である。即ち、弾性体支持部38は、弾性体19に嵌合されてこの弾性体19と弾性的に接触することで、接触子7全体を弾性的に支持している。弾性体支持部38は、円柱状の弾性体19に合わせて円弧状に切り欠いて構成されている。この円弧状の弾性体支持部38に弾性体19が嵌合して接触子7を弾性的に支持する。具体的には、カバー6で解除レバー部39が押し下げられて、対向する両側の接触子7の電極当接部35が左右に押し広げられた解除状態(弾性体19が押し縮められた状態)で被検査体2が装着されて、弾性体19の反発力で電極当接部35が電極部3に押し付けられると共に、弾性体支持部38のうち弾性体19の下側に回り込んだ部分が弾性体19の反発力で押されて配線当接部37が信号配線9に押し付けられるようになっている。
解除レバー部39は、それ自体が押し下げられることで接触子7が回動して対向する両側の接触子7の電極当接部35の間隔を広げて被検査体2を装着しやすくすると共に、被検査体2の電極部3と電極当接部35との当接を解除するための部材である。解除レバー部39は、弾性体支持部38を挟んで電極当接部35と反対側に設けられ、カバー6の出し入れ開口32の押圧部33で押し下げられることで、接触子7が回動して(図1中の右側の接触子7のように破線から実線の状態に回動して)、電極部3と電極当接部35との当接が解除されるようになっている。このとき、配線当接部37がスロット18の内側面に当接して支点となり、電極当接部35を電極部3から引き離すように接触子7を回動させるようになっている。
[動作]
以上のように構成された電気的接続装置1は、次のように動作する。
まず、カバー6を押し下げる。これにより、カバー6は、圧縮バネ16で上方へ移動した待機状態から、降下して押圧部33で接触子7の解除レバー部39を押し下げる。これにより、接触子7を回動させた解除状態(図1中の右側の実線の状態)にして、被検査体2を被検査体載置台22に載置する。このとき、弾性体19は押し潰された状態になっており、弾性体19の反発力によって接触子7が押し戻される方向に力が作用している。
このカバー6を押し下げる動作は、被検査体2の装着時に行われる。即ち、被検査体2を手動又は自動で電気的接続装置1のカバー6の出し入れ開口32に挿入する際に、カバー6が押し下げられて解除状態となる。これにより、被検査体2は、接触子7のガイド面36とデバイスガイド13とに案内されて正確に位置決め調整され、ベース5の被検査体載置台22に載置される。このとき、被検査体2の電極部3が接触子7の電極当接部35に整合する。
次いで、カバー6を上昇させる。これにより、接触子7が弾性体19の反発力によって被検査体2側へ押される。これによって、接触子7の電極当接部35が被検査体2の電極部3に押し付けられる。
さらに、弾性体19の反発力は、接触子7の弾性体支持部38の下部にも及び、配線当接部37が信号配線9に押し付けられる。このとき、電極当接部35と電極部3との間及び配線当接部37と信号配線9との間は、僅かに滑りながら押し付けられる。これにより、信号配線9と配線当接部37との間、電極当接部35と電極部3との間が電気的に確実に接触される。
次いで、電気信号が、信号配線9及び接触子7を介して送信されて、検査が行われる。
検査が終了すると、カバー6を押し下げる。これにより、接触子7の解除レバー部39が押し下げられて解除状態になって、被検査体2の電極部3と接触子7の電極当接部35が離される。これにより、被検査体2を取り出す。次いで、新しい被検査体2を挿入して上記処理を繰り返す。
以上のように、被検査体2を左右から押圧して検査を行うため、被検査体2に必要以上に圧力を掛ける必要がなくなり、圧力の掛け過ぎによる検査不良を解消することができる。
被検査体2の各電極部3と接触子7の電極当接部35とを、容易にかつ、電気的に安定して確実に接触させることができるようになる。これにより、検査装置に対する信頼性を向上させることができる。
カバー6を押し下げるだけで容易に解除状態にすることができるため、被検査体2の検査作業の効率化を図ることができる。
本発明の実施形態に係る電気的接続装置の要部を示す断面図である。 被検査体を裏面から示す斜視図である。 本発明の実施形態に係る電気的接続装置を示す断面図である。 本発明の実施形態に係る電気的接続装置を示す平面図である。 本発明の実施形態に係る電気的接続装置を示す図4のA−A線矢視断面図である。 本発明の実施形態に係る電気的接続装置のベースを示す平面図である。
符号の説明
1:電気的接続装置、2:被検査体、3:電極部、4:配線基板、5:ベース、6:カバー、7:接触子、9:信号配線、10:ネジ穴、11:バネ座、12:接触子収納凹部、13:デバイスガイド、15:固定ネジ、16:圧縮バネ、18:スロット、19:弾性体、20:弾性体支持部、21:弾性体嵌合部、22:被検査体載置台、23:通気孔、25:ネジ部、26:ガイド部、27:ネジ頭部、30:ガイド穴、31:バネ座、32:出し入れ開口33:押圧部、35:電極当接部、36:ガイド面、37:配線当接部、38:弾性体支持部、39:解除レバー部。

Claims (3)

  1. 被検査体の電極部に、配線基板に形成された信号配線を電気的に接続する電気的接続装置であって、
    上記被検査体の電極部と上記配線基板の信号配線とを電気的に接続する接触子を備え、
    当該接触子が、上記被検査体の側面に位置する電極部に当接する電極当接部と、
    上記配線基板に形成された信号配線に当接する配線当接部と、
    弾性体に嵌合され弾性的に接触して接触子全体を支持する弾性体支持部と、
    押圧されることで接触子全体が回動して上記被検査体の電極部と上記電極当接部との当接が解除される解除レバー部とを備えたことを特徴とする電気的接続装置。
  2. 請求項1に記載の電気的接続装置において、
    上下動可能に支持されて押し下げられることで上記接触子の解除レバー部を押し下げて上記被検査体の電極部と上記電極当接部との当接を解除する解除カバーを備えたことを特徴とする電気的接続装置。
  3. 請求項1又は2に記載の電気的接続装置において、
    上記接触子が、上記被検査体をその電極部が上記電極当接部に整合するように案内するガイド面を備えたことを特徴とする電気的接続装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010140880A (ja) * 2008-12-15 2010-06-24 Enplas Corp 電気部品用ソケット
US7914295B2 (en) 2008-11-12 2011-03-29 Yamaichi Electronics Co., Ltd. Electrical connecting device

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009043591A (ja) 2007-08-09 2009-02-26 Yamaichi Electronics Co Ltd Icソケット
TW201027849A (en) * 2009-01-13 2010-07-16 Yi-Zhi Yang Connector
US9343830B1 (en) * 2015-06-08 2016-05-17 Xcerra Corporation Integrated circuit chip tester with embedded micro link
CN112752707B (zh) * 2018-09-27 2021-12-14 本田技研工业株式会社 骑乘型车辆的电池装卸构造

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11185916A (ja) * 1997-12-22 1999-07-09 Enplas Corp 電気部品用ソケット
JP2003045593A (ja) * 2001-07-30 2003-02-14 Micronics Japan Co Ltd 電気的接続装置

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU2637400A (en) * 1999-02-02 2000-08-25 Gryphics, Inc. Low or zero insertion force connector for printed circuit boards and electrical devices

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11185916A (ja) * 1997-12-22 1999-07-09 Enplas Corp 電気部品用ソケット
JP2003045593A (ja) * 2001-07-30 2003-02-14 Micronics Japan Co Ltd 電気的接続装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7914295B2 (en) 2008-11-12 2011-03-29 Yamaichi Electronics Co., Ltd. Electrical connecting device
JP2010140880A (ja) * 2008-12-15 2010-06-24 Enplas Corp 電気部品用ソケット

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Publication number Publication date
US20070007948A1 (en) 2007-01-11

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