JP2006520107A5 - - Google Patents

Claims (20)

1. 第１のデブリ遮蔽部材であって、
   第１の回転軸に対して第１の選択形状を有する第１の曲面と、
   前記第１の回転軸に対して前記第１の選択形状を有し、かつ前記第１の曲面と該第１の回転軸の中間に配置された第２の曲面と、
   前記第１の曲面と前記第２の曲面を接続し、かつ前記第１の回転軸上の焦点に向けてテーパの付いた内部開口部を有する、前記デブリ遮蔽部材内の複数の位置合せした管状開口部と、
   を含む第１のデブリ遮蔽部材、及び
   第２のデブリ遮蔽部材であって、
   前記第１の回転軸に対して前記第１の選択形状を有し、かつ前記第２の曲面と該回転軸の中間に配置された第３の曲面と、
   前記第１の回転軸に対して前記第１の選択形状を有し、かつ前記第３の曲面と該第１の回転軸の中間に配置された第４の曲面と、
   前記第３の曲面と前記第４の曲面を接続し、かつ前記第１の回転軸上の焦点に向けてテーパの付いた内部開口部を有する、前記デブリ遮蔽部材内の複数の位置合せした管状開口部と、
   を含む第２のデブリ遮蔽部材、
   を含むことを特徴とするＥＵＶ光源デブリ遮蔽体。
2. 前記第２及び第３の曲面は、互いに当接している、
   ことを特徴とする請求項１に記載の装置。
3. 前記第１、第２、第３、及び第４の曲面は、第２の回転軸に関して第２の形状を有する、
   ことを特徴とする請求項２に記載の装置。
4. 前記第１の形状は、前記第２の形状と同じである、
   ことを特徴とする請求項３に記載の装置。
5. 前記管状開口部は、前記第１の回転軸回りの前記第１、第２、第３、及び第４の曲面の曲率を定める第１の方向に沿った隣接管状開口部の隣接壁部分上の開放有壁構造体を含む、
   ことを特徴とする請求項４に記載の装置。
6. 前記管状開口部は、前記第２の回転軸回りの前記第１、第２、第３、及び第４の曲面の曲率を定める第２の方向に沿った隣接管状開口部の隣接壁部分上の開放有壁構造体を含む、
   ことを特徴とする請求項４に記載の装置。
7. 前記第２の形状は、前記第１の形状と異なる、
   ことを特徴とする請求項３に記載の装置。
8. 前記管状開口部は、前記第１の回転軸回りの前記第１、第２、第３、及び第４の曲面の曲率を定める第１の方向に沿った隣接管状開口部の隣接壁部分上の開放有壁構造体を含む、
   ことを特徴とする請求項７に記載の装置。
9. 前記第２及び第３の曲面は、離間している、
   ことを特徴とする請求項１に記載の装置。
10. 前記第１、第２、第３、及び第４の曲面は、第２の回転軸に関して第２の形状を有する、
    ことを特徴とする請求項９に記載の装置。
11. 前記第１の形状は、前記第２の形状と同じである、
    ことを特徴とする請求項１０に記載の装置。
12. 前記管状開口部は、前記第１の回転軸回りの前記第１、第２、第３、及び第４の曲面の曲率を定める第１の方向に沿った隣接管状開口部の隣接壁部分上の開放有壁構造体を含む、
    ことを特徴とする請求項１１に記載の装置。
13. 前記管状開口部は、前記第２の回転軸回りの前記第１、第２、第３、及び第４の曲面の曲率を定める第２の方向に沿った隣接管状開口部の隣接壁部分上の開放有壁構造体を含む、
    ことを特徴とする請求項１１に記載の装置。
14. 前記第２の形状は、前記第１の形状と異なる、
    ことを特徴とする請求項１０に記載の装置。
15. 前記第１、第２、第３、及び第４の曲面は、第２の回転軸に関して第２の形状を有する、
    ことを特徴とする請求項１に記載の装置。
16. 前記第１の形状は、前記第２の形状と同じである、
    ことを特徴とする請求項１５に記載の装置。
17. 前記管状開口部は、前記第１の回転軸回りの前記第１、第２、第３、及び第４の曲面の曲率を定める第１の方向に沿った隣接管状開口部の隣接壁部分上の開放有壁構造体を含む、
    ことを特徴とする請求項１５に記載の装置。
18. 前記管状開口部は、前記第２の回転軸回りの前記第１、第２、第３、及び第４の曲面の曲率を定める第２の方向に沿った隣接管状開口部の隣接壁部分上の開放有壁構造体を含む、
    ことを特徴とする請求項１６に記載の装置。
19. 前記管状開口部は、前記第１の回転軸回りの前記第１、第２、第３、及び第４の曲面の曲率を定める第１の方向に沿った隣接管状開口部の隣接壁部分上の開放有壁構造体を含む、
    ことを特徴とする請求項９に記載の装置。
20. 前記管状開口部は、前記第２の回転軸回りの前記第１、第２、第３、及び第４の曲面の曲率を定める第２の方向に沿った隣接管状開口部の隣接壁部分上の開放有壁構造体を含む、
    ことを特徴とする請求項１０に記載の装置。