JP2007005089A - Inspection device for cathode-ray tube, and method for manufacturing cathode-ray tube using the same - Google Patents

Inspection device for cathode-ray tube, and method for manufacturing cathode-ray tube using the same Download PDF

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竜也 山▲崎▼
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a device inspecting cathode-ray tubes which accurately detects defects on a panel inner surface, and then informs a worker of the fact by discriminating defects on the inner surface and dirt on the outer surface of a panel with higher accuracy, and also to provide a method for manufacturing cathode-ray tubes using the same. <P>SOLUTION: This inspection device for cathode-ray tubes comprises: a CCD camera (a third imaging unit) 10c for imaging a panel outer surface side by receiving light reflected on the outer surface side of a panel 40; and a dirt detection means 50b for detecting dirt on a panel outer surface side by using results imaged with the CCD camera 10c. Then, defects on the inner surface side of a panel are detected by an extraction means 50a and a defect detecting means 50c, in such a manner that dirt on the outer surface side of the panel detected by the dirt detection means 50b is eliminated from the faults of the panel 40, extracted from results imaged with CCD cameras (a first and second imaging units) 10a, 10b which includes defects on the inner surface side and dirt on the outer surface side of the panel. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、陰極線管のパネルを検査する検査装置、特に陰極線管の製造工程においてパネル内面側に形成された蛍光面の欠陥を検出する陰極線管の検査装置、及びこれを用いた陰極線管の製造方法に関する。   The present invention relates to an inspection apparatus for inspecting a panel of a cathode ray tube, in particular, an inspection apparatus for a cathode ray tube for detecting defects on a fluorescent screen formed on the inner surface of the panel in the manufacturing process of the cathode ray tube, and manufacture of a cathode ray tube using the same. Regarding the method.

表示装置に用いられる陰極線管（ブラウン管）では、フェース（表示）面を構成するパネルガラス（以下、“パネル”という）の内面側に蛍光体及び黒色膜や色フィルターなどの薄膜を形成して、パネル内面側に蛍光面を形成する蛍光面形成工程が行われている。このような蛍光面形成工程では、レジストの膜厚や硬化の条件や露光条件などの製造条件が不適切であったり、異物が混入したりする不具合などにより、所定のパターンで蛍光体や薄膜を形成できないことがあり、パネル内面側に欠陥を生じることがある。また、このように生じた欠陥では、その大きさが０．１ｍｍ程度の微細なものであることや色の濃淡の比較が難しいことなどの理由により、作業者の視認による検査では欠陥が見逃されることがあった。このため、上記蛍光面形成工程に続いて、ＣＣＤカメラを有する検査装置を用いた検査工程を実施することにより、作業者による検査を支援する場合があった。つまり、蛍光面が形成されたパネルに対して、ＣＣＤカメラにてパネル内面側を撮像し、当該ＣＣＤカメラからの撮像画像に画像処理を行うことで欠陥を検出してその発生箇所を作業者に示すことで作業者の検査を支援することが必要に応じて適宜行われるようになっていた。   In a cathode ray tube (CRT) used in a display device, a thin film such as a phosphor and a black film or a color filter is formed on the inner surface side of a panel glass (hereinafter referred to as “panel”) constituting a face (display) surface. A phosphor screen forming step of forming a phosphor screen on the inner surface side of the panel is performed. In such a phosphor screen forming process, phosphors and thin films are formed in a predetermined pattern due to inadequate manufacturing conditions such as resist film thickness, curing conditions, and exposure conditions, or due to defects such as contamination by foreign matter. It may not be possible to form, and defects may occur on the inner surface of the panel. In addition, the defect generated in this way is overlooked by the visual inspection of the operator because the size is as small as about 0.1 mm or the color density is difficult to compare. There was a thing. For this reason, in some cases, an inspection process using an inspection apparatus having a CCD camera is performed following the phosphor screen formation process, thereby assisting the inspection by the operator. In other words, for the panel on which the fluorescent screen is formed, the inner surface of the panel is imaged by a CCD camera, and the image is processed on the captured image from the CCD camera to detect a defect, and the occurrence location is indicated to the operator. By showing, supporting the inspection of the worker was appropriately performed as needed.

また、上記蛍光面形成工程では、蛍光体などの陰極線管の一部材料がパネル外面側に跳ね上がって付着し当該パネル外面側を汚すことがある。このようなパネル外面側の汚れは、ウェスなどでクリーニングすることによって容易に取り除くことができることから、検査装置を用いた検査工程を行う場合では、パネル内面側の欠陥とパネル外面側の汚れとを判別することが要求された。   Further, in the phosphor screen forming step, some materials of the cathode ray tube such as a phosphor may jump up and adhere to the panel outer surface side to contaminate the panel outer surface side. Such dirt on the panel outer surface side can be easily removed by cleaning with a waste cloth or the like. Therefore, when performing an inspection process using an inspection apparatus, defects on the panel inner surface side and dirt on the panel outer surface side are removed. Requested to determine.

従来の陰極線管の検査装置には、パネル内面側の欠陥とパネル外面側の汚れとを判別するために、パネル内面側の同一箇所を互いに異なる方向から撮像する２式のＣＣＤカメラを使用したものが提供されている（例えば、下記特許文献１参照。）。すなわち、この従来の検査装置では、２式の各ＣＣＤカメラは一定方向に搬送中のパネルの内部を透過させた透過光を受光することで撮像動作を行うようになっており、パネル内面側の欠陥及びパネル外面側の汚れを撮像可能とされていた。そして、この従来の検査装置では、パネル内面側の欠陥が２式のＣＣＤカメラに同時に撮像されるのに対して、パネル外面側の汚れは２式のＣＣＤカメラで時間的にずれて撮像されることを利用して、パネル内面側の欠陥とパネル外面側の汚れとを判別するようになっていた。
特開平１１−２４２００４号公報（第１０〜１１頁、図２３〜図２６） A conventional cathode ray tube inspection apparatus uses two types of CCD cameras that image the same part on the panel inner surface side from different directions in order to discriminate between defects on the panel inner surface side and dirt on the panel outer surface side. Is provided (for example, refer to Patent Document 1 below). That is, in this conventional inspection apparatus, each of the two CCD cameras performs an imaging operation by receiving transmitted light that has passed through the inside of the panel being conveyed in a certain direction. It was possible to image defects and dirt on the outer surface of the panel. In this conventional inspection apparatus, defects on the inner surface of the panel are simultaneously imaged by the two types of CCD cameras, whereas dirt on the outer surface of the panel is imaged with a time shift by the two types of CCD cameras. Thus, the defect on the panel inner surface side and the stain on the panel outer surface side are discriminated.
JP-A-11-224004 (pages 10-11, FIGS. 23-26)

しかしながら、上記従来の陰極線管の検査装置では、パネル内面側の欠陥とパネル外面側の汚れとを精度よく判別することができずに、パネル外面側の汚れがパネル内面側の欠陥として誤認されることがあった。具体的にいえば、この従来の検査装置では、パネル外面側の汚れの形状や大きさ、あるいは各ＣＣＤカメラでの感度が微妙に相違していたりすると、各ＣＣＤカメラにパネル外面側の汚れが同時に撮像されることがあった。特に、上記蛍光面形成工程の際に蛍光体などのスプラッシュ（異常飛沫）が発生して、パネル外面側で当該パネルの搬送方向に沿って間欠的に付着したときには、２箇所の飛沫（汚れ）が２式のＣＣＤカメラでそれぞれ同時に撮像されて、パネル内面側の同じ欠陥として判別され易かった。この結果、この従来の検査装置では、パネル内面側の欠陥を正確に検出することができずに、当該欠陥を的確に作業者に通知できないことがあった。   However, in the above conventional cathode ray tube inspection apparatus, the defect on the panel inner surface side and the stain on the panel outer surface side cannot be accurately discriminated, and the dirt on the panel outer surface side is mistaken as a defect on the panel inner surface side. There was a thing. Specifically, in this conventional inspection apparatus, if the shape and size of dirt on the panel outer surface side, or the sensitivity of each CCD camera is slightly different, dirt on the panel outer surface side of each CCD camera will occur. Images were sometimes taken at the same time. In particular, when splashes (abnormal droplets) of phosphors or the like are generated during the phosphor surface forming step and intermittently adhere along the transport direction of the panel on the panel outer surface side, two droplets (dirt) are present. Were simultaneously imaged by the two types of CCD cameras and easily identified as the same defect on the inner surface of the panel. As a result, in this conventional inspection apparatus, a defect on the panel inner surface side cannot be accurately detected, and the operator may not be notified of the defect accurately.

上記の課題を鑑み、本発明は、パネル内面側の欠陥とパネル外面側の汚れとを高精度に判別することができ、パネル内面側の欠陥を正確に検出して作業者に通知することが可能な陰極線管の検査装置、及びこれを用いた陰極線管の製造方法を提供することを目的とする。   In view of the above-described problems, the present invention can accurately determine a defect on the panel inner surface side and a stain on the panel outer surface side, accurately detect the defect on the panel inner surface side, and notify the operator. It is an object of the present invention to provide a possible cathode ray tube inspection apparatus and a cathode ray tube manufacturing method using the same.

上記の目的を達成するために、本発明にかかる陰極線管の検査装置は、蛍光体または薄膜が内面側に形成された陰極線管のパネルを検査する検査装置であって、
前記パネルの内面側及び外面側のうち、少なくとも外面側に設けられて、前記パネルに対して光を照射する光源と、
前記パネルの内面側及び外面側のいずれか一方側に配置されるとともに、当該パネルの内部を通った透過光を受光することにより、前記パネル内面側の同一箇所を互いに異なる方向から撮像する第１及び第２の撮像部と、
前記パネルの外面側に設けられ、当該パネル外面側で反射された反射光を受光することにより、前記パネル外面側を撮像する第３の撮像部と、
前記パネルと、前記第１、第２、及び第３の撮像部とを相対的に移動させるための移動手段と、
前記第１及び第２の撮像部の撮像結果を用いて、前記パネル内面側の欠陥及び前記パネル外面側の汚れを含んだ当該パネルの欠点を抽出する抽出手段と、
前記第３の撮像部の撮像結果を用いて、前記パネル外面側の汚れを検出する汚れ検出手段と、
前記抽出手段の抽出結果と前記汚れ検出手段の汚れ検出結果に基づいて、前記パネル内面側の欠陥を検出する欠陥検出手段とを備えたことを特徴とするものである。 In order to achieve the above object, an inspection apparatus for a cathode ray tube according to the present invention is an inspection apparatus for inspecting a panel of a cathode ray tube in which a phosphor or a thin film is formed on the inner surface side,
Of the inner surface side and the outer surface side of the panel, provided on at least the outer surface side, and a light source for irradiating the panel with light,
A first image that is arranged on either the inner surface side or the outer surface side of the panel and receives the transmitted light that has passed through the interior of the panel so as to capture the same portion on the inner surface side of the panel from different directions. And a second imaging unit;
A third imaging unit that is provided on the outer surface side of the panel and receives the reflected light reflected on the panel outer surface side, and images the panel outer surface side;
Moving means for relatively moving the panel and the first, second, and third imaging units;
Extraction means for extracting defects of the panel including defects on the panel inner surface side and dirt on the panel outer surface side using the imaging results of the first and second imaging units;
Using the imaging result of the third imaging unit, a dirt detection means for detecting dirt on the panel outer surface side;
And a defect detecting means for detecting a defect on the inner surface side of the panel based on the extraction result of the extracting means and the dirt detection result of the dirt detecting means.

上記のように構成された陰極線管の検査装置では、パネル外面側で反射された反射光を受光することでパネル外面側を撮像する第３の撮像部を設けているので、パネル外面側だけを精度よく撮像することが可能となり、上記汚れ検出手段は当該パネル外面側の汚れの検出を高精度に行うことができる。また、第１及び第２の撮像部の撮像結果を用いて上記パネルの欠点を抽出する抽出手段を設けるとともに、抽出手段の抽出結果と汚れ検出手段の汚れ検出結果とを基にパネル内面側の欠陥を検出する欠陥検出手段を設けているので、パネル内面側の欠陥とパネル外面側の汚れとを高精度に判別することができる。従って、パネル内面側の欠陥を正確に検出することができ、当該欠陥を作業者に的確に通知することが可能となる。   In the cathode ray tube inspection apparatus configured as described above, since the third imaging unit that captures the panel outer surface side by receiving the reflected light reflected on the panel outer surface side is provided, only the panel outer surface side is provided. It becomes possible to image with high accuracy, and the stain detection means can detect the stain on the outer surface side of the panel with high accuracy. In addition, an extraction unit is provided for extracting the defects of the panel using the imaging results of the first and second imaging units, and the inner surface side of the panel is based on the extraction result of the extraction unit and the contamination detection result of the contamination detection unit. Since the defect detection means for detecting the defect is provided, the defect on the panel inner surface side and the stain on the panel outer surface side can be discriminated with high accuracy. Therefore, it is possible to accurately detect a defect on the inner surface side of the panel and accurately notify the operator of the defect.

また、上記陰極線管の検査装置において、前記第１及び第２の撮像部を前記パネルの内面側に配置することが好ましい。   In the cathode ray tube inspection apparatus, it is preferable that the first and second imaging units are arranged on the inner surface side of the panel.

この場合、第１及び第２の撮像部をパネルの外面側に配置する場合に比べて、パネル内面側を高感度に撮像することができ、当該パネル内面側の欠陥を精度よく撮像することができる。   In this case, compared with the case where the first and second imaging units are arranged on the outer surface side of the panel, the inner surface of the panel can be imaged with high sensitivity, and defects on the inner surface side of the panel can be accurately imaged. it can.

また、本発明の陰極線管の製造方法は、陰極線管のパネルの内面側に形成した蛍光体または薄膜を検査する検査工程を含む製造方法であって、
前記検査工程を、上記検査装置のいずれかを用いて行うことを特徴とするものである。 Further, the cathode ray tube manufacturing method of the present invention is a manufacturing method including an inspection step of inspecting a phosphor or a thin film formed on the inner surface side of the cathode ray tube panel,
The inspection step is performed using any one of the inspection apparatuses.

上記のように構成された陰極線管の製造方法では、パネルの検査工程において、パネル内面側の欠陥とパネル外面側の汚れとが高精度に判別され、かつ、当該パネル内面側の欠陥が作業者に正確に通知される。従って、パネル内面側に欠陥を生じたパネルを確実に除外して、陰極線管の製造を行うことができ、陰極線管の歩留まりを容易に向上させて信頼性に優れた陰極線管を効率よく製造することができる。   In the cathode ray tube manufacturing method configured as described above, in the panel inspection process, defects on the panel inner surface side and dirt on the panel outer surface side are determined with high accuracy, and the defect on the panel inner surface side is determined by the operator. Will be notified accurately. Therefore, it is possible to manufacture a cathode ray tube by reliably removing a panel having a defect on the inner surface side of the panel, and to easily improve the yield of the cathode ray tube and efficiently manufacture a cathode ray tube excellent in reliability. be able to.

本発明によれば、パネル内面側の欠陥とパネル外面側の汚れとを高精度に判別することができ、パネル内面側の欠陥を正確に検出して作業者に通知することが可能な陰極線管の検査装置、及びこれを用いた陰極線管の製造方法を提供することが可能となる。   According to the present invention, a cathode ray tube capable of accurately discriminating between defects on the panel inner surface side and dirt on the panel outer surface side and accurately detecting the defect on the panel inner surface side and notifying the operator. It is possible to provide an inspection apparatus and a cathode ray tube manufacturing method using the inspection apparatus.

以下、本発明の陰極線管の検査装置及びその製造方法を示す好ましい実施形態について、図面を参照しながら説明する。   Hereinafter, a preferred embodiment showing a cathode ray tube inspection apparatus and a manufacturing method thereof according to the present invention will be described with reference to the drawings.

図１は本発明の一実施形態にかかる陰極線管の検査装置の全体構成を示す概略図であり、図２は上記陰極線管の検査装置の要部構成を説明する図である。図１及び図２において、本実施形態の陰極線管の検査装置は、検査台３０の上部側に設置されて、図に“Ｘ”で示す搬送方向に検査対象物である陰極線管のパネル４０を移動させるための移動手段としてのコンベア３１と、コンベア３１の下方側に配置された２式のＣＣＤカメラ１０ａ、１０ｂとを具備している。また、検査装置には、コンベア３１の上方側に設けられたＣＣＤカメラ１０ｃと、パネル４０の上方から当該パネル４０に向かって、光を各々照射する３つの照明部材２０ａ、２０ｂ、２０ｃと、ＣＣＤカメラ１０ａ〜１０ｃに接続されて各ＣＣＤカメラ１０ａ〜１０ｃからのパネル４０の撮像画像のデータを処理する処理装置５０とが設けられている。そして、この検査装置は、蛍光面を内面４０ａに形成する蛍光面形成工程を終えたパネル４０の内面４０ａでの欠陥（パネル内面側の欠陥）の有無及び外面４０ｂ上の汚れ（パネル外面側の汚れ）の有無を検出し、陰極線管の製造工程での前半工程と後半工程との間に行われる、作業者による検査作業を支援するようになっている。   FIG. 1 is a schematic diagram showing an overall configuration of a cathode ray tube inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a diagram for explaining a main configuration of the cathode ray tube inspection apparatus. 1 and 2, the cathode ray tube inspection apparatus according to the present embodiment is installed on the upper side of the inspection table 30 and has a cathode ray tube panel 40 as an inspection object in the transport direction indicated by “X” in the drawings. A conveyor 31 as a moving means for moving, and two sets of CCD cameras 10a and 10b arranged below the conveyor 31 are provided. The inspection apparatus includes a CCD camera 10c provided above the conveyor 31, three illumination members 20a, 20b, and 20c that irradiate light from above the panel 40 toward the panel 40, and a CCD. A processing device 50 is provided which is connected to the cameras 10a to 10c and processes data of captured images of the panel 40 from the CCD cameras 10a to 10c. And this inspection apparatus has the presence or absence of the defect (defect on the panel inner surface side) on the inner surface 40a of the panel 40 which has finished the phosphor screen forming step for forming the phosphor screen on the inner surface 40a, and the stain on the outer surface 40b (the panel outer surface side). The presence or absence of dirt is detected, and the inspection work performed by the worker between the first half process and the second half process in the manufacturing process of the cathode ray tube is supported.

すなわち、パネル４０では、上記蛍光面形成工程が行われることにより、ＲＧＢの各蛍光体及び黒色膜や色フィルターなどの薄膜が内面４０ａに所定のパターンで設けられて蛍光面が形成された後、パネル４０は、ファンネルと封着される。このため、コンベア３１の下流側（図１の右側）に設けられた上記検査作業の作業場において、作業者の視認によるパネル４０の最終チェックがファンネルとの封着工程を含んだ上記後半工程の前に実施されるようになっており、検査装置は、後に詳述するように、パネル内面側の欠陥を検出して通報することで上記最終チェックを支援するよう構成されている。なお、この説明以外に、例えば黒色膜や色フィルターなどの薄膜を形成した後に蛍光体を形成するパネル４０の場合では、蛍光体形成前に、上記薄膜を検査装置で検査することもできる。   That is, in the panel 40, after the phosphor screen forming step is performed, after each phosphor of RGB and a thin film such as a black film and a color filter are provided in a predetermined pattern on the inner surface 40a, the phosphor screen is formed. The panel 40 is sealed with a funnel. For this reason, the final check of the panel 40 by visual inspection of the operator before the latter half process including the sealing process with the funnel is performed in the inspection work place provided on the downstream side (right side in FIG. 1) of the conveyor 31. The inspection apparatus is configured to support the final check by detecting and reporting a defect on the inner surface of the panel, as will be described in detail later. In addition to this description, for example, in the case of the panel 40 in which the phosphor is formed after forming a thin film such as a black film or a color filter, the thin film can be inspected with an inspection apparatus before the phosphor is formed.

コンベア３１は、上記搬送方向で所定の間隔をおいて設けられた複数のローラ３１ａを備えており、図１に示すように、パネル４０の内面４０ａ及び外面４０ｂをそれぞれ下方側及び上方側に向けた状態で、当該パネル４０をローラ３１ａの回転動作によって予め設定された一定の搬送速度にて搬送するように構成されている。また、各ローラ３１ａの表面にはゴムライニング等の処理が施されており、各ローラ３１ａはパネル４０に傷を付けることなく、かつ当該パネル４０をスリップさせることなく円滑に搬送できるようになっている。   The conveyor 31 includes a plurality of rollers 31a provided at predetermined intervals in the transport direction, and as shown in FIG. 1, the inner surface 40a and the outer surface 40b of the panel 40 are directed downward and upward, respectively. In this state, the panel 40 is transported at a constant transport speed set in advance by the rotation operation of the roller 31a. Further, the surface of each roller 31a is subjected to a process such as rubber lining, so that each roller 31a can be smoothly conveyed without damaging the panel 40 and without slipping the panel 40. Yes.

各ＣＣＤカメラ１０ａ〜１０ｃには、複数の受光素子が図１の紙面に垂直な方向に配列されたラインセンサ式のものが使用されており、各ＣＣＤカメラ１０ａ〜１０ｃは、パネル４０に対する撮像動作を行うことにより、受光素子毎に計測したパネル４０の輝度値を含んだ、当該パネル４０の撮像画像のデータを処理装置５０に逐次出力する。また、各ＣＣＤカメラ１０ａ〜１０ｃは、例えばコンベア３１上に設置された光学式センサ（図示せず）からの指示信号に応じて上記撮像動作を開始して、パネル４０の撮像画像を取り込むように構成されており、パネル４０がコンベア３１で搬送方向に搬送されることで当該パネル内外の表面上を順次走査してパネル内外の全面にわたって撮影可能になっている。また、各ＣＣＤカメラ１０ａ〜１０ｃは、パネル４０の有効表示部（内面側及び外面側を含む。）が同一の座標系で撮像されるように、撮像動作を行うようになっている。さらに、各ＣＣＤカメラ１０ａ〜１０ｃでは、倍率などの撮像条件が互いに同一に設定されており、処理装置５０での画像処理が容易に行えるようになっている。   Each of the CCD cameras 10a to 10c uses a line sensor type in which a plurality of light receiving elements are arranged in a direction perpendicular to the paper surface of FIG. 1, and each of the CCD cameras 10a to 10c performs an imaging operation on the panel 40. As a result, the data of the captured image of the panel 40 including the brightness value of the panel 40 measured for each light receiving element is sequentially output to the processing device 50. Further, each of the CCD cameras 10a to 10c starts the imaging operation in response to an instruction signal from an optical sensor (not shown) installed on the conveyor 31, for example, and captures the captured image of the panel 40. The panel 40 is transported in the transport direction by the conveyor 31 so that the entire surface inside and outside the panel can be photographed by sequentially scanning the surface inside and outside the panel. In addition, each of the CCD cameras 10a to 10c performs an imaging operation so that an effective display portion (including the inner surface side and the outer surface side) of the panel 40 is imaged in the same coordinate system. Further, in each of the CCD cameras 10a to 10c, the imaging conditions such as the magnification are set to be the same, and the image processing in the processing device 50 can be easily performed.

また、ＣＣＤカメラ１０ａ、１０ｂは、パネル４０の内部を通った透過光を受光することにより、パネル内面側の同一箇所を互いに異なる方向から撮像する第１及び第２の撮像部を構成しており、パネル内面側の欠陥及びパネル外面側の汚れの双方を撮像可能になっている。詳細にいえば、ＣＣＤカメラ１０ａは、図２に“θ１”にて示すように、垂直軸Ｃに対して所定の傾斜角度で傾けられており、光路Ｌ１に沿って進んできた照明部材２０ａからの照射光を入光して撮像動作を行う。同様に、ＣＣＤカメラ１０ｂは、図２に“θ２”にて示すように、垂直軸Ｃに対して所定の傾斜角度で傾けられており、光路Ｌ１とは異なる方向に設定された光路Ｌ２に沿って進んできた照明部材２０ｂからの照射光を入光して撮像動作を行う。また、光路Ｌ１、Ｌ２は、パネル外面側の互いに異なる位置からパネル４０内部に進入して、パネル内面側の同一箇所である内面４０ａ上の位置Ａで交差するようになっており、ＣＣＤカメラ１０ａ、１０ｂでは、内面４０ａ上の位置Ａに焦点が合わせられて、当該位置Ａを高感度に、かつ同時に撮像するようになっている。これにより、パネル内面側に欠陥が生じている場合でも、ＣＣＤカメラ１０ａ、１０ｂは、その欠陥を精度よく撮像することができる。   The CCD cameras 10a and 10b constitute first and second imaging units that receive the transmitted light that has passed through the inside of the panel 40, thereby imaging the same location on the panel inner surface side from different directions. Both the defect on the panel inner surface side and the stain on the panel outer surface side can be imaged. More specifically, the CCD camera 10a is tilted at a predetermined tilt angle with respect to the vertical axis C, as indicated by “θ1” in FIG. 2, and from the illumination member 20a that has advanced along the optical path L1. The incident light is incident and an imaging operation is performed. Similarly, as shown by “θ2” in FIG. 2, the CCD camera 10b is inclined at a predetermined inclination angle with respect to the vertical axis C, and is along an optical path L2 set in a direction different from the optical path L1. Then, the irradiation light from the illumination member 20b that has traveled is incident to perform an imaging operation. The optical paths L1 and L2 enter the inside of the panel 40 from different positions on the panel outer surface side and intersect at a position A on the inner surface 40a, which is the same location on the panel inner surface side, and the CCD camera 10a. 10b, the position A on the inner surface 40a is focused, and the position A is imaged with high sensitivity and at the same time. Thereby, even when the defect has arisen in the panel inner surface side, CCD camera 10a, 10b can image the defect accurately.

また、光路Ｌ１、Ｌ２は、互いに異なるパネル外面側の位置でパネル４０の内部に進入するように設定されているので、ＣＣＤカメラ１０ａ、１０ｂは、互いに異なるタイミングでパネル外面側の汚れを撮像することができるようになっている。   Further, since the optical paths L1 and L2 are set so as to enter the inside of the panel 40 at positions different from each other on the panel outer surface side, the CCD cameras 10a and 10b image dirt on the panel outer surface side at different timings. Be able to.

また、ＣＣＤカメラ１０ａ、１０ｂの傾斜角度θ１、θ２は、５°〜１５°程度に設定されており、パネル内面側の欠陥及びパネル外面側の汚れ、とりわけパネル内面側の欠陥を確実に撮像できるように調整されている。なお、この傾斜角度θ１、θ２は、ＣＣＤカメラ１０ａ、１０ｂの撮像性能、あるいはパネル４０の内面形状などに応じて、適宜変更されるようになっている。   Further, the tilt angles θ1 and θ2 of the CCD cameras 10a and 10b are set to about 5 ° to 15 °, so that defects on the panel inner surface side and dirt on the panel outer surface side, particularly defects on the panel inner surface side can be reliably imaged. Have been adjusted so that. The tilt angles θ1 and θ2 are appropriately changed according to the imaging performance of the CCD cameras 10a and 10b, the inner shape of the panel 40, and the like.

一方、ＣＣＤカメラ１０ｃは、パネル４０の外面側に設けられ、当該パネル外面側で反射された反射光を受光することにより、パネル外面側を撮像する第３の撮像部を構成している。すなわち、ＣＣＤカメラ１０ｃと照明部材２０ｃとの間には、照明部材２０ｃからの照射光が進行する光路Ｒが設定されている。この光路Ｒは、照明部材２０ｃからパネル４０の外面４０ｂ上の位置Ｂに向けて照射された照射光が当該位置Ｂで反射され、反射光としてＣＣＤカメラ１０ｃに入光するように定められており、ＣＣＤカメラ１０ｃは、上記反射光を入光して撮像動作を行う。このようにＣＣＤカメラ１０ｃは、位置Ｂで反射された反射光を受光して、パネル外面側の撮像動作を行うので、ＣＣＤカメラ１０ｃは、当該パネル外面側だけを精度よく撮像することができる。   On the other hand, the CCD camera 10c is provided on the outer surface side of the panel 40, and constitutes a third imaging unit that captures an image on the outer surface side of the panel by receiving reflected light reflected on the outer surface side of the panel. That is, an optical path R through which the irradiation light from the illumination member 20c travels is set between the CCD camera 10c and the illumination member 20c. The optical path R is determined so that the irradiation light irradiated from the illumination member 20c toward the position B on the outer surface 40b of the panel 40 is reflected at the position B and enters the CCD camera 10c as reflected light. The CCD camera 10c receives the reflected light and performs an imaging operation. As described above, the CCD camera 10c receives the reflected light reflected at the position B and performs the imaging operation on the panel outer surface side, so that the CCD camera 10c can accurately image only the panel outer surface side.

また、ＣＣＤカメラ１０ａ、１０ｂにより撮像されるパネル内面側の欠陥には、形成されるべき箇所から蛍光体等の蛍光面の一部材料が脱落しているもの、ＲＧＢの何れかの蛍光体が所定位置に形成されておらずに他の色の中に混じってしまっているもの、あるいはゴミや異物等が蛍光体など中に混入して所望の発光輝度が得られないものがある。   In addition, defects on the inner surface side of the panel imaged by the CCD cameras 10a and 10b are those in which a part of the material of the phosphor screen such as the phosphor is dropped from the place to be formed, or any one of RGB phosphors. Some are not formed in a predetermined position and are mixed in other colors, or some are not allowed to obtain a desired light emission luminance due to dust or foreign matter mixed in the phosphor.

また、ＣＣＤカメラ１０ａ〜１０ｃにより撮像されるパネル外面側の汚れには、蛍光体、黒色膜等の陰極線管の一部材料あるいはゴミや水アカ（水滴の乾燥跡を含む。）などの付着物が含まれており、作業者がウェスなどを用いたクリーニング（拭取）作業を行うことによって除去されるものをいう。   Further, dirt on the outer surface side of the panel imaged by the CCD cameras 10a to 10c is a deposit, such as a phosphor, a partial material of a cathode ray tube such as a black film, or dust and water stains (including water marks). , Which is removed by an operator performing a cleaning (wiping) operation using a waste cloth or the like.

各照明部材２０ａ〜２０ｃは、例えば図の紙面に垂直な方向に配置された線状光源によって構成されている。また、各照明部材２０ａ〜２０ｃからの照射光は、リフレクタ部材２１ａ、２１ｂ、２１ｃにより集光されて対応する光路Ｌ１、Ｌ２、Ｒに沿って進むようになっており、各照明部材２０ａ〜２０ｃからの照射光の利用効率を向上させるとともに、各ＣＣＤカメラ１０ａ〜１０ｃでの撮像精度をも高めた状態で、検査装置はパネル４０の検査を行えるように構成されている。   Each illumination member 20a-20c is comprised by the linear light source arrange | positioned, for example in the direction perpendicular | vertical to the paper surface of a figure. Moreover, the irradiation light from each illumination member 20a-20c is condensed by the reflector members 21a, 21b, 21c, and advances along corresponding optical paths L1, L2, R, and each illumination member 20a-20c. The inspection apparatus is configured to inspect the panel 40 in a state where the utilization efficiency of the irradiation light from the camera is improved and the imaging accuracy of each of the CCD cameras 10a to 10c is also increased.

処理装置５０は、コンピュータ装置を用いて構成されたものであり、ＣＰＵ等の演算部にソフトウェアにて機能的に設けられた抽出手段５０ａ、汚れ検出手段５０ｂ、及び欠陥検出手段５０ｃと、ＨＤＤやメモリなどにより構成されて、プログラムデータや上記各手段で用いられる基準値等のデータを記憶する記憶手段５０ｄとを備えている。また、処理装置５０では、パネル４０の有効表示部に対して二次元的な座標系を設定して、各ＣＣＤカメラ１０ａ〜１０ｃからの撮像画像のデータに画像処理を施すようになっている。また、この座標系の一つの座標には、各ＣＣＤカメラ１０ａ〜１０ｃの受光素子が割り当てられている。   The processing device 50 is configured using a computer device, and includes an extraction unit 50a, a dirt detection unit 50b, and a defect detection unit 50c that are functionally provided by software in a calculation unit such as a CPU, an HDD, A storage unit 50d that is configured by a memory or the like and stores program data and data such as a reference value used by each of the above-described units is provided. In the processing device 50, a two-dimensional coordinate system is set for the effective display portion of the panel 40, and image processing is performed on the data of the captured images from the CCD cameras 10a to 10c. In addition, a light receiving element of each of the CCD cameras 10a to 10c is assigned to one coordinate in the coordinate system.

また、処理装置５０は、上記作業場に設置された表示装置（図示せず）にパネル４０の検査結果を出力するようになっており、表示装置に検査結果を表示させることによって同作業場でのパネル４０の最終チェックを容易に行わせることが可能となっている。また、処理装置５０は、各ＣＣＤカメラ１０ａ〜１０ｃが撮像したパネル４０の画像を上記表示装置に直接的に表示させて、作業者にパネル４０をモニタリングさせることも可能に構成されている。また、処理装置５０は、図示しない指示入力部や表示装置側の指示入力部からの作業者の指示に従って、上記画像処理を実行するように構成されており、さらには検査装置の各部の駆動制御を行えるように構成されている。   In addition, the processing device 50 outputs the inspection result of the panel 40 to a display device (not shown) installed in the work place, and the panel at the work place is displayed on the display device. Forty final checks can be easily performed. The processing device 50 is also configured to allow the operator to monitor the panel 40 by directly displaying the image of the panel 40 captured by the CCD cameras 10a to 10c on the display device. Further, the processing device 50 is configured to execute the image processing in accordance with an operator instruction from an instruction input unit (not shown) or an instruction input unit on the display device side, and further, drive control of each unit of the inspection apparatus. It is comprised so that it can perform.

抽出手段５０ａは、ＣＣＤカメラ１０ａ、１０ｂの撮像結果を用いて、パネル内面側の欠陥及びパネル外面側の汚れを含んだ当該パネル４０の欠点を抽出する抽出処理を実行する。つまり、この抽出手段５０ａは、ＣＣＤカメラ１０ａからのパネル４０の撮像画像のデータに含まれた輝度値と、当該パネル４０に形成された蛍光面に応じて、予め記憶手段５０ｄに格納されている基準輝度値との比較を座標（受光素子）単位に行うことにより、欠点の有無を判断して、ＣＣＤカメラ１０ａの撮像結果に基づく欠点を抽出する。同様に、抽出手段５０ａは、ＣＣＤカメラ１０ｂからのパネル４０の撮像画像のデータに含まれた輝度値と上記基準輝度値との比較を座標単位に行って欠点の有無を判断して、ＣＣＤカメラ１０ｂの撮像結果に基づく欠点を抽出する。   The extraction means 50a executes an extraction process for extracting defects of the panel 40 including defects on the panel inner surface side and dirt on the panel outer surface side using the imaging results of the CCD cameras 10a and 10b. That is, the extraction means 50a is stored in advance in the storage means 50d in accordance with the luminance value included in the data of the captured image of the panel 40 from the CCD camera 10a and the phosphor screen formed on the panel 40. By comparing with the reference luminance value for each coordinate (light receiving element) unit, the presence or absence of a defect is determined, and the defect based on the imaging result of the CCD camera 10a is extracted. Similarly, the extraction means 50a compares the luminance value included in the data of the image captured by the panel 40 from the CCD camera 10b with the reference luminance value for each coordinate unit to determine the presence or absence of a defect, and the CCD camera. The defect based on the imaging result of 10b is extracted.

また、抽出手段５０ａには、抽出したパネル４０の欠点に対して、パネル内面側の欠陥とパネル外面側の汚れとを判別する判別処理の機能が付与されている。つまり、抽出手段５０ａは、ＣＣＤカメラ１０ａ、１０ｂの撮像結果から各々抽出した欠点を相互比較することにより、上記判別処理を行うように構成されており、上記二次元的な座標系における距離を基準とした閾値を用いて、パネル内面側の欠陥とパネル外面側の汚れとを判別するようになっている。   Further, the extraction means 50a is provided with a function of discrimination processing for discriminating a defect on the panel inner surface side and a stain on the panel outer surface side with respect to the extracted defect of the panel 40. In other words, the extraction means 50a is configured to perform the discrimination processing by comparing the defects extracted from the imaging results of the CCD cameras 10a and 10b with each other, and the distance in the two-dimensional coordinate system is used as a reference. Using the threshold value, the defect on the panel inner surface side and the stain on the panel outer surface side are discriminated.

具体的にいえば、上記閾値は、ＣＣＤカメラ１０ａ、１０ｂの撮像性能や傾斜角度θ１、θ２、あるいはパネル４０の内面形状などに応じて、定められたものであり、検査装置がパネル内面側の欠陥を見逃すことなく確実に検出できるように、例えば２〜１０ｍｍの範囲内の値（上記座標系での距離換算値）が選択され、記憶手段５０ｄに予め保持されたものである。そして、抽出手段５０ａは、ＣＣＤカメラ１０ａの撮像結果から抽出した全ての欠点とＣＣＤカメラ１０ｂの撮像結果から抽出した全ての欠点について、総当たりで閾値以下の距離に存在するか否かについて調べることにより、上記判別処理を実行するようになっている。   Specifically, the threshold value is determined according to the imaging performance of the CCD cameras 10a and 10b, the inclination angles θ1 and θ2, the inner shape of the panel 40, and the like. For example, a value within a range of 2 to 10 mm (distance converted value in the coordinate system) is selected and held in the storage unit 50d in advance so that the defect can be reliably detected without missing. Then, the extraction unit 50a examines whether all the defects extracted from the imaging result of the CCD camera 10a and all the defects extracted from the imaging result of the CCD camera 10b exist at a distance less than the threshold in total. Thus, the determination process is executed.

また、抽出手段５０ａは、判別したパネル内面側の欠陥及びパネル外面側の汚れについて、上記座標系での位置を示す座標値（位置情報）を欠陥検出手段５０ｃに通知する。   Further, the extraction means 50a notifies the defect detection means 50c of coordinate values (position information) indicating positions in the coordinate system for the determined defects on the panel inner surface side and stains on the panel outer surface side.

汚れ検出手段５０ｂは、ＣＣＤカメラ１０ｃの撮像結果を用いて、パネル外面側の汚れを検出すする汚れ検出処理を行う。すなわち、汚れ検出手段５０ｂは、ＣＣＤカメラ１０ｃからのパネル４０の撮像画像のデータに含まれた外面４０ｂの輝度値と、当該パネル外面４０ｂに応じて、予め記憶手段５０ｄに格納されているパネル外面側の輝度値の基準値との比較を座標単位に行うことにより、汚れの有無を判断して、ＣＣＤカメラ１０ｃの撮像結果に基づく汚れを検出するようになっている。また、汚れ検出手段５０ｂは、判別したパネル外面側の汚れについて、上記座標系での位置を示す座標値（位置情報）を欠陥検出手段５０ｃに通知する。   The dirt detection means 50b performs a dirt detection process for detecting dirt on the outer surface of the panel using the imaging result of the CCD camera 10c. That is, the dirt detecting means 50b is a panel outer surface stored in advance in the storage means 50d in accordance with the luminance value of the outer surface 40b included in the data of the captured image of the panel 40 from the CCD camera 10c and the panel outer surface 40b. By comparing the luminance value on the side with the reference value for each coordinate unit, the presence or absence of dirt is judged, and the dirt based on the imaging result of the CCD camera 10c is detected. Further, the stain detection means 50b notifies the defect detection means 50c of coordinate values (position information) indicating the position in the coordinate system for the determined stain on the outer surface of the panel.

欠陥検出手段５０ｃは、抽出手段５０ａの抽出結果と汚れ検出手段５０ｂの汚れ検出結果に基づいて、パネル内面側の欠陥を検出する欠陥検出処理を実行する。つまり、欠陥検出手段５０ｃは、抽出結果及び汚れ検出結果からそれぞれパネル内面側の欠陥及びパネル外面側の汚れの各位置を取得するとともに、取得した各位置に基づいて、上記抽出結果に含まれたパネル内面側の欠陥に、パネル外面側の汚れが誤報として含まれていないか否かについて判別するようになっている。そして、パネル外面側の汚れがパネル内面側の欠陥に誤報として含まれていることを判別したときには、欠陥検出手段５０ｃは、その誤報を除外して、パネル内面側の欠陥を検出するようになっている。   The defect detection means 50c executes a defect detection process for detecting defects on the panel inner surface side based on the extraction result of the extraction means 50a and the dirt detection result of the dirt detection means 50b. That is, the defect detection means 50c acquires each position of the defect on the panel inner surface side and the dirt on the panel outer surface side from the extraction result and the dirt detection result, respectively, and is included in the extraction result based on each acquired position. It is determined whether or not the defect on the panel inner surface side includes contamination on the panel outer surface side as a false alarm. When it is determined that the contamination on the panel outer surface side is included as a false alarm in the defect on the panel inner surface side, the defect detection means 50c detects the defect on the panel inner surface side by excluding the false alarm. ing.

上記のように構成された本実施形態の検査装置の動作について、具体的に説明する。   The operation of the inspection apparatus of the present embodiment configured as described above will be specifically described.

まず、処理装置５０の抽出手段５０ａ、汚れ検出手段５０ｂ、及び欠陥検出手段５０ｃの各処理動作について、図１〜図５を参照して説明する。   First, each processing operation of the extraction unit 50a, the dirt detection unit 50b, and the defect detection unit 50c of the processing apparatus 50 will be described with reference to FIGS.

図３のステップＳ１に示すように、各ＣＣＤカメラ１０ａ、１０ｂからパネル４０の撮像画像のデータが抽出手段５０ａに入力されると、抽出手段５０ａは、各データに含まれた輝度値（計測値）と上記基準輝度値との比較を行うことにより、ＣＣＤカメラ１０ａ、１０ｂの各撮像画像のデータからパネル４０の欠点を抽出する（ステップＳ２）。つまり、データの輝度値が基準輝度値以下である場合には、抽出手段５０ａは、欠点がパネル４０に生じていると判断して当該欠点を抽出する。一方、データの輝度値が基準輝度値よりも大きい場合には、抽出手段５０ａは、欠点がパネル４０に生じていないと判断する。   As shown in step S1 of FIG. 3, when data of the captured image of the panel 40 is input from the CCD cameras 10a and 10b to the extraction unit 50a, the extraction unit 50a displays the luminance value (measurement value) included in each data. ) And the above-described reference luminance value, the defects of the panel 40 are extracted from the data of the captured images of the CCD cameras 10a and 10b (step S2). That is, when the luminance value of the data is equal to or lower than the reference luminance value, the extraction unit 50a determines that a defect has occurred in the panel 40 and extracts the defect. On the other hand, when the luminance value of the data is larger than the reference luminance value, the extracting unit 50a determines that no defect has occurred in the panel 40.

次に、抽出手段５０ａは、ＣＣＤカメラ１０ａの撮像結果から抽出した全ての欠点とＣＣＤカメラ１０ｂの撮像結果から抽出した全ての欠点とについて、総当たりで閾値以下の距離に存在するか否かについて調べる（ステップＳ３）。すなわち、抽出手段５０ａは、ＣＣＤカメラ１０ａの撮像結果から抽出した全ての各欠点について、ＣＣＤカメラ１０ｂの撮像結果から抽出した欠点が閾値以下の距離に存在しているか否かについて判別する。同様に、抽出手段５０ａは、ＣＣＤカメラ１０ｂの撮像結果から抽出した全ての各欠点について、ＣＣＤカメラ１０ａの撮像結果から抽出した欠点が閾値以下の距離に存在しているか否かについて判別する。   Next, the extraction means 50a determines whether or not all the defects extracted from the imaging result of the CCD camera 10a and all the defects extracted from the imaging result of the CCD camera 10b exist at a distance less than or equal to the threshold value. Check (step S3). That is, the extraction unit 50a determines whether or not the defects extracted from the imaging result of the CCD camera 10b are present at a distance equal to or less than the threshold for all the defects extracted from the imaging result of the CCD camera 10a. Similarly, the extraction unit 50a determines, for all the defects extracted from the imaging result of the CCD camera 10b, whether or not the defects extracted from the imaging result of the CCD camera 10a exist at a distance equal to or less than a threshold value.

そして、ＣＣＤカメラ１０ａの撮像結果から抽出した欠点とＣＣＤカメラ１０ｂの撮像結果から抽出した欠点とが閾値以下の距離であることを判別したときには、抽出手段５０ａは、これらの欠点をパネル内面側の同一の欠陥であると判定し（ステップＳ４）、その座標値を欠陥検出手段５０ｃに出力する。   When it is determined that the defect extracted from the imaging result of the CCD camera 10a and the defect extracted from the imaging result of the CCD camera 10b are a distance equal to or smaller than the threshold, the extraction means 50a identifies these defects on the inner surface side of the panel. It determines with it being the same defect (step S4), and the coordinate value is output to the defect detection means 50c.

一方、上記ステップＳ３において、ＣＣＤカメラ１０ａ、１０ｂの一方の撮像結果から抽出した欠点と他方の撮像結果から抽出した欠点とが閾値よりも大きい距離であることを判別したときには、抽出手段５０ａは、当該一方の撮像結果から抽出した欠点をパネル外面側の汚れと判定し（ステップＳ５）、その座標値を欠陥検出手段５０ｃに出力する。   On the other hand, when it is determined in step S3 that the defect extracted from one imaging result of the CCD cameras 10a and 10b and the defect extracted from the other imaging result are a distance larger than the threshold value, the extracting means 50a The defect extracted from the one imaging result is determined as a stain on the panel outer surface side (step S5), and the coordinate value is output to the defect detection means 50c.

その後、抽出手段５０ａは、上記一方及び他方の撮像結果から抽出した全ての欠点について、ステップＳ３〜Ｓ５の処理動作を行うことにより、各欠点をパネル内面側の欠陥またはパネル外面側の汚れに判別して、その処理動作を終了する。   Thereafter, the extraction means 50a performs the processing operation of steps S3 to S5 for all the defects extracted from the one and the other imaging results, thereby determining each defect as a defect on the panel inner surface side or a stain on the panel outer surface side. Then, the processing operation ends.

また、図４のステップＳ６に示すように、ＣＣＤカメラ１０ｃからパネル４０の外面４０ｂの撮像画像のデータが汚れ検出手段５０ｂに入力されると、汚れ検出手段５０ｂは、データに含まれた輝度値（計測値）と上記基準値との比較を行う（ステップＳ７）。そして、輝度値が基準値以下である場合には、汚れ検出手段５０ｂは、パネル外面側の汚れであると判定し（ステップＳ８）、その座標値を欠陥検出手段５０ｃに出力する。   Further, as shown in step S6 of FIG. 4, when the data of the captured image of the outer surface 40b of the panel 40 is input from the CCD camera 10c to the dirt detection means 50b, the dirt detection means 50b displays the brightness value included in the data. The (measured value) is compared with the reference value (step S7). If the luminance value is equal to or less than the reference value, the stain detection unit 50b determines that the stain is on the panel outer surface side (step S8), and outputs the coordinate value to the defect detection unit 50c.

一方、上記ステップＳ７において、輝度値が基準値よりも大きい場合には、汚れ検出手段５０ｂは、パネル外面側に汚れが生じていないと判断する（ステップＳ９）。   On the other hand, if the luminance value is larger than the reference value in step S7, the dirt detection means 50b determines that no dirt is generated on the panel outer surface side (step S9).

その後、汚れ検出手段５０ｂは、外面４０ｂの撮像画像のデータに含まれた全ての輝度値について、ステップＳ７〜Ｓ９の処理動作を行うことにより、パネル外面側の汚れの有無についての判別処理動作を終了する。   Thereafter, the dirt detecting means 50b performs the processing operation of steps S7 to S9 for all the luminance values included in the captured image data of the outer surface 40b, thereby performing the discrimination processing operation for the presence or absence of dirt on the panel outer surface side. finish.

また、図５のステップＳ１０に示すように、欠陥検出手段５０ｃが抽出手段５０ａ及び汚れ検出手段５０ｂから抽出結果及び汚れ検出結果をそれぞれ入力すると、欠陥検出手段５０ｃは抽出結果に含まれたパネル内面側の欠陥の座標値と、汚れ検出結果に含まれたパネル外面側の汚れの座標値とに一致するものがあるか否かについて調べる（ステップＳ１１）。すなわち、汚れ検出手段５０ｂは、抽出結果に含まれたパネル内面側の全ての各欠陥について、その座標値が汚れ検出結果に含まれたパネル外面側の何れかの汚れの座標値と一致しているか否かについて判別する。   Further, as shown in step S10 of FIG. 5, when the defect detection means 50c inputs the extraction result and the dirt detection result from the extraction means 50a and the dirt detection means 50b, the defect detection means 50c causes the inner surface of the panel included in the extraction result. It is examined whether there is a match between the coordinate value of the defect on the side and the coordinate value of the stain on the panel outer surface side included in the stain detection result (step S11). That is, the stain detection means 50b matches the coordinate value of any defect on the panel inner surface side included in the extraction result with the coordinate value of any stain on the panel outer surface side included in the stain detection result. It is determined whether or not there is.

そして、パネル内面側の欠陥の座標値とパネル外面側の汚れの座標値とが一致していることを判別すると、欠陥検出手段５０ｃは、抽出手段５０ａがパネル外面側の汚れを誤ってパネル内面側の欠陥であると判別したと判断し、当該パネル内面側の欠陥をパネル外面側の汚れとして検出する（ステップＳ１２）。これにより、検査装置がパネル内面側の欠陥を見逃すことなく確実に検出できるように、上記閾値が若干大きめの値（安全側の値）に設定されることにより、上記抽出結果に含まれたパネル内面側の欠陥に、パネル外面側の汚れが誤報として含まれているときでも、欠陥検出手段５０ｃは、当該誤報を除外することができる。   When it is determined that the coordinate value of the defect on the panel inner surface side matches the coordinate value of the stain on the panel outer surface side, the defect detection means 50c causes the extraction means 50a to mistakenly stain the panel outer surface side and thereby remove the panel inner surface. It is determined that the defect is on the side of the panel, and the defect on the panel inner surface side is detected as dirt on the panel outer surface side (step S12). Thus, the threshold value is set to a slightly larger value (safe side value) so that the inspection apparatus can reliably detect a defect on the inner surface side of the panel, so that the panel included in the extraction result Even when the defect on the inner surface side includes contamination on the outer surface side of the panel as an erroneous report, the defect detection means 50c can exclude the erroneous report.

一方、上記ステップＳ１１において、パネル内面側の欠陥の座標値がパネル外面側の汚れの座標値と全く一致していないことを判別すると、欠陥検出手段５０ｃは、当該パネル内面側の欠陥が抽出手段５０ａによって正しく判別されて、検出されたと判断する（ステップＳ１３）。   On the other hand, when it is determined in step S11 that the coordinate value of the defect on the inner surface side of the panel does not coincide with the coordinate value of the stain on the outer surface side of the panel, the defect detecting unit 50c extracts the defect on the inner surface side of the panel. It is determined that it has been correctly detected and detected by 50a (step S13).

その後、欠陥検出手段５０ｃは、抽出結果に含まれたパネル内面側の全ての欠陥について、ステップＳ１１〜Ｓ１３の処理動作を行うことにより、上記誤報の有無を調べる処理動作を終了する。   Thereafter, the defect detection means 50c ends the processing operation for checking the presence or absence of the false alarm by performing the processing operation of steps S11 to S13 for all the defects on the panel inner surface side included in the extraction result.

次に、本実施形態の検査装置でのパネル内面側の欠陥及びパネル外面側の汚れの検出動作について、図６〜図８をも参照して具体的に説明する。尚、以下の説明では、説明の簡略化のために、パネル内面側に一箇所の欠陥が発生している場合、一つの汚れがパネル外面側に付着している場合、及び二つの汚れがパネル外面側に連続して付着している場合を例示して説明する。   Next, the detection operation of the defect on the panel inner surface side and the stain on the panel outer surface side in the inspection apparatus of this embodiment will be specifically described with reference to FIGS. In the following description, for the sake of simplification of explanation, when one defect is generated on the inner surface side of the panel, one stain is adhered to the outer surface side of the panel, and two stains are generated on the panel. The case where it is continuously attached to the outer surface side will be described as an example.

図６に示すように、欠陥Ｆがパネル４０の内面４０ａ上の位置Ａ０に発生している場合において、ＣＣＤカメラ１０ａ、１０ｂが同時に位置Ａ０を撮像すると、各ＣＣＤカメラ１０ａ、１０ｂによって計測される位置Ａ０での輝度値は欠陥Ｆによって記憶手段５０ｄ内の基準輝度値よりも低下する。この結果、抽出手段５０ａでは、上記ステップＳ２〜Ｓ４に示した動作が行われて、パネル内面側の位置Ａ０に生じた欠陥Ｆとして検出され、欠陥検出手段５０ｃに通知される。   As shown in FIG. 6, when the defect F occurs at the position A0 on the inner surface 40a of the panel 40, when the CCD cameras 10a and 10b image the position A0 at the same time, they are measured by the CCD cameras 10a and 10b. The luminance value at the position A0 is lower than the reference luminance value in the storage unit 50d due to the defect F. As a result, in the extraction means 50a, the operations shown in steps S2 to S4 are performed, detected as a defect F generated at the position A0 on the panel inner surface side, and notified to the defect detection means 50c.

また、パネル外面側では、欠陥Ｆによる輝度値の低下がほとんど生じないことから、パネル４０がコンベア３１によって搬送されて、図６に示す位置Ｂが欠陥Ｆの真上に移動されたときでも、ＣＣＤカメラ１０ｃによって計測される位置Ｂでの輝度値は記憶手段５０ｄ内の基準値よりも大きい値となる。この結果、汚れ検出手段５０ｂでは、上記ステップＳ６、Ｓ７及びＳ９に示した動作が行われて、パネル外面側に汚れが付着されていないことが判別される。   Further, since the luminance value is hardly lowered by the defect F on the panel outer surface side, even when the panel 40 is conveyed by the conveyor 31 and the position B shown in FIG. The luminance value at the position B measured by the CCD camera 10c is larger than the reference value in the storage means 50d. As a result, the dirt detection means 50b performs the operations shown in steps S6, S7 and S9, and determines that no dirt is attached to the panel outer surface side.

また、図７に示すように、一つの汚れｙ１がパネル外面側に付着している場合において、ＣＣＤカメラ１０ａ、１０ｂが同時に位置Ａ１を撮像すると、ＣＣＤカメラ１０ａによって計測される位置Ａ１での輝度値は汚れｙ１の影響を受けることなく上記基準輝度値よりも大きい値となる。一方、ＣＣＤカメラ１０ｂによって計測される位置Ａ１での輝度値は汚れｙ１によって基準輝度値よりも低下する。この結果、抽出手段５０ａがステップＳ２に示した動作を行うと、汚れｙ１はＣＣＤカメラ１０ｂの撮像結果だけにより、パネル４０の位置Ａ１での欠点として抽出される。   In addition, as shown in FIG. 7, when one dirt y1 adheres to the panel outer surface side, when the CCD cameras 10a and 10b simultaneously image the position A1, the luminance at the position A1 measured by the CCD camera 10a. The value is larger than the reference luminance value without being affected by the stain y1. On the other hand, the luminance value at the position A1 measured by the CCD camera 10b is lower than the reference luminance value due to the dirt y1. As a result, when the extracting unit 50a performs the operation shown in step S2, the dirt y1 is extracted as a defect at the position A1 of the panel 40 only by the imaging result of the CCD camera 10b.

また、パネル４０がコンベア３１によって搬送されて、ＣＣＤカメラ１０ａ、１０ｂが同時に位置Ａ２を撮像すると、ＣＣＤカメラ１０ａによって計測される位置Ａ２での輝度値は汚れｙ１によって基準輝度値よりも低下する。一方、ＣＣＤカメラ１０ｂによって計測される位置Ａ２での輝度値は汚れｙ１の影響を受けることなく基準輝度値よりも大きい値となる。この結果、抽出手段５０ａがステップＳ２に示した動作を行うと、汚れｙ１はＣＣＤカメラ１０ａの撮像結果だけにより、パネル４０の位置Ａ２での欠点として抽出される。   When the panel 40 is conveyed by the conveyor 31 and the CCD cameras 10a and 10b simultaneously image the position A2, the luminance value at the position A2 measured by the CCD camera 10a is lower than the reference luminance value due to the dirt y1. On the other hand, the luminance value at the position A2 measured by the CCD camera 10b is larger than the reference luminance value without being affected by the stain y1. As a result, when the extracting unit 50a performs the operation shown in step S2, the dirt y1 is extracted as a defect at the position A2 of the panel 40 only by the imaging result of the CCD camera 10a.

その後、抽出手段５０ａでは、ステップＳ３に示した動作が行われるが、上記閾値が位置Ａ１と位置Ａ２との間の距離（図７に“Ｄ”にて図示）よりも小さい値に設定されている場合では、ステップＳ３の動作に続いて、ステップＳ５に示した動作が行われて、汚れｙ１は抽出手段５０ａによってパネル外面側の汚れと判別される。   Thereafter, in the extraction means 50a, the operation shown in step S3 is performed, but the threshold value is set to a value smaller than the distance between the position A1 and the position A2 (shown by “D” in FIG. 7). In the case where there is, the operation shown in step S5 is performed following the operation in step S3, and the dirt y1 is determined as dirt on the panel outer surface side by the extraction means 50a.

一方、閾値が距離Ｄ以上の値に設定されている場合では、ステップＳ３の動作に続いて、ステップＳ４に示した動作が行われて、汚れｙ１は抽出手段５０ａにより位置Ａ１と位置Ａ２との間に生じたパネル内面側の欠陥として誤って判別される。   On the other hand, when the threshold value is set to a value greater than or equal to the distance D, the operation shown in step S4 is performed following the operation in step S3, and the dirt y1 is extracted between the position A1 and the position A2 by the extraction means 50a. This is mistakenly determined as a defect on the inner surface side of the panel.

これに対して、パネル外面側では、ＣＣＤカメラ１０ｃが汚れｙ１を撮像すると、その撮像結果の輝度値は汚れｙ１によって上記基準値よりも小さい値となる。この結果、汚れ検出手段５０ｂでは、上記ステップＳ６〜Ｓ８に示した動作が行われて、パネル外面側の汚れｙ１として検出され、欠陥検出手段５０ｃに通知される。これにより、閾値が距離Ｄ以上の値に設定されて、汚れｙ１が抽出手段５０ａにてパネル内面側の欠陥として欠陥検出手段５０ｃに誤って伝えられているときでも、欠陥検出手段５０ｃが、ステップＳ１１に示した動作を行うことにより、抽出手段５０ａからの汚れｙ１についての誤報を汚れ検出手段５０ｂからの汚れ検出結果を基に排除することができる。   On the other hand, on the panel outer surface side, when the CCD camera 10c captures the dirt y1, the brightness value of the imaging result becomes a value smaller than the reference value due to the dirt y1. As a result, the dirt detecting means 50b performs the operations shown in the above steps S6 to S8, is detected as the dirt y1 on the panel outer surface side, and is notified to the defect detecting means 50c. Thereby, even when the threshold value is set to a value equal to or greater than the distance D and the stain y1 is erroneously transmitted to the defect detection unit 50c as a defect on the panel inner surface side by the extraction unit 50a, the defect detection unit 50c By performing the operation shown in S11, it is possible to eliminate a false report about the dirt y1 from the extraction means 50a based on the dirt detection result from the dirt detection means 50b.

また、図８に示すように、二つの汚れｙ１、ｙ２がパネル外面側に連続して付着している場合において、ＣＣＤカメラ１０ａ、１０ｂが同時に位置Ａ３を撮像すると、ＣＣＤカメラ１０ａによって計測される位置Ａ３での輝度値は汚れｙ１によって基準輝度値よりも低下する。また、ＣＣＤカメラ１０ｂによって計測される位置Ａ３での輝度値は汚れｙ２によって基準輝度値よりも低下する。この結果、抽出手段５０ａでは、ステップＳ２〜Ｓ４の動作が行われて、パネル内面側の位置Ａ３に生じた欠陥として誤って検出され、その誤報が欠陥検出手段５０ｃに通知される。   Further, as shown in FIG. 8, when two dirts y1 and y2 are continuously attached to the panel outer surface side, when the CCD cameras 10a and 10b simultaneously image the position A3, they are measured by the CCD camera 10a. The luminance value at the position A3 is lower than the reference luminance value due to the stain y1. Further, the luminance value at the position A3 measured by the CCD camera 10b is lower than the reference luminance value due to the dirt y2. As a result, in the extracting means 50a, the operations of steps S2 to S4 are performed, and the defect is erroneously detected as a defect occurring at the position A3 on the panel inner surface side, and the error report is notified to the defect detecting means 50c.

また、パネル４０がコンベア３１によって搬送されて、ＣＣＤカメラ１０ａ、１０ｂが同時に位置Ａ４を撮像すると、ＣＣＤカメラ１０ａによって計測される位置Ａ４での輝度値は汚れｙ２によって基準輝度値よりも低下する。一方、ＣＣＤカメラ１０ｂによって計測される位置Ａ４での輝度値は汚れｙ２の影響を受けることなく基準輝度値よりも大きい値となる。この結果、抽出手段５０ａがステップＳ２に示した動作を行うと、汚れｙ２はＣＣＤカメラ１０ａの撮像結果だけにより、パネル４０の位置Ａ４での欠点として抽出される。   When the panel 40 is conveyed by the conveyor 31 and the CCD cameras 10a and 10b simultaneously image the position A4, the luminance value at the position A4 measured by the CCD camera 10a is lower than the reference luminance value due to the dirt y2. On the other hand, the luminance value at the position A4 measured by the CCD camera 10b is larger than the reference luminance value without being affected by the dirt y2. As a result, when the extracting means 50a performs the operation shown in step S2, the dirt y2 is extracted as a defect at the position A4 of the panel 40 only by the imaging result of the CCD camera 10a.

その後、抽出手段５０ａでは、ステップＳ３に示した動作が行われるが、上記閾値が位置Ａ３と位置Ａ４との間の距離（図７に“Ｅ”にて図示）よりも小さい値に設定されている場合では、ステップＳ３の動作に続いて、ステップＳ５に示した動作が行われて、汚れｙ２は抽出手段５０ａによってパネル外面側の汚れと判別される。   Thereafter, in the extraction means 50a, the operation shown in step S3 is performed, and the threshold value is set to a value smaller than the distance between the position A3 and the position A4 (shown by “E” in FIG. 7). In the case where there is, the operation shown in step S5 is performed following the operation in step S3, and the dirt y2 is determined as dirt on the panel outer surface side by the extraction means 50a.

一方、閾値が距離Ｅ以上の値に設定されている場合では、ステップＳ３の動作に続いて、ステップＳ４に示した動作が行われて、汚れｙ２は抽出手段５０ａにより位置Ａ３と位置Ａ４との間に生じたパネル内面側の欠陥として誤って判別される。   On the other hand, when the threshold value is set to a value greater than or equal to the distance E, the operation shown in step S4 is performed following the operation in step S3, and the dirt y2 is removed between the position A3 and the position A4 by the extraction means 50a. This is mistakenly determined as a defect on the inner surface side of the panel.

これに対して、パネル外面側では、ＣＣＤカメラ１０ｃが汚れｙ１、ｙ２を順次撮像すると、それらの撮像結果の輝度値は汚れｙ１、ｙ２によってそれぞれ上記基準値よりも小さい値となる。この結果、汚れ検出手段５０ｂでは、上記ステップＳ６〜Ｓ８に示した動作が行われて、パネル外面側の汚れｙ１、ｙ２としてそれぞれ検出され、欠陥検出手段５０ｃに通知される。これにより、汚れｙ１、ｙ２が抽出手段５０ａにてパネル内面側の位置Ａ３に生じた欠陥として誤って検出され、欠陥検出手段５０ｃに伝えられているときでも、欠陥検出手段５０ｃが、ステップＳ１１に示した動作を行うことにより、抽出手段５０ａからの汚れｙ１、ｙ２についての誤報を汚れ検出手段５０ｂからの汚れ検出結果を基に排除することができる。また、図７に示した場合と同様に、閾値が距離Ｅ以上の値に設定されて、汚れｙ２が抽出手段５０ａにてパネル内面側の欠陥として欠陥検出手段５０ｃに誤って伝えられているときでも、欠陥検出手段５０ｃが、ステップＳ１１に示した動作を行うことにより、抽出手段５０ａからの汚れｙ２についての誤報を汚れ検出手段５０ｂからの汚れ検出結果を基に排除することができる。   On the other hand, on the panel outer surface side, when the CCD camera 10c sequentially captures the stains y1 and y2, the brightness values of the imaging results become values smaller than the reference value due to the stains y1 and y2, respectively. As a result, the stain detection means 50b performs the operations shown in the above steps S6 to S8 to detect the stains y1 and y2 on the panel outer surface side and notify the defect detection means 50c. As a result, even when the stains y1 and y2 are erroneously detected as the defect generated at the position A3 on the inner surface side of the panel by the extraction means 50a and transmitted to the defect detection means 50c, the defect detection means 50c returns to step S11. By performing the operation shown, it is possible to eliminate false reports on the stains y1 and y2 from the extraction means 50a based on the stain detection results from the dirt detection means 50b. Similarly to the case shown in FIG. 7, the threshold value is set to a value equal to or greater than the distance E, and the stain y2 is erroneously transmitted to the defect detection means 50c as a defect on the panel inner surface side by the extraction means 50a. However, by performing the operation shown in step S11 by the defect detection unit 50c, it is possible to eliminate an erroneous report about the stain y2 from the extraction unit 50a based on the stain detection result from the stain detection unit 50b.

尚、図８を用いた説明では、二つの汚れｙ１、ｙ２がコンベア３１の搬送方向でパネル外面側に連続して付着している場合を示したが、汚れ検出手段５０ｂはパネル外面側のあらゆる方向、すなわち上記二次元的な座標系で散在して付着した汚れを検出できるものであり、さらに上記汚れｙ１、ｙ２が一つの大きな汚れであっても、汚れ検出手段５０ｂはその大きな汚れを正確に検出することができ、欠陥検出手段５０ｃは抽出手段５０ａからの誤報を排除することができる。   In the description using FIG. 8, the case where two dirts y1 and y2 are continuously attached to the panel outer surface side in the conveying direction of the conveyor 31 is shown. Dirt scattered and adhered in the two-dimensional coordinate system can be detected, and even if the stains y1 and y2 are one large stain, the stain detection means 50b accurately detects the large stain. The defect detection means 50c can eliminate the false alarm from the extraction means 50a.

以上のように構成された本実施形態では、ＣＣＤカメラ（第３の撮像部）１０ｃがパネル外面側で反射された反射光を受光することでパネル外面側を撮像しているので、パネル外面側だけを精度よく撮像することができ、汚れ検出手段５０ｂは当該パネル外面側の汚れの検出を高精度に行うことができる。また、抽出手段５０ａがＣＣＤカメラ（第１及び第２の撮像部）１０ａ、１０ｂの撮像結果を用いて、パネル内面側の欠陥及びパネル外面側の汚れを含んだパネル４０の欠点を抽出している。さらに、欠陥検出手段５０ｃが、抽出手段５０ａの抽出結果と汚れ検出手段５０ｂの汚れ検出結果とを基にパネル内面側の欠陥を検出しているので、パネル内面側の欠陥とパネル外面側の汚れとを高精度に判別することができる。これにより、パネル内面側の欠陥を正確に検出することができ、当該欠陥を作業者に的確に通知することができ、作業者の視認によるパネル４０の検査作業を最適に支援することができる。また、このように作業者の検査作業を最適に支援することが可能な検査装置を構成することができるので、パネル内面側に欠陥を生じたパネル４０を確実に除外して陰極線管の製造を行うことが可能となり、陰極線管の歩留まりを容易に向上させて信頼性に優れた陰極線管を効率よく製造することができる。   In the present embodiment configured as described above, the CCD camera (third imaging unit) 10c receives the reflected light reflected on the panel outer surface side to capture the panel outer surface side. Therefore, the dirt detection means 50b can detect the dirt on the panel outer surface side with high accuracy. Further, the extraction means 50a uses the imaging results of the CCD cameras (first and second imaging units) 10a and 10b to extract defects on the panel 40 including defects on the panel inner surface side and dirt on the panel outer surface side. Yes. Further, since the defect detection means 50c detects a defect on the panel inner surface side based on the extraction result of the extraction means 50a and the dirt detection result of the dirt detection means 50b, the defect on the panel inner surface side and the dirt on the panel outer surface side are detected. Can be determined with high accuracy. Thereby, the defect on the panel inner surface side can be accurately detected, the defect can be accurately notified to the worker, and the inspection work of the panel 40 by the worker's visual recognition can be optimally supported. In addition, since an inspection apparatus capable of optimally supporting the operator's inspection work can be configured in this way, it is possible to manufacture the cathode ray tube by reliably excluding the panel 40 that is defective on the inner surface side of the panel. Therefore, it is possible to easily improve the yield of the cathode ray tube and efficiently manufacture the cathode ray tube having excellent reliability.

また、本実施形態では、抽出手段５０ａは、ＣＣＤカメラ１０ａ、１０ｂの撮像結果を用いて、パネル４０の欠点を抽出したときに、抽出した欠点についての座標値（位置情報）を欠陥検出手段５０ｃに通知している。さらに、汚れ検出手段５０ｂは、ＣＣＤカメラ１０ｃの撮像結果を用いて、パネル外面側の汚れを検出したときに、判別した汚れについての座標値（位置情報）を欠陥検出手段５０ｃに通知している。これにより、欠陥検出手段５０ｃは、抽出手段５０ａによって抽出されたパネル４０の欠点の位置及び汚れ検出手段５０ｂによって判別された汚れの位置を把握した状態で、高精度な欠陥検出をより容易に行うことができる。また、検査装置では、パネル外面側の汚れの位置が把握されているので、検査装置は、ウェス等によるクリーニングの実施の要否及びその必要箇所を作業者に的確に指示することもできる。   In the present embodiment, when the extraction unit 50a extracts the defects of the panel 40 using the imaging results of the CCD cameras 10a and 10b, the defect detection unit 50c uses the coordinate values (position information) of the extracted defects. To notify. Further, the stain detection unit 50b notifies the defect detection unit 50c of coordinate values (position information) about the determined stain when the stain on the panel outer surface side is detected using the imaging result of the CCD camera 10c. . Thereby, the defect detection means 50c more easily performs high-precision defect detection in a state where the position of the defect of the panel 40 extracted by the extraction means 50a and the position of the dirt determined by the dirt detection means 50b are grasped. be able to. Further, since the position of dirt on the panel outer surface side is grasped in the inspection apparatus, the inspection apparatus can also accurately instruct the operator whether or not to perform cleaning with a waste cloth or the like.

尚、上記の説明では、コンピュータ装置を用いて第１〜第３の撮像部からの撮像画像のデータを処理する構成について説明したが、本発明はパネルの内部を通った透過光を受光することによってパネル内面側の欠陥及びパネル外面側の汚れを撮像可能な第１及び第２の撮像部と、パネル外面側で反射された反射光を受光することによってパネル外面側を撮像する第３の撮像部と、第１及び第２の撮像部の撮像結果を用いて、パネル内面側の欠陥及びパネル外面側の汚れを含んだ当該パネルの欠点を抽出する抽出手段と、第３の撮像部の撮像結果を用いて、パネル外面側の汚れを検出する汚れ検出手段と、抽出手段の抽出結果と汚れ検出手段の汚れ検出結果に基づいて、パネル内面側の欠陥を検出する欠陥検出手段とを備えたものであればよく、ＤＳＰやＰＩＣ等を用いて上記各手段を構成したり、パソコンを使用することによって上記処理装置及び表示装置とを一体的に構成したりすることもできる。   In the above description, the configuration in which the image data from the first to third imaging units is processed using the computer device has been described. However, the present invention receives the transmitted light that has passed through the panel. The first and second imaging units capable of imaging defects on the panel inner surface side and dirt on the panel outer surface side, and third imaging for imaging the panel outer surface side by receiving reflected light reflected on the panel outer surface side , An extraction means for extracting defects on the panel including defects on the panel inner surface side and dirt on the panel outer surface side using the imaging results of the first and second imaging units, and imaging of the third imaging unit Using the result, a stain detection means for detecting dirt on the panel outer surface side, and a defect detection means for detecting a defect on the panel inner surface side based on the extraction result of the extraction means and the stain detection result of the dirt detection means Anything is fine Or constitute the respective means using a DSP or PIC like, may be subjected to a integrally formed with the above-described processing device and a display device by using a computer.

また、上記の説明では、第１及び第２の撮像部の撮像結果を基にパネル内面側の欠陥とパネル外面側の汚れとを判別する判別処理の機能を抽出手段に付与した構成について説明したが、抽出手段の代わりに、上記判別処理の機能を欠陥検出手段に与えることにより、この欠陥検出手段が抽出手段からの上記パネルの欠点を基にパネル内面側の欠陥とパネル外面側の汚れとを判別し、さらに、この判別結果から上記汚れ検出手段で得られたパネル外面側の汚れを消し込むことにより、パネル内面側の欠陥を検出する構成でもよい。また、上記判別処理の機能を抽出手段及び欠陥検出手段の双方に付与することなく、欠陥検出手段が抽出手段で抽出されたパネルの欠点から汚れ検出手段で検出されたパネル外面側の汚れを排除することで、パネル内面側の欠陥を検出する構成でもよい。   Further, in the above description, a configuration has been described in which the extraction unit is provided with a function of discrimination processing for discriminating between defects on the panel inner surface side and dirt on the panel outer surface side based on the imaging results of the first and second imaging units. However, by providing the defect detection means with the function of the discrimination processing instead of the extraction means, the defect detection means can detect defects on the panel inner surface side and stains on the panel outer surface side based on the defects of the panel from the extraction means. Further, it is possible to detect a defect on the inner surface side of the panel by erasing the dirt on the outer surface side of the panel obtained by the dirt detection means from the determination result. Further, the stain on the outer surface of the panel detected by the stain detection means is eliminated from the defects of the panel detected by the defect detection means without giving the function of the discrimination processing to both the extraction means and the defect detection means. By doing so, the structure which detects the defect of the panel inner surface side may be sufficient.

また、上記の説明では、第１〜第３の撮像部に対し、移動手段としてのコンベアによってパネルを移動させる構成について説明したが、本発明の移動手段はパネルと、第１〜第３の撮像部とを相対的に移動させるものであれば何等限定されない。   In the above description, the configuration in which the panel is moved by the conveyor as the moving unit with respect to the first to third imaging units has been described. However, the moving unit of the present invention includes the panel and the first to third imaging units. If it moves a part relatively, it will not be limited at all.

また、上記の説明では、第１及び第２の撮像部をパネルの内面側に配置した場合について説明したが、本発明の第１及び第２の撮像部はこれに限定されるものではなく、パネルの内面側及び外面側のいずれか一方側に配置されるとともに、当該パネルの内部を通った透過光を受光することにより、パネル内面側の同一箇所を互いに異なる方向から撮像するものであればよい。但し、上記のように、パネル内面側に配置する場合の方が、第１及び第２の撮像部をパネルの外面側に配置する場合に比べて、パネル内面側を高感度に撮像して当該パネル内面側の欠陥を精度よく撮像することができる点で好ましい。   In the above description, the case where the first and second imaging units are arranged on the inner surface side of the panel has been described. However, the first and second imaging units of the present invention are not limited to this, As long as it is arranged on either the inner surface side or the outer surface side of the panel and receives the transmitted light that has passed through the inside of the panel, the same location on the inner surface side of the panel is imaged from different directions. Good. However, as described above, the case where the panel is disposed on the inner surface side of the panel captures the inner surface of the panel with higher sensitivity than the case where the first and second imaging units are disposed on the outer surface side of the panel. This is preferable in that a defect on the inner surface side of the panel can be accurately imaged.

また、上記の説明では、光源として３つの照明部材を設けた場合について説明したが、本発明の光源は、パネルの内面側及び外面側のうち、少なくとも外面側に設けられて、パネルに対して光を照射するものであれば何等限定されない。   In the above description, the case where three illumination members are provided as the light source has been described. However, the light source of the present invention is provided on at least the outer surface side of the inner surface side and the outer surface side of the panel, There is no limitation as long as it irradiates light.

本発明の一実施形態にかかる陰極線管の検査装置の全体構成を示す概略図である。1 is a schematic diagram showing the overall configuration of a cathode ray tube inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. 上記陰極線管の検査装置の要部構成を説明する図である。It is a figure explaining the principal part structure of the inspection apparatus of the said cathode ray tube. 図２に示した抽出手段の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows operation | movement of the extraction means shown in FIG. 図２に示した汚れ検出手段の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows operation | movement of the stain | pollution | contamination detection means shown in FIG. 図２に示した欠陥検出手段の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows operation | movement of the defect detection means shown in FIG. 図２に示したパネル内面側に欠陥が生じている場合での上記検査装置の動作を説明する図である。It is a figure explaining operation | movement of the said inspection apparatus in case the defect has arisen in the panel inner surface side shown in FIG. 図２に示したパネル外面側に一つの汚れが付着している場合での上記検査装置の動作を説明する図である。It is a figure explaining operation | movement of the said inspection apparatus in case one stain | pollution | contamination has adhered to the panel outer surface side shown in FIG. 上記パネル外面側に二つの汚れが間欠的に付着している場合での上記検査装置の動作を説明する図である。It is a figure explaining operation | movement of the said inspection apparatus in case the two stain | pollution | contamination has adhered to the said panel outer surface side intermittently.

符号の説明Explanation of symbols

１０ａ、１０ｂ、１０ｃ ＣＣＤカメラ（第１、第２、第３の撮像部）
２０ａ、２０ｂ、２０ｃ 照明部材（光源）
３１ コンベア（移動手段）
４０ パネル
４０ａ 内面
４０ｂ 外面
５０ 処理装置
５０ａ 抽出手段
５０ｂ 汚れ検出手段
５０ｃ 欠陥検出手段 10a, 10b, 10c CCD camera (first, second and third imaging units)
20a, 20b, 20c Illumination member (light source)
31 Conveyor (moving means)
40 Panel 40a Inner surface 40b Outer surface 50 Processing device 50a Extraction means 50b Dirt detection means 50c Defect detection means

Claims (3)

蛍光体または薄膜が内面側に形成された陰極線管のパネルを検査する検査装置であって、
前記パネルの内面側及び外面側のうち、少なくとも外面側に設けられて、前記パネルに対して光を照射する光源と、
前記パネルの内面側及び外面側のいずれか一方側に配置されるとともに、当該パネルの内部を通った透過光を受光することにより、前記パネル内面側の同一箇所を互いに異なる方向から撮像する第１及び第２の撮像部と、
前記パネルの外面側に設けられ、当該パネル外面側で反射された反射光を受光することにより、前記パネル外面側を撮像する第３の撮像部と、
前記パネルと、前記第１、第２、及び第３の撮像部とを相対的に移動させるための移動手段と、
前記第１及び第２の撮像部の撮像結果を用いて、前記パネル内面側の欠陥及び前記パネル外面側の汚れを含んだ当該パネルの欠点を抽出する抽出手段と、
前記第３の撮像部の撮像結果を用いて、前記パネル外面側の汚れを検出する汚れ検出手段と、
前記抽出手段の抽出結果と前記汚れ検出手段の汚れ検出結果に基づいて、前記パネル内面側の欠陥を検出する欠陥検出手段と
を備えたことを特徴とする陰極線管の検査装置。 An inspection apparatus for inspecting a panel of a cathode ray tube in which a phosphor or a thin film is formed on the inner surface side,
Of the inner surface side and the outer surface side of the panel, provided on at least the outer surface side, and a light source for irradiating the panel with light,
A first image that is arranged on either the inner surface side or the outer surface side of the panel and receives the transmitted light that has passed through the interior of the panel so as to capture the same portion on the inner surface side of the panel from different directions. And a second imaging unit;
A third imaging unit that is provided on the outer surface side of the panel and receives the reflected light reflected on the panel outer surface side, and images the panel outer surface side;
Moving means for relatively moving the panel and the first, second, and third imaging units;
Extraction means for extracting defects of the panel including defects on the panel inner surface side and dirt on the panel outer surface side using the imaging results of the first and second imaging units;
Using the imaging result of the third imaging unit, a dirt detection means for detecting dirt on the panel outer surface side;
A cathode ray tube inspection apparatus comprising: defect detection means for detecting defects on the inner surface side of the panel based on the extraction result of the extraction means and the dirt detection result of the dirt detection means. 前記第１及び第２の撮像部を前記パネルの内面側に配置した請求項１に記載の陰極線管の検査装置。 The cathode ray tube inspection apparatus according to claim 1, wherein the first and second imaging units are arranged on an inner surface side of the panel. 陰極線管のパネルの内面側に形成した蛍光体または薄膜を検査する検査工程を含む製造方法であって、
前記検査工程を、請求項１または２に記載の検査装置を用いて行うことを特徴とする陰極線管の製造方法。 A manufacturing method including an inspection process for inspecting a phosphor or a thin film formed on an inner surface side of a panel of a cathode ray tube,
A method for manufacturing a cathode ray tube, wherein the inspection step is performed using the inspection apparatus according to claim 1.
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